JP2002066235A - ファンフィルタユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄肉で強度の高いプレフィルタを形成するこ
とで、ファンフィルタユニットの小型化を図ることがで
きる。 【解決手段】ファンフィルタユニット４１は第１のフィ
ルタ部５１、ファン５２、第２のフィルタ部５３により
構成される。第２のフィルタ部５３のプレフィルタ５８
は、そのフィルタエレメント５８３がフォトリソ法にて
多数の微細な孔５８３ａが製造され、フィルタ本体５８
１の周縁には、フィルタ本体５８１を折り曲げ立設し形
成された補強部５８２を有し構成される。よって、プレ
フィルタ５８は、薄肉であっても補強部５８２により充
分な剛性を有し、良好な整流作用を維持することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空間を高度に塵埃
量の制御された清浄空間とするフィルタ、ファンを一体
的に備えるファンフィルタユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】各半導体製造工場では、クリーンルーム
やクリーンブース及び半導体製造プロセスにおける超清
浄化技術が益々重要になっている。ここで、半導体製造
プロセスに用いられるフィルタユニットについて説明す
る。半導体製造プロセスにおいては、集積素子の集積度
の高度化が急激に進み、集積素子のパターン幅はサブミ
クロンという微小間隔になってきた。このため、集積素
子製造に用いられるプロセスユニットを清浄な雰囲気空
間に維持するのに、高性能の濾過用フィルタの使用によ
り不純物粒子を除去することが不可欠となる。

【０００３】そこで、通常、フィルタ装置としては、ハ
ウジングやケーシング内にプレフィルタ、ファン、メイ
ンフィルタ等を個別に配置し、ファンにより装置外エア
をハウジング内に吸収し、プレフィルタにより粗ゴミの
除去と、およびメインフィルタにより微粒子の濾過を行
いエアを清浄化するものが一般に使用される。

【０００４】上記目的のプレフィルタ用のフィルタは、
空気中に含まれる比較的大きなゴミや埃を除去するため
に、適宜の隙間を有する繊維体で形成されている物理的
なフィルタがある。そして、そのようなフィルタをユニ
ット内に配置しファンフィルタユニットが構成されてい
るものがある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
繊維体によるフィルタは、繊維体の充填により等価な孔
径が決るが、繊維体の均一な充填が困難な場合が多く、
孔径を制御するのが困難であった。そのため設計上、安
全率を考慮すると繊維体を高密度に配置する必要があ
り、その結果、フィルタ装置が厚肉になり、装置の小型
化の妨げとなっていた。

【０００６】さらに、従来の繊維体であれば、要求され
る形状の繊維の製造が困難な場合があり、特に繊維径の
小さな短繊維はさらに高価となり、製造が不可能な場合
も生じる。

【０００７】また、このようなフィルタ装置では、プレ
フィルタにおいて予め大きなゴミを除去するように作用
するため、プレフィルタは清掃の容易さが要望されてい
た。しかしながら、従来の繊維体で構成されるフィルタ
では、繊維体は雰囲気空気の通過により除去したゴミが
繊維にからまり、清掃を容易ならざるものとしていた。
その結果、フィルタ自体を廃棄する必要があった。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、繊維体に比べてメンテナンスが容易
で、配置にスペースを取らないプレフィルタによるファ
ンフィルタユニットを提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段およびその作用・効果】上
記目的を達成するために、本発明は、空間内部の清浄度
を制御するためのファンフィルタユニットであって、外
気を内部に取り入れるための上流側開口部と排出するた
めの下流側開口部をもつ枠体と、前記上流側開口部に外
気を吸引する吸引手段と、前記吸引手段の少なくとも一
方面側に位置するように前記枠体内に支持され、平面部
に多数の微細な孔を開けた金属薄板製のプレフィルタ
と、前記プレフィルタを流通する気流の下流側に収納し
て、前記枠体によって支持されるメインフィルタと、を
具備することを特徴とするファンフィルタユニットであ
る。

【００１０】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
ファンフィルタユニットであって、前記プレフィルタの
孔は、孔径が２００μｍの円形であることを特徴とす
る。

