CN1411890A - 除雾装置及空气净化装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种除雾装置及空气净化装置。其中空气净化装置设置在显像装置、腐蚀装置、洗涤装置等的湿式处理装置上，通过循环装置内的空气，可以减少设置时的成本，进而可以防止环境的破坏。装置内的空气通过风扇用过滤器单元(9)进行过滤，用过滤器单元(9)进行过滤了的空气通过导管(10)吹到各装置的入口(6)及出口(7)附近。在各装置的入口(6)及出口(7)造成负压，所以从导管(10)出来的空气返回到装置本体的内部。这样可以使装置内的空气循环，降低设置时的成本，进而防止环境的破坏。

Description

除雾装置及空气净化装置

技术领域

本发明涉及回收空气中的雾沫等的除雾装置、及空气净化装置，其是设置在向被加工物喷射药液的湿式处理装置上。

背景技术

以往，就存在将被加工物腐蚀，形成规定电路图形的印刷板的腐蚀系统。在被加工物的电路板表面形成大约均匀的导电性膜，在该导电性膜上进而大致均匀地形成光致抗蚀剂膜。腐蚀系统是由曝光上述被加工物，在上述光致抗蚀剂膜中复印电路图形的曝光装置、被加工物上复印到光致抗蚀剂膜的电路图形显像的显像装置、对被加工物喷射腐蚀液，将上述导电性膜形成电路图形的腐蚀装置、洗涤被腐蚀了的被加工物的洗涤装置等的多个装置排列的结构。构成这些腐蚀系统的多个装置是用输送被加工物的输送通路连接着的。另外，各装置用形成被加工物的入口及出口的盖覆盖，是为了防止装置内所使用的显像液和腐蚀液飞溅到装置外部而构成的。

上述显像装置、腐蚀装置及洗涤装置一般称为湿式工艺处理装置。这样，在湿式工艺处理装置内若向被加工物喷射药液时，在空气中则漂浮酸性或碱性的药液雾沫。由于各装置设置着盖，所以雾沫不会从装置直接流出，但是在装置内的雾沫的浓度高时则会对制造中的被加工物(印刷电路板)产生坏的影响。为此，以往的湿式工艺处理装置上设置有排出装置内的空气的排气口。连接此排气口和、设施内设置的排气通道可将各装置内的空气排出到设施外。

可是，从各装置排出的空气中由于含有显像液和腐蚀液等的雾沫，所以上述的排气会对环境产生破坏。为此，大多是通过排气管将湿式工艺处理装置内的空气送到洗涤器(排气洗涤装置)用洗涤器处理排气后再排放到外部。

发明内容

由于洗涤器要包括冷却回收排气的机构和、将含在回收的排气中的酸性或碱性雾沫用药液中和处理的机构。所以装置需要大型化。为此，工厂的管理者，为了设置洗涤器，需要准备有一定大小的空间地。另外，工厂的管理者为了从制造装置向洗涤器输送排气，在设施内必须配置导管，这样就存在设置的成本高的问题。

进而，在印刷电路板的制造工厂内变更各装置的配置时，工厂的管理者必须变更导管的配管。

还有，工厂的管理者必须定期地对洗涤器进行维修，这样就存在维修成本高的问题。

因此，本发明解决了上述问题，其目的在于提供空气净化装置，该装置是设置在显像装置、腐蚀装置、洗涤装置等的湿式工艺处理装置内，通过装置内的空气循环，减少设置时的成本。进而可以防止环境破坏，以及还提供了优良的除雾装置，该装置可使用于此空气净化装置上，小型、而且不用频繁地进行维修。

本发明，作为解决上述课题的部分，具有以下的构成：

(1)除去含在空气中的雾沫的除雾装置，其中具有在装置内形成的空气流路中，为了将含在空气中的雾沫通过惯性冲突除去，使空气进行冲突的惯性冲突部件和、为了将含在空气中的雾沫捕集成液体粒子除去而喷射液体的喷雾部分和、配置在下游侧，为了通过时捕集除去含在空气中的雾沫可使空气通过的细密的过滤器和、向流路内通入空气的风扇。

在该构成中，含在空气中的作为液体微粒子的雾沫中，粒径大的雾沫主要用惯性冲突部件除去，粒径的中至小的雾沫主要用喷雾部分喷射出的液体粒子除去，从粒径大的雾沫到小的雾沫用细密的过滤器除去。用这样结构形成的雾沫除去装置，通过惯性冲突部件及喷雾部分，可以将空气中的雾沫的大部分(例如大约90％)在流路的上游侧除去。另外在流路的下游侧设置的细密过滤器，可以将惯性冲突部件及喷雾部分不能除去的雾沫除去，所以可将空气中的几乎所有的雾沫除去。进而由于细密的过滤器是配置在惯性冲突部件及喷雾部分的下游侧，所以不会由于雾沫立刻产生污损，能够长时间地使用。进而，本装置中通过喷雾而不需要冷却空气，即使不喷射大量的液体也是可以的，所以即使装置小型化也可以容易地将雾沫除去。

