JP2002117760A - プラズマディスプレイパネルの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長時間にわたって連続して蛍光体インキを塗
布することが可能であって、微細なセル構造の場合でも
容易に精度良く均一的に蛍光体層を形成することができ
るＰＤＰの製造方法、並びにそれに適したインキ塗布装
置及び蛍光体インキを提供する。 【解決手段】 ノズルヘッド５３から蛍光体インキを吐
出しながらＸ方向に走査するときに、ノズル５４が走査
ラインに沿うよう、ノズルヘッド５３のＹ方向の位置も
調整しながら走査する。蛍光体インキとしては、平均粒
径が０．５〜５μｍの蛍光体粉末、ＯＨ基を末端に持つ
溶剤であるターピネオール，ブチルカービトールアセテ
ート，ブチルカルビトール，ペンタンジオール，リモネ
ン等の混合溶剤、セルロース分子内のエトキシ基含有量
が４９％以上のエチルセルロース、或はエチレンオキサ
イド系ポリマーからなるバインダーに、更に分散剤を添
加したものを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネルの製造方法に関し、特に蛍光体層を形成するのに
用いる蛍光体インキや蛍光体塗布装置の改良に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ハイビジョンをはじめとする高品
位で大画面のテレビに対する期待が高まっている中で、
ＣＲＴ，液晶ディスプレイ（ＬＣＤ），プラズマディス
プレイパネル（Plasma Display Panel，以下ＰＤＰと記
載する）といった各ディスプレイの分野において、これ
に適したディスプレイの開発が進められている。

【０００３】従来からテレビのディスプレイとして広く
用いられているＣＲＴは、解像度・画質の点で優れてい
るが、画面の大きさに伴って奥行き及び重量が大きくな
る点で４０インチ以上の大画面には不向きである。ま
た、ＬＣＤは、消費電力が少なく、駆動電圧も低いとい
う優れた性能を有しているが、大画面を作製するのに技
術上の困難さがある。

【０００４】これに対して、ＰＤＰは、小さい奥行きで
大画面を実現することが可能であって、既に５０インチ
クラスの製品も開発されている。ＰＤＰは、駆動方式に
よって直流型（ＤＣ型）と交流型（ＡＣ型）とに大別さ
れるが、現在は、微細なセル構造のパネルを形成するの
に適しているＡＣ型が主流となっている。

【０００５】ＡＣ型として代表的な交流面放電型ＰＤＰ
は、一般的に、表示電極を配したフロントカバープレー
トとアドレス電極を配したバックプレートとが、両電極
はマトリックスを組むように、間隙をおいて平行に配さ
れ、両プレート間の間隙は、ストライプ状の隔壁で仕切
られている。そして、隔壁と隔壁との間の溝には、赤，
緑，青の蛍光体層が形成されると共に放電ガスが封入さ
れて構成されており、駆動回路で各電極に電圧を印加す
ることによって放電すると、紫外線が放出され、蛍光体
層の蛍光体粒子（赤，緑，青）がこの紫外線を受けて励
起発光することによって画像表示されるようになってい
る。

【０００６】このようなＰＤＰは、通常、バックプレー
ト側に隔壁を配設し、隔壁間の溝に蛍光体層を形成し、
その上にフロントカバープレートを重ねて放電ガスを封
入することによって製造される。ところで、隔壁間の溝
に蛍光体層を形成する方法としては、特開平６−５２０
５号公報に開示されているように、蛍光体ペーストを隔
壁間の溝に充填して焼成する方法（スクリーン印刷法）
が多く用いられてきたが、精細なセル構造のＰＤＰに対
しては、スクリーン印刷法を適用することは難しい。

【０００７】例えば、フルスペックのハイビジョンテレ
ビの画素レベルでは、画素数が１９２０×１１２５とな
り、４２インチクラスでの隔壁のピッチ（セルピッチ）
は０．１〜０．１５ｍｍ程度と細かくなり、隔壁間の溝
幅は、０．０８〜０．１ｍｍ程度と非常に狭くなってし
まうが、スクリーン印刷で用いる蛍光体インキは粘度が
高いので（通常、数万センチポイズ）、このような狭い
隔壁間に精度良く高速に蛍光体インキを流し込むことは
困難である。また、このような精細な構造のＰＤＰに合
わせてスクリーン板を作成することも困難である。

【０００８】また、蛍光体層の形成方法として、スクリ
ーン印刷法以外にも、フォトレジストフィルム法やイン
キジェット法が開発されている。フォトレジストフィル
ム法は、特開平６−２７３９２５号公報に開示されてい
るように、各色蛍光体を含む紫外線感光性樹脂のフィル
ムを、隔壁と隔壁の間に埋め込み、該当する色の蛍光体
層を形成しようとする部分だけに露光現像を施し、露光
しない部分を洗い流す方法であって、この方法によれ
ば、セルピッチが小さい場合にも、ある程度精度良く隔
壁間にフィルムを埋め込むことが可能である。

【０００９】しかし、３色各色について、フィルムの埋
め込み，露光現像及び洗い流しを順次行う必要があるた
め、製造工程が複雑であると共に混色が生じやすいとい
う問題があり、更に、蛍光体は比較的高価であり且つ洗
い流された蛍光体を回収することも困難なためコスト高
になるという問題がある。一方、インキジェット法は、
特開昭５３−７９３７１号公報や特開平８−１６２０１
９号公報に開示されているように、蛍光体と有機バイン
ダーからなるインキ液を加圧してノズルから噴射させな
がら走査することにより、所望のパターンで蛍光体イン
キを絶縁基板上に付着させる方法である。インキジェッ
ト法では、エチルセルロース，アクリル樹脂、或はポリ
ビニルアルコール等を有機バインダーとし、ターピネオ
ールやブチルカルビトールアセテートなどが溶剤とし、
ペイントシェーカーのような分散器を用いて、有機バイ
ンダーと溶剤との混合物に蛍光体を分散させることによ
って製造された蛍光体インキが一般的に用いられてい
る。

【００１０】このようなインキジェット法によれば、狭
い隔壁間の溝にも精度良くインキを塗布することが可能
であるが、噴射されたインキが液滴となって間欠的に付
着するので、ストライプ状に配設されている隔壁間の溝
に沿って円滑に塗布することは難しい。この点につい
て、本発明者等が先に出願した特願平８−２４５８５３
号あるいは特願平９−２５３７４９号に開示されている
ように、粘度の低い流動性のよい蛍光体インキを加圧し
てノズルから連続的に噴射しながら走査すれば、円滑に
塗布することが可能である。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この方
法で蛍光体インキを塗布した場合でも、出来上がったＰ
ＤＰを駆動した時に、隔壁に沿って筋状のむらが発生し
たり、アドレス電極の切れ目に沿って筋状のむらが発生
しやすく、特に白色表示をしたときに筋状のむらが目立
つという問題がある。 このような筋状のむらが発生す
る理由は、各溝に形成される蛍光体層に若干のばらつき
あるいは混色が生じるためと考えられる。そして、ばら
つきを生じさせる要因として、次のようなものが挙げら
れる。

