CN1575996A - 喷墨打印机、喷墨头和制造喷墨头的方法 - Google Patents

Abstract

一种喷墨头的压电片，除了包括与各个喷嘴对应的单独电极外，还包括虚拟单独电极。虚拟单独电极位于单独电极的外周上。FPC板把驱动电压施加到驱动区域中的单独电极上，并且在一个墨压力室的方向上使压电片中的区域变形，同时驱动电压不施加到非驱动区域中的单独电极上。当虚拟单独电极形成在非驱动区域中时，在制造压电片时能够均匀一致地烧结驱动区域和非驱动区域的边界区域。在驱动区域中，由于各个单独电极的周围结构彼此相同，在驱动区域和非驱动区域的边界区域喷墨特性基本一致。

Description

喷墨打印机、喷墨头和制造喷墨头的方法

技术领域

本发明涉及喷墨头、使用喷墨头的喷墨打印机和制造喷墨头的方法。

背景技术

在传统的、已知的喷墨头中，一个压电元件被驱动，从而挤压压电元件附近的压力室中的墨，并且墨从与压力室连通的喷嘴中喷出到纸张等记录介质上，从而在记录介质上形成图像。在这种类型的喷墨头中，为了得到优异的图像质量，有必要从每个喷嘴中均匀地喷墨，并且为了提高喷墨性能，已经发展出了各种技术。

例如，JP-A-1-178451中所披露的一经请求即喷墨类型的喷墨头中，为了避免由于墨存储器阻尼效应的减少而引起的墨滴的喷出变得不稳定并且为了避免喷嘴之间的相互影响，除了原来的喷嘴外还在喷墨头中设有虚拟喷嘴，并且使用虚拟喷嘴吸收喷墨时在墨压力室中产生的、并且传输到公共墨存储器中的压力波。

另外，近年来，已知一种喷墨头，其中在空腔板中形成多行压力室，并且一个压电片连接到空腔板上，在压力片层中给空腔板的每个压力室形成一个驱动电极(所谓的单独电极)。

在这种类型的喷墨头中，电压施加到压电片的各个驱动电极上，并且从喷嘴中把与各个电极对应的压力室中的墨喷出。因此，当施加到各个驱动电极的电压驱动压电片的各个区域时，很难从各个喷嘴中均匀地喷出墨滴并且得到优异的图像质量。

在近年，为了提高图像的分辨率，需要使得各个压力室和驱动电极的布置间隔变窄。但是，压电片的每个区域的特性受到其周围结构的很大影响。因此，当各个压力室和驱动电极的布置间隔变窄时，由于受到这种影响，很难使得各个区域的特性均匀。

发明内容

特别是在压电片的驱动区域和非驱动区域之间的边界上，在那里驱动电极的布置中断，由于在其周围结构中没有连续性，在与位于驱动区域端部的驱动电极对应的喷嘴和与位于驱动区域中心的驱动电极对应的喷嘴之间产生喷墨特性的很大差别。顺便提及，当把制造驱动电极的导电浆料涂在未经烧结的压电陶瓷材料上然后烧结它从而形成压电片时，很容易发生上述的特性之间的差别。

本发明考虑了这些问题。本发明的一个目的是提供一种喷墨头，其中压电片的各个区域的特性均匀，并且墨能够均匀地从各个喷嘴中喷出，还提供一种使用这种喷墨头的喷墨打印机以及制造这种喷墨头的方法。

为了实现这个目的，根据本发明的一个方面，喷墨头包括一个压电片，它具有多个单独电极和一个内部电极，和一个驱动压电片的板，利用该板驱动压电片，并且从喷嘴中排出墨。

压电片包括一个电极形成区域，在一个表面上电极形成区域包括驱动区域和环绕驱动区域的非驱动区域，在电极形成区域的整个区域上还包括多个单独电极。具体地说，优选以相等的间隔在电极形成区域的整个区域内布置单独电极。另外，在压电片的内部与电极形成区域的单独电极相对形成有内部电极。

在压电片的驱动区域中，该板电连接单独电极，在压电片的非驱动区域中，该板处于不与单独电极电连接的状态，压电片电连接至驱动电路，并且驱动电压施加到驱动区域的各个单独电极上以驱动压电片。

在这种喷墨头中，由于单独电极也形成在非驱动区域中，在整个驱动区域上各个单独电极的周围结构基本相同。因此，根据第一个方面的喷墨头，能够限制在驱动区域和非驱动区域之间的边界区域上产生周围结构的不连续性，并且限制在压电片中产生不均匀变形。因此，能够限制在与位于驱动区域端部的单独电极对应的喷嘴和与位于驱动区域中心的单独电极对应的喷嘴之间产生喷墨特性差别。

能够使得喷墨头的各个喷嘴的喷墨特性一致，并且墨能够从各个喷嘴均匀地喷出。因此提高了喷墨打印机的成像质量。

顺便提及，通常利用烧结压电材料(压电陶瓷材料)来形成压电片，并且在烧结的时候周围结构很大地改变压电材料的收缩率。当收缩率发生变化时，由于压电片各个部分收缩率的变化，发生其特性的变化。

根据本发明的另一个方面，优选形成压电片使得在包括内部电极的片层状压电材料的表面上以相等间隔在驱动区域中和环绕驱动区域形成多个单独电极，并且烧结具有单独电极的压电材料。

当这样形成压电片时，能够在烧结时限制在驱动区域和非驱动区域的边界上发生收缩率的变化，并且限制压电片的特性在边界区域的变化。因此，当使用第二个方面的喷墨头时，能够提高了喷墨打印机的成像质量。

顺便提及，根据本发明的另一个方面，喷墨头可以包括一种压电片，其中多个单独电极布置在一行中，更希望把本发明应用到一种包括压电片的喷墨头中，在压电片中多个单独电极设置成矩阵形式(即两维)。

根据本发明的另一个方面，喷墨头使得多个单独电极在压电片的电极形成区域中布置为矩阵形式。

当单独电极排列成一行时，尽管在排列方向的两端周围结构产生不连续，当单独电极排列成矩阵形式时，在周围结构中发生不连续的区域变大，并且易于发生喷墨特性的变化。根据本发明的另一个方面，单独电极可以布置为矩阵形式，进一步运用上述效果。

顺便提及，在打印密度变高时，就更能运用本发明的效果。这是由于随着打印密度变高，周围结构的差别对喷墨特性的变化的影响程度变大。因此，当打印密度高时，这是一个非常有效的技术。