(2)在上述细密过滤器的上游侧具有比上述细密过滤器的孔还粗的粗孔过滤器。

通过将粗孔过滤器设置在细密过滤器的上游侧，除了惯性冲突部件及喷雾部分外，通过该过滤器可以除去粒径大至中的雾沫，所以可以进一步减少细密过滤器的负担，可以延长细密过滤器的更换时间。另外，粗过滤器是除去粒径大至中的雾沫，所以不会产生孔隙的堵塞，能够长时间的进行使用。

(3)具有沿着圆筒状的内壁一边旋转一边通气来离心分离雾沫的流路。

在空气中，沿着圆筒状的内壁一边旋转一边通气时，主要是可离心分离除去粒径大的雾沫。另外，将离心分离的流路设置在细密过滤器的上游侧，可以减少细密过滤器的负担，可延长该过滤器的寿命。

(4)上述喷雾部分的近前方的流路，其断面比其他处狭窄。

喷雾部分的近前方的流路的断面比其他处狭窄时，可以加快空气的流速，可以提高空气中的雾沫和从喷雾部分出来的液体的冲突率。因此，可以有效地捕集雾沫，可以更多地除去雾沫。

(5)在侧面的一处形成被加工物的入口，在另一个侧面形成出口，具有连接上述入口和上述出口的被加工物的输送通道，在对输送到此通道上的被加工物喷射药液的湿式处理装置上，具有将装置本体内部的空气吸引到装置本体外部，除去空气中的雾沫的(1)～(4)中任何一项所述的除雾装置和、将用上述除雾装置过滤了的空气导向上述空气入口及上述空气出口的至少一方的导管。

在此结构中，通过除雾装置可以除去湿式处理装置内的空气中的雾沫，所以不需要洗涤器那样的大规模中和设备，另外洗涤器不需要排气用的导管，可以降低设备成本。

(6)在装置本体相对的两侧面的一方形成被加工物的入口，另一方形成出口，具有连接上述入口和上述出口的上述被加工物的输送通道，在对输送到此通道上的被加工物喷射药液的湿式处理装置上设置的空气净化装置，

具有将装置本体内部的空气吸引到装置本体外部的吸引部分和、

通过上述吸引部分吸引的空气进行过滤的过滤部分和、

将用上述过滤部分过滤了的空气导向上述空气入口及上述空气出口的至少一方的导管。

在此结构中，通过吸引部分，从装置本体内部吸引到装置本体外部的空气用过滤部分进行过滤。在湿式装置中，例如，有显像装置、腐蚀装置、洗涤装置。进而，将过滤了的空气通过导管导向到被加工物的入口附近和/或出口附近。在被加工物的入口及出口，通过上述的吸引部分吸引装置内部的空气，施加负压，所以通过上述导管导向到入口附近和/或出口附近的空气返回到装置本体的内部。

这样，可以使装置内部的空气进行循环，所以不需要排出装置内的空气的排气导管，可以减少湿式处理装置设置的成本。另外，由于是循环装置内部的空气，所以可以防止对环境的破坏。

(7)上述过滤部分是通过湿式过滤器过滤上述空气的部分。

在该结构中，可以回收盐酸和氨等的容易气化的化合物。

(8)过滤器洗涤部分，其具有在对上述湿式过滤器喷射水进行洗涤的同时，回收这些水的槽。

上述过滤器洗涤部分中将回收到上述槽中的水喷射到上述湿式过滤器上。

在这样的结构中，可以通过过滤器洗涤部分将水喷射到湿式过滤器上，所以可以防止过滤器的孔隙堵塞。另外设置了回收喷射到过滤器中的水的槽，所以可以将过滤器洗涤用的水进行循环，有效地进行过滤器的洗涤。

按照本发明可以得到以下的效果。

(1)在除雾装置中，通过惯性冲突部件及喷雾部分，使得空气中雾沫的大部分(大约90％)在流路的上游侧除去。另外在流路的下游侧设置的多层过滤器，可以将惯性冲突部件及喷雾部分不能除去的雾沫除去，所以可将空气中的几乎所有的雾沫除去。进而由于细密的过滤器是配置在惯性冲突部件及喷雾部分的下游侧，所以不会由于雾沫立刻产生污损，能够长时间地使用。进而，本装置中不需要用喷雾冷却空气，即使不喷射大量的液体也是可以的，所以即使装置小型化也可以容易地将雾沫除去。

(2)通过将粗孔过滤器设置在细密过滤器的上游侧，结合惯性冲突部件及喷雾部分，通过该过滤器可以除去粒径大至中的雾沫，所以可以进一步减少多层过滤器的负担，可以延长多层过滤器的更换时间。另外，粗过滤器是除去粒径大至中的雾沫，所以不会产生孔隙的堵塞，能够长时间的进行使用。

