CN1412744A - 磁头组件的压电致动器装置 - Google Patents

Abstract

压电致动器设备包括一对加长压电致动器。当没有电信号被提供于压电致动器设备时，加长压电致动器建立磁头滑动器的标准姿态。当电信号被施加于压电致动器设备时，顶端被朝加长压电致动器的底端回拉。压电致动器设备产生用于驱动磁头滑动器从标准姿态仅沿预定方向围绕旋转轴旋转的力偶。与磁头滑动器基于摆动而移动的情形相比，旋转时磁头滑动器中的惯性力矩能被减少。由磁头滑动器和压电致动器设备组成的振动系统中的自然频率能被提高。电信号或伺服信号的频率能被在更宽频率范围内设置。

Description

磁头组件的压电致动器装置

技术领域

本发明涉及记录媒体驱动管理记录或记录媒体中的信息储存。本发明特别涉及于包括摆动臂，从摆动臂前端伸出的磁头悬臂，磁头滑动器，和能改变磁头滑动器相对磁头悬臂姿态的微致动器的记录媒体驱动。

背景技术

如日本专利申请公开11-273041中的披露，例如，已知的磁头组件有时包括插入于磁头滑动器和磁头悬臂之间的压电致动器。第一公共附件被固定于磁头组件的磁头悬臂上。一对平行压电致动器从第一公共附件伸向磁头滑动器。一对平行压电致动器从第一公共附件延伸朝向磁头滑动器。各个压电致动器的尖端耦合于固定在磁头滑动器上的第二公共附件。磁头滑动器被允许响应压电致动器的伸展和收缩在第一公共附件周围摆动。磁头滑动器的摆动从而实现磁头滑动器在磁或硬盘的径向上精细或较小的位移。磁头滑动器精细的位移能使滑动器上的读/写磁头以高精度跟循磁盘上的记录磁道。

电或伺服信号被提供给压电致动器用于伺服控制磁头滑动器的摆动。如果伺服信号的频率变高，磁头滑动器能仍以高精度被定位于记录磁道上。提高读/写磁头的定位精度的改善导致磁盘的记录密度的提高。

磁头滑动器和压电致动器建立一个振动系统。相应的，如果伺服信号的频率与振动系统的自然频率吻合，磁头滑动器将产生不正常位移，即谐振。在这种情况，磁头的位置不能被控制。如果振动系统的自然频率被升高，伺服信号的频率范围能被扩展。

发明内容

相应的，本发明的目的是提供一种有助于提供给压电致动器的电信号频率范围的扩展的磁头组件。

根据本发明，提供的磁头组件包括：支撑体；磁头滑动器；和放于支撑体和磁头滑动器之间用于当电信号被切断时建立磁头滑动器标准姿态的压电致动器装置，其中，所述压电致动器设备产生仅在预定方向上围绕旋转轴改变磁头滑动器的姿态的力偶。

这种磁头组件利用磁头旋转来完成精细或较小的磁头或传感器元件的移动。与基于摆动的磁头滑动器被移动的情形相比，旋转时磁头滑动器中惯性力矩能被减少。仅较小的力矩作用于压电致动器设备的单个压电致动器上，因此包含磁头滑动器和压电致动器设备的振动系统的自然频率能被提高。电信号或伺服信号的频率能被设置在更宽的范围。

另外，磁头组件仅在预定方向上简单地围绕旋转轴从标准姿态改变磁头滑动器的的姿态。与从标准姿态至少在两个方向改变磁头姿态的情形相比，能简化压电致动器设备的压电致动器的结构。因为压电致动器设备能包括很少的压电致动器，所以能减少如金球的连接至压电致动器设备的电端口数目。电信号能以简单结构可靠地被提供给压电致动器设备。