具体地说，根据本发明的另一个方面，喷墨头可以包括连接部分(也称为公共电极)，它通过压电片的表面上的通孔电连接内部电极。然后，优选压电片的连接部分通过至少两个或更多个通孔电连接内部电极。

根据本发明的另一个方面，把两个或更多个连接系统制备为连接部分和内部电极的连接系统，即使中断了经过一个通孔的电连接，连接部分和内部电极之间的电连接可以通过另一个通孔得到保持。也就是说，根据第五个方面的喷墨头，能够提高产品的耐用性和可靠性。

根据本发明的另一个方面，优选把连接部分设在压电片的表面上远离电极形成区域的位置。由于内部电极起到单独电极相反极的作用，当通孔和电连接到内部电极上的连接部分靠近驱动区域时，在压电片中由于通孔和连接部分的影响可能发生不均匀变形。

根据本发明的另一个方面，连接部分设在远离电极形成区域的位置，由于非驱动区域介入驱动区域和连接部分，能够把由于连接部分的影响所造成的压电片的不均匀变形减小到最小。因此，能够使得各个喷嘴的排墨特性一致。

另外，在喷墨头中，该板连接驱动区域的各个单独电极和连接部分，并且电连接它们，而且固定到压电片上。

根据本发明的另一个方面，连接部分设在压电片的表面上并且位于板延伸的那一侧的端部。

当提供板使得它相对于压电片延伸时，很可能从板的延伸侧对压电片施加剥离板的力，并且当剥离方向上的力施加到压电片上时，会损坏板和单独电极之间的接合部分和连接板和连接部分的接合部分，并且改变板和单独电极或内部电极之间的电特性，或者中断电连接。

根据本发明的另一个方面，连接部分设在压电片的表面上并且位于它在板延伸方向一侧的端部，而且提高了压电片和板的结合强度。因此，即使对压电片施加剥离板的力，也能够避免由此损坏接合部分。因此，根据第七个方面的喷墨头，提高了产品的耐用性和可靠性。

另外，作为本发明的第八个方面，当压电片是正方形时，连接部分优选设在压电片的表面上的角部。然后，连接部分和驱动区域的各个单独电极结合到板上，并且板固定到压电片上。根据具有上述结构的喷墨头，由于压电片的角部结合到板上，能够提高压电片和板的连接强度。另外，连接部分设在角部，所以能够把连接部分所造成的压电片的不均匀变形减少到最小，因此，能够提供具有优异耐用性和优异喷墨特性的喷墨头。

另外，根据本发明的另一个方面，连接到电极上的凸起接触部分设在板上，优选将它们设在驱动部分的各个单独电极处和压电片的连接部分。

在具有上述结构的喷墨头中，当在角部设有凸起接触部分时，当压电片和板彼此面对并且结合在一起时，在压电片和板之间形成一个微小间隙。因此，即使细微的灰尘等粘在压电片上，也能够防止在连接时灰尘损坏压电片和板。因此，能够提高产品的可靠性，并且提高产品的产量。

顺便提及，根据本发明的另一个方面，优选在压电片的连接部分处形成两个或更多凸起接触部分。当设有两个或更多凸起接触部分时，即使板的电极和内部电极通过一个接触部分的电连接中断，板的电极和内部电极之间的电连接可以通过另一个接触部分得到保持。因此，提高了喷墨头的耐用性。

另外，优选连接部分的接触部分和驱动区域的各个单独电极的接触部分具有相同的高度。根据本发明的另一个方面，板能够均匀地连接连接部分的接触部分和单独电极的接触部分。这样就能够避免在装配时局部载荷施加到板和压电片上，并且能够防止产生引起不良接触的接触部分。另外，由于各个接触部分的高度相同，各个接触部分和板的电极之间的电特性一致，并且墨能够均匀地从各个喷嘴中喷出。

另外，当压电片的连接部分的接触部分和驱动区域的各个单独电极的接触部分利用焊接连接到设在板上的电极上时，优选接触部分的表面面积彼此相等。

当利用焊接连接接触部分和板的电极时，当各个接触部分的表面面积不同时，附着在接触部分上的焊料量不同。这时，有一些接触部分处存在大量焊料，以致不是所有的焊料都能熔化掉并且导致不完全结合，在另外一些接触部分处焊料很少，以致焊料蒸发掉并且导致不完全结合。

根据本发明的另一个方面，当表面面积彼此大致相同时，各个接触部分处的焊料量均匀，这样就能够避免出现接触部分处的不完全结合。因此，能够提供具有很高可靠性的喷墨头。顺便提及，当各个接触部分的表面面积之间的差别程度不大，即面积的差别使得焊料量的均匀程度不会导致接触部分处的不完全结合，这种面积差别是允许的，并且表面面积彼此基本相等。

在前面的喷墨头中，空腔板包括压力室，压力室在与驱动区域的各个单独电极对应的位置处朝压电片一侧敞开，并且空腔板连接到压电片的后表面。优选驱动区域的各个单独电极的接触部分和压电片的连接部分的接触部分相对于空腔板设置。

根据本发明的另一个方面，驱动区域的各个单独电极的接触部分和压电片的连接部分的接触部分设置在压电片一部分表面上，该表面与连接到压电片的后表面上的空腔板的结合表面相对。

空腔板的表面上没有形成压力室的那部分区域(即压力室的周边区域)构成了压电片和空腔室的结合表面，并且当驱动区域的各个单独电极的接触部分和压电片的连接部分的接触部分设置在压电片与压力室相对的表面上(即在压力室上方)时，当把板放到压电片上并且连接板时，这时会产生一个问题，即压力通过接触部分施加到压电片上，并且压电片没有被空腔板支撑的区域会变形和损坏。

根据本发明的另一个方面，当驱动区域的各个单独电极的接触部分和压电片的连接部分的接触部分形成在空腔板的结合表面上方的压电片的表面上时，当把板放到压电片上并且连接了板时，能够防止损坏压电片。因此，能够提高产量。

另外，在空腔板中，优选在与驱动区域和非驱动区域的各个单独电极对应的位置上设置压力室。在与驱动区域和非驱动区域的各个单独电极对应的位置上设有压力室的空腔板连接到压电片的后表面上。

至于设置在非驱动区域、并不起到原始单独电极作用的虚拟单独电极，不必在空腔板中初始提供与之对应的压力室。但是，当不提供压力室时，由于空腔板与压电片在非驱动区域侧的结合区域变宽，在驱动区域和非驱动区域之间的边界处会发生压电片的不均匀变形。