(3)在空气中，沿着圆筒状的内壁一边旋转一边通气时，主要可离心分离粒径大的雾沫。另外，将离心分离的流路设置在多层过滤器的上游侧，可以减少多层过滤器的负担，可延长该过滤器的寿命。

(4)喷雾部分的近前方的流路的断面比其他处狭窄时，可以加快空气的流速，可以提高空气中的雾沫和从喷雾部分出来的液体的冲突率。因此，可以有效地捕集雾沫，可以更多地除去雾沫。

(5)通过除雾装置可以除去湿式处理装置内的空气中的雾沫，所以不需要洗涤器那样的大规模中和设备，另外不需要洗涤器排气用的导管，可以降低设备成本。

(6)可以使装置内部的空气进行循环，所以不需要排出装置内的空气的排气管，可以减少湿式处理装置设置的成本。另外，由于是循环装置内部的空气，所以可以防止对环境的破坏。

(7)由于是通过湿式过滤器过滤上述装置本体内部的空气，所以，可以回收盐酸和氨等的容易气化的化合物。

(8)可以通过过滤器洗涤部分将水喷射到湿式过滤器上，所以可以防止过滤器的孔隙堵塞。另外设置了回收喷射到过滤器中的水的槽，所以可以将过滤器洗涤用的水进行循环，有效地进行过滤器的洗涤。

附图说明

图1表示本发明实施方式的腐蚀系统的图；

图2表示过滤器单元的图；

图3是构成腐蚀系统的装置的被加工物的出口附近的放大图；

图4(A)～图4(C)说明各装置的被加工物的加工的图；

图5过滤器洗涤部分的构成图；

图6表示除雾装置的概要的构成图；

图7表示与第2实施方式不同构成的除雾装置的概要构成图；

图8(A)～图8(C)表示与第2实施方式及第3实施方式不同构成的除雾装置的概要构成图。

具体实施方式

(第1实施方式)

以下对作为本发明实施方式的空气净化装置的腐蚀系统进行说明。图1表示该实施方式的腐蚀系统的图。图2是表示过滤单元的图。

图1所示的腐蚀系统，是按照被加工物的输送方向顺序排列着显像装置1、腐蚀装置2及洗涤装置3三个装置。显像装置1、腐蚀装置2及洗涤装置3分别相当于本发明中所说的湿式处理装置。三个装置用被加工物的输送通道5连接着。各装置的被加工物被在进入装置本体内部的入口6及从本体内部出来的出口7所形成的盖4盖住。

图中虽然没有表示，但是在盖4上形成了为了确认内部状态的窗和、维修时操作人员可以进入本体内部的门等。

在各装置的本体盖4的上部设置通入本体内部的烟囱8，在该烟囱8上安装着过滤器单元9。另外，通过过滤器单元9的空气用导管10被导向到装置本体的上述入口6及出口7附近。导管10如图所示的那样延伸到上述入口6及出口7附近。

过滤器单元9，其内部具有叠层了以聚丙烯或聚乙烯等为原料的筛孔网的湿式过滤器11(参照图2)。另外，过滤器单元9和通道10的结合部上设置了风扇12。该风扇12可以将装置内部的空气吸引到过滤器单元9的方向旋转。

另外，在图2中，是表示了将风扇12配置在导管10内部的例子，但是，也可以将风扇12配置在过滤器单元9内部的结构。另外，过滤器单元9及风扇12，可以将它们做成一体化的过滤器装置。进而，导管10可以用树脂制的软管构成，也可以用金属性的配管构成。

本发明中所说的空气净化装置是由过滤器单元9、导管10、湿式过滤器11及风扇12构成的。

图3是各装置出口附近的放大图。各装置的入口6及出口7如图3所示形成喇叭口的形状。导管10从过滤器单元9延伸到入口6及出口7的附近。此外，入口6及出口7大致是相同的形状。

以下，对本实施方式的腐蚀系统的动作进行说明。图4(A)～图4(C)是说明对各装置的被加工物进行加工的说明图。

被加工物20通过输送通道5按顺序地通过显像装置1、腐蚀装置2、相洗涤装置3。被加工物20在电路板21的表面上形成大约均匀厚度的导电膜22，进而在上述导电膜22上形成大约均匀厚度的光致抗蚀膜23(参照图4(A))。

通过输送通道5进入显像装置1的被加工物20，在前一工序中在光致抗蚀膜23上复印着电路图形(曝光)。显像装置1对于输送到输送通道的被加工物20喷射显像液进行显像。在致抗蚀膜23上形成电路图形(参照图4(B))。众所周知，对正型的光致抗蚀膜23是通过显像装置1除去曝光的部分，而对负型的光致抗蚀膜23是通过显像装置1除去没有曝光的部分。显像装置1所使用的显像液是碱性的水溶液。