【００１２】（１）蛍光体インキを塗布する際に、蛍光
体インキに電荷（チャージ）が発生すると共に、作業環
境や作業条件によって発生する電荷量も左右されやすい
ため、蛍光体インキの付着量が場所毎に変化しやすい。 （２）ＲＧＢの３色の蛍光体インキを、１色づつ順に塗
布していく場合、２色目、３色目の蛍光体インキを塗布
する時には、前に塗布した蛍光体インキが隣接する溝に
塗布されており、その隣接する蛍光体インキによるレオ
ロジー的な影響を受けるため、塗布される蛍光体インキ
の付着状態が一定になりにくい。

【００１３】なお、一色を塗布するごとに十分乾燥させ
てから次の色を塗布するようにすれば、このレオロジー
的な影響をなくすことはできるが、その場合、乾燥工程
が多くなるので、そのための設備が必要な上、生産工程
も繁雑となってしまう。 （３） 蛍光体インキを隔壁間の溝に塗布する際に、均
一的に塗布するには、ノズルが常に隔壁間の溝の中央部
に位置するように走査するのが望ましいが、ノズルをま
っすくに走査したとしても、隔壁間の溝の幅がばらつい
ていたり溝が彎曲していたりすると、ノズルが溝の中央
部からずれてしまう箇所が生じるため、なかなか均一的
に塗布することできない。特に精細なセル構造の場合は
問題になりやすい。

【００１４】（４）流動性のよい蛍光体インキを微細な
ノズルから噴射させると、ノズルからの吐出をオン・オ
フする際に、吐出量が変化したり噴出されるジェットの
方向が変化するため、蛍光体インキが隔壁内に精度よく
充填されにくい。更に別の問題として、一般的に、隔壁
間の溝に塗布された蛍光体インキは、隔壁側部には付着
しにくく、溝の底に多く付着する傾向があるので、隔壁
側部と溝底部にバランスよく蛍光体層を形成するのが難
しい。そして、蛍光体層の隔壁側部と溝底部とのバラン
スがよくないと、高いパネル輝度を得にくいという問題
がある。

【００１５】また、インキジェット法で使用するノズル
径は、隔壁間隔に合わせて狭く設定する必要があるの
で、ノズルに目づまりが起こりやすく、長時間連続して
蛍光体を塗布することが困難という問題もある。特に、
隔壁ピッチが０．１５ｍｍ以下の高精細なＰＤＰを製造
する場合、ノズル径をこれよりかなり小さく設定する必
要があるため、目づまりの問題が生じやすい。

【００１６】本発明は、このような課題に鑑み、長時間
にわたって連続して蛍光体インキを塗布することが可能
であって、微細なセル構造の場合でも容易に精度良く均
一的に蛍光体層を形成することができるＰＤＰの製造方
法、並びにそれに適したインキ塗布装置及び蛍光体イン
キを提供し、これによって、ＰＤＰを高画質で筋むらが
発生しにくくし、且つ高輝度で画像表示することができ
るようにすることを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明では、
ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させながら、プ
レートに配設された隔壁間の溝に沿って相対的に走査す
ることによって蛍光体インキを塗布する際に、各溝に関
する位置情報に基づいてノズルが通過する溝内の位置を
調整しながら行うようにした。

【００１８】これによって、溝が彎曲しているような場
合でも、ノズルが常に溝の中央部を通るように走査する
ことができるので、各溝に蛍光体インキを均一的に塗布
し、且つ各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着さ
せることができる。また、本発明では、ノズルから蛍光
体インキを連続的に吐出させながら、プレートに配設さ
れた隔壁間の溝に沿って相対的に走査することによって
蛍光体インキを塗布する際に、各溝の幅を溝長手方向に
わたって測定し、測定した溝幅に応じて、隔壁長さ当た
りに塗布する蛍光体インキ量を調整しながら蛍光体イン
キをノズルから吐出させるようにした。 これによっ
て、溝幅にばらつきがあったり、溝の中で幅が変動して
いるような場合でも、蛍光体インキを均一的に塗布する
ことができる。

【００１９】また、本発明では、蛍光体インキを複数の
溝に順次塗布する際に、ノズルが溝上から外れた位置に
あるときにもノズルから蛍光体インキを連続して吐出す
る状態を維持しながら塗布するようにした。これによっ
て、ノズル出口付近における蛍光体インキの付着を防止
できるので、安定したインキジェットの流れを得ること
ができる。従って、複数の溝に対して、均一的に蛍光体
インキを塗布することができる。

【００２０】また、本発明では、ノズルから蛍光体イン
キを連続的に吐出させる前に、インキを分散器で再分散
させることとした。これによっても、塗布される蛍光体
インキの分散性が向上するので、蛍光体インキを、各溝
内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させることがで
きる。また、本発明では、ＰＤＰの製造に用いる蛍光体
インキにおいて、平均粒径が０．５〜５μｍの蛍光体粉
末、ＯＨ基を末端に持つ溶剤であるターピネオール，ブ
チルカービトールアセテート，ブチルカルビトール，ペ
ンタンジオール，リモネン等の混合溶剤を用いると共
に、バインダーとして、セルロース分子内のエトキシ基
（−ＯＣ₂Ｈ₅）含有量が４９％以上のエチルセルロース
（セルロース分子内の水酸基（−ＯＨ）がエトキシ基で
置換されたもの）、或はエチレンオキサイド系ポリマー
を用い、更に分散剤を添加した。ここで、エトキシ含有
量というのは、セルロース分子内でのエトキシ基の含有
量のことであって、例えば、セルロースの水酸基が完全
にエトキシ基で置換されたものは、エトキシ基含有量が
５４．８８％である。

【００２１】蛍光体インキの粘度は、２０００センチポ
イズ以下（好ましくは１０〜５００センチポイズ）の低
粘度に設定するのがよい。ＰＤＰ用の蛍光体インキにお
いて、従来から、バインダーとして、エチルセルロース
系、アクリル系、ポリビニールアルコール系の樹脂が用
いられ、ターピネオールやブチルカービトールなどの溶
剤も使われているが、一般的にバインダーが溶剤に十分
に溶解しにくく、蛍光体粒子や樹脂の分散状態が良くな
りにくいという問題がある。

【００２２】これに対して、上記のように蛍光体インキ
に用いるバインダーの種類と、溶剤の種類とを規定する
ことによって、バインダーの溶剤に対する溶解性が良好
となり、蛍光体の分散性も高められ、これによって、隔
壁間の溝に充填された蛍光体インキは、隔壁側面にもよ
く付着し、上記の隣接する蛍光体インキによるレオロジ
ー的影響が表れにくいことになる。従って、蛍光体イン
キを、各溝内の底と隔壁側面とにバランスよく付着させ
ることができる。