根据本发明的另一个方面，当对应于非驱动区域的单独电极也设有虚拟压力室时，空腔板和压电片在非驱动区域的连接模式变得与在驱动区域中的连接模式基本一样。因此，在驱动区域和非驱动区域之间的边界处能够避免产生在压电片中的不均匀变形。

尽管在上面已经描述了喷墨头的结构，当使用第一到第十四个方面的喷墨头来构造第十五个方面的喷墨打印机时，能够制造出具有优异成像质量和非常好的耐用性的喷墨打印机。另外，由于提高了喷墨头的产量，可以更便宜地提供喷墨打印机。

根据本发明的另一个方面，在根据第十六个方面的制造喷墨头的方法中，在包括内部电极的、片层状压电材料的表面上的驱动区域中和环绕驱动区域以等间隔形成多个单独电极，然后，烧结其中形成了单独电极的压电材料，从而形成了压电片，它包括在驱动区域中和环绕驱动区域以等间隔设置的多个单独电极，并且其中包括与各个单独电极相对的内部电极。然后，电连接压电片的驱动区域中的各个单独电极和形成在板上用以施加驱动电压来驱动压电片的单独电极，并且制造了喷墨头。

当利用烧结制造压电片时，在存在单独电极的区域和不存在单独电极的区域之间会发生压电材料的收缩率的变化，并且在压电片的各个部分会发生特性的变化。但是，当在非驱动区域中也形成单独电极时，然后再烧结压电材料，那么烧结时驱动区域和非驱动区域的条件变得基本相同。因此，在烧结后的压电片中，在驱动区域和非驱动区域之间的边界中不会发生特性变化，并且在驱动区域能够得到一致的排墨特性。因此，能够制造具有高性能的喷墨头。

附图说明

通过下面的详细描述并且结合附图，本发明的这些和其它目的和优点将变得非常明显，其中

图1是示出根据本发明的喷墨打印机1的大致结构的框图；

图2是分解透视图，示出了喷墨头9的大致结构；

图3是分解透视图，示出了喷墨头9的层压结构；

图4是示意性剖面视图，示出了喷墨头9的层压结构；

图5是示出喷嘴板100结构的平面图；

图6是示出第一集管板300的表面的结构的平面图；

图7是示出第二集管板400的表面的结构的平面图；

图8是示出第三集管板500的表面的结构的平面图；

图9A是示出设在供应板600中的、用来供墨的通孔612的结构的放大平面图；

图9B是示出通孔612的结构的放大剖视图；

图10是示出设在供应板600中的供墨口601的结构的放大平面图；

图11是示出设在孔板700中用来把墨引入的压挤部分712结构的平面图；

图12是示出空腔板900表面的结构的平面图；

图13是示出压电片10的表面的结构的平面图；

图14A是压电片10的表面的右侧顶端部分的放大平面图；

图14B是右侧尾端部分的放大平面图；

图15A是形成在压电片10上的单独电极11、12a的放大平面图；

图15B是单独电极12b的放大平面图；

图16A是压电片10的单独电极11、12a的放大剖视图；

图16B是单独电极12b的放大剖视图；

图17是示出形成在压电片10上的公共电极31的结构的放大剖视图；

图18是压电片10的部分透明平面图，示出了设在空腔板900中的墨压力室911、虚拟墨压力室912相对于设在压电片10上的各个电极之间的位置关系；

图19是剖视图，示出了设置FPC板50前的喷墨头9的结构；

图20是FPC板50的平面图，示出了垫52和53的布置；

图21A是FPC板50表面的右侧顶端部分的放大平面图；

图21B是它的右侧尾端部分的放大平面图；

图22是FPC板50的放大剖视图，示出了垫52、53的大致结构；

图23A是剖视图，示出了FPC板50的垫52和压电片10的单独电极11的连接模式；

图23B是剖视图，示出了FPC板50的垫53和压电片10的公共电极32的连接模式；和

图24是框图，示意性地示出了FPC板50的电结构。

具体实施方式

下面参考附图描述本发明的实施例。图1是示出喷墨打印机1结构的框图，喷墨打印机1包括喷墨头9，本发明将应用到喷墨头9上。

这个实施例的喷墨打印机1包括由微型计算机等组成的控制部分3，PC接口5(USB接口是一个典型例子)，由输送辊等组成的纸张输送部分6，配备有用户操作喷墨打印机1所需要的各种键的操作部分7，充满墨的墨箱8，连接墨箱8的喷墨头9等，喷墨头9用墨箱8提供的墨形成墨滴，并且将它们从喷嘴111喷出。

个人计算机(PC)等通过PC接口5与喷墨打印机1连接。当通过PC接口5从外部(PC)接收到图像数据时，对喷墨打印机1执行控制的控制部分3控制纸张输送部分6，从而从未示出的馈纸盘中抽出纸张，并且向喷墨头9输送纸张。另一方面，控制部分3使得喷墨头9在主扫描方向上扫描，并且根据从外部(PC)得到的图像数据控制喷墨头9，从而墨滴从喷墨头9的喷嘴111中喷出，并且根据从外部(PC)得到的图像数据利用墨滴在纸张上形成图像。这时，在操作喷墨头9的同时在副扫描方向上纸张输送部分6输送纸张。另外，在成像后，控制部分3把其上形成了图像的纸张排出到未示出的纸张输出盘上，并且结束打印操作。

图2是分解透视图，示出了喷墨打印机1的喷墨头9的大致结构。图3是分解透视图，示出了喷墨头9的层压结构，图4是示意性剖面视图，示出了喷墨头9的层压结构。

这个实施例的喷墨头9具有这样一种结构，即多个大致为长方形的薄金属板层压在一起。具体地说，喷墨头9是一个9层结构，其中9个大致长方形的薄金属板层压在一起，并且如图2到4所示，从下面的层开始，喷嘴板100，盖板200，第一集管板300，第二集管板400，第三集管板500，供应板600，孔板700，基板800和空腔板900按顺序层压在一起。

四个大致为梯形的板型压电片10分别层压在空腔板900的表面(即上表面)上，它们彼此不重叠。柔性印刷电路板(下面称之为“FPC”板)50的顶端部分51设在每个压电片10的上侧，并且与压电片10电连接。顺便提及，在空腔板900中绕着各个层压的压电片10设有与墨箱8连通的供墨口901。

下面描述各个板。图5是示出喷嘴板100结构的平面图，图6是示出第一集管板300的表面的结构的平面图。另外，图7是示出第二集管板400的表面的结构的平面图，图8是示出第三集管板500的表面的结构的平面图。