例如，压电致动器设备可以包括：在第一方向上延伸的第一加长压电致动器，第一加长压电致动器的底端被连接至支撑体，第一加长压电致动器的顶端被连接至磁头滑动器；和在反平行于第一方向的第二方向上延伸的第二加长压电致动器，第二加长压电致动器的底端连接至支撑体，第二加长压电致动器的顶端被连接至磁头滑动器。特别的是，根据提供的电信号，第一加长压电致动器被允许在第一方向上收缩，而根据提供的电信号，第二加长压电致动器被允许在反平行于第一方向的第二方向上收缩。这种磁头组件仅利用一对加长的压电致动器来实现磁头滑动器的旋转。磁头组件的结构能被简化。第一和第二加长压电致动器可以被彼此对称围绕于旋转轴周围来实现力偶的产生。

磁头组件还可以包括：分别连接至第一和第二加长压电致动器的第一外部电极；分别沿第一和第二加长压电致动器表面从前端伸向底端的第二外部电极。这种磁头组件允许第一和第二外部电极被放在仅邻近各加长压电致动器的底端。从而如金球的端口能容易的连接或键合至第一和第二加长压电致动器。电信号能用简单结构被提供给第一和第二加长压电致动器。

每个第一和第二加长压电致动器可以包括：第一内部电极层，在接近加长压电致动器底端第一内部电极层的外端连接至第一外部电极，第一内部电极层从外端向加长压电致动器的顶端延伸；第二内部电阻层每个放置于各相邻第一内部电极层之间且被在接近加长压电致动器顶端第二内部电极层的外端连接至第二外部电极，第二内部电极层从外端伸向加长压电致动器底端；以及插入于第一和第二内部电极层之间的有源压电传感器层。当电信号被提供至有源压电传感器层时，基于所谓的横向效应，有源压电传感器层在垂直于电信号方向的d31方向上收缩。特别的是，有源压电传感器层沿第一和第二内部电极层收缩。从而实现压电致动器的收缩。收缩量依赖于所加电压的强度。有源压电传感器层可以由例如PNN-PT-PZ的压电材料制成。

每个第一和第二加长压电致动器还可以包含放于加长压电致动器的尾端和前端间第一和第二内部电极层至少之一的外表面上的无源压电传感器层。依赖于提供的电信号，有源压电传感器仅在第一和第二加长压电致动器中收缩。无源压电传感器层用于阻止有源压电传感器层收缩。结果，当提供电信号时，这种加长压电致动器被允许弯曲。弯曲和收缩一起产生前述力偶。无源压电传感器层可由与有源压电传感器层相同的材料制成。

上述的这种磁头组件可被引入如硬盘驱动器(HDD)的磁盘驱动器，和其它类型的记录盘驱动器。

附图说明

从结合附图的下面优选实施方案的描述，本发明的上述和其它目的，特征和优点将变得明显，其中：

图.1为以记录媒体驱动器为例原理上描述硬盘驱动器(HDD)结构的平面图示；

图.2为详细描述磁头悬臂组件的结构的放大的部分透视图示；

图.3为用于描述第一和第二加长压电致动器位置的支撑板的放大平面图；

图.4为原理上描述根据本发明第一实施方案的加长压电致动器结构的放大透视图示；

图.5为用于原理上描述飞行磁头滑动器运动的放大平面图示；

图.6为原理上描述根据第一实施方案修改的加长压电致动器的放大透视图示；

图.7为原理上描述用于制备加长压电致动器的第一和第二绿色板条的透视图示；

图.8为原理上描述用于制备压电致动器的绿色板条堆层的透视图示；

图.9为描述形成于堆段上的电极薄膜的放大透视图示。

图.10为原理上描述根据本发明第二实施方案的加长压电致动器结构的支撑板的放大透视图示。

图.11为用于原理上描述根据第二实施方案的加长压电致动器运动的支撑板的放大平面图示。

图.12为用于原理上描述根据第三实施方案修改的加长压电致动器结构的支撑板的放大平面图示。

图.13为用于原理上描述根据本发明第三实施方案的加长压电致动器结构的支撑板的放大平面图示。

具体实施方式

图.1原理上描述了硬盘驱动器(HDD)11的内部结构作为记录媒体驱动器或存储驱动器的例子。例如，硬盘驱动器11包括确定一平坦平行六面体的内部空间的盒形主封装12。至少一个磁记录盘13被提供于主封装12的内部空间中。磁记录盘13被安装于主轴马达14的驱动杆上。允许主轴马达14驱动磁记录盘13以例如7,200rpm或10,000rpm的较高旋转速度旋转。封盖(未被画出)被耦合至主封装12上来确定主封装12和它自身之间的闭合的内部空间。

