CN1333422C - 等离子体显示面板的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种等离子显示面板的制造方法，它包括：荧光体墨制造步骤，通过将荧光体分散在粘合剂中制造荧光体墨；荧光体墨涂敷步骤，一边从喷嘴喷出在上述荧光体墨制造步骤中制造的荧光体墨，一边将荧光体墨对配置了隔壁的第一板涂敷在隔壁和隔壁之间的槽中；荧光体墨涂敷步骤，一边从喷嘴喷出荧光体墨，一边使该喷嘴沿隔壁和隔壁之间的槽相对地扫描，由此对呈条状配置了隔壁的第一板进行涂敷；以及封装步骤，将第二板重叠封装在上述第一板上配置了隔壁的一侧，同时封入气体介质，在上述荧光体墨涂敷步骤中，使在上述荧光体墨制造步骤中制造的荧光体墨，在紧接在从喷嘴喷出之前，用分散器再次分散。

Description

等离子体显示面板的制造方法
本申请是申请人松下电器产业株式会社于1997年7月8日提交的发明名称为“等离子体显示面板的制造方法及荧光体墨涂敷装置”的中国专利申请No.99810693.3的分案申请。
技术领域
本发明涉及等离子体显示面板的制造方法，特别是涉及形成荧光体层用的荧光体墨和荧光体涂敷装置的改进。
背景技术
近年来，正急切地期待以高清晰度电视为主的高品位、大画面的电视，在称为CRT、液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PlasmaDisplay Panel，以下记作PDP)的各种显示器领域中，正在进行适合于上述要求的显示器的开发。
迄今作为电视的显示器广泛使用的CRT虽然在分辨率、图像质量方面好，但伴随画面的增大，厚度及重量也变大，这一点对于40英寸以上的大画面来说不适宜。另外，LCD虽然有消耗功率小、驱动电压也低的优异性能，但在制作大画面方面有技术困难。
与此不同，PDP能以小的厚度实现大画面，已经开发出来了50英寸级别的产品。
PDP按照驱动方式大致分为直流型(DC型)和交流型(AC型)，但现在适合于形成微细的单元结构的面板的AC型成为主流。
一般说来，作为AC型具有代表性的交流面放电型PDP这样构成：配置了显示电极的前盖板和配置了地址电极的背面板隔开某一间隙平行配置，且使两电极构成矩阵，两板之间用条状隔壁间隔出一定间隙。而且，在隔壁和隔壁之间的槽中形成红、绿、蓝荧光体层，同时封入放电气体，一旦用驱动电路将电压加在各电极上而引起放电，便发射紫外线，荧光体层上的荧光体颗粒(红、绿、蓝)受该紫外线作用，被激发而发光，于是进行图像显示。
这样的PDP通常这样制造：将隔壁设置在背面板一侧，在隔壁之间的槽中形成荧光体层，将前盖板重叠在它上面，封入放电气体。
可是，作为在隔壁之间的槽中形成荧光体层的方法如特开平6-5205号公报中所述，多半能采用将荧光体膏剂填充在隔壁之间的槽中进行烧结的方法(丝网印刷法)，但对于精细的单元结构的PDP来说，难以采用丝网印刷法。
例如，在全尺寸规格的高清晰度电视电视的像素等级的情况下，像素数为1920×1125，42英寸级别的隔壁的间距(单元间距)精细到0.1～0.15mm左右，隔壁之间的槽的宽度变得非常窄，约为0.08～0.1mm，但由于丝网印刷中使用的荧光体墨的粘度大(通常为数万厘泊)，很难使荧光体墨以良好的精度高速地流入这样狭窄的隔壁间。另外，配合这样精细结构的PDP也难以作成丝网板。
另外，作为荧光体层的形成方法，除了丝网印刷法以外，还开发了光敏抗蚀剂薄膜法和喷墨法。
如特开平6-273925号公报所述，光敏抗蚀剂薄膜法是这样一种方法：有将包含各色荧光体的紫外线感光性树脂薄膜埋入隔壁和隔壁之间，只对欲形成适当的颜色的荧光体层的部分进行曝光显影，将未曝光的部分洗掉，如果采用该方法，则在单元间距小的情况下，也能以某种程度的良好精度将薄膜埋入隔壁之间。
可是，由于要对三种颜色中的每一种颜色依次进行薄膜的埋入、曝光显影及洗掉，所以制造工序复杂，同时容易产生混色的问题，另外，由于荧光体的价格较贵，而且洗掉的荧光体难以回收，所以存在成本增高的问题。
另一方面，如特开昭53-79371号公报或特开平8-162019号公报中公开，喷墨法是这样一种方法：对由荧光体和有机粘合剂构成的墨液加压，一边从喷嘴喷射一边扫描，使荧光体墨按照所希望的图形附着在绝缘基板上。在喷墨法中，一般使用如下制造的荧光体墨：将乙基纤维素、丙烯酸树脂、或聚乙烯醇等作为有机粘合剂，萜品醇或丁基卡必醇乙酸酯等作为溶剂，用涂料筛之类的分散器将荧光体分散在有机粘合剂和溶剂的混合物中，制造成荧光体墨。
如果采用这样的喷墨法，虽然能以良好的精度将墨涂敷在狭窄的隔壁间的槽中，但喷射的墨呈液滴状间歇地附着，所以难以沿呈条状配置的隔壁间的槽进行圆滑地涂敷。
关于这一点，如本发明者等原先申请的特愿平8-245853号或特愿平9-253749号中所公开，如果对粘度低的流动性好的荧光体墨加压，连续地从喷嘴一边喷射一边扫描，则能进行圆滑地涂敷。
可是，即使在用这样的方法涂敷了荧光体墨的情况下，驱动制成的PDP时，沿隔壁容易发生条状不匀，或者沿地址电极的缝隙容易发生条状不匀，特别是进行白色显示时存在条状不匀显眼的问题。
产生这样的条状不匀的原因，可以认为是由于在各槽中形成的荧光体层上产生若干色散或混合色所致。而且，作为产生色散的主要原因，可以举出以下几点：
(1)涂敷荧光体墨时，在荧光体墨上产生电荷，同时由于所发生的电荷量易于随作业环境或作业条件的不同而不同，所以荧光体墨的附着量易于随场所的不同而变化。
(2)在按照各颜色的顺序依次涂敷RGB三种颜色的荧光体墨的情况下，在涂敷第二种颜色、第三种颜色的荧光体墨时，先涂敷的荧光体墨被涂敷在相邻的槽中，由于受该相邻的荧光体墨产生的流变学现象的影响，所以涂敷的荧光体墨的附着状态很难一定。
另外，如果每涂敷一种颜色充分干燥后再涂敷下一种颜色，则能消除该流变学现象的影响，但由于这时干燥工序增多，所以需要增加所需要的设备，而且生产工序变得复杂。
(3)将荧光体墨涂敷在隔壁间的槽中时，为了均匀地涂敷，喷嘴最好经常位于隔壁间的槽的中央部分扫描，但即使使喷嘴笔直地扫描，如果隔壁间的槽的宽度离散或槽弯曲，则喷嘴会偏离槽的中央部分，所以不能非常均匀地涂敷。特别是在精细的单元结构的情况下容易成为问题。
(4)如果从微细的喷嘴喷射流动性好的荧光体墨，则从喷嘴开始·停止喷出时，由于喷出量变化或喷射方向变化，所以荧光体墨难以高精度地填充在隔壁内。
再者作为另外的问题，一般说来，涂敷在隔壁间的槽中的荧光体墨难以附着在隔壁侧面部分上，具有多半附着在槽的底部上的趋势，所以在隔壁侧面部分和槽底部上难以形成均衡好的荧光体层。而且，如果荧光体层的隔壁侧面部分和槽底部的均衡不好，则存在难以获得高的面板亮度的问题。
另外，喷墨法中使用的喷嘴直径需要设计得窄一些来适合隔壁间隔，所以容易引起喷嘴孔堵塞，还存在难以长时间连续地涂敷荧光体的问题。特别是在制造隔壁间距为0.15mm以下的高精细的PDP的情况下，由于有必要将喷嘴直径设计得比它小很多，所以容易发生孔堵塞的问题。
发明内容
本发明的目的在于通过提供一种能长时间地连续地涂敷荧光体墨，即使在微细的单元结构的情况下，也能容易地精度良好且均匀地形成荧光体层的PDP的制造方法、以及适用于该方法的墨涂敷装置及荧光体墨，来提供一种图像质量高的不易发生筋状色斑、而且能高亮度地进行图像显示的PDP。
根据本发明的一种等离子显示面板的制造方法，其特征在于：
包括：
荧光体墨制造步骤，通过将荧光体分散在粘合剂中制造荧光体墨；
荧光体墨涂敷步骤，一边从喷嘴喷出在上述荧光体墨制造步骤中制造的荧光体墨，一边将荧光体墨对配置了隔壁的第一板涂敷在隔壁和隔壁之间的槽中；
荧光体墨涂敷步骤，一边从喷嘴喷出荧光体墨，一边使该喷嘴沿隔壁和隔壁之间的槽相对地扫描，由此对呈条状配置了隔壁的第一板进行涂敷；以及
封装步骤，将第二板重叠封装在上述第一板上配置了隔壁的一侧，同时封入气体介质，
在上述荧光体墨涂敷步骤中，使在上述荧光体墨制造步骤中制造的荧光体墨，在紧接在从喷嘴喷出之前，用分散器再次分散。
因此，在本发明中，一边从喷嘴连续地喷出荧光体墨，通过相对地沿着配置在板上的隔壁之间的槽进行扫描、涂敷荧光体墨时，一边根据关于各槽的位置信息，调整喷嘴通过的槽内的位置。
因此，即使在槽弯曲的情况下，喷嘴也能经常通过槽的中央部分进行扫描，所以能均匀地将荧光体墨涂敷在各槽中，而且能均衡好地附着在各槽内的底部和隔壁侧面上。
另外，在本发明中，一边从喷嘴连续地喷出荧光体墨，通过相对地沿着配置在板上的隔壁之间的槽进行扫描，涂敷荧光体墨时，一边沿着槽的长度方向测定各槽的宽度，根据测定的槽的宽度，调整隔壁平均长度上涂敷的荧光体墨量，从喷嘴喷出荧光体墨。
因此，即使在槽的宽度有离散、或槽中宽度变化的情况下，也能均匀地涂敷荧光体墨。
另外，在本发明中，依次将荧光体墨涂敷在多个槽中时，喷嘴位于离开槽上方位置时一边维持使荧光体墨从喷嘴连续地喷出的状态一边涂敷。因此，能防止荧光体墨附着在喷嘴出口附近，所以能获得稳定的喷墨流。因此，能对多个槽均匀地涂敷荧光体墨。
另外，在本发明中，在连续地从喷嘴喷出荧光体墨之前，用分散器将墨再分散。由此也能提高涂敷的荧光体墨的分散性，所以能使荧光体墨均衡好地附着在各槽内的底部和隔壁侧面上。
另外，在本发明中，在制造PDP用的荧光体墨中，使用平均粒径为0.5～5微米的荧光体粉末、作为未端具有OH基的溶剂的萜品醇、丁基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇、戊烷丁二醇、柠碱等混合溶剂，同时作为粘合剂使用纤维素分子内的环氧基(-OC2H5)含量为49％以上的乙基纤维素(用环氧基置换纤维素分子内的烃基(-OH))、或乙烯氧化物系列聚合物，另外添加分散剂。这里，所谓环氧基含量是指纤维素分子内的环氧基含量而言，例如，纤维素的烃基能完全被环氧基置换的是环氧基含量为54.8％。
荧光体墨的粘度也可以设定为2000厘泊以下(最好为10～500厘泊)的低粘度。
在PDP用的荧光体墨中，迄今作为粘合剂使用乙基纤维素系列、丙烯酸系列、聚乙烯醇系列树脂，也使用萜品醇或丁基卡必醇等溶剂，但一般说来粘合剂在溶剂中难以充分溶解，存在荧光体颗粒或树脂的分散状态难以变好的问题。
与此不同，如上所述通过规定荧光体墨中使用的粘合剂的种类和溶剂的种类，能使粘合剂在溶剂中的溶解性变好，还能提高荧光体的分散性，因此，被填充在隔壁之间的槽中的荧光体墨也能很好地附着在隔壁的侧面上，不容易出现上述相邻的荧光体墨引起的流变学现象的影响。因此，能使荧光体墨均衡好地附着在各槽内的底部和隔壁侧面上。
作为荧光体墨中添加的好的分散剂的例，能举出从脂肪酸盐、烷基硫酸、酯盐、烷基苯磺酸盐、烷基磺基琥珀酸盐、以及萘磺酸聚碳酸高分子中选择的阴离子性表面活性剂、或从聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯衍生物、山梨聚糖脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、以及乙烯烷基胺中选择的非离子性表面活性剂、或从烷基胺盐、第四级铵盐、烷基甜菜碱、氨基氧化物中选择的阳离子性表面活性剂。
另外，在本发明中，在制造PDP用的荧光体墨中还添加除电物质。