如图3到5所示，在喷嘴板100中，四个近似梯形区域110中的每个区域成为一组，并且与所需的打印密度一致地设有很多具有微小直径的喷墨喷嘴111。另外，在盖板200的表面上，四个近似梯形区域210中的每个区域成为一组，并且设有很多起到墨通道作用、具有微小直径的通孔211。盖板200的各个通孔211所设置的位置与喷嘴板100的各个喷嘴111相对，并且当盖板200和喷嘴板100层压在一起时，各个通孔211与喷嘴板100的各个喷嘴111连通。

另外，如图6所示，在第一集管板300中，设有很多起到墨通道作用、具有微小直径的通孔311。各个通孔311所设置的位置与盖板200的各个通孔211相对(见图4)，并且当第一集管板300和盖板200层压在一起时，各个通孔311与盖板200的各个通孔211连通。

另外，在长度方向上，在第一集管板300中形成了构成墨集管流动通道2(见图4)的凹槽贯通部分312。顺便提及，前述的通孔311设置在凹槽贯通部分312的外周和凹槽贯通部分312所环绕的多个浮岛部分313中。

另外，构造多个浮岛部分313使得它们的下侧由多个半蚀刻连接件314所支撑。顺便提及，每个形成的连接件314的厚度是第一集管板300的厚度的一半。另外，设有多个在凹槽贯通部分312中延伸的供墨部分315。

另一方面，如图7所示，在第二集管板400中的长度方向上形成了两个构成墨集管流动通道2的凹槽贯通部分412。第二集管板400的各个凹槽贯通部分412所设置的位置与第一集管板300的凹槽贯通部分312相对，并且当第二集管板400和第一集管板300层压在一起时，凹槽贯通部分412和第一集管板300的凹槽贯通部分312连通(见图4)。

另外，在凹槽贯通部分412的外周和凹槽贯通部分412所围绕的多个浮岛部分413中设有很多作为墨通道的、直径很微小的通孔411。第二集管板400的各个通孔411所设置的位置与第一集管板300的各个通孔311相对，并且当第二集管板400和第一集管板300层压在一起时各个通孔411和第一集管板300的各个通孔311连通。

另外，多个浮岛部分413由其上侧为半蚀刻的多个连接件414支撑。顺便提及，所形成的每个连接件414的厚度是第二集管板400的厚度的一半。

另外，所提供的多个供墨部分415在凹槽贯通部分412中延伸。第二集管板400的供墨部分415所处的位置与第一集管板300的供墨部分315相对，并且当第二集管板400和第一集管板300层压在一起时，供墨部分415与第一集管板300的供墨部分315连通。

另外，如图8所示，在第三集管板500中的长度方向上形成了两个构成墨集管流动通道2的凹槽贯通部分512。第三集管板500的各个凹槽贯通部分512所设置的位置与第二集管板400的各个凹槽贯通部分412相对，并且当第三集管板500和第二集管板400层压在一起时，凹槽贯通部分512和第二集管板400的凹槽贯通部分412连通。

另外，在凹槽贯通部分512的外周和凹槽贯通部分512所围绕的多个浮岛部分513中设有很多作为墨通道的、直径很微小的通孔511。第三集管板500的各个通孔511所设置的位置基本与第二集管板400的各个通孔411相对，并且当第三集管板500和第二集管板400层压在一起时各个通孔511和第二集管板400的各个通孔411连通。

另外，多个浮岛部分513的结构为它们由其上侧为半蚀刻的多个连接件514支撑。顺便提及，所形成的每个连接件514的厚度是第三集管板500的厚度的一半。

另外，所提供的多个供墨部分515在凹槽贯通部分512中延伸。第三集管板500的各个供墨部分515所处的位置与第二集管板400的供墨部分415相对，并且当第三集管板500和第二集管板400层压在一起时，供墨部分515与第二集管板400的供墨部分415连通。

下面描述供应板600、孔板700、基板800和空腔板900。顺便提及，图9A是设在供应板600中的通孔612的放大平面图，图9B是它的放大剖视图。图10是设在供应板600中的供墨口601的放大平面图。图11是示出设在孔板700中用来把墨引入的压挤部分712结构的平面图。另外，图12是示出空腔板900一个表面的结构的平面图。

在供应板600中，四个近似梯形的区域610(见图3)中的每个区域构成一组，并且设有很多用作墨通道的、具有微小直径的通孔611和许多用来把墨引入的、具有微小直径的通孔612(见图4)。如图9所示，在供应板600的每个通孔612中，设有很多防止灰尘进入墨中的过滤器孔613。

供应板600的各个通孔611所设置的位置与第三集管板500的通孔511相对，并且当供应板600和第三集管板500层压在一起时，通孔611与第三集管板500的通孔511连通。

另一方面，供应板600的各个通孔612所设置的位置与第三集管板500的两个凹槽贯通部分512相对，并且当供应板600和第三集管板500层压在一起时，通孔612与第三集管板500的两个凹槽贯通部分512中的一个连通。

另外，在供应板600中，在四个近似梯形的区域610的外侧设有多个直径较小的、用来供墨的供墨口601(见图3)。供应板600的各个供墨口601所设置的位置与第三集管板500的各个供墨部分515相对，并且当供应板600和第三集管板500层压在一起时，各个供墨口601与第三集管板500的各个供墨部分515连通。另外，在供应板600的每个供墨口601中，设有很多防止灰尘进入墨中的过滤器孔602。

另外，在孔板700中，如图4所示，四个近似梯形的区域710中的每个区域构成一组，并且设有很多用作墨通道的、具有微小直径的通孔711和很多用来把墨引入的压挤部分712。孔板700的各个通孔711所设置的位置与供应板600的各个通孔611相对，并且当孔板700和供应板600层压在一起时，各个通孔711与供应板600的各个通孔611连通。

另一方面，如图11所示，孔板700的每个压挤部分712由进墨口713、出墨口714与连接进墨口713和出墨口714的凹槽贯通部分715构成。每个压挤部分712的进墨口713所设置的位置与供应板600的每个通孔612大致相对，并且当孔板700和供应板600层压在一起时，进墨口713与供应板600的每个通孔612连通。

另外，在孔板700中，在四个近似梯形的区域710的外侧设有多个用来供墨的供墨口701(见图3)。孔板700的各个供墨口701所设置的位置与供应板600的各个供墨口601相对，并且当孔板700和供应板600层压在一起时，各个供墨口701与供应板600的各个供墨口601连通。

