CN1468704B - 使用静压轴承的冲压装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种冲压装置，通过使可动部件与导引部件不相接触，而避免产生摩擦阻力，并且，能够提高可动部件的定位精度，降低施加在驱动该可动部件的驱动装置上的负载，从而避免安装于可动部件上的模具产生错位和倾斜，以提高模制品的质量。其具有：可动部件(24)，具备安装有可动模具的模具安装面以及至少四个导引面；导引部件，具有至少四个导引面(15a)，该导引面(15a)分别与上述可动部件(24)的导引面(24a)相对置，在上述可动部件(24)的导引面(24a)和上述导引部件(15)的导引面(15a)之间所形成的空间中，注入流体，以此来使相对置的导引面以非接触的状态被保持。

Description

使用静压轴承的冲压装置

技术领域

本发明涉及一种冲压装置。

背景技术

以往，由玻璃或树脂等材料制成的模制品，是将玻璃原料或树脂原料装入冲压装置的成形用模具中加热，使其软化后，再挤压成形的。这种情况下，成形的玻璃模制品或树脂模制品，同由上模和下模构成的模具型腔具有相同的形状。而且，该玻璃模制品和树脂模制品成形以后，将上模抬升进行开模，通过具有吸引机构等的搬运部件，将残留在下模上的玻璃模制品和树脂模制品取出，然后向后续工序运送。

这样的冲压装置中，若上模和下模的位置产生偏差，就无法获得预定形状的模制品，上模和下模也无法扣合，而导致上模或下模的破损。因此，在将上模下降或上升时，必须避免产生上模中心轴的偏移、倾斜，或者上模的旋转等。

因此，上述现有的冲压装置中采用直线导引机构，该机构是在上模的周围设置2～4根导杆，可引导上模沿上述导杆上升或下降。(例如，参考专利文献1。)这种情况下，在支撑上模的上模安装部件上形成有导引孔，在该导引孔插入导杆，使导引孔的内周在导杆的外周上滑动。此外，把衬套嵌入到上述导引孔内为普通的嵌入，因此，通常把上述直线导引机构称为直线衬套。

由此，在使上模下降或上升时，可防止上模的中心轴产生偏移，上模旋转。

专利文献1

特开平8-206895号公报。

但是，在上述已有的冲压装置中，直线衬套(リニアブツシユ)上的摩擦阻力较大、并且该摩擦阻力变化很大。因此，用于使上模上升或下降的驱动装置受到较大的负荷，所以需要输出较大的驱动装置，结果导致冲压装置的制造成本及运输成本的提高。

而且，如果摩擦阻力变化，驱动装置即使是输出一定地运转，加载在上模的力也会发生变化，因此无法以预定的挤压力进行挤压成形，而且所形成的玻璃模制品或者树脂模制品的质量低下。

此外，由于在被嵌入导引孔的衬套和导杆之间不可避免的存在间隙，因此导引孔会相对于导杆产生倾斜。因此，上模倾斜，该上模的模具配合面向对下模的模具配合面就难以保持平行，而在模制品的表面会产生不匀或者模制品的厚度产生偏差，而使模制品的替换性降低，因而无法得到品质稳定的模制品。特别是，虽然通过使衬套滑动面的长度增长，可以使导引孔的相对于导杆的倾斜角度减小，但摩擦阻力也会增大。

发明内容

为解决上述以往冲压装置的问题，本发明目的在于提供一种冲压装置，通过使可动部件与导引部件不相接触，而避免产生摩擦阻力，并且，能够提高可动部件的定位精度，降低施加在驱动该可动部件的驱动装置上的负载，从而避免安装于可动部件上的模具产生错位和倾斜，以提高模制品的质量。

因此，在本发明的冲压装置中，具有：可动部件，其设有安装有可动模具的模具安装面、以及至少四个导引面；以及导引部件，其具备分别与上述可动部件的导引面相面对的至少四个导引面，在上述可动部件的导引面和上述导引部件的导引面之间所形成的空间里，注入流体，由此而使相面对的导引面保持非接触状态；

上述可动部件还具有中空部；

在上述可动部件的导引面和上述导引部件的导引面之间形成有驱动装置的压力室，上述可动部件具有配置于压力室内的间壁，该间壁通过上述压力室内所提供的流体的压力来移动；

向上述压力室内提供流体的配管通过上述中空部。

在本发明的另一冲压装置中，上述可动部件的导引面或者上述导引部件的导引面上还具备静压轴承。

本发明的又一冲压装置中，上述可动部件还具备配置于上述中空部内的加强部件。

本发明的又一冲压装置中，上述中空部为多个。

本发明的又一冲压装置中，向上述静压轴承提供流体的配管通过上述中空部。

本发明的又一冲压装置中，配置于上述中空部件的加强部件，被配置成与配设于上述压力室内的间壁的位置相对应。

本发明的又一冲压装置中，上述导引部件，具有：两个相面对的第1导引部件、和夹持着该第1导引部件的两个相面对的第2导引部件，可以对相面对的第1导引部件相互的间隔、以及相面对的第2导引部件之间的间隔进行调整。

本发明的又一冲压装置中，上述间壁被设置在与上述第1导引部件相面对的那一面的上述可动部件上。

本发明的又一冲压装置中，上述可动部件所承受的来自各个静压轴承的力，朝向可动部件的中心相互抵消。

附图的简要说明

图1为表示本发明第1实施方式的冲压装置结构的纵剖面图。

图2为本发明第1实施方式的图1中I-I向视剖面图。

图3为表示本发明第1实施方式的静压轴承单元的导引面结构的剖面图。

图4为表示本发明第1实施方式的静压轴承单元的导引面的平面图，是图3II-II向视剖面图。

图5为表示本发明第2实施方式的冲压装置结构的横剖面图。

图6为表示本发明第3实施方式的冲压装置结构的纵剖面图。

图7为本发明第3实施方式的图6中III-III向视剖面图。

图8为本发明第3实施方式的图6中IV-IV向视剖面图。

图9为本发明第4实施方式的图6中IV-IV向视剖面图。

图10为本发明第5实施方式的图6中IV-IV向视剖面图。

图11为本发明第5实施方式的图6中III-III向视剖面图。

图12为表示本发明第6实施方式的冲压装置结构的纵剖面图。

图13为本发明第6实施方式的图12中V-V向视剖面图。

图14为本发明第6实施方式的图12中VI-VI向视剖面图。

图15为表示本发明第6实施方式中的另一实施例的图12中V-V向视剖面图。

图16为表示本发明第6实施方式中的另一实施例的图12中V-V向视剖面图。

图17为表示本发明第7实施方式的冲压装置结构的纵剖面图。

图18为本发明第7实施方式的图17中VII-VII向视剖面图。

具体的实施方式

下面，参照附图详细说明本发明的实施方式。本发明实施方式的冲压装置，是适用于由玻璃、树脂这样的材料制成的模制品的成形的装置，虽然主要是下述那样使用，即，将玻璃材料或树脂材料装入成形用模具中加热，使其软化后，再进行挤压成形的，但也可以用于其它材料制成的模制品的成形。也就是说，除了玻璃和树脂，例如金属、陶瓷、纸、纤维等各种材料均可。而且，也可以使用由这些材料适当混合而成的材料所制成的模制品的成形。在本实施方式中，为方便说明，针对使用玻璃制成的模制品进行成形时的情况加以说明。

