JP2005211704A - 連続空気浄化装置 - Google Patents

連続空気浄化装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2005211704A
JP2005211704A JP2004018087A JP2004018087A JP2005211704A JP 2005211704 A JP2005211704 A JP 2005211704A JP 2004018087 A JP2004018087 A JP 2004018087A JP 2004018087 A JP2004018087 A JP 2004018087A JP 2005211704 A JP2005211704 A JP 2005211704A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultraviolet
drift prevention
decomposition
trichlorethylene
concentration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004018087A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshiko Nakato
誉子 中藤
Tsunezo Nitta
恒造 新田
Takahiro Terajima
高宏 寺嶋
Kazushi Kimura
一志 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koken Co Ltd
Original Assignee
Koken Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koken Co Ltd filed Critical Koken Co Ltd
Priority to JP2004018087A priority Critical patent/JP2005211704A/ja
Publication of JP2005211704A publication Critical patent/JP2005211704A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Fire-Extinguishing Compositions (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

【課題】揮発性有機塩素化合物を含有する空気を効率的に連続浄化する装置を提供する。
【解決手段】内部に紫外線ランプをもち、対向する前部と後部に汚染空気導入部と浄化空気排気部をもつと共に、該汚染空気導入部と紫外線ランプの間に偏流防止板をもつ連続式空気浄化装置。
【選択図】図1