【００１１】請求項３に係る発明は、請求項１及び請求
項２に記載のファンフィルタユニットにおいて、前記プ
レフィルタは、平面部に多数の微細な孔を開けた金属薄
板製のフィルタ本体と、前記フィルタ本体の平面部の周
縁を延設した補強部と、を具備することを特徴とする。

【００１２】請求項４に係る発明は、請求項３に記載の
ファンフィルタユニットであって、前記プレフィルタは
２つのプレフィルタが前記補強部が合い向かうように配
置され、対向する平面部間にケミカルフィルタを配置し
たことを特徴とする。

【００１３】請求項５に係る発明は、請求項２及び請求
項４に記載のファンフィルタユニットにおいて、前記プ
レフィルタのフィルタ本体は、金属薄板の平面部に、レ
ジストを塗布し、孔に対応したパターンを有するマスク
によって露光した後、現像し、この金属薄板をエッチン
グして製造したことを特徴とする。

【００１４】本発明の作用は次のとおりである。請求項
１に係る発明のファンフィルタユニットにおいては、空
間内部の清浄度が、金属薄板製のプレフィルタで流体を
濾過することで制御される。この際、プレフィルタは平
面部に多数の微細な孔を開けた金属薄板製なので、比較
的大きなゴミが絡まっても容易にメンテナンスで除去で
きる。また、フィルタが金属薄板製のためユニット自体
を薄肉でもって構成することができる。さらに、薄板な
ので好適な整流作用を発揮する。また、繊維体に比して
安価に提供できる。

【００１５】請求項２に係る発明によれば、プレフィル
タの孔は、孔径が２００μｍの円形であるので、比較的
大きな粗ゴミの除去が行われ、メインフィルタに粗ゴミ
にてメインフィルタの機能低下を防止することができ
る。その結果、空間内部の清浄度が低清浄度に的確に制
御される。

【００１６】請求項３に係る発明においては、プレフィ
ルタで流体を濾過する際、フィルタ本体は濾過する流体
にに対して孔以外の部位が抵抗となるが、フィルタ本体
には周縁に補強部が延設されているので充分な強度を有
する。よって、フィルタ本体が歪んだりしない。その結
果、フィルタ本体を薄肉でもって構成することができる
とともに、整流作用が損なわれることがない。

【００１７】請求項４に係る発明によれば、前記プレフ
ィルタを前記補強部が合い向かうように２個配置し、対
向する平面部間にケミカルフィルタを配置する。その結
果、補強部をケミカルフィルタの収納空間として利用す
ることで、より小型化され提供される。また、ケミカル
フィルタの上流側と下流側において整流作用と粉塵の除
去がおこなわれるので、十分良好な整流を得ることが可
能となる。

【００１８】請求項５に係る発明では、フィルタ本体が
金属製薄板の平面にマスク部分のパターンに対応したレ
ジストを形成し、この金属製薄板をエッチングして製造
される。その結果、非常に高い加工精度にて孔が開けら
れるので、流体の通過において偏りが発生せず、良好な
整流作用が得られる。また、除去したい不純物に対して
適正な大きさの穴を精度よく加工できる。

【００１９】この、請求項５に記載のパターン加工技術
は公知のフォトリソグラフィー法（以下、フォトリソ法
と称す）で、ウェットプロセスによるパターン加工技術
である。具体的には、パターン加工の対象となる薄膜上
に塗布されたフォトレジストにフォトマスクを介して露
光することで、光の当たらなかった部位を現像により溶
解し、現像後に所望の部分にのみフォトレジストを残す
ものである。この状態の薄膜をエッチングすれば、フォ
トレジストが存在する部分の薄膜を選択的に残すことが
できる。あとはフォトレジストを除去すれば薄膜のパタ
ーン加工が完了する。このフォトリソ法を利用して、フ
ィルタ本体を容易に加工製造することに特徴がある。

