CN1461512A - 状态控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明的状态控制装置包括：基于使测定多个末端致动装置中各装置有关状态的多个测定器的测定结果与预设值的结果一致，而计算出应操作各上述末端致动装置操作量的计算部；根据使用者的设定，生成多种参数的参数生成部；基于上述各操作量与上述多种参数输出驱动上述各末端作动装置的驱动信号，同时在输出驱动一个末端致动装置驱动信号时不输出驱动其他末端致动装置的综合控制部。

Description

状态控制装置

技术领域

本发明涉及状态控制装置，更具体地说，涉及在限制工率消耗下协调地驱动多个末端致动装置的状态控制装置。

背景技术

一般，为了管理多个控制对象(末端致动装置)的状态，例如管理加热器的温度，设有控制各个末端致动装置独立多个控制回路，各个控制回路为了控制与之对应的末端致动装置，例如设有PID运算器等控制器。在具有这样多个控制回路的系统中，在同一期间驱动多个末端致动装置，有时会在短时间内增大功率消耗，因此对各控制回路设置的断路器或其他器件要求有很高的性能。

特开平11-262174号公报中公开的温度控制装置，在驱动某个加热器时进行不驱动其他加热器的时分控制，防止了短时间地增大消耗功率。这种装置是根据加热器的温度上升特性，将一个循环中应驱动各加热器的时间进行分配。具体地说，对于温度容易上升的加热器分配短的驱动时间，而对于温度不易上升的加热器则分配长的驱动时间，这样，所有的加热器实质上同时进入稳定状态。因此，在具有这种温度控制装置的半导体制造设备或其他设备中，能缩短温度上升慢的加热器进到稳定状态的等待时间。

但在末端致动装置的管理中，有时不单是温度上升特性那种单一的因素，而是要根据种种因素来控制多个末端致动装置的状态。例如在具有需要快速控制的主控制系统和不要求那样快速控制的辅助控制系统的设备中，有时必须优先驱动主控制系统的末端致动装置。已有的状态控制装置则有不能进行这种复合控制的问题。

本发明提供这样的状态控制装置，它可在限制的消耗功率下，根据多种因素协调地驱动和控制多个末端致动装置。

发明内容

本发明的状态控制装置包括：为了使测定多个末端致动装置中各装置有关状态的多个测定器的测定结果与预设值的结果一致，而计算出应操作各上述末端致动装置操作量的计算部；根据使用者的设定，生成多种参数的参数生成部；基于上述各操作量与上述多种参数输出驱动上述各末端作动装置的驱动信号，同时在输出驱动一个末端致动装置驱动信号时不输出驱动其他末端致动装置的综合控制部。借助这种装置，基于使用者的设定，依据各式各样的参数，能够协调地驱动与控制多个末端致动装置。此外，由于驱动信号不是同时输出，故可在限制消耗功率下驱动末端致动装置。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述参数生成部生成与上述多个末端致动装置的优先顺序相关的优先顺序参数；上述综合控制部优先输出驱动按上述优先顺序参数表示为高的优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而按上述优先顺序参数表示为低优先顺序的末端致动装置则在一个周期中不输出驱动它的驱动信号。由此，能优先地长时间驱动特定的末端致动装置。例如能把特定的末端致动装置比其他末端致动装置更快地变换到所需状态，并相对于特定的末端致动装置能比其他末端致动装置更精确地保持所需状态。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述参数生成部生成与上述多个末端致动装置优先顺序相关的优先顺序参数。上述综合控制部优先输出驱动按上述优先顺序参数表示为高的优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而在高优先顺序末端致动装置驱动后的上述一个周期中的残余时间内，则输出驱动余剩各末端致动装置的驱动信号。由此，不仅能优先地长时间地驱动特定的末端致动装置，还能驱动其他末端致动装置。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述综合控制部为使上述余剩的各末端致动装置致动时间分别与上述各操作量成比例，于上述余剩的时间中进行分配。由此，对于佘剩的末端致动装置。可以正比于各末端动装置所要求的操作量来分配实际的驱动时间。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述参数生成部生成与至少一个上述末端致动装置在一个周期中能驱动的时间极限有关的极限参数，而上述综合控制部基于包含上述极限参数的各参数，调整上述末端致动装置的驱动信号的输出。由此，可以根据末端致动装置的用途、环境、特性与其他因素，适当地限制末端致动装置的驱动时间。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述参数生成部生成与至少一个上述末端致动装置在一个周期中能驱动的时间极限有关的极限参数，以及与上述多个末端致动装置的优先顺序有关的优先顺序参数；上述综合控制部基于上述极限参数与上述优先顺序参数，调整上述末端致动装置的驱动信号的输出，由此，可以优先的长时间驱动特定的最终致动装置，进而能根据末端致动装置的用途、环境、特性与其他因素，适当地限制末端致动装置的驱动时间。

本发明的状态控制装置的特征在于，当应操作上述各末端致动装置的操作量之和超过相当于一个循环长度的量时，上述综合控制部通过使相对于上述操作者之和的各操作量之比与上述周期的长度相乘，计算出各末端致动装置应驱动的驱动时间。由此，对各末端致动装置，能与各末端致动装置所要求的操作量成比例地分配实际的驱动时间。

本发明的状态控制装置的特征在于，它还具有能根据各上述测定器测定的状态，生成示明应否驱动各上述末端致动装置的信息的驱动判定部，为了选择使用上述驱动判定部与上述计算中之一，上述参数生成部生成使用上述驱动判定部与上述计算部中某一个的判定模式参数，而在使用上述驱动判定部时，则生成与各上述末端致动装置在一个周期中能驱动的时间极限有关的极限参数，上述综合控制部在使用上述驱动判定部时，则基于包含上述极限参数的各参数，使各上述末端致动装置在一个周期中驱动的驱动时间分配到一个周期之中。由此可在应驱动末端致动装置时进行任意比例的加权，同时驱动必要的末端致动装置。

本发明的状态控制装置的特征在于，在上述末端致动装置分成多个组时，上述参数生成部生成显示各上述末端致动装置分类成的组的组参数。上述综合控制部基于上述组参数，在输出用于驱动属于一个组的末端致动装置的驱动信号时，不输出属于同组中的其他末端致动装置的驱动信号。由此，通过分组就能同时驱动属于不同组的任意多个末端致动装置。此外，由于在一个组中不能同时驱动多个末端致动装置，就能在限制消耗功率下驱动末端致动装置。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述参数生成部生成与上述各组内末端致动装置优先顺序相关的优先顺序参数，上述综合控制部基于包含上述优先顺序参数的参数，对上述各组调节上述末端致动装置的驱动。由此能够优先地长时间驱动多个特定的末端致动装置。例如能让特定的末端致动装置比其他的更快变换到所需状态，而对于多个特定的末端致动装置则能比其他的末端致动装置更精确地维持所需状态。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述综合控制部使驱动属于一个组的末端致动装置的开始时刻与驱动属于其他组的末端致动装置的开始时刻错开。由此，即使进行分组处理，也能防止属于不同组的多个末端致动装置同时起动而抑制功率消耗暧时剧增。

本发明的状态控制装置的特征在于，上述综合控制部可使开始输出驱动一个末端致动装置的驱动信号的时间延迟。由此，即使是由能伴随机械发生延迟的中继器或开关执行末端致动装置的驱动与停止时，也能防止多个末端致动装置的驱动时间重合。

本发明的状态控制装置包括：为了使测定多个末端致动装置中各装置有关状态的多个测定器的测定结果与预先值的结果一致，而计算出应操作各上述末端致动装置操作量的计算部；基于使用者的设定，生成与上述多个末端致动装置优先顺序相关的优先顺序参数的参数生成部；基于上述各操作量与上述优先顺序参数，在判定实际上应否驱动末端致动装置并据此驱动一个末端致动装置时，停止其他末端致动装置的综合控制部。由此，依据基于使用者设定的参数，能够协调地驱动与控制多个末端致动装置。此外，由于能在驱动一个末端致动装置时停止其他末端致动装置，就可在限制消耗功率下驱动末端致动装置。

本发明的状态控制装置的特征在于，在能通过上述各操作量驱动多个末端致动装置时，上述综合控制部驱动依上述优先顺序参数表示的高优先顺序的末端致动装置而停止其他末端致动装置。由此就能优先地长时间驱动特定的末端致动装置。例如能让特定的末端致动装置比其他的更快变换到所需状态，而对于多个特定的末端致动装置则能比其他末端装置更精确地维持所需状态。