托架16也被提供于主封装12的内部空间用于在垂直支撑轴15周围作摆动运动。托架16包括从垂直支撑轴15沿水平方向延伸的刚性摆动臂17，和连接至摆动臂17前端或顶端的磁头悬臂组件18。磁头悬臂装置18包括从摆动臂17前端向前伸出的弹性磁头悬臂19。如常规上所知，飞行磁头滑动器21在接近其前端被磁头悬臂19所支撑。根据本发明，磁头悬臂19用作支撑件。

磁头悬臂19用于驱使飞行磁头滑动器21朝向磁记录盘13的表面。当磁记录盘13旋转时，飞行磁头滑动器21被允许接受沿旋转磁记录盘13产生的气流。气流用于产生飞行磁头滑动器21的升高。从而，当磁记录盘13旋转时飞行磁头滑动器21以通过升高和磁头悬臂19的驱使力之间的平衡建立的较高稳定性被允许飞行于磁记录盘13的表面上。

当托架16在飞行磁头滑动器21飞行期间被驱动在支撑轴15的周围摆动时，飞行磁头滑动器21被允许穿过在磁记录盘13半径方向上定义于磁记录盘13上的记录磁道。这种径向运动用于定位飞行磁头滑动器21于磁记录盘13上目标记录磁道正上方。在这种情形下，例如，如音频线圈马达(VCM)的电磁致动器22能被用来实现托架16的摆动。如常规所知，在两个或多个磁记录盘13被引入主封装12的内部空间中的情形下，一对弹性磁头悬臂装置18被安装于相邻磁记录盘13间的单个公共摆动臂17上。

如图.2所示，支撑板24在磁头悬臂装置18的磁头悬臂19的前端被冲孔。支撑板24允许根据所谓的万向弹簧25的动作改变其姿态。飞行磁头滑动器21被接收于支撑板24的表面上。磁传感器元件26被安装于飞行磁头滑动器21上。例如，磁传感器元件26可以包括诸如薄膜磁头的、被用于把磁信息写入磁记录盘13的写元件，和如巨磁阻(GMR)元件的读元件以及隧道结磁阻(TMR)元件的、被用于从磁记录盘13读出磁信息的读元件。

压电致动器设备27被放于飞行磁头滑动器21和支撑板24之间。压电致动器设备27包括第一加长压电致动器28。第一加长压电致动器28在底端28a被固定至支撑板24。设计第一加长压电致动器28在第一方向 DR1从底部伸出。第一加长压电致动器28的顶端28b在第一方向 DR1被固定至飞行磁头滑动器21上。同样，压电致动器设备27包括第二加长压电致动器29。第二加长压电致动器29在底端29a被固定至支撑板24上。设计第二加长压电致动器29在第二方向 DR2从底端29a伸出。第二加长压电致动器29的顶端29b在第二方向 DR2上被固定至飞行磁头滑动器21上。第二方向 DR2被设成反平行于第一方向 DR1。例如，包括环氧树脂的粘合剂被用来固定第一和第二加长压电致动器28，29至支撑板24和飞行磁头滑动器21上。

从图.3明显看出，第一和第二加长压电致动器28，29被对称放于与飞行磁头滑动器21的上表面垂直设定的预定旋转轴 CR周围。因此，当第一和第二加长压电致动器28，29收缩时，在旋转轴 CR周围产生力偶。从而飞行磁头滑动器21接收基于产生的力偶在旋转轴 CR周围旋转的驱动力。基于施加驱动力，飞行滑动器21的姿态围绕旋转轴CR能被改变。