在显像装置1中，对被加工物20喷射显像液的构成是公知的，这里省略其说明。

通过显像装置1的被加工物20(图4(B)所示的被加工物20)，被输送到腐蚀装置2，在腐蚀装置2中对从输送通道5输送来的被加工物20喷射腐蚀液，在前面的显像工序中，除去除去了光致抗蚀膜23部分的导电膜22(参照图4(C))。由此导电膜22形成了复印的电路图形。腐蚀装置2中所使用的腐蚀液是酸性的水溶液。

在腐蚀装置2中，对被加工物20喷射腐蚀液的构成是公知的，这里省略其说明。

通过腐蚀装置2的被加工物20(图4(C)所示的被加工物20)，被输送到洗涤装置3，在洗涤装置3中对从输送通道5输送来的被加工物20喷射纯度高的水进行洗涤，通过洗涤装置3的被加工物20，再除去残留的光致抗蚀膜23后被输送到下一工序中。

此外，在洗涤装置3中，对被加工物20喷射纯度高的水的构成是公知的，这里省略其说明。

这样，在腐蚀系统中，在各装置使用着不同性质的水溶液。具体的是，如上所述，在显像装置1中使用的是碱性水溶液，在腐蚀装置2中使用的是酸性水溶液，在洗涤装置3中使用的是纯度高的水。

腐蚀装置系统的动作时，设置在各装置(显像装置1、腐蚀装置2及洗涤装置3)的风扇12进行旋转，装置内部的空气通过烟囱8被吸引到过滤器单元9。装置内部的空气含有装置内部使用的水溶液的雾沫。这些雾沫附着在过滤器11上。另外，过滤器11是湿式过滤器，所以也可以回收盐酸或氨等的容易气化的加工物。因此通过过滤器11的空气，变成除去雾沫的干净的空气，通过导管10被导入到装置的入口6或出口7附近。

因此，在各装置的入口6及出口7附近，通过风扇12将装置本体内部的空气吸引到过滤器单元9侧，成为负压。另外入口6及出口7是上述的喇叭形状，所以从导管10吹出的空气可以确实地被吸引到装置本体的内部。

这样，可以将装置本体内部的空气进行循环，所以可以抑制装置本体内部的空气，防止环境破坏。另外，在此实施方式的腐蚀系统中，不需要象以往那样将装置本体内部的空气排出到外部(设施外)的设备，可以降低腐蚀系统设置时的成本。

另外，是对各装置的装置本体内部的空气进行循环，所以不需要设置连接复数个装置的导管，可以使系统整体小型化。

进而，由于对每个装置设置过滤器单元9，附着在各过滤器11上的雾沫是分别安装的装置所使用的水溶液。具体的在显像装置1的过滤器11上附着的是显像液的雾沫，在腐蚀装置2的过滤器11上附着的是腐蚀液的雾沫，在洗涤装置3的过滤器11上附着的是水的雾沫。因此，在用水洗涤各装置的过滤器11时流出的废液，是该装置所使用的成分的水溶液。因此，洗涤安装在显像装置1上的过滤器11时出来的废液，可以直接作为显像液而使用。另外，洗涤安装在腐蚀装置2上的过滤器11时出来的废液，可以直接作为腐蚀液而使用。这样可以简单地再利用洗涤过滤器11的废液，在降低运转成本的同时，由于不排出废液，所以不会引起环境的污染。

图5是过滤器洗涤部分的构成图。如图5所示，设置了向湿式过滤器11喷射水的泵15，及回收这些水的槽16，装置本体的动作时，将槽16内的水喷射到湿式过滤器11，对湿式过滤器11进行洗涤。这样的操作，可以防止湿式过滤器11的堵塞孔隙，有效地进行装置内的空气净化。

进而，槽16内的水，根据安装在装置内部所使用的水溶液成分，其浓度慢慢上升，所以达到一定的程度时也可以进行更换。此时，从槽16取出的水，不是作为废液处理，可以在上述安装的装置上再利用。

在上述的实施方式中，作为例子，举出了由显像装置1、腐蚀装置2及洗涤装置3构成的腐蚀系统，但是本发明对于在显像装置1之前，设置将电路图形复印到被加工物20上的曝光工序，或者在该曝光装置之前设置在被加工物20的表面涂敷光致抗蚀胶膜的工序那样的构成等，设置上述装置以外装置的腐蚀系统也适用。进而，也适用在上述洗涤装置后设置除去残留在被加工物20表面的光致抗蚀胶膜的剥离装置的结构。

(第2实施方式)

以下，对代替空气净化装置的过滤器单元9及风扇12，使用以下说明的除雾装置的构成进行说明。空气净化装置是由除雾装置及导管10构成的。图6表示了除雾装置的概要构成图。除雾装置31具有装置内的喷射室32、过滤器室33及风扇室34，喷射室32及过滤器室33用通气口35相连接，过滤器室33及风扇室34是用通气口36连接着。此外，在喷射室32上设置吸气口47，在风扇室34设置排气口48。喷射室32及过滤器室33的底部分别设置集液器49及集液器50。