图1为表示本发明第1实施方式的冲压装置结构的纵剖面图，图2为本发明第1实施方式的图1中I-I向视剖面图。

图1中，10为冲压装置，11为作为该冲压装置10框架一部分的基架，12为作为上述冲压装置10框架一部分的导引架。这里，该导引架12的形状是整体竖直设立的方筒体的形状，下端部被安装于基架11的上面。

而且，在上述导引架12的上端部，安装有作为上述冲压装置10框架一部分的顶架13。而且，上述基架11以及顶架13的形状为矩形板状，用以将矩形方筒状的导引架12的两端开口封闭。

而且，在上述导引架12的内部，基架11的上面安装有固定部件21，在作为该固定部件21的模具安装面的上面，直接安装有作为固定模具的下模22。而且，虽然是在上述固定部件21的上面直接安装着下模22，但通过图未示的安装部件来安装下模22也可以。这里，在该下模22的上面，形成有型腔，该型腔由平面状的合模面、和大致形成了模制品下半部分形状的面构成。此外，27为模制品的材料，如上所述，在本实施方式中，为方便说明，针对由玻璃构成的模制品的成形进行说明，因此，上述材料27是作为玻璃材料的玻璃(硝材)。而且，模制品可以是透镜、棱镜、滤光镜、反射镜等光学元件，也可以是光盘等用于计算机的存储媒体、光纤的结合部件等。

而且，上述顶架13的上面安装有驱动装置25，该驱动装置25的连接杆26通过形成于顶架13的图未示的通孔，向下突出。并且，上述连接杆26的下端部安装有可动部件24。本实施方式中，该可动部件24的形状是，如图2所示，截面形状为矩形、或者最好是正方形的方柱形，在上下方向延伸的四个侧壁外面具有作为导引面24a的功能。此外，上述可动部件24若不是方柱形而是方筒形也可以。而且，在上述可动部件24的作为模具安装面的下面上，安装有作为可动模具的上模23。此外，虽然在上述可动部件24的下面直接安装着上模23，但也可以通过图未示的安装部件来安装上模23。这里，在该上模23的下面，形成有型腔，该型腔由平面状的合模面、以及大致形成了模制品上半部分形状的面构成。

此外，上述驱动装置25是具有活塞的汽缸装置，该活塞是通过例如高压压缩流体来驱动的。这种情况下，安装在上述活塞上的活塞杆的下端部，与上述连接杆26的上端部相连接。而且，通过切换向汽缸装置所提供的压缩流体的流动，可以将上述活塞向上方或者下方驱动，由此，来使上述连接杆26以及可动部件24向上方或者下方移动。这里，上述压缩流体，虽然可以是例如空气，但也可以是氮气等其他气体，是油等液体也可。

而且，上述驱动装置25也可以不是汽缸装置，而是电动机，例如线性电动机。这种情况下，作为电动机的往返运动部件(滑动体)的下端部，与上述连接杆26的上端部相连接。而且，通过切换提供给线性电动机的电流，可以驱动上述滑动体相对于作为定子的固定部件向上方或者下方移动，由此，而使上述连接杆26和可动部件24向上方或者下方移动。另外，上述驱动装置25也可以是伺服电机等的旋转型电动机。这时，旋转轴的旋转，是通过球形螺母等的运动方向变换装置来变换、进而进行往复运动的，并且将该运动传递给上述连接杆26。

而且，如图1所示，在开模的状态下，位于下模22上方的上模23通过上述可动部件24向下方的移动，而向下方移动并接近下模22。接着，上模23的合模面与下模22的合模面接触而进行闭模。而且，若进行闭模及合模，上述上模23以及下模22结合为一体，在上述上模23和下模22之间所形成的图未示的型腔内，夹着材料27。通过来自上下的挤压，来形成具有上述型腔形状的模制品。此外，上述材料27是玻璃的情况下，一般要加热到300～500摄氏度左右的高温，使其呈软化的状态。

而且，上述上模23和下模22的材料，虽然可以是例如钨合金、不锈钢合金、超硬质合金等，但也可以其他的材料。而且，上述材料27为玻璃的情况下，为了防止至少在上述型腔的面上附着玻璃，因此最好形成一层或两层以上的薄膜。该薄膜的材料可以是例如氢化非晶碳(水素化アモルフアスカ一ボ)、金刚石、氮化钛、铂铱合金、铂硅合金等，也可以是其他材料。

而且，在导引架12的侧壁，为了进行将材料27装载在下模22上、以及将成形的模制品取出这样的操作，而形成作业孔14。这里，该作业孔14例如是在导引架12的四个侧壁上分别形成一个，通过其他方式来形成也可以，从而决定上述作业孔14的位置、形状、大小、数量等。

另外，沿导引架12上下方向延伸的侧壁的上方部分，具有将可动部件24进行导引的导引部件15的作用。这里，该导引部件15的形状为截面呈矩形或者最好呈正方形的方筒形，该方筒形的侧壁内面是导引面15a。而且，上述可动部件24以及导引部件15的截面形状如图2所示，彼此为相似形，大致为正方形。也就是说，可动部件24的导引面24a由四面构成，相邻的导引面24a相互垂直相交，导引部件15的导引面15a也由四面构成，相邻的导引面15a相互垂直相交。并且，可动部件24的各个导引面24a和导引部件15的各个导引面15a，相互平行的相对置。