Description

本発明は連続空気浄化装置に関し、特に揮発性有機塩素化合物を含有する空気を連続的に供給して紫外線照射により該有機塩素化合物を分解処理する連続空気浄化装置に関する。
近年、市街地再開発に伴う工場等の敷地や跡地で揮発性有機塩素化合物等の有害物質により汚染された土壌が発見される事例が急増しており、これらの浄化対策として掘削除去法、原位置浄化法など土壌を修復する様々の試みがなされている。
トリクロロエチレンをはじめとする揮発性有機塩素系化合物による土壌汚染浄化対策として、掘削除去技術では掘削後の汚染土壌には有機塩素化合物がそのまま残留しているため、汚染土壌ごと焼却し熱分解を行う、あるいは加熱処理により有機塩素化合物を揮発させ回収するなど後処理工程が必要であり、この後処理工程を行う施設数の少なさや、処理施設までの汚染土壌の輸送コスト等問題が多い。そのため原位置分解方法が必要とされ、揮発性有機塩素化合物の紫外線による分解処理技術が着目されたが、その分解機構より、従来知られた方法では低濃度揮発性有機塩素化合物の分解には高い分解効率を得ることができないといった欠点があった。
この課題を解決するため、様々な技術が提案されている。たとえば、低波長と高波長紫外線照射工程を何段階かに分ける方法(特許文献1)、触媒接触手段を設ける方法(特許文献2、特許文献3、特許文献4)、ハロゲンラジカル発生源ガスを供給する方法(特許文献5)、水素源を付加させる方法(特許文献6)など、紫外線に付加要素が加味された方法である。
特開2001−220358号公報 特開2001−232136号公報 特開平8−173765号公報 特開平5−285342号公報 特開2002−273173号公報 特開平7−155543号公報
本発明の目的はトリクロロエチレン等の揮発性有機塩素化合物を汚染物質として含有する空気を紫外線照射により効率的に処理する連続空気浄化装置を提供することにある。
本発明は、揮発性有機塩素化合物を含有する空気を連続的に供給して紫外線照射により該有機塩素化合物を分解処理する連続空気浄化装置において、内部に紫外線ランプをもち、対向する前部と後部に汚染空気導入部と浄化空気排気部をもつと共に、該汚染空気導入部と紫外線ランプの間に偏流防止板をもつことを特徴とする連続空気浄化装置である。
本発明の装置を用いることにより、揮発性有機塩素化合物で汚染された空気を連続的に紫外線照射域に供給するだけで有機塩素化合物をより効率的に分解して浄化することが可能となる。
本発明の装置に供する汚染空気は揮発性有機塩素化合物を含有する空気であれば特段その種類や濃度には制限はない。揮発性有機塩素化合物としては、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、塩素化エチレンその他の塩素化低級炭化水素が例示される。これらの汚染空気源としては、前記した汚染土壌や汚染地下水等があるが、さらに塗装工場やドライクリーニング工場の排ガスも適用しうる。汚染空気中の揮発性有機塩素化合物の濃度としては通常10〜1000ppm程度だが、勿論これには限定されない。
本発明の連続空気浄化装置は、図1に示すように、内部に紫外線ランプ3をもち、前部に汚染空気導入部1をもち、後部に浄化空気排気部4をもつと共に、汚染空気導入部1と紫外線ランプ3の間に偏流防止板2をもつことを特徴としている。
本発明の装置は紫外線照射域が通常箱型形状をしており、前部壁に汚染空気導入部1をまた後部壁に浄化空気排気部4をもっている。勿論形状は箱型形状に限らず、円筒状等適宜の形状をとりうる。
偏流防止板2は、導入された汚染空気が最初の紫外線ランプ近傍に至る前に汚染空気の速度分布をできるだけ均一化し整流化する機能をもった板状物をいい、そのような機能をもつ板状物であればその種類には特に制限はないが、多孔板が特に好ましく用いられる。例えば孔径が0.1〜5mmの孔を孔間距離1〜10mm程度でもつ多孔板が好ましく用いられる。多孔板の材質としては耐蝕性金属やプラスチックが好ましく用いられる。これらは一板用いてもまた複数板用いてもよい。また必要に応じ後部その他にも配しうる。偏流防止板は通常紫外線照射領域の断面積に対応する大きさをもつことが好ましい。
紫外線ランプは、揮発性有機塩素化合物を分解しうる機能をもつものであれば特に制限なく用いることができ、通常150〜280nm、より好ましくは185nmの波長の紫外線を照射しているものが用いられる。これらの紫外線ランプは複数用いることが好ましく、特に空気の通過面と垂直に複数の紫外線ランプを配することが好ましい。一例として、前方から後方に4〜20本の紫外線ランプを配する態様が例示される。
汚染空気は空気導入部1からたとえば0.1〜3m/秒の平均風速で紫外線照射域を通過するように導入する。
