CN1550571A - 蒸发装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸发装置，可沿着长边方向释出均一的蒸镀物。是以电热加热器(12)覆盖用以收容蒸发材料的长尺坩埚(10)，并在此进行通电使坩埚(10)内部加热，接着，为了对该电热加热器(12)通电，乃设置使电热加热器(12)端部与电极(26)形成电性连接的连接板(28)，并以电阻值相异的多个金属板构成该连接板(28)。借此，有助于将连接板(28)的电阻值调整到适当的程度。

Description

蒸发装置

技术领域

本发明涉及使蒸发材料加热蒸发的蒸发装置。

背景技术

现有技术中，在利用各种物质形成薄膜时，都广泛利用蒸镀(尤其是真空蒸镀)。例如，因取代液晶显示器成为新一代的平面显示器而受到瞩目，且持续进行实用化研究的电致发光(Electro Luminescence：以下简称为EL)显示器，是在形成于该显示面板的作为有机EL元件的发光层等使用的有机薄膜与金属电极层的形成上，利用上述真空蒸镀。

在真空蒸镀装置中，是在真空的蒸镀室内配置具备良好的耐热性与化学安定性的坩埚，将放入坩埚内的蒸镀材料(蒸发材料)加热使之蒸发，以在被蒸镀物上形成蒸镀层。一般现有的真空蒸镀装置，其蒸镀源使用单一且呈点状的蒸镀源，是由该蒸镀源(蒸发装置)以放射状将蒸镀材料布在被蒸镀物表面，而在该被蒸镀物表面形成层。

但是，由于对显示器的大面积化的需求逐渐增加，而对于有机EL显示器的要求也不例外。因此，使用于有机EL显示器的蒸镀装置，必须能够应付形成元件的面板基板的大面积化，换言之，必须能够应付蒸镀面积的增大。

另一方面，例如，在中型、小型面板等方面，多个情况，是在一块大型基板(母基板)上同时形成多个面板，之后再切割分离成个别面板以进行所谓的多面制取。通过这种多面制取方式制造的中型、小型面板，为了进一步降低其制造成本，而必须将一块母基板予以大型化，以增加可同时制造的面板数，在该情况下，不仅必须对整个大型母基板进行蒸镀，而且需对应蒸镀面积的增大。

如上所述必须在大面积上进行蒸镀的情况中，在上述单一点状蒸镀源时，由于蒸镀源到膜形成位置的距离会随着被镀对象基板的位置产生极大的差异，故不易在基板上形成均一的蒸镀层。对于此一问题，例如在下述专利文献1中，乃提议采用长尺状蒸镀源，亦即线形蒸镀源以作为蒸镀源。此外，通过采用线形蒸镀源，其在原理上，可缩小基板的各位置与线形蒸镀源的距离差，而得以使在大面积基板上的蒸镀处理更为均一。

[专利文献1]

日本特开2001-247959号公报

发明内容

[发明所欲解决的课题]

显示器的发光亮度与发光色的不均匀会对显示品质造成极大的损害，故对于有机EL显示器亦强烈要求发光亮度等的均一性。如上述一般，在制造有机EL显示器时，是在发光层、电荷输送层与电荷注入层等有机层和金属电极等采用真空蒸镀法，但有机层是一种极薄的膜，其膜厚的不均对于造成发光亮度与发光色的不均有极大的影响。此外，因有机层形成于阳极与阴极的层间，当厚度不均时较容易产生因阳极与阴极间的短路所导致的显示缺陷。因此，例如在用以制造上述有机EL显示器等的蒸镀装置，乃要求其必须能够在广大的面积上形成精度极优良的蒸镀层。

在制造有机EL元件时若采用上述的线形蒸镀源，便容易在大面积基板上进行蒸镀。但是，即使单纯地使用线形蒸镀源以蒸镀形成元件的有机层等，仍存在有所获得的有机EL元件特性很不均的问题，而无法满足为追求有机EL显示器的实用化而要求的均一性。