除雾装置31具有惯性冲突部件41、喷射器42、第1过滤器43、第2过滤器44、风扇45及电动机46构成的。

惯性冲突部件41是由断面是凹状的空气不能通过的冲突板51的凹部侧，安装着孔径大约30μm的粗孔过滤器52的结构。另外，惯性冲突部件41比吸气口47面积大，与从吸气口47吸引来的空气流路大约相垂直地，使过滤器52对着吸气口47地设置着。进而，惯性冲突部件41被安装在喷射室32上并可以使空气通过其周围。

喷射室42是设置在惯性冲突部件41的下游侧，向空气中喷射水和药液等的液体。雾沫是酸性或者碱性时，从喷射器42喷射药液可以中和雾沫。另外从喷射器42喷射催化剂，不仅捕集雾沫也可以捕集气体。从喷射器42喷射出的液体的量，当处理风量(空气量)是2m3/分钟时，每一小时是4.5～8立升为合适的。

喷射室32将惯性冲突部件41的下游侧的内壁作成筒状的，沿着内壁，可以边旋转筒内边构成空气流动的流路。

第1过滤器43是孔径大约30μm的粗孔过滤器。第1过滤器43是在喷射器42的下游侧，可以盖位喷射室32的通气口35的全部。

第2过滤器44，是由不同细孔的3类材料，从上游侧到下游侧阶段地使孔变细地叠层的3层构造(多层结构过滤器)，最细的过滤器的孔径(细密过滤器)的孔径是0.3μm。第2层过滤器44是覆盖过滤器室33的通气口36全部那样地设置的。不仅除去雾沫，而且含在空气中的粉尘也可以除去。此外，虽然是将第2过滤器44做成3层结构的过滤器(多层过滤器)，但是，也可以使用孔径细的，例如孔径大约0.3μm的过滤器(细密过滤器)的单层过滤器。此外，虽然是将第2过滤器44做成3层结构的过滤器，但是，也可以使用不同细孔的多类材料，从空气的上游侧到下游侧阶段地使孔径变细地的叠层过滤器结构，2层或4层以上结构的过滤器。

风扇45是使装置内通气，从吸入口47吸气到除雾装置31内的空气，通过喷射室32、过滤器室33、及风扇室34，从风扇室34的排气口48排出。风扇45设置在风扇室34的大约中央位置，与电动机46的旋转轴连接着。电动机46被安装在风扇室34的外部使风扇45旋转。

在除雾装置31用以下的方式将空气中的雾沫和气体除去。含有雾沫的空气从吸气口47吸入后流入喷射室32时，与惯性冲突部件41相冲突。此时，空气中粒径大的雾沫在通过惯性冲突部件41的过滤器52时，及惯性冲突到冲突板51时，附着在过滤器52上(被过滤器52捕集)后，从空气中除去。在除雾装置31中通过惯性冲突部件41可以将空气中的大约90％的雾沫除去。附着在过滤器52上的雾沫与其他的雾沫结合成为大的粒径，成为液体流到喷射室32的底部。

含有雾沫的空气，在惯性冲突部件41的下游侧接受来自喷射器42的雾沫状的液体(水、药液或者催化剂)的喷射。此时空气中的粒径的中至小雾沫或者气体与液体粒子冲突·接触后被捕集。

另外，喷射室32是沿着内壁一边旋转筒内一边流入空气的结构时，捕集了空气中的粒径大的雾沫的一部分和雾沫的液体的粒子，被离心分离，附着在内壁上，流入到喷射室32的底部。

接着，含有粒径大至中的雾沫或液体的粒子的空气，在通过第1过滤器43时附着在过滤器上。附着在第1过滤器43的雾沫与其他的雾沫结合成为大粒径，变成液体后流到喷射室32的底部。滞留在喷射室32底部的液体从集液器49排出到外部。

通过第1过滤器43的空气，经过通气口35流入到过滤器室33，通过3层结构的第2过滤器44。此时，在上游侧没有除去的大粒径雾沫被捕集到第2过滤器44的第1层。中等程度的雾沫被捕集到第2过滤器44的第2层。进而，粒径小的雾沫被捕集到第2过滤器44的第3层。因此，通过雾沫捕集装置31可以除去空气中的大部分的雾沫。例如是油雾沫时，可以除去含在空气中的雾沫的约99.4～99.6％。

被捕集到第2过滤器44的雾沫流入到过滤器的下方后，滞留在过滤器室33的底部。滞留在过滤器室33的底部的液体经过集液器50排出到外部。此外，也可以将集液器49及集液器50排出的液体进行循环再次从喷射器42喷射出的构成。此时，最好要检测液体的浓度，具有当液体达到规定的浓度时可以进行更换的构成。

除去了大部分雾沫的空气经过通气口36，流入到风扇室34内，从排气口48排出。

这样，在本发明中，通过上述构成的除雾装置31可以除去含在空气中的雾沫的99.4～99.6％。

另外，通过增加从喷射器喷射出的液体量，可以进一步提高雾沫的除去率。根据雾沫的种类，可以除去，例如空气中的99.8％的雾沫。

(第3实施方式)