因此，即使在结构精细的PDP的情况下，也能将荧光体墨均匀地涂敷在隔壁之间的槽中，另外驱动所制成的PDP时几乎不发生筋状色斑。这可以认为如果将除电物质和分散剂添加在荧光体墨中，则能防止涂敷荧光体墨时带电，所以能抑制荧光体墨的隆起的减少。
作为除电物质，能举出碳微粒、石墨微粒、金属微粒、金属氧化物微粒之类的导电性微粒、或上面作为分散剂举出的各种表面活性剂也可以作为除电物质。
另外，所添加的除电物质如果是象表面活性剂或碳微粒那样，具有在烧结时从荧光体层消失的性质或其导电性消失的性质的物质后，就不可能由于除电物质残留在荧光体层中而在驱动PDP时发生障碍。
附图说明
图1是表示与实施形态有关的交流面放电型PDP的斜视图。
图2是将电路块安装在上述PDP中的显示装置的结构图。
图3是实施形态1的墨涂敷装置的简略结构图。
图4是示意地表示实施形态1的墨涂敷装置的槽位置检测时获得的图像数据的图。
图5(a)是表示图4的局部放大图，图5(b)是示意地表示检索线L1上的各位置的亮度曲线图。
图6是图4的局部放大图的一例。
图7(a)、(b)是表示喷嘴偏离槽的中央部时的涂敷状况、以及所形成的荧光体层的形态的图。
图8是示意地表示将荧光体墨涂敷在槽中后，形成荧光体层的形态的图。
图9是示意地表示荧光体墨中的树脂粘合剂的浓度与所形成的荧光体层的形状的关系的图。
图10是本发明的荧光体墨和现有的丝网印刷等中使用的墨进行粘度比较的曲线图。
图11是表示从喷嘴喷出的荧光体墨状况的图。
图12是表示实施形态2的墨涂敷装置的斜视图。
图13是上述墨涂敷装置的正视图(局部剖面)。
图14是图12所示的喷嘴头单元的放大图。
图15是表示在上述墨涂敷装置中喷嘴头在背面玻璃基板上扫描的形态的图。
图16是上述墨涂敷装置的槽位置检测时获得的图像数据的局部放大图的一例。
图17是表示实施形态2的一变形例的图。
图18是表示实施形态3的墨涂敷装置的荧光体墨循环机构的结构图。
图19是表示在制造荧光体墨之后、到涂敷荧光体墨的工序的图。
具体实施方式
[实施形态1]
[PDP的总体结构及制造方法]
图1是表示与实施形态有关的交流面放电型PDP的斜视图，图2是将电路块安装在该PDP中的显示装置的结构图。
该PDP是这样构成的：前面面板10和背面面板20在使电极12a、12b和地址电极22相对的状态下隔开某一间隔互相平行地配置，上述前面面板10是将放电电极12(扫描电极12a、维持电极12b)、电介质层13、保护层14配置在前面玻璃基板11上构成的，上述背面面板20是将地址电极22、电介质层23配置在背面玻璃基板21上构成的。而且，前面面板10和背面面板20之间的间隙是用条状的隔壁30隔开构成的，形成放电空间40，将放电气体封入该放电空间40内。
另外，在该放电空间40内，荧光体层31配置在背面面板20一侧。该荧光体层31反复按照红、绿、蓝的顺序排列。
放电电极12及地址电极22都呈条状，放电电极12沿着与隔壁30正交的方向配置，地址电极22与隔壁30平行地配置。
另外，如图2所示，各放电电极12从面板的一端到另一端连续地横跨面板，但各地址电极22在面板的中央部被分割，能用双重扫描方式驱动。
放电电极12、地址电极22也可以用银、金、铜、铬、镍、白金等金属单独形成，但对于放电电极12来说，将宽度窄的银电极重叠在由ITO、SnO2、ZnO等导电性金属氧化物构成的较宽的透明电极上组合起来作为电极使用，在确保单元内的放电面积大方面有好处。
然后，在放电电极12和地址电极22交叉的地方形成发红、绿、蓝各色光的单元，如此构成面板。
电介质层13是由覆盖着配置了前面玻璃基板11的放电电极12的全部表面配置的电介质物质构成的层，一般说来，使用铅系列低熔点玻璃，但也可以用铋系列低熔点玻璃、或铅系列低熔点玻璃和铋系列低熔点玻璃的重叠物形成。
保护层14是由氧化镁(MgO)构成的薄层，覆盖着电介质层13的全部表面。
电介质层23混合了TiO2颗粒，以便兼有作为可见光反射层的作用。
隔壁30由玻璃材料构成，以突起的状态设置在背面面板20的电介质层23的表面上。
(PDP的制造方法)
以下说明制造该PDP的方法。
前面面板的制作：
前面面板这样制作：在前面玻璃基板11上形成放电电极12，用铅系列电介质层13覆盖在它上面，再在电介质层13的表面上形成保护层14。
放电电极12是由银构成的电极，通过用印刷法涂敷电极用的银膏剂后烧结，形成放电电极12。另外，该放电电极12也可以用喷墨方式或光刻蚀方式形成。
电介质层13这样形成：例如将70重量％的氧化铅[Pb0]、15重量％的氧化硼[B2O3]、10重量％的氧化硅[SiO2]及5重量％的氧化铝和有机粘合剂[将10％的乙基纤维素溶解在α-萜品醇中制成]混合起来，将这样混合而成的组成物用丝网印刷法进行涂敷后，通过在520℃的温度下烧结20分钟，形成厚度约20微米的电介质层13。
保护层14由氧化镁(MgO)构成，一般说来用溅射法形成，但这里用CVD法形成1.0微米的膜厚。
采用CVD法这样形成氧化镁保护层：将前面玻璃基板设置在CVD装置内，将作为源的镁化合物及氧送入其中进行反应。作为这里使用的源的具体例，可以举出乙酰丙酮镁[Mg(C5H7O2)2]、茂基镁[Mg(C5H5)2]。
背面面板的制作：
与放电电极12同样用丝网印刷法，在背面玻璃基板21上形成地址电极22。
其次，用丝网印刷法涂敷混合了TiO2颗粒的玻璃材料，通过烧结形成电介质层23。
其次，用丝网印刷法反复涂敷玻璃材料后，通过烧结形成隔壁30。
然后，在隔壁30之间的槽中形成荧光体层31。后面将详细说明该荧光体层31的形成方法，但一边从喷嘴连续地喷射荧光体墨，一边用扫描的方法沿槽涂敷荧光体墨，涂敷后，为了除去荧光体墨中含有的溶剂和粘合剂而进行烧结，形成该荧光体层31。
另外，荧光体墨干燥时为了使荧光体也多一些附着在隔壁的侧面上，所以选择隔壁30的材料时，最好选择荧光体墨对隔壁30的侧面的接触角比对槽的底面的接触角小的材料。
另外，在本实施形态中，配合40英寸级别的VGA和高清晰度电视电视，隔壁的高度为0.1～0.15mm，隔壁的间距为0.15～0.36mm。
通过面板贴合进行的PDP的制作：
其次，用封闭粘接用玻璃将这样制作的前面面板和背面面板贴合起来，同时将用隔壁30隔成的放电空间40内抽成高真空(例如8×10-7Torr)后，通过以规定的压力封入放电气体(例如He-Xe系列、Ne-Xe系列惰性气体)，制成PDP。
另外，在本实施形态中，放电气体中的Xe的含量为5体积％以上，封入压力设定在500～800Torr的范围内。
对PDP进行驱动显示时，如图2所示，安装电路块，进行驱动。
[说明荧光体墨、墨涂敷装置及涂敷方法]
荧光体墨是各色荧光体颗粒被分散在粘合剂、溶剂、分散剂等的混合物中，调整成适当的粘度而成的。
作为荧光体颗粒，一般说来能采用PDP的荧光体层中使用的颗粒，作为具体例能举出：
蓝色荧光体：BaMgAl10O17:Eu2+
绿色荧光体：BaAl12O19:Mn或Zn2SiO4:Mn
红色荧光体：(YxGd1-x)BO3:Eu3+或YBO3:Eu3+
将在后面详细说明荧光体墨的组成等。
图3是形成荧光体层31时使用的墨涂敷装置50的简略结构图。
如图3所示，在墨涂敷装置50中备有：储存荧光体墨的墨罐51、对墨罐51内的荧光体墨进行加压并送出的加压泵52、使从加压泵52送出的荧光体墨喷出的喷嘴头53、承载基板(形成了条状隔壁30的背面玻璃基板21)的基板承载台56、检测承载在基板承载台56上的背面玻璃基板21的槽32(隔壁30之间的间隙)的位置用的槽位置检测用头55等。
在该墨涂敷装置50中，背面玻璃基板21配置在基板承载台56上，且使隔壁30沿图中X方向配置。
另外，设有相对于基板承载台56相对地驱动喷嘴头53及槽检测用头55的驱动机构(图中未示出)，根据来自控制器60的指示，沿基板承载台56的表面能在X轴方向及Y轴方向上进行扫描。另外，作为该驱动机构，使用三轴自动装置等中使用的输送螺旋机构和线性电动机、或汽缸机构，能驱动喷嘴头53及槽检测用头55、或基板承载台56即可，在实施形态2中说明其具体例。
另外，设有检测各头53、55在基板承载台56上沿X轴·Y轴方向的位置、即(X、Y)坐标的位置检测机构(图中未示出)，以便能用控制器60检测它们的坐标位置。也可以设置线性传感器作为该位置检测机构，但例如在X轴或Y轴驱动机构中，在使用象脉冲电动机那样能准确地控制驱动量的驱动源的情况下，如果设置通过X轴或Y轴的基准位置时能检测该基准位置的基准位置检测传感器，则能根据该驱动源的驱动量，测定X轴或Y轴方向的位置。
喷嘴头53是通过对金属材料进行机械加工及放电加工，还包括墨室53a和喷嘴54的部分呈一体形成的。
从加压泵52供给的荧光体墨一旦被储存在墨室53a中，便从喷嘴54连续地喷射墨束。
这里，虽然在喷嘴头53上只设置一个喷嘴54，但也能设置多个喷嘴54，喷射多束墨，在此情况下，用墨室53a分配荧光体墨，同时加在每个喷嘴上的压力被均匀化。
喷嘴54的口径如后面用图11所说明，考虑到使墨不致从隔壁间的槽中溢出，与隔壁的间距相比被设定得小很多即可，但还必须不会引起喷嘴的堵塞。通常设定在数十至数百微米的范围内，但它随着荧光体墨的喷出量等条件而变。
另外，在墨罐51中设有搅拌器51a，以便防止储存的荧光体墨中的颗粒(荧光体颗粒等)沉淀。
槽检测用头55沿承载在基板承载台56上的背面玻璃基板21的表面扫描，测定该表面上各位置的特性(例如从表面反射的光量、表面的介电系数等)，根据该槽检测用头55的测定结果，能获得背面玻璃基板21上的各槽32的位置信息。
这里，如图3所示，槽检测用头55备有沿Y方向的CCD线传感器57、以及使从背面玻璃基板21上表面反射的光在CCD线传感器57上成像的透镜58，用来取入CCD线传感器57的相当于Y轴方向宽度的背面玻璃基板21上表面的图像数据，并输送给控制器60。
[由墨涂敷装置50的槽位置检测及墨涂敷操作的说明]
用这样的墨涂敷装置50获得隔壁30之间的槽32a、32b、32c的位置信息，根据这些信息一边控制喷嘴头53通过的槽内的位置，一边按照各槽32a、32b、32c的顺序涂敷各色荧光体墨。以下，给出其具体例。
首先，将背面玻璃基板21置于基板承载台56上，使槽检测用头55一边沿X轴方向扫描，一边一次一次地沿Y方向错开反复进行摄像操作，从而将背面玻璃基板21全部表面上的图像数据依次发送给控制器60。在控制器60中，取入从槽检测用头55发送来的图像数据，将对应于基板承载台56上的坐标和亮度的图像数据存储在存储器中。
图4是示意地表示这样获得的图像数据的图，图中，斜线部分相当于背面玻璃基板21，其中空白部分相当于隔壁30的上表面的部分。
其次，根据所获得的图像数据设定扫描线。
在图4中用斜线表示及空白表示加以区分，在该图像数据中由于考虑到相当于隔壁30之间的槽32a、32b、32c的部分、以及相当于隔壁30的上表面的部分的亮度等级不同(一般说来由于槽部分比隔壁上面部分反射的光量少，所以较暗)，所以将亮度等级急剧变化的地方看作是各槽32a、32b、32c的边缘(槽和隔壁的边界线)，在各槽32a、32b、32c中在两边缘的中间设定扫描线S即可。
以下，更具体地说明设定扫描线的方法。
在图4所示的图像数据中，横切隔壁30平行于Y轴以等间距划出多条检索线L。
图5(a)是图4的局部放大图，图中，划出了检索线L1、L2、L3、...L6。