【００２３】蛍光体インキに添加する好ましい分散剤の
例としては、脂肪酸塩，アルキル硫酸，エステル塩，ア
ルキルベンゼンスルフォン酸塩，アルキルスルホコハク
酸塩及びナフタレンスルフォン酸ポリカルボン酸高分子
から選択されたる陰イオン性界面活性剤、或は、ポリオ
キシエチレンアルキルエーテル，ポリオキシエチレン誘
導体，ソルビタン脂肪酸エステル，グリセリン脂肪酸エ
ステル及びポリオキシエチレンアルキルアミンから選択
される非イオン性界面活性剤、或は、アルキルアミン
塩，第４級アンモニウム塩，アルキルベタイン，アミン
オキサイドから選択される陽イオン性界面活性剤を挙げ
ることができる。

【００２４】また、本発明では、ＰＤＰ製造用の蛍光体
インキにおいて、更に除電物質を添加することとした。
これによって、精細な構造のＰＤＰの場合でも、隔壁間
の溝に均一的に蛍光体インキを塗布することができ、ま
た出来上がったＰＤＰを駆動したときに筋むらが発生す
ることもほとんどない。これは、蛍光体インキに除電物
質や分散剤を添加すると、蛍光体インキを塗布する際に
帯電が防止されるため、蛍光体インキの盛り上がり等の
減少が抑えられるためと考えられる。

【００２５】除電物質としては、カーボン微粒子，グラ
ファイト微粒子，金属微粒子，金属酸化物の微粒子とい
った導電性微粒子、或は、上で分散剤として挙げたよう
な各種界面活性剤も除電物質として挙げられる。更に、
添加する除電物質が、界面活性剤やカーボン微粒子のよ
うに、焼成時に蛍光体層から消失される性質もしくはそ
の導電性が失われる性質を有するものであれば、蛍光体
層中に除電物質が残存することによりＰＤＰ駆動に支障
が生じる可能性もない。

【００２６】

【発明の実施の形態】［実施の形態１］ 〔ＰＤＰの全体構成及び製法について〕図１は、実施の
形態に係る交流面放電型ＰＤＰを示す斜視図であり、図
２は、このＰＤＰに回路ブロックを実装した表示装置の
構成図である。

【００２７】このＰＤＰは、前面ガラス基板１１上に放
電電極１２（走査電極１２ａ，維持電極１２ｂ）、誘電
体層１３、保護層１４が配されてなる前面パネル１０
と、背面ガラス基板２１上にアドレス電極２２、誘電体
層２３が配された背面パネル２０とが、電極１２ａ，１
２ｂとアドレス電極２２とを対向させた状態で間隔をお
いて互いに平行に配されて構成されている。そして、前
面パネル１０と背面パネル２０との間隙は、ストライプ
状の隔壁３０で仕切られることによって放電空間４０が
形成され、当該放電空間４０内には放電ガスが封入され
ている。

【００２８】また、この放電空間４０内において、背面
パネル２０側には、蛍光体層３１が配設されている。こ
の蛍光体層３１は、赤，緑，青の順で繰返し並べられて
いる。放電電極１２及びアドレス電極２２は、共にスト
ライプ状であって、放電電極１２は隔壁３０と直交する
方向に、アドレス電極２２は隔壁３０と平行に配されて
いる。

【００２９】なお、図２に示すように、各放電電極１２
は、パネルの端から端まで連続して横切っているが、各
アドレス電極２２は、パネルの中央部で分割されデュア
ルスキャン方式で駆動できるようになっている。放電電
極１２，アドレス電極２２は、銀，金，銅，クロム，ニ
ッケル，白金等の金属単独で形成してもよいが、放電電
極１２については、ＩＴＯ，ＳｎＯ₂，ＺｎＯ等の導電
性金属酸化物からなる幅広の透明電極の上に幅細の銀電
極を積層させた組み合わせ電極を用いることが、セル内
の放電面積を広く確保する上で好ましい。

【００３０】そして、放電電極１２とアドレス電極２２
が交差するところに、赤，緑，青の各色を発光するセル
が形成されたパネル構成となっている。誘電体層１３
は、前面ガラス基板１１の放電電極１２が配された表面
全体を覆って配設された誘電物質からなる層であって、
一般的に、鉛系低融点ガラスが用いられているが、ビス
マス系低融点ガラス、或は鉛系低融点ガラスとビスマス
系低融点ガラスの積層物で形成しても良い。

【００３１】保護層１４は、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなる薄層であって、誘電体層１３の表面全体を
覆っている。誘電体層２３は、可視光反射層としての働
きも兼ねるように、ＴｉＯ₂粒子が混合されている。隔
壁３０は、ガラス材料からなり、背面パネル２０の誘電
体層２３の表面上に突設されている。

【００３２】（ＰＤＰの作製方法）このＰＤＰを作製す
る方法について、以下に説明する。 前面パネルの作製：前面パネルは、前面ガラス基板１１
上に放電電極１２を形成し、その上を鉛系の誘電体層１
３で覆い、更に誘電体層１３の表面に保護層１４を形成
することによって作製する。 放電電極１２は銀からな
る電極であって、電極用の銀ペーストをスクリーン印刷
法で塗布し焼成することによって形成する。なお、この
放電電極１２は、インキジェット方式やフォトリソグラ
フィー方式で形成することもできる。

【００３３】誘電体層１３は、例えば、７０重量％の酸
化鉛［ＰｂＯ］，１５重量％の酸化硼素［Ｂ₂Ｏ₃］，１
０重量％の酸化硅素［ＳｉＯ₂］及び５重量％の酸化ア
ルミニウムと有機バインダー［α−ターピネオールに１
０％のエチルセルローズを溶解したもの］とを混合して
なる組成物を、スクリーン印刷法で塗布した後、５２０
℃で２０分間焼成することによって膜厚約２０μｍに形
成する。

【００３４】保護層１４は、酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなるものであって、一般的にはスパッタリング
法によって形成するが、ここではＣＶＤ法で１．０μｍ
の膜厚に形成する。ＣＶＤ法による酸化マグネシウム保
護層の形成は、ＣＶＤの装置内に前面ガラス基板をセッ
トし、これにソースとしてのマグネシウム化合物及び酸
素を送り込んで反応させることによって行う。ここで用
いるソースの具体例としては、アセチルアセトンマグネ
シウム［Ｍｇ（Ｃ₅Ｈ₇Ｏ₂）₂］，シクロペンタジエニル
マグネシウム［Ｍｇ（Ｃ₅Ｈ₅）₂］を挙げることができ
る。

【００３５】背面パネルの作製：背面ガラス基板２１上
に、放電電極１２と同様にスクリーン印刷法を用いて、
アドレス電極２２を形成する。次に、ＴｉＯ₂粒子が混
合されたガラス材料をスクリーン印刷法を用いて塗布し
焼成することによって誘電体層２３を形成する。

【００３６】次に、スクリーン印刷法でガラス材料を繰
返し塗布した後、焼成することによって隔壁３０を形成
する。そして、隔壁３０の間の溝に蛍光体層３１を形成
する。この蛍光体層３１の形成方法については後で詳述
するが、ノズルから蛍光体インキを連続的に噴射しなが
ら溝に沿って走査する方法で蛍光体インキを塗布し、塗
布後に、蛍光体インキに含まれている溶剤やバインダー
を除去するため焼成することによって形成する。