而且，上述可动部件24的四个导引面24a、以及导引部件15的四个导引面15a，各自形成为光滑的平面。而且，上述可动部件24的外周尺寸，比导引部件15的内周尺寸稍小。而且，相互对置的可动部件24的导引面24a与导引部件15的导引面15a的间隔虽然很小，但在图2中为了便于说明，而夸张其尺寸，将其描绘的较大。

此外，上述导引部件15的导引面15a上，分别安装有静压轴承30。在本实施方式中，该静压轴承30具有整体为长方形板状的形状，并被埋设安装于上述导引部件15的导引面15a中。并且，静压轴承30的导引面30a形成为与导引部件15的导引面15a大体一致的平面。

而且，上述静压轴承30的安装位置是下述这样的位置，即，在可动部件24向上方或下方移动时，各导引面24a总有至少一部分，与上述静压轴承30的导引面30a相对置。也就是说，可动部件24向上方或下方移动的行程中不论处于哪个位置，各导引面24a总会有至少一部分与上述静压轴承30的导引面30a相对置。由此，可动部件24的四个导引面24a分别由相对置的静压轴承30来保持，因此，可动部件24向上方或下方移动时的移动轨迹就不会在水平方向产生偏移。而且，可动部件24也不会以在上下方向延伸的中心轴为中心旋转。并且，可动部件24的各导引面24a与静压轴承30的各导引面30a，总保持平行，因此，可动部件24不会产生倾斜。

此外，该可动部件24的导引面24a，被相对置的静压轴承30静压保持着，因此不会与导引部件15的导引面15a、或静压轴承30的导引面30a产生接触。也就是说，被非接触的静压保持着。因此，不会产生摩擦阻力，所以只需很小的力就可以使可动部件24向上方或者下方平滑移动。进而，可以降低加载在驱动装置25及连接杆26上的载荷。

而且，上述静压轴承30也可以由单一的静压轴承单元构成，或者由多个静压轴承单元组合而成也行。例如，将多个正方形的静压轴承单元进行组合，就可以构成具有整体为长方形板状形状的静压轴承30。而且，也可以在该静压轴承30的一部分、例如只在两端部分，设置静压轴承单元。

这里，在各个上述静压轴承30上，如图2所示，来自压缩流体供应源35的压缩流体，通过作为配管的供给管道37而被供应。此外，供给上述静压轴承30的压缩流体的压力，通过配设于供给管道37的压力控制阀36来进行调整。另外，上述压缩流体虽然可以是空气，但在这时，最好是净化过的干燥空气、也就是干燥气体(ドライエア)。上述压缩流体若是干燥气体，则因为不含尘埃和水分，所以不会对模制品的表面造成污染。而且，上述压缩流体也可以是其他气体，最好是氮气、氩气、氦气、氪气等惰性气体。

而且，压缩流体供应源35可以是例如，气泵、高压罐、压缩机等，或者是这些装置的组合，也可以为其他形式。另外，静压轴承30的导引面30a上形成有多个压缩流体的喷出口，喷出上述压缩流体通过该喷出的压缩流体，在上述导引面30a和可动部件24的导引面24a之间形成静压薄层。由此，静压轴承30具有作为轴承的功能。

接下来，说明上述静压轴承30的静压轴承单元的结构。

图3为表示本发明第1实施方式的静压轴承单元的导引面结构的剖面图，图4为本发明第1实施方式的静压轴承单元的导引面的平面图，是图3的II-II向视剖视图。

在图3及图4中，31为静压轴承单元。在本实施方式中，为了说明方便，只针对具有正方形板状形状的静压轴承单元31进行说明，静压轴承单元31的形状也可以是其他形式的，例如，可以具有长方形或圆形板状的形状。

上述静压轴承单元31的导引面31a上，形成有具备与该导引面31a平行的平面状的底面的凹部31d，如图4所示，该凹部31d的底面形成有多个压缩流体的喷出口31b、例如有四个。而且，上述凹部31d具有整体呈正方形的形状，且底面形成为从导引面31a凹进例如2～3(μm)左右。而且，上述凹部31d的周围形成有围成一圈的槽32。

并且，通过将由上述压缩流体供应源35所提供的压缩流体，从喷出口31b向图3所示的下方喷出，而在静压轴承单元31的导引面31a与可动部件24的导引面24a之间形成静压薄层，上述导引面31a与导引面24a之间产生例如2～3(μm)左右的间隙。因此，在上述静压轴承单元31或者可动部件24上，即使产生了相互挤压方向上的作用力，也可以维持上述导引面31a与导引面24a之间的间隙。也就是说，可以得到静压保持的效果。因此，可动部件24可以相对于静压轴承单元31、在图3的横向或图中的垂直方向上自由移动。

而且，上述间隙的尺寸，可以通过调整压缩流体的压力等进行改变，例如，在0.1～100(μm)左右时，可获得静压保持效果。而且，上述静压轴承单元31的导引面31a的结构可以进行适当的变化，例如可以省去上述槽32。另外，也可以不形成上述凹部31d，而在由一个平面构成的导引面31a上直接形成喷出口31b。特别是，形成上述凹部31d时，由于在该凹部31d上压缩流体的压力损失变小，因此可以增大上述静压保持的力。

接着说明上述结构的冲压装置10的动作。

首先，预先使驱动装置25工作，上模23离开下模22位于其上方呈开模状态。并且，通过在冲压装置10外部所配置的机械手等搬运装置、或者操作员的手，将材料27通过作业孔14送入导引架12中，并载置于安装在固定部件21上面的下模22上。在本实施方式中，上述材料27为玻璃，需加热至例如300～500摄氏度的高温，在其软化的状态下被放置于下模22的型腔内。接着，由图未示的加热装置，使其进一步加热直到预定的温度(例如600摄氏度)。

接下来，使驱动装置25工作，以使连接杆26向下移动。这样一来，可动部件24的四个导引面24a就沿着导引部件15的四个导引面15a向下移动，这时，上述可动部件24的各导引面24a总有至少一部分，总是与静压轴承30的导引面30a相对置。也就是说，在可动部件24向下移动的行程中的任意位置，各导引面24a总有至少一部分，与静压轴承30的导引面30a相对置。

因此，可动部件24向下移动期间，从安装于导引部件15的静压轴承的注入口注入压缩流体，因此通常可动部件24的四个导引面24a分别由四个静压轴承30以等力维持着被静压保持的状态。而且，相邻的导引面24a相互垂直相交，且，上述静压轴承30的各导引面30a与各导引面24a平行。因此，可动部件24受到来自与正交的四个导引面24a相垂直的方向上(图2中的上下左右方向)的相等的力，因此，当可动部件24在上下方向移动时，其移动轨迹不会在水平方向产生偏移。而且，可动部件24也不会以在上下方向延伸的中心轴为中心旋转。而且，可动部件24的各导引面24a与静压轴承30的各导引面30a总保持平行状态，因此可动部件24不会产生倾斜。也就是说，可动部件24的在上下方向延伸的中心轴，不会相对于导引架12的在上下方向延伸的中心轴产生倾斜。