图5(b)是示意地表示检索线L1上的各位置的亮度的曲线图，示出了在相当于隔壁30上表面的位置呈高亮度形态，在相当于槽32a、32b、32c的位置呈低亮度的形态。
在图5(a)中的检索线L1上，求亮度急剧变化的点(P11、P12、P13、...、P18)的Y坐标，即，在图5(b)所示的曲线中求上升及下降的Y坐标。同样，也对图5(a)中的检索线L2、L3、...L6求亮度急剧变化的亮度变化点(P21、P22、P23、...、P28)、亮度变化点(P31、P32、P33、...、P38)、...亮度变化点(P61、P62、P63、...、P68)的Y坐标。
然后，求亮度变化点P11和P12的中点Q11、亮度变化点P21和P22的中点Q21、...、亮度变化点P61和P62的中点Q61的坐标，通过连接中点Q11、中点Q21、...、中点Q61，设定图5(a)左端的槽32a的扫描线S1。关于从图5(a)左端算起的第二、第三、第四个槽也与上述相同，通过连接亮度变化点的中点坐标，设定扫描线S2、S3、S4。
这样设定了扫描线S后，使喷嘴54一边沿各扫描线进行扫描，一边从喷嘴(54)喷射各色荧光体墨，将荧光体墨涂敷在槽32a、32b、32c中。具体地如下进行。
首先，使蓝、绿、红中第一种颜色(例如蓝色)的荧光体墨进入墨罐51。
控制器60将喷嘴头53移动到最初欲涂敷的槽32a的扫描线S的一端，驱动加压泵52，压送荧光体墨。因此，荧光体墨呈连续流状态从喷嘴54喷出。喷嘴54的下端和隔壁上表面的距离虽然取决于墨喷出量等条件，但通常设定为0.5～3mm。
在该状态下，控制器60虽然使喷嘴头53沿X方向扫描，但一边调整喷嘴头53在Y方向上的位置，一边使喷嘴54沿扫描线S扫描。
控制器60其次使喷嘴头53沿Y轴方向挪动，使喷嘴头53移动到下一次欲涂敷的槽32a的扫描线S的一端，一边从喷嘴喷出荧光体墨，一边向相反的方向高速扫描背面玻璃基板21，从而喷嘴54沿扫描线S通过喷嘴头53一边扫描一边涂敷荧光体墨。
然后，通过反复进行这样的操作，将第一种颜色的荧光体墨涂敷在背面玻璃基板上的全部槽32a中。
其次，同样地将第二种颜色(例如绿色)的荧光体墨涂敷在相邻的槽32b中，再将第三种颜色(例如红色)的荧光体墨涂敷在相邻的槽32c中。因此，三种颜色的荧光体墨被涂敷在各槽32a、32b、32c中。
如果采用这样的荧光体墨的涂敷方法，则如图6(a)所示，即使槽32a、32b、32c相对于X轴倾斜，或者则如图6(b)所示，即使槽32a、32b、32c弯曲，也能设定扫描线S，以便经常通过各槽的中央部，由于喷嘴54沿该扫描线S进行扫描，所以荧光体墨能被经常涂敷在槽两侧的隔壁侧面上，能沿槽均匀地涂敷荧光体墨。
即，如图6(a)(b)所示，在槽32a、32b、32c相对于X轴倾斜或者弯曲的情况下，假如不使喷嘴54沿Y方向移动，而是直线地平行于X轴扫描，则如图7(a)所示，喷嘴54偏离槽32的中央部而处于靠近某一侧(在图7中为左侧)的隔壁30的地方，在这样的地方，荧光体墨多半容易附着在靠近一侧的隔壁侧面上，如图7(b)所示，所形成的荧光体层也容易在一侧的隔壁侧面上形成得厚。而且在极端的情况下，喷嘴54跑到槽外，也有可能造成混色。与此不同，如果采用本实施形态的涂敷方法，则不管在什么地方，荧光体墨都能被均等地涂敷在两侧面上。
另外，喷嘴不一定在所设定的扫描线的正上方扫描，如果离开各扫描线不太远进行扫描，也能获得这样的效果。
(关于荧光体墨的喷出量的控制)
可是，隔壁30的间距是一定的，如果各槽32a、32b、32c的宽度均匀，则喷嘴的扫描速度及墨的喷出量(每单位时间来自喷嘴的喷出量)设定得一定即可，但是在槽的宽度有离散、或槽中宽度变动的情况下，如果使喷嘴的扫描速度及墨的喷出量一定，则荧光体墨的附着状态(朝向槽的底部及侧面的均衡附着)变得不均匀。这是因为在槽的宽度宽的地方比在槽的宽度窄的地方所涂敷的荧光体墨被分散在较大的面积上，所以涂敷在隔壁侧面的荧光体墨变少所致。
另外在槽的宽度小的地方，荧光体墨的涂敷量过大，溢出到相邻的槽中，有引起混色的可能性。
对此，对应于槽的宽度的变动，通过如下调整对荧光体墨施加的压力，控制喷出量，或控制扫描速度，能消除上述混色的现象。
在图4所示的图像数据中，在检索线L上预先测定各槽32a、32b、32c的宽度，使喷嘴54进行扫描涂敷墨时，根据所测得的槽的宽度，使X轴方向的每单位长度的墨的涂敷量与槽的宽度成正比地控制加压泵52的压力或X轴驱动机构的驱动速度。
例如，对图5(a)中的扫描线S1预先测定点Q11处的槽的宽度(点P11和点P12之间的距离)、点Q21、...点Q61处的槽的宽度。然后，用喷嘴54在扫描线S1上扫描时，在喷嘴54通过各点Q11、Q21、...Q6时，使加压泵52施加的压力与上述测定的槽的宽度成正比。
通过这样控制，沿X轴方向每单位长度涂敷的荧光体墨的量与槽的宽度大致成正比，所以即使在槽的宽度有离散或变动的情况下，荧光体墨的附着状态也能均匀，另外，即使在槽的宽度小的地方也不会产生颜色的混合。
(获得槽的位置信息的方法或喷嘴扫描方法的变形例等)
在本实施形态中，虽然给出了用槽检测用头55拍摄背面玻璃基板21的全部上表面的图像，从该图像数据获得槽的位置信息，用它设定扫描线的例，但设定扫描线的方法不限于此。
例如，通过使备有沿X轴方向延伸的CCD线传感器的头横切隔壁30沿Y轴方向扫描，也能求亮度变化点。即，如果检测出相当于图5(a)的检索线L1、L2、...的线上的亮度，则同样能求出亮度变化点，能设定扫描线。
另外，在上述实施形态中，虽然检测亮度急剧变化的点，将其断定为槽的边缘，但例如，将距离传感器配置在槽检测用头55上，同样在背面玻璃基板21的上表面进行扫描，检测来自距离传感器的距离急剧变化的点，也能将其断定为槽的边缘。
或者，将测定介电系数的电介质测定传感器配置在槽检测用头55上，同样在背面玻璃基板21的上面进行扫描，检测电介质急剧变化的点，也能将其断定为槽的边缘。
另外，在上述墨涂敷装置50中，虽然喷嘴头53和槽检测用头55能分别独立地驱动，但即使一体地驱动它们，也能进行与上述同样的操作。
在上述墨涂敷装置50中，虽然给出了预先沿背面玻璃基板21的全部上表面，用槽检测用头55检测槽的位置，设定扫描线，然后开始涂敷荧光体墨的例，但也可以并行地进行。即，一边使喷嘴头53进行扫描，一边涂敷荧光体墨，然后对欲涂敷墨的槽，与获得图像数据的同时设定扫描线，对该槽涂敷墨时一边控制喷嘴头53对准该扫描线，一边进行扫描。
即，为了使喷嘴头53进行扫描，如果先行设定扫描线，则能控制喷嘴头53对准扫描线，可以认为具有与上述实施形态同样的效果。
因此，例如将在喷嘴头53的扫描方向的前方检测槽的中央位置的槽检测器(CCD线传感器)安装在该喷嘴头53上，使喷嘴头53扫描时用该槽检测器先行于喷嘴头53检测槽的中央位置，能一边控制喷嘴头53使之通过检测的中央位置，一边进行扫描。但这时需要预先迅速地进行槽的中央位置检测及沿y轴方向的驱动。
除此之外，也可以预先将槽检测器设置在喷嘴头53上，算出用该槽检测器检测的槽的中央位置和喷嘴位置的偏移，进行沿y轴方向驱动喷嘴头53的反馈修正以便不产生该位置偏移。。
另外，在上述实施形态中，虽然说明了在喷嘴头53上设置一个喷嘴54的情况，但即使在喷嘴头53上设置多个喷嘴54的情况，也能同样地实施。
在此情况下，一边沿Y轴方向调整喷嘴头53，一边使各喷嘴54沿各扫描线进行扫描。例如，将喷嘴间距设定为隔壁间距的3倍，这样进行喷嘴头53的位置调整：将设定在各槽32a的中央的各扫描线平均化的扫描线作为喷嘴头53的扫描线，一边沿Y轴方向调整喷嘴头53，使其与该头的扫描线一致，一边进行扫描。
因此，能对多个槽并行地涂敷荧光体墨。
如果设置在喷嘴头53上的喷嘴54的个数是一个的话，虽然需要槽32a、32b、32c的条数的流水作业次数，但如上所述如果在喷嘴头53上设置多个喷嘴54，则能减少流水作业次数。例如如果在喷嘴头53上设置3个喷嘴54，则一次扫描能涂敷3条槽，所以不言而喻能使流水作业次数减少到1/3。
在高精细的PDP中，背面玻璃基板21上设置的槽32a、32b、32c的条数从数百至数千条，非常多(例如，在42英寸级别的16:9型VGA等级的PDP显示装置中，每一种颜色有850条左右的槽，在HD型的情况下每一种颜色有1920条槽)。因此，通过增加喷嘴54的个数，能相当大地提高作业效率。
另外，在本实施形态中，给出了涂敷第一种颜色的荧光体墨结束后，涂敷下一种颜色的方法，但将3种颜色的喷嘴头设置在墨涂敷装置50上，能并行地涂敷3种颜色的荧光体墨。
[荧光体墨的组成]
(1)荧光体颗粒
为了抑制喷嘴孔的堵塞和荧光体颗粒的沉淀，荧光体墨中使用的荧光体颗粒的平均粒径在5微米以下即可。另外，荧光体为了获得良好的发光效率，荧光体的平均粒径在0.5微米以上即可。因此，作为荧光体颗粒，最好使用平均粒径为0.5～5微米的荧光体颗粒，特别是最好使用2～3微米范围内的荧光体颗粒。
另外，为了提高荧光体颗粒的分散性，使氧化物或氟化物附着或将其涂敷在荧光体颗粒的表面上是有效的。
作为附着或涂敷在荧光体颗粒的表面上的金属氧化物的例，可以举出：氧化镁(MgO)、氧化铝(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、氧化铟(InO3)、氧化锌(ZnO)、氧化钇(Y2O3)。其中，SiO2已知是带负电的氧化物，另一方面，ZnO、Al2O3、Y2O3是带正电的氧化物，使这些氧化物附着或涂敷它们特别有效。
附着的氧化物的粒径比荧光体颗粒的粒径小很多，这些氧化物在荧光体颗粒表面上的附着量相对于荧光体颗粒在0.05～2.0重量％的范围内是适当的。这是因为如果比该范围少很多，则效果不好，如果多很多，则在等离子体中会吸收所发生的真空紫外线，面板的亮度降低。
作为附着或涂敷在荧光体颗粒的表面上的氟化物的例，可以举出：氟化镁(MgF2)和氟化铝(AlF3)。
(2)粘合剂
作为适合于良好地分散荧光体颗粒的粘合剂，可以举出乙基纤维素或聚乙烯氧化物(乙烯氧化物的聚合物)，特别是最好使用环氧基(-OC2H5)的含有率为49～54％的乙基纤维素。
另外，作为粘合剂也可以使用感光性树脂。
(3)溶剂
作为溶剂，最好使用混合了有氢氧基(OH基)的有机溶剂的溶剂，作为该有机溶剂的具体例，可以举出：萜品醇(C10H18O)、丁基卡必醇乙酸酯、戊烷丁二醇(2，2，4-三甲戊烷丁二醇一异丁酸酯)、二戊烯(Dipentene，别名Limonen)、丁基卡必醇等。
混合了这些有机溶剂的混合溶剂溶解上述的粘合剂的溶解性能好，能使荧光体墨具有好的分散性能。
作为荧光体墨中的荧光体的含量，最好为35～60重量％，作为粘合剂的含量，在0.15％～10重量％的范围内是适宜的。
另外，为了调整涂敷在后面所述准备的槽中的荧光体墨的形状，粘合剂的含量最好在墨粘度不变得太大的范围内设定得稍大。
(4)分散剂
通过再将分散剂添加在上述组成的荧光体墨中，能提高墨中的荧光体颗粒的分散性。
作为分散剂，能举出以下的表面活性剂。
*阴离子性表面活性剂：
脂肪酸盐、烷基硫酸、酯盐、烷基苯磺酸盐、烷基磺基琥珀酸盐、萘磺酸聚碳酸高分子。
*非离子性表面活性剂：
聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯电介质、山梨聚糖脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺。