附图说明

图1示明能使用状态控制装置的炉子的侧视图。

图2是示明本发明实施形式的状态控制装置的透视图。

图3是示明图2所示状态控制装置的框图。

图4示明图3所示状态控制装置中运算部的详细结构。

图5是例示图3所示状态控制装置中使用者设定的参数的表。

图6是示明图3所示状态控制装置特定通道优先模式操作的时间图。

图7是示明图3所示状态控制装置特定通道优先模式下能对各末端装置给予输出限制时操作的时间图。

图8是示明图3所示状态控制装置特定通道优先模式下设定开关变换时间参数时操作的时间图。

图9与图10是为了说明图8所示操作优点的参考时间图。

图11是示明用于实现图6～8所示特定通道优先模式的驱动时间计算程序的流程图。

图12是示明用于实现图6～8所示特定通道优先模式的驱动程序的流程图。

图13是示明图3所示状态控制装置中必要操作量比例模式操作的时间图。

图14是示明用于实现图13所示必要操作量比例方式的驱动时间计算程序的流程图。

图15是示明图3所示状态控制装置中结合方式的操作的时间图。

图16是示明用于实现图15所示结合方式的驱动时间计算程序的流程图。

图17是示明图3中所示状态控制装置中时间比例方式操作的时间图。

图18是示明图3中所示状态控制装置中利用分组参数时的操作的时间图。

图19是示明图3中所示状态控制装置中利用分组参数与通道间接通时移参数时的操作的时间图。

图20是示明图3中所示状态控制装置中即时驱动方式的操作的时间图。

图21是示明用于实现图20所示即时驱动模式的驱动程序的流程图。

图22是示明图3所示状态控制装置中逐次输出比较方式操作的时间图，

图23是示明用于实现图22所示逐次输出比较方式的驱动程序的流程图。

具体实施方式

为了更详细地说明本发明，下面参考附图描述实施本发明的最佳形式。

本发明实施形式的状态控制装置例如能够应用于图1所示的炉10。炉10具有沿其纵向延伸的空间而让输送机12能通过此空洞内部。由输送机12输送的被加入体13从入口14进入炉10内，经出口15送出，在此通过其间加热。炉10大致分为4个被加热区21、22、23、24。

如图2所示，在炉10的被加热区21、22、23、24中分别设有电加热器(末端致动装置)21A、22A、23A、24A以及用于测定温度的电气式(例如热电偶式)温度计21B、22B、23B、24B。温度计(测定器)21B、22B、23B、24B分别将与其对应的区域21、22、23、24的温度的信号供给控制板25、下面有时将被加热区21、22、23、24分别称为通道CH1、CH2、CH3、CH4。

控制板25参考与温度有关的信号协调地控制多个加热器21A、22A、23A、24A。但是本发明并无限于温度控制之意，也能应用于控制温度、压力和其他的适当状态。控制板25中设有人机接口，用户可以利用它确认控制板25上设定的参数或更新参数。控制量25作为人机接口例如可以包括显示板26和具有按钮的操作板24，但也可具有取代操作板27的键盘、鼠标、笔输入装置、语音识别输入装置或其他输入装置。

参考图3来说明本发明的状态控制装置的结构。此状态控制装置还具有接口控制部(参数生成部)28、时分控制部29、运算部31、32、33、34，减法器41、42、43、44。

接口控制部28能根据参数设定程序工作，在此程序的控制下，于显示板26上显示促请用户输入能设定的多种参数信息的画面。用户根据此画面的导引对操作板27进行操作，将所希望的参数信息输入接口控制部28，当输入结束而确立了所有的参数信息后，参数设定程序结束，于显示板26上显示已确立的参数信息(参考图5)。

当确立了所有的参数信息后，接口控制部28根据用户的设定生成多种参数。参数中包括：被加热区21、22、23、24的目标温度参数SP1、SP2、SP3、SP4；用于与时分控制部29变换运算部31、32、33、34操作模式的模式参数MP，以及种种参数(以后详述)。目标温度参数SP1、SP2、SP3、SP4分别供给运算部31、32、33与34。模式参数MP与其他种种参数供给时分控制部29，参考这些参数，时分控制部29控制加热器21A、22A、23A与24A。

在时分控制部29与加热器21A、22A、23A、24A之间设有继电器51、52、53、54。在此实施形式中，通过有选择地对各继电器51、52激活(接通)或去激活(断开)。控制驱动各加热器21、22、23、24A的时间。也即应用继电器51、52、53、54，时分控制部29能对加热器21A、22A、23A与24A进行时分控制。

继电器51～54与NFB(无熔丝断路器)55连接。NFB55当此状态控制系统过负荷时便强制断开电流器51～54，中止电流从电源56流向加热器21A～24A。

在此状态控制装置中，由温度计21B、22B、23B、24B将测定的温度信号PV1、PV2、PV3、PV4供给减法器41、42、43、44。减法器41、42、43、44从测定温度PV1、PV2、PV3、PV4减去目标温度SP1、SP2、SP3、SP4，求得偏差量ER1、ER2、ER3、ER4并将其提供给运算部31、32、33、34。运算部31、32、33、34根据偏差量ER1、ER2、ER3、ER4算出操作量MV1、MV2、MV3、MV4运算部31、32、33、34将操作量MV1、MV2、MV3、MV4供给时分控制部29。为使测定值与目标值(预设值)一致。上述操作量要相当于应操作的末端致动装置(加热器)的量。

时分控制部29具有主控制部60、缓冲器61、62、63、64。操作量MV1、MV2、MV3、MV4暂存于缓冲器61、62、63、64中。基于这些操作量MV1、MV2、MV3、MV4与接口控制部28供给的种种参数，主控制部60输出用于实际驱动加热器21A、22A、23A、24A的驱动信号MV1’、MV2’、MV3’、MV4’。此时，时分控制部29根据实际的驱动信号MV1’、MV2’、MV3’、MV4’，接通继电器51、52、53、54，进行加热器21A、22A、23A、24A的时分控制。

时分控制方式有从操作量求出1周期中驱动时间的接通时间计算方式和根据逐次(极短周期的)操作量判定应否输出驱动信号的逐次输出比较方式。

图4示明运算部31的详细结构。其他运算部32、33、34则具有相同的结构。运算部31具有开关部35、PID(比例、积分、微分)运算部36、通断测定部37与开关部38。在开关部35、38之间并行地设置PID运算部(运算部)36与通断判定部(驱动判定部)37。开关部35、36由上述模式参数MP控制。具体地说，当供者示明应选择PID运算部36的模式参数MP后，开关部35、38使运算部36与减法器41和时分控制部连接。此时如以上所述，PID运算部36根据减法器41的偏差量ER1，计算用于相应加热器21A的操作量MV1而将其供给时分控制部29。

另一方面，当提供了示明应选择通断判定部37的模式参数MP后，开关部35、38将通断判定部37与减法器41和时分控制部29连接。这时将减法器41的偏差量ER1供给通断判定部37。通断判定部37将偏差量与阈值比较。更具体地说，当偏差量≥阈值，通断判定部37便输出示明不驱动加热器21A的操作量MV1(0％)。但当偏差量ER1＜阈值通断判定部37便将示明应驱动加热器21A的操作量MV1(100％)供给时分控制部29。操作量暂存于时分控制部29的缓冲器61中。时分控制部29的主控制部60基于供给操作量MV1与时分控制部29的参数，输出实际驱动加热器21A的驱动信号MV1’。

图5例示利用操作板27由用户设定的参数。

图5中，目标温度参数是关于各通道CH1～CH4(即被加热区21～24)的目标温度。

周期时间参数与温度控制的基准周期时间相关，时分控制部29将实际驱动加热器21A～24A的时间分配于此基准周期时间中。

分组参数表示将控制对象加热器21A～24A分成多个组时的分类方式。在此实施形式中，例如可以将通道CH1与通道CH2分类为一个组，而以通道CH3与CH4分类为另一组，能对各组独立地控制，必要时也可协调地控制多个组。分类的形式不限于以上所述而可任意设定。致于是否设定分组参数可由用户任意决定。

开关移位时间参数与将接通一加热器的瞬间延迟为目的移位时间有关。通过设定此移位时间，例如能从一个加热器断开的瞬间到另一加热器接通的瞬间设置间隔。是否设定移行时间可由用户任意决定，在不设定时输入Osec。

输出限制参数限制运算部运算的操作量MV1、MV2、MV3、MV4，对应于一个周期中能驱动一个加热器的时间限度。是否设定输出限制参数可根据炉10的用途、环境与其他因不由用户任意决定，在不决定此参数时，用户将其作为“100％”输入。此外，有时取决于加热器特性、炉10的控制特性与其他因素，必须设定输出限制参数，以上所述是以限制上限值的参数为例，但有时也设定限制下限值的参数。

模式参数则与此控制装置的工作模式有关。而且是必须设定的。

时间分配参数只是在此控制装置处于应选择上述运算部的通断判定部37的模式时才能设定。时间分配参数与在一个周期中实际应加热各通道CH1～CH4的加热器21A～24A的时间有关。当从通断判定部37供给表明应加热各通道CH1～CH4的信号时，时分控制部29根据时间分配参数求实际驱动各通道CH1～CH4的加热器21A～24A的实际驱动时间。

通道间接通时间移位参数只当“存在”上述分组参数时才能设定。通道间接通时间移位参数是用于使属于一个组的加热器开始驱动的时刻与属于另一个组的加热器开始驱动的时刻错开而设定的，表示的是这两个始动时刻相互移位时间。

图5所示的这些参数之中，目标温度如上所示是通过图3所示目标温度信号SP1、SP2、SP3、SP4通知减法器41～44，而不提供给时分控制部29，其他的参数则供给时分控制部29。再有，模式参数如上所述也提供给所有的运算部31～34。这些参数的详细内容可由以后的说明中了解。

下面，作为这种温度控制装置的操作，说明特定通道优先模式的操作。

选择了特定通道的优先模式后，接口控制部28生成与加热器21A～24A的优先顺序相关的优先顺序参数并将其供给时分控制部29。接口控制部28生成示明应选择运算部31～34的PID计算部36的模式参数MP并将其提供给运算部31～34。

现参看图6的时间图说明特定通道优先模式的操作例子。作为图6操作例条件的图5中各参数如以下所述。具体为：周期时间，10秒；分组，“无”；开关移位时间，无(0秒)；输出限制对所有的通道，无(100％)；模式设定为A(特定通道优先模式)。