而且，可动部件24的导引面24a由相对置的静压轴承30静压保持着，因此不会与导引部件15的导引面15a或者静压轴承30的导引面30a相接触。由此，不会产生摩擦阻力，以很小的力就可以使上述可动部件24向下滑动。因此，可以降低加载在驱动装置25及连接杆26上的负荷。

这样，通过可动部件42向下的移动，安装于该可动部件14下面的上模23向下移动而接近下模22。而且，上模23的合模面与下模22的合模面相接触以进行闭模。这时，可动部件24向下移动时，其移动轨迹在水平方向上不会产生偏差，也不会产生旋转，而且，也不会倾斜，因此，上模23向下移动时，其移动轨迹也不会在水平方向上产生偏差及旋转，而且也不会产生倾斜。因此，可以确保闭模时上模23的合模面与下模22的合模面正确的位置关系，所以，上模23和下模22可以平滑的嵌合。并且，不会在上模23或下模22产生破损。

接着，将上模23对下模22挤压以进行合模。由此，上述上模23和下模22被组合为一体，在上述上模23和下模22之间形成的型腔内夹持着的作为材料27的玻璃，被上下挤压，而形成具有上述型腔形状的模制品。加压成形完成后，将上述玻璃冷却到玻璃变态点以下的温度。这期间，型腔内的玻璃仍然受到来自上下方向的比成形力小的力而被继续挤压。此外，若上述玻璃的温度达到玻璃变态点以下的温度，则驱动装置25停止工作，从而结束对上述玻璃的挤压。

这时，由于可动部件24的导引面24a、与导引部件15的导引面15a或静压轴承30的导引面30a之间不会产生摩擦阻力，因此，驱动装置25的输出会不受摩擦阻力影响地向上模23传递。由此，通过控制驱动装置25的输出，就可以适当控制由上模23加载于材料27上的挤压力，因此可以形成具有预定形状的高品质的玻璃模制品。

而且，以预定挤压力、在预定时间内进行合模以后使驱动装置25工作，以使连接杆26以及可动部件24向上移动。由此，上模23从下模22上分离，以进行开模。这时，与向下方移动时相同，可动部件24在向上方移动时，其移动轨迹不会在水平方向产生偏移，也不会产生旋转，而且也不会产生倾斜，因此，上模23向上方移动时，其移动轨迹也不会在水平方向产生偏移、也不会产生旋转，而且也不会倾斜。因此在开模时，可以确保上模23的合模面与下模22的合模面正确的位置关系，从而，可以使上模23与下模22平滑的分离。而且，上模23和下模22也不会产生破损等。

而且，使可动部件24向上移动至最顶点。这时，可动部件24在向上移动时，其移动轨迹在水平方向不会产生偏移，也不会旋转，而且也不会产生倾斜，因此，上模23向上移动时，其移动轨迹在水平方向不会产生偏移，也不会旋转，而且也不会产生倾斜。因此，不会产生振动等。而且，不会产生摩擦阻力，以很小的力就可以使上述可动部件24向上顺滑的移动，且可以降低加载于驱动装置25或连接杆26上的负荷。

此外，在开模后，形成的模制品由搬运装置或者通过操作员的手工将其通过作业孔14运出导引架12外，然后将接下来的用于成形玻璃模制品的材料27，通过作业孔14运送到导引架12中，并放置于下模22上。

而且，通过反复进行上述操作，就可以形成多个玻璃模制品。

另外，虽然在本实施方式中，说明的是将由玻璃制成的模制品进行成形的情况，也可以如下述那样进行成形，即，在对由玻璃或树脂这样的材料制成的模制品所进行的成形过程中，在成形前，将材料27加热，并放置在预定环境中，例如放置在惰性气体环境中，而且，在成形后将模制品冷却。这时，可以在上述冲压装置10的周围设置加热装置、冷却装置、惰性气体供给装置等。这样，就可以使上述材料27或模制品在惰性气体环境中直接加热或冷却，而且可以将其放置在下模22上，或者将形成于上模23和下模22之间的型腔内所夹持着的材料27或模制品进行加热或冷却。

这样，在本实施方式中，可动部件24的四个导引面24a，分别由四个静压轴承30以相等力静压保持着。而且，相邻的导引面24a相互垂直相交，且上述静压轴承30的各导引面30a与各导引面24a平行。因此，可动部件24受到来自于与垂直相交的四个导引面24a相垂直方向的相等的力，因此，可动部件24的移动轨迹在水平方向上不会偏移。而且，可动部件24也不会以在上下方向延伸的中心轴为中心旋转。并且，可动部件24的各导引面24a与静压轴承30的各导引面30a总保持平行，因此可动部件24不会倾斜。

由此，在闭模时，可确保上模23的合模面与下模22的合模面的正确的位置关系，因此上模23和下模22可以平滑的嵌合。并且，上模23和下模22不会产生破损。

而且，可动部件24的导引面24a，被相对置的静压轴承30静压保持着，因此，不会与导引部件15的导引面15a或静压轴承30的导引面30a相接触。因此，由于不会产生摩擦阻力，因而以很小的力就可以使上述可动部件24向下方滑动。所以，可以降低加载在驱动装置25和连接杆26上的负荷，而且，驱动装置25的输出会不受摩擦阻力影响地传递到上模23，因此通过控制驱动装置25的输出，来适当控制由上模23加载在材料27上的挤压力，从而形成具有预定形状的高品质模制品。

接着，说明本发明的第2实施方式。此外，对于与上述第1实施方式的结构中相同的部件，以相同的符号表示，并省略其说明。而且，对于与上述第1实施方式相同的动作及相同的效果也省略其说明。

图5为表示本发明第2实施方式冲压装置的结构的横截面图。

但是，在上述第1实施方式中，静压轴承30被安装在导引部件15的导引面15a上。而且，安装着上述静压轴承30的位置是，在可动部件24向上方或下方移动时，各导引面24a的至少一部分总是与静压轴承30的导引面30a相面对。但是，可动部件24向上方或着下方所移动的行程，比导引面24a的上下方向的尺寸长很多的情况下，各导引面24a的至少一部分总是与静压轴承30的导引面30a相面对是很困难的。