次に実施例の形で、本発明をさらに具体的に説明する。
(実施例1)紫外線強度依存性と分解装置設計について
紫外線は空気中の酸素に吸収されるため、発生源からの距離に伴い強度は減衰する。図2−(a)、2−(b)に紫外線発生源からの紫外線強度値を示す。使用した紫外線発生ランプはミヤタエレバム(株)製OZU−320XSG−20(13W)、紫外線センサーには、浜松ホトニクス株式会社製 紫外線積算光量計 C8026を使用した。
また、紫外線強度と揮発性有機塩素化合物の一つであるトリクロロエチレンの分解率には相関があり、光強度依存性が見られる。図3に紫外線強度値とトリクロロエチレン分解率を示す。この紫外線発生ランプの場合、図より十分な分解率を得るためには、窒素雰囲気下で450μW/cm以上の紫外線強度が必要であることがわかる。この分解に必要な紫外線強度は、空気中では350μW/cmとなり、図2−(b)よりこの値以上の紫外線強度を持った距離60mm以内が分解に有効な有効紫外線距離範囲となる。
そのため、紫外線発生源よりこの範囲以内を汚染空気が通過するよう、分解装置を設計することが望まれる。紫外線発生源と分解装置壁面間との距離を変化させることにより、有効紫外線距離と分解率との関係の確認を行った。
使用した分解装置は高さ350mm、長さ720mm、幅が80〜240mm間で変化させた箱型形状のものを使用した(図1概略図参照)。紫外線発生ランプは上記に記したランプ7本を、汚染ガス通気面に垂直になるように分解装置上部より差し込み設置する形状である。擬似汚染ガスにはトリクロロエチレンをバブリングし発生させた上流濃度30ppmのガス、これを300L/minで処理を行い、分解装置の断面積変化とトリクロロエチレン分解率の関係から、有効紫外線距離の確認を行った。
図4に断面積変動による下流トリクロロエチレン濃度と分解率を示す。図4より幅120mmで分解率は最大値を示し、下流濃度も最小値を示していることが確認できる。これは、紫外線発生ランプから装置内両壁面間距離が60mm以内となり、図2−(b)、図3と一致した結果となっている。
以上のことから、紫外線発生ランプの有効紫外線強度範囲を知ることにより、分解効率のよい分解装置の設計が可能となった。
(実施例2)分解装置の比較
実施例に使用した汚染ガス分解装置を図5に示す。実施例1に基づいた設計より、幅120(mm)、高さ350(mm)、長さ720(mm)の箱型形状(SUS304製)とし、これのガス導入面及びガス排気面にそれぞれ47φの導入口、排気口をつけ、ガス導入口、排気口よりそれぞれ60mmの位置に50meshのSUS製の金網を両面に設けた10mm幅の横120(mm)、高さ350(mm)の偏流防止板を備え付けた形状となっている。紫外線発生ランプは、汚染ガス通気面に垂直になるように分解装置上部より差し込み設置する形状である。この形状の分解装置2個を直列に接続し、実施を行った。
紫外線発生ランプにはミヤタエレバム(株)製OZU−320XSG−20(13W)を7本ずつ、計14本使用した。また、汚染ガス処理量は300L/minである。汚染ガスとしてトリクロロエチレンガスを2〜60ppmまで調整した擬似汚染ガスを用い、分解装置導入口部を上流濃度、排気口部を下流濃度とし、分解効率から評価を行っている。比較として円筒形分解装置(図6)との分解率比較を図7に示す。図中の数値は下流側残留トリクロロエチレン濃度を示す。従来の円筒型分解装置では上流トリクロロエチレン濃度2ppm時点で分解率75%であったが、本発明の装置を用いることにより分解率96%へ向上させることに成功した。また、上流トリクロロエチレン濃度30ppm時点の残留トリクロロエチレン濃度が2ppmから約10分の1の0.26ppmまで低下させることに成功した。なお、上流トリクロロエチレン濃度60ppm時点では分解率99.9%を得ることができ、揮発性有機塩素化合物の紫外線分解機構からも高濃度になるにつれ高分解率が得られることから、60ppm以上の高濃度範囲に渡っては問題なく分解処理を行うことができる。実際、上流トリクロロエチレン濃度100pm時点では、下流側残留トリクロロエチレンは検出限界値以下となり検出されなかった。
(実施例3)偏流防止板有無による分解率への影響
実施例2に使用した汚染ガス分解装置内に設置した偏流防止板の効果を確認するため、偏流防止板の有無による分解率の比較を図8に示す。上流トリクロロエチレン濃度が60ppm程度では、偏流防止板の有無による分解率の差は見られていないが、30ppm以下になると偏流防止板の有無による差が大きくなり、低濃度トリクロロエチレンを分解するためには偏流防止板が効果的であることがわかった。