另外，在基板800中，四个近似梯形的区域810中的每个区域构成一组，并且设有很多用作墨通道的、具有微小直径的通孔811和用来把墨引入的、具有微小直径的通孔812。基板800的各个通孔811所设置的位置与孔板700的各个通孔711相对，并且当基板800和孔板700层压在一起时，各个通孔811与孔板700的各个通孔711连通。

另一方面，基板800的各个通孔812所设置的位置与孔板700的各个压挤部分712的出墨口714相对，并且当基板800和孔板700层压在一起时，各个通孔812与孔板700的各个压挤部分712的出墨口714连通。

另外，在基板800中，在四个近似梯形的区域810的外侧设有多个用来供墨的供墨口801(见图3)。各个供墨口801所设置的位置与各个供墨口701相对，并且当基板800和孔板700层压在一起时，各个供墨口801与孔板700的各个供墨口701连通。

另外，在空腔板900中，四个近似梯形的区域910中的每个区域构成一组，并且设有很多与所需打印密度对应的、排列成矩阵形式的墨压力室911和912，它们在压电片10侧和基板800侧具有开口端(见图12)。也就是说，空腔板900的各个墨压力室911和912在长度方向上和水平方向上以等间隔布置。

墨压力室912是所谓的虚拟墨压力室，它与充满墨的真正的墨压力室911类似并且和墨压力室911具有基本相同的形状，墨压力室912形成在设置墨压力室的注墨区域913的外周上。

除了虚拟墨压力室912以外的各个墨压力室911的顶端部分所设置的位置基本与基板800的各个通孔811相对，并且当空腔板900和基板800层压在一起时，顶端部分与基板800的各个通孔811连通(见图4)。也就是说，墨压力室911的数目等于基板800的通孔811的数目。

另一方面，各个墨压力室911的尾端部分所设置的位置与基板800的各个通孔812相对，并且当空腔板900和基板800层压在一起时，尾端部分与基板800的各个通孔812连通。

另外，在空腔板900中，在四个近似梯形的区域910的外侧设有多个用来供墨的供墨口901。空腔板900的各个供墨口901所设置的位置与基板800的各个供墨口801相对，并且当空腔板900和基板800层压在一起时，各个供墨口901与基板800的各个供墨口801连通。顺便提及，正方形压电片10的后表面连接到空腔板900的表面上。

下面将描述压电片10。顺便提及，图13是示出压电片10的表面的结构的平面图，图14A是压电片10的表面的右顶端部分的放大平面图，和图14B是右尾端部分的放大平面图。另外，图15A是形成在压电片10上的单独电极11、12a的放大平面图，图15B是单独电极12b的放大平面图。图16A是形成在压电片10上的单独电极11、12a的放大剖视图，图16B是单独电极12b的放大剖视图。

另外，图17是示出形成在压电片10上的公共电极31的结构的放大剖视图，图18是压电片10的部分透明平面图，示出了设在空腔板900中的墨压力室911、虚拟墨压力室912以及设在压电片10上的各个电极之间的位置关系。另外，图19是剖视图，示出了设置FPC板50前的喷墨头9的结构。

如图13所示，在这个实施例的压电片10中，许多单独电极11、12a和12b形成与所需打印密度对应的矩阵形式。压电片10的各个单独电极11所设置的位置与空腔板900的各个墨压力室911相对，并且当压电片10层压在空腔板900上时，压电片10把空腔板900的各个墨压力室911和912的上部堵住，各个单独电极11设置在空腔板900的各个墨压力室911的上部(见图18和19)。另外，各个单独电极12a和12b所设置的位置与空腔板900的各个墨压力室912相对，并且当压电片10层压在空腔板900上时，各个单独电极12a和12b设置在空腔板900的各个墨压力室912的上部。

顺便提及，单独电极12a和12b是所谓的虚拟单独电极，它们与单独电极11具有基本相同的形状。与在施加驱动电压时把墨压入墨压力室911的真实单独电极11类似，单独电极12a和12b形成在定位于驱动区域13a外周的非驱动区域13b中，而单独电极11则位于驱动区域13a中。也就是说，单独电极11、12a和12b以同样的图案、相等的间隔设置在单独电极形成区域13中，而单独电极形成区域13则由设在压电片10中间部分的驱动区域13a和非驱动区域13b组成。顺便提及，单独电极形成区域13的外部是不形成单独电极11、12a和12b的区域，并且在单独电极形成区域13的边界上，一部分单独电极12a和12b形成为槽形。

另外，在不包括位于压电片10下底部的单独电极12b的每个虚拟单独电极12a中和压电片10的每个单独电极11中，在延伸部分16的一端形成了凸起接触焊盘部分17，延伸部分16从形成了与墨压力室911、912相对的表面的单独电极11、12a的相对部分15延伸出来(见图15和16)。

另外，尽管位于梯形压电片10下底部的单独电极12b由与单独电极11、12a具有相同形状的相对部分15和延伸部分16构成，延伸部分16没有接触焊盘部分17。

顺便提及，单独电极11、12a的接触焊盘部分17设在空腔板900的每个墨压力室911和912的周边区域的压电片10和空腔板900之间的连接表面SS上。也就是说，接触焊盘部分17形成的位置在与每个墨压力室911和912相对的压电片10的区域外部。

另外，如图16所示，这个实施例的压电片10所具有的结构使得第一压电层21和第二压电层23、24层压在一起，并且在第一压电层21和第二压电层23之间包括与单独电极11、12a、12b相对的内部电极22。内部电极22经过多个通孔33电连接形成在压电片10表面的、作为导体图案的公共电极31和32，其中通孔33位于梯形的四个角部并且充满导电材料。

另外，各个公共电极31和32设在压电片10的角部区域中，单独电极形成区域13没有包括这些角部区域，而单独电极11、12a和12b则在单独电极形成区域13中形成在压电片10的表面上。

角部区域是没有形成单独电极11、12a和12b的非单独电极形成区域，公共电极31分别设在梯形压电片10下底侧(即板50延伸方向的后端一侧)角部，并且公共电极32设在压电片10上底侧(即顶端侧)角部。

公共电极31形成为由板侧连接部分34和内部电极侧连接部分35构成的L型，在板侧连接部分34中形成多个凸起接触焊盘部分37，而内部电极侧连接部分35则从板侧连接部分34延直线延伸出来，并且设有三个通孔33从内部电极侧连接部分35延伸到内部电极22。具体地说，设置三个接触焊盘部分37形成三角形(即位于一个三角形的顶点)。

