CN1485601A - 真空吸笔检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明揭示了一种真空吸笔检测装置，它在一平面上设有一微小开口，并且包括一与该微小开口相连通的真空检测器。在该平面上另装有一光电控制电路，例如一光敏电阻。当真空吸笔的吸盘置于该平面时，光电控制电路产生一讯号而激活该真空检测器，从而可自动检测真空吸笔吸盘的真空度。若所检测出的真空度比标准值低，则自动产生声光讯号以警告作业人员。

Description

真空吸笔检测装置

技术领域

本发明涉及一种真空吸笔检测装置，特别涉及一种可自动检测并显示真空吸笔的真空度的装置。

背景技术

在半导体生产流程中，常需要作业人员将晶片自晶舟或机台内取出。尤其在对品管进行抽检时，作业人员会用真空吸笔拿取需要抽检的晶片，并移至确定位置，以便直接观察或用显微镜检查各种缺陷。

图1为普通真空吸笔的立体示意图。该真空吸笔10的握柄13的前端有一吸盘11，在该吸盘11的表面设有一吸嘴12，吸嘴12与握柄13后端的连接头15之间有一内部信道相连(未示出)。当连接头15与一真空管路连接时，吸盘11的吸嘴12便产生真空吸力，利用该真空吸力可将晶片稳稳地吸附于吸盘11的表面。作业人员手持握柄13，就可移取晶片。若要放置于确定位置，只要按下控制纽14，就可使晶片与吸盘11相分离。

在实际生产中，许多情形会造成真空吸笔10的吸力异常，其中较常发生的是吸嘴12因吸入碎屑、毛发及异物而堵塞，或是套接在连接头15上的真空源管路被拉扯松脱或遭践踏磨蹭，从而导致吸嘴12的真空吸力不稳定。尤其当作业人员已将晶片吸附在吸盘11上时，若吸力不稳定而造成瞬间吸力不足，则晶片无法被确定地吸附而掉落。这不仅造成生产率降低，甚至使作业人员随时担心会摔破晶片而影响其工作心情，从而导致生产效率变慢。

台湾专利公告号383,751中揭示了一种可调式真空显示的真空吸笔，其中该真空吸笔的主体部分有一与其相连通的真空检测调整装置，并有另一真空显示装置以显示该真空检测调整装置所检测的结果。利用这种方式可以检测出真空源管路破损或松脱问题，但无法就吸嘴堵塞而提出有效的检测方法。况且若要将真空吸笔与真空检测调整装置相结合，则必须在原有真空吸笔的主体部分进行钻孔加工，并形成一凸出于该主体部分的结构，这将影响真空吸笔的握持整体性，并由于改装密封不良而发生漏真空缺陷。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种真空吸笔检测装置，它可自动测量并显示真空吸笔吸盘的真空度，以确保在使用真空吸笔拿取晶片时具有足够吸力，从而能够安全地吸附晶片。

本发明的第二个目的是提供一种以声光显示真空吸笔真空度的检测装置，在尚未操作前就能自动告知作业人员有异常发生，且不需要被动地核对读值与规范标准值是否相同。

本发明的第三个目的是提供一种与真空吸笔相分离的真空度检测装置，它适用于所有半导体厂目前使用的真空吸笔，同时无需改变真空吸笔的主体部分就能够实施。

为了达到上述目的，本发明提供了一种真空吸笔检测装置，它在一平面上设一微小开口，且具有一真空检测器与该微小开口相连通。在该平面上另装有一光电控制电路，例如一光敏电阻。当真空吸笔的吸盘置于该平面时，该光电控制电路产生一讯号而激活该真空检测器，从而可自动检测真空吸笔吸盘的真空度。如果所检测出的真空度比标准值低，则会自动产生声光讯号以警告作业人员。

附图简介

本发明将参照附图来说明，其中：

图1为一公知真空吸笔的立体示意图；

图2为根据本发明的真空吸笔检测装置的电路方块图；

图3为根据本发明的真空吸笔检测装置的立体图；

图4为根据本发明的检测真空吸笔的真空度的流程图。

优选实施方式

图2是根据本发明的真空吸笔检测装置的电路方块图。通过交流电源21而供给整个装置电力，可使用110V/60Hz的交流电。该交流电源与一光电控制电路22串联。若真空吸笔放置到位，则光电控制电路22处于通路状态。反之，则光电控制电路22为断路状态。当光电控制电路22处于通路状态时，交流/直流转换器23会将交流电转变为真空检测器24及其它电子组件所需要的直流电。真空检测器24因为有直流电供应，所以会检测真空吸笔的真空度是否符合标准。若真空度符合设定的标准值，则相应的指示灯25将发光。反之，则警示指示灯25发光，或者蜂鸣器26产生警告声。这样，使用者可依照声光指示而得知是否有异常发生，即真空吸笔是否处于可以使用的状态。

