TWI714391B - 用於感測消除靜電的x光機的感測器 - Google Patents

Abstract

一種用於感測消除靜電的X光機的感測器，感測器包括設置於感 測窗口內的薄膜、光電感測元件及處理器。薄膜對準X光機發射X光射線的出口，用以感測由X光機所發射出來的X光射線；光電感測元件接收薄膜所感測到的X光射線，並將X光射線轉換成電流訊號；處理器從光電感測元件接收電流訊號，並將電流訊號傳送至外部裝置，由外部裝置依據電流訊號來判斷或是監控X光機是否正常。

Description

用於感測消除靜電的X光機的感測器

本發明涉及一種光電半導體技術，特別是一種用於感測消除液晶面板上的靜電的X光機的感測器。

過去以來，半導體、液晶、有機EL、印刷電路板的製程中，經常發生的問題是半導體面板、液晶面板、有機EL面板、印刷電路板的加工/處理步驟，由於絕緣氧化膜(SiO₂)或玻璃表面是高絕緣體，很容易發生靜電帶電，而在玻璃基板表面帶有靜電，靜電會吸附空氣中的粉塵，容易破壞半導體面板、液晶面板、有機EL面板、印刷電路板上的電路；靜電產生的帶電電壓會引起薄膜電晶體等器件的故障。而使產品面臨可靠性下降、良率不佳等問題。

為解決前述問題，可在面板上設置消除靜電的X光機，以消除面板上的靜電及/或防止面板的表面帶電。消除靜電的X光機採取對空氣照射X光射線的方式，以將空氣離子化而生成高濃度的離子，因此可以在非常短的時間內消除靜電，並且殘留靜電的電壓非常低，在大氣壓狀態的非活性氣體裡亦可防止靜電。但是當消除靜電的X光機故障時則無法達到消除面板所附帶的靜電，故障的情形包括：消除靜電的X光機無法正常發射X光射線；X光管老化導致X光射線強度不足而無法正常運作；X光機的指示燈在異常狀態無法顯示等等。

因此目前極需一種能夠感測、監控消除靜電的X光機是否正常運作的技術。

為解決上述的問題，本發明之主要目的在提供一種用於感測消除靜電的X光機的感測器，用於感測X光機所發出的X光射線。感測器包括薄膜、光電感測元件及處理器。薄膜設置於感測窗口，薄膜對準X光機發射X光射線的出口，用以感測由X光機所發射出來的X光射線；光電感測元件接收薄膜所感測到的X光射線，並將X光射線轉換成電流訊號；處理器從光電感測元件接收電流訊號，並將電流訊號傳送至外部裝置，使用者可以由外部裝置依據電流訊號來判斷或是監控X光機是否正常。

本發明更提供一種用於感測消除靜電的X光機的感測器，用於感測X光機所發出的X光射線。感測器包括薄膜、光轉換元件、光電感測元件及處理器。薄膜設置於感測窗口，薄膜對準X光機發射X光射線的出口，用以感測由X光機所發射出來的X光射線；光轉換元件接收薄膜所感測到的X光射線，並將X光射線轉換成可見光；光電感測元件從光轉換元件接收可見光，並將可見光轉換成電流訊號；處理器從光電感測元件接收電流訊號，並將電流訊號傳送至外部裝置，使用者可以由外部裝置依據電流訊號來判斷或是監控X光機是否正常。

本發明的用於感測消除靜電的X光機的感測器具有可以感測X光射線的薄膜，並濾除除了X光射線以外的其他光線，以屏蔽可見光對由X光機所發射的X光射線造成干擾，降低感測器感測到除了X光射線以外的其他光線的機率。實現感測消除靜電的X光機所發射的X光射線之目的。

10:感測器

11:感測器本體

110、310:電路板

12、32:感測窗口

121、321:薄膜

13、33:光轉換元件

14、34:光電感測元件

16、36:處理器

20、30:X光機

21、31:出口

100:外部裝置

圖1為本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第一實施例的側視示意圖。

圖2為本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第一實施例的方塊圖。

圖3為本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第二實施例的方塊圖。

圖4A為本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第三實施例的側視示意圖。

圖4B為本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第三實施例的方塊圖。

圖5為本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第四實施例的方塊圖。

為了使本發明所屬技術領域者充分了解其技術內容，於此提供相關之其實施方式與其實施例來加以說明。此外在閱讀本發明所提供之實施方式時，請同時參閱圖式及如下的說明書內容，其中，圖式中各組成元件之形狀與相對之大小僅用以輔助了解本實施方式之內容，並非用於限制各組成元件之形狀與相對之大小，以此先行說明。