另一方面，公共电极32为直线型，并且它所具有的结构使得多个凸起接触焊盘部分37设置在压电片10的角部一侧并且沿着压电片10的顶端边沿(上底侧一侧)。另外，公共电极32在与压电片10角部相对一侧连接多个(具体说是3个)通孔33，并且经过通孔33电连接到压电片10的内部电极22。顺便提及，公共电极31和32的接触焊盘部分37设在环绕墨压力室911和912的空腔板900和压电片10之间的连接表面SS(即墨压力室911和912外部的位置)上。

另外，在压电片10中，通过把压力传递给空腔板900和压电片10之间的连接表面而实现空腔板900和压电片10之间均匀连接的突出部分18设在接触焊盘部分17中。顺便提及，在这个实施例中，突出部分18与接触焊盘部分17和37制造成具有相同的形状和相同的高度。

下面描述FPC板50的大致结构。顺便提及，图20是FPC板50的平面图，示出了垫52和53的布置。图21A是FPC板50表面的右侧顶端部分的放大平面图，图21B是右侧尾端部分的放大平面图(在图21中，以透明的形式示出了下层的单独电极)。另外，图22是FPC板50的放大剖视图，示出了设在FPC板50上的垫52、53的大致结构和接线层54。

另外，图23A是剖视图，示出了作为FPC板50的单独电极的垫52和压电片10的单独电极11的连接模式，图23B是剖视图，示出了FPC板50的垫53和压电片10的公共电极31、32的连接模式。另外，图24是框图，示出了FPC板50的电结构。

FPC板50中包括接线层54，并且顶端部分51包括垫52和53，它们通过使得构成接线层54的导体部分地暴露出来而形成。设置垫52和53使其图案与压电片10的接触焊盘部分17和37一样。

也就是说，各个垫52所设置的位置与压电片10的单独电极11的接触焊盘部分17(换言之，不是单独电极12a的接触焊盘部分的接触焊盘部分17)相对，并且每个垫52设有镀镍层55和焊接层56，其中镀镍层55连接到形成在压电片10的单独电极11中的接触焊盘部分17上。

另一方面，各个垫53所设置的位置与公共电极31和32的接触焊盘部分37相对。与垫52类似，每个垫53设有镀镍层55和焊接层56，其中镀镍层55连接到形成在压电片10的公共电极31和32中的接触焊盘部分37上。

具有上述结构的FPC板50设置在压电片10上，并且当利用热压粘接进行焊接时，FPC板50的各个垫52通过焊接层56连接到压电片10的各个单独电极11的接触焊盘部分17上，并且电连接相对的单独电极11。另一方面，各个垫53通过焊接层56连接到压电片10的各个公共电极31和32的接触焊盘部分37上，并且电连接相对的公共电极31和32。另外，利用这种焊接，FPC板50固定到压电片10上。

顺便提及，这时压电片10的各个单独电极11和垫52的每个连接部分的周边覆盖有作为施加到单独电极11上的绝缘树脂的N.C.P19。类似地，压电片10的各个公共电极31和32和垫53的每个连接部分的周边覆盖有作为施加到各个公共电极31和32上的绝缘树脂的N.C.P19。另外，单独电极12a和12b没有连接FPC板50，而是利用板50的接线层54处于非电连接状态。

如图24所示，这样连接到压电片10上的FPC板50包括驱动电路60，并且垫53接地。另外，通过控制部分3的控制，FPC板通过垫52给压电片10的单独电极11施加正驱动电压，并且驱动压电片10。

当使用FPC板50给单独电极11施加驱动电压时，位于施加了驱动电压的单独电极11正下方的压电片10的第一压电层21和第二压电层23和24在朝向墨压力室911的方向上变形，并且挤压墨压力室911中的墨。这样，墨滴从与墨压力室911连通的喷嘴111中排出。

下面描述墨在喷墨头9中的流动。

如图1所示，从下面的层开始，当喷嘴板100，盖板200，第一集管板300，第二集管板400，第三集管板500，供应板600，孔板700，基板800，空腔板900和压电片10按顺序层压在一起时，从喷嘴板100的喷嘴111喷出的墨的流动通道在图19的剖视图中示出。

首先从墨箱8把要从喷嘴板100的喷嘴111中喷出的墨提供给墨集管流动通道2。顺便提及，从墨箱8向墨集管流动通道2的供墨通过供墨通道进行，其中空腔板900的供墨口901、基板800的供墨口801、孔板700的供墨口701、供应板600的供墨口601、第三集管板500的供墨部分515、第二集管板400的供墨部分415、第一集管板300的供墨部分315彼此连通。这时，在供应板600的供墨口601中，过滤器孔602把墨中的灰尘去掉。

墨集管流动通道2由第三集管板500的凹槽贯通部分512、第二集管板400的凹槽贯通部分412和第一集管板300的凹槽贯通部分312形成。流经墨集管流动通道2的墨通过供应板600的通孔612、孔板700的压挤部分712的进墨口713、凹槽贯通部分715、出墨口714和基板800的通孔812进入空腔板900的墨压力室911。这时，在供应板600的通孔612中，过滤器孔613把墨中的灰尘去掉。

当在上述状态通过FPC板50把驱动电压施加到压电片10的单独电极11上时，压电片10向空腔板900的墨压力室911一侧变形。然后这时空腔板900的墨压力室911中的墨压出到基板800的通孔811。

压出到基板800的通孔811的墨通过基板800的通孔811、孔板700的通孔711、供应板600的通孔611、第三集管板500的通孔511、第二集管板400的通孔411、第一集管板300的通孔311和盖板200的通孔211从喷嘴板100的喷嘴111中排出。

下面描述一种制造具有上述结构的喷墨头9的方法。顺便提及，制造喷嘴板100，盖板200，第一集管板300，第二集管板400，第三集管板500，供应板600，孔板700，基板800，空腔板900的方法是已知的，在这里略去制造它们的详细过程，下面将详细描述压电片10的制造过程，压电片10和空腔板900的粘结过程，以及FPC板50的连接过程。

在压电片10的制造过程中，首先混合具有铁电性的锆酸钛酸铅(PZT)陶瓷粉末和树脂，然后形成两个梯形的基片，它们将成为第一压电层21与第二压电层23和24。

然后针对一个基片(下面称之为第一基片)，在角部区域形成通孔33，并且把导电填充剂注入通孔33。随后，把掩模放在第一基片上，其中在与单独电极11、12a、12b对应的位置上设有与前述单独电极具有相同形状外沿的孔，在与公共电极31对应的位置上设有与前述公共电极31具有相同形状外沿的孔，在与公共电极32对应的位置上设有与公共电极32具有相同形状外沿的孔。然后，在掩模上涂上导电浆料，这样就在第一基片上形成了单独电极11、12a、12b和公共电极31和32的电极图案。

