CN1274871C - 蒸发装置 - Google Patents

Abstract

一种能在整个长度方向均匀地放出蒸发材料的蒸发装置，其具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；覆盖长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对长形坩埚(10)内下方的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及将该电热器(12)朝长形坩埚(10)按压并予以固定的线材(22)，且在线材(22)及电热器(12)之间，沿长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，以通过上述角材(20)使线材22的按压力在长形坩埚(10)的长度方向作用，以使电热器(12)密接于长形坩埚(10)。

Description

蒸发装置

技术领域

本发明涉及蒸发装置，尤涉及作为将蒸发材料加热蒸发而供给至被镀对象所需的蒸发源的蒸发装置。

背景技术

以各种物质形成薄膜时，常用技术多利用蒸镀(例如真空蒸镀)。例如，被视为替代液晶显示器的次世代「平面显示器(flat display)」的一种而受人注目且其实用化的研究持续进行中的电致发光(electroluminescence，EL)显示器，就将上述真空蒸镀技术，利用在形成于显示面板的有机EL元件发光层等有机薄膜或金属电极层的形成上。

真空蒸镀装置，是在真空蒸镀室内配置具有优异耐热性及化学安定性的坩埚，将置于坩埚内的蒸镀材料(蒸发材料)予以加热蒸发，使在被镀物上形成蒸镀层。但在常用公知的真空蒸镀装置，使用单一且点状的蒸镀源，使蒸镀材料从该蒸镀源(蒸镀装置)以放射状向被镀物表面飞去，并在被镀物表面形成镀层。

然而，对于显示器大面积化的强烈要求，在有机EL显示器亦不能例外。因此，用于有机EL显示器的蒸镀装置，必须能因应于形成元件的面板基板的大面积化，也就是说，必须能因应蒸镀面积的增大。

另一方面，在中型、小型面板等，通常会进行以一枚大型基板(母板)同时形成多个面板，然后，于后续工序分割为各个面板的所谓多板制法。而为了进一步降低以该多板制法制成的中、小型面板的成本，有使一片母基板更加大型化，以增加能同时制造的面板数的要求。此时，蒸镀作业必须针对大型母基板全体施行，故必须能因应蒸镀面积的增大。

如上述，有必要进行大面积的蒸镀作业时，若使用上述单一点状蒸镀源，会因蒸镀源至膜形成位置的距离随被镀物的所在位置而有显著差异，因此，要在基板上形成均匀的蒸镀层有其困难性。对此，有下述专利文献在蒸镀源方面提出采用长形蒸镀源的所谓「线型蒸镀源(linear source)」的方案。通过采用线型蒸镀源，原理上，可使基板的各位置与线型蒸镀源的距离差减少，而能使对大面积基板的蒸镀条件更加均匀化。

<专利文献1>日本特开2001-247959号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

于显示器中，因发光亮度及发光颜色的偏差会大大地损害显示品质，因而于有机EL显示器亦被强列要求该发光亮度的均匀化。但如上述，在有机EL显示器的制造时，在发光层、电荷输送层、电荷注入层等有机层或金属电极等的形成上，虽采用真空蒸镀法，但因有机层为一相当薄的薄膜层，膜厚的参差不齐对于发光亮度及发光颜色偏差的影响甚巨。而且，因有机层形成于阳极及阴极间，厚度有偏差即容易因阳、阴极间短路而发生显示缺陷。因此，对于用于该有机EL显示器制造的蒸镀装置，有例如能针对大面积形成精度优异的蒸镀层的要求。

于有机EL元件的制造上采用上述线型蒸镀源，虽可使大面积基板的蒸镀容易。但是，单纯地使用线型蒸镀源来蒸镀形成元件的有机层等，所获得的有机EL元件的特性偏差很大，并无法满足有机EL显示器的实用化上所要求的均匀性。

本发明人对该元件特性的偏差原因，予以详细调查研究的结果，发现使蒸镀源为长形的线型蒸镀源时，蒸镀物质的放出在线型蒸镀源的长度方向不均匀会造成很大的影响。因此，要对大蒸镀面形成均匀蒸镀层，使线型蒸镀源能在其长度方向的所有位置都均匀地放出蒸镀材料为不可或缺条件，必须要能因应此一条件。