首先，請參考圖1，圖1是本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第一實施例的側視示意圖。如圖1所示，為了能夠即時感測消除靜電的X光機20的功能是否正常，將感測器10設置於X光機20上，以感測X光機20所發出的X光射線，較佳地可利用雙頭接線將感測器10與X光機20連接於轉接線，以便快速安裝於生產線上。感測器10包括設置於感測窗口12內 的薄膜121、光電感測元件及處理器(參考圖2)。其中感測窗口12由感測器本體11向外延伸，並凸設於感測器本體11之外；薄膜121設置在感測窗口12內用以接收X光射線，且對準X光機20發射X光射線的出口21，光電感測元件及處理器設置於感測器本體11內。

接著，請參考圖2。圖2是本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第一實施例的方塊圖。在圖2中，感測器10至少由設置於感測窗口12內的薄膜121、具有處理器16的電路板110及光電感測元件14所構成，其中光電感測元件14分別與電路板110電性連接。另外，處理器16用以接收由光電感測元件14將X光訊號轉換成電流訊號，並將此電流訊號傳送至與感測器10連接的外部裝置100，利用電流訊號來判斷該感測器10所配置的X光機20是否操作正常。於本發明的較佳實施例中，當X光機20發射出X光射線之後，位於該X光機20的光源出口21上方的感測窗口12內的薄膜121會接收由X光機20所發射的X光射線，薄膜121將X光射線以外的其他環境光源濾除，以避免其他環境光源造成雜訊，而影響到判斷X光機20是否操作正常的準確性。濾除後的X光射線傳送至光電感測元件14，由光電感測元件14將X光訊號傳換成相應的電流訊號，並將電流訊號傳送至處理器16。然後，此電流訊號再經由處理器16傳送至外部裝置100，例如電腦或顯示螢幕，使用者可以由外部裝置100依據電流訊號來判斷或是監控X光機20是否操作正常。在本發明中，薄膜121的材料可以是金屬、高分子材料或複合材料。外部裝置100包括計算機硬體、網路、電腦、手機、伺服器或顯示螢幕，可作為產線上監控製程設備是否正常運作的平台。因此，外部裝置100可連接多個感測器10，同時監控多個X光機20是否正常，以備即時反映更換措施或維修需求。

接著，請同時參考圖1及圖3。圖3是本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第二實施例的方塊圖。感測器10至少由設置於感測窗口 12內的薄膜121、具有處理器16的電路板110、光電感測元件14及光轉換元件13所構成，其中光電感測元件14分別與光轉換元件13及電路板110電性連接，且光轉換元件13與薄膜121連接。因此，當X光機20發射出X光射線之後，位於該X光機20的光源出口21上方的感測窗口12內的薄膜121會接收到由X光機20所發射的X光射線，同樣的薄膜121會將除了X光射線以外的其他波長的光源濾除，濾除後的X光射線傳送至光轉換元件13，由光轉換元件13將此X光射線轉換成可見光並傳送至光電感測元件14。由光電感測元件14將可見光訊號轉換成相應的電流訊號，再經由處理器16將電流訊號傳送至外部裝置100，使用者可以利用外部裝置100依據電流訊號來判斷或是監控X光機20是否操作正常。

於本發明的另一實施例，則是將感測器的元件如光電感測元件內建於X光機內，如圖4A、圖4B所示。圖4A是本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第三實施例的側視示意圖；圖4B是本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第三實施例的方塊圖。在圖4A、圖4B中，於X光機30的光源出口31上凸設有感測窗口32，即感測窗口32是由X光機30往光源出口31那側向外延伸。感測窗口32內設置有薄膜321，薄膜321對準於X光射線發射出口31，以致於該X光機30的光源出口31上方的感測窗口32內的薄膜321可接收到由X光機30所發射的X光射線，並濾除除了X光射線以外的其他環境光源。在此實施例中，光電感測元件34設置在X光機30內，原本在感測器10內的處理器16可以設置於X光機30的電路板310上，而與X光機30的處理器36整合，當X光機30發射出X光射線之後，位於感測窗口32的薄膜321可以感測並接收到此X光射線，再將X光射線傳送至光電感測元件34，由光電感測元件34將此X光訊號轉換成相應的電流訊號，並將電流訊號傳送至處理器36，再由處理器36傳送至外部裝置100，使用者可以利用外部裝置100來判斷或是監控X光機30的操作是否正常。