关于该元件特性不均的原因，根据本申请人调查研究结果得知，将蒸镀源做成长尺状的线形蒸镀源时，由于蒸镀物质并不会在长边方向形成均一的释出，而造成极大的影响。因此，为了在广大的蒸镀面上形成均质的蒸镀层，在对应的方法上，必须使蒸镀材料由线形蒸镀源的长边方向的所有位置均一地释出。

因此，本发明的目的是在提供一种蒸发装置，可由长尺状坩埚的各个位置均一地释出蒸镀材料。

[解决课题的手段]

本发明是一种蒸发装置，包含有：上部开放之用以收容蒸发材料的细长型长尺坩埚；覆盖前述长尺坩埚的上部开放部，通过通电发热，加热前述长尺坩埚内的前述蒸发材料，且具备开口使经由加热汽化过的前述蒸发材料得以通过的电热加热器；以及为了对前述电热加热器通电，而用以电性连接电热加热器端部与蒸镀装置的电极的连接板，其特征为：前述连接板，是由电阻值相异的金属所形成的多个板材所构成。

如上所述，通过以多个金属构成连接板，可适度调整连接板的电阻值，且可调整连接板的发热量。借此，亦可将电热加热器的端部的温度调整成适当的温度，而得以均一地使坩埚内的蒸发材料加热汽化。因此，可由电热加热器的开口往长边方向均一地释出蒸发物。

因此，例如，将该蒸发装置用在对较大基板的蒸镀时，可通过使之朝着与坩埚的长边方向呈垂直的的方向移动，而使蒸发物均一地附着在基板上，以形成厚度均一的薄膜。

此外，前述连接板一方的金属，最好以电阻值较前述电热加热器低的良导电材料形成。借此，可将连接板的发热控制在所定量。

此外，前述连接板另一方的金属，最好是由具有与前述电热加热器相同的电阻值的电阻发热金属来形成。借此，可将连接板的发热量调整到适当程度。

前述良导电材料最好是铜，而前述电阻发热金属最好是钽。

此外，前述连接板中以铜形成的前述金属板，其至少一部份最好施加有金的电镀，且施加该金的电镀的部份最好与前述电热加热器端部形成面接触，以构成电性连接。

如此，通过在与铜电热加热器的面接触区域施加金的电镀，以确实进行两者的面接触。如此一来，可在重现性良好的状况下降低用以补充蒸发材料的电热加热器的拆装前后的接触电阻。

此外，前述电热加热器最好系以钽形成。

此外，本发明的其它型态，是一种蒸发装置，包含有：上部开放之用以收容蒸发材料的细长长尺坩埚；覆盖前述长尺坩埚的上部开放部，通过通电发热，加热前述长尺坩埚内的前述蒸发材料，且具备开口使经由加热汽化的前述蒸发材料得以通过的电热加热器；以及为了对前述电热加热器通电，而用以电性连接电热加热器端部与电极的连接板，其特征为：前述连接板，是由铜材所形成，且至少一部份系施加有金的电镀，该施加金的电镀部份与前述电热加热器端部形成面接触，而构成电性连接。

此外，本发明的其它型态，是利用上述蒸发装置，而将该蒸发装置所蒸发的蒸发物蒸镀在对象物的蒸镀装置。

[发明的效果]

如上所述，根据本发明，通过利用多个金属构成连接板，可将连接板的电阻值调整为适当的电阻值，同时亦可调整连接板的温度量。借此，不仅可适切地调整电热加热器端部的温度，同时亦可使坩埚内的蒸发材料均一的加热汽化。如此一来，即可由电热加热器的多个开口沿着长边方向均一地释出蒸发物。

因此，例如：将上述蒸发装置用在对较大型的基板进行蒸镀时，可通过使其移动于与坩埚10长边方向垂直的方向而在基板上形成均一的薄膜。

此外，通过在与电热加热器的面接压区域施加金的电镀，即可确实地进行两者的面接触。借此，在进行蒸镀材料的补充时，可在重现性良好的状态下，压低拆装电热加热器前后的接触电阻。