因此，本实施方式中，静压轴承30被分别埋设于可动部件24的四个导引面24a中。而且，静压轴承30的导引面30a形成为，与可动部件24的导引面24a大致一致的平面。此外，在导引部件15的四个导引面15a上，不安装静压轴承30。

这里，导引部件15的导引面15a的上下方向的尺寸，比可动部件24的导引面24a的尺寸要长，或者，其长度为能够覆盖可动部件24向上方或者下放移动的行程总量的程度。因此，可动部件24向上方或者下方移动时，导引部件15的各导引面15a的至少一部分，总与静压轴承30的导引面30a相面对。也就是说，可动部件24向上方或者向下方移动的行程，与导引面24a的上下方向的尺寸相比，即使长出很多，导引部件15的各导引面15a的至少一部分，也可以与静压轴承30的导引面30a相面对。

由此，安装在可动部件24的四个导引面24a上的静压轴承30，分别由导引部件15的四个导引面15a进行静压保持，因此，可动部件24向上方或者下方移动时，其移动轨迹在水平方向上不会产生偏移。而且，导引部件15的各导引面15a与静压轴承30的各导引面30a总保持平行，因此可动部件24不会产生倾斜。

此外，安装于该可动部件24的四个导引面24a上的静压轴承30，被相对置的导引部件15的四个导引面15a静压保持着，因此，可动部件24的四个导引面24a不会与导引部件15的导引面15a相接触。因此，不会产生摩擦阻力。

接着，说明本发明的第3实施方式。而且，与上述第1及第2实施方式相同结构的部件，以相同的符号表示，并省略其说明。而且，与上述第1及第2实施方式相同的动作及相同的效果也省略其说明。

图6为表示本发明的第3实施方式冲压装置的结构的纵剖面图，图7为本发明第3实施方式的图6中III-III向视剖面图，图8为本发明第3实施方式的图6中IV-IV向视剖面图。

本实施方式的冲压装置10的驱动装置40的结构包括，安装有作为可动模具的上模23的可动部件41侧壁的一部分、和导引架12侧壁的一部分。而且，如图7所示，上述可动部件41的形状为，其截面是矩形、最好是正方形的方柱形，在上下方向延伸的四个侧壁外面具有作为导引面41a的功能。而且，可动部件41的材料可以是例如陶瓷、不锈钢合金等，也可以是其它材料。而且，虽然在上述可动部件41的下面，是直接安装上模23的，但通过图未示的安装部件，对上模23进行安装也可以。

而且，在导引杆12的上下方向所延伸的侧壁上的上方部分，具有用于引导可动部件41的导引部件15的功能。这里，该导引部件15具有截面为矩形、最好是正方形的方筒形的形状，该方筒形的侧壁内面为导引面15a。而且，上述可动部件41以及导引部件15的截面形状，如图7所示，彼此为相似形，大致呈正方形。另外，可动部件41的各个导引面41a和导引部件15的各导引面15a，相互面对成平行状态。而且，上述可动部件41的四个导引面41a、以及导引部件15的四个导引面15a，分别形成为平滑的平面。而且，上述可动部件41的外周尺寸，比导引部件15的内周尺寸稍小。而且，相互面对的可动部件41的导引面41a和导引部件15的导引面15a的间隙，是非常小的，但在图6、图7中，为了便于说明，夸张地将其描画的较大。

而且，上述导引部件15的上方及下方的导引面15a分别安装有静压轴承30。并且，上述可动部件41的上方及下方的导引面41a被相对置的静压轴承30静压保持着，因此，不会与导引部件15的导引面15a或静压轴承30的导引面30a相接触，也就是说，是非接触静压保持。因此，不会产生摩擦阻力，且以很小的力就可以使上述可动部件41向上方或者下方滑动。

此外，安装有上述静压轴承30的位置是，在可动部件41向上方或者下方移动时，上述可动部件41的上方及下方的各导引面41的至少一部分，总与静压轴承30的导引面30a相面对。也就是说，在可动部件41向上方或者下方移动的行程中，无论处于何处，上述可动部件41的上方或者下方的各导引面41a的至少一部分，都与静压轴承30的导引面30a相对置。由此，可动部件41的上方及下方的四个导引面41a，分别被相对置的静压轴承30静压保持着，因此，可动部件41向上方或者下方移动时，其移动轨迹在水平方向上不会产生偏移。而且，可动部件41也不会以在上下方向延伸的中心轴为中心旋转。而且，由于位于远离纵轴的上方及下方的导引面41a，在与纵轴方向垂直的方向上被静压保持，因此上述可动部件41可以有效地防止其纵轴产生倾斜。

在本实施方式中，驱动装置40被设置于上方静压轴承30和下方静压轴承30之间的位置上。也就是说，在上方静压轴承30和下方静压轴承30之间的位置上，去除导引部件15的一部分，以构成压力室44。在本实施方式中，如图6及图8所示，具有作为导引部件15的作用的导引架12的侧壁上分别形成有通孔，将该通孔的外侧由板状盖部件43封闭，由此，来构成各自的压力室44。而且，上述通孔的内侧由可动部件41的各个导引面41a封闭。此外，当上述导引架12的侧壁由较厚的板材构成时，也可以不使用上述通孔，而是在上述侧壁的内面形成凹部，由此来构成压力室44。这时，虽然可以不用上述盖部件43，但上述凹部内侧也可以由可动部件41的各个导引面41a来封闭。

而且，在上述可动部件41的各导引面41a上，形成有向外突出的板状间壁42。该间壁42虽然也可以安装在上述可动部件41上，但在本实施方式的说明中，上述间壁42是与可动部件41一体成形的。这里，四个压力室44各自具有截面为矩形的方筒状的形状。而且，如图8所示，四个间壁42的外周形状、与上述四个压力室44的截面形状互为相似形，即矩形。此外，上述压力室44的内面、以及间壁42的外周面分别形成有平滑的平面。而且，上述间壁42的外周尺寸比压力室44的内面尺寸稍小。而且，虽然相对置的间壁42的外周面和压力室44的内面的间隔极小，但为了便于说明，如图6及图8所示，将其夸张地描绘。