因此，本发明的目的在于提供一种可从长形坩埚的各位置均匀地放出蒸镀材料的蒸发装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的蒸发装置，具备：上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚；覆盖上述长形坩埚的上部开放部，且通过通电而发热，以对上述长形坩埚内的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的上述蒸发材料可通过的开口的电热器；以及将该电热器朝上述长形坩埚按压并予以固定的固定构件，且在上述固定构件与上述电热器之间，沿上述长形坩埚的长度方向配置有角材(angle)，该角材具有可与上述长形坩埚的上面侧部及侧面上部配合的面部，且上述固定构件的按压力通过上述角材而作用于上述电热器，以使上述电热器密接于上述长形坩埚。本发明的另一实施例，是在上述蒸发装置中，上述角材在该长形坩埚长度方向的长度比上述固定构件的按压上述角材的按压部长。

通过如上所述在长形坩埚的长度方向，将角材配置于电热器及固定构件间，且由固定构件将长形坩埚及电热器予以固定，即可使该长形坩埚与电热器的密接性，在长形坩埚的长度方向得以维持为均匀状态。因而提供一种使电热器与长形坩埚内蒸发材枓的距离、加热条件及蒸发物的放出等都较均匀的蒸发装置。因此置入坩埚内的蒸发材料在坩埚长度方向的任何位置都能获得均匀加热，同时能使蒸发物从坩埚的开口确实地放出。

本发明的另一方面，是在上述蒸发装置中，上述固定构件，是由用以将上述电热器、上述长形坩埚与上述角材一起系紧的线材(wire)所构成。

本发明的另一方面，是在上述蒸发装置中，上述固定构件，是由能在上述长形坩埚的底面、覆盖该长形坩埚的上部开放部的上述电热器、及角材之间产生按压力的弹簧材构成的夹具所构成。

本发明的另一方面，是在上述蒸发装置中，上述角材，是由热传导率比上述固定构件低的材料所构成。

如上述，角材是由热传导率低的材料构成，可防止来自热传导性的电热器的热经由角材传至固定构件，因此，可防止于长形坩埚的长度方向中，固定构件在其配置的部位放热，导致坩埚内的温度产生局部的变动。

本发明的另一方面，是在上述蒸发装置中，上述角材，至少其表面为绝缘性，以与上述电热器及具导电性的上述固定构件形成电气绝缘。

使用作为固定构件的线材及夹具等，若为导电性，即电热器与固定构件导通时，电流将流过固定构件使的发热，且在长时间的使用状况下，该固定构件有可能变质。于本发明中，虽是通过角材使电热器与长形坩埚密接的构成，但如上述，使角材具有绝缘性，可确实地使固定构件与电热器绝缘。又于为了使长形坩埚内能均匀地受热而在坩埚外周配置金属层时，同样可通过角材使固定构件与电热器绝缘，而防止与该固定构件抵接的上述金属层与电热器形成电性连接的情形。

本发明的另一方面，是在上述蒸发装置中，上述角材及上述固定构件，是沿上述长形坩埚的长度方向配置多个。

如上述，使用多个角材及固定构件使电热器密接于长形坩埚，则即使对应于作为蒸镀对象的基板等的尺寸而进行坩埚的长度方向尺寸的变更时，亦能通过变更角材与固定构件的使用数量而轻易因应，故实施例的变更容易，操作亦相当简便，因而可提升作业性。亦可调整角材及固定构件的配置位置，而避开形成于电热器上部的用以放出蒸发材料的开口的位置、设于电热器的热电偶等。

又，本发明的另一方面，是有关利用上述蒸发装置，使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

[发明的效果]

如上述，本发明是将角材配置于长形坩埚的长度方向，通过角材而通过固定构件使电热器密接于长形坩埚。因此，电热器可均匀地抵接长形坩埚的上缘(上部开口部)，使电热器产生的热在坩埚的长度方向均匀地传递，以对坩埚内的蒸发材料均匀地加热，尤其是从表面均匀地加热该蒸发材料。因此，蒸发材料将在坩埚内在坩埚的长度方向均匀地气化，再从形成于电热器的开口向着被镀对象放出。