【００３７】なお、蛍光体インキが乾燥するときに隔壁
の側面にも蛍光体が多く付着するようにするため、隔壁
３０の材料を選択する際に、蛍光体インキの隔壁３０の
側面に対する接触角が、溝の底面に対する接触角よりも
小さくなるようなものを選択するのが好ましい。また、
本実施形態では、４０インチクラスのＶＧＡやハイビジ
ョンテレビに合わせて、隔壁の高さは０．１〜０．１５
ｍｍ、隔壁のピッチは０．１５〜０．３６ｍｍとする。

【００３８】パネル貼り合わせによるＰＤＰの作製：次
に、このように作製した前面パネルと背面パネルとを封
着用ガラスを用いて貼り合せると共に、隔壁３０で仕切
られた放電空間４０内を高真空（例えば８×１０^-7Ｔｏ
ｒｒ）に排気した後、放電ガス（例えばＨｅ−Ｘｅ系，
Ｎｅ−Ｘｅ系の不活性ガス）を所定の圧力で封入するこ
とによってＰＤＰを作製する。

【００３９】なお、本実施形態では、放電ガスにおける
Ｘｅの含有量を５体積％以上とし、封入圧力は５００〜
８００Ｔｏｒｒの範囲に設定する。ＰＤＰを駆動表示す
る際には、図２のように回路ブロックを実装して駆動を
行う。 〔蛍光体インキ、インキ塗布装置及び塗布方法について
の説明〕蛍光体インキは、各色蛍光体粒子が、バインダ
ー、溶剤、分散剤などの混合物に分散され、適度な粘度
に調整されたものである。

【００４０】蛍光体粒子としては、一般的にＰＤＰの蛍
光体層に使用されているものを用いることができるが、
その具体例としては、 青色蛍光体： ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ²⁺ 緑色蛍光体： ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：ＭｎあるいはＺｎ₂Ｓ
ｉＯ₄：Ｍｎ 赤色蛍光体：（Ｙ_xＧｄ_1-x）ＢＯ₃：Ｅｕ³⁺あるいはＹ
ＢＯ₃：Ｅｕ³⁺ を挙げることができる。

【００４１】蛍光体インキの組成などについての詳細な
説明は後述する。図３は、蛍光体層３１を形成する際に
用いるインキ塗布装置５０の概略構成図である。 図３
に示されるように、インキ塗布装置５０において、蛍光
体インキを貯えるインキサーバ５１、インキサーバ５１
内の蛍光体インキを加圧して送出する加圧ポンプ５２、
加圧ポンプ５２から送られる蛍光体インキを吐出するノ
ズルヘッド５３、基板（ストライプ状の隔壁３０が形成
された背面ガラス基板２１）を載置する基板載置台５
６、基板載置台５６上に載置される背面ガラス基板２１
の溝３２（隔壁３０どうしの間）の位置を検出するため
の溝置検出用ヘッド５５等が備えられている。

【００４２】このインキ塗布装置５０において、背面ガ
ラス基板２１は、基板載置台５６上で隔壁３０が図中Ｘ
軸方向に沿うように配置される。また、ノズルヘッド５
３及び溝検出用ヘッド５５を、基板載置台５６に対して
相対的に駆動する駆動機構（不図示）が設けられ、制御
器６０からの指示に従って、基板載置台５６の表面に沿
ってＸ軸方向及びＹ軸方向に走査できるようになってい
る。なお、この駆動機構としては、３軸ロボット等に用
いられている送りネジ機構やリニアモータ、或はエアシ
リンダ機構を用いて、ノズルヘッド５３及び溝検出用ヘ
ッド５５、若しくは基板載置台５６を駆動すればよく、
その具体例については、実施の形態２において説明す
る。

【００４３】また、各ヘッド５３，５５の基板載置台５
６上におけるＸ軸・Ｙ軸方向の位置、即ち（Ｘ，Ｙ）座
標を検出する位置検出機構（不図示）が設けられ、制御
器６０ではこれらの座標位置が検出できるようになって
いる。この位置検出機構としてリニアセンサを設けても
よいが、例えば、Ｘ軸あるいはＹ軸駆動機構において、
パルスモータのように駆動量を正確に制御できる駆動源
を用いる場合は、Ｘ軸あるいはＹ軸の基準位置を通過す
るときにそれを検知することのできる基準位置検出セン
サを設ければ、当該駆動源の駆動量からＸ軸あるいはＹ
軸方向の位置を測定することができる。

【００４４】ノズルヘッド５３は、金属材料を機械加工
並びに放電加工することによって、インキ室５３ａやノ
ズル５４の部分も含めて一体成形されたものであって、
加圧ポンプ５２から供給される蛍光体インキは、一旦イ
ンキ室５３ａに貯えられ、ノズル５４から連続的にイン
キジェットを噴射するようになっている。ここでは、ノ
ズルヘッド５３にはノズル５４が１本だけ設けられてい
るものとするが、複数本のノズル５４を設けて複数のイ
ンキジェットを噴射するようにすることもでき、この場
合、インキ室５３ａで蛍光体インキが分配されると共に
ノズル毎に加わる圧力が均一化される．ノズル５４の口
径は、後の図１１で説明するように隔壁間の溝からイン
キジェットがはみ出ないようにすることを考慮して、隔
壁ピッチと比べてかなり小さく設定するのがよいが、ノ
ズルの目詰まり起こさないようにすることも必要であ
る。通常は、数十〜数百μｍ程度の範囲に設定するが、
これは蛍光体インキの吐出量などの条件によっても変っ
てくる。

【００４５】また、インキサーバ５１には、貯蔵される
蛍光体インキ中の粒子（蛍光体粒子など）が沈殿するの
を防止するため、攪拌機５１ａが設けられている。溝検
出用ヘッド５５は、基板載置台５６上に載置される背面
ガラス基板２１の表面に沿って走査され、当該表面の各
位置における特性（例えば表面から反射される光量や、
表面の誘電率など）を測定するものであって、この溝検
出用ヘッド５５の測定結果に基づいて、背面ガラス基板
２１における各溝３２の位置情報を得ることができるよ
うになっている。

【００４６】ここでは、図３に示されるように、溝検出
用ヘッド５５は、Ｙ軸方向に延びるＣＣＤラインセンサ
５７と、背面ガラス基板２１の上面から反射される光を
ＣＣＤラインセンサ５７上に結像させるレンズ５８とを
備え、ＣＣＤラインセンサ５７のＹ軸方向幅に相当する
背面ガラス基板２１の上面の画像データを取り込んで制
御器６０に送るようになっているものとする。

【００４７】〔インキ塗布装置５０による溝位置検出及
びインキ塗布操作の説明〕このようなインキ塗布装置５
０を用いて、隔壁３０間の溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの
位置情報を得、それに基づいてノズルヘッド５３が通過
する溝内の位置を制御しながら各色蛍光体インキを各溝
３２ａ，３２ｂ，３２ｃに順に塗布する。以下、その具
体例を示す。