而且，各个盖部件43上，分别安装有压缩流体配管45a及45b，该压缩流体配管45a、45b分别与位于压力室44内的间壁42上侧的上部压力室44a、以及位于间壁42下侧的下部压力室44b相连通。由此，来自图未示的压缩流体供给源的压缩流体，通过作为配管的压缩流体配管45a及45b，被供给到上部压力室44a及下部压力室44b中，然后，再从上部压力室44a及下部压力室44b排出。

而且，供给上述上部压力室44a及下部压力室44b的压缩流体，例如可以是空气，在这种情况下最好是净化过的干燥空气，也就是干燥气体。上述压缩流体若是干燥气体，就不含水分和尘埃，因此不会对模制品的表面造成污染。而且，上述压缩流体也可以是其它气体，但最好是氮气、氩气、氦气、氪气等惰性气体。而且，上述压缩流体最好是与供给静压轴承30的压缩流体相同的气体。这时，压力室44的压缩流体供给源，就可以使用与静压轴承30的压缩流体供给源35相同的压缩流体供给源。

此外，上述压力室44相当于一般的汽缸装置中的压力室，上述间壁42相当于一般的汽缸装置的活塞，上述可动部件41相当于一般汽缸装置的活塞杆。这时，在上部压力室44a以及下部压力室44b内交互供应压缩流体，由此，可使上述间壁42及可动部件41向上方或者下方移动。进而，可以使安装在可动部件41下面的上模23向上方或者下方移动。

这里，静压轴承单元31的导引面31a与可动部件41的导引面41a的间隔，与上述第1实施方式相同，例如为2～3(μm)左右。而且，上述间隔可以通过调整供应于静压轴承单元31的压缩流体的压力等来进行变化，例如，在0.1～100(μm)左右，就可以达到静压保持的效果。而且，上述导引部件15的导引面15a与可动部件41的导引面41a的间隔，也与同上述静压轴承单元31的导引面31a与可动部件41的导引面41a的间隔相同。因此，供应给上部压力室44a以及下部压力室44b内的压缩流体几乎不会发生渗漏。而且，供应于压力室44的压缩流体与供应给静压轴承30的压缩流体相同时，即使从压力室44或静压轴承30中泄漏，也不会相互造成影响。

这样，在本实施方式中，驱动装置40由可动部件41的间壁42、与形成于导引部件15的侧壁的压力室44构成。而且，通过向该压力室44的上部压力室44a以及下部压力室44b内提供压缩流体，而使上述间壁42及可动部件41向上方或下方移动。由此，以简单结构的驱动装置40，就可以使安装在可动部件41下面的上模23上下移动。而且，冲压装置10整体结构也可以简单、轻小。

而且，在导引部件15上的上述压力室44的上侧及下侧部分，也就是在导引部件15的上部及下部的导引面15a上，安装有静压轴承30。并且，上述可动部件41的上部及下部的导引面41a，被相对置的静压轴承30静压保持着。因此，由于位于远离纵轴方向上部及下部的导引面41a，在与纵轴方向相垂直的方向上被静压保持，因此上述可动部件41可以有效防止纵轴的倾斜。

接着，说明本发明的第4实施方式。而且，具有与上述第1～第3实施方式相同结构的部件，以相同符号表示，并省略其说明。而且，省略说明与上述第1～第3实施方式相同的动作及效果。

图9为本发明第4实施方式的图6中IV-IV向视剖视图。

在本实施方式中，如图9所示，盖部件43为单一的圆筒形，间壁42为单一的、与围绕着可动部件41周围的圆盘状的凸缘形状具有相同的形状。而且，压力室44为单一的、与汽缸相同的形状。而且，上述间壁42的外周形状、和压力室44的截面形状互为相似形，为圆形。而且，该圆的直径比可动部件41对角线的长度要大。

因此，由上述可动部件41、间壁42以及盖部件43构成的驱动装置40，相当于单一的汽缸装置，上述可动部件41相当于配设于上述汽缸装置中心的活塞。这时，由于间壁42或压力室44是单一的，因此其结构简单、易于制造，还可以减少压缩流体配管45a及45b的数量。由于其他方面都与上述第3实施方式相同，因此省略其说明。

接着，说明本发明第5实施方式。而且，具有与上述第1～第4实施方式相同结构的部件，以相同符号表示，并省略其说明。而且，省略说明与上述第1～第4实施方式相同的动作及效果。

图10为本发明第5实施方式的图6中IV-IV向视剖面图，图11为本发明第5实施方式的图6中III-III向视剖面图。

在本实施方式中，如图10所示，压力室44只由一对相互面对的导引部件15构成。也就是说，上述压力室44的数量为二个，并且以相互对置的方式构成。而且，间壁42也形成于可动部件41上一对相互对置的导引面41a上。这时，由于间壁42或者压力室44的数量都比上述第3实施方式少，因此其结构简单、易于制造，还可以减少压缩流体配管45a及45b的数量。

这里，如图10所示，上述导引部件15最好由构成上述压力室44壁面的宽幅导引部件15-1、以及未构成压力室44壁面的窄幅导引部件15-2构成。这时，窄幅导引部件15-2的宽度(图10中横向长度)，与形成间壁42的一对相对置的导引面41a的间隔大致相等；而宽幅导引部件15-1的宽度(图10中纵向长度)，与未形成间壁42的一对相对置的导引面41a的间隔上加上一对窄幅导引部件15-2的厚度之和的长度大致相等。而且，窄幅导引部件15-2的两端，被一对宽幅导引部件15-1的相面对的面、即导引面15a所夹持。而且，上述宽幅导引部件15-1和窄幅导引部件15-2，如图11所示，由螺栓等接合部件47相连接。这时，该接合部件47将宽幅导引部件15-1的导引面15a压装在窄幅导引部件15-2的端面上。

在本实施方式中，使用于使可动部件41上下移动的驱动装置40工作，则压缩流体被导入压力室44中，压力室44内的压力上升。由此，宽幅导引部件15-1被加载使彼此分离的力。这时，如图11所示，由于是通过接合部件47将宽幅导引部件15-1的导引面15a压装在窄幅导引部件15-2的端面上，因此不会使宽幅导引部件15-1彼此的间隔变宽。所以，一对安装于宽幅导引部件15-1的导引面15a的静压轴承30的导引面30a彼此的间隔也不会变化。从而，即使是驱动装置40工作，上述静压轴承30的导引面30a和可动部件41的导引面41a的间隔也不会变化，因此静压轴承30的性能不会受到影响。