另外，针对另一个基片(下面称之为第二基片)，在基片的整个表面上印制导电浆料，这样就形成了内部电极22的电极图案。

随后，第一和第二基片彼此叠放，并且烧结叠放层，从而制备出压电片10。顺便提及，可以在第二基片上形成内部电极22的电极图案之后，并且把第一基片层压在第二基片上之后，再形成与单独电极11、12a、12b和公共电极31和32对应的电极图案。

随后，把压电片10设置在空腔板900表面上的预定位置处，然后粘结并且固定。顺便提及，在进行这个过程的同时，基板800、孔板700、供应板600、第三集管板500、第二集管板400、第一集管板300、盖板200和喷嘴板100连接到空腔板900的下层上。

另一方面，利用已知的方法制备FPC板50。在设在FPC板50上的每个垫52和53中形成镀镍层55和焊接层56。随后，FPC板50设置在压电片10上。

然后，利用热压粘接把FPC板50焊接到压电片10上。这时，垫52连接单独电极11(不包括单独电极12a、12b)的接触焊盘部分17，垫53连接公共电极31和32的接触焊盘部分37。通过这样的连接，板50的垫52和53电连接接触焊盘部分17和37，并且完成了这个实施例的喷墨头9。

上面已经描述了喷墨打印机1、喷墨头9和制造喷墨头9的方法。在喷墨头9中，由于在真正单独电极11的外周设有虚拟单独电极12a、12b，在驱动区域13a中不会发生压电片10的不均匀变形，并且墨能够从各个喷嘴111中均匀排出。

另外在这个实施例中，在与虚拟单独电极12a、12b对应的位置上设有虚拟墨压力室912，所以在驱动区域13a和非驱动区域13b之间的边界上不会发生周围结构的差异，并且在各个喷嘴中墨排出特性变得均匀。

当不存在虚拟墨压力室912时，由于空腔板900和压电片10在非驱动区域13b一侧的连接区域变宽，驱动区域13a和非驱动区域13b之间边界的影响会导致压电片10的不均匀变形。但是，当象这个实施例那样设有虚拟墨压力室912时，由于空腔板900和压电片10的连接模式在非驱动区域13b一侧和驱动区域13a一侧基本相同，墨可以从各个喷嘴11中均匀排出。

另外，在这个实施例中，在压电片10的表面上设有公共电极31和32，从而内部电极22通过通孔33引到压电片10的表面侧。这时，由于内部电极22和公共电极31、32通过多个通孔33电连接，即使一个通孔33由于损坏等原因断裂，内部电极22和公共电极31和32之间的电连接能够通过其它通孔33保持。因此，根据这个实施例，能够提供具有很高耐用性和可靠性的喷墨头9。

另外在这个实施例中，在压电片10的表面上的单独电极形成区域13外部的位置设有公共电极31和32，所以在靠近公共电极31和32的驱动区域13a中不会发生压电片10的不均匀变形。

由于公共电极31和32设在单独电极11附近时，公共电极31和32成为单独电极11的相反极，在与离开公共电极31和32的单独电极11对应的区域和与靠近公共电极31和32的单独电极11对应的区域之间发生压电片10的变形模式的差别。但是，在这个实施例中，由于在离驱动区域13a的单独电极11最远的位置设有公共电极31和32，所以能够避免压电片10中的不均匀变形，并且能够避免发生墨排放特性的不均匀情况。

顺便提及，在这个实施例中，由于利用焊接把垫52和53与接触焊盘部分17和37连接在一起而实现把FPC板50固定到压电片10上，这样即使在剥离方向上的力施加到FPC板50上，负载施加到垫52、53和单独电极11/公共电极31、32之间的连接部分上，最坏的情况是存在该部分断裂的可能。

另一方面，在这个实施例中，在压电片10的表面上、FPC板50后端侧处的一端设有公共电极32，并且接触焊盘部分37在该端设置成三角形，所以加强了FPC板50和压电片10之间的连接。

在公共电极32中，由于所设置的接触焊盘部分37形成三角形，这样即使在各个不同方向施加力，也很难使得公共电极32和垫53之间的连接断裂。因此，根据这个实施例，能够提供具有很好耐用性的喷墨头9。

另外，在这个实施例中，除了公共电极32外，还在压电片10的上底侧的角部设有公共电极31，并且压电片10固定到FPC板50上。这样，即使剥离方向上的力施加到FPC板50上，公共电极31和32与垫53之间的连接仍然能保持得很好。

另外在这个实施例中，由于接触焊盘部分17和37从外周伸出，在利用压力粘结FPC板50和压电片10时，能够防止损坏压电片10。当相对于周边形成平坦的接触焊盘部分17和37时，如果在热压粘结时有微小的灰尘粘结在压电片10的表面上，压力有可能施加到与空腔板900的墨压力室911和912相对的压电片10的区域上。

这时，由于在墨压力室911和912上部的压电片10没有得到空腔板900的支撑，当施加了压力时，很可能发生损坏。在这个实施例中，由于凸出的接触焊盘部分17和37能够防止这种状态，所以能够制造具有很高可靠性的喷墨头9。

顺便提及，接触焊盘部分17和37形成在压电片上与压电片10和空腔板900的连接表面相对的那部分表面上(即与墨压力室911和912相对的表面的外部的位置)，所以压接触焊盘部分17和37不会损坏压电片10。

另外在这个实施例中，由于在压电片10上设有突出部分18，当压电片10粘结到空腔板900上时，就防止了在空腔板900和压电片10的连接表面上发生不均匀粘结。当从压电片10的上部施加压力时，这个力通过接触焊盘部分17和37传递到压电片10和空腔板900的连接表面上，并且如果这时不存在突出部分18，施加到连接表面上的压力在每个接触焊盘部分17和37的外周与其它区域之间变得不均匀，并且这样会发生不均匀粘结。另一方面，当象这个实施例这样设有突出部分18时，由于在施压的时候力通过接触焊盘部分17、37和突出部分18均匀地传递到压电片10和空腔板900的连接表面上，压电片10的后表面能够均匀地粘结到空腔板900上。当得到上述的均匀粘结时，各个喷嘴111的墨排放特性变得均匀，并且提高了喷墨头9的性能。