图6中，对周期时间为CA而言，假设运算部31的PID运算部36是把作为用于加热器21A的操作量MV1算出为30％。同时假定运算部32的PID运算部36把用于加热器22A的操作量MV2算出为20％。再假定用于加热器23A的操作量MV3算出为20％而把用于加热器24A的操作量MV4按算出为10％。在这一特定通道优先模式中，操作量MV1、MV2、MV3、MV4与对应的加热器21A、21B、21C、21D在一个周期中应驱动的时间相应，这就是说，在1周期时间中，最好是把周期时间乘操作量的时间来驱动相应加热器，但此时间可由时分控制部29调节。

时分控制部29的主控制部60首先算出10秒(1周期时间)的30％(MV1)即3秒(相当于图6的驱动信号MV1’)作为最优先的加热器21A的实际驱动时间。然后算出10秒的20％(MV2)即2秒作为次优先的加热器22A的实际驱动时间(驱动信号MV2’的输出时间)。再算出10秒的20％(MV3)即2秒作为加热器23A的实际驱动时间。继而算出10秒的10％(MV4)即1秒作为加热器24A的驱动时间(驱动信号MV4’的输出时间)。主控制部60为不使这样算出的实际驱动时间相互搭叠，在1周期时间(10秒)中进行了恰当的分配。

对于周期CB，假定通过运算部31～34，算出用于加热器21A的操作量MV1为50％、用于加热器22A的操作量为MV2为40％、用于加热器23A的操作量MV3为20％、用于加热器24A的操作量为20％。主控制部60首先将10秒(1周期时间)的50％(MV1)即5秒分配为加热器21A的实际驱动时间(驱动信号MV1’的输出时间)。将10秒的40％(MV2)即4秒分配为次优先的加热器22A的实际驱动时间(驱动信号MV2’的输出时间)。第三加热器23A根据操作量MV3(20％)应为2秒间驱动，但由于周期时间仅为10秒而只有1秒的残留时间，实际的驱动时间(驱动信号MV3’的输出时间)为1秒。对于最后的加热器24A，由于完全没有余留时间。故实际的驱动时间(驱动信号MV4’的输出时间)为0秒。

再对于周期CC，假定由运算部31～34算出用于加热器21A的操作量为100％、用于加热器22A的操作量MV2为40％、用于加热器23A的操作量MV3为20％、用于加热器24A的操作量MV4为5％。主控制部60首先将10秒(1周期时间)的100％(MV1)即10秒分配为加热器21A的实际驱动时间(驱动信号)MV1’的输出时间。于是在周期时间CC中，能够驱动其他加热器22A、23A、24A、的余留时间完全没有，因而实际的驱动时间(驱动信号MV2’、MV3’、MV4’的输出时间)为0秒。

根据这种温度控制装置，由于能在1周期时间(10秒)中进行分配，使实际驱动时间(驱动信号MV1’～MV4’的输出时间)相互不搭叠，故能在限制消耗动力下对各加热器进行协调的驱动和控制。

此外，在上述特定通道优先模式下，能长时间地驱动特定通道的加热器。例如在应使特定的被加热体(21～24中之一)比其他的更快加热的环境下，能迅速地实现所希望的状态，而对于特定的被加热体应比其他的被加热体要更好地使温度保持恒定的环境下，能够更精确地维持所希望的状态。

下面参看图7的时间图，举例说明在特定通道优先模式下，对各加热器21A～24A给予输出限制的例子。如上所述，输出限制参数是用来限制运算部所运算的操作量MV1、MV2、MV3、MV4，对应于一个周期中能驱动一个加热器的时间限度。这就是说，例如运算部31～34中之一算出了大的操作量，但即使给相应的加热器以长的驱动时间，但实际的驱动时间也为输出限制参数限制。相反，作为输出限制参数，也能对最小限度进行设定，此时即令对运算部31～34中的某个算出了小的操作量，但在实际中也能确保最低限度的必要的驱动时间。

作为图7操作例条件的图5中各个参数如以下所述：周期时间，10秒；分组，“无”，开关移位时间，无(0秒)；输出限制，对所有通道为40％；模式设定为A(特定通道优先模式)。此设定下，各加热器21A～24A不能以比10秒(周期时间)的40％(输出限制)即4秒更长的时间驱动。

在图7所示的周期时间中，假定运算部31的PID计算部36算出加热器21A在一个周期中应驱动时时间所对应的操作量MV1为100％，假定运算部32的PID计算部36算出加热器22A的操作量MV2为80％，再假定算出用于加热器23A的操作量MV3为10％，用于加热器24A的操作量MV4为10％。

时分控制部29的主控制部60，首先将作为最优先的加热器21A的实际驱动时间(驱动信号MV1’的输出时间)算出为10秒(1周期时间)的100％(MV1)的10秒，但由于10秒大于最大限度的4秒，故舍弃10秒而将4秒分配为加热器21A的实际驱动时间。在此作为次优先的加热器22A的实际驱动时间(驱动信号MV2’的输出时间)算出为10秒(1周期时间)的80％(MV2)即8秒，但由于8秒比最大限度的4秒大，故仍舍弃之而将4秒分配为加热器22A的实际驱动时间。加热器23A的实际驱动时间(驱动信号MV3’的输出时间)则分配为10秒的10％(MV3)即1秒。1秒不受输出限制参数(40％)的影响再有，作为加热器24A的实际驱动时间(驱动信号MV4’的输出时间)，可分配10秒的10％(MV4)即1秒。

这样，在特定通道的优先模式下，通过利用输出限制参数，就能优先地长时间驱动特定通道的加热器，进而能根据加热器的用途、环境、特性或其他因素，可靠地确保能驱动其他加热器的时间。

下面参考图8说明在特定通道优先模式下设定了开关移位时间参数时的操作例。如上所述，开关移位时间参数与使一个加热器接通瞬间延迟为目的移位时间相关，作为图8操作例条件的图5中各参数如下：周期时间，10秒；分组，“无”，开关移位时间，0.5秒；输出限制时所有通道，无(100％)；模式设定为A(特定通道优先模式)。

在图8所示周期时间中，假定运算部31的PID计算部36算出加热器21A在一个周期中应驱动的时间所对应的操作量MV1为30％，算出用于加热器22A的操作量MV2为20％，算出用于加热器23A的操作量MV3为20％，算出用于加热器24A的操作量MV4为10％。

时分控制部29的主控制部60首先算出作为最优先加热器21A的实际驱动时间(驱动信号MV1’的输出时间)为10秒(1周期时间)的30％(MV1)即3秒，然后算出作为次优先加热器22A的实际驱动时间(驱动信号MV2’的输出时间)为10秒的20％(MV2)即2秒。继而算出作为加热器23A的实际驱动时间(驱动信号MV3’的输出时间为10秒的20％，(MV3)即2秒。再算出作为加热器24A的实际驱动时间(驱动信号MV4’的输出时间)为10秒的10％。即1秒。

主控制部60从周期时间的起始到驱动信号MV1’的输出开始瞬间，设为相当于开关移位时间(0.5秒)的间隔。此外，从驱动信号MV1’的输出结束时刻到下一驱动信号MV2’的输出开始时刻，设为相当于开关时间(0.5秒)的间隔；从驱动信号MV2’的输出结束的时刻到下一驱动信号MV3’的输出开始时刻设为相同长度的间隔；而从驱动信号MV3’的输出结束时刻到最后驱动信号MV4’的输出开始时刻，仍设为相同长度的间隔。

下面参看图9与10说明设置这种开关移位时间的优点。图9示明通过构成开关时间，在加热器21A的驱动时间(驱动信号MV1’的输出)结束后，开始加热器22A的驱动时间(驱动信号MV2’的输出)的状况。时分控制部29即使是这样地分配驱动信号MV1’与MV2’的输出时间，但由于继电器51～54多为具有一定行程致动器的机电式的继电器，实际上加热器驱动开始与结束的时刻如图9所示，有时会比预定的时刻迟。这样，由于致动器的延迟，事实上加热器21A的驱动时间的终端与加热器22A的驱动时间的始端部分地重叠，会暂时会增大功率消耗。

另一方面，当适当地设定了开关移位时间即使继电器的致动器延迟起动，由于与加热器21A的终端同时或稍后开始驱动加热器22A，故可防止加大功率消耗。在特定通道的优先模式中，这种开关移位时间也可与输出限制参数一起使用。

下面参看图11说明上述特定通道优先模式中，时分控制部29的主控制部60执行的驱动时间算出程序。首先于步骤ST1，主控制部60参考本身内设的定时器，判断是应算出加热器的实际驱动时间。当此判断为肯定的时，于步骤ST2，由主控制部60从缓冲器61～64读出运算部31～34算出的操作量MV1～MV2。然后于步骤ST3，以操作量MV1～MV2乘以周期时间的长度，算出驱动时间LMV1’～LMV2’(驱动信号MV1’～MV2’的输出时间)(秒)。

于步骤ST4，判断加热器21A的驱动时间LMV1’是否超过最大限度时间TLMX1(秒)。此最大限度时间TLMX1是一个周期时间中能驱动加热器21A的最大限度时间，由通道CH1的输出限制参数与周期时间相乘决定，当此判断为肯定的时，于步骤ST5将驱动时间LMV1’缩到最大限度时间TLMX1。