【００４８】先ず、基板載置台５６上に背面ガラス基板
２１を載置し、溝検出用ヘッド５５を、Ｘ軸方向に走査
しながら撮像する操作を、Ｙ軸方向にずらしつつ繰返し
て行うことによって、背面ガラス基板２１表面全体にわ
たる画像データを制御器６０に順に送る。制御器６０で
は、溝検出用ヘッド５５から送られてくる画像データを
取り込んで、基板載置台５６上の座標と輝度とを対応さ
せた画像データをメモリに格納する。

【００４９】図４は、このようにして得られた画像デー
タを模式的に示すものであって、図中、斜線部が背面ガ
ラス基板２１に相当し、その中の白抜き部は隔壁３０の
上面に相当する部分である。次に、得られた画像データ
に基づいて、走査ラインを設定する。図４において斜線
表示及び白抜き表示で区別しているように、この画像デ
ータにおいて、隔壁３０間の溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃ
に相当する部分と、隔壁３０の上面に相当する部分と
は、輝度レベルが異なる（一般的には溝部分の方が隔壁
上面部分よりも反射する光量が少ないので暗くなる）と
考えられるので、輝度レベルが急に変化する箇所を各溝
３２ａ，３２ｂ，３２ｃの縁（溝と隔壁との境界線）と
見なし、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃにおいて両縁の中
間に走査ラインＳを設定すればよい。

【００５０】以下、走査ラインＳを設定する手法につい
て、更に具体的に説明する。図４の画像データにおい
て、隔壁３０を横切るように、Ｙ軸に平行に等ピッチで
複数の検索ラインＬを引く。図５（ａ）は、図４の部分
拡大図であって、図中、検索ラインＬ1，Ｌ2，Ｌ3…Ｌ6
が引かれている。

【００５１】図５（ｂ）は、検索ラインＬ1上の各位置
における輝度を模式的に示すグラフであって、隔壁３０
の上面に相当する位置では高輝度、溝３２ａ，３２ｂ，
３２ｃに相当する位置で低輝度となっている様子が示さ
れている。図５（ａ）における検索ラインＬ1上におい
て、輝度が急激に変化する点（Ｐ11，Ｐ12，Ｐ13，…，
Ｐ18）のＹ座標、即ち、図５（ｂ）のグラフにおいて立
ち上がり及び立ち下がりのＹ座標を求める。同様に、図
５（ａ）における検索ラインＬ2、Ｌ3、…Ｌ6について
も、輝度が急激に変化する輝度変化点（Ｐ21，Ｐ22，Ｐ
23，…，Ｐ28）、輝度変化点（Ｐ31，Ｐ32，Ｐ33，…，
Ｐ38）、…輝度変化点（Ｐ61，Ｐ62，Ｐ63，…，Ｐ68）
のＹ座標を求める。

【００５２】そして、輝度変化点Ｐ11とＰ12の中点Ｑ1
1、輝度変化点Ｐ21とＰ22の中点Ｑ21、…、変化Ｐ61と
Ｐ62の中点Ｑ61の座標を求め、中点Ｑ11，中点Ｑ21，…
中点Ｑ61を連結することによって、図５（ａ）の左端の
溝３２ａについての走査ラインＳ1を設定する。図５
（ａ）の左から２番目，３番目，４番目の溝について
も、これと同様に、輝度変化点の中点の座標を結ぶこと
によって、走査ラインＳ2，Ｓ3，Ｓ4を設定する。

【００５３】このように走査ラインＳを設定した後、各
走査ラインに沿ってノズル５４を走査しながら、各色蛍
光体インキをノズル５４から噴射することによって、溝
３２ａ，３２ｂ，３２ｃに蛍光体インキを塗布する。具
体的には以下のように行う。まず、インキサーバ５１
に、青・緑・赤の中、第１色目（例えば青色）の蛍光体
インキを入れる。

【００５４】制御器６０は、最初に塗布しようとする溝
３２ａの走査ラインＳの端にノズルヘッド５３を移動
し、加圧ポンプ５２を駆動して蛍光体インキを圧送す
る。これによって、ノズル５４から蛍光体インキが連続
流となって吐出される。ノズル５４の下端と隔壁上面と
の距離は、インキ吐出量などの条件にもよるが、通常
０．５〜３ｍｍに設定する。

【００５５】この状態で、制御器６０は、ノズルヘッド
５３をＸ方向に走査するが、ノズル５４が走査ラインＳ
に沿うよう、ノズルヘッド５３のＹ方向の位置も調整し
ながら走査する。制御器６０は、次に、ノズルヘッド５
３をｙ軸方向にずらして、次に塗布しようとする溝３２
ａの走査ラインＳの端にノズルヘッド５３を移動し、ノ
ズルから蛍光体インキを吐出しながら、背面ガラス基板
２１を反対向きに高速で走査することによって、ノズル
５４が走査ラインＳに沿うようにノズルヘッド５３を走
査しながら蛍光体インキを塗布する。 そして、このよ
うな操作を繰り返すことによって、第１色目の蛍光体イ
ンキを、背面ガラス基板における全ての溝３２ａに塗布
する。

【００５６】次に、同様にして、隣接する溝３２ｂに、
第２色目（例えば緑色）の蛍光体インキを塗布し、更に
隣接する溝３２ｃに第３色目（例えば赤色）の蛍光体イ
ンキを塗布する。これによって、３色の蛍光体インキ
が、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃに塗布される。以上の
ような蛍光体インキの塗布方法によれば、図６（ａ）に
示すように溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃがＸ軸に対して傾
いていたとしても、或は図６（ｂ）に示すように溝３２
ａ，３２ｂ，３２ｃが彎曲していたとしても、常に各溝
の中央部を通るように走査ラインＳが設定され、その走
査ラインＳに沿ってノズル５４が走査されるので、蛍光
体インキが常に溝の両側の隔壁側面に塗布され、溝に沿
って均一的に蛍光体インキが塗布されることになる。

【００５７】即ち、図６（ａ），（ｂ）に示すように溝
３２ａ，３２ｂ，３２ｃがＸ軸に対して傾いていたり彎
曲している場合、仮にノズル５４をＹ軸方向は移動させ
ることなくＸ軸に平行に直線的に走査したとすれば、図
７（ａ）に示すように、ノズル５４が溝３２の中央部か
らはずれてどちらか一方（図７では左側）の隔壁３０に
近づく箇所が存在し、このような箇所では、近い側の隔
壁側面に蛍光体インキが多く付着しやすく、形成される
蛍光体層も、図７（ｂ）に示すように、片側の隔壁側面
上に厚く形成されやすい。そして極端な場合はノズル５
４が溝から外れて混色する可能性もある。これに対し
て、本実施形態の塗布方法を用いれば、いずれの箇所で
も両側面に均等に蛍光体インキが塗布される。