【００２０】すなわち、請求項５に係る発明によれば、
フォトリソ法にて製造されているため、フィルタは、非
常に高い加工精度にて孔が開けられるので、ファンフィ
ルタユニットに用いた場合、金属薄板製のフィルタでク
リーンルーム等の空間内部の清浄度がクラス１０３以上
の低清浄度に制御できるファンフィルタユニットが提供
される。また、所望の大きさの孔を容易に得ることがで
きるとともに、装置の小型化が達成される。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照して説明する。ここでは、半導体製造プロセスにおい
て清浄な雰囲気空間を維持することを目的として用いら
れる基板処理装置におけるファンフィルタユニットを例
に採って説明する。ただし、本発明が適用できる清浄化
技術は、上記の半導体製造プロセスに限らず、空間内部
の清浄度を低清浄度、例えばクラス１０^３以上の清浄度
に制御する必要のあるクリーンルームや局所的なクリー
ンブースなども含む。すなわち、クリーンルームの天井
に設置するものなどにも適用可能である。

【００２２】＜第一の実施例＞図１及び図２は、本発明
に係る実施形態を説明する図である。図１は、装置の平
面図であり、図２は、装置の正面図であり、具体的には
本発明に係るフィルタ装置を備えた半導体ウェハ等の基
板をレジスト処理する基板処理装置に関する。

【００２３】図１、図２に示すように、基板処理装置１
は、ロード／アンロード部１０、プロセス部２０、露光
装置１００との間で基板Ｗを受け渡しするインターフェ
イス部３０を備えている。以下、各部の構成を説明す
る。

【００２４】ロード／アンロード部１０は、載置台１１
に基板Ｗを収納する複数（本実施例では４個）のカセッ
ト１２を載置し、各カセット１２と所定の基板受け渡し
位置との間で基板Ｗを搬入搬出する移載ロボット１３と
を備える。カセット１３内には基板Ｗを多段に収納でき
るようになっている。移載ロボット１３は、その上端に
基板Ｗを支持するアーム１４を備えている。このアーム
１４は、上下方向に昇降自在に、かつその長手方向に伸
縮自在に移動可能で、また鉛直方向に軸の周りで回動可
能に構成され、移載ロボット１３によって基板ＷがＸ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θ回転軸の各方向に移動されるように
なっている。また、この移載ロボット１３は基板Ｗを移
動させて、後述する搬送ロボット２２に渡し、搬送ロボ
ット２２によって受け渡しポジションまで搬送されてき
た基板Ｗを受け取ってカセット１２中に収納するもので
ある。

【００２５】プロセス部２０には搬送路２１が設けら
れ、搬送路２１上を搬送ロボット２２が走行するように
なっている。搬送路２１はロード／アンロード部１０か
らインターフェイス部３０のところまで設けられてお
り、搬送ロボット２２のアーム機構２３によって基板Ｗ
が搬送されるようになっている。搬送路２１の両側には
処理ユニット２４，２５，２６，２７，２８が並んでい
る。露光部１００はインターフェイス部３０を介してプ
ロセス部２０に連結されている。

【００２６】次に、各処理ユニットに関して説明する。
疎水化（アドヒージョン）処理部２４では、ＨＭＤＳ
（ヘキサメチルジシラサン）の蒸気により基板Ｗ表面を
疎水化し、これにより基板Ｗ表面へのレジスト膜の密着
性を向上させる。レジスト塗布部２５では化学増幅型の
レジスト液が基板Ｗに基板Ｗを回転させつつ均一に塗布
される。

【００２７】ベーキング部２６は基板Ｗを加熱する加熱
板を有する。ベーキング部２６では基板Ｗに塗布された
レジスト液から溶剤を蒸発させ、あるいは露光後のレジ
スト膜をベークして露光時に発生した酸を拡散させる。
４つのベーキング部２６を交互に使うことによりスル―
プットを向上させるようになっている。冷却部２７は、
疎水化処理部２４での疎水化処理後、レジスト塗布部２
５でのレジスト塗布前に基板Ｗを冷却するためのもので
ある。現像部２８は、露光後、ベーキング部２６を経た
基板Ｗに対してアルカリ性の現像液により現像を行うた
めのものである。そして、搬送ロボット２２は、周囲の
全処理ユニットにアクセスしてこれらとの間で基板の受
け渡しを行う。