*阳离子性表面活性剂：
例如，烷基胺盐、第四级铵盐、烷基甜菜碱、氨基氧化物。
(5)除电物质
另外，最好将除电物质也添加在荧光体墨中。
在上述(4)中作为分散剂举出的表面活性剂，一般说来都具有防止荧光体墨带电的除电作用，有许多物质适合于作为除电物质。但由于随着荧光体、粘合剂、溶剂的种类的不同，其除电的作用也不同，所以可以对各种各样的表面活性剂进行试验，选择效果好的。
作为表面活性剂的添加量，0.05～0.3重量％是适当的，如果比该范围小，则不太能期待提高分散性或除电效果，另一方面，如果比该范围大，则会影响亮度，所以不好。
作为除电物质，除了表面活性剂以外，还能举出由导电性材料构成的微粒。
作为导电性微粒，能举出：以碳黑为主的碳微细粉末、石墨微细粉末、Al、Fe、Mg、Si、Cu、Sn、Ag等金属微细粉末、以及由这些金属氧化物构成的微细粉末。
这样的导电性微粒相对于荧光体墨的添加量最好在0.05～1.0重量％的范围内。
通过将除电物质添加在荧光体墨中，虽然能防止荧光体墨带电，但它在PDP的生产中具有以下效果。
在荧光体墨中未添加除电物质的情况下，驱动所制作的面板时，存在容易发生筋状色斑的问题，通过将除电物质添加在荧光体墨中，能抑制筋状色斑的发生。
另外，在荧光体墨中不添加除电物质的情况下，由于荧光体墨带电，所以在面板中央部的地址电极22的切缝(参照图2)中容易产生荧光体层隆起的问题，但通过将除电物质添加在荧光体墨中，能抑制该现象的发生。
这些现象可以认为是由于涂敷时荧光体墨(特别是使用有机溶剂的墨)带电，所以各槽中涂敷的荧光体墨的量或在槽上的附着状态产生若干离散，但通过将除电物质添加在荧光体墨中，能防止它带电。
另外，通过抑制带电，能防止由液滴的飞溅引起的混色。
另外，如上所述，作为除电物质使用了表面活性剂或碳微细粉末的情况下，在除去荧光体墨中含有的溶剂或粘合剂的荧光体烧结工序中，由于除电物质也蒸发或被烧掉，所以在烧结后的荧光体层中不残留除电物质。因此，也不存在由于除电物质残留在荧光体层中而对PDP的驱动(发光工作)造成障碍。
[荧光体墨的制造方法]
将0.2～10重量％的上述粘合剂溶解在溶剂中，再将各种颜色的荧光体颗粒调合在其中，用分散器使荧光体颗粒分散，从而制成荧光体墨。
作为制造荧光体墨的分散器，除了使用球进行分散的振动机器或搅拌槽型机器(球磨机、珠磨机、砂磨机等)以外，还能举出：不使用球进行分散的流通管型机器、射流机器、纳米级锥钻等。
作为振动机器或搅拌槽型机器的分散媒体(介质)，使用氧化锆或氧化铝球，特别是最好使用直径为0.2～2mm的氧化锆(ZrO2)球。这是为了抑制造成荧光体粉末的损伤，同时抑制杂质的混入(污染)。
在使用射流机器的情况下，最好在10～100kgf/cm2的压力范围内进行分散。该压力范围好的原因在于小于10kgf/cm2时，不能充分地分散，超过100kgf/cm2时，荧光体颗粒有破碎的危险。
荧光体墨的粘度(25℃时剪切速度为100sec-1时的粘度)调整在2000厘泊以下，最好调整在10～500厘泊的范围内。
使氧化物或氟化物附着在荧光体颗粒的表面上的方法可如下进行：例如将氧化镁(MgO)、铝氧化物(Al2O3)、氧化硅(SiO2)、氧化铟(InO3)等金属氧化物的悬浮液、或氟化镁(MgF2)、氟化铝(AlF3)等金属氟化物的悬浮液加在荧光体颗粒的悬浮液中，混合搅拌后，进行抽滤，在125℃以上的温度下干燥后，在350℃的温度下进行烧结。这里，为了提高荧光体颗粒和氧化物、氟化物的粘接力，也可以将少量的树脂、硅烷耦联剂(silane coupler)或水玻璃(water glass)添加在上述悬浮液中。
另外，例如为了将铝氧化物(Al2O3)膜涂敷在荧光体颗粒的表面上，可以通过将荧光体颗粒加在作为铝的醇盐的Al(OC2H6)3的乙醇溶液中，进行搅拌来实现。
[本实施形态的荧光体墨的作用和效果]
如上所述，本实施形态的荧光体墨由于分散性好，所以一旦被涂敷在隔壁之间的槽中，对隔壁侧面的附着性好。以下说明其原理。
图8是模式地表示将荧光体墨涂敷在隔壁之间的槽中后，形成荧光体层的形态的图。
如果将流动性好的荧光体墨填充在隔壁30之间，则重力F1作用在被填充的荧光体墨中的荧光体颗粒上，使其沉淀在底部。
另一方面，欲使其沿隔壁侧面方向移动的力F2也作用在荧光体墨中的荧光体颗粒上。该力F2是伴随荧光体墨中的溶剂在隔壁30中扩散，由于粘合剂的作用而互相结合的荧光体颗粒也被拉向隔壁方向所产生的力。
在隔壁之间的槽中最终形成的荧光体层的形状由这些力F1和F2的平衡决定，但由于荧光体墨的分散性越好，力F2就越大，所以可以认为荧光体墨对隔壁侧面的附着性就越好。
另外，是与如上所述，最好把荧光体墨中的粘合剂的含量设定得稍大的原理相同的，由于通过把粘合剂的含量设定得稍大，来提高力F2，所以能提高荧光体墨对隔壁侧面的附着性。
而且，如果提高荧光体在隔壁侧面上的附着力，则在隔壁侧面上形成的荧光体层的比例增大，有助于提高PDP的面板亮度。这是因为能将在距离显示电极近的地方发生的紫外线有效地转变为可见光。
图9是示意地表示改变了荧光体墨中的树脂粘合剂的浓度时，所形成的荧光体层的形状如何变化的图。
如本图所示，在树脂浓度小的情况下，荧光体颗粒大部分都沉淀在底上，只在底上形成荧光体层，但随着树脂浓度的增大，由于荧光体颗粒之间的结合力变大，所以附着在隔壁侧面上的荧光体的量增多，如果树脂浓度提高到某种程度以上，就会只在隔壁侧面形成荧光体层。
另外，在将多种颜色的荧光体墨依次涂敷在槽中的情况下很多，在涂敷第二、第三种颜色的荧光体墨时，由于荧光体墨已经涂敷在相邻的槽中，所以溶剂已经浸透了隔壁。因此，涂敷在新的槽中的荧光体墨中的溶剂难以浸透该隔壁，因此，如果使用分散性不好的荧光体墨，则力F2几乎不起作用。
可是，如果如本实施形态所示使用分散性好的荧光体墨，则即使在荧光体墨这样涂敷在相邻的槽中的情况下，由于某种程度的力F2起作用，所以荧光体墨在隔壁侧面上的附着性比较好。
另外，通常喷嘴54的口径设定得比隔壁间距小，为了从细的喷嘴稳定地喷出荧光体墨，需要将墨的粘度设定得相当低。如图10所示，与现有的丝网印刷等中使用的墨的粘度相比，需要使粘度大约低两个数量级。
因此，虽然喷嘴容易发生堵塞，但本实施形态的荧光体墨由于荧光体颗粒的分散性好，所以喷嘴不容易堵塞，因此能连续地长时间地涂敷荧光体墨，能连续地涂敷100小时以上。
将喷嘴54的口径设定得比隔壁间距小很多的理由如下。
图11是表示从喷嘴喷出的荧光体墨状况的图。
如图11(a)所示，荧光体墨从喷嘴喷出后，荧光体墨表现出膨胀的倾向。这是所谓的镇定效应。如果考虑到这一点，则喷嘴直径d有必要比隔壁间距小很多。例如，在VGA级别的隔壁的间距为360微米的情况下，需要将喷嘴直径d设定为100微米左右，在HD级别的情况下，需要将喷嘴直径d设定得非常小，约为50微米。
(涂敷荧光体墨的方法的变形例)
从喷嘴喷出这样的低粘度的荧光体墨之后，一旦停止喷出，如图11(b)所示，停止后的墨流偏离喷流轴，墨流容易变得不稳定。
其理由是如果停止墨的喷出，则荧光体墨便附着在喷嘴前端的出口周围(喷嘴下表面)，其润湿性发生微妙的变化，特别是喷嘴周围的润湿长度小，墨的粘度小时变得显著。
作为其对策，使荧光体墨连续地从喷嘴54喷出，依次涂敷多个槽时，连续地喷出荧光体墨即可。
即，喷嘴54在离开槽的位置时也不停止荧光体墨的喷出，如果采用这样的连续涂敷的方法，则由于能防止喷嘴前端下面的荧光体墨的附着，所以能防止图11(b)所示的墨束偏离喷流轴的现象。
例如，在对背面玻璃基板21全体进行一种颜色的涂敷结束之前，如果继续喷出荧光体墨，则由于在此期间能防止墨束偏离喷流轴，所以能稳定地涂敷。
[实施例1]
根据本实施形态，改变荧光体颗粒、树脂、溶剂的种类及量等，制作荧光体墨，涂敷所制作的荧光体墨，制成了PDP。
(表1)
    试样编号 荧光体的种类和粒径及荧光体的含量   树脂的种类和性质及树脂含量   混合溶剂及其含量 分散剂的种类及其含量     墨的粘度(厘泊) 荧光体在侧壁上的附着状态 颜色混合状态   面板亮度(cd/m2)
1 蓝BaMgAl10O17:Eu 3.0μm 50重量％红(YGd)BO3:Eu    3.0μm 60重量％绿Zn2SiO4:Mn     3.0μm 55重量％   环氧基含有率48％的乙基纤维素蓝0.15重量％红0.2重量％绿0.45重量％   二苯烯蓝49.8重量％红39.7重量％绿44.5重量％ 聚氧化乙烯烷基氨蓝0.05重量％红0.1重量％绿0.05重量％ 30 一直附着到侧壁上部 无 530
2 蓝BaMgAl10O17:Eu 2.5μm 45重量％红(YGd)BO3:Eu    2.5μm 55重量％绿Zn2SiO4:Mn     2.5μm 50重量％   环氧基含有率50％的乙基纤维素蓝0.3重量％红0.3重量％绿0.5重量％ 柠碱蓝54.6重量％红44.55重量％绿49.4重量％ 聚碳酸高分子蓝0.1重量％红0.15重量％绿0.1重量％ 20 ″ ″ 545
3 蓝BaMgAl10O17:Eu 0.5μm 35重量％红Y2O3:Eu        0.5μm 35重量％绿Zn2SiO4:Mn     0.5μm 40重量％   环氧基含有率54％的乙基纤维素蓝0.15重量％红0.2重量％绿0.3重量％ 丁基卡必醇蓝64.65重量％红64.5重量％绿59.5重量％ 聚氧化乙烯烷基醚蓝0.2重量％红0.3重量％绿0.2重量％ 500 ″ ″ 552
(表2)
  试样编号     荧光体的种类和粒径及荧光体含量 树脂的种类和性质及树脂含量 混合溶剂及其含量 分散剂的种类及其含量     墨的粘度(厘泊)   荧光体在侧壁上的附着状态   颜色混合状态     面板亮度(cd/m2)
4 蓝BaMgAl10O17:Eu 2.0μm 50重量％红(YGd)BO3:Eu    2.0μm 50重量％绿Zn2SiO4:Mn     2.0μm 45重量％ 环氧基含有率48％的乙基纤维素蓝0.5重量％红0.4重量％绿0.6重量％ 丁基卡必醇戊烷丁二醇蓝54.3重量％红49.4重量％绿54.3重量％ 聚氧化乙烯磷酸钾盐蓝0.15重量％红0.15重量％绿0.1重量％ 25 一直附着到侧壁上部 无 540
5 蓝BaMgAl10O17:Eu 5.0μm 60重量％红(YGd)BO3:Eu    5.0μm 65重量％绿Zn2SiO4:Mn     5.0μm 60重量％ 环氧基含有率50％的乙基纤维素蓝1.0重量％红0.8重量％绿1.5重量％ 丁基卡必醇柠碱蓝38.7重量％红33.8重量％绿38.2重量％ 聚氧化乙烯蓝0.1重量％红0.3重量％绿0.1重量％ 15 ″ ″ 550
6 蓝BaMgAl10O17:Eu 0.5μm 40重量％红Y2O3:Eu        0.5μm 35重量％绿Zn2SiO4:Mn     0.5μm 40重量％ 环氧基含有率54％的乙基纤维素蓝0.3重量％红0.35重量％绿0.45重量％ 戊烷丁二醇柠碱蓝59.5重量％红64.45重量％绿59.35重量％ 山梨聚糖蓝0.2重量％红0.2重量％绿0.2重量％ 85 ″ ″ 557
(表3)