附图说明

图1是本发明的一实施型态的蒸发装置整体构造的图。

图2是覆盖坩埚的开口的电热加热器构造的剖面图。

图3是图2的坩埚与电热加热器的咬合部的放大图。

图4是将L字型角形材配置在电热加热器12侧端部(角部)的图。

图5是显示L字型角形材形状的斜视图。

图6是显示利用夹具固定坩埚、电热加热器以及L字型角形材的剖面图。

图7是显示夹具形状的斜视图。

图8系施加过金属镀覆坩埚的斜视图。

图9是显示施加于坩埚的金属镀覆高度的坩埚侧面图。

图10是显示位于真空室内蒸发装置的构造。

图11是显示通过连接板与电热加热器形成电性连接的图。

[元件符号说明]

10长尺坩埚(长方体形的坩埚)

12电热加热器                  12e   开口

12f舌面                       14    纸状材

20L型角形材                   24    夹具

25金属镀覆                    26    电极

28连接板                      28a   电阻发热金属板

28b良导电金属板               30    加热器托架

32板材                        34    螺帽

100支撑台                     102   脚

具体实施方式

以下根据附图说明本发明的实施型态。

图1，是显示与本实施型态相关的蒸发装置的整体构造。长尺状坩埚10形成上部开放的收容蒸发材料的容器。该坩埚10的整体，例如以石英形成的长方体形状，并将内部挖空而构成。亦可将棒状的石英内部挖空构成或以模具成形构成。例如做成长60cm、高4cm、宽4cm程度，系根据蒸镀对象(例如有机EL基板)的大小决定其尺寸。

该坩埚10的上部，利用电热加热器12覆盖密封，该电热加热器12，例如是由钽Ta形成，由沿着长边方向的两端设置的舌部12f与电源连接。其结果将使电流通并产生发热。一般而言该电流系直流但亦可为交流。此外，在电源加热器12的宽边方向的中央部，是沿着长边方向设置所定的多个缝隙(slit)状开口12e，并由此处释出蒸发物。

电热加热器12，如图2所示，具有：其周边部具有向下弯曲的侧壁的主体12a；与侧壁相同朝下形成于该主体12a周边部侧壁所定距离内侧的凸缘部12b；以及与主体12a只间隔一定距离形成的挡板12c。凸缘部12b，与主体12a的侧壁，以夹住坩埚10的上端部的方式，溶接成由主体12a的周边部向下突出的形状。亦即通过凸缘部12b与主体12a的侧壁，在主体周边部形成沟槽，再于该沟槽的内部插入坩埚10的上端部。

此外，坩埚10的上端部的沟与电热加热器12之间，如图3所示，介在有被称之为Gulafoil(注册商标)的织布或无纺布所形成的炭性纸状材14以作为衬垫之用。

此外，主体12a的中央部份形成所定个数的开口12e。该开口12e，朝着坩埚10的长边方向以多个整列配置在直线上。此外，开口12e的形状。是形成缝隙状的极细长的形状。借此，可将蒸发的材料蒸镀在基板的所定范围中。

此外，在电热加热器12的长边方向的侧端部上，如图4所示，配置有L字型的角形材20。该角形材20例如以与坩埚10相同的石英构成，并以覆盖电热加热器12的侧端部(角部)的方式配置。角形材20，例如形成长约9cm、上面与侧面的宽度约5mm、且厚度约1mm的大小。借此，以适合电热加热器12的上面侧部、以及侧面(对应坩埚10的侧面上端部)。

在图标例中，角形材20，是在坩埚10的一侧设置4个、合计两侧共设8个。但实际上，坩埚10略呈长尺状，故一般设置6个或8个角形材20。但是，依照装置的不同，角形材20的数量也会有所变动。此外，这些角形材20，以能够均一押压坩埚10的方式均等配置。亦即，是在一侧沿着长边方向以大约相等之间隔配置角形材20。此外长边方向两侧的角形材20，沿着长边方向配置在同一位置。此外，在本例中，位于长边方向的端部的角形材20与坩埚10的端部之间留有与内侧角形材20之间隔的1/2的距离，但亦可配置成使角形材20的端部与坩埚的端部形成一致的形式。