このことから、分解装置内で生じる不均一な速度分布の状態が、汚染ガスと紫外線との接触分解、特に低濃度の汚染ガスにおける接触分解に悪影響をもたらす事が判明し、分解装置内で速度分布を均一化させることが、高分解率を得るための必要な条件であることがわかった。図9に分解装置内の速度分布シミュレーションを示す。図より、はっきりと偏流防止板の有無による速度分布の違いが確認できた。
(実施例4)偏流防止板の選択
実施例2では市販の金網を偏流防止板として使用したが、トリクロロエチレンのような揮発性有機塩素化合物類は塩素を含むため、分解すると塩化水素等の腐食性ガスが発生する。そのため、腐食による金網の効果が期待できなくなる恐れがあることから、耐紫外線、耐食性多孔板における同様の効果が得られるか検討を行った。
偏流防止板には、耐紫外線、耐食性材質として0.5mm厚テフロンパンチングシートの0.75φ1.0ピッチ(孔径0.75mmの孔を1.0mm間隔でもつ、以下同)、1.0φ1.5ピッチ、1.5φ3.0ピッチ、2.0φ3.5ピッチの4種類を用い、上記実施例2に使用した汚染ガス分解装置内に設置した。擬似汚染ガスには、トリクロロエチレンよりも分解しづらいテトラクロロエチレンガス10ppmを用いて、偏流防止板の種類による分解率の違いを検討することとした。
これら4種類のテフロンパンチングシートとSUS50メッシュ金網を使用した場合の下流テトラクロロエチレン濃度と分解率の比較を図10に示す。図より、SUS製金網を使用するよりも、テフロンパンチングシートを用いることにより分解率が向上していることがわかる。さらにテフロンパンチングシートのなかでも1.5φ3.0ピッチを使用することにより、分解率がさらに向上し、より効果的であることがわかった。
(実施例5)偏流防止板の設置条件
実施例4において効果が得られた1.5φ3.0ピッチのテフロンパンチングシートを用い、最も効果の得られる設置条件について検討を行った。
実施例として汚染ガス分解装置には幅350(mm)、高さ120(mm)、長さ1440(mm)の箱型形状(図11参照)のものを用い、紫外線発生ランプは実施例2同様のランプを10本使用している。分解装置内の偏流防止板設置位置は、ガス導入口、排気口からそれぞれ100(mm)の位置とし、導入口、排気口にそれぞれ1枚ずつ設置した場合、導入口のみ1枚設置した場合、排気口のみ1枚設置した場合の3種類とブランクとして偏流防止板無しとの比較を行った。擬似汚染ガスにはトリクロロエチレンを用い、300L/minにて処理を行っている。
偏流防止板設置条件による下流トリクロロエチレン濃度を図12に示す。図中、Blank(白丸印)と排気口に設置した場合(白三角印)では同程度の下流トリクロロエチレン濃度を示したのに対し、導入口、排気口にそれぞれ設置した場合(黒丸印)と、導入口に設置した場合(黒三角印)において、下流トリクロロエチレン濃度が低く検出された。このことから、ガス導入口側に偏流防止板を設置することが効果的であることがわかる。
(実施例6)偏流防止板の設置枚数
ガス導入口に偏流防止板を設置することが効果的であることに加え、設置した偏流防止板の枚数に応じた擬似汚染ガス分解後下流残留濃度への検討を行った。実施例5と同様の擬似汚染ガス、汚染ガス分解装置を使用し、Blank、偏流防止板1枚〜4枚の5パターンにおいて検討を行った。偏流防止板設置位置は、導入口から100(mm)とした。
偏流防止板設置枚数による下流トリクロロエチレン残留濃度を図13に示す。図中、Blank(黒菱形印)と比較すると、偏流防止板を設置することで残留トリクロロエチレン濃度が減少する傾向であるが、偏流防止板枚数に応じた、残留トリクロロエチレン濃度の変化には傾向が見られなかった。偏流防止板を2枚(黒丸印)使用することで、最も残留トリクロロエチレン濃度が低くなったが、3枚(黒三角印)、4枚(黒四角印)と追加しても、1枚(白丸印)設置した場合とほとんど変化は無かった。この3枚以上の設置により、圧損が生じ、偏流が再度生じている可能性が見られた。
(実施例7)偏流防止板による汚染ガス分解装置内風速の偏り
汚染ガス分解装置内に生じる偏流が汚染ガス分解率に関与することが考えられることより、偏流防止板設置枚数に伴った、汚染ガス分解装置内の風速の偏りについて調査を行った。
実施例5と同形状となる塩ビ製の汚染ガス分解装置の模型を作成し、これに偏流防止板設置位置2より50mm間隔で9φの測定口を30カ所設けた。模型概略図を図14に示す。測定箇所は偏流防止板設置位置より50mm間隔の1つの面に対し、高さ方向に30mm間隔、壁面より50mm間隔の18箇所の60秒間平均風速の測定を行っている。なお、偏流防止板には実施例6と同様の1.5φ3.0ピッチ0.5mm厚のテフロン製パンチングシートを使用している。風速測定には、SIBATA製Wind Boy ISA−80 Thermal Anemometerを使用した。今回は風速測定のため、室内空気を300L/min汚染ガス分解装置内に導入し、各測定口より、風速測定を行っている。