  试样编号 荧光体的种类和粒径及荧光体含量   树脂的种类和性质及树脂含量   混合溶剂及其含量   分散剂的种类及其含量     墨的粘度(厘泊)   荧光体在侧壁上的附着状态   颜色混合状态   面板亮度(cd/m2)
7 蓝BaMgAl10O17:Eu 3.0μm 50重量％红(YGd)BO3:Eu    3.0μm 60重量％绿Zn2SiO4:Mn     3.0μm 55重量％ 聚乙烯氧化物蓝1.5重量％红1.4重量％绿1.2重量％   萜品醇与甲醇的混合液蓝48.4重量％红38.5重量％绿43.7重量％   甘油三油酸盐蓝0.1重量％红0.1重量％绿0.1重量％ 100 一直附着到侧壁上部 无 538
8 蓝BaMgAl10O17:Eu 2.0μm 45重量％红(YGd)BO3:Eu    2.0μm 55重量％绿Zn2SiO4:Mn     2.0μm 50重量％   聚乙烯氧化物蓝1.0重量％红0.9重量％绿0.8重量％   萜品醇与甲醇的混合液蓝53.85重量％红43.95重量％绿49.05重量％   高分子不饱和碳酸盐蓝0.1重量％红0.15重量％绿0.15重量％ 150 ″ ″ 545
9 蓝BaMgAl10O17:Eu 1.5μm 40重量％红Y2O3:Eu        1.5μm 50重量％绿Zn2SiO4:Mn     1.5μm 45重量％   聚乙烯氧化物蓝0.7重量％红0.6重量％绿0.5重量％   萜品醇与甲醇的混合液蓝59.1重量％红49.1重量％绿54.2重量％   高分子碳酸盐蓝0.2重量％红0.3重量％绿0.3重量％ 400 ″ ″ 550
(表4)
试样编号   荧光体的种类和粒径及荧光体含量   树脂的种类和性质及树脂含量 混合溶剂及其含量 分散剂的种类及其含量     墨的粘度(厘泊)   荧光体在侧壁上的附着状态   颜色混合状态   面板亮度(cd/m2)
10* 蓝BaMgAl10O17:Eu 3.0μm 50重量％红(YGd)BO3:Eu    3.0μm 50重量％绿Zn2SiO4:Mn     3.0μm 50重量％   丙烯酸树脂蓝13.95重量％红13.95重量％绿13.95重量％ 萜品醇蓝36重量％红36重量％绿36重量％ 甘油三油酸盐蓝0.05重量％红0.1重量％绿0.05重量％ 25 一直附着到侧壁上部 无 480
11* 蓝BaMgAl10O17:Eu 2.5μm 45重量％红(YGd)BO3:Eu    2.5μm 55重量％绿Zn2SiO4:Mn     2.5μm 50重量％   环氧基的含有率50％的乙基纤维素蓝0.3重量％红0.3重量％绿0.5重量％ タ-ピネオ-ル蓝54.7重量％红44.7重量％绿49.5重量％ 无 45 ″ ″ 475
12* 蓝BaMgAl10O17:Eu 60重量％红Y2O3:Eu        60重量％绿Zn2SiO4:Mn     60重量％   聚乙烯醇蓝4.0重量％红4.0重量％绿4.0重量％ 水蓝36重量％红36重量％绿36重量％ 无 100 ″ ″ 460
表1、2、3中的No.1～9是与实施例有关的项，通过使用0.2mm～2mm的氧化锆球的砂磨机进行分散，制作了荧光体墨。
荧光体的粒径、树脂的种类和量、溶剂的种类和量、表面活性剂、分散剂的种类和量、敷涂时荧光体墨的粘度(25℃时剪切速度为100sec-1时的粘度)等如表1～3所示。
制作实施例的PDP时，背面玻璃基板21中的隔壁30的间距设定为0.15mm，高度设定为0.15mm。
使各色荧光体墨一直填充到各槽的上部这样涂敷后，通过在500℃的温度下烧结10分钟，形成了荧光体层。封入的放电气体使用含有10％的氙(Xe)气的氖(Ne)气，封入压力为500Torr。
另一方面，表4中的试样No.10～12是比较例的试样，制作荧光体墨时，在试样No.10中配合了丙烯酸树脂和分散剂(グリセリルトリオレ-ト)的组合，在试样No.11中，将环氧基的含量为50％的乙基纤维素和夕萜品醇组合起来，但未添加分散剂。另外，在试样No.12中，将聚乙烯醇和水组合起来，但未加入分散剂。除此以外，设定得与实施例的试样No.1～9相同，制作了比较例。
比较试验：
然后，对于所制作的各PDP测定了荧光体在隔壁侧面上的附着状态、混色的有无、面板亮度。
通过使PDP发出每一种颜色的光，并测定其发光的颜色，断定了有无混色。
其结果，在实施例及比较例的任何一个PDP中，荧光体都一直附着到隔壁侧面的上部，也未发现混色的发生。
用频率为30KHz的放电维持电压150V驱动PDP，用面板亮度计测定了面板亮度。其结果，如表1～4所示。
另外，在调整了驱动这些PDP时发生的紫外线的波长后，主要观察了由以173nm为中心的Xe分子线引起的驱动波长。
另外，还对所制作的各荧光体墨进行了从喷嘴长时间连续地喷出墨的实验。其结果，实施例的荧光体墨都能连续喷出100小时，但比较例的荧光体墨在8小时内就发生了喷嘴堵塞。
考察：
如表1～4所示，关于亮度，实施例(No.1～9)的面板亮度为530cd/m2以上，比比较例(No.10～12)的面板亮度(460～480cd/m2)好。这可以认为实施例的PDP比起比较例的PDP来，附着在隔壁侧面上的荧光体层相对于槽的底面的比例大所致。
[实施例2]
在本实施例(试样No.21、22)中，使用在红(Y、Gd)BO3:Eu、蓝BaMgAl10O17:Eu、绿ZnSiO4:Mn各色荧光体颗粒的表面上附着(涂敷)了带负电的氧化物(SiO2)颗粒的荧光体墨。
(表5)
  试样编号   附着在荧光体上的材料(重量％)、荧光体的种类和粒径及荧光体的含量   树脂和种类和性质及树脂含量 溶剂及其含量 能从喷嘴连续喷出的时间     墨的粘度(厘泊) 荧光体在侧壁上的附着状态   面板亮度cd/m2
21   涂敷相对于荧光体重量为0.1％的、粒径为0.2μm的SiO2蓝BaMgAl10O17:Eu 3.0μm 50重量％红(YGd)BO3:Eu    3.0μm 50重量％绿Zn2SiO4:Mn     3.0μm 50重量％   环氧基含有量50％的乙基纤维素蓝0.5重量％红0.2重量％绿2.0重量％   萜品醇和戊烷丁二醇(1/1)蓝49.5重量％红49.8重量％绿48.0重量％ 能连续100小时 70 一直附着到侧壁上部 558
22   涂敷相对于荧光体重量为0.05％的、粒径为0.2μm的SiO2蓝BaMgAl10O17:Eu 3.0μm 50重量％红(YGd)BO3:Eu    3.0μm 50重量％绿Zn2SiO4:Mn     3.0μm 50重量％   环氧基含有量50％的乙基纤维素蓝0.5重量％红0.2重量％绿2.0重量％   萜品醇和戊烷丁二醇(1/1)蓝49.5重量％红49.8重量％绿48.0重量％ 能连续100小时 150 一直附着到侧壁上部 550
使SiO2颗粒附着在荧光体颗粒的表面上的方法如下：首先，制作各色荧光体的悬浮液、以及SiO2颗粒(颗粒直径为荧光体颗粒的1/10以下)的悬浮液，将所制作的两种悬浮液混合搅拌后，进行抽滤，再在125℃以上的温度下干燥后，在350℃下进行烧结。
按照表5所示的比例，将这样附着了SiO2颗粒的荧光体颗粒、由乙基纤维素构成的树脂成分、以及萜品醇和戊烷丁二醇的混合溶剂(1/1)混合起来，用喷射器进行混合分散，制作了荧光体墨。混合分散时将加在混合溶液中的压力调整在10Kgf/cm2～200Kgf/cm2的范围内。
将这样制作的荧光体墨调整到表5所示的粘度后进行涂敷，除此以外的条件与实施例1相同，制作了PDP。
与上述实施例1相同，对所制作的PDP测定了荧光体在隔壁侧面上的附着状态、混色的有无、面板亮度。其结果，荧光体都一直附着到隔壁侧面的上部，也未发生混色。
另外，面板亮度如表5所示，为良好。
另外，在试样No.21、22的各荧光体墨的情况下，都连续地涂敷100小时以上喷嘴也未发生堵塞。
[实施例3]
在本实施例中，给出了作为分散剂及除电物质将各种表面活性剂添加在荧光体墨中的实施例(试样No.31～37)、以及作为除电物质将导电性微粒添加在荧光体墨中的实施例(试样No.38～42)。
另外，其中试样No.31～34也是使氧化物ZnO、MgO附着在荧光体的表面上的实施例。
另外，试样No.43是未添加除电物质的例。
(表6)
试样编号 荧光体的种类和粒径及墨中的荧光体含量 荧光体的上附着材料 树脂种类 墨中的树脂含量 溶剂的种类 墨中的溶剂含量
31 蓝：BaMgAl10O17:Eu3.0μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu3.0μm 60重量％绿：Zn2SiO4:Mn3.0μm 50重量％ 对荧光体附着0.3重量％的、粒径为0.2μm的ZnO 环氧基含有率为49％的乙基纤维素 蓝：0.3重量％红：0.2重量％绿：1.5重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：49.0重量％红：39.0重量％绿：48.0重量％
32 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.5μm 45重量％红：(YGd)BO3:Eu2.5μm 55重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.5μm 50重量％ 对荧光体附着0.1重量％的、粒径为0.2μm的ZnO 环氧基含有率为50％的乙基纤维素 蓝：0.4重量％红：0.3重量％绿：1.5重量％ 萜品醇和戊烷丁二醇(1/1) 蓝：54.0重量％红：44.7重量％绿：48.0重量％
33 蓝：BaMgAl10O17:Eu0.5μm 35重量％红：Y2O3:Eu0.5μm 35重量％绿：Zn2SiO4:Mn0.5μm 40重量％ 对荧光体附着0.1重量％的、粒径为0.05μm的ZnO 环氧基含有率为54％的乙基纤维素 蓝：0.15重量％红：0.2重量％绿：0.3重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：64.8重量％红：64.0重量％绿：59.0重量％
34 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.0μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu2.0μm 50重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.0μm 45重量％ 对荧光体附着0.3重量％的.粒径为0.2μm的ZnO 环氧基含有率为50％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.4重量％绿：0.5重量％ 丁基卡必醇乙酸酯和戊烷丁二醇(1/1) 蓝：49.0重量％红：49.0重量％绿：54.0重量％
35 蓝：BaMgAl10O17:Eu3.0μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu3.0μm 60重量％绿：Zn2SiO4:Mn3.0μm 50重量％ 无 环氧基含有率为49％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：1.0重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：49.5重量％红：39.5重量％绿：45.5重量％