附图说明

图1是显示有关本发明一实施例的蒸发装置的全体构成的图；

图2是显示覆盖坩埚的开口的电热器的构造的剖面图；

图3是扩大显示图2中坩埚与电热器的接合部分的图；

图4是显示L字型角材相对于电热器12的侧端部的配置的图；

图5是显示以线材将坩埚、电热器及L字型角材是紧为一体时的剖面图；

图6是显示L字型角材材形状的斜视图；

图7是显示以夹具固定坩埚、电热器及L字型角材时的示意图；

图8是显示夹具的形状的斜视图；

图9是显示施有金属涂层的坩埚的斜视图；

图10是显示金属涂层的高度的坩埚侧面图；

图11是显示真空室内的蒸发装置的构成的图；

图12是显示通过连接板与电热器电性连接的图；

图13是显示于外面设有金属涂层的坩埚中，以夹具固定电热器的示意图。

元件符号说明：

10     长形坩埚                 12     电热器

12a    本体                     12b    缘部

12e    开口                     12f    舌部

14     纸状材料                 20     角材

20     L字型角材                22     线材

24     夹具                     24a    曲面部

24b    侧面部                   24c    臂部

24d    开口                     24e    开口

24f    爪部                     25     金属涂抹

26     电极                     28     连接板

28a    电阻发热金属板           28b    良质导电板

30     电热器支具               32     铜板

34     螺钉                     100    支持台

102    脚架

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施例。

图1是显示一实施例的蒸发装置的全体构成图。长形坩埚10为上部开放的收容蒸发材料的容器。坩埚10系整体由例如石英形成的长方体，掏去内部而构成。亦可将棒状石英的内部掏去而构成，由模具成型亦可。其尺寸为例如长：60cm、高：4cm、宽：4cm，但亦可依蒸镀对象(如，有机EL基板)的尺寸而决定。

该坩埚10上方是由电热器12覆盖及封闭。电热器12是由钽(Ta)形成，以延设于长度方向两端的舌部12f与电源连接，通过流通电流而发热。通常为直流电流，亦可为交流电流。且在电热器12的宽度方向中央部，沿长度方向设置预定多个裂缝状开口12e，可由该裂缝放出蒸发物。开口12e亦可为圆状或其它形状。

电热器12，如图2所示，具备：由具有其周边部向下折曲的侧壁的本体12a，及与该本体12a周边部的侧壁的预定距离内侧，形成与侧壁一样向下形成的缘部12b。其中，缘部12b是在本体12a侧壁，以夹持坩埚10的上端部的形态，熔接成由本体12a的周边部向下突出。亦即，由缘部12b及本体12a的侧壁，在本体周边部形成沟部，而在该沟部内部可插入坩埚10的上端部。

又于坩埚10上端部的沟部及电热器12间，如图3所示，安插有由织布或无纺布所成的碳性纸状材料14作为填料(packing)。

又于本体12a中央部形成预定个数的开口12e。在坩埚10的长度方向，将开口12e以直线排成多个方式配置。该开口12e为极细的裂缝形状。借此，可使蒸发的材料蒸镀到基板上的预定范围。

又于电热器12长度方向的侧端部上，如图4所示，配置L字型角材20。角材20是由同于坩埚10的石英构成，且配置为覆盖电热器12的侧端部(角部)状，角材20形成为例如长度约9cm，上面及侧面的宽度各约5cm，厚度约1mm者。借此，与电热器12的上面侧部及侧面(对应于坩埚10的侧面上端部)配合。

在图标的例子中，角材20是在坩埚10的一侧设有4个，两侧共设有8个，但因实际上的坩埚10较长，通常系1边设6个或8个角材20。亦可对应于装置，变动角材20的个数。角材20以能均匀地按压坩埚10的方式均等配置。亦即，在坩埚10的长度方向两侧，以大致相同间隔配置角材20。且长度方向两侧的角材20，配置在长度方向的同一位置。又于本例中，是在位于长度方向端部的角材20与坩埚10的端部间，留有该角材20与其内侧角材20间隔的1/2的距离，但亦可将角材20的端部与坩埚10的端部相互对齐配置。