以下，对使用空气净化装置与第2实施方式不同结构的除雾装置的构成进行说明。图7表示了与第2实施方式不同结构的除雾装置的概要图。除雾装置61在装置内具有离心分离室62、过滤器室63、风扇室64。离心分离室62及过滤器室63是用通气管65连接着，过滤器室63及风扇室64是用通气口66连接着。离心分离室62是水平地配置成中空圆柱的形状，从设置在过滤器室63间的壁76的大约中央部到离心分离室62的中央部，水平地突出着通气管65。在离心分离室62的上部，靠近壁76设置吸气管67。在风扇室64的上部，设置着排气管70。另外，在离心分离室62及过滤器室63的底部分别设置集液管83、集液管84。

除雾装置61具有喷射器71、惯性冲突部件72、3层过滤器73、风扇74及电动机75。喷射器71是配置在与壁76相对的壁78中央的部位上，在对着通气管65的一侧开口部65a的位置上，从喷嘴水平地喷射液体。

惯性冲突部件72是将过滤器82安装在断面是凹状的、不能通过空气的冲突板81的凹部侧全体上的结构，是比通气管65的另一方的开口部65b大的结构。另外，惯性冲突部件72是与通气管65的空气的流路大约垂直地、与通气管74的排气口相对地配置着。进而，惯性冲突部件72可以使空气通过其周围地安装的。过滤器82是孔径大约30μm的过滤器。

3层过滤器73是一个面与通气口66相接触地配置的3层结构过滤器(多层过滤器)。3层过滤器73，是用越是空气流路的下游孔径越细的孔径不同的3种材料叠层，不仅是雾沫，含在空气中的粉尘也可以除去。最细的孔径过滤器(细密过滤器)的孔径是0.3μm。此外，虽然是将3层过滤器73做成3层的过滤器(多层过滤器)，但是，与第2实施方式同样的也可以使用单层过滤器或2层和4层以上结构的过滤器。

风扇74是安装在风扇室64的壁79外侧的电动机75的旋转轴上，是设置在与通气口66相对的位置上。电动机75旋转风扇74时，从吸气口67经过吸气管69吸入空气，通过装置内的流路，经过排气管70从排气口68排出。

在除雾装置61中，按以下的方式除去空气中的雾沫和气体。含有雾沫的空气从吸气口67吸入时，经过吸气管69流入离心分离室62，沿着离心分离室62的内壁在通气管65的周围旋转。此时，空气中粒径大的雾沫离心后附着在内壁，与其他雾沫一起流到离心分离室的底部，从集液管83排出。

接着，含有雾沫的空气接受从喷射器71来的水、药液或者催化剂等雾状的液体。空气中的粒径中至小程度的雾沫与液体的粒子冲突·接触后被捕集。另外药液是中和用药液时，雾沫被中和。进而，液体是催化剂时，则空气中的气体捕集到催化剂中。

含有雾沫或液体的粒子(雾沫)的空气，通过通气管65流入过滤器室63与惯性冲突部件72冲突。此时，空气中的粒子和液体粒子，通过过滤器82时，及与惯性冲突板81冲突时，其大约90％附着在过滤器82上。附着在过滤器82的雾沫和液体的粒子流到过滤器82的下方储存在过滤器室63的底部，从集液管84排出。

与惯性冲突部件72冲突的空气，通过3层过滤器73后，经过通气口70流入风扇室64。此时，空气中的雾沫，通过3层过滤器73时，附着在过滤器上(捕集)被除去，从通气口70排出的空气中成为几乎是不含有雾沫的状态。例如，是油雾沫的状态时，流入除雾装置61的空气中所含有的雾沫的大约99.4～99.6％都被除去。附着在3层过滤器73上的雾沫流到过滤器的下方，滞留在过滤器室63的底部。滞留在过滤器室63的底部的液体通过集液器84排出到外部。

此外，从集液器83及84排出的液体，与第1实施方式相同地可以再次从喷射器71喷射的循环地构成。此时，最好要检测液体的浓度，具有当液体达到规定的浓度时可以进行更换的构成。

除去了大部分雾沫的空气，经过通气口66流入风扇室64，通过排气管70，从排气口68排出。

这样，在第2实施方式中，通过除雾装置61，也可以除去空气中的大约99.4～99.6％的雾沫。另外，通过增加喷射器的喷雾量，可进一步提高雾沫的除去率。

(第4实施方式)

以下，对使用空气净化装置与第3实施方式不同结构的除雾装置的构成进行说明。图8(A)～图8(C)表示了与第2实施方式及第3实施方式不同结构的除雾装置的概略3面图。除雾装置91的平面121是设置在距长方体的壳体的底面的高度2/3的位置。在该壳体内，在平面121的上部设置着惯性冲突室92、流速加速室93、喷雾室94，平面室121的下部设置着过滤器室95、风扇室96及电动机室97。另外，在除雾装置91的壳体侧面122上设置着吸气口98、排气口99、集液器110及集液器111。另外，在与上述侧面122相对的侧面123的下端部设置着集液器112。