此外，该坩埚10、电热加热器12、以及角形材20通过夹具24使之按压固定在坩埚10的上端。在本例中，坩埚10的长边方向的长度使用较角形材20略短的夹具24。接着，于后文详述夹具24的内容。

如上所述，通过使用多个角形材20与作为固定构件之用的夹具24使长尺状坩埚10与电热加热器12密接，即使在对应蒸镀对象的基板等的尺寸而变更长尺状坩埚10的长边方向的尺寸时，亦可通过变更使用数量轻松对应，而容易达到变更态样，此外因操作便利而得以提高作业性。此外，形成于电热加热器12上部用以释出蒸镀材料的开口12e的位置，或设置在电热加热器12的热电偶等，亦可仅通过调整角形材以及夹具24的配置位置，而达到回避的目的。特别是，在角形材20中，最好避开安装热电偶的位置。

在电热加热器12的长边方向侧端部上，夹具24为了通过L字型的角形材20押压电热加热器12，夹具24的押压力会分散于L字型角形材20的长边方向，而对整个电热加热器12施加均等的押压力。特别是，L字型角形材20是形成图5所示的形状，且与该电热加热器12抵接的内侧的面20a充分形成平坦状。因此在L字型角形材20的抵接面上，电热加热器12可均一的压接于坩埚10。

此外，角形材20，如图标一般最好设置偶数个，例如，在长60cm的坩埚上最好设置6个或8个(位于一侧的数量)，而作为固定构件的夹具24则为6个或8个(整体数量)。如此，通过设置偶数个角形材20，即可于中央部以及端部配置热电偶以测量中央部的坩埚10内的温度。此外，亦可将角形材20设置成奇数个。

接着说明这种蒸发装置的使用顺序。首先，将蒸发材料置于坩埚10内，并盖上电热加热器12。然后配设L字型角形材20使之抵接于电热加热器12的角部，在该状态下，通过夹具24固定坩埚10与电热加热器12。借此，坩埚10，除了设在电热加热器的开口12e以外其它部份均呈现密闭状。通过上述步骤，即完成蒸镀的准备。

形成薄膜时，在减压的真空室中，使电流通过电热加热器12以提高电热加热器12的温度。由于电热加热器12是由均一的材料所构成，形成覆盖坩埚10的长边方向呈均一的构造，因此，可经由电热加热器12，往坩埚10的长边方向产生均一加热。

由电热加热器12产生的热，是由与电热加热器12抵接的坩埚10的上缘传导至坩埚10。由于电热加热器12均一地压接在坩埚10上，因此可沿着长边方向将热均一地传导给坩埚10。此外，电热加热器12的热亦可通过辐射传导给坩埚10以及蒸发材料。由于电热加热器12是在长边方向形成均一的温度，因此坩埚10以及蒸发材料是在长边方向受到均一的热辐射。

经由坩埚10的上缘接触传导的热，经由传导及辐射扩散至整个坩埚10，而使来自电热加热器12的直接辐射热与坩埚10的温度得以在长边方向均一地上升。收纳在坩埚10的蒸镀材料，通过来自坩埚10的热的接触传导以及热辐射，提高温度。当蒸发材料上升到所定温度时，蒸发材料会汽化，且坩埚10内的气压上升，而形成气体的蒸发材料则由电热加热器12的开口12e释出。由于蒸镀材料的温度在坩埚10内的长边方向呈一致，故经由开口12e的蒸发材料的释出是沿着长边方向，并在直线上均一地进行。在该状态下，于电热加热器12的开口12e附近配置欲形成薄膜的基板，并使该蒸发装置朝着与坩埚10的长边方向呈垂直的方向，相对性地对基板移动，如此一来便可在同一条件下使蒸发材料的气体接触到整个基板，而得以在基板上以平面性的形式形成均一的薄膜。

