JP5449057B2 - 荷電粒子線応用装置及び転送路の異常の検出方法 - Google Patents
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- 荷電粒子線を試料上に照射して走査する荷電粒子線光学系と前記試料から発生する荷電粒子を検出して画像データを生成する画像データ生成部と前記画像データに同期した同期信号を発生する同期信号発生部とを有する荷電粒子線装置と、
前記画像データを入力して2次元画像を生成し該2次元画像に対して画像処理を行う画像処理部を有する画像処理装置と、
前記荷電粒子線装置と前記画像処理装置を接続する転送路と、
を有する荷電粒子線応用装置において、
前記転送路は、前記画像データを前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送するための第1の信号伝送線と、前記同期信号を前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送するための第2の信号伝送線と、を有し、
前記画像処理装置は、前記第2の信号伝送線を経由して送信された同期信号と、前記転送路とは異なる制御ケーブルを介して入力した制御信号とを監視することによって、前記転送路の状態を監視する転送路監視部を有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記転送路監視部によって前記転送路の異常を検出したとき、該転送路の異常を表示する表示装置を有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記荷電粒子線装置と前記画像処理装置を制御する制御装置が設けられ、
前記転送路監視部は、前記転送路の異常を検出したとき、該転送路の異常を前記制御装置に通知することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項3記載の荷電粒子線応用装置において、
前記制御装置は、前記転送路の異常を受信したとき、前記荷電粒子線装置に画像データの生成処理の停止を命令することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記画像処理装置は複数の画像処理装置を含み、
前記転送路は、前記荷電粒子線装置と前記複数の画像処理装置を接続する複数の転送路を含み、前記複数の転送路の各々は、前記画像データを前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置の各々に転送するための第1の信号伝送線と、前記同期信号を前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置の各々に転送するための第2の信号伝送線と、を有し、
前記画像処理装置の各々は、前記第2の信号伝送線を経由して送信された同期信号を監視することによって、前記転送路の状態を監視する転送路監視部を有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記転送路監視部は、前記同期信号が所定のクロック毎にハイレベルとロウレベルの間を変化するか否かを監視することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記画像データを前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送するための第3の信号伝送線が設けられ、前記画像処理部は、前記第1の信号伝送線を介して得られた画像データと前記第3の信号伝送線を介して得られた画像データとを比較することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記転送路は、ツイストペアケーブルを有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線応用装置において、
前記画像処理装置は、前記転送路を接続するための受信インターフェースを有し、該受信インターフェースには、前記転送路監視部が設けられていることを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 試料上の所定の位置の走査画像を生成する走査電子顕微鏡と、該走査画像と予め用意した参照画像を比較して試料上の所定の位置の欠陥を検出する画像処理装置と、を有する欠陥レビュー装置において、
前記走査電子顕微鏡と前記画像処理装置はツイストペアケーブルによって構成される転送路によって接続され、
前記転送路は、前記走査画像を前記走査電子顕微鏡から前記画像処理装置に転送するための第1の信号伝送線と、前記走査画像の同期信号を前記走査電子顕微鏡から前記画像処理装置に転送するための第2の信号伝送線と、を有し、
前記画像処理装置は、前記第2の信号伝送線を経由して送信された同期信号と、前記転送路とは異なる制御ケーブルを介して入力した制御信号とを監視することによって、前記転送路の状態を監視する転送路監視部を有することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項10記載の欠陥レビュー装置において、
前記転送路監視部は、前記同期信号が所定のクロック毎にハイレベルとロウレベルの間を変化するか否かを監視することを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項10記載の欠陥レビュー装置において、
前記制御信号は、前記同期信号の転送を一時的に停止する場合に生成されるものであることを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 荷電粒子線を試料上に照射して走査する荷電粒子線光学系と前記試料から発生する荷電粒子を検出して画像データを生成する画像データ生成部と前記画像データに同期した同期信号を発生する同期信号発生部とを有する荷電粒子線装置と、
前記画像データと前記同期信号を入力するための受信インターフェースと、前記画像データ及び前記同期信号より2次元画像を生成し該2次元画像に対して画像処理を行う画像処理部と、を有する画像処理装置と、
前記荷電粒子線装置と前記画像処理装置を接続する転送路と、を有する荷電粒子線応用装置において、
前記転送路は、前記画像データを前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送するための第1の信号伝送線と、前記同期信号を前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送するための第2の信号伝送線と、を有するツイストペアケーブルによって構成され、
前記受信インターフェースは、前記第2の信号伝送線を経由して送信された同期信号と、前記転送路とは異なる制御ケーブルを介して入力した制御信号とを監視することによって、前記転送路の状態を監視する転送路監視部を有することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項13記載の荷電粒子線応用装置において、
前記受信インターフェースは、前記画像データの信号を受信すると1画素又は1フレーム毎に計数値を加算するカウンタを有し、1画像分の画像データ信号を受信したか否かを検出することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 請求項13記載の荷電粒子線応用装置において、
前記画像処理装置は、1画像分の画像データ信号の受信毎に、前記画像データ信号の受信の漏れの有無を検出し、該漏れがあるとき、前記荷電粒子線装置に画像データの再送を依頼することを特徴とする荷電粒子線応用装置。 - 荷電粒子線装置と画像処理装置を接続する転送路の異常を検出する方法において、
前記荷電粒子線装置によって荷電粒子線を試料に照射することによって画像データを生成する画像データ生成ステップと、
前記画像データを第1の信号伝送線を介して、前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送する画像データ転送ステップと、
前記荷電粒子線装置によって前記画像データに同期した同期信号を発生する同期信号発生ステップと、
前記同期信号を第2の信号伝送線を介して、前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送する同期信号転送ステップと、
前記画像処理装置によって、前記第2の信号伝送線を経由して送信された同期信号と、前記第1の信号伝送線及び前記第2の信号伝送線とは異なる信号伝送線を介して入力した制御信号とを監視することによって、前記転送路の状態を監視する転送路監視ステップと、
を有することを特徴とする転送路の異常を検出する方法。 - 請求項16記載の転送路の異常を検出する方法において、
前記転送路監視ステップは、前記同期信号が所定のクロック毎にハイレベルとロウレベルの間を変化するか否かを監視することを特徴とする転送路の異常を検出する方法。 - 請求項16記載の転送路の異常を検出する方法において、
前記画像データを第1の信号伝送線とは異なる第3の信号伝送線を介して、前記荷電粒子線装置から前記画像処理装置に転送する画像データ転送ステップと、
前記画像処理装置によって、前記第1の信号伝送線を経由して送信された画像データと前記第3の信号伝送線を経由して送信された画像データを比較する画像データ比較ステップと、
を有することを特徴とする転送路の異常を検出する方法。
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