除雾装置91具有惯性冲突部件101、第1过滤器102、惯性冲突壁103a、103b、喷雾流入防止网104、喷射器105、第2过滤器106、第3过滤器107、风扇108及电动机109。

惯性冲突室92通过吸气口98与外部通气。惯性冲突室92内配置着惯性冲突部件101，其是与吸气口98吸气的空气流路几乎垂直的。惯性冲突部件101是由断面是凹状的空气不能通过的冲突板113的凹部侧，安装着过滤器114的结构。另外，惯性101的过滤器114是对着吸气口98的排气口配置的。进而惯性冲突部件101可以使空气通过其周围地设置的。过滤器114是孔径大约30μm的过滤器。

第1过滤器102a是孔径大约30μm的1层粗孔过滤器。第1过滤器102设置成冲突到惯性冲突部件101的空气全都能通过。

惯性冲突壁103a、103b是可以遮盖住空气流路地配置着，以便使通过第1过滤器102的空气中雾沫进行惯性冲突。

流速加速室93是为了对冲突到惯性冲突壁103a、103b的空气的流速进行加速，所以流路的宽度比其他部分狭窄。另外，在流速加速室93，使空气的流路蛇形使宽度狭窄的流路变长，对空气的流速进行加速。

喷雾室94设置着对来自流速加速室93的空气进行喷雾的喷射器105。另外，在流速加速室93及喷雾室94间，为了防止从喷射器105喷射的液体流入流速加速室93，而设置了喷雾流入防止网104。喷射器105，可以将水、药液或者催化剂等的液体平行地喷雾到空气流中。此时流入喷雾室94的空气中的雾沫在流速加速室93被加速，所以与没有加速的情况相比可以提高与喷射器105喷雾出的液体粒子的冲突率。因此，可以有效地将空气中的雾沫捕集到液体粒子中。

过滤器室95，与喷雾室94的边界，第2过滤器106在水平方向设置，在中央部垂直方向设置第3过滤器107。第2过滤器106是孔径大约30μm的粗孔过滤器。另外，第3过滤器107是用孔隙大小不同的3种材料叠层的3层结构，越是到下游孔隙越是变细。第3过滤器107的最细的过滤器(细密过滤器)的孔径是0.3μm。第2过滤器106可以除去从喷雾室94流入过滤器室95的雾沫和捕集了雾沫的液体粒子。另外，第3过滤器107，不仅是雾沫，而且空气中含有的粉尘也可以除去。此外，虽然，将第3过滤器107做成3层结构的过滤器(多层过滤器)，但是与第2实施方式相同地也可以做成单层过滤器和2层和4层以上的结构。

风扇室96设置有风扇108，风扇108连接在电动机109的旋转轴上，该旋转轴是在与风扇室96相邻的电动机室97设置的电动机109上。另外风扇室96通过排气口99与外部连接着。

电动机109使风扇108旋转时，从吸气口98吸入空气，通过装置内的流路，从排气口99排出。

除雾装置91，用以下的方式除去空气中的雾沫和气体。含有雾沫的空气从吸气口98吸入，流入惯性冲突室92时，与惯性冲突部件101冲突。此时，空气中的粒径大的雾沫在通过惯性冲突部件101的过滤器114时，以及冲突到冲突板113上时，都附着在过滤器114上后，而被除去。附着在过滤器114上的雾沫与其他的雾沫结合成为液体，流到惯性冲突室92的底部，从集液管110排出。

冲突到惯性冲突部件101的冲突后的空气，通过流路下游的第1过滤器102。此时，空气中粒径大的雾沫，附着在过滤器102上后，一部分被除去。接着，通过第1过滤器102的空气中的雾沫，冲突到惯性冲突壁103a、103b。此时，通过惯性冲突，粒径大的雾沫附着在壁面上。惯性冲突室92的底面有若干倾斜，以便使惯性冲突部件101侧降低。为此，附着在第1过滤器102上的雾沫，及附着在惯性冲突壁103a、103b上的雾沫成为液体，流到惯性冲突部件101侧，从集液管110排出。

通过惯性冲突室92的含有雾沫的空气，在流速加速室93被加速后，流入到喷雾室94。含有雾沫的空气接受从喷射器105喷射出的水、药液或者催化剂等的雾状的液体。空气中的粒径大至中的雾沫和气体与液体的粒子冲突·接触后被捕集，通过第2过滤器106时，附着在过滤器上被除去。附着在第2过滤器106的雾沫和液体粒子流到第2过滤器106的下部，从设置在第2过滤器106下部的集液器111排出。

通过第2过滤器106后，流入过滤器室95的空气，通过第3过滤器107。第3过滤器107是如上所述的3层结构，是用孔径细的过滤器捕集粒径小的雾沫，可以除去空气中的大部分雾沫。是油雾沫时，可以除去大约99.4～99.6％。附着在第3过滤器107上的雾沫流到过滤器的下方，滞留在过滤器室95的底部，滞留在过滤器室95的底部的液体通过集液管112排出到外部。