36 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.5μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu2.5μm 55重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.5μm 50重量％ 无 环氧基含有率为50％的乙基纤维素 蓝：0.4重量％红：0.3重量％绿：0.5重量％ 萜品醇和戊烷丁二醇(1/1) 蓝：49.0重量％红：44.3重量％绿：49.0重量％
37 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.0μm 50重量％红：Y2O3:Eu2.0μm 55重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.0μm 52重量％ 无 环氧基含有率为54％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：49.0重量％红：44.0重量％绿：47.0重量％
(表7)
试样编号 荧光体的种类和粒径及墨中的荧光体含量   荧光体的上附着材料 树脂种类 墨中的树脂含量 溶剂的种类 墨中的溶剂含量
38 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.0μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu2.0μm 50重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.0μm 45重量％ 无 环氧基含有率为50％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.4重量％绿：0.6重量％ 丁基卡必醇乙酸酯和戊烷丁二醇(1/1) 蓝：48.5重量％红：48.6重量％绿：53.4重量％
39 蓝：BaMgAl10O17:Eu3.0μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu3.0μm 60重量％绿：Zn2SiO4:Mn3.0μm 53重量％ 无 环氧基含有率为49％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：48.5重量％红：38.5重量％绿：45.5重量％
40 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.5μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu2.5μm 55重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.5μm 50重量％ 无 环氧基含有率为50％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ タ-ビネオ-ル和丁基卡必醇(1/1) 蓝：49.4重量％红：49.4重量％绿：49.4重量％
41 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.0μm 50重量％红：Y2O3:Eu32.0μm 55重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.0μm 50重量％ 无 乙烯氧化物聚合物 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：49.4重量％红：49.4重量％绿：49.4重量％
42 蓝：BaMgAl10O17:Eu2.0μm 50重量％红：(YGd)BO3:Eu2.0μm 50重量％绿：Zn2SiO4:Mn2.0μm 45重量％ 无 环氧基含有率为50％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ 丁基卡必醇乙酸酯和戊烷丁二醇(1/1) 蓝：49.4重量％红：49.4重量％绿：54.4重量％
43 蓝：BaMgAl10O17:Eu3.0μm 50重量％红：Y2O3:Eu33.0μm 60重量％绿：Zn2SiO4:Mn3.0μm 50重量％ 无 环氧基含有率为49％的乙基纤维素 蓝：0.5重量％红：0.2重量％绿：1.5重量％ 萜品醇和丁基卡必醇乙酸酯(1/1) 蓝：49.7重量％红：39.8重量％绿：48.5重量％
(表8)
试样编号 除电物质的种类 除电物质的添加量   墨的粘度厘泊   面板亮度(cd/m)   发生筋状色散
31 磷酸酯系列(阴离子系列)プライサ一フA207H(第一工业制药) 蓝：0.7重量％红：0.8重量％绿：0.5重量％ 25 531 无
32 十二烷基甜菜碱(阴离子系列)アンヒト一ル24B(花王) 蓝：0.6重量％红：0.7重量％绿：0.5重量％ 20 545 无
33 多羧酸高分子(阴离子系列)ホモゲノ一ルL100(花王) 蓝：0.05重量％红：0.8重量％绿：0.7重量％ 80 541 无
34 氧乙烯烷基胺(非离子系列)アミ一ト105(花王) 蓝：0.5重量％红：0.6重量％绿：0.4重量％ 10 547 无
35 烷基磷酸盐 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ 28 548 无
36 (阳离子系列)コ一タミン24P 蓝：0.6重量％红：0.4重量％绿：0.5重量％ 24 543 无
37 十八烷基甜菜碱(阳离子系列)アンヒト一ル86B(花王) 蓝：0.5重量％红：0.5重量％绿：0.5重量％ 30 547 无
(表9)
试样编号   导电微粒的种类及粒径 导电微粒的添加量     墨的粘度厘泊   面板亮度cd/m2   发生筋状色散
38 SnO2粒径0.05μm 蓝：1.0重量％红：1.0重量％绿：1.0重量％ 100 530 无
39 InO2粒径0.05μm 蓝：1.0重量％红：1.0重量％绿：1.0重量％ 250 543 无
40 石墨粒径0.01μm 蓝：1.0重量％红：1.0重量％绿：1.0重量％ 352 535 无
41 碳粒径0.01μm 蓝：1.0重量％红：1.0重量％绿：1.0重量％ 49 530 无
42 Ag粒径0.01μm 蓝：1.0重量％红：1.0重量％绿：1.0重量％ 48 545 无
43   无     30   465   有
各实施例中用的荧光体墨的荧光体的种类和粒径和量、附着在荧光体上的氧化剂的种类和量、树脂的种类和量、溶剂的种类和量等如表6、7所示。另外，表面活性剂及除电物质的种类、添加量、涂敷时荧光体墨的粘度(25℃时剪切速度为100sec-1时的粘度)如表8、9所示。
然后，用喷嘴直径为50微米的喷嘴，使喷嘴前端与背面玻璃基板之间的距离保持1mm，一边扫描一边喷出荧光体墨，涂敷荧光体墨，其他条件与实施例1相同，制作了PDP。
另外，在本实施例中，为了良好地润湿荧光体墨的涂敷面，在涂敷荧光体墨之前，用受激准分子灯(中心波长172nm)照射带隔壁的背面玻璃基板的表面10秒～1分钟，荧光体层烧结后，为了除去残留在荧光体层中的粘合剂和残渣，用受激准分子灯(中心波长172nm)照射形成了荧光体层的背面玻璃基板的表面10秒～1分钟。
对所制作的各PDP，测定了驱动它时的面板亮度、以及筋状色斑发生的有无。
关于面板亮度，是用频率为30KHz的放电维持电压150V驱动PDP，用面板亮度计测定的面板亮度。关于筋状色斑，使PDP全体画面进行白色显示，用肉眼观察了筋状色斑的有无。
另外，调整了激励这些PDP时发生的紫外线的波长后，主要观察了由以173nm为中心的Xe分子线引起的激励波长。
这些结果示于表8、9。
如表8、9所示，试样No.31～42获得了比试样No.43的亮度高的亮度。另外，在试样No.43中发生了筋状色斑，与此不同，在试样No.31～42中未发生筋状色斑。
另外，对所制作的各PDP观察了荧光体层后，都未见到荧光体的混色，但关于荧光体层的形状，试样No.31～42的荧光体在隔壁的侧面上附着情况比试样No.43好。
考察：
关于这样的亮度及筋状色斑的实验结果，可以认为是由于在荧光体墨中添加了除电物质的试样No.31～42比起在荧光体墨中未添加除电物质的试样No.43来，荧光体墨能更均衡且均匀地涂敷在隔壁侧面上和槽底面上面产生的。
[实施形态2]
图12是表示本实施形态的墨涂敷装置的斜视图，图13是该墨涂敷装置的正视图(局部剖面)。
该墨涂敷装置的结构基本上与上述墨涂敷装置50相同，但在以下方面下了工夫，即备有：回收荧光体墨用的循环机构；以及旋转具有多个喷嘴的喷嘴头来调整喷嘴间距的喷嘴旋转机构等。
(墨涂敷装置的构成)
该墨涂敷装置由装置本体100和控制器200构成。
装置本体100设有：本体底座101；沿着敷设在该本体底座101上表面的导轨102、沿X轴方向(图中箭头X方向)移动的基板承载台103；沿着横跨本体底座101设置的支架104上的导轨105、沿Y轴方向(图中箭头Y方向)移动的喷嘴头单元110；以及同样沿Y方向在支架104上移动、安装在基板承载台103上的检测背面玻璃基板21的隔壁位置的摄像单元120。
在本体底座101的内部设有沿X轴方向往复驱动基板承载台103用的X驱动机构130。
该X驱动机构130由驱动电动机131(例如伺服电动机、步进电动机)、沿着导轨102沿X轴方向延伸的送进丝杆132、以及固定在基板承载台103下部的丝母133构成，通过用驱动电动机131旋转驱动送进丝杆132，能与丝母133一起沿X轴方向高速地滑动驱动基板承载台103。
图14是图12所示的喷嘴头单元110的放大图。
在喷嘴头单元110上设有：内部装有沿Y轴方向往复驱动喷嘴头单元110用的Y轴驱动机构的驱动底座部111；并排设置了多个喷嘴113的喷嘴头112；为了调整喷嘴头112的高度而使其升降的升降机构114；以及在与基板承载台103平行的面内旋转驱动喷嘴头112的旋转驱动机构115。
作为上述Y轴驱动机构及升降机构114，能采用例如将线性电动机或带小齿轮的驱动电动机与齿条相组合的滑动机构。另外，作为旋转驱动机构115，例如用伺服电动机，从而能以喷嘴头112的转轴112a为中心旋转。摄像单元120与上述驱动底座部111同样地利用Y轴驱动机构(图中未示出)，能沿Y轴方向驱动支架104。在该摄像单元120中，与在实施形态1中说明的槽检测用头55一样，内部装有沿Y轴方向延伸的CCD线传感器等，能获得放置在基板承载台103上的背面玻璃基板21的上表面图像数据。