如图.4所示，根据本发明第一实施方案的第一加长压电致动器28包括形成第一加长压电致动器28的底端28a的第一压电陶瓷模块31，和同样形成第一加长压电致动器28顶端28a的第二压电陶瓷模块32。第一外部电极层33被耦合至第一加长压电致动器28的底端28a的端面上，即，第一压电陶瓷模块31所暴露的表面。同样，第二外部电极层34被耦合至第一加长电极致动器28的顶端28b的端面上，即，第二压电陶瓷模块32所暴露的表面。第一和第二外部电极层33，34可以由例如Pt的导电的金属材料组成。

压电陶瓷层35a的堆叠层35被插入于第一和第二压电陶瓷模块31，32之间。第一和第二内部电极层36，37被交替的夹在堆层35中相邻的压电陶瓷层35a间。第一内部电极层36被设计来穿透第一压电陶瓷模块31来达到第一压电陶瓷模块31的外表面。以这种方式，第一内部电极层36的外端被连接至第一外部电极层33。第一内部电极层36被保持在第二压电陶瓷模块32的外面。同样，第二内部电极层37被设计穿透第二压电陶瓷模块32来到达第二压电陶瓷模块32的外表面。第二内部电极层37的外端从而被连接至第二外部电极层34。第二内部电极层37被保持在第一压电陶瓷模块31的外面。根据本发明，第一和第二内部电极层36，37之间的压电陶瓷层35a相应于有源压电传感器层。与压电陶瓷层35a相同，第一和第二压电陶瓷模块31，32可以由例如PNN-PT-PZ的压电材料制成。第一和第二内部电极层36，37可以由例如Pt的导电材料组成。

表面电极层38被耦合至第一加长压电致动器28中堆层35的外表面。表面电极层38被设计从接近顶端28b的第二压电陶瓷模块32的外表面伸向第一加长压电致动器28的底端28a。表面电极层38可以用来固定最外压电陶瓷层35a至第一内部电极层36上。表面电极层38在一端被连接至第二外部电极层34。表面电极层38的另一端终止于与第一外部电极层33相距的位置。特别的是，表面电极层38和第一外部电极层33之间禁止电连接。根据本发明，表面电极层38和第二外部电极层34从而相应于一个第二外部电极。表面电极层38可以由例如Pt的导电材料组成。

第一外部电极层33和表面电极层38被设计位于第一压电陶瓷模块31周围的支撑板24的表面上。例如金球的导电端39被连接至第一外部电极层33的暴露表面。焊膏被用来连接导电端39至第一外部电极层33。同样，如金球的导电端41在第一压电陶瓷模块31的周围被连接至表面电极层38。

另一方面，导电端压点(pad)42，43被放于支撑板24的表面上。导电端39，41分别被接纳于导电端压电42，43。导电端压点42，43被耦合至铺于磁头悬臂19表面的导电导线图形44上。导电导线图形44可以被连接至未被画出、被引入HDD 11中的控制芯片上。

假设预定电压的电信号通过导电端39，41被加于第一压电致动器28上。在第一和第二内部电极层36，37间，单个压电陶瓷层35a被允许接受例如约1KV/mm的电场强度。在单个压电陶瓷层35a中，被加电压用于产生相应于所加电压的方向的极化。当在极化后电信号进一步被提供至单个压电陶瓷层35a时，基于所谓的横向效应，压电陶瓷层35a在垂直于极化方向的d31方向上收缩。收缩量依赖于所加电压强度。以这种方式，能实现第一加长压电致动器28的收缩。应注意的是，第二加长压电致动器29可以具有与第一加长压电致动器28相同的结构。

当没有电信号被提供于压电致动器设备27时，例如，如图.3所示，压电致动器设备27被用于在支撑板24上建立飞行磁头滑动器的标准姿态。当电压被施加于第一和第二加长压电致动器28，29，第一和第二加长压电致动器28，29都以前述方式收缩。在第一和第二加长压电致动器28，29中，顶端28b，29b被朝底端28a，29a后拉。第一和第二加长压电致动器28，29的动作围绕旋转轴 CR产生一个力偶。产生的力偶导致飞行磁头滑动器从标准姿态仅以预定方向在旋转轴 CR周围旋转。以这种方式，支撑板24上的飞行磁头滑动器21的姿态能被改变。当电信号的供给被终止时，第一和第二加长压电致动器28，29被允许伸长直到他们回到原形状。飞行磁头滑动器21从而围绕旋转轴CR恢复至标准姿态。