【００５８】なお、ノズルは必ずしも設定された走査ラ
インの真上を走査しなくても、各走査ラインからあまり
離れることなく走査すれば、このような効果を得ること
はできる。 （蛍光体インキの吐出量制御について）ところで、隔壁
３０のピッチが一定で、各溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの
溝幅が均一であれば、ノズルの走査速度及びインキの吐
出量（単位時間当たりのノズルからの吐出量）は一定に
設定すればよいが、溝幅にばらつきがあったり、溝の中
で幅が変動しているような場合、ノズルの走査速度及び
インキの吐出量を一定にすると、蛍光体インキの付着状
態（溝の底及び側面への付着バランス）が不均一にな
る。これは、溝幅の広いところでは、溝幅の狭いところ
と比べて、塗布される蛍光体インキが広い面積に分散さ
れるため隔壁側面への蛍光体インキの塗布が少なくなる
ためである。

【００５９】また溝幅が小さいところでは、蛍光体イン
キの塗布量が過大となり、隣接する溝にあふれて混色を
引き起こす可能性もある。これに対して、以下のよう
に、溝幅の変動に対応して、蛍光体インキを加圧する圧
力を調整して吐出量を制御するか、走査速度を制御する
ことによって解消することができる。 図４の画像デー
タにおいて、検索ラインＬ上において、各溝３２ａ，３
２ｂ，３２ｃごとの溝幅を測定しておき、ノズル５４を
走査してインキを塗布するときにそれに基づいて、Ｘ軸
方向の単位長さ当たりのインキ塗布量が溝幅に比例する
ように、加圧ポンプ５２の圧力、或はＸ軸駆動機構によ
る駆動速度を制御する。

【００６０】例えば、図５（ａ）の走査ラインＳ1につ
いては、点Ｑ11における溝幅（点Ｐ11と点Ｐ12間距
離），点Ｑ21，…点Ｑ61における溝幅を測定しておく。
そして、ノズル５４で走査ラインＳ1上を走査する際、
ノズル５４が各点Ｑ11，Ｑ21，…Ｑ6上を通過する時
に、加圧ポンプ５２による加圧力を、上記の測定した溝
幅に比例させる。

【００６１】このように制御することによって、Ｘ軸方
向単位長さあたりに塗布される蛍光体インキ量は、溝幅
に略比例することになるので、溝幅にばらつきや変動が
ある場合でも、蛍光体インキの付着状態は均一的とな
り、また、溝幅が小さいところでも混色が生じない。 （溝の位置情報を得る方法やノズル走査方法についての
変形例など）本実施の形態では、溝検出用ヘッド５５で
背面ガラス基板２１の上面全体の画像を撮り、その画像
データから溝の位置情報を得て、それを用いて走査ライ
ンを設定する例を示したが、走査ラインを設定する方法
は、これに限られることはなくいろいろある。

【００６２】例えば、Ｘ軸方向に延びるＣＣＤラインセ
ンサを備えたヘッドを、隔壁３０を横切るようにＹ軸方
向に走査することによっても輝度変化点を求めることが
できる。即ち、図５（ａ）の検索ラインＬ1，Ｌ2…に相
当するライン上の輝度を検出すれば、同様に輝度変化点
を求めることができ、走査ラインを設定することができ
る。

【００６３】また、上記実施の形態では、輝度が急激に
変化する点を検出し、それを溝の縁と判定するようにし
たが、例えば、溝検出用ヘッド５５に距離センサを配置
して、同様に背面ガラス基板２１の上面を走査し、距離
センサからの距離が急減に変化する点を検出し、それを
溝の縁と判定することも可能である。あるいは、溝検出
用ヘッド５５に誘電率を測定する誘電体測定センサーを
配置して、同様に背面ガラス基板２１の上面を走査し、
誘電体が急減に変化する点を検出し、それを溝の縁と判
定することも可能である。

【００６４】また、上記インキ塗布装置５０において
は、ノズルヘッド５３と溝検出用ヘッド５５とそれぞれ
独立して駆動できるようにしたが、これらを一体で駆動
するようにしても、上記と同様の操作を行うことはでき
る。上記インキ塗布装置５０においては、予め背面ガラ
ス基板２１の上面全体にわたって、溝検出用ヘッド５５
で溝の位置を検出して走査ラインを設定し、その後、蛍
光体インキの塗布を開始する例を示したが、並行して行
うことも可能である。即ち、ノズルヘッド５３を走査し
て蛍光体インキを塗布しながら、後でインキを塗布しよ
うとする溝について画像データを得ると共に走査ライン
を設定し、その溝にインキを塗布する際に当該走査ライ
ンに合わせてノズルヘッド５３を制御しながら走査する
こともできる。

【００６５】即ち、ノズルヘッド５３を走査するのに先
行して走査ラインを設定すれば、ノズルヘッド５３をそ
れに合わせて制御することはでき、上記実施の形態と同
様の効果を奏するものと考えられる。従って、例えばノ
ズルヘッド５３に、その走査方向前方で溝の中央位置を
検出する溝検出器（ＣＣＤラインセンサ）を付設してお
き、ノズルヘッド５３を走査する際に、この溝検出器
で、ノズルヘッド５３に先行して溝の中央位置を検出
し、検出した中央位置を通るようにノズルヘッド５３を
制御しながら走査するようにすることも可能である。但
しこの場合、溝の中央位置検出及びｙ軸方向ヘの駆動は
迅速に行えるようにしておく必要がある。

【００６６】更にこの他に、ノズルヘッド５３に溝検出
器を付設しておき、当該溝検出器で検出する溝の中央位
置とノズルとの位置ずれを算出し、位置ずれをなくすよ
うノズルヘッド５３をｙ軸方向に駆動させるフィードバ
ック補正を行うことも可能である。また、上記実施の形
態では、ノズルヘッド５３にノズル５４を１つ設ける場
合について説明したが、ノズルヘッド５３に複数のノズ
ル５４を設ける場合でも、同様に実施することができ
る。

【００６７】この場合、各ノズル５４を各走査ラインに
沿うようにノズルヘッド５３をＹ軸方向に調整しながら
走査する。例えば、ノズルピッチを隔壁ピッチの３倍に
設定し、ノズルヘッド５３の位置調整は、各溝３２ａの
中央に設定された各走査ラインを平均化したものをノズ
ルヘッド５３の走査ラインとし、そのヘッド走査ライン
に一致するようノズルヘッド５３をＹ軸方向に調整しな
がら走査する。

【００６８】これによって、複数の溝に対しても、並行
して蛍光体インキを塗布を行うことができる。ノズルヘ
ッド５３に設けるノズル５４の数が１本であれば、溝３
２ａ，３２ｂ，３２ｃの本数分だけタクト回数も必要で
あるが、上記のようにノズルヘッド５３に設けるノズル
５４の数を多くすれば、タクト回数を少なくすることが
できる。例えばノズルヘッド５３に３本のノズル５４を
設ければ、１回の走査で３本の溝に塗布できるので、タ
クト回数を１／３とすることができることはいうまでも
ない。

【００６９】高精細のＰＤＰでは、背面ガラス基板２１
に設ける溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃの本数は数百から数
千本と非常に多い（例えば、４２インチクラスの１６：
９タイプＶＧＡレベルのＰＤＰ表示装置では、各色ごと
に８５０本程度の溝があり、ＨＤタイプでは各色ごとに
１９２０本の溝がある）。従って、ノズル５４の数を多
くすることによって作業効率をかなり向上できる。