【００２８】インターフェイス部３０は、プロセス部２
０においてレジストの塗布が終了した基板Ｗを露光装置
１００側に渡したり露光後の基板Ｗを露光装置１００側
から受け取るべく、かかる基板Ｗを一時的にストックす
る機能を有し、搬送ロボット２２との間で基板Ｗを受け
渡す搬送ロボット３１と、基板を載置するバッファカセ
ット３２とを備えている。

【００２９】図２に示すように、システム全体はカバー
１５で覆われ、このカバー１５の上面側には空気取り入
れ口１６が設けられている。カバー１５の前後には基板
Ｗ搬入出口がそれぞれ形成されている。なお、カバー１
５は一体のものである必要はなく、メンテナンスや運搬
の容易性などを考慮して別体ものを組み合わせたもので
あってもよい。。

【００３０】そして、この空気取り入れ口１６に対応し
て、それぞれ後述するクリーンエアのダウンフローを形
成するファンフィルタユニットが配置される。すなわ
ち、ロード／アンロード部１０の上部には１個のファン
フィルタユニット４１、プロセス部２０には２個のファ
ンフィルタユニット４２、４３ががそれぞれ設けられて
いる。また、インターフェイス部３０の上部にはファン
フィルタユニット４４のみが設けられている。

【００３１】次に本発明の特徴部分であるファンフィル
タユニットに関してファンフィルタユニット４１を例に
挙げ説明する。尚、基本的に他のファンフィルタユニッ
ト４２〜４４も同様の構成をとる。ファンフィルタユニ
ット４１は、図３に示すように、下から順に第１のフィ
ルタ部５１、ファン５２、第２のフィルタ部５３が設け
られている。なお、ファンフィルタユニット４１内の第
１フィルタ部５１および第２フィルタ部５３は取り外せ
るので、第１フィルタ部５１および第２フィルタ部５３
を新品に取換えることが容易である。

【００３２】さらに詳細には、第１のフィルタ部５１
は、フィルタパック５４を収納するメインフィルタ枠５
５とで構成される。そして、第１のフィルタ部５１のメ
インフィルタ枠５５の鍔面５６上側に、ファン５２を備
えたファンプレート５７が積重される。第２のフィルタ
部５３は、プレフィルタ５８を収納するプレフィルタ取
付枠５９とで構成され、ファンプレート５７上に積重さ
れる。これ等は、取付ねじ６０で締結して構成される。
プレフィルタ取付枠５９の符号６１は、外気をファンフ
ィルタユニット４１内部に取り入れるための上流側開口
部で、メインフィルタ枠５５の符号６２は、清浄化され
た外気を排出する下流側開口部である。

【００３３】第１のフィルタ部５１のフィルタパック５
４は、空気中に含まれる主として極小さな埃を除去する
ためのＵＬＰＡフィルタである。このフィルタパック５
４により０．０５〜０．１μｍ程度の粉塵が除去され
る。そして、フィルタパック５４はメインフィルタ枠５
５内にシールされる。なお、このフィルタパック５４が
本発明におけるメインフィルタに相当する。

【００３４】ファン５２は、羽根５２ａとそれを収納す
るファンケース５２ｂと図略するモータからなり、ファ
ンプレート５７に固定される。取付ねじ６０は、プレフ
ィルタ取付枠５９、ファンプレート５７およびメインフ
ィルタ枠５５の鍔面５６を貫通し、固定され、メインフ
ィルタ枠５５側にファンプレート５７、プレフィルタ取
付枠５９を締付ける。なお、プレフィルタ取付枠５９に
は取付けねじ６０を締付けるための貫通孔が形成され
る。このファン５２が、本発明の吸引手段に相当する。

【００３５】第２フィルタ部５３は、空気中に含まれる
比較的大きなパーティクルやゴミを物理的に除去するた
めのフィルタであり、本発明においてプレフィルタとし
て機能するものである。プレフィルタ５８は図４の全体
斜視図に示すように、フィルタ本体５８１と、その周縁
に形成された補強部５８２より構成される。