此外，从集液管110、集液管111及集液管112排出的液体与第2实施方式相同地可以再次从喷射器105喷射出的循环构成。此时，最好要检测液体的浓度，具有当液体达到规定的浓度时可以进行更换的构成。

通过第3过滤器107，流入风扇室96的空气，通过风扇108的旋转从排气口99排出。

本实施方式中，也与实施方式2的除雾装置相同地，可以除去空气中的大约99.4～99.6％的雾沫。

第2实施方式～第4实施方式的除雾装置都是配置了3层(多层)过滤器以及在空气流路的下游侧配置风扇，将粗孔的过滤器和喷射器配置在流路的上游侧。通过这样的配置，在除雾装置中，在上游侧可以除去大部分的雾沫和喷雾的液体。另外除雾装置，在下游侧，对于上游未能除去而残留的雾沫进行除去即可，所以可以减少3层过滤器的处理负荷，难以发生塞孔和污损，可以大幅度地减少维修的次数和过滤器的交换次数。因此，可以延长过滤器的寿命。另外风扇也难以发生污损。

此外，粒径的大小是相对的，是根据除雾装置的大小，流路内的空气流速，过滤器孔径的大小等而变化。例如，在实施方式2～4中，将粒径30μm以上的作为粒径大的雾沫，将粒径小于30μm～5μm以上的作为中等粒径雾沫，将粒径小于5μm到0.3μm的作为小粒径雾沫。

如以上所述，实施方式2～4所表示的除雾装置，可以除去空气中的大约99.4～99.6％的雾沫。因此，可以不需要以往空气净化装置那样，需要连接导管，将排气排出到洗涤器的结构也可以有效地进行。

本发明的除雾装置不仅可以用在湿式处理装置的空气净化装置，也可以作为例如净化清洁室用的空气的前处理用装置使用。特别是本发明的除雾装置，由于在清洁室内难以发生静电放电，所以，在室内的湿度设定的比较高时，也适于空气的净化。另外，通过使用本发明的除雾装置，可以廉价、且大量地生产清洁室用的不含有尘和埃的空气。

此外，本发明的除雾装置由于是向空气中的雾沫喷射液体，所以作为液体可以使用去臭剂和构成臭味原因的物质的催化剂，可以抑制餐馆等的臭味。例如，将本发明的除雾装置与餐馆的换气扇连接，可以作为脱臭装置使用。

Claims (8)

1.一种除雾装置，是为了除去含在空气中的雾沫的除雾装置，其特征是在装置内形成的空气流路中，具有为了将含在空气中的雾沫通过惯性冲突除去，使空气进行冲突的惯性冲突部件和、为了将含在空气中的雾沫捕集成液体粒子除去而喷射液体的喷雾部分和、配置在下游侧，为了通过时捕集除去含在空气中的雾沫可使空气通过的细密的过滤器和、向流路内通入空气的风扇。

2.根据权利要求1所述的除雾装置，其中在上述细密过滤器的上游侧具有比上述细密过滤器的孔还粗的粗孔过滤器。

3.根据权利要求1或2所述的除雾装置，其中具有沿着圆筒状的内壁一边旋转一边通气来离心分离雾沫的流路。

4.根据权利要求1或2所述的除雾装置，其中上述喷雾部分的近前方的流路，其断面比其他处狭窄。

5.一种空气净化装置，其具有根据权利要求1～4中任一项所述的除雾装置，其中在侧面的一处形成被加工物的入口，在另一个侧面形成出口，具有连接上述入口和上述出口的被加工物的输送通道，在对输送到此通道上的被加工物喷射药液的湿式处理装置上，具有除雾装置，将装置本体内部的空气吸引到装置本体的外部，除去空气中的雾沫，以及用上述除雾装置过滤了的空气导向上述空气入口及上述空气出口的至少一方的导管。

6.一种空气净化装置，其是在装置本体相对的两侧面的一方形成被加工物的入口，另一方形成出口，具有连接上述入口和上述出口的上述被加工物的输送通道，在对输送到此通道上的被加工物喷射药液的湿式处理装置上设置的空气净化装置，

其中，具有将装置本体内部的空气吸引到装置本体外部的吸引部分和、

通过上述吸引部分吸引的空气进行过滤的过滤部分和、

把用上述过滤部分过滤了的空气导向上述空气入口及上述空气出口的至少一方的导管。

7.根据权利要求6所述的空气净化装置，其中上述过滤部分，是通过湿式过滤器过滤上述空气的部分。

8.根据权利要求7所述的空气净化装置，其中过滤洗涤部分具有在对上述湿式过滤器喷射水进行洗涤的同时，回收这些水的槽，

上述过滤洗涤部分将回收到上述槽中的水喷射到上述湿式过滤器上。

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