再将该坩埚10、电热器12及角材20等以线材22系紧为一体，且如图5所示，通过该线材22将电热器12按压在坩埚10上闭塞坩埚10的上部而予以固定。

如上述，使用多个角材20及作为固定构件的线材22以使长形坩埚10及电热器12密接，则在对应作为蒸镀对象的基板等的尺寸，进行长形坩埚10长度方向的尺寸变更时，亦可通过变更角材20及线材22的个数而轻易因应，且其实施例的相当容易，操作亦容易，因而可提升其作业性。而且，通过调整角材20及线材22的配置位置，可避开形成于电热器12上部的用以放出蒸发材料的开口12e的位置、设于电热器12的热电偶等。尤其，角材20以避开热电偶的组装位置为佳。线材22则以不通过开口12e上方为宜。

使用后述替代线材22作为固定构件的夹具时亦一样。

电热器12的长度方向侧端部上，因线材22是通过L字型角材20而系紧，故线材22的按压分散于L字型角材20的长度方向，而施加全体均匀地按压于电热器12。尤其，将L字型角材20形成为如图6所示的形状，其与电热器12抵接的内侧面20a即为充分的平坦面。因此，在L字型角材20的与电热器12抵接的面，可均匀地将电热器12朝坩埚10按压。

角材20如图所示，以设置多个为宜。如于长度60cm的坩埚10，以6个或8个(一侧的个数)较宜。因而，作为固定构件的线材22亦为6根或8根(全体的个数)。若以夹具替代线材22时，亦同。如此，通过设置偶数个角材20，即可在中央部及端部配置热电偶，而计测中央部的坩埚10内温度。亦可使角材20为单数个。

以下说明如上所述的该蒸发装置的使用方式。首先，在坩埚10内收容蒸发材料，然后，覆盖上电热器12，再以与电热器12的角部抵接的方式配置L字型角材20，然后从上方以线材22将坩埚10及电热器12系为一体。以此构成，将坩埚10予以封闭，只留设于电热器12的开口12e。由此，完成蒸镀的准备工作。线材22系将坩埚10的外周部与角材20一起绻绕，且将线材22两端部以工具绞合固定，利用线材22的拉力作用紧缚，使角材20按压在电热器12上。

在形成薄膜时，是在减压的真空室(chamber)内使电流流过电热器12，以使电热器12的温度上升。因电热器(电热体)12是由均匀材料构成，且为覆盖坩埚10在长度方向均一的构造，故电热器12可在坩埚10的整个长度方向均匀地产生热。

于电热器12产生的热，由抵接于电热器12的坩埚10上缘传递至坩埚10，因电热器12均匀地被按压于坩埚10上，该热量在长度方向均匀地传递至坩埚10。该电热器12的热量，亦以辐射方式传递至坩埚10及蒸发材料。电热器12因在长度方向具有均匀的温度，故能在长度方向均匀地向坩埚10及蒸发材料进行热辐射。

从坩埚10上缘接触传导来的热量，将通过传导或辐射扩散至坩埚10全体，且与电热器12发出的直接辐射热一起使坩埚10的温度在长度方向大致均匀地上升。收容在坩埚10内的蒸发材料即因来自坩埚10的热接触传导及热辐射而升温。当蒸发材料达到预定温度以上时，该蒸发材料气化造成坩埚10内的气压上升，且由电热器12的开口12e放出该气化蒸发材料。又因蒸发材料的温度在坩埚10内的整个长度方向均匀一致，由电热器12的开口12e放出的蒸发材料，亦将在整个长度方向，在直线上均匀地进行。于此状态，在电热器12开口12e附近配置欲形成薄膜的基板，且使蒸发装置相对于该基板在与坩埚10的长度方向垂直的方向相对移动，即能以同一条件使蒸发材料气体与基板的全面接触，因而，能在基板上形成整个平面都均匀的薄膜。