汚染ガス分解装置に導入されるガスは、偏流防止板3を通過した後50mmの位置において紫外線発生ランプと接触することから、偏流防止板より50mm位置の面における、ランプと直接接触する位置を抽出し、平均風速及び、平均風速からのばらつきとして最大値と最小値の差を求めている。
表1に偏流防止板50mm位置における平均風速及びばらつきを示す。なお、参考にトリクロロエチレン上流30ppm、10ppm処理時の下流残留濃度も示した。
Figure 2005211704
表より、Blankと比較すると、偏流防止板設置により平均風速、ばらつきともに軽減されていることがわかる。ばらつきにおいては偏流防止板枚数に伴った傾向は見られないが、平均風速において、偏流防止板2枚で0.17m/sと最小値を示し、3枚、4枚と設置枚数が増えると圧損により、平均風速の上昇が見て取れる。
ここで、平均風速とトリクロロエチレン30ppm、10ppm処理時の下流残留濃度を図15に示す。図より、トリクロロエチレン30ppm処理時ではR=0.9518、10ppm処理時ではR=0.9816とどちらもよい相関を得られており、この関係から低濃度ガスを処理する際の平均風速の設計が可能となった。
(実施例8)偏流防止板による整流効果
実施例7より、偏流防止板2枚使用することにより、偏流防止板設置位置より50mm面における平均風速の条件が得られたが、この平均風速における整流効果について確認を行った。
ダクトなどの設計においては、ガス導入口から、断面積の相当直径の5倍の距離をとることにより、整流効果が得られることが知られている。これを利用し、ランプ1本による整流が得られる位置と偏流している位置におけるトリクロロエチレンガス処理について比較を行った。
整流が得られる位置として、分解装置断面積相当直径の5倍の距離(5d)における位置は、実施例に使用した汚染ガス分解装置の断面積が420cmであることから5d=578mmであり、これ以上の1000mm位置とした。偏流が生じる位置として偏流防止板設置位置50mm、この2点において、ランプ1本を設置し、300L/minの処理を行っている。なお、処理する擬似汚染ガスにはトリクロロエチレンを使用し、上流濃度は下流残留濃度が最も高く検出される30ppmとしており、偏流防止板は最も効果的である2枚を使用している。表2に各位置における下流トリクロロエチレン残留濃度と分解率を示す。
Figure 2005211704
Blankにおける50mm位置のとき分解率は50%以下であり、残留濃度も19ppmであるのに対し、1000mm位置では分解率は50%以上となり、残留濃度も17.4ppmまで低下した。これに対し、偏流防止板2枚ではランプの位置の違いによる分解率、残留濃度値にほとんど差が見られず、Blankの1000mmとも同様の値を得られた。
以上のことから、偏流防止板2枚使用することにより、整流効果が得られていることが確認できた。
本発明により触媒等必要とせずとも、低濃度から高濃度の広き範囲にわたり、紫外線のみによるトリクロロエチレン等揮発性有機塩素化合物含有ガスを効率よく分解処理を行うことが可能となった。
本発明の一実施態様に関わる揮発性有機塩素化合物含有ガス分解装置の概略図である。 実施例1における紫外線発生源からの紫外線強度値変化を示すグラフである。 実施例1における紫外線強度値とトリクロロエチレン分解率の関係を示すグラフである。 実施例1における汚染ガス分解装置断面積変動による下流トリクロロエチレン濃度と分解率の関係を示すグラフである。 実施例2、3、4に使用した汚染ガス分解装置の概略図である。 従来使用していた分解装置の概略図である。 実施例2におけるトリクロロエチレン分解率及び下流残留トリクロロエチレン濃度の関係を示したグラフである。 実施例3における偏流防止板の有無による分解率の関係を示したグラフである。 実施例3における偏流防止板の有無による速度分布シミュレーションを示したグラフである。 実施例4における偏流防止板の違いによる下流テトラクロロエチレン濃度と分解率を示したグラフである。 実施例5、6に使用した汚染ガス分解装置の概略図である。 実施例5における偏流防止板設置条件による下流トリクロロエチレン濃度を示したグラフである。 実施例6における偏流防止板設置枚数による下流トリクロロエチレン濃度を示したグラフである。 実施例7に使用した汚染ガス分解装置模型の概略図である。 実施例7における平均風速とトリクロロエチレン30、10ppm処理時残留濃度を示したグラフである。
符号の説明
1 汚染空気導入部
2 偏流防止板
3 紫外線発生ランプ
4 浄化空気排気部
5 風速測定口