【００３６】フィルタ本体５８１は、その平面部にフィ
ルタエレメント５８３が形成される。フィルタエレメン
ト５８３は、図５に示すように、多数の微細な円形の孔
５８３ａが開孔される。このフィルタエレメント５８３
は、平らな薄板が特に良好に適するものと判明し、材質
として金属製薄板が用いられ、具体的にはステンレス
鋼、鉄ニッケル合金、銅合金、アルミニウム合金などの
金属系材料からなる。フィルタエレメント５８３は、厚
さ０．０５〜０．３ｍｍに、効果的なゴミの除去のため
に、孔５８３ａは、約０．２〜０．９ｍｍピッチで、特
に孔径が約６０μｍから約２５０μｍの大きさの、好ま
しくは９０μｍから２００μｍの開孔を有した方が好都
合であることが判明した。また、具体的には、孔径を２
００μｍとして形成した。さらに、孔５８３ａは、図５
に示すように同一孔径のものを同ピッチで均等に整列し
て形成した方が気流の整流作用に好都合である。

【００３７】そして、フィルタ本体５８１をフォトリソ
法を用いて、以下のように作製した。フィルタ本体５８
１の両面にフォトレジストを塗布して、両面にマスク部
分に対応したパターンとなるように塗布されたフォトレ
ジストにフォトマスクを介して露光することで、光の当
たらなかった部位を現像により溶解する。そして、現像
後に所望の部分にのみフォトレジストを残す。これをス
プレー方式のウェットエッチングによって両面からエッ
チングし、フォトレジストの溶解された部位にて孔をつ
なげれば開孔を形成することができる。後は、フォトレ
ジストを除去して、図５に示されるような微細な多数の
孔を有するフィルタエレメント５８３が得られる。

【００３８】補強部５８２は、フィルタエレメント５８
３が形成されたフィルタ本体５８１の周縁を一定幅で直
角に折り曲げ、立設させて形成される。この立壁状の補
強部５８２を設けることで、フィルタエレメント５８３
の部位が薄板であっても撓みにたいする剛性を確保して
いる。

【００３９】次に上述した構成を備えた実施例装置１の
動作について説明する。上記基板処理装置１を用いて基
板Ｗをレジスト処理する場合、基板Ｗをプロセス部２０
に搬入し、これをアドヒージョン処理し、冷却し、レジ
スト塗布し、ベークする。次に、基板Ｗをインターフェ
イス部３０を介して露光部１００に搬入し、露光する。
基板Ｗをプロセス部２０に戻し、ベーキング部２６に入
れる。基板Ｗをベークすると、レジスト膜の露光された
部分に酸が発生する。そして、レジスト膜中で酸が拡散
して酸触媒反応が起こり、レジスト膜は現像液に対して
可溶になる。

【００４０】外気はファンフィルタユニット４１〜４４
のファン５２により装置１内に引き込まれる。この外気
（例えばクリーンルームの中の空気）には、ゴミや塵
埃、壁の塗料などから発生したアンモニアやアミンなど
のアルカリ成分が微量ながら含まれている。図３におい
て、イ矢視から送られる外気はファン５２の羽根５２ａ
により上流側開口部６１を介してプレフィルタ５８内に
吸引され、ゴミ等の粗粒子を濾過され、メインフィルタ
枠５５内に入る。メインフィルタ枠５５内に導入された
外気は、全てがフィルタパック５４内に導入され、フィ
ルタパック５４により微粒子を濾過するされて清浄化さ
れる。清浄化された外気はロ矢視のように下流側開口部
６２を介して排出される。

【００４１】外気が第２のフィルタ部５３を通過すると
きに、外気中に含まれるゴミ等の塵埃はプレフィルタ５
８にトラップされる。このとき、外気は、ファイルタエ
レメント５８３の孔５８３ａを流通される際に、整流さ
れる。フィルタ本体５８１は、そのフィルタエレメント
５８３の孔５８３ａ以外の部位が外気の流通の抵抗とな
るが、補強部５８２がフィルタ本体５８１が撓むのを防
止するため、良好な整流を発生されることができる。

【００４２】そして、この整流された外気が第１のフィ
ルタ部５１を通過するときに、外気中に含まれる微粒子
がトラップされる。その結果、整流された清浄な外気が
装置１内に導入され装置１内部が低清浄度に制御される
こととなる。