特别是，除了将出自于坩埚10的蒸发材料直接蒸镀在基板上之外，有时也介由屏蔽进行蒸镀。例如，在有机EL面板的情况下，在进行该发光层的蒸镀时，常使用在每一像素具开口的屏蔽。利用屏蔽时，当蒸发源与屏蔽的角度不同时，会使形成屏蔽遮影的面积不同，而致使蒸镀层的图案精度降低。但是，通过使长尺状坩埚10相对移动于配置有屏蔽的基板下方，不论位于基板上的哪一位置，在对该位置进行蒸镀时，蒸镀源与基板以及屏蔽的位置关系会大致形成同一条件，而达成均一的蒸镀。

如此，在本实施型态中，沿着长尺状坩埚10的长边方向，于电热加热器12与夹具24之间配置角形材20，再通过夹具24使坩埚10与电热加热器12固定，借此，坩埚10与电热加热器12的密接性便可通过角形材20的作用，均一地维持在坩埚10的长边方向。因此，可使电热加热器12与坩埚10内的蒸镀材料的距离、加热条件，以及蒸发物的释出较为均一。亦即，放入坩埚10内的蒸镀材料，不论在坩埚10的长边方向的任何位置，都能够均一加热，并确实地由坩埚10的开口释出蒸发物。

在此，举例说明的L字型角形材20系以石英构成，但角形材的材料只要是具有绝缘性、且热传导率小的材料，亦可使用例如陶瓷材等材料。此外，与电热加热器12抵接内面20a的平坦度，会因电热加热器的材质与厚度等而有所不同，但凹凸的突出部与凹部的差以低于±100μm为佳。借此，即可在角形材20与电热加热器12接触的全区域，产生均一的压押力。

此外，通过以热传导率低的材料构成角形材20，即可防止热传导性电热加热器12所产生的热度，经由角形材20传达至夹具24等固定构件，并能防止在坩埚10的长边方向，配置夹具24的位置产生放热，导致坩埚10内的温度产生局部性变动。

此外，角形材20，至少其表面要具绝缘性，前述电热加热器12与导电性夹具24要形成绝缘。

作为固定构件使用的上述夹具24等为导电性构件时，当电热加热器12与固定构件导通时，亦会有电流通过固定构件产生发热，或在长时间的使用下将会导致固定构件变质等的可能性。在本实施型态中，固定构件系介由角形材20使电热加热器12密接于坩埚10的构造，因此如上所述，通过将角形材20做成具有绝缘性，可使夹具24与电热加热器12确实绝缘。此外，即使为了使坩埚10内的加热得以更加均匀而在坩埚10外围配置金属层的情况下(后述)，利用角形材20使固定构件与电热加热器12绝缘，借此即可防止与固定构件连接的上述金属层与电热加热器12形成电性连接。

此外，坩埚10，如上所述是由石英所形成，此时若角形材20同样是以石英形成，则因两者的热膨胀率等也相等，故十分理想。

接着，说明有关将电热加热器12固定于坩埚10的作为固定构件用的夹具24。

夹具，如图6所示，由与坩埚10及电热加热器12的长边方向呈垂直的剖面观看时，是由：以弹簧材形成，与坩埚10底部抵接的曲面部24a；由该曲面部24a的两端沿着坩埚10的侧壁延伸至坩埚10上缘附近的一对侧面部24b；以及与该侧面重叠、溶接的2块臂部24c所构成。此外，臂部24c，在与侧面部24b重叠部分的上端部具有朝内侧延伸的爪部24f，该爪部24f抵接于L型角形材20的上面。此外，在图中，将夹具24下部的坩埚10侧壁间的距离描绘得较大，但由于朝侧面部24b内侧的力量无需过强，故可将与坩埚10侧壁间的距离缩得更小。

曲面部24a形成其中央部往上方膨出的形状，且大于坩埚的宽度。此外，在未安装于坩埚10的状态下，爪部24f至曲面部24a的最上部的距离小于坩埚10的高度。因此，当夹具24安装于坩埚10的状态下时，通过爪部24f与曲面部24a，在坩埚10的底面与角形材20上面之间施加推压力。此外，通过曲面部24a的变形，在臂部24c的上端部也会产生往角形材20的侧面内侧施加的押压力，并借此将角形材20朝着坩埚10押压，但该押压力较小。此外，实际上在未施加力量的状态下，不含爪部24f臂部24c上端部间的距离小于坩埚10的宽度，在装着的状态下，在侧面部24c的上端必然会形成往内侧施压的力量。