在不将坩埚10蒸发的蒸发材料直接蒸镀于基板上，而是通过屏蔽来蒸镀的场合，例如有机EL面板的场合，于其发光层的蒸镀时，多使用针对每一画素而开口的屏蔽。利用屏蔽时，蒸发源与屏蔽的角度不同，致使屏蔽背后面积相异，会导致蒸镀层的图案精度劣化。然而，因系在配置有屏蔽的基板下方，相对移动长形坩埚10，就基板上的任何位置来说，对该位置进行蒸镀时的蒸镀源对基板及屏蔽的位置关系，系为大致相同的条件，故能达成均匀的蒸镀。

如上述，于本实施例中，沿长形坩埚10的长度方向，在电热器12及线材22之间配置角材20，通过线材22固定坩埚10及电热器12，即可通过角材20的作用，使坩埚10与电热器12间的密接性，能在坩埚10的长度方向维持均匀。因此，可将电热器12与坩埚10内蒸镀材料的距离、加热条件、蒸镀物放出等予以均匀化。也就是说，对于置入坩埚10内的蒸镀材料，在坩埚10长度方向的任何位置均能予以均匀加热，同时能使蒸发物确实地从坩埚10的开口放出。

以上，虽以L字型角材20由石英构成为例进行说明，但亦可为具绝缘性且热传导率小的材料，例如陶瓷(ceramic)材料。又，与电热器12抵接内面20a的平坦度，虽依电热器12的材质及厚度而定，但其凹凸的峰部与谷部的差以±100μm以下为宜。因此，可使L字型角材20与电热器12抵接的全区域中的按压力均匀化。

因以热传导率小的材料构成角材20，可防止热从具热传导性的电热器12经由角材20而传至线材22等固定构件，故可防止在坩埚10的长度方向中，线材22在其配置的部位放热而导致坩埚10内的温度产生局部的变动。

又，角材20至少其表面为绝缘性，以使上述电热器12与导电性的线材22绝缘。

使用作为固定构件的上述线材22及夹具(如后述)等具导电性时，使电热器12及固定构件导通，固定构件中会因电流的流通而发热，在长时间的使用状况下，该固定构件有变质的可能。而在本实施例中，固定构件通过角材20使电热器12密接于坩埚10的构成，故如上述使角材20为绝缘性，即可将固定构件与电热器12予以确实绝缘。若为了对坩埚10内进行更均匀的加热，在坩埚10外周配置金属层(如后述)时，亦可通过角材20使固定构件与电热器12绝缘，故可将抵接上述金属层的固定构件与电热器12的不慎电性连接予以防止。因而，可防止电流于该金属层流通而发热及发生变质的情形。

又，坩埚10如上述以石英形成，此时，若由石英形成角材20，即可使热膨胀率相等。

固定电热器12于坩埚10的构件，是以使用线材的例子说明如上，但可以能在上述坩埚的底面与上述角材20的上面间产生按压力的弹簧材料构成的夹具替代。

以下，以使用夹具的例子进行说明。

由坩埚10及电热器12长度方向的垂直剖面观看，由弹簧材料形成的夹具24，如图7所示，是由：抵接于坩埚10底的曲面部24a；由该曲面部24a两端沿坩埚10侧壁延伸至坩埚10上缘附近的一对侧面部24b，及重叠于该侧面熔接而成的2片臂部24c构成。且在臂部24c与侧面部24b重叠的部分的上端部，具有向内侧延伸的爪部24f，由该爪部24f抵接于L字型角材20上面。图中，夹具24与该下方坩埚10侧壁的距离，是予以较跨大方式绘描，但因向侧面部24b内侧的力量并不需要那么强，因此，其与坩埚10的侧壁的距离，可予以缩小。

曲面部24a是其中央部向上凸出的形状，且较坩埚10宽度为大。其在组装置坩埚10状况下，由该爪部24f至曲面部24a最上部的距离比坩埚10的高度小。

因此，夹具24组装于坩埚10状况时，是由爪部24f及曲面部24a在坩埚10底面与角材20上面间施加按压力。又因曲面部24a的变形，虽在臂部24c上端部有向角材20的侧面内侧的按压力产生，使角材20向坩埚10按压，但该力较小。又，实际上，在不使力状态下，不含爪部24f的臂部24c上端部间的距离较坩埚10的宽度为小，于组装状态中，侧面部24b的上端必然有向内的力量施加。