于步骤ST6，判断加热器22A的驱动时间LMV2’是否超过最大限度时间TLMX2(秒)。此最大限度时间TLMX2是一个周期时间中能驱动加热器22A的最大限度时间，由通道CH2的输出限制参数与周期时间相乘决定，当此判断为肯定的时，于步骤ST7将驱动时间LMV2’缩到最大限度时间TLMX2。

同样，通过步骤ST8与步骤ST9，若加热器23A的驱动时间LMX3’超过最大限度时间TLMX3(秒)，则驱动时间LMV3’缩短到最大限度时间TLMX3，而通过步骤ST10与步骤ST11，若加热器24A的驱动时间LMV4’超过最大限度时间TLMX4(秒)时，则将驱动时间LMV4’缩短到最大限度时间TLMX4。

接着于步骤ST12依据下式进行计算：

    ∑LMV’＝LMV1’+LMV2’+LVM3’+LMV4’+∑SINT

上式中，SINT是相当于开关移位时间的时间间隔，而∑SINT即各时间间隔SINT的总和。例如依据图8的时间图，SINT为0.5秒，因而∑SINT为SINT的4倍即2秒，也就是说，∑LMV’是用于顺次驱动所有加热器21A～24A涉及的总时间。

再于步骤ST13中，判断∑LMV’是否超过周期时间的长度。若此判断为否定，由于已不必调整LMV1’～LMV4’，故于步骤ST28，主控制部60将它们暂存于缓冲器61～64中。另一方面，若步骤ST13的判断为肯定的，则步骤调整驱动时间，在此程序中，首先缩短优先顺序低的加热器24A的驱动时间LMV4’，若是这种缩短不是以调整驱动时间，则按照先是优先顺序较低的加热器23A，其次是优先顺序第二高的加热器22A，最后是优先顺序最高的加热器，由这样的程序进行短缩处理。

在此短缩处理中，首先于步骤ST14判断是否设定了后述的标记。若此断为否定的，则此程序进到步骤ST15，使LMV4’递减(或缩短一常数值)。然后于步骤ST16判断LMV4’是否为零。若此判断为肯定的，则此程序返回到步骤ST12，应用缩短的LMV4’，再算出总计时间∑LMV’，于步骤ST13将其与周期时间CT比较。于是LMV4’可以递减，直至总计时间≤周期时间CT。

当LMV4’缩减到0(步骤ST16的判断为肯定时)，于步骤ST17，主控制部60设定标志F4。标志F4表明LMV4’是为而不可能递减。主控制部60于步骤ST18从时间间隔SINT的总和∑SINT减去一个时间间隔SINT。其理由是，由于通道CH4的加热器24A的驱动时间LMV4’不存在，因而驱动时间LMV3’与LMV4’之间的时间间隔已经不存在(参考图8)。

此后，程序返回步骤ST12，应用缩短了的∑SINT再次算出总和时间∑LMV’，于步骤ST13将其与周期时间CT比较。步骤ST13的判断若仍为肯定的，程序进到步骤ST14，由于已设定标志F4，步骤ST14的判断是肯定的，程序进到步骤ST19。

于步骤ST19，判断后述的标志F3已否设定。若此判断为否定的，程序进到步骤ST20，使LMV3’递减。再于步骤ST21判断LMV3’是否为零。若此判断为肯定的，程序返回步骤ST12，应用缩短的LMV3’，再次算出总和时间∑LMV’，于步骤ST13将其与周期时间CT比较。因此，LMV3’可以递减到直至总和时间∑LMV’≤周期时间CT。

当LMV3’缩减到0(步骤ST21的判断为肯定的时)，于步骤ST22，主控制部60设定标志F3，标志F3表示LMV3’为0而不能递减，程序进到ST18，于步骤ST18主控制部60从时间间隔SINT的总计∑SINT中减去一个时间间隔SINT，其理由是由于通道CH3的加热器23A的驱动时间LVMV3’不存在，驱动时间LMV2’与LMV3’之间的时间间隔业已不存在。

然后程序返回到步骤ST12，应用缩短的∑SINT，再次算出总和时间∑LMV’，于步骤ST13将其与周期时间CT比较。若步骤ST13的判断是肯定的，程序经步骤ST14与ST19进到步骤ST23。

于步骤ST23，判断是否设定后述的标志F2是否设定。若此判断为否定的，程序进到步骤ST24，使LMV2’递减。然后于步骤ST25，判断LMV2’为零。若此判断为肯定的，则程序返回步骤ST12，应用短缩的LMV2’，再次算出总计时间∑LMV’，于步骤ST13，将其与周期时间CT比较。因此，LMV2’可以重复递减，直至总和时间∑LMV’≤周期时间CT。

当LMV2’缩减到0时(步骤ST25的判断为肯定的时)，主控制部于步骤ST26设定标志F2。标志F2表示LMV3’为0而不能递减。程序再进到步骤ST18，于步骤ST18，主控制部60从时间间隔SINT的总计∑SINT减去一个时间间隔SINT，其理由是驱动时间LMV1’与LMV2’之间业已不存在时间间隔。

然后程序返回步骤ST12，应用短缩的∑SINT，再次算出总和时间∑LMV’，于步骤ST13将其与周期时间CT比较。若步骤ST13的判断仍为肯定的，程序经步骤ST14、ST19与ST23进到步骤ST27，使LMV1’递减。于步骤ST27之后，程序返回步骤ST12。因而LMV1’(现已等于∑LMV’)递减，直至≤周期时间CT。

主控制部28将这样确定的实际驱动时间参数LMV1’～LMV4’，于步骤ST28暂存于缓冲器61～64中。然后于步骤ST29重置已经不要的标志F2～F4，于步骤ST30使∑SINT返回初值。例如，据图8的时间图，∑SINT的初值为SINT的4倍即2秒。步骤ST30结束后，程序返回步骤ST1，再次判断是否是计算时刻。如上所述，在特定通道优先模式中，依据开关移位时间参数与输出限制参数，算出实际的驱动时间LMV1’～LMV4’。

参看图12，说明在特定通道优先模式中，时分控制部29的主控制部60执行的驱动程序。此驱动程度是用于驱动各加热器21A～24A的。

此程序中，首先于步骤ST31，主控制部参考其本身之内置的定时器，判断是否为周期时间的开始瞬间。若此判断为肯定的，在步骤ST32，使所有通道CH1～CH4的加热器21A～24A初始化。

于步骤ST33，判断通道CH1的加热器21A满足接通条件否。此接通条件是，用于驱动加热器21A的驱动时间LMV1’比零大。若此判断为否定的，程序进到步骤ST38。当此判断为肯定的，程序进到步骤ST34。等待经过开关移位时间(时间间隔SINT)。然后于步骤ST35，接通通道CH1的继电器51而断开其他通道的继电器52～54，只起动加热21A。

当通道CH1的加热器21A的驱动时间LMV1’期满(步骤ST36)，主控制部60将缓冲器61中保存的LMV1’于步骤ST37复位，程序返回步骤ST32，使所有通道CH1～CH4的加热器21A～24A初始化。由于驱动时间LMV1’已到期，步骤ST33的判断此时成为否定的，程序进到步骤ST38，断开通道CH1。

于步骤ST39判断通道CH2的加热器22A是否满足接通条件。若此判断为否定的，程序进到步骤ST44。另一方面，若判断为肯定的，程序进到步骤ST40，等待经过开关移位时间(时间间隔SINT)。然后于步骤ST41。接通道CH2的继电器52。断开其他通道的继电器53、54，只起到加热器22A。

当通道CH2的加热器22A的驱动时间LMV2’满期(步骤ST42)，主控制部60于步骤ST43，使缓冲器62中保存的LMV2’复位，程序返回步骤ST32，使所有通道CH1～CH4的加热器21A～24A初始化，由于驱动时间LMV1’、LMV2’到期，步骤ST33与ST39的判断便成为否定的，程序进到步骤ST44，断开通道CH2。

然后于步骤ST45判断通道CH3的加热器23A是否满足接通条件。若此判断为否定的。程序进到步骤ST50。另一方面，若判断为肯定的，程序进到步骤ST46，等待开关移位时间(时间间隔INT)经过，然后于步骤ST47，通道CH3的继电器53接通，断开其他通道的继电器54。只起动加热器23A。

当通道CH3的加热器23A的驱动时间LMV3’期满(步骤ST47)，主控制部60于步骤ST49使缓冲器63保存的LMV3复位，程序返回到步骤ST32，使所有通道CH1～CH4的加热器21A～24A初始化。由于驱动时间LMV1’～LMV3’已期满，程序经步骤ST33、ST38、ST39、ST44与ST45进到步骤ST50，断开通道CH3。

再于步骤ST51判断通道CH4的加热器24A是否满足通道CH4的加热器24A的接通条件。若此判断为否定的，程序返回步骤ST31，再判断是否是周期时间的起始时刻。另一方面，当判断为肯定的，程序进到步骤ST52，等待开关移位时间(时间间隔SINT)。然后于步骤ST53接通通道CH4的继电器54，只起动加热器24A。

当通道CH4的加热器24A的驱动时间LMV4’期满(步骤ST54)，主控制部60于步骤ST55使缓冲器64只保存的LMV4’复位。程序返回步骤ST31，再判断是否是周期时间的起始时刻。按以上所述，能实现特定通道优先模式下加热器的驱动，而在此特定通道优先模式中也能应用开关移位时间参数与输出限制参数。图12的流程图所示的驱动程序中，在一个通道的驱动时间结束后，在某种情形下，到开关移位时间而未驱动下一个通道时，则在决定驱动时间之际可不必确定各个驱动时间LMV1’～LMV4’的开始期间与结束期间，而能在周期时间中对驱动时间LMV1’～LMV4’进行简单的分配。