如所述一般，在安装于坩埚10的状态下，夹具24会在曲面部24a因坩埚10底面而朝外方(下侧)变形，将角形材20往电热加热器12方向押压。

在进行坩埚加热时为避免推压力产生变化，夹具的曲面部24a以及侧面部24b，最好以弹簧常数温度变化小的材料、例如镍合金的INCONEL(注册商标)，厚度为0.4mm程度的材料构成为佳。此外，接触L型角形材20上面的臂部24c，可不太需要具有弹簧性，但以具有较高强度的材质为佳。在本实施例中，采用INCONEL(注册商标)，厚度为7至0.8mm左右的材质。

夹具24，安装于坩埚10、电热加热器12以及L型角形材20时，将通过弹簧材向内侧弹推的2块臂部24a往外侧拉开，并在该状态下，将设置有电热加热器12以及角形材20的坩埚10插入内部。接着，在2块臂部24c打开的状态下将曲面部24a压在坩埚10底面使之变形，并于该状态下合起2块臂部24c后解除对坩埚10底面的押压状态而结束安装。此外，在安装这种夹具24时，最好利用用以安装夹具的机具。

此外，夹具如图7所示，最好在侧面具备有开口24d、并在底面具备有开口24e。通过设置开口24d以及开口24e，即可缩小夹具24的表面积，并降低来自夹具24的放热。如此一来，利用电热加热器12的加热即可以最小限度进行蒸镀材料的汽化，因此可将坩埚内的温度不均抑制在最小范围内。此外，开口24e亦具有可调整夹具24的推压力的功能。将开口24e加大，可使推压力减小，反之缩小开口24e即可增加推压力，根据电热加热器12的强度、L型角形材20的大小等可调整电热加热器12，使坩埚10的开口得以闭合到最适当的程度。

此外，夹具24的表面最好进行过喷砂加工、喷丸加工等粗面加工。通过粗面加工，可去除在制造夹具24时附着于表面的杂质，即使在蒸镀时的高温环境下亦可防止杂质气体释出。此外，利用粗面加工，可在蒸镀步骤时促进其与附着的蒸镀材料间的密合性，并防止附着于夹具24的蒸镀材料产生脱落而掉落于真空室内。

如上所述，在本实施型态中，可利用夹具24，将电热加热器12推压固定于坩埚。由于可事先制作多个相同的夹具24。因此，不论使用哪一个夹具24，均可以大致相同的推压力进行固定。不使用夹具24，而以缆线进行固定时，较容易产生押压力会随着作业员每次的作业状况而有所不同的情形，但利用夹具24，即可解决上述问题。此外，利用机具的作业方式本身不仅较为简单，亦可达到作业的效率化。

此外，只要取下夹具24，即可将电热加热器12由坩埚10取下，并在该状态下将蒸镀材料收容于坩埚10内，再通过重新安装夹具24，即可进行固定。使用缆线时，重复使用一端已解下的缆线较不符合效率，但使用夹具24时，则可多次重复使用该夹具。

此外，夹具24的爪部24f，具有大致与角形材20的上面相同的面积。借此，可使押压力均衡作用。

此外，如显示坩埚10长边方向侧面的图8以及显示短边方向侧面的图9，亦可在上述坩埚10的外面施加金属镀覆25。金属镀覆25以大致均匀的厚度在坩埚的底面以及坩埚10的侧壁进行镀覆至大致均一的高度。

根据上述构造，通过电热加热器所产生的经由辐射与接触形成的热传导，而传达至坩埚10的热度，由于利用红外线反射率以及热传导率较高的金属镀覆25膜，进行再辐射以及扩散传导，故可使坩埚10内的温度维持均一。