现在，假定飞行磁头滑动器21上的磁传感器元件26要被放于磁记录盘13的特定的记录磁道上。在这种情形，HDD 11的控制器芯片被设置来提供例如0V和30V之间的电信号至第一和第二加长压电致动器28，29。当最大电压30V被施加于第一和第二加长压电致动器28，29时，第一和第二加长压电致动器28，29收缩最大量。这里，磁传感器元件26被允许在支撑板24上以垂直于记录磁道的横向上移动或偏移约1.0μm的最大线性量或行程。

在开始定位磁传感器元件26之前，15V的电信号被提供至压电致动器设备27上。因此，例如，如图.5所示，磁传感器元件26在支撑板24上被移动最大行程的一半，即0.5μm的移动。其后，基于托架16或摆动臂17的摆动，磁传感器元件26被粗略放于目标记录磁道上。

当磁传感器元件26开始跟循目标记录磁道时，根据伺服控制，控制芯片提供电信号至压电致动器设备27。当电信号电压被减少到15V以下时，第一和第二加长压电致动器28，29变长。飞行磁头滑动器21从而被驱动在旋转轴 CR周围以逆时钟方向 CL1旋转。飞行磁头滑动器21的这种旋转允许磁传感器元件26在磁记录盘13的径向上移动。当电信号的电压被升高15V以上时，第一和第二加长压电致动器28，29收缩。飞行磁头滑动器21从而被驱动在旋转轴 CR的周围以顺时钟方向 CL2旋转。飞行磁头滑动器21的这种旋转允许磁传感器元件26沿磁记录盘13径向的反方向移动。以这种方式，磁传感器元件26被促使以较高精度跟踪目标记录磁道。

磁头悬臂装置18利用飞行磁头21的旋转来实现磁传感器元件26的精细或较小的移动。旋转时飞行磁头滑动器21中的惯性力矩能被减小。仅较小的力矩作用于各加长压电致动器28，29上，因此包含飞行磁头滑动器21和压电致动器设备27的振动系统的自然频率能被提高。电信号或伺服信号频率能在更宽频率范围内设置。相反，在飞行磁头滑动器21基于摆动运动而移动的情形中，飞行磁头滑动器21的总质量贡献于惯性力矩的产生。另外，质心和轨迹中心之间距离增加。更大的惯性力矩被迫作用在飞行磁头滑动器21上。伺服信号倾向于在相对较低的频率范围内产生共振。

另外，磁头悬臂装置18仅利用一对加长压电致动器28，29来实现飞行磁头滑动器21的旋转。磁头悬臂装置18的结构能被简化。另外，导电端口39，41能容易的被连接至第一和第二加长压电致动器28，29。第一和第二加长压电致动器28，29被允许以简单结构接收电信号。这里，四个加长压电致动器能被放于飞行磁头滑动器的旋转轴周围，如国际专利申请PCT/JP01/02417中所公布的。同样，包括飞行磁头滑动器和四个加长压电致动器的振动系统中的自然频率能被提高。但是，电连接端将被增加，因此加长压电致动器的结构变得复杂。

如图.6所示，第一和第二加长压电致动器28，29的表面电极层38可以被叠放于前述磁头悬臂装置18的支撑板24的表面上。在这种情况，表面电极层38被叠放于第一压电陶瓷模块31周围的支撑板24上的导电端口压点43上。例如，导电粘合剂可以被用来在导电端口压点43上固定表面电极层38。导电粘合剂实现了支撑板24与第一和第二加长压电致动器28，29之间的物理连接，以及表面电极层38与导电端口压点43之间的电连接。这种类型的第一和第二加长压电致动器28，29用于可靠地避免飞行磁头滑动器21与第一和第二内部电极层36，37以及表面电极层38之间的电连接或接触。