Claims (3)

  1. 揮発性有機塩素化合物を含有する空気を連続的に供給して紫外線照射により該有機塩素化合物を分解処理する連続空気浄化装置において、内部に紫外線ランプをもち、対向する前部と後部に汚染空気導入部と浄化空気排気部をもつと共に、該汚染空気導入部と紫外線ランプの間に偏流防止板をもつことを特徴とする連続空気浄化装置。
  2. 該偏流防止板が多孔板からなる請求項1記載の装置。
  3. 該紫外線ランプが該汚染空気の通過面と垂直に複数配されている請求項1又は2記載の装置。
JP2004018087A 2004-01-27 2004-01-27 連続空気浄化装置 Pending JP2005211704A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004018087A JP2005211704A (ja) 2004-01-27 2004-01-27 連続空気浄化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004018087A JP2005211704A (ja) 2004-01-27 2004-01-27 連続空気浄化装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005211704A true JP2005211704A (ja) 2005-08-11

Family

ID=34902696

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004018087A Pending JP2005211704A (ja) 2004-01-27 2004-01-27 連続空気浄化装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005211704A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011032613A (ja) * 2009-08-04 2011-02-17 Gunze Ltd 極細繊維不織布の製造方法及び極細繊維不織布

Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6049844U (ja) * 1983-09-12 1985-04-08 株式会社 日東エアテック ガス殺菌装置
JPS61200836A (ja) * 1985-03-01 1986-09-05 Ebara Infilco Co Ltd 排ガス処理方法
JPS647933A (en) * 1987-06-30 1989-01-11 Tokai Kogyo Co Ltd Ozonolysis device
JPH0455353U (ja) * 1990-09-21 1992-05-12
JPH0470126U (ja) * 1990-10-24 1992-06-22
JPH07155543A (ja) * 1993-12-02 1995-06-20 Ebara Res Co Ltd 揮発性有機塩素化合物の処理方法及び装置
JPH11159034A (ja) * 1997-11-27 1999-06-15 Daikin Ind Ltd 空気清浄機能付仕切パネル
JP2000254439A (ja) * 1999-03-09 2000-09-19 Toshiba Corp 有害ガス分解装置
JP2000325745A (ja) * 1999-05-24 2000-11-28 Kawasaki Heavy Ind Ltd 排ガス浄化装置
JP2001029738A (ja) * 1999-07-26 2001-02-06 Ebara Corp 紫外線を利用したガス分解装置
JP2001149755A (ja) * 1999-11-30 2001-06-05 Japan Organo Co Ltd 揮発性有機物質を含む排ガスの処理装置および処理方法
JP2002066235A (ja) * 2000-08-25 2002-03-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ファンフィルタユニット
JP2002191964A (ja) * 2000-12-12 2002-07-10 Korea Mach Res Inst 低温プラズマ及び誘電熱を用いて有害ガスを処理するための触媒反応器、及びその処理方法
JP2003220123A (ja) * 2001-11-08 2003-08-05 Okaya Electric Ind Co Ltd 空気浄化装置
JP2003290622A (ja) * 2002-04-01 2003-10-14 Koken Ltd ガス状有機化合物の分解装置