另外在这个实施例中，单独电极11的接触焊盘部分17的高度与公共电极31和32的接触焊盘部分37的高度(从压电片10的第一层2 1的表面算起的高度)相同，所以板50的垫52和53能够均匀地连接接触焊盘部分17和37。因此，根据这个实施例，可以避免在装配时局部载荷施加到板50或压电片10上，并且能够避免出现导致不良接触发生的接触焊盘部分17和37。

另外在这个实施例中，各个接触焊盘部分17和37具有相同的尺寸和形状，并且所焊接的各个接触焊盘部分17和37的表面区域基本一样。

当接触焊盘部分17和37与垫52和53通过焊接连接时，如果各个接触焊盘部分17和37的表面区域不同，附着到接触焊盘部分17和37上的焊料量会有变化。于是在这种情况下，对于接触焊盘部分17和37来说，可能发生在焊料量很大的地方不是所有的焊料都溶化了，从而连接变得不完全，而且在焊料量过少的地方焊料都蒸发掉了，从而连接也变得不完全。

另一方面，在这个实施例中，由于接触焊盘部分17和37的表面区域基本一样，就能够使得接触焊盘部分17和37中的焊料量很均匀，并且能够防止发生接触焊盘部分17和37的不完全连接。因此，根据这个实施例，能够提供具有很高可靠性的喷墨头9。

顺便提及，根据本发明的喷墨头、喷墨打印机和制造喷墨头的方法不限于上述实施例，能够采用各种变化形式。

在上述实施例中，尽管已经说明了一种喷墨头9，其中在所包括的压电片10中单独电极11、12a和12b布置为二维矩阵形式，本发明也可以用于其它的喷墨头中，例如其中只在一个方向布置单独电极。

另外，在上述实施例中，尽管驱动电路60设在FPC板50中，也可以与FPC板50分开设置驱动电路60。这时FPC板50只是一个接线板，它起到连接线的作用，即把单独电极11和公共电极31和32连接到驱动电路上。

另外，多个单独电极11、12a和12b的布置不限于矩阵形式，并且只要能保证其规则性就可以采用任何的布置形式。

出于说明和描述的目的已经给出了对本发明优选实施例的前述描述。这并不意味着上面给出了所有可能的实施例或者把本发明限制在所披露的具体形式中，通过学习上面对本发明的描述并加以实践能够得到本发明的各种改进和变化。这里所选择和描述的实施例是为了解释本发明的原理和实际应用，从而使得本领域技术人员能够根据实际需要以不同的实施例和不同的改进来应用本发明。本发明的范围由所附权利要求及其等效体来限定。

Claims (16)

1.一种喷墨头，包括：

一个压电片，包括：

一个电极形成区域，它在压电片的一个表面上具有驱动区域和环绕驱动区域的非驱动区域；

多个单独电极，它们在电极形成区域上形成；

一个内部电极，它形成在压电片的内部，并且与电极形成区域的各个单独电极对应；和

一个板，它电连接压电片的驱动区域中的各个单独电极，在压电片的非驱动区域中，板处于不与各个单独电极电连接的状态，并且把驱动电压施加到形成在压电片的驱动区域中的各个单独电极上。

2.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

通过在包括内部电极的片层状压电材料的表面上以相等间隔在驱动区域中和环绕驱动区域形成多个单独电极，并且烧结其中形成了单独电极的压电材料来制备压电片。

3.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

在压电片的电极形成区域中多个单独电极布置为矩阵形式。

4.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

通过通孔电连接内部电极的连接部分形成在压电片的表面上。

5.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

连接部分通过至少两个或更多个通孔电连接内部电极。

6.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

连接部分设在远离压电片的表面上形成的电极形成区域的位置。

7.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

连接部分形成在压电片的表面上，并且位于板延伸的那一侧的端部，

板连接驱动区域的各个单独电极和与驱动区域以及连接部分的各个单独电极电连接的连接部分，和

板固定到压电片上。

8.根据权利要求4所述的喷墨头，其中，

压电片形成为正方形，

连接部分设在压电片的表面上的角部，和

板连接驱动区域的各个单独电极和连接部分，并且与之电连接，而且固定到压电片上。

9.根据权利要求4所述的喷墨头，其中设在板上的、连接到电极上的凸起接触部分形成在驱动区域的各个单独电极和压电片的连接部分上。

10.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

两个或更多个凸起接触部分形成在压电片的连接部分上。

11.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

形成在驱动区域的各个单独电极上的凸起接触部分的高度与形成在压电片的连接部分的凸起接触部分的高度基本相等。

12.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

压电片的连接部分的凸起接触部分和驱动区域的各个单独电极上的凸起接触部分焊接到设在板上的电极上，并且凸起接触部分的表面面积彼此基本相等。

13.根据权利要求9所述的喷墨头，其中，

喷墨头进一步包括空腔板，空腔板包括压力室，压力室在与驱动区域的各个单独电极对应的位置处朝压电片一侧敞开，并且空腔板连接到压电片的后表面，和

驱动区域的各个单独电极的接触部分和压电片的连接部分的接触部分设置在压电片的一部分表面上，这部分表面与连接到压电片的后表面上的空腔板的结合表面相对。

14.根据权利要求1所述的喷墨头，其中，

空腔板包括位于与驱动区域和非驱动区域的各个单独电极对应的位置处的压力室，空腔板连接到压电片的后表面。

15.一种喷墨打印机，包括：

一个喷墨头，包括：

一个压电片，包括：

一个电极形成区域，它在压电片的一个表面上具有驱动区域和环绕驱动区域的非驱动区域；

多个单独电极，它们在电极形成区域上形成；

一个内部电极，它形成在压电片的内部并且与电极形成区域的各个单独电极对应；和

一个板，它电连接压电片的驱动区域中的各个单独电极，在压电片的非驱动区域中，板处于不与各个单独电极电连接的状态，并且把驱动电压施加到形成在压电片的驱动区域中的各个单独电极上。

16.一种制造喷墨头的方法，包括：

制备包括内部电极的片层状压电材料；

在片层状压电材料的表面的驱动区域中和环绕驱动区域以等间隔形成多个单独电极；

烧结其中形成了单独电极的压电材料，从而形成了压电片，它包括在驱动区域中和环绕驱动区域以等间隔形成多个单独电极，并且包括在压电片中与各个单独电极相对的内部电极；和

电连接压电片的驱动区域中的各个单独电极和形成在板上用以施加驱动电压来驱动压电片的单独电极。

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