上述的坩埚侧壁的金属镀覆25的缘部，最好高于放入坩埚10内的蒸镀材料的高度位置，而低于坩埚10的上缘部。根据上述构成，即可有效进行蒸镀材料的加热，并防止覆盖坩埚开口部的电热加热器12与金属镀覆25间产生电性接触。此外，在上述的实施例中，坩埚10侧壁上的金属镀覆，其高度约4cm程度，并与电热加热器12的下端，保持约2mm程度的间隔距离。

此外，上述金属镀覆25的材质以具有良好远红外线反射率以及热传导率的铝为佳。测试过铜与铝的镀覆后，发现相较于铜铝镀覆，铝镀覆更能够均一地进行蒸镀材料的成膜。

铝镀覆的形成，最好通过例如溶射法而直接将铝镀覆在坩埚上。亦即，利用溶射形成的镀覆可直接附着于坩埚的壁面，使坩埚10内的温度维持于均一。铝镀覆的厚度例如是在150μm左右的程度。

使用上述夹具24时，金属制夹具24的曲面部24a会接触坩埚10的底面。该部份，施加有金属镀覆25。但如上述一般，由于有角形材20介在于夹具24与电热加热器12之间，故得以防止电流通过金属镀覆25。

如上所说明一般，蒸发装置，如图10所示是配置于真空室内。

在真空室内，坩埚10系介由脚102而载置于支撑台100上。而电热加热器12的两端的舌部12f则通过加热器托架30，分别电性连接于连接板28，此外，连接板28则分别与蒸发装置主体所延伸而出的一对电极26电性连接。此外，该一对电极26与支撑台100、坩埚10等一起移动。此外，在上述实施例中，连接板28与电极26亦通过固定螺帽而连接。

上述支撑台100与电极26是平行移动于与坩埚10的长边方向垂直的方向。在坩埚10的上方，固定有用以进行蒸镀的基板。坩埚10是水平移动于与长边方向垂直的方向，并在基板上(与坩埚呈相对配置的面，在此为下面)堆积蒸发物。借此，即可在固定基板的全面形成均一的蒸发层。

以不同的坩埚10蒸镀多个的蒸镀材料时，可通过整列配置多个坩埚10，使其适度移动而进行蒸镀。

图11为加热器托架30的部份放大图。电热加热器的舌部12f与连接板28，在加热器托架30中，隔着铜制板32以螺帽34重叠固定。借此，舌部12f与连接板28的面可相互接触，以进行电性连接。此外，通过解除上述加热器托架30的固定，即可解除电热加热器12与连接板28的连接，并在该状态下可由坩埚10取下电热加热器12。接着，在取下的状态下，解除夹具24等固定装置并由坩埚10取下电热加热器12，以进行坩埚10内蒸镀材料的定期补充。

连接板28最好由电阻发热金属板28a与良导电金属板28b构成。

通过组合电阻发热金属板28a与良导电金属板28b，可使坩埚10的温度沿着长边方向维持于一定。亦即，坩埚10的端部温度是由：来自坩埚10端部的辐射、电热加热器12的舌部12f、以及连接板28所产生的焦耳热(Toule heat)、由电热加热器12传导至加热器托架30，以及由连接板28传导至电极26的热等所左右。因此，在电热加热器12的中央部份与端部其温度不会在同一位置。在本实施型态中，上述连接板28，采用电阻发热金属板28a与良导电金属板28b的组合，借此，可调整产生于连接板28的热度，以及介由连接板28所产生的热传导，使坩埚10的温度得以延着长边方向维持一定。

根据发明者的实验，通过将钽Ta作为电阻发热金属板28a，将铜Cu作为良导电金属板28b，可使坩埚10的温度沿着长边方向维持一定。

此外，理想上最好在与良导电金属板28b的电热加热器舌部12f的面接触区域施加金的电镀。因作为电热加热器12使用的钽Ta较为坚硬，因此在例如与铜所构成的良导电金属板28b的接触区域中，其实效性的接触面积较小，此外，于每次安装电热加热器12时，与连接板28的接触电阻会产生极大的变化。但通过在该接触区域施加金的电镀，随着电热加热器12的舌面12f表面的凹凸金会产生变形，而得以增加实效性的接触面积，并提高接触电阻的安定性。