另外，虽然图中未示出，但在该墨涂敷装置中设有：检测基板承载台103在X轴方向上的位置的X位置检测机构；检测喷嘴头单元110及摄像单元120在Y轴方向上的位置的Y位置检测机构；以及作为检测升降机构114的高度位置的高度检测机构分别设置在X轴方向、Y轴方向、上下方向上的线性传感器(例如光学式的线性编码器)，因此，控制器200根据来自各线性传感器的信号，能随时检测喷嘴头单元110及摄像单元120的位置(在基板承载台103上的X轴坐标及Y轴坐标)、以及喷嘴头112的高度。另外，还能利用角度检测机构(例如旋转编码器)随时检测喷嘴头112相对于X轴的角度θ。
喷嘴头112及摄像单元120利用以上这样的各驱动机构及各检测机构，能在基板承载台103上沿X轴方向及Y轴方向扫描，另外，喷嘴头112能调整从基板承载台103算起的高度及相对于X轴的角度。
另外，如图12、13所示，为了构成将基板吸附在基板承载台103上的基板吸附机构140，在本体底座101的内部设有吸引泵141及连接该吸引泵141和基板承载台103的软管142。另外，在基板承载台103内部形成空腔部103a(参照图13)，在基板承载台103的上表面设有和空腔部103a连通的许多微细孔。而且，通过用吸引泵141从空腔部103a排气，能吸引基板承载台103上的基板。
如图12、13所示，在装置本体100内设有循环机构150，用来回收从喷嘴头单元110喷出的荧光体墨并循环使用。
该循环机构150由回收从喷嘴头单元110喷出的荧光体墨(墨束)的回收容器151及加压输送回收容器151内的荧光体墨的加压泵152等构成。
回收容器151沿Y轴方向延伸，以便能沿喷嘴头单元110的全部扫描范围回收墨束，被回收的荧光体墨从加压泵152经由配管153被供给喷嘴头单元110内的喷嘴头112，能循环使用。
另外，在该循环机构150上附设使循环的荧光体墨的量保持一定的墨补充器154。该墨补充器154监视回收容器151内的墨量是否为规定量以上，变成规定量以下时，便自动地补充荧光体墨。
另外，为了防止从喷嘴头112喷出的荧光体墨附着在背面玻璃基板21的端部，在喷嘴头单元110内设有喷射遮蔽机构116。
该喷射遮蔽机构116由沿X轴方向滑动的遮蔽托架117和滑动驱动它的螺线管(图中未示出)构成，遮蔽托架117通常避开墨束通过的线路，但通过使螺线管进行驱动，能滑动到遮挡喷墨的位置。另外，用遮蔽托架117遮挡的荧光体墨利用吸引泵(图中未示出)转移到第二回收容器118中。
控制器200进行上述装置本体100的各部的驱动控制。该控制器200用电缆201～205连接上述驱动电动机131、喷嘴头单元110、摄像单元120、吸引泵141、加压泵152，利用从控制器200通过各电缆供给的电力及驱动控制信号，能进行各部的驱动。
另外，由摄像单元120获得的图像数据能通过电缆203送给控制器200。
(墨涂敷装置的操作及工作控制)
说明利用这样的装置结构涂敷荧光体墨的顺序。
首先，将背面玻璃基板21置于基板承载台103上，通过使吸引泵141工作而吸附固定。
其次，与关于实施形态1的墨涂敷装置50说明的一样，使摄像单元120进行扫描，沿背面玻璃基板21的全部表面进行摄像，控制器200中，根据来自摄像单元120的图像数据，获得对应于基板承载台103上的坐标和亮度的图像数据，对隔壁之间的槽设定扫描线。
其次，通过驱动升降机构114，调整喷嘴头112的高度，来调整喷嘴113的下端和隔壁30的上表面的间隔。然后，驱动加压泵152，从喷嘴头单元110喷出荧光体墨。然后，保持着使墨喷出的状态，如下所述，使喷嘴头单元110进行扫描，涂敷荧光体墨。
图15是表示喷嘴头112扫描背面玻璃基板21的形态。
这里，说明在每隔两个槽的槽32内涂敷一种颜色(蓝色)的荧光体墨的情况。
在喷嘴头112中，在直线上相隔距离A排列着3个喷嘴113a·113b·113c，喷嘴间隔A被设定得比每隔两个槽的槽32a的间距大一些，使中央的喷嘴113b的位置与喷嘴头112的旋转中心一致。
在本图中，粗线箭头(R1→R2→R3→R4→)表示喷嘴头112的中心进行扫描的线。
如图所示，喷嘴113a·113b·113c位于每隔两个槽的槽32a上使喷嘴头112在相对于Y轴呈倾斜的状态下，沿X轴方向扫描(R1→R2)。其次，使喷嘴头112沿Y轴方向移动9个隔壁间距(R2→R3)，同样，使喷嘴头112在相对于Y轴倾斜的状态下，沿X轴方向扫描(R3→R4)。
以下，通过反复进行同样的扫描，沿着全部背面玻璃基板21将荧光体墨涂敷在各槽32a中，但在此期间不使加压泵152停止，连续地喷出荧光体墨。因此，能防止荧光体墨附着在喷嘴113a·113b·113c的下表面而造成喷流不稳定。
另外，在使喷嘴头112沿X方向扫描的过程中，在使喷嘴头112通过隔壁30的端部和基板承载台103的边缘之间的区域(图中用W1及W2表示的区域)的时间内，使喷射遮蔽机构116工作，用遮蔽托架117遮挡墨束。因此，能防止荧光体墨附着在背面玻璃基板21上的隔壁30的端部附近(图中用W3及W4表示的区域))。
在荧光体墨的粘度低的情况下，涂敷槽32a的荧光体墨如果附着在隔壁30的端部附近(区域W3、W4)，则附着的墨会流入相邻的槽32b或槽32c中，有引起混色的可能性，但如上处理后，由于防止了附着，所以能防止该混色。
另外，在该喷射遮蔽机构116中，遮蔽托架117必须进入喷嘴113的下端和隔壁30上表面之间。因此，还应考虑将遮蔽托架117设计得薄一些，但为了在某种程度上储存荧光体墨，还要确保遮蔽托架117的厚度，最好与使喷射遮蔽机构116工作的时刻一致地驱动升降机构114，使喷嘴头112移动到上方。
另外如果一边连续地使墨循环一边涂敷，则不仅容器内的墨量会减少，而且由于溶剂的蒸发等，物性值容易发生变化。因此，最好在不使荧光体墨的物性超过允许范围方面下工夫。例如。通过在回收容器151内检测粘度，设置自动地向荧光体墨中补充溶剂等的溶剂补充机构，能使墨的粘度保持一定。因此，能长时间地进行稳定了的涂敷。
另外，用喷射遮蔽机构收到的墨与用单纯的回收容器收到的墨相比，多半情况下物性值不同，因此，用喷射遮蔽机构收到的墨最好与循环的墨不同而保管在第二回收容器118中，单独地进行再利用。
[喷嘴头112的位置控制]
在本实施形态中，与实施形态1相同，在使喷嘴头112沿X轴方向扫描时，一边沿Y轴方向调整一边进行扫描，但在本实施形态中，由于还用旋转驱动机构115使喷嘴头112旋转，所以还一边进行喷嘴头112沿Y轴方向的喷嘴间距的调整，一边进行扫描。
即，3个喷嘴113a·113b·113c中的两端的喷嘴113a及113c沿分别在对应的槽32a的中央设定的线，一边进行喷嘴头112沿Y轴方向的位置调整及旋转角的调整，一边进行X轴方向的扫描。由于一边这样控制一边扫描，所以假定即使槽32a、32b、32c弯曲或隔壁之间的间距变化的情况下，也能使喷嘴头112中的多个喷嘴113a·113b·113c沿着在对应的各槽32a的中央部设定的扫描线进行扫描。以下更具体地说明该控制。
图16是使基板承载台103上的坐标和亮度对应的图像数据的局部放大图，表示槽32a、32b、32c沿X轴弯曲的情况。
如在实施形态1中用图5说明的那样，在该图像数据中设定喷嘴扫描线S1、S2、S3...。而且，如图所示，以大致相等的间距设定长度为2A、且两端位于喷嘴扫描线S1和喷嘴扫描线S7上的线段K1、K2、K3...。
而且，关于各线段K1、K2、K3...，算出中点M1、M2、M3...的位置(X、Y坐标)及相对于X轴的角度θ1、θ2、θ3...。
将连接这样算出的中点M1、M2、M3...的线作为喷嘴头112的扫描线(头扫描线)。从图16可知，该头扫描线虽然相对于喷嘴扫描线S4有若干偏移，但基本上一致。
然后使喷嘴头112扫描时，使喷嘴头112一边沿X轴方向扫描，一边驱动控制喷嘴头单元110的Y轴驱动机构，以便喷嘴头112的旋转中心(喷嘴113b)与上述头扫描线(通过中点M1、M2、M3...的线)一致。与此同时，当喷嘴头112的旋转中心位于上述算出的中点M1、M2、M3...时，控制旋转驱动机构115的驱动，以便喷嘴头112相对于x轴的角度θ与上述算出的角度θ1、θ2、θ3...一致。
喷嘴头112扫描时，由于这样进行Y轴方向及旋转角θ的控制，所以两端的喷嘴113a、113c在扫描线S1、S7上扫描，中央的喷嘴113a在头扫描线(即喷嘴扫描线S4的附近)上扫描。因此，各喷嘴113a、113b、113c能经常通过各槽32a的中央部附近进行扫描。
[设置回收荧光体墨的机构产生的效果]
当喷嘴处于离开基板上的槽上方的状态时，即如图13所示，基板处于等待状态的位置时，喷出的墨束被回收容器151回收，所以即使连续地喷出荧光体墨，也几乎没有损失。
因此，例如，如果在更换基板承载台103上的背面玻璃基板21的期间也连续地喷出荧光体墨，则能稳定地涂敷多个基板21，而且荧光体墨的损失也少。
另外，基本上只在维修时才停止从喷嘴喷出荧光体墨，然后也可以连续地喷出，所以在全天工作的工厂中，也可以连续24小时以上喷出，根据不同的情况，能以周为单位或以月为单位连续地工作。
这样，本实施形态的涂敷方法由于荧光体墨的损失少，而且能均匀稳定地涂敷在隔壁之间的槽中，所以是一种适合于批量生产的好方法，采用本实施形态的涂敷方法还能实现降低制造成本。
[本实施形态的变形例]
如果考虑变更操作顺序时的适应性等，如图12中的装置所示，最好在支架104上能分别独立地驱动喷嘴头单元110和摄像单元120，但即使喷嘴头单元110和摄像单元120构成一体，也能与上述同样地操作。
另外，在本实施形态中，作为防止背面玻璃基板21的隔壁端部的荧光体墨的混色的方法，给出了遮挡墨束的方法，但如图17所示，例如在背面玻璃基板21上如果沿隔壁30端部形成辅助隔壁33，则在隔壁30的端部槽32a、32b、32c被闭合，所以假定涂敷在槽32a中的荧光体墨附着在背面玻璃基板21上的隔壁端部附近，也不会流入相邻的槽32b、32c中，所以能防止混色。
[实施形态3]
本实施形态的墨涂敷装置与上述实施形态2的墨涂敷装置相同，但在使荧光体墨循环的循环机构上下了更多的工夫。
图18是表示本实施形态的墨涂敷装置中的荧光体墨循环机构的结构的图。
该循环机构160与上述实施形态2的循环机构150相同，用回收容器151回收从喷嘴头112的喷嘴113喷出的荧光体墨，将回收的荧光体墨再送给喷嘴头112进行循环，但再分散荧光体墨的分散器161被安插在从回收容器151到喷嘴头112的管道路径中。
该分散器161是内部填充了粒径为2mm以下的氧化锆小珠的流通管型的砂磨机，通过以500rpm以下的转速使转盘163沿一定方向旋转，流过内部的荧光体墨与小珠一起搅拌而被分散。
除此以外，在循环机构160中还设有：将回收容器151中的荧光体墨送入分散器161中的送入循环泵164；储存通过分散器161的荧光体墨的罐165；以及对荧光体墨加压后从罐165供给喷嘴头112的加压泵166。
因此，被回收到回收容器151中的荧光体墨在分散器161中再分散后再从喷嘴头112喷出。
另外，作为分散器161，除此以外还能使用埃托拉依达(アトライタ)或喷射机等。
制造了荧光体墨后如果长时间放置，则荧光体墨的分散状态往往下降。另外，如果用实施形态2那样的循环机构使荧光体墨循环，则荧光体墨的分散状态降低，有时还会生成二次凝聚物。因此有时会堵塞喷嘴，或使涂敷的荧光体墨在槽32上的附着状态下降，但在本实施形态的循环机构160中，由于使荧光体墨在喷出之前再分散，所以能消除这样的问题。
这样的荧光体墨再分散的效果不仅适用于在墨循环机构中使荧光体墨再分散的情况，一般说来在制造荧光体墨后一直到设定涂敷的条件时都能适用。