在这种特定通道优先模式下，通道CH1～CH4中虽以序号小的通道的加热器优先，但用户是可以另行设定通道的优先顺序的。

此外，通断移位时间参数虽是对于所有的通道为共通的，但也能对各个通道分别设定通断移位时间参数。

此外，作为输出限制参数，虽是按最大限度进行了设定，但也可按最小限度进行设定。

下面说明必要操作量比例模式的操作作为这种温度控制装置的操作。

必要操作量比例模式与图5的模式B对应。在此必要操作量比例模式中，不是使特定的通道优先，而是公开地对待各个通道。假使是运算部31～34的PID计算部36求得的操作量MV1～MV4合计超过100％(相当于一个周期时间的长度)，当将各通道的驱动时间均等地缩短，则对于各个通道能给予对应的操作量(MV1～MV4中之一)成比例的实际驱动时间。当选择必要操作量的比例模式后，由接口控制部28生成与此模式对应的模式参数而供给于时分控制部29。此外，接口控制部28生成示明选择运算部31～34的PID计算部36的模式参数MP并将其供给运算部31～34。

参考图13的时间图。举例说明必要操作量模式下的作业。作为图13的操作例的条件的图5中各参数如下；周期时间，10秒；分组，“无”；无关移位时间，无(0秒)；输出限制，对所有通道全不存在(100％)；模式，设定为B(必要操作量比例模式)。

对于图13所示周期时间，运算部31的PID计算部36，假定将加热器21A于一个周期中应驱动的时间所对应的操作量MV1算出为80％，将用于加热器22A的操作量MV2算出为70％，将用于加热器23A的操作量MV3算出为30％。将用于加热器24A的操作量MV4算出为20％。

时分控制部29的主控制部60求出有关全部通道CH1～CH4的加热器21A～24A的操作量MV1～MV4(％)的总和∑MV(％)。然后将各假设的操作量除以总和操作量∑MV，再将此商乘以周期时间长度CT(秒)，由此求得实际驱动时间。也即，实际驱动时间LMV1’～LMV4’通过以下各式求得：

LMV1’＝CT*MV1/∑MV

LMV2’＝CT*MV2/∑MV

LMV3’＝CT*MV3/∑MV

LMV4’＝CT*MV4/∑MV

具体地说，LMV1’＝10*80/(80+70+30+20)＝4秒，LMV2’＝3.5秒，LMV3’＝1.5秒，LMV4’＝1秒。主控制部60为使这样算出的实际驱动时间LMV1’～LMV4’不相互重叠而在一个周期时间(10秒)中进行了适当分配。

在此必要操作量比例模式下，为使算出的驱动时间LMV1’～LMV4’相互不重叠，在1周期时间(10秒)中进行了分配，这样就可在限制的消耗功率下协调地驱动和控制各加热器。此外，由于是与各个加热器所要求的操作量成比例地给定实际驱动时间，例如能使所有这些加热器实质上同时进入稳态。在这种必要操作量比例模式中，也可利用开关移位时间参数与输出限制参数。

下面参看图14说明上述必要操作量比例模式中，时分控制部29的主控制部60执行的驱动时间计算程序。对于此程序，首先于步骤ST61中，主控制部60参考本身内置的定时器，判断应算出加热器实际驱动时间LMV1’～LMV4’的时刻。若此判断为肯定的，主控制部60于步骤ST62从缓冲器61～64读出运算部31～34算出的操作量。然后于步骤ST63将周期时间长度CT去乘操作量MV1～MV4。

于步骤ST64判断CT*MV1是否超过最大限度时间TCMX1(秒)。最大限度时间TLMX1由通道CH1的输出限制参数与周期时间的乘积确定。当此判断为肯定的。则于步骤ST65将操作量MV1缩短到TLMX1/CT。

再于步骤ST66判断CT*MV2是否超过最大限度时间TLMX2(秒)。若此判断为肯定的，则于步骤ST65将操作量MV1缩短到LMX1/CT。

同样，根据步骤ST68与ST69，若CTXMV3超过最大限度时间TLMX3(秒)，则操作量MV3缩短到TLMX3/CT，而根据步骤ST70与ST71，若CT*MV4超过最大限度时间TLMX4(秒)，则将操作量MV4缩短到TLMX4/CT。

继于步骤ST72用下式进行计算。

∑MV＝MV1+MV2+MV3+MV4

如上所述，∑MV乃是所有加热器21A～24A的操作量的总计(％)。

然后程序进入步骤ST73、ST76、ST79、ST82，可由以下各式求实际驱动时间LMV1’～LMV4’(秒)。

LMV1’＝CT*MV1/∑MV-SINT

LMV2’＝CT*MV2/∑MV-SINT

LMV3’＝CT*MV3/∑MV-SINT

LMV4’＝CT*MV4/∑MV-SINT

式中的SINT是相当于开关移位时间的时间间隔(秒)，若未设定开关移位时间参数，则SINT为零，以上各式中的第二次也为零。

由于上述时间间隔的减法运算，所计算出的LMV1’～LMV4’中之一有可能达不到零，这时便据步骤ST74、ST77、ST80、ST83中之一的判断，程序进到步骤ST75、ST78、ST83、ST84中之一，将LMV1’～LMV4’中之一置零。

主控制部28将这样确定的实际驱动时间参数LMV1’～LMV4’于步骤ST85暂存于缓冲器61～64中，步骤ST85结束后，程序返回步骤ST61，再次判断是否为算出时刻。

按以上所述，算出必要操作量比例模式中实际驱动时间LMV1’～LMV4’，也提供开关移位时间参数与输出参数供计算之用。在此模式下，时分控制部29的主控制部60执行的驱动程度与上述特定通道优先模式的驱动程度是共用的。这就是说，参考图12，上述驱动程序既使对必要操作量比例模式也可原样使用。

现在说明将特定通道优先模式与必要操作量比例模式结合模式作业作为这种温度控制装置的作业。

这种结合模式相当于图5的模式C。在这种结合模式中，至少有一个特定通道优先而其他各通道则公平对待。例如加热器21A优先，能将接地依据运算部31的PID计算部36求得的操作量LMV1的实际驱动时间给予加热器21A(不考虑运算部31～34的PID计算部36求得的操作重叠MV1～MV4的总和是否超过100％)。另一方面，公平地对待其他加热器22A、23A、24A，将输出驱动信号MV2’～MV4’的驱动时间LMV2’～LMV4’分配到周期时间中余乘的时间。若运算部32～34的PID计算部36求得的操作量MV2～MV4的总和超过相当于余乘时间的量时，则各个通道的驱动时间公平地缩短，对各个通道给予以对应的操作量(MV2～MV4中之一)成比例的实际驱动时间。当选择结合模式时，由接口控制部28生成与此模式对应的模式参数，此模式参数供给于时分控制部29，接口控制部28还生成示明应选择的运算部31～34的PID计算部36的模式参数MP，并将其提供给运算部31～34。

参看图15的时间图说明结合模式下的作业例。作为图15作业例条件的图5中各参数如下：周期时间，10秒；分组；“无”；开关移位时间，无(0秒)；输出限制，对所有的通道都不存在(100％)；模式，设定为C(结合模式)。

对于图15所示的周期时间，假设运算部31的PID计算部36将加热器21A在1个周期中对应于应驱动的时间的操作量MV1算出为50％、用于加热器22A的操作量MV2算出为50％、用于加热器23A的操作量MV3算出为30％而用于加热器24A的操作量MV4算出为20％。

主控制部60首先分配10秒(1周期时间)的50％(MV1)即5秒作为加热器21A的实际驱动时间LMV1’。这样，不论用任何方法，周期时间中的余剩时间(5秒)也只能驱动加热器22A。

但在这种结合模式下，时分控制部29的主控制部60求双值的通道CH1～CH4的加热器21A～24A有关操作量MV2～MV4(％)的总和∑SMV(％)然后以总和操作量∑SMV去除各个操作量，通过以余剩时间(秒)去乘此商而求得实际驱动时间。这就是说，实际的驱动时间LMV2’～LMV4’由以下各式求得：

LMV2’＝(CT-LMV1’)*MV2/∑SMV

LMV3’＝(CT-LMV1’)*MV3/∑SMV

LMV4’＝(CT-LMV1’)*MV4/∑SMV

具体地说，LMV1’＝CT*MV1＝10*0.5＝5秒，LMV2’＝(10-5)*50/(50+30+20)＝2.5秒。LMV3’＝1.5秒。LMV4’＝1秒。为使这样算出的实际驱动时间LMV1’～LMV4’不互相重叠，将它们分配到1个周期时间(10秒)中。

在这种结合方式下，对于优先的通道，使实现特定通道优先模式的优点；对于双值的通道，使实现必要操作量比例模式的优点。

具体地说，能够优先地长时间驱动特定的通道的加热器。例如在应把特定的被加热部21以比其他被加热部更迅速加热的环境下，就能迅速实现所希望的状态，而在应把特定的被加热部比其他被加热部维持于更恒定的温度的环境下时，便能保持这种所需的状况。