而且，假设在窄幅导引部件15-2上设有压力室44，则压力室44内的压力上升，窄幅导引部件15-2就会受到使彼此分离的方向上的力。这时，如图11所示，受到相对于接合部件47的剪切方向、即与轴垂直方向上的力，因此接合部件47可能会产生变形，且有可能使窄幅导引部件15-2彼此的间隔加宽。如果上述间隔被加宽，则一对安装在窄幅导引部件15-2的导引面15a上的静压轴承30的导引面30a彼此的间隔也会发生变化，而使静压轴承30的导引面30a与可动部件41的导引面41a的间隔产生变化，从而导致静压轴承30的性能受到影响。

因此，使窄幅导引部件15-2的两端面被夹持在一对宽幅导引部件15-1的导引面15a之间，通过接合部件47，使压装在上述窄幅导引部件15-2的端面的宽幅导引部件15-1的导引面15a相结合，由此，使静压轴承30的性能稳定。此外，其他方面与上述第3实施方式相同，因此省略其说明。

然而，如图11所示的结构，也可以适用于上述第1～第3实施方式。而且，在上述第1～第3实施方式中，四个面上都安装有静压轴承30。也就是说，无论在宽幅导引部件15-1的壁面，还是窄幅导引部件15-2的壁面，都设有压力室44。

这时，最好是，形成于宽幅导引部件15-1的接合部件插入孔47a，其宽度可以允许结合部件47在宽度方向上(图11的纵方向)的移动，上述宽幅导引部件15-1上，安装有调整螺栓48a所螺合着的窄幅导引部件间隔调整部件48。因此，通过松动上述接合部件47，旋转调整螺栓48a，来调整相对置的窄幅导引部件15-2的导引面15a彼此的间隔，以适当调整安装在该导引面15a的静压轴承30的导引面30a和可动部件41的导引面41a的间隔。

而且，调整相对置的宽幅导引部件15-1的导引面15a彼此间隔时，使用于调整间隔的垫片夹在窄幅导引部件15-2的端面和宽幅导引部件15-1的导引面15a之间。由此，可以适当调整安装于宽幅导引部件15-1的导引面15a的静压轴承30的导引面30a、与可动部件41的导引面41a的间隔。

下面，说明本发明第6实施方式。而且，具有与上述第1～第5实施方式相同结构的部件，以相同符号表示，并省略其说明。而且，省略与上述第1～第5实施方式相同的动作及效果。

图12为表示本发明第6实施方式的冲压装置结构的纵剖面图，图13为本发明第6实施方式的图12中V-V向视剖面图，图14为本发明第6实施方式的图12中VI-VI向视剖面图，图15为表示本发明第6实施方式中的另一实施例的图12中V-V向视剖面图。

在本实施方式中，如图12～14所示，在可动部件41形成有中空部53。这种情况下，该中空部53是截面为矩形的长孔，其被形成于可动部件41的内部，且在纵轴方向延伸。该长孔的上端在上述可动部件41的上端面打开，上述中空部53的下端在上述可动部件41的内部被封闭。而且，也可以是上述中空部53的上端在上述可动部件41的内部被封闭。而且，上述中空部53的纵轴与上述可动部件41的纵轴基本一致，上述中空部53的截面形状与上述可动部件41的截面形状为相似形。而且，还可以适当设定上述中空部53的长度(图12上下方向的尺寸)及截面面积。

而且，上述中空部53的截面形状，不一定要与上述可动部件41的截面形状为相似形，也可适当的变化，例如像图15所示那样呈圆形也可以。而且，上述中空部53的截面形状也可以是椭圆形，还可以是五边形、六边形等，星形或不定形也可以。

而且，上述中空部53也可以不是单个而是多个，例如像图16所示那样，可以形成多个具有小径圆形截面的中空部53。而且，也可以缩短相邻中空部53彼此的距离，使其截面形状为六边形，就是使可动部件41的截面成为所谓的蜂窝形截面。

而且，如图12～16所示，上述中空部53的截面形状，若从可动部件41的强度的角度来考虑，最好为封闭形状，如有必要也可以使其形状的一部分为打开形状。例如，在图13及图14中，也可以形成使中空部53的角部和可动部件41的角部相连通的狭缝。

这样，在本实施方式中，由于可动部件41具有中空部53，因此可使上述可动部件41轻量化。因此，可以使上述可动部件41向上方或者下方平滑的移动。

而且，由于上述可动部件41重量减轻，就可以通过静压轴承30较准确的定位。也就是说，上述可动部件41的四个导引面41a，分别受到来自四个静压轴承30的相等的力，由此，相对置的可动部件41的导引面41a与静压轴承30的导引面31a的间隔一定，以使上述可动部件41定位。而且，如果该可动部件41的位置错位，而使上述导引面41a与导引面31a的间隙产生变化，则导引面41a会受到来自静压轴承30的力，从而使可动部件41回复到正确的位置上。因此，如果上述可动部件41重量减轻，则因受到来自静压轴承30的力，而迅速回复到正确位置，以实现更准确的定位。

而且，可以通过上述中空部53配设电线或流体配管。例如，也可以代替压缩流体配管45a及45b，将图12中虚线所示的作为配管的压缩流体配管45a’及45b通过上述中空部53安装在可动部件41上，从导引面41a连通至上部压力室44a以及下部压力室44b。而且，静压轴承30被设置于可动部件41的导引面41a上时，可以使向上述静压轴承30供应压缩流体的供给管路37也与上述中空部53相通。这种情况下，不必在盖部件43上安装压缩流体配管45a及45b，或者在导引部件15上安装供给管路37，因此，可以使冲压装置10周围得到整理，即使在狭窄的场所也可以设置冲压装置10，而且，可提高该冲压装置10的作业性。而且，如图16所示，设置多个中空部53的情况下，可实现可动部件41的轻量化，同时在中空部53之间具有横梁那样的部件，因此，导引部41a即使受到来自外部的外力，也可以尽量减小导引面41a的挠曲。而且，关于其他方面，与上述第3实施方式相同，因此省略其说明。

下面，说明本发明的第7实施方式。而且，具有与上述第1～第6实施方式相同结构的部件，以相同符号表示，并省略其说明。而且，省略与上述第1～第6实施方式相同的动作及效果。