这里，说明在制造荧光体墨后一直到涂敷的好条件。
图19是表示在制造荧光体墨后一直到涂敷的工序。
制造荧光体墨时，将作为荧光体墨的原料的各色荧光体粉末、树脂和溶剂混合起来进行分散(一次分散)。
在该一次分散工序中，象砂磨机或球磨机或珠磨机那样，在使用分散介质(媒体)的分散器中进行分散的情况下，最好使用粒径在1.0mm以下的氧化锆小珠作为媒体，在3小时以内的短时间内用珠磨机进行分散。这是为了抑制损坏荧光体粉末，同时抑制杂质的混入(污染)。
另外，荧光体墨的粘度最好调整到15～200cp左右，以便没有约为喷嘴直径的1/2以上的大的凝聚物。
如果将这样制造的荧光体墨制造后装入墨涂敷装置中进行涂敷，则涂敷时能确保通过一次分散获得的良好的分散状态，所以即使不进行再分散，也能均匀地涂敷在各槽中，而且涂敷状态较好。而且，为了制造后装入墨涂敷装置中，可以考虑将荧光体墨的分散装置和墨涂敷装置设置在同一作业场所，将所制作的荧光体墨直接装入墨涂敷装置中进行涂敷。
就时间而言，制造了荧光体墨后，最好在数小时内、尽可能地在1小时以内进行涂敷。
另一方面，制造了荧光体墨之后，在经过了长时间才装入墨涂敷装置中进行涂敷的情况下，由于一次分散后经过了长时间才进行涂敷，所以在此期间分散状态下降，或容易产生二次凝聚物。因此，如果直接从喷嘴涂敷该墨，则各槽中不容易涂敷均匀，还容易引起喷嘴的堵塞。
可是，即使是制造(一次分散)后经过了长时间的荧光体墨，如果在二次分散工序中使荧光体墨再分散后装入墨涂敷装置中进行涂敷，则能以良好的分散状态涂敷，所以能在各槽中均匀地涂敷，还能避免喷嘴的堵塞。
二次分散时，主要目的是分散二次凝聚物，所以不需要很大的剪切力。倒不如用小的力搅拌，以使荧光体的损伤小一些。
因此，用粒径为2mm以下的氧化锆小珠，使转速为500rpm以下，在6小时以内进行再分散是有效的。之所以用氧化锆小珠，与一次分散时相同，是为了避免污染。
即使对于这样通过二次分散调整的荧光体墨来说，为了能从喷嘴稳定地喷出，将粘度设定为15～200cps左右，最好没有其大小为喷嘴直径的大约1/2以上的凝聚物。
[实施例4]
[关于一次分散的实施例]
如表10所示，使墨制造时(一次分散时)的分散方法(小珠的种类、粒径、以及分散时间)进行各种各样的变化，制造了荧光体墨。
(表10)
荧光体的种类·粒径 墨的组成 分散方法 分散剂 亮度(cd/m) 分散后的荧光体的粒径(μm)
    YGdBO3:Eu3.0μm 荧光体60wt％溶剂：39％乙基纤维素：1wt％ 珠磨机60分     玻璃珠：2mm   247     1.5 Na，Ca，Si的污染
    氧化锆珠：0.2mm   302     2.3 无污染
    氧化锆殊：2mm   291     1.8 无污染
    Zn2SiO4:Mn3.0μm 荧光体60wt％溶剂：39％乙基纤维素：1wt％ 珠磨机60分     玻璃珠：2mm   495     1.0 Na，Ca，Si的污染
    氧化锆珠：0.2mm   576     1.8 无污染
    氧化锆珠：2mm   512     1.5 无污染
    BaMgAl10O17:Eu3.0μm 荧光体60wt％溶剂：39％乙基纤维素：1wt％ 珠磨机60分     玻璃殊：2mm   81.2     1.3 Na，Ca，Si的污染
    氧化锆珠：0.2mm   88.0     2.1 无污染
氧化锆珠：2mm   86.4     1.7 无污染
    YGdBO3:Eu3.0μm 荧光体60wt％溶剂：39％乙基纤维素：1wt％ 珠磨机：15分     氧化锆珠：0.2mm   320     3.0 凝集物：有
珠磨机：30分     氧化锆珠：0.2mm   318     3.0 凝集物：没有
珠磨机：60分     氧化锆珠：0.2mm   302     2.3 凝集物：没有
    Zn2SiO4:Mn3.0μm 荧光体60wt％溶剂：39％乙基纤维素：1wt％ 珠磨机：15分     氧化锆珠：0.2mm   582     3.0 凝集物：有
珠磨机：30分     氧化锆珠：0.2mm   281     2.9 凝集物：没有
珠磨机：60分     氧化锆珠：0.2mm   276     1.8 凝集物：没有
    BaMgAl10O17:Eu3.0μm 荧光体60wt％溶剂：39％乙基纤维素：1wt％ 珠磨机：15分     氧化锆珠：0.2mm   89.0     3.0 凝集物：有
珠磨机：30分     氧化锆珠：0.2mm   89.2     3.0 凝集物：没有
珠磨机：60分     氧化锆珠：0.2mm   88.0     2.1 凝集物：没有
在各荧光体墨中，使用平均粒径为3微米的各色荧光体粉末60wt％，乙基纤维素1wt％，作为溶剂使用萜品醇及柠碱的混合溶剂。
然后，对于所制造的荧光体墨进行了亮度评价、荧光体粉末的粒径测定(一次分散后的荧光体粒径测定)、凝聚物的有无的评价。
在亮度评价中，在大气中用500℃对分散后的荧光体墨进行烧结，形成荧光体层，将它放入真空室内，用亮度计测定了用受激准分子灯照射真空紫外光时发生的驱动发光。
各评价结果如表10所示。
从表10的评价结果可知，作为分散介质如果使用玻璃珠，则与使用氧化锆珠相比，红、绿、蓝各色的亮度都下降。另外作为分散介质使用玻璃珠时，检测出许多钠(Na)、钙(Ca)、硅(Si)的成分。
这样作为分散介质使用小玻璃珠时亮度之所以下降，可以认为由于分散时附加剪切力时对小玻璃珠施加了强的冲击，所以玻璃成分作为杂质(污染)混入墨中，它成为限制发光的因素。
另外，从表10的评价结果可知，即使所使用的分散介质的种类相同时，如果其粒径或分散时间变化，亮度也变化。可以认为这是由于即使附加相同的剪切力时，如果分散介质的粒径不同，则冲击系数不同，另外，如果分散时间不同，则荧光体粉末的冲击次数不同所致。
另外从表10的结果看，分散后的荧光体粒径比分散前变小。因此，可知由于分散，荧光体粉末被粉碎，界面状态劣化。
[二次分散的实施例]
其次，对所制作的各种颜色的荧光体墨暂时分散后放置72小时，然后进行了二次分数。进行该二次分散时，如表11所示，使作为分散介质的氧化锆小珠的粒径或分散时间进行各种变化。
(表11)
颜色 荧光体的种类·粒径 墨的组成 一次分散 一次分散后的亮度(cd/m)粒径 二次分散   氧化锆珠的直径(mm)   亮度(cd/m)   分散后荧光体的粒径(μm)     有无凝聚物
红   YGdBO3:Eu3.0μm 荧光体：60wt％溶剂：39wt％乙基纤维素：1wt％ 球磨机30分氧化锆珠0.2mm 316粒径：3.0μm 球磨机30分   0.212   317316314   3.03.03.0     看有有
球磨机1小时   0.212   318315315   3.03.03.0     有有无
球磨机3小时   0.212   313312314   3.03.03.0     有少无
绿   Zn2SiO4:Mn3.0μm 荧光体：60wt％溶剂：39wt％乙基纤维素：1wt％ 球磨机30分氧化锆珠0.2mm 581粒径：3.0μm 球磨机30分   0.212   581580581   3.03.03.0     有有有
球磨机1小时   0.212   582582581   3.03.03.0     有有无
球磨机3小时   0.212   581583582   3.03.03.0     有少无
蓝   BaMgAl10O17:Eu3.0μm 荧光体：60wt％溶剂：39wt％乙基纤维素：1wt％ 球磨机30分氧化锆珠0.2mm 89.2粒径：3.0μm 球磨机30分   0.212   89.389.089.1   3.03.03.0     有有有
球磨机1小时   0.212   89.189.089.1   3.03.03.0     有有无
球磨机3小时   0.212   89.289.089.1   3.03.03.0     有少无
然后，对二次分散后的各荧光体墨进行了亮度评价、荧光体粉末的粒径测定(一次分散后的荧光体粒径测定)、凝聚物的有无的评价。
各评价结果如表11所示。
从表11可知，在二次分散的分散时间不到1小时的情况下，红、绿、蓝各色都在荧光体墨中残留了凝聚物，但如果分散时间长，就看不见凝聚物了。另外，即使分散时间长，也看不到荧光体颗粒的粒径变化。
由此可知，由于用氧化锆作为分散介质进行二次分散，所以荧光体颗粒本身未被粉碎，而能分散凝聚物。
另外，从表11可知，即使分散时间长也未看到亮度下降。由此可知，如果用氧化锆作为分散介质进行二次分散，就能在荧光体表面的损伤少的状态下进行分散。
[实施形态1～3的变形例等]
在上述实施形态中，虽然给出了将荧光体墨直接涂敷在隔壁之间的槽中的例，但也能适用于将反射材料墨涂敷在隔壁之间的槽中，再在它上面形成荧光体层的情况。
即，利用上述的墨涂敷装置，通过涂敷反射材料及荧光体墨，形成反射层及荧光体层31。
反射材料墨是由反射材料、粘合剂和溶剂成分调和而成的，作为反射材料，能使用氧化钛或氧化铝等反射率高的白色粉末，但特别是平均粒径5微米以下的氧化钛为好。
在上述实施形态中，虽然以AC型的PDP为例进行了说明，但本发明不限于AC型的PDP，也能广泛地适用于制作配置条状的隔壁，在隔壁之间配置了荧光体层的PDP。
工业上利用的可能性
利用本发明的制造方法或制造装置制造的PDP能有效地用于计算机或电视等的显示装置、特别是大型的显示装置。

Claims (4)

1.一种等离子显示面板的制造方法，其特征在于：
包括：
荧光体墨制造步骤，通过将荧光体分散在粘合剂中制造荧光体墨；
荧光体墨涂敷步骤，一边从喷嘴喷出在上述荧光体墨制造步骤中制造的荧光体墨，一边将荧光体墨对配置了隔壁的第一板涂敷在隔壁和隔壁之间的槽中；
荧光体墨涂敷步骤，一边从喷嘴喷出荧光体墨，一边使该喷嘴沿隔壁和隔壁之间的槽相对地扫描，由此对呈条状配置了隔壁的第一板进行涂敷；以及
封装步骤，将第二板重叠封装在上述第一板上配置了隔壁的一侧，同时封入气体介质，
在上述荧光体墨涂敷步骤中，使在上述荧光体墨制造步骤中制造的荧光体墨，在紧接在从喷嘴喷出之前，用分散器再次分散。
2.根据权利要求1所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于：
荧光体墨涂敷步骤中的荧光体墨的再分散如下进行，即，使荧光体墨通过利用硬质颗粒将剪切力加在分散的对象物上进行分散的分散器。
3.根据权利要求1所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于：
在荧光体墨涂敷步骤中的荧光体墨的再分散中，作为介质使用粒径为1.0mm以下的氧化锆珠。
4.根据权利要求2或3所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于：
荧光体墨涂敷步骤中的荧光体墨的再分散如下进行，即，使用旋转机器，用500rpm以下的转速进行，分散时间在6小时以内。
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