如上述，组装于坩埚10的状况下，夹具24因曲面部24a受到坩埚10底面的压力而向外(下方)变形，使角材20向电热器12按压。

夹具的曲面部24a及侧面部24b是在坩埚加热时亦不变其按压力，通常使用弹簧系数温度变化较小的材料，如：厚度约0.4mm的镍(Ni)合金「因可年(登记商标)」等耐热耐蚀合金构成为宜。其抵接L字型角材上面的臂部24c较不需弹性，且以较高强度者为宜。通常是使用厚度0.7至0.8mm的「因可年(登记商标)」材料。

夹具24相对于坩埚10、电热器12及L字型角材20组装，是将借弹簧材料的弹压而向内侧的2片臂部24c向外侧打开的状况下，将设置有电热器12及L字型角材20的坩埚10插入其内部。然后，以坩埚10底面按压使曲面部24a变形，于此状态再将2片臂部24c关闭，之后解除坩埚10底面的按压，即可完成组装作业。但于组装该夹具24时，使用组装用的治具为宜。

夹具如图8所示，于侧面具开口24d，在底面亦备开口24e为宜。通过设置开口24d及开口24e，可使夹具24表面积减少，故可抑制经由夹具24的散热。结果，能以利用电热器12加热的最小限，使蒸发材料气化，因而，能抑制坩埚内温度的不匀状态于最小。开口24e具有调整夹具24的按压力效能。若将开口24e加大，即可使按压力变小，将开口24e缩小可使按压力变大，因此，可依电热器12的强度、L型夹具的大小等调整为以电热器12闭塞坩埚10开口的最适宜程度。

夹具24表面，系以喷砂(sandblast)加工、散射(shotblasting)加工等施行粗面加工为宜。由该粗面加工，可将夹具24制造工程中附着在表面部分的杂物去除，因而，可防止蒸镀时在高温环境下有的杂物气体的放出。亦可通过粗面加工，提升其在蒸镀工序中与附着的蒸发材料的密接性，防止附着在夹具24的蒸镀材料剥离而落于真空室内。

如上述，在本实施例中，是通过夹具24使电热器12朝坩埚10按压并加以固定。且可制造多个同一夹具24备用。因此使用任一个夹具，皆可用大致相同的按压力进行固定。若不用夹具而以线材固定时，容易造成由作业者当时的作业而致成按压力的不同，若使用夹具即能解决该问题。且因使用治具的作业较为简单，亦可检测该作业效率。

卸下夹具24即可由坩埚10将电热器12取下，于此状态可将蒸发材料收容于坩埚10内，再一次设定夹具24即可予以固定。若使用线材，再利用解开的线材的效率不佳，但使用夹具，即可重复多次使用。

夹具24的爪部24f具有与角材20的上面相同的面积。因此，可以使按压力均匀作用。

图9系显示坩埚10的长度方向侧面，图10系显示该侧面的一段。在坩埚10外侧可施行金属涂层25，金属涂层以大致均一的厚度，在坩埚底面及坩埚10侧面施行至大致均一的高度。

如依上述构成，在电热器12产生，通过辐射或接触而传递的热量，传递至坩埚时，可通过红外线反射率及热传导率较高的金属涂层25的膜，再予以热辐射及热扩散，因而可将坩埚10内的温度予以均匀化。

坩埚侧壁的金属涂层25的边缘，以高于置入坩埚10的蒸镀材料的高度位置，且低于坩埚10的上缘为宜。这种构成能使蒸镀材料的加热有效率化，且可防止覆盖坩埚开口部的电热器12与金属涂层25形成电气接触。在本例中，坩埚10侧壁上的金属涂层系高度4cm且与电热器12下端保持约2mm的间隔。

而该金属涂层25系用红外线反射率及热传导率优异的铝为宜。铜及铝的涂层中，铝涂层较容易进行均匀的蒸镀材料成膜。

铝涂层作业系以熔射法直接在坩埚实施涂覆而得为宜。也就是说，由熔射方法形成的涂层，可直接堆积在坩埚10的壁面，以维持坩埚10内的均匀温度。该铝涂层的厚度为约150μm。