【００７０】また、本実施形態では、第１色目の蛍光体
インキを塗布し終えてから次の色を塗布するという方法
を示したが、インキ塗布装置５０に３色分のノズルヘッ
ドを設けておいて、３色の蛍光体インキを並行して塗布
することも可能である。 〔蛍光体インキの組成について〕 （１）蛍光体粒子 ノズルの目づまりや蛍光体粒子の沈殿を抑制するため
に、蛍光体インキに用いる蛍光体粒子の平均粒径は、５
μｍ以下とするのがよい。また、蛍光体が良好な発光効
率を得るために、蛍光体の平均粒径は０．５μｍ以上と
するのがよい。従って、蛍光体粒子としては、平均粒径
が０．５〜５μｍを用いるのが好ましく、特に２〜３μ
ｍの範囲にあるものを用いるのが好ましい。

【００７１】また、蛍光体粒子の分散性を向上させるた
めに、以下のようにして、蛍光体粒子の表面に、酸化物
やフッ化物を付着あるいはコーティングすることが有効
である。蛍光体粒子の表面に付着あるいはコーティング
させる金属酸化物の例としては、酸化マグネシウム（Ｍ
ｇＯ），アルミニウム酸化物（Ａｌ₂Ｏ₃），酸化珪素
（ＳｉＯ₂），酸化インジウム（ＩｎＯ₃），酸化亜鉛
（ＺｎＯ），酸化イットリウム（Ｙ₂Ｏ₃）が挙げられ
る。この中で、ＳｉＯ₂は負に帯電する酸化物として知
られ、一方、ＺｎＯ，Ａｌ₂Ｏ₃，Ｙ₂Ｏ₃は正に帯電する
酸化物として知られており、特にこれらの酸化物を付着
あるいはコーティングさせることは有効である。

【００７２】付着させる酸化物の粒径は、蛍光体粒子の
粒径と比べてかなり小さく、これらの酸化物の蛍光体粒
子表面ヘの付着量は、蛍光体粒子に対して０．０５〜
２．０重量％の範囲とするのが適当である。これは、こ
の範囲より少なすぎると効果が少なく、多すぎるとプラ
ズマ中で発生する真空紫外線を吸収していまい、パネル
輝度が低下するためである。

【００７３】蛍光体粒子の表面に付着あるいはコーティ
ングさせるフッ化物の例としては、フッ化マグネシウム
（ＭｇＦ₂）やフッ化アルミニウム（ＡｌＦ₃）が挙げら
れる。 （２）バインダー 蛍光体粒子を良好に分散させるのに適したバインダーと
しては、エチルセルロースあるいはポリエチレンオキサ
イド（エチレンオキサイドのポリマ）が挙げら、特に、
エトキシ基（−ＯＣ₂Ｈ₅）の含有率が４９〜５４％のエ
チルセルロースを用いるのが好ましい。

【００７４】また、バインダーとして光感光性樹脂を用
いてもよい。 （３）溶剤 溶剤としては、水酸基（ＯＨ基）を有する有機溶剤を混
合したものを用いるのが好ましく、その有機溶剤の具体
例としては、ターピネオール（Ｃ₁₀Ｈ₁₈Ｏ），ブチルカ
ルビトールアセテート，ペンタンジオール（２，２，４
−トリメチルペンタンジオールモノイソブチレート），
ジペンテン（Dipentene、別名Limonen），ブチルカルビ
トール等が挙げられる。

【００７５】これらの有機溶剤を混合した混合溶剤は、
上記のバインダーを溶解させる溶解性に優れており、蛍
光体インキの分散性を優れたものとする。蛍光体インキ
中における蛍光体の含有量としては３５〜６０重量％、
バインダーの含有量としては０．１５％〜１０重量％の
範囲内が適当である。なお、後述するようい溝に塗布さ
れる蛍光体インキの形状を整えるため、バインダーの含
有量は、インキ粘度が高くなり過ぎない範囲内で大き目
に設定するのが好ましい。

【００７６】（４）分散剤 上記のような組成の蛍光体インキに、更に分散剤を添加
することによって、インキ中における蛍光体粒子の分散
性を向上させることができる。分散剤の例としては、以
下のような界面活性剤が挙げられる。 ＊陰イオン性界面活性剤：脂肪酸塩，アルキル硫酸，エ
ステル塩，アルキルベンゼンスルフォン酸塩，アルキル
スルホコハク酸塩，ナフタレンスルフォン酸ポリカルボ
ン酸高分子。

【００７７】＊非イオン性界面活性剤：ポリオキシエチ
レンアルキルエーテル，ポリオキシエチレン誘導体，ソ
ルビタン脂肪酸エステル，グリセリン脂肪酸エステル，
ポリオキシエチレンアルキルアミン。 ＊陽イオン性界面活性剤：例えば、アルキルアミン塩，
第４級アンモニウム塩，アルキルベタイン，アミンオキ
サイド。

【００７８】（５）除電物質 また、蛍光体インキに、除電物質を添加するのも好まし
い。上記（４）で分散剤として挙げた界面活性剤は、一
般的に蛍光体インキの帯電を防止する除電作用も有して
おり、除電物質に該当するものが多い。但し、蛍光体，
バインダー，溶剤の種類によって除電作用も異なるの
で、いろいろな種類の界面活性剤について試験を行っ
て、結果の良好なものを選択するのがよい。

【００７９】界面活性剤の添加量としては、０．０５〜
０．３重量％が適当であって、この範囲より少ないと分
散向上効果あるいは除電効果があまり期待できず、一方
この範囲より多いと輝度に影響を及ぼすので好ましくな
い。除電物質としては、界面活性剤の他に、導電性の材
料からなる微粒子も挙げることができる。

【００８０】導電性微粒子としては、カーボンブラック
をはじめとするカーボン微粉末、グラファイトの微粉
末、Ａｌ，Ｆｅ，Ｍｇ，Ｓｉ，Ｃｕ，Ｓｎ，Ａｇといっ
た金属の微粉末、並びにこれらの金属酸化物からなる微
粉末が挙げられる。このような導電性微粒子の蛍光体イ
ンキに対する添加量は、０．０５〜１．０重量％の範囲
とするのが好ましい。

【００８１】蛍光体インキに除電物質を添加することに
よって、蛍光体インキの帯電が防止されるが、これは、
ＰＤＰの生産において次のような効果を奏する。蛍光体
インキに除電物質が添加されていない場合には、作製さ
れたパネルを駆動したときに筋むらが発生しやすいとい
う問題があるが、蛍光体インキに除電物質が添加される
ことによって筋むらの発生が抑えられる。