接着，将对制备加长压电致动器28，29的方法作简要描述。如图.7所示，第一和第二绿色板条(green sheet strip)51a，51b被首先预备。第一和第二绿色板条51a，51b具有相同形状。绿色板条51a，51b的厚度可以被设为例如约20μm。绿色板条51a，51b可以由例如PNN-PT-PZ的压电材料的粉末制成。如Pt的导电材料的薄膜52被加至各第二绿色板条51b的表面上。丝网印刷可以被用来形成薄膜52。

暴露区域被保持在相邻的薄膜52间的第二绿色板条51b上。暴露区域被允许在垂直于第二绿色板条51b经向的横向上完全交叉第二绿色板条51b。中心线54能被在横向上定义于各薄膜52上。中心线55也能被定义于各暴露区域上。中心线54，55之间的距离 L被设为与第一和第二加长压电致动器28，29的长度相等。

然后，第二绿色板条51b被顺序的叠放起来。第二绿色板条51b的数目可以被设为依赖于第一和第二加长压电致动器28，29中将收缩的量。上第二绿色板条51b上暴露区域的中心线55与下第二绿色板条51b上薄膜52的中心线53对准。一个或多个第一绿色板条51a可以被插入于上和下第二绿色板条51b之间。被插入的第一绿色板条51a的数目可以被设为依赖于第一和第二加长压电致动器28，29的有源压电传感器层的预期的厚度。第一绿色板条51a也可以被叠放于最下第二绿色板条51b下表面和/或最上第二绿色板条1b的上表面上。绿色板条51a，51b的堆层56能最终获得如图.8所示。

然后，堆层56在1,050摄氏度的温度，普通大气压下被烘焙。叠放的第一和第二绿色板条51a，51b在烘焙中被整合。其后，堆层56沿前述中心线54，55被切割和分割。堆层段57以这种方式被获得。各堆层段57包括一排加长压电致动器。如图.9所示，电极薄膜58被形成延伸于最上第一绿色板条51a的段的暴露表面上的堆层段57上。电极薄膜58可以由例如Pt的导电材料制成。同样，电极薄膜59，61被形成遍布于堆层段57的切割或横截面上。一切割面上的电极薄膜59被连接至电极薄膜58。暴露区域被维持在电极薄膜58，61间的堆层段57上。

然后，第一和第二加长压电致动器28，29从堆层段57中被切割出。切割是沿与前述切割面交叉成直角的平面62进行。从而获得第一和第二加长压电致动器28，29。第一和第二加长压电致动器28，29最终被粘合至支撑板24和上述飞行磁头滑动器21上。

本发明者测量了磁传感器元件26的偏移或移动量以及用于定位磁传感器元件26的伺服控制期间的共振频率。测量中激光多普勒速度计和伺服分析仪被使用。九个有源压电传感器层，即九个压电陶瓷层35a被建立于各第一和第二加长压电致动器28，29中。当第一和第二加长压电致动器28，29的前端28b，29b被如上所述连接至飞行磁头滑动器21时，第一和第二加长压电致动器28，29的底端28a，29a被粘合至陶瓷衬底。由峰峰值30V的正弦波组成的电信号被提供至第一和第二加长压电致动器28，29上。证明了超过1.0μm的偏移量。共振频率超过20kHz。

图.10描述了根据本发明第二实施方案的第一和第二加长压电致动器28，29。无源压电传感器层63被叠放于第一和第二加长压电致动器28，29中底端28a，29a和顶端28b，29b之间的第一和第二内部电极层36，37中至少之一的暴露表面上。无源压电传感器层63可以由例如PNN-PT-PZ的压电物质制成。因为在基于内部电极层36，37的无源压电传感器层63中没有电信号通路被建立，压电传感器层63中没有收缩和延长。多个第一绿色板条51a可以被叠放于最低第二绿色板条51b的下表面或最上第二绿色板条51b的上表面上，以便以制备第一和第二加长压电致动器28，29的前述方法加上无源压电传感器层63。注意，相同的标注号被放于与前述磁头悬臂装置18及第一和第二加长压电致动器28，29相同的结构或元件上。