此外，连接板28系形成可弯曲的薄板状。通过该构造，使电流通过电热加热器，提高电热加热器的温度，即使电热加热器12产生热膨胀，加热器托架30亦将可朝长边方向移动，并保持坩埚10上部闭塞，以及电热加热器12与连接板28的电性连接。

在上述实施型态中，以电阻发热金属板28e在上方，而良导电金属板28b在下方的方式重叠安装在电热加热器12，但亦可颠倒其上下关系。此时，最好将连接板28的弯曲方向倒反过来，使通过更多电流的良传导金属板26b，得以与由蒸镀装置主体供给电流的电极26直接接触。

如上所述，根据本实施型态，通过以多个金属构成连接板28，而可将连接板28的电阻值调整成适当的电阻值，并调整连接板的发热量。借此，不仅可适度调整电热加热器12端部的温度，同时可均一加热汽化坩埚10内的蒸发材料。因此，可由电热加热器12的多个开口12e沿着长边方向均一地释出蒸发物。此外，蒸发材料一般为粉末状，其中有利用加热而溶解蒸发的蒸发材料，以及升华汽化的蒸发材料。此外，蒸发材料中，尚有液状蒸发材料，此时系通过加热使之蒸发汽化。

因此，例如：将上述蒸发装置用在对有机EL面板等较大型基板的蒸镀时，可通过使其移动于与坩埚10的长边方向垂直的方向而在基板上形成均一的薄膜。

此外，通过在与电热加热器12的面接触区域施加金的电镀，可确实达到两者的面接触。因此，在补充蒸镀材料时，可在重现性良好的状态下压低电热加热器12拆装前后的接触电阻。

特别是，作为电阻发热金属板28a，系使用与电热加热器12相同的钽，通过在良导体金属板28b上使用镀金铜，即可利用电热加热器12适度地进行蒸发物质的加热。

Claims (8)

1.一种蒸发装置，包含：上部开放且用以收容蒸发材料的细长型长尺坩埚；覆盖前述长尺坩埚的上部开放部，通过通电发热，加热前述长尺坩埚内的前述蒸发材料，且具备开口使经由加热汽化过的前述蒸发材料得以通过的电热加热器，

以及为了对所述电热加热器通电，而用以电性连接电热加热器端部与蒸镀装置电极的连接板，

其中，所述连接板是由电阻值相异的金属所形成的多个板材所构成。

2.如权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于所述连接板的一方的金属，是由电阻值低于所述电热加热器的良导电材料所形成。

3.如权利要求2所述的蒸发装置，其特征在于，所述连接板另一方的金属，是由具有与所述电热加热器相同电阻值的电阻发热金属所形成。

4.如权利要求3所述的蒸发装置，其特征在于，所述良导电材料为铜，而所述电阻发热金属为钽。

5.如权利要求4所述的蒸发装置，其特征在于，所述连接板中以铜形成的金属板，其至少一部份施加有金的电镀，该施加金的电镀部份与所述电热加热器端部形成面接触，而构成电性连接。

6.一种蒸发装置，包含：上部开放之用以收容蒸发材料的细长型长尺坩埚；覆盖所述长尺坩埚的上部开放部，通过通电发热，加热所述长尺坩埚内的蒸发材料，且具备开口，使经由加热汽化过的蒸发材料得以通过的电热加热器；

以及为了对所述电热加热器通电，而用以电性连接电热加热器端部与电极的连接板，

其中，所述连接板，是由铜所形成，且至少一部份施加有金的电镀，该施加金的电镀部份与所述电热加热器端部形成面接触，而构成电性连接。

7.如权利要求1至6中任一项所述的蒸发装置，其特征在于，所述电热加热器是由钽所形成。

8.一种蒸镀装置，利用权利要求1至7中任一项所述的蒸发装置，而将该蒸发装置所蒸发的蒸发物蒸镀在对象物。

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