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6049844U (ja) * 1983-09-12 1985-04-08 株式会社 日東エアテック ガス殺菌装置
JPS61200836A (ja) * 1985-03-01 1986-09-05 Ebara Infilco Co Ltd 排ガス処理方法
JPS647933A (en) * 1987-06-30 1989-01-11 Tokai Kogyo Co Ltd Ozonolysis device
JPH0455353U (ja) * 1990-09-21 1992-05-12
JPH0470126U (ja) * 1990-10-24 1992-06-22
JPH07155543A (ja) * 1993-12-02 1995-06-20 Ebara Res Co Ltd 揮発性有機塩素化合物の処理方法及び装置
JPH11159034A (ja) * 1997-11-27 1999-06-15 Daikin Ind Ltd 空気清浄機能付仕切パネル
JP2000254439A (ja) * 1999-03-09 2000-09-19 Toshiba Corp 有害ガス分解装置
JP2000325745A (ja) * 1999-05-24 2000-11-28 Kawasaki Heavy Ind Ltd 排ガス浄化装置
JP2001029738A (ja) * 1999-07-26 2001-02-06 Ebara Corp 紫外線を利用したガス分解装置
JP2001149755A (ja) * 1999-11-30 2001-06-05 Japan Organo Co Ltd 揮発性有機物質を含む排ガスの処理装置および処理方法
JP2002066235A (ja) * 2000-08-25 2002-03-05 Dainippon Screen Mfg Co Ltd ファンフィルタユニット
JP2002191964A (ja) * 2000-12-12 2002-07-10 Korea Mach Res Inst 低温プラズマ及び誘電熱を用いて有害ガスを処理するための触媒反応器、及びその処理方法
JP2003220123A (ja) * 2001-11-08 2003-08-05 Okaya Electric Ind Co Ltd 空気浄化装置
JP2003290622A (ja) * 2002-04-01 2003-10-14 Koken Ltd ガス状有機化合物の分解装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011032613A (ja) * 2009-08-04 2011-02-17 Gunze Ltd 極細繊維不織布の製造方法及び極細繊維不織布

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7156959B2 (en) Plasma based trace metal removal apparatus and method
KR20100118643A (ko) 배출가스 정화장치
KR20090012284A (ko) 유해물질 분해장치
JP2005211704A (ja) 連続空気浄化装置
JP4923435B2 (ja) 有害物質処理装置
KR100502946B1 (ko) 피분해 물질의 처리방법 및 그 장치
KR100509400B1 (ko) 유기 화합물의 분해장치
US20040071589A1 (en) Odor control through air-facilitated injection of hydroxyl radicals
JP3699055B2 (ja) ガス状有機化合物の分解装置
JP2021504076A (ja) 空気処理システム、および空気処理システムの使用方法
JP2001113162A (ja) 有機化合物の分解装置
JP2008093500A (ja) 汚染された土壌及び地下水の同時浄化方法及び装置
KR20180129490A (ko) 고전압펄스전원과 플라즈마반응기, 이를 이용한 오염공기제거장치와 그 제어 방법
KR20030034590A (ko) 오염된 공기의 악취와 휘발성 유기물질 처리방법 및 장치
JP2002316021A (ja) 汚染ガス処理装置及びこの装置を用いた浄化装置
JP4903323B2 (ja) 有害物質処理装置および排水処理システム
JP2020185517A (ja) ガス処理装置、換気装置、及びヒュームフード
JP2005304807A (ja) 光触媒を用いた空気清浄装置の空気流制御方法及び装置
JP3636636B2 (ja) 紫外線照射ダイオキシン類処理装置
JP2000007586A (ja) 有機塩素系ガスの分解処理方法及びその装置
JP2003053359A (ja) Pcb汚染液の浄化方法
KR102496342B1 (ko) 다층 구조의 관형 아크 플라즈마 발생장치
JP2007136321A (ja) 空気清浄機および空気清浄化方法
JP2008068020A (ja) 有機物の分解・除去装置
JP2003181448A (ja) Voc汚染水の処理方法及び処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090203

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090402

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100706

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100902

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20101012