对于双值通道，由于能以比所需操作量少的驱动时间分配给加热器，虽然温度的响应性变差，但因为能在1周期时间(10秒)中进行分配不使计算出的实际驱动时间LMV1’～LMV4’重叠，故可在限制动力消耗下协调的驱动和控制各加热器，此外由于能比例于各个加热器所要求的操作量给出实际的驱动时间，例如所有这些双值的加热器能实质时同时地成为稳态。在这种结合模式中也可以利用开关移位时间参数和输出限制参数。

下面参考图16说明在上述结合模式下，时分控制部29的主控制部60执行的驱动时间计算程序。在此程序中，首先于步骤ST91，主控制部60参考内置的定时器，判断是否是应计算加热器实际驱动时间LMV1’～LMV2’的时刻，若此判断为肯定的，主控制60便从缓冲器61～64读出运算部31～34算出的操作量。然后于步骤ST93将操作量MV1乘以周期时间的长度CT，求得加热器21A的驱动时间LMV1’。其他操作量MV2～MV4也同样乘以周期时间的长度。

再于步骤ST94判断LMV1’是否超过最大限度时间TLMX1(秒)。最大限度时间TLMX1由通道CH1的输出限制参数与周期时间的乘积决定。若此判断为肯定的，则于步骤ST95将驱动时间LMV1’缩短到TLMX1。

于步骤ST96判断CT*MV2’是否超过最大限度时间TLMX2(秒)。若此判断为肯定的，于步骤ST97将操作量MV2缩短到TLMX2/CT。

同样，根据步骤ST98与ST99，若CT*MV3’超过最大限度时间TLMX3(秒)，则操作量MV3缩短到TLMX3/CT，而根据步骤ST/D与ST/D1，若CT*MV4超过最大限度时间TLMX4(秒)，则将操作量MV4缩短到TLMVX4/CT。

继于步骤STD2用下式进行计算。

∑SMV＝MV2+MV3+MV4

如上所述，∑SMV乃是所有二值加热器22A～24A的操作量的总计(％)。

然后程序进入步骤ST103、ST106、ST109可由以下各式求实际驱动时间LMV1’～LMV4’(秒)。

LMV2’＝(CT-LMV1’)*MV2/∑SMV-SINT*∑SINT/(∑SINT-SINT)

LMV3’＝(CT-LMV1’)*MV3/∑SMV-SINT*∑SINT/(∑SINT-SINT)

LMV4’＝(CT-LMV1’)*MV4/∑SMV-SINT*∑SINT/(∑SINT-SINT)

式中的SINT是相当于开关移位时间的时间间隔(秒)而∑SINT则是时间间隔SINT的总和。以上各式中的第二项，为了能将实际驱动时间LMV1’不因时间间隔SINT减小而原样地给予优先的加热器21A，大于图14的必要操作量比例模式中步骤ST73、ST76、ST79、ST82各式中的第二项。若未设定开关移位时间参数，则SINT为零而这些式中的第二项也为零。

由于这种时间间隔的减去运算，所计算出的MV2’～MV4’中之一有可能达不到零。这时便根据步骤ST104、ST107、ST110中之一的判断，程序进到步骤ST75、ST108、ST111中之一，将LMV2’～LMV4’之一置零。

主控制部28将这样确定的实际驱动时间参数LMV1’～LMV4’于步骤ST112暂存于缓冲器61～64中。步骤ST112结束后，程序返回步骤ST61再次判断是否为算出时刻。

按以上所述，算出结合模式中实际驱动时间LMV1’～LMV4’，也提供开关移位时间参数与输出参数供计算之用。在此模式下，时分控制部29的主控制部60执行的驱动程序与上述特定通道优先模式的驱动程序是共同的。这就是说，参考图12，上述驱动程序即使对结合模式也可原样使用。

现在说明将时间分配模式作业作为这种温度控制装置的作业。

这种时间配模式相当于图5的模式D。在这种时间分配模式下，于运算部31～34中，选择利用通断确定部37(参看图4)。如前所述，通断确定部37在对应的加热器应驱动时，将表示100％操作量MV1供给时分控制部29，而在其他情形则将表示0％的操作量MV1供给时分控制部29。

图5所示时间分配参数可在设定了时间分配模式时设定，时间分配参数与在一个周期中应实际加热各通道CH1～CH4的加热器21A～24A的时间有关。当表明应加热各通道CH1～HC4的信号由通断确定部37供给时，时分控制部29便根据时间分配参数求实际驱动各通道CH1～CH4的加热器21A～24A的实际驱动时间。

选择时间分配模式后，根据使用者的输入，接口控制部28生成时间分配参数并将其供给时分控制部29。接口控制部28还生成表明应选择运算部31-34的通断确定部37意图的模式参数MP，将其提供给运算部31-34。

参看图17的时间图，说明利用时间分配模式时的作业例。作为图17的作业例的条件的图5中各参数如下：周期时间，10秒；分组，“无”；开关移位时间，无(0)秒；输出限制，对所有通道都不存在(100％)；模式，设定为D(时间分配模式)。然后，通道1的加热器21A的时间分配参数为50％，通道2的加热器22A的时间分配参数为20％，通道3的加热器23A的时间分配参数为20％，通道4的加热器24A的时间分配参数为10％。

对于图17所示的周期时间，假定运算部31、32、34的通断确定部37为各个加热器21A、22A、24A输出表示100％的操作量。MV1同时假定运算部32的通断确定部37输出表示0％的操作量MV1。

时分控制部29的主控制部60首先从缓冲器61-64读出操作量MV1-MV4。然后算出10秒(1周期时间)的50％(时间分配参数)即5秒作为应加热的加热器21A的实际驱动时间LMV1′(驱动信号MV1′的输出时间)。同样算出加热器22A的驱动时间LMV2′为2秒、加热器24A的驱动时间LMV4′为1秒。此外，不应加热时，主控制部将操作量MV3所示加热器23A的驱动时间LMV3′确定为零秒。

主控制部60为使这样求得的实际驱动时间LMV1′-LMV4′相互不重叠，于1周期时间(10秒)中进行分配。例如通过执行图12的流程图所示的驱动程序，能简单地运行周期时间中驱动时间LMV1′-LMV4′的分配。

在这种时间分配方式下，在应加热回热器时，可进行任意比例的加权来加热必要的加热器。因此，例如能优先地长时间地驱动特定的通道的加热器，可使之比其他的更快地加热或比其他的更能将温度保持恒定，或也能使所有的加热器同时地或实质上同时地变为稳态。

在这种时间分配模式下虽对各通道设定了时间分配参数，但也可以用输出限制参数来取代时间分配参数。

下面说明在这种温度控制装置中利用分组参数时间作业。

如前所述，分组参数表明将控制对象加热器21A-24A应分成多个组时的分类方法。当设定分组参数时，时分控制部29的主控制部60能独立地控制各组。

参考图18的时间图来说明利用分组参数时的作业。作为图18作业例的条件的图5中各参数如下：周期时间，10秒；分组，“有”；组GP1包含通道GH1与CH2，组GP2包含通道CH3与CH4。开关移位时间，无(0秒)；输出限制对所有通道不存在(100％)，模式设定为A(特定通道优先模式)。这时，根据特定通道优先模式在组GP1中，通道CH1优先于通道CH2，而在组GP2中，通道CH3优先于通道CH4。

对于图18所示的周期时间，假定运算部31的PID算出部36的PID36作为加热器21A在一个周期中应驱动的时间所对应的操作量MV1算出为80％，作为用于加热器22A的操作量MV2算出为10％，作为用于加热器23A的操作量MV3算出为50％，而作为用于加热器24A的操作量MV中算出为80％。

时分控制部29的主控制部60对于组GP1，首先作为优先的加热器21A的驱动时间LMV1′(驱动信号MV1′的输出时间)算出为10秒(1周期)的80％(MV1)即8秒。然后算出10秒的10％(MV2)即1秒作为余剩的加热器22A的驱动时间LMV2′。主控制部60于1周期时间(10秒)中进行分配，不使这样算出的驱动时间LMV1′与LMV2′不相互重叠。

对于组GP2，首先算出10秒(1周期时间)的50％(MV1)即5秒作为优先的加热器23A的驱动时间LMV3′。然后算出10秒的70％(MV2)即7秒作为余剩加热器24A的驱动时间LMV4′，但由于余剩时间只有5秒，故实际的驱动时间LMV4′为5秒。主控制部60为使这样算出的驱动时间LMV3′与LMV4′不相互重叠，于1周期时间(10秒)中进行分配。

具体地说，利用分组参数可对这些组(上例中的组GP1与GP2)并行处理。电力消耗与不分组情形相比虽然倍增，但与独立地驱动许多加热器中的各个相比则小。而且在特定通道优先模式下，通过分组能优先地长时间驱动多个特定通道的加热器。例如在应把特定的被加热部(例如被加热部21、23)比其他的进行更快加热的环境下，就能迅速实现所希望的状况，而对于应把特定的被加热部比其他的维持于更稳定的温度环境下时，则能更精确地保持所需状况。

下面说明除分组参数之外再利用通道间接通时移参数时的作业。如前所述，通道间接通时移参数只当分组参数为“有”时才能设定。通道间接通时移参数是设定来用于将属于一个组(例如GP1)的加热器驱动开始的瞬间与属于另一组(例如GP2)的加热器驱动开始的瞬间相错开，表明的是这些始动瞬间相互的移位时间。