使用上述夹具24时，该金属制夹具24的曲面部24a抵接于坩埚10的底面。该部分亦形成有金属涂层25，但如上述，因有角材20存在于夹具24及电热器12间，可防止电流流至金属涂层25。

上述蒸发装置，系如图11所示，系配置于真空室内。

在真空室内坩埚10通过脚架102载置于支持台100上。且利用电热器支具30使电热器12两端的舌部12f分别与连接板28电性连接，而该连接板28系由蒸镀装置本体延伸，在电热器支具30的上面高度附近与电热器支具30侧的一对弯曲电极26分别电性连接。该一对电极26亦随支持台100、坩埚10等一起移动。本例中，是在向电热器支具30侧屈折的电极26上面，由电热器支具30延设连接板28，且于电极26及连接板28重叠的位置，由螺钉将该电极26及连接板28予以锁紧。

支持台100与电极26一起，平行移动于与坩埚10的长度方向垂直的方向。在坩埚10上方固定要蒸镀的基板。坩埚10向垂直于坩埚10的长度方向的方向行水平移动，使蒸发物予以堆积在基板上(相对于坩埚的配置面，在此为下面)。借此，可在固定的基板全面形成均匀的蒸镀层。

若需将多个蒸镀材料由不同坩埚10予以蒸镀时，先将该多个坩埚10予以整列配置，然后予以适宜移动即可进行蒸镀。

图12为电热器支具30的部分扩大图。电热器的舌部12f及连接板28系在电热器支具30通过铜板32，以螺钉34予以重叠固定。借此使舌部12f与连接板28面接触而电性连接。若于该电热器支具30实施固定解除，可解除电热器12与连接板28的连接，在该状况下，可将电热器12由坩埚10拆出，再予以去除夹具24等的固定机构，将电热器12由坩埚10取出，以便于定期补充坩埚10内的蒸镀材料。

连接板28，是以电阻发热金属板28a及良质导电板28b构成为宜。

由电阻发热金属板28a及良质导电板28b的组合，可使坩埚10的温度在整个长度方向均匀化。换言之，坩埚10的端部的温度，系由坩埚10端部的辐射、电热器12舌部12f及连接板28产生的焦耳热(ioule heat)，从电热器舌部12f传递至电热器支具30，及从连接板28至电极26的传递热等所左右。因此，在电热器12中央部分与端部的温度不一样。在本实施例中，该连接板28采用电阻发热金属板28a及良质导电板28b的组合。借此，可调整连接板28产生的热量，与通过连接板28的热传递，而使坩埚10的温度在整个长度方向皆为一定。

若依发明人的实验，该电阻发热金属板28a由钽(Ta)金属构成，且在良质导电板28b使用铜，即可将坩埚10的温度予以均匀化。

更以在良质导电板28b的与电热器舌部12f的面接触区域施行镀金为宜。由于施行镀金，即可防止铜表面的氧化，亦可防止接触电阻的变化。通过防止与电热器12接触部分的电阻值变化，可提升安定性。亦可防止每次组装时的电阻值变化。更由于施行镀金，使与由钽(Ta)金属形成的电热器12的接触更为确实。故可防止组装时，与连接板28的接触电阻变化过大。

连接板28为一种可挠状薄板。因此，于电热器12流通电流时，即使因电热器的温度上升而电热器12热膨胀，使电热器支具30在长度方向移动，即可保持坩埚10上部的闭塞，及电热器12与连接板28的电性连接。

在上述实施例中，相对于电热器12，电阻发热金属板28a在上，良质导电板28b重叠于下。但其上下关系可对调。但于此时，以流通较多电流的良质导电板28b直接接触用以供给来自蒸镀装置本体的电流的电极26的方式，使连接板28的弯曲方向相反为宜。

如上述，若依本实施例，系将连接板28以多种金属构成，即可将连接板28的电阻值调整为适宜数值，且可调整连接板28的发热量。由此，可将电热器12端部的温度调整为适宜温度，因而，坩埚10内的蒸发材料得以均匀地予以加热气化。而可从电热器12的多个开口12e以在整个长度方向皆均匀的方式放出蒸发物。又，蒸发材料通常为粉状物，有通过加热熔融而蒸发者，及可升华而气化者。亦有液状蒸发材料，此时，系以加热蒸发予以气化。