根据图2的电路方块图可制成本发明的真空吸笔检测装置30，如图3所示。真空吸笔的吸盘可放置并贴紧在一测试台面31上。在基座37的另一端凸出一支撑架36以托住真空吸笔的握柄，并且多个定位销32用于限定吸盘的摆放位置，从而可将真空吸笔正确握持并限定位置。另外，在支撑架36的侧边可设置一调整螺丝361，该调整螺丝361可改变支撑架36的位置以适应各种形状的真空吸笔。定位销32锁紧固定于吸盘的轮廓边缘。另一方面可在测试台面31上预留多个可供锁紧的孔位，能根据各种吸盘的形状而调整定位销32的固定位置。或者在测试台面31上直接加工形成一凹槽(图未示出)，该凹槽的形状适于容纳吸盘并与之嵌合。

在定位销32中间有一真空检测口35，该真空检测口35与一真空检测器34相连通。当吸盘放置于定位销32的中间并遮住光敏电阻39时，光敏电阻39会由断路瞬间变为通路，因此电压供给到真空检测器34及其它电子组件。通过真空检测口35与吸盘吸嘴的紧密相接，真空检测器34能确认真空吸笔是否有足够的真空度。所谓足够的真空度是将真空度标准值由设定区342输入真空检测器34内。因此当检测结果满足该真空度标准值时，正常指示灯332就显示。反之，则显示异常指示灯331并激活蜂鸣器38。当然该真空度测量值也会显示在真空读值区341中，以供作业人员确认可能发生的原因是什么。这种真空吸笔检测装置30为真空吸笔提供了一个良好的摆放座，并且在未使用时就能进行真空度检测。当需要使用时就已经判断出是否能使用，从而不需要再浪费时间以进行另外的确认。

图4为根据本发明的检测真空吸笔真空度的方法的流程图。在步骤41中，将真空吸笔放置到位。在步骤42中，光电控制电路动作。在步骤43中，激活真空检测的功能。若与设定真空度标准值相符合，则进入步骤44，使正常指示灯点亮。反之，不符合标准值则进入步骤45，使异常指示灯点亮或激活蜂鸣器。在步骤46中，通过声光警示讯号而招来相关人员进行检修处理。若真空度正常而暂时又不使用真空吸笔，在闲置期间仍随时可以进行真空检测，因为真空管路此时很有可能遭人无意拉扯，或者真空供应系统发生异常而无法正常运转。因此最好在真空吸笔未使用时，仍保持随时检测的确认状态。

本发明的技术内容及技术特点已如上面所描述，然而本领域的普通技术人员仍有可能根据本发明的教导而作出种种不背离本发明精神的替换及变型。因此，本发明的保护范围应不限于以上实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本发明的替换和变型，并为以下权利要求书所覆盖。

组件符号说明

10   真空吸笔                11   吸盘

12   吸嘴                    13   握柄

14   控制纽                  15   连接头

21   交流电供应源            22   光电控制电路

23   交流/直流转换器         24   真空检测器

25   指示灯                  26   蜂鸣器

30   本发明的检测装置        31   测试台面

32   定位销                  331  异常指示灯

332  常指示灯                34   真空检测器

341  真空读值区              342  设定区

35   真空检测口              36   支撑架

361  调整螺丝                   37   基座

38   蜂鸣器                     39   光敏电阻

Claims (9)

1、一种用于真空吸笔的检测装置，包括：

一基座；

一位于所述基座上的光电控制电路，用于检测真空吸笔是否已放置到位；以及

一位于所述基座上的真空检测器，当所述光电控制电路检测出所述真空吸笔已放置到位时，所述真空检测器用于检测所述真空吸笔的吸盘的真空度。

2、如权利要求1所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，所述光电控制电路包含一光敏电阻，用于检测真空吸笔是否放置到位。

3、如权利要求1所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，还包含一组可显示真空度正常或异常的指示灯，所述指示灯与所述真空检测器电气连接。

4、如权利要求1所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，还包含一电气连接至所述真空检测器的蜂鸣器，用于警示真空度异常。

5、如权利要求1所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，所述真空检测器可由操作人员自行设定一真空标准值。

6、如权利要求1所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，还包含一可放置所述真空吸笔的吸盘的测试台面，所述测试台面设有一开口以与所述真空检测器相连通。

7、如权利要求6所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，所述测试台面还设有多个定位销，用于确保所述真空吸笔的吸盘摆放于正确的位置。

8、如权利要求6所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，所述测试台面还设有一凹槽，用于放置所述吸盘并与之嵌合。

9、如权利要求1所述的真空吸笔检测装置，其特征在于，所述光电控制电路包含一电路开关，当所述光电控制电路检测到所述真空吸笔放置到位时，所述电路开关形成通路以将电源供应至其它需要耗电的组件。

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