图17为表示本发明第7实施方式的冲压装置结构的纵剖面图，图18为本发明第7实施方式的图17中VII-VII向视剖面图。

在本实施方式中，如图17及18所示，在中空部53内部设有加强部件56。这种情况下，上述中空部53是截面为矩形的长孔，其被形成在可动部件41的内部并在纵轴方向延伸，上述加强部件56，如图18所示，其形状是使棒状部件相互交叉的十字形，该棒状材料使上述中空部53的相互面对的面和面相连接。而且，上述加强部件56如图17所示，被设置在上述中空部53的纵轴方向的多个位置。而且，若将上述加强部件56的安装位置，设置在与上述间壁42相面对的位置，且是与上述静压轴承30相对应的位置，则可以尽可能的减少相对于驱动上述间壁42及上述静压轴承30的流体压力的上述可动部件41的歪斜。

而且，在本实施方式中，上述加强部件56是与可动部件41一体成形的，但也可以另外成形后再安装在可动部件41上。而且，上述加强部件56可以是任何形状。例如，也可以是在上述中空部53的纵轴方向上连续的形状。

这样，在本实施方式中，由于加强部件56被设置在中空部53内部，所以可以提高可动部件41的强度，还可防止导引面41a的变形。而且，其他方面与上述第6实施方式相同，因此省略其说明。

在上述第1～第7实施方式中，说明的是使模具在纵方向(垂直方向)移动的立式冲压装置，但本发明也可以适用于模具横向(水平方向)移动的卧式冲压装置。而且，不仅是单侧模具移动的冲压装置，还可适用于两侧模具都能移动的冲压装置。这种情况下，也可以利用与可动部件一样的结构，来使固定部件移动。

而且，在上述第1～第7实施方式中，说明的是导引部件和可动部件的截面形状为矩形的形状，本发明导引面的数量若为多个，就可适用于导引部件和可动部件截面形状为任意形状的情况。例如，上述截面形状还可以是，由一条直线和一个圆弧构成的形状、两条平行直线和两个圆弧构成的形状、五边以上的多边形等。这种情况下，可动部件的导引面，使来自相对置的静压轴承的受力朝向可动部件的中心，并相互抵消，上述力的合力为零，由此来调整静压轴承的配置和大小等。由此，无论导引部件和可动部件的截面形状为何种形状，相对置的可动部件的导引面和静压轴承的导引面的间隔保持一定，以使可动部件定位。

而且，在上述实施方式中，说明了在导引部件或者可动部件上设置静压轴承的实例，但本发明也可以在导引部件或可动部件上直接设置压缩流体注入口，以使其具有与静压轴承相同的功能。

而且，在上述实施方式中，说明了使用干燥气体或氮气等用于压缩流体，也可以根据模制品的不同而选用液体。例如使用纯水这样的液体。

而且，本发明并不仅限于上述的实施方式，还可以是以本发明主旨为基础的各种变形，这些都不被排除在本发明的范围之外。

发明的效果

如上所述，若为本发明，在冲压装置中具有：可动部件，其包括安装有可动模具的模具安装面以及至少四个的导引面；以及导引部件，具备分别与该可动部件的导引面相对置的至少四个导引面，通过向上述可动部件的导引面和上述导引部件的导引面之间所形成的空间注入流体，而使相对置的导引面保持非接触状态。

这种情况下，由于可动部件受到来自于与四个导引面相垂直的方向上的相等的力，因此其移动轨迹不会在水平方向产生偏移。而且，可动部件不会以中心轴为中心旋转。

因此，可以确保闭模时，各模具的合模面的位置关系正确，以使模具相互顺畅的嵌合。而且，也不会使模具产生破损。

而且，由于可以通过可动部件和导引部件来使模具的合模面的位置正确定位，因此无需设于模具的嵌合机构。

而且，在另一冲压装置中，上述可动部件的导引面或者上述导引部件的导引面还具备静压轴承。

这种情况下，可动部件的导引面或者导引部件的导引面，被相面对的静压轴承以非接触的状态静压保持着，因此，不会产生摩擦阻力，且以很小的力就可以使可动部件向下方平滑地移动。因此，可以减轻加载于驱动装置等的负荷。

而且，可动部件具备中空部，因此上述可动部件可实现轻量化。因此，可以使上述可动部件向上方或下方顺畅的移动，而且，可以由静压轴承来进行正确定位。

而且，另一冲压装置中，上述可动部件还具备设置于上述中空部内的加强部件。

这种情况下，可动部件在实现轻量化的同时，由于其中间部之间具有如横梁之类的部件，因此，即使导引面受到来自外界的外力，也可以尽可能减小导引面的挠曲。

而且，又一冲压装置中，配设于上述中空部件的加强部件，被设置成与设于上述压力室内的间壁的位置相对应。

这种情况下，可以尽可能减小相对于驱动间壁以及静压轴承的流体压力的可动部件的歪斜。

Claims (9)

1.一种冲压装置，其特征在于，其具有：

可动部件，具备安装有可动模具的模具安装面以及至少四个导引面，

导引部件，具有至少四个导引面，该导引面分别与上述可动部件的导引面相面对，

在上述可动部件的导引面和上述导引部件的导引面之间所形成的空间中，注入流体，以此来非接触地保持相面对的导引面；

上述可动部件还具备中空部；

上述可动部件的导引面和上述导引部件的导引面之间，形成有驱动装置的压力室，上述可动部件具备设置在上述压力室内的间壁，并且通过被供应到上述压力室内的流体的压力，来使该间壁移动；

向上述压力室内供应流体的配管，通过上述中空部。

2.如权利要求1所述的冲压装置，其特征在于：上述可动部件的导引面或者上述导引部件的导引面设有静压轴承。

3.如权利要求1所述的冲压装置，其特征在于：上述可动部件具备设置在上述中空部内的加强部件。

4.如权利要求1或3所述的冲压装置，其特征在于：上述中空部为多个。

5.如权利要求2所述的冲压装置，其特征在于：向上述静压轴承供应流体的配管，通过上述中空部。

6.如权利要求3所述的冲压装置，其特征在于：设置在上述中空部的加强部件，是与上述压力室内所配设的间壁的位置相对应地设置的。

7.如权利要求1所述的冲压装置，其特征在于：上述导引部件由一对相面对的第1导引部件、以及一对被该第1导引部件夹持的相面对的第2导引部件构成，且可以调整相面对的上述第1导引部件彼此的间隔以及相面对的上述第2导引部件彼此的间隔。

8.如权利要求7所述的冲压装置，其特征在于：上述间壁被设置在与上述第1导引部件相面对的那一面的上述可动部件上。

9.如权利要求2所述的冲压装置，其特征在于：上述可动部件受到的来自各个静压轴承的力，朝向上述可动部件的中心，而被相互抵消。

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