下面参看图19的时间图说明利用分组参数与信道间接通时移参数时的作业例。作为图19作业例条件的图5中各参数如下：周期时间，10秒；分组，“有”；组GP1包含通道CH1与CH2，组GP2包含通道CH3与CH4。开关移位时间，无(0)秒；输出限制对所有通道不存在(100％)；模式设定为A(特定通道优先模式)。这时，根据特定通道优先模式，在组GP1中，通道CH1优先于通道CH2，而在组GP2中，通道CH3优先于通道CH4。

对于图19所示的周期时间，假定运算部31的PID算出部36的PID36作为加热器21A在一个周期中应驱动的时间所对应的操作量MV1算出为80％作为用于加热器22A的操作量MV2算出为10％，作为用于加热器23A的操作量MV3算出为50％，而作为用于加热器24A的操作量MV中算出为80％。

时分控制部29的主控制部60对于组GP1，首先作为优先的加热器21A的驱动时间LMV1′(驱动信号MV1′的输出时间)算出为10秒(1周期时间)的80％(MV1)即8秒。然后算出10秒的10％(MV2)即1秒作为余剩的加热器22A的驱动时间LMV2′。主控制部60于1周期时间(10秒)中进行分配，不使这样算出的驱动时间LMV1′与LMV2′不相互重叠。

对于组GP2，首先算出10秒(1周期时间)的75％(MV1)即7.5秒作为优先的加热器23A的驱动时间LMV3′。但由于通道间接通时移参数为0.5秒，LMV3′开始时刻比LMV1′的迟0.5秒。于是，LMV3′的终止时刻与LMV2′的起始时刻一致。但由于设定了通道间接通时移参数，就不能在紧接LMV3′结束之后立即开始加热器24A的驱动。因此，对于组GP2，余剩时间为1.5秒。作为余剩的加热器24A的驱动时间LMV4′虽能算出为10秒的80％(MV2)即8秒，但由于余剩时间只有1.5秒，实际的驱动时间LMV4′设定为1.5秒。主控制部60将实际的驱动时间LMV3′与LMV4′于1周期时间(10秒)中分配。

如上所述，通过利用通道间接通时移参数。即使进行分组下的并行处理，也能防止属于不同组的多个加热器同时起动。在加热器起动的瞬间，由于有比稳态时大得多的起动电流通过，使电功率消耗瞬间激增。通过利用通道间时移参数就能防止功率消耗剧增。

通道间接通时移参数不仅由特定通道模式所利用，还能为上述必要操作量比例模式、结合模式与时间分配模式所利用。这种参数也可与上述的开关移位时间参数与输出限制参数并用。

上述模式中，通道间接通时移参数虽为常数，但也可根据相互竞争的通道组合(例如通道1与通道3、通道2与通道4)而变更。

在利用上述分组参数的情开，算出驱动时间的程序可通过前述驱动时间程序(例如图11、图14与图16)的变形求得。具体地说，首先于实现加热器的分类后，算出最初的组中各加热器的加热时间，然后顺次算出余剩的组的各加热器即可。这样，为了利用通道间接通时移参数或开关移位时间参数，于先行的组算出各加热器的加热时间之际求出这些加热器加热时间的起始时刻与结束时刻。然后在算出后面的组中各加热器的加热时间中，可以参考上述的起始时刻与结束时刻。

此外，也可根据这样求得的实际驱动时间MV1′-MV4′，在驱动加热器时，参考图12所示，进行对各个组分别执行上述驱动程序的形式的并行处理。为此目的，可于时分控制部29中设置并行处理器。但是，为了于图12的驱动程序中利用通道间接通时移参数，在图12的步骤ST33，ST39所示的接通条件中还可包含与其他组的加热器的起动时刻相错开的条件。

分组的方法不限于上述方法，例如也可使通道CH1与CH4构成组GP1，使通道CH2与CH3构成组GP2。或只由通道CH1构成组GP1而由CH2-CH4构成组GP2。

至于这种温度控制装置的作业，下面说明即时驱动模式的作业。

这种即时驱动模式相当于图5中的模式正在前述各模式中是在驱动加热器的一个周期时间之前算出驱动时间LMV1′-LMV4′，而在即时驱动方式下，则是在一个周期时间的中途确定是否应驱动加热器21A-24A。一般，在状态控制装置中，运算部31-34是在远比周期时间为短的采样周期(例如500msec)下，参考由减法器41-44输出的偏差量ER1、ER2、ER3与ER4。运算部31-34利用PID计算部36(参考图4)，PID计算部36根据对应的偏差量ER1、ER2、ER3、ER4生成操作量并将其供给时分控制部29对应的缓冲器61-64/。运算部31-34用上述采样周期更新操作量。

主控制部60于一个周期时间中途根据采样周期从缓冲器61-64读出操作量，根据相应参数与其时的操作量判断是否应驱动加热器21A-24A。

当选择即时驱动方式时，根据使用者的输入，由接口控制部生成即使驱动参数并将其提供给时分控制部29。即时驱动参数包括与末端致动装置(加热器)的优先顺序有关的优先顺序参数。例如在这种即时驱动方式下，通道CH1-CH4之中小序号的通道加热器优先。此外，接口控制部28生成表明应选择运算部31-34的PID计算部36意图的模式参数MP，并将它提供给运算部31-34。

参考图20的时间图说明利用即时驱动方式时的作业例。作为图20作业例的条件的图5中各参数如下：周期时间，10秒；分组，“有”(图20的通道CH1-CH4属于一个组)；开关移位时间，0.5秒；输出限制对所有通道不存在(100％)；模式设定为E(即时驱动模式)。

如上所述，主控制部60在一个周期时间的中途根据采样周期，根据操作量判断应否驱动加热器21A-24A。在此判断中，即时驱动参数中所含的优先顺序参数成为判断材料。更具体地说，在根据操作量判断应驱动多个加热器时，小序号通道的加热器优先驱动而停止其他通道的加热器。

在图20所示的周期时间中，主控制部60首先驱动通道CH1的加热器。在此通道CH1的驱动期间，即使判断应驱动其他通道的加热器时，也要强制停止。通道CH1的驱动结束后，经过通断移位时间0.5秒便开始通道CH2的驱动，在通道CH1的驱动期间，即使判断应驱动属于后位的通道CH3与CH4，也要强制停止。但在通道CH2的驱动期间，若是判断应驱动的优先的通道CH1时，则应将包括通道CH2在内所有属于后位的通道停止。

然后，当经过通断移位时间0.5秒，即令在同一周期时间内，主控制部60开始通道CH1的驱动。在通道CH1的第二次驱动结束后，经过通断移位时间0.5秒，再开始驱动通道CH2。劣势的CH3与CH4在优势的通道CH1与CH2驱动结束后逐渐驱动。

下面参考图21说明即时驱动模式中时分控制部29的主控制部60执行的驱动程序。

在此程序中，首先于步骤ST121，主控制部60参考本身内置的定时器，判断是否是采样时间。若以判断为肯定的，于步骤ST112使所有通道CH1-CH4的加热器21A-24A初始化。

然后于步骤ST123判断通道CH1的加热器21A是否满足接通条件。若此判断为肯定的，程序进到步骤ST124，判断是否经过开关移位时间。若此判断为肯定的，程序进到步骤ST125，于步骤ST125，通道CH1的继电器51接通而断开其他通道的继电器52-54，只驱动加热器21A。此后程序返回步骤ST121，再次等待采样时间。

另一方面，若步骤ST124的判断为否定的，程序返回步骤ST121，再次等待采样时间。于是不经过开关移位时间，程序不会进到步骤ST125。

在通道CH1的加热器21A不满足接通条件时，步骤ST123的判断成为否定的，程序进到步骤ST126，断开通道CH1。

再于步骤ST127判断通道CH2的加热器22A是否满足条件。若此判断为肯定的，程序进到步骤ST128，判断是否经过开关移位时间。若此判断为肯定的，于步骤ST129接通通道CH2的继电器52，断开其他通道的继电器53、54，只驱动加热器22A。

同样，只当通道CH1与CH2不满足接通条件，程序才进入步骤ST130，若是通道CH3的加热器23A满足接通条件，则在经过开关移位时间后，通道CH3的继电器53接通，其他通道的继电器54断开，只驱动加热器23A(步骤ST131、ST132、ST133)。

此外，只当通道CH1-CH3不满足接通条件时，程序才进入步骤ST134，若通道CH4的加热器24A满足接通条件，经过开关移位时间后，通道CH4的继电器54接通，只驱动加热器24(步骤ST135、ST136、ST137)。

如上所述，在即时驱动模式下实现加热器的驱动时，开关移位时间参数也能用于这种特定通道优先模式中。在图21的流程图所示驱动程序中，从一个通道的驱动时间结束根据情形到开关移位时间结束时，由于并未驱动后面的通道，故可防止电功率消耗增大。

作为这种温度控制装置的作业说明逐次输出比较模式的作业。

这种逐次输出比较模式是上述即时驱动模式的变形。在上述的即时驱动模式下，即使在1个周期中，加热器(特别是优先的通道的加热器)会多次驱动(参考图20)，但在这种逐次输出比较模式下，如图22所示，所有的加热器最多也只驱动一次。

与即时驱动模式相同，运算部31-34以采样周期(例如500msec)生成和输出操作量MV1-MV4，但与即时驱动模式不同，时分控制部29的主控制部60则以与采样周期不同的判定周期(例如10msec)，根据相应参数与其时的操作量MV1、MV2、MV3、MV4，判断是否应驱动加热器21A-24A，根据此判断周期，输出驱动信号MV1′、MV2′、MV3′、MV4′中之任一。其他特征与即时驱动模式大致相同。作为图22的作业例的条件的参数可与图20说明中所用的参数相同。