当电信号被提供加长压电致动器28，29时，从图.11很明显，压电陶瓷层35a的堆层35，即有源压电传感器层在第一和第二加长压电致动器28，29中独自收缩。有源压电传感器层的收缩用于朝底端28a，29a回拉前端28b，29b。另一方面，在无源压电传感器层63中没有实现收缩。无源压电传感器层63用于防止有源压电传感器层，即压电陶瓷层35a的堆层35的收缩。当电信号被提供于第一和第二加长压电致动器28，29时，第一和第二加长压电致动器28，29被允许弯曲。第一和第二加长压电致动器28，29的弯曲驱动飞行磁头滑动器21以与前述相同的方式围绕旋转轴 CR旋转。

本发明者也测量了磁传感器的偏移或位移量，以及基于这一第二实施方案，以与前述相同方式用于定位磁传感器元件26的伺服控制时的共振频率。五个有源压电传感器层，即，五个压电陶瓷层35a被建立于各第一和第二加长压电致动器28，29内。证明超过1.0μm的偏移量。共振频率超过20KHz。与前述第一实施方案相同的偏移量能被维持，无关于有源压电传感器层数目的减少。特别的是，用很少的压电传感器层，飞行磁头滑动器21姿态的更大改变能被实现。

这里，例如，如图.12所示，第一和第二加长压电传感器28，29可以到处纵向延伸磁头滑动器21。以这种方式，第一和第二加长压电致动器28，29的伸长长度实现了超过1.4μm的偏移量。共振频率仍被维持在超过20KHz的范围。

图.13描述了根据本发明的第三实施方案的第一和第二加长压电致动器28，29。在这一第三实施方案中，附加模块64被连接至第一和第二加长压电致动器28，29的底端28a，29a和顶端28b，29b上用于加强。这种第一和第二加长压电致动器28，29允许第一和第二加长压电致动器28，29在更大的接触面积上接触支撑板24以及飞行磁头滑动器21。第一和第二加长压电致动器28，29能被以更大面积粘合至支撑板24及飞行磁头滑动器21。因此，第一和第二加长压电致动器28，29和支撑板24及飞行磁头滑动器21间的结合强度能被提高。另外，1.0μm以上的偏移量能被维持。共振频率能被升高到20KHz以上。第一和第二加长压电致动器28，29可以从堆层段57以预定形状冲出，使得以前述制备第一和第二加长压电致动器28，29的方式形成附加模块64。注意，相同的标注号被放于与那些前述磁头悬臂装置18及第一和第二加长压电致动器28，29相同的结构或元件上。

Claims (20)