於本發明的再一實施例，則是將感測器的元件例如光電感測元件及光轉換元件同時內建於X光機內。如圖5所示，圖5是本發明用於感測消除靜電的X光機的感測器的第四實施例的方塊圖。光轉換元件33及光電感測元件34設置在X光機30內，原本在感測器10內的處理器16可以設置於X光機30的電路板310上，而與X光機30的處理器36整合。當位於感測窗口32內的薄膜321接收到X光機30發射出X光射線，此薄膜321感測將除了X光射線以外的環境光源濾除之後，再將濾除之後的X光射線傳送至光轉換元件33，由光轉換元件33將X光射線轉換成可見光，並傳送至光電感測元件34。由光電感測元件34將可見光訊號轉換成電流訊號，再由設置於X光機30內電路板310上的處理器36將此電流訊號傳送至外部裝置100，使用者可以利用外部裝置100來判斷或是監控X光機30的操作是否正常。

因此，當X光機20、30發生故障無法發射出X光射線時，配置在感測窗口12、32即無法感測到任何X光射線，此時使用者可以由外部裝置100發現沒有相對應該X光機20、30的電流訊號，可以立即發現此X光機20、30故障，以便立即對故障的X光機20、30進行更換或是維修；或是感測到對應X光射線的電流訊號與預設電流訊號之間的誤差超過預設值時，使用者亦可以即時發現，而立即進行故障的排除，據此可以確保X光機20、30可以正常的操作以及液晶面板的良率。

以上所述僅為本發明較佳的實施方式，並非用以限定本發明權利的範圍；同時以上的描述，對於相關技術領域中具有通常知識者應可明瞭並據以實施，因此其他未脫離本發明所揭露概念下所完成之等效改變或修飾，應均包含於申請專利範圍中。

10:感測器

11:感測器本體

12:感測窗口

121:薄膜

20:X光機

21:出口

Claims (8)

1. 一種用於感測消除靜電的X光機的感測器，用於感測該X光機所發出的一X光射線，該X光機採取對空氣照射該X光射線的方式，以對一面板消除靜電，該感測器配置於該X光機上或是內建於該X光機內，該感測器包括：一薄膜，設置於一感測窗口，該感測窗口設置於該X光機發射該X光射線的一出口之上方，該薄膜對準該X光機發射該X光射線的該出口，用以感測由該X光機所發射出來的該X光射線；一光電感測元件，接收該薄膜所感測到的該X光射線，並將該X光射線轉換成一電流訊號；及一處理器，從該光電感測元件接收該電流訊號，並將該電流訊號傳送至一外部裝置，由該外部裝置依據該電流訊號來判斷或是監控該X光機是否正常。
2. 根據申請專利範圍第1項所述之感測器，其中該薄膜是以金屬、高分子材料或複合材料作為材料。
3. 根據申請專利範圍第1項或第2項所述之感測器，其中該薄膜用以濾除除了該X光射線以外的其他光線。
4. 根據申請專利範圍第1項所述之感測器，其中該光電感測元件及該處理器是設置於一感測器本體內，該感測窗口由該感測器本體向外延伸。
5. 一種用於感測消除靜電的X光機的感測器，用以感測該X光機所發出的一X光射線，該X光機採取對空氣照射該X光射線的方式，以對一面板消除靜電，該感測器配置於該X光機上或是內建於該X光機內，該感測器包括： 一薄膜，設置於一感測窗口，該感測窗口設置於該X光機發射該X光射線的一出口之上方，該薄膜對準該X光機發射該X光射線的該出口，以感測由該X光機所發射出來的該X光射線；一光轉換元件，接收該薄膜所感測到的該X光射線，並將該X光射線轉換成一可見光；一光電感測元件，從該光轉換元件接收該可見光，並將該可見光轉換成一電流訊號；及一處理器，從該光電感測元件接收該電流訊號，並將該電流訊號傳送至外部裝置，由該外部裝置依據該電流訊號來判斷或是監控該X光機是否正常。
6. 根據申請專利範圍第5項所述之感測器，其中該薄膜是以金屬、高分子材料或複合材料作為材料。
7. 根據申請專利範圍第5項或第6項所述之感測器，其中該薄膜用以濾除除了該X光射線以外的其他光線。
8. 根據申請專利範圍第5項所述之感測器，其中該光轉換元件、該光電感測元件及該處理器是設置於一感測器本體內，該感測窗口由該感測器本體向外延伸。

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