【００４３】以上、上記実施例によれば、空間内部の清
浄度を低清浄度に制御するためのファンフィルタユニッ
トとして、プレフィルタが金属製薄板にて形成されるの
でプレフィルタのメンテナンスが容易なファンフィルタ
ユニットが提供される。また、フィルタ本体は平面にマ
スク部分のパターンに対応したレジストを形成し、この
金属製薄板をエッチングして製造される。その結果、非
常に高い加工精度にて孔が開けられるので、外気の通過
において偏りが発生せず、良好な整流作用が得られる。
また、フィルタ本体には周縁に補強部が延設されている
ので充分な強度を有し、フィルタ本体が歪んだりしな
い。その結果、フィルタ本体を薄肉でもって構成するこ
とができ、ファンフィルタユニットの小型化も達成され
る。

【００４４】また、塵埃は粗塵用のプレフィルタ５８の
性能に応じて所定粒径の粗塵が確実に除去される。更に
プレフィルタ５８を通過した微細塵はフィルタパック５
４のＵＬＰＡフィルタにて捕集されるが、プレフィルタ
５８がその機能を十分に発揮することで通過する塵埃の
量が減少し、高価なＵＬＰＡフィルタの機能低下を防止
できる。又、プレフィルタ５８は、必要時にこれを取り
出し洗浄することでその機能の保持を図ることが容易に
できる。

【００４５】＜第二の実施例＞上記の実施例において
は、第２のフィルタ部５３が１個のプレフィルタ５８に
て構成されているが、複数のプレフィルタにて構成され
てもよい。図６に示すように上記第一の実施例と同様の
プレフィルタ５８ａ、５８ｂの一対を補強部５８２ａ、
５８２ｂを向かい合わせて嵌合する。この箱状に配置し
たプレフィルタ５８ａ、５８ｂ間の空間にケミカルフィ
ルタ７０を収納してファンフィルタユニットが構成され
る。

【００４６】次に上述した構成を備えた実施例装置１の
動作について説明する。上記基板処理装置１に外気はフ
ァンフィルタユニット４１〜４４のファン５２により装
置１内に引き込まれる。この外気（例えばクリーンルー
ムの中の空気）には、ゴミや塵埃、壁の塗料などから発
生したアンモニアやアミンなどのアルカリ成分が微量な
がら含まれている。図６において、イ矢視から送られる
外気はファン５２の羽根５２ａにより上流側開口部６１
を介して箱状に配置したプレフィルタ５８ａを介してゴ
ミ等の粗粒子を濾過され、ケミカルフィルタ７０内に吸
引される。

【００４７】ケミカルフィルタ７０は、空気中に含まれ
るアンモニアやアミンなどのアルカリ成分を数ＰＰｂ以
下のオーダーに抑えるためのフィルタである。ケミカル
フィルタ７０のフィルタエレメントはシートを蛇腹状に
折り曲げた形状をなし、シートとシートとの間をエアが
通過するようになっている。即ち、フィルタエレメント
は全体としてハニカム構造をなしている。このフィルタ
エレメントは、炭素繊維網状体（炭素繊維を編み込んだ
シート）をリン酸溶液に浸漬した後に、微細孔中に侵入
したリン酸溶液の一部を遠心分離機によりはじき飛ば
し、その後プレスしてプレート化してつくられる。

【００４８】そして、整流された外気がケミカルフィル
タ７０を通過するときに、外気中に含まれるアルカリ成
分、主としてアミン系成分はリン酸と中和反応を起こし
てトラップされる。

【００４９】ケミカルフィルタ７０にてガス吸着された
気流は、プレフィルタ５８ｂを介してさらにゴミ等の粗
粒子を濾過され、メインフィルタ枠５５内に入る。メイ
ンフィルタ枠５５内に導入された外気は、フィルタパッ
ク５４により微粒子を濾過されて排出される。その結
果、整流された清浄な外気が装置１内に導入され装置１
内部が低清浄度に制御されることとなる。以上、この実
施例によれば、よりコンパクトで良好な整流作用のある
ファンフィルタユニットが提供されるとともに、例えば
燐などの金属汚染物質も良好に除去される。

【００５０】＜第三の実施例＞上記の実施例において
は、プレフィルタ５８の補強部は立壁にて構成されてい
るが、図７に示すようにフィルタ本体８０の周縁を巻く
ことによって補強部８１を構成してもよい。この補強部
８１によれば、巻く回数や、大きさによって容易に強度
を調整可能となる。