因此，若将该蒸发装置使用于如有机EL板等较大基板的蒸镀作业时，系移动于长度方向的垂直方向，以在基板上形成均匀薄膜。

又，于与电热器12的面接触区域施行镀金，使两者的面接触更为确实。因此，可再现性良好地将为了补充蒸发材料而装卸电热器12前后的接触电阻抑制于小值。

又，使用与电热器12相同的钽(Ta)作为电阻发热金属板28a，且于良质导电板28b使用镀金铜，即可由电热器12进行适当的蒸发物质的加热。

图13系显示于外面设有金属涂层25的坩埚10中，利用夹具24将电热器12予以固定的构成。

Claims (21)

1.一种蒸发装置，具备：

上部开放以收纳蒸发材料的细长长形坩埚(10)；

覆盖上述长形坩埚(10)的上部开放部，且通过通电而发热，以对上述长形坩埚(10)内的上述蒸发材料加热，且具有经加热而气化的上述蒸发材料可通过的开口的电热器(12)；以及

将该电热器(12)朝上述长形坩埚(10)按压并予以固定的固定构件，且

在上述固定构件与上述电热器(12)之间，沿上述长形坩埚(10)的长度方向配置有角材(20)，该角材(20)具有可与上述长形坩埚(10)的上面侧部及侧面上部配合的面部，且上述固定构件的按压力系通过上述角材(20)而作用于上述电热器(12)，以使上述电热器(12)密接于上述长形坩埚(10)。

2.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，

上述角材(20)在该长形坩埚(10)的长度方向的长度比上述固定构件的按压上述角材(20)的按压部长。

3.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，

上述固定构件，是由用以将上述电热器(12)、上述长形坩埚(10)与上述角材(20)一起系紧的线材(22)所构成。

4.根据权利要求2所述的蒸发装置，其特征在于，上述固定构件，是由用以将上述电热器(12)、上述长形坩埚(10)与上述角材(20)一起系紧的线材(22)所构成。

5.根据权利要求1所述的蒸发装置，其特征在于，上述固定构件，是由能在上述长形坩埚(10)的底面、覆盖该长形坩埚(10)的上部开放部的上述电热器(12)、及角材(20)之间产生按压力的弹簧材构成的夹具(24)所构成。

6.根据权利要求2所述的蒸发装置，其特征在于，上述固定构件，是由能在上述长形坩埚(10)的底面、覆盖该长形坩埚(10)的上部开放部的上述电热器(12)、及角材(20)之间产生按压力的弹簧材构成的夹具(24)所构成。

7.根据权利要求1至6中所述的任一项的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)，是由热传导率比上述固定构件低的材料所构成。

8.根据权利要求1至6中所述的任一项的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)，至少其表面是绝缘的，以与上述电热器(12)及具导电性的上述固定构件形成电气绝缘。

9.根据权利要求7所述的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)，至少其表面是绝缘的，以与上述电热器(12)及具导电性的上述固定构件形成电气绝缘。

10.根据权利要求1至6中所述的任一项的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)及上述固定构件，为沿上述长形坩埚(10)的长度方向配置的多个。

11.根据权利要求7所述的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)及上述固定构件，为沿上述长形坩埚(10)的长度方向配置的多个。

12.根据权利要求8所述的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)及上述固定构件，为沿上述长形坩埚(10)的长度方向配置的多个。

13.根据权利要求9所述的蒸发装置，其特征在于，上述角材(20)及上述固定构件，为沿上述长形坩埚(10)的长度方向配置的多个。

14.根据权利要求1所述至6中所述的任一项的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

15.根据权利要求7所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

16.根据权利要求8所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

17.根据权利要求9所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

18.根据权利要求10所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

19.根据权利要求11所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

20.根据权利要求12所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

21.根据权利要求13所述的蒸发装置，是用于使从该蒸发装置蒸发的蒸发物蒸镀在对象物上的蒸镀装置。

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