下面参考图23说明逐次输出比较模式下时分控制部29的主控制部60所执行的驱动程序。

在此程序中，首先于步骤ST140参考主控制部60本身中内置的定时器，判断现时时刻是否为判断时刻(判断周期例如为10msec)。若此判断为肯定的，则于步骤ST141中判定此现时时刻是否为周期时间的开始时刻。若步骤ST141的判断为肯定的，则于步骤ST142使后述的标志F11-113复位，于步骤ST143使所有通道CH1-CH4的加热器21A-24A初始化，然后程序进到步骤ST144。

另一方面，若步骤ST141的判断为否定的，则程序立即进到步骤ST144。这就是说，只是在各周期时间的开始时刻，才使标志复位和使所有通道初始化。

于步骤ST144，判断是否设置标志F11。标志F11示明未驱动通道CH1的加热器21A的状况。例如，当此周期时间内加热器21A的驱动已结束时，设置标志F11，以在此同一周期时间中不再驱动加热器21A。当步骤ST144的判断为否定时，程序进入步骤ST145。

于步骤ST145，判断通道CH1的加热器21A是否满足接通条件。若此判断为肯定的，程序进到步骤ST146，判断是否经过开关移位时间。若此判断为肯定的，程序进到步骤ST147。于步骤ST147，通道CH1的继电器51接通，其他通道的继电器52-54断开，只驱动最优先的加热器21A。然后程序返回步骤ST141，再次等待判断时刻。

另一方面，若步骤ST146的判断为否定的，程序返回步骤ST140，再次等待判断时刻。因此，除非经过开关移位时间，程序就不会进到步骤ST147。

在设置了标志F11时，步骤ST144的判断成为肯定的，而当通道CH1的加热器21A不满足接通条件时，步骤ST145的判断成为否定的，程序进到步骤ST148，断开通道CH1。然后于步骤ST149设置标志F11。

再于步骤ST150判断是否设定标志F12。标志F12表明未驱动通道CH2的加热器22A的状况，当步骤ST150的判断为否定时，程序进到步骤ST151。于步骤ST151判断通道CH2的加热器22A是否满足接通条件。若此判断为肯定的，程序进到步骤ST152，判断是否经过开关移位时间。当此判断为肯定的时，于步骤ST153接通通道CH2的继电器52，断开其他通道的继电器53、54，只驱动加热器22A。

同样，在通道CH1与CH2不满足接通条件时以及通道CH1与CH2未被驱动时，程序进到步骤ST154，断开通道CH2的加热器22A，进到步骤ST155，设立标志F12。

然后，在不设置标志F13而通道CH3的加热器23A满足接通条件时，经过开关移位时间后，接通通道CH3的继电器53，断开其他通道的继电器，只驱动加热器23A(步骤ST156～ST159)。

当通道CH1-CH3不满足接通条件时以及未驱动通道CH1-CH3的情形下，程序进到步骤ST160，断开通道CH3的加热器23A，进到步骤ST161，设置标志F13。若通道CH4的加热器24A满足接通条件，经过开关移位时间后，接通通道CH4的继电器54，只驱动加热器24A(步骤ST162、ST163、ST164)。

如上所述，实现了逐次输出比较模式下加热器的驱动，开关移位时间参数也可用于此特定通道优先模式中。即使在图23的流程图所示的驱动程序中，从一个通道的驱动时间结束根据情形到开关移位时间结束，由于没有驱动以后的通道，可以防止增大功率消耗。

这种实施形式下的温度控制装置。除上述模式之外，也能执行对各加热器21A-21D独立的控制模式。在这种模式下，可以不问其他加热器是否是在驱动器间来驱动应驱动的加热器、由此能获得在其他控制模式下节省功率的效果，在这种独立控制模式下，还能有效地给予加热器以最适当的效应。

以上虽然说明了用于例示本发明的最佳实施形式，但内行人应该理解到，在不脱离权利要求范围内记述的发明内容的条件下，是可以作出种种变更、改进与置换的。

如上所述，本发明的状态控制状态装置在限制消耗动力下，能根据多种因素来协调地驱动与控制多个末端致动装置。

Claims (19)

1.一种状态控制装置，它包括：为了使测定多个末端致动装置中各装置有关状态的多个测定器的测定结果与预设值的结果一致，而计算出应操作各上述末端致动装置操作量的计算部；根据使用着的设定，生成多种参数的参数生成部；基于上述各操作量与上述多种参数输出驱动上述各末端作动装置的驱动信号，同时在输出驱动一个末端致动装置驱动信号时不输出驱动其他末端致动装置的综合控制部。

2.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，上述参数生成部生成与上述多个末端致动装置的优先顺序相关的优先顺序参数；上述综合控制部优先输出驱动按上述优先顺序参数表示为高的优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而按上述优先顺序参数表示为低优先顺序的末端致动装置则在一个周期中不输出驱动它的驱动信号。

3.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，上述参数生成部生成与上述多个末端致动装置优先顺序相关的优先顺序参数，上述综合控制部优先输出驱动按上述优先顺序参数表示为高的优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而在高优先顺序末端致动装置驱动后的上述一个周期中的残余时间内，则输出驱动余剩各末端致动装置的驱动信号。

4.根据权利要求3所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部为使上述余剩的各末端致动装置的驱动时间分别与上述各操作量成比例，于上述佘剩的时间中进行分配。

5.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，上述参数生成部生成与至少一个上述末端致动装置在一个周期中能驱动的时间极限有关的极限参数，而上述综合控制部基于包含上述极限参数的各参数，调整上述末端致动装置的驱动信号的输出。

6.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，上述参数生成部生成与至少一个上述末端致动装置在一个周期中能驱动的时间极限有关的极限参数，以及与上述多个末端致动装置的优先顺序有关的优先顺序参数；上述综合控制部基于上述极限参数与上述优先顺序参数，调整上述末端致动装置的驱动信号的输出。

7.根据权利要求6所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部优先地输出驱动以上述优先顺序参数表明高优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而在一个周期中不能输出驱动以上述优先顺序参数表示为较低优先顺序的末端致动装置的驱动信号时，则不输出。

8.根据权利要求6所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部优先地输出驱动以上述优先顺序参数表明高优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而在高优先顺序末端致动装置驱动后的上述一个周期的余剩时间内，输出驱动余剩的各末端致动装置的驱动信号。

9.根据权利要求8所述的状态控制装置，其特征在于，在上述余剩时间中进行分配，使上述余剩各末端致动装置的驱动时间与各个上述操作量成比例。

10.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，当应操作上述各末端致动装置的操作量之和超过相当于一个循环长度的量时，上述综合控制部通过使相对于上述操作量之和的各操作量之比与上述周期的长度相乘，计算出各末端致动装置应驱动的驱动时间。

11.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，它还具有能根据各上述测定器测定的状态，生成示明应否驱动各上述末端致动装置的信息的驱动判定部，为了选择使用上述驱动判定部与上述计算中之一，上述参数生成部生成使用上述驱动判定部与上述计算部中某一个的判定模式参数，而在使用上述驱动判定部时，则生成与各上述末端致动器置在一个周期中能驱动的时间极限有关的极限参数，上述综合控制部在使用上述驱动判定部时，则基于包含上述极限参数的各参数，使各上述末端致动装置在一个周期中驱动的驱动时间分配到一个周期之中。

12.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，在上述末端致动装置分成多个组时，上述参数生成部生成显示各上述末端致动装置分类成的组的组参数，上述综合控制部基于上述组参数，在输出用于驱动属于一个组的末端致动装置的驱动信号时，不输出属于同组中的其他末端致动装置的驱动信号。

13.根据权利要求12所述的状态控制装置，其特征在于，上述参数生成部生成与上述各组内末端致动装置优先顺序相关的优先顺序参数，上述综合控制部基于包含上述优先顺序参数的参数，对上述各组调节上述末端致动装置的驱动。

14.根据权利要求13所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部对于上述各组优先地输出驱动以上述优先顺序参数表明高优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而在一个周期中不能输出驱动以上述优先顺序参数表示为较低优先顺序的末端致动装置的驱动信号时，则不输出。

15.根据权利要求13所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部优先地输出驱动上述各组中以上述优先顺序参数表明高优先顺序的末端致动装置的驱动信号，而在高优先顺序末端致动装置驱动后的上述一个周期的余剩时间内，输出驱动同组中余剩各末端致动装置的驱动信号。

16.根据权利要求12所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部使驱动属于一个组的末端致动装置的开始时刻与驱动属于其他组的末端致动装置的开始时刻错开。

17.根据权利要求1所述的状态控制装置，其特征在于，上述综合控制部可使开始输出驱动一个末端致动装置的驱动信号的时间延迟。

18.一种状态控制装置，它包括：为了使测定多个末端致动装置中各装置有关状态的多个测定器的测定结果与预设值的结果一致，而计算出应操作各上述末端致动装置操作量的计算部；基于使用者的设定，生成与上述多个末端致动装置优先顺序相关的优先顺序参数的参数生成部，基于上述各操作量与上述优先顺序参数，在判定实际上应否驱动末端致动装置并据以驱动一个末端致动装置时，停止其他末端致动装置的综合控制部。

19.根据权利要求18所述的状态控制装置，其特征在于，在能通过上述各操作量驱动多个末端致动装置时，上述综合控制部驱动依上述优先顺序参数表示的高优先顺序的末端致动装置而停止其他末端致动装置。

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