1.一种磁头组件包括：

支撑体；

磁头滑动器；以及

被放于支撑体和磁头滑动器之间的压电致动器设备，用于当电信号的供给被切断时建立磁头滑动器标准姿态，其中

所述压电致动器设备产生仅在预定方向上围绕旋转轴改变磁头滑动器姿态的力偶。

2.根据权利要求1的磁头组件，其中所述压电致动器设备包括：

第一加长压电致动器当提供电信号时在第一方向上收缩；以及

第二加长压电致动器当提供电信号时在反平行于第一方向的第二方向上收缩。

3.根据权利要求2的磁头组件，其中所述第一和第二加长压电致动器被彼此对称地围绕旋转轴放置。

4.根据权利要求1的磁头组件，其中所述压电致动器设备包括：

在第一方向上延伸的第一加长压电致动器，第一加长压电致动器的底端被连接于支撑体，第一加长压电致动器的顶端被连接于磁头滑动器；以及

在反平行于第一方向的第二方向上延伸的第二加长压电致动器，第二加长压电致动器的底端被连接至支撑体，第二加长压电致动器的顶端被连接至磁头滑动器。

5.根据权利要求4的磁头组件，其中所述第一和第二加长压电致动器被彼此对称的围绕旋转轴放置。

6.根据权利要求5的磁头组件，还包括：

分别连接至第一和第二加长压电致动器底端的第一外部电极；以及

分别沿第一和第二加长压电致动器的表面从顶端向底端延伸的第二外部电极。

7.根据权利要求6的磁头组件，其中每个所述第一和第二加长电极致动器包括：

第一内部电极层，在接近加长压电致动器的底端的第一内部电极层的外端处连接至第一外部电极，所述第一内部电极层从加长压电致动器的外端向顶端延伸；

第二内部电极层，每个被放于相邻的第一内部电极层之间，在接近加长压电致动器顶端的第二内部电极层的外端处被连接至第二外部电极，所述第二内部电极层从加长压电致动器的外端伸向底端；以及

被放于第一和第二内部电极层之间的有源压电传感器层。

8.根据权利要求7的磁头组件，其中所述有源压电传感器层由PNN-PT-PZ制成。

9.根据权利要求8的磁头组件，其中每个第一和第二加长电极致动器还包括叠放于加长压电致动器后尾和顶端之间的第一和第二内部电极层中至少之一的外表面上的无源压电传感器层。

10.根据权利要求9的磁头组件，其中所述无源压电传感器层由PNN-PT-PZ制成。

11.一种记录媒体驱动器包括：

摆动臂；

从摆动臂前端伸出的磁头悬臂；

磁头滑动器；以及

放于磁头悬臂和磁头滑动器之间用于当电信号供给被切断时建立磁头滑动器的标准姿态的压电致动器设备，其中

所述压电致动器设备产生仅沿预定方向上围绕旋转轴改变磁头滑动器姿态的力偶。

12.根据权利要求11的记录媒体驱动器，其中所述压电致动器设备包括：

当提供电信号时在第一方向上收缩的第一加长压电致动器；以及

当提供电信号时在反平行第一方向的第二方向上收缩的第二加长压电致动器。

13.根据权利要求12的记录媒体驱动器，其中所述第一和第二加长压电致动器被彼此对称地围绕旋转轴放置。

14.根据权利要求11的记录媒体驱动器，其中所述压电致动器设备包括：

在第一方向上延伸的第一加长压电致动器，第一加长压电致动器的底端被连接至磁头悬臂，第一加长压电致动器的顶端被连接至磁头滑动器；以及

在反平行第一方向的第二方向上延伸的第二加长压电致动器，第二加长压电致动器的底端被连接至磁头悬臂，第二加长压电致动器的顶端被连接至磁头滑动器。

15.根据权利要求14的记录媒体驱动器，其中所述第一和第二加长压电致动器被彼此对称地围绕旋转轴放置。

16.根据权利要求15的记录媒体驱动器，还包括：

分别被连接至第一和第二加长压电致动器的底端的第一外部电极；以及

分别沿第一和第二加长压电致动器的表面从顶端向底端延伸的第二外部电极。

17.根据权利要求16的记录媒体驱动器，其中各所述第一和第二加长压电致动器包括：

第一内部电极层，在接近加长压电致动器的底端的第一内部电极层的外端处连接至第一外部电极，所述第一内部电极层从加长压电致动器的外端向顶端延伸；

第二内部电极层，每个被放于相邻第一内部电极层之间，在接近加长压电致动器顶端的第二内部电极层的外端处被连接至第二外部电极，所述第二内部电极层从加长压电致动器的外端向底端延伸；以及

被放于第一和第二内部电极层之间的有源压电传感器层。

18.根据权利要求17的记录媒体驱动器，其中所述有源压电传感器层由PNN-PT-PZ制成。

19.根据权利要求18的记录媒体驱动器，其中每个第一和第二加长电极致动器还包括叠放于加长压电致动器后尾和顶端之间的第一和第二内部电极层中至少之一的外表面上的无源压电传感器层。

20.根据权利要求19的记录媒体驱动器，其中所述无源压电传感器层由PNN-PT-PZ制成。

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