【００５１】なお、本発明は、上述した実施例および変
形例に限定されるものではなく、以下のように変形実施
が可能である。

【００５２】（１）実施例装置では、プレフィルタ５８
は、複数枚を交互に積層するカートリッジであってもよ
い。その際、隣接するプレフィルタ５８の相互の孔部位
置が一直線上にならないようその穿設位置は板毎にずら
しておくことで、一層、粗塵が確実に除去される。

【００５３】（２）さらに、プレフィルタの補強部は、
フィルタ本体の周縁を折り畳むことで形成してもよい。

【００５４】（３）さらに、フィルタエレメント５８３
の孔５８３ａは円形としたが、正方形や菱形として形成
してもよい。

【００５５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、空間内部を低清浄度に制御するためのファン
フィルタユニットにおいて、プレフィルタを金属製薄板
にて形成することにより、従来技術に比べてメンテナン
ス性の優れたファンフィルタユニットを得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一実施例に係る基板処理装置の概略構成を示
した平面図である。

【図２】第一実施例に係る基板処理装置の概略構成を示
した正面図である。

【図３】ファンフィルタユニットの概略構成を示す断面
図である。

【図４】プレフィルタの全体斜視図である。

【図５】プレフィルタの正面図である。

【図６】第二実施例のファンフィルタユニットの概略構
成を示す断面図である。

【図７】第三実施例のプレフィルタを示す側面図であ
る。

【符号の説明】

Ｗ 基板 １ 基板処理装置 ４１、４２、４３、４４ ファンフィルタユニット ５８ プレフィルタ ５８１ フィルタ本体 ５８２ 補強部 ５８３ フィルタエレメント ５２ ファン ５１ 第１のフィルタ部 ６１ 上流側開口部 ６２ 下流側開口部

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｂ０１Ｊ 20/20 Ｂ０１Ｊ 20/20 Ｄ Ｆ (72)発明者 岩本 庄治 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 3L058 BG03 4D019 AA01 BA02 BB02 BB09 BC05 BD01 CA01 CA02 CB03 CB06 4D058 JA12 JA14 JB03 KB11 QA01 QA03 QA11 QA21 SA04 TA02 4G066 AA04C AA50B AE01B BA07 BA16 CA08 CA27 CA29 DA03 FA15 FA25

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 空間内部の清浄度を制御するためのファ
   ンフィルタユニットであって、 外気を内部に取り入れるための上流側開口部と排出する
   ための下流側開口部をもつ枠体と、 前記上流側開口部に外気を吸引する吸引手段と、 前記吸引手段の少なくとも一方面側に位置するように前
   記枠体内に支持され、平面部に多数の微細な孔を開けた
   金属薄板製のプレフィルタと、 前記プレフィルタを流通する気流の下流側に収納して、
   前記枠体によって支持されるメインフィルタと、を具備
   することを特徴とするファンフィルタユニット。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のファンフィルタユニッ
   トであって、 前記プレフィルタの孔は、孔径が２００μｍの円形であ
   ることを特徴とするファンフィルタユニット
3. 【請求項３】 請求項１及び請求項２に記載のファンフ
   ィルタユニットにおいて、 前記プレフィルタは、平面部に多数の微細な孔を開けた
   金属薄板製のフィルタ本体と、 前記フィルタ本体の平面部の周縁を延設した補強部と、
   を具備することを特徴とするファンフィルタユニット。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のファンフィルタユニッ
   トであって、 前記プレフィルタは２つのプレフィルタが前記補強部が
   合い向かうように配置され、対向する平面部間にケミカ
   ルフィルタを配置したことを特徴とするファンフィルタ
   ユニット。
5. 【請求項５】 請求項２及び請求項４に記載のファンフ
   ィルタユニットにおいて、 前記プレフィルタのフィルタ本体は、金属薄板の平面部
   に、レジストを塗布し、孔に対応したパターンを有する
   マスクによって露光した後、現像し、この金属薄板をエ
   ッチングして製造したことを特徴とするファンフィルタ
   ユニット。