【００８２】また、蛍光体インキに除電物質を添加しな
い場合には、蛍光体インキの帯電によって、パネル中央
部におけるアドレス電極２２の切れ目（図２参照）にお
いて蛍光体層が盛り上がるという問題も生じやすいが、
蛍光体インキに除電物質を添加することによってこれも
抑えることができる。これらは、蛍光体インキ（特に有
機溶剤を用いたもの）が塗布時に帯電することによっ
て、各溝に塗布される蛍光体インキの量や溝への付着状
態に若干のばらつきを生じるが、蛍光体インキに除電物
質を添加することによってこの帯電が防止されるためと
考えられる。

【００８３】また、帯電を抑えることによって、液適の
飛散による混色も防止できる。また、上記のように除電
物質として界面活性剤やカーボン微粉末を用いた場合に
は、蛍光体インキに含まれている溶剤やバインダーを除
去する蛍光体焼成工程において除電物質も蒸発あるいは
焼失されるので、焼成後の蛍光体層中には除電物質が残
存しない。従って、蛍光体層中に除電物質が残存するこ
とによってＰＤＰの駆動（発光動作）に支障が生じる可
能性もない。

【００８４】〔蛍光体インキの製造方法について〕蛍光
体インキは、上記のバインダーを、溶剤に対して０．２
〜１０重量％溶解し、これに各色蛍光体粒子を調合し
て、分散器を用いて蛍光体粒子を分散させることによっ
て作製する。蛍光体インキを製造する分散器としては、
ボールを用いて分散する振動ミルや撹拌槽型ミル（ボー
ルミル，ビースミル，サンドミル等）の他に、ボールを
用いることなく分散する流通管型ミル、ジェットミル、
ナノマイザなどを挙げることができる。

【００８５】振動ミルや撹拌槽型ミルの分散媒体（メデ
ィア）としては、ジルコニアやアルミナのボールを用
い、特に直径０．２〜２ｍｍのジルコニア（ＺｒＯ₂）
ボールを用いるのが好ましい。これは、蛍光体粉末への
ダメージを抑えると共に、不純物の混入（コンタミ）を
抑えるためである。ジェットミルを用いる場合、１０〜
１００ｋｇｆ／ｃｍ²の圧力範囲で分散を行うのが好ま
しい。この圧力範囲が好ましいのは、１０ｋｇｆ／ｃｍ
²未満では十分な分散が得られず、１００ｋｇｆ／ｃｍ²
を越えると蛍光体粒子が潰れる傾向にあるからである。

【００８６】蛍光体インキの粘度（２５℃でせん断速度
が１００ｓｅｃ^-1における粘度）は、２０００センチポ
イズ以下、好ましくは１０〜５００センチポイズの範囲
内に調整する。蛍光体粒子の表面に酸化物やフッ化物を
付着する方法は、例えば、蛍光体粒子の懸濁液に、酸化
マグネシウム（ＭｇＯ），アルミニウム酸化物（Ａｌ₂
Ｏ₃），酸化珪素（ＳｉＯ₂），酸化インジウム（ＩｎＯ
₃）などの金属酸化物の懸濁液、あるいはフッ化マグネ
シウム（ＭｇＦ₂）やフッ化アルミニウム（ＡｌＦ₃）な
どの金属フッ化物の懸濁液を加え、混合撹拌した後、吸
引濾過し、１２５℃以上で乾燥して、３５０℃で焼成す
ることによって行うことができる。ここで、蛍光体粒子
と酸化物，フッ化物との接着力を向上させるために、樹
脂，シランカップリング剤（silane coupler）あるい
は水ガラス（water glass）を、上記懸濁液に少量添加
してもよい。

【００８７】また、例えば、蛍光体粒子の表面にアルミ
ニウム酸化物（Ａｌ₂Ｏ₃）の膜をコーティングするに
は、アルミニウムのアルコキシドであるＡｌ（ＯＣ
₂Ｈ₅）₃のアルコール溶液に、蛍光体粒子を加えて撹拌
することによって行うことができる。 〔本実施形態の蛍光体インキの作用効果について〕本実
施形態の蛍光体インキは上記のように、分散性が優れる
ため、隔壁間の溝に塗布されると、隔壁側面に対する付
着性が良好である。その原理について、以下に説明す
る。

【００８８】図８は、蛍光体インキを隔壁間の溝に塗布
した後、蛍光体層が形成される様子を模式的に示す図で
ある。流動性のよい蛍光体インキが隔壁３０間に充填さ
れると、充填された蛍光体インキ中の蛍光体粒子には、
重力Ｆ1が働きこれを底に沈降させようとする。一方、
蛍光体インキ中の蛍光体粒子には、隔壁側面方向に移動
させようとする力Ｆ2も働く。この力Ｆ2は、蛍光体イン
キ中の溶剤が隔壁３０中に拡散するのに伴って、バイン
ダによって相互に結合している蛍光体粒子も隔壁方向に
引っ張ろうとする力である。

【００８９】隔壁間の溝に最終的に形成される蛍光体層
の形状は、これらの力Ｆ1と力Ｆ2とのバランスによって
決められるが、蛍光体インキの分散性が良好であるほ
ど、力Ｆ2が大きくなるため、隔壁側面に対する蛍光体
インキの付着性が良好になるものと考えられる。また、
上述したように、蛍光体インキ中のバインダーの含有量
を大き目に設定するのが好ましいのもこれと同じ原理で
あって、バインダーの含有量を大き目に設定することに
よって力Ｆ2が向上するので、隔壁側面に対する蛍光体
インキの付着性が向上することになる。

【００９０】そして、蛍光体の隔壁側面への付着が向上
すると、隔壁側面に形成される蛍光体層の割合が大きく
なり、ＰＤＰのパネル輝度向上に寄与する。これは表示
電極に近い所で発生する紫外線を可視光に効率よく変換
できるためである。図９は、蛍光体インキ中の樹脂バイ
ンダーの濃度を変えたときに、形成される蛍光体層形状
がどのように変わるかを模式的に示すものである。

【００９１】本図に示すように、樹脂濃度が小さい場合
は、蛍光体粒子はほとんど底に沈降し、蛍光体層は底に
だけ形成されるが、樹脂濃度成分を多くなるにつれて、
蛍光体粒子間の結合力が高くなるので、隔壁側面に付着
する蛍光体の量が多くなり、樹脂濃度成分がある程度以
上に高くなると、蛍光体層が隔壁側面だけに形成される
ようになる。

【００９２】なお、複数色の蛍光体インキを溝に順に塗
布していく場合、２番目，３番目の色の蛍光体インキを
塗布しようとする際には、既に、隣の溝には蛍光体イン
キが塗布されているので、隔壁には既に溶剤が浸透して
いる。そのため、新たに溝に塗布された蛍光体インキ中
の溶剤は、当該隔壁に浸透しにくく、従って、分散性の
悪い蛍光体インキを用いると力Ｆ2がほとんど働かない
ことになる。

【００９３】しかし、本実施形態のように分散性のよい
蛍光体インキを用いれば、このように隣の溝に蛍光体イ
ンキが塗布されている場合でも、ある程度の力Ｆ2が働
くので、隔壁側面への蛍光体インキの付着性は比較的良
好である。また、通常、ノズル５４の口径は、隔壁ピッ
チと比べてかなり小さく設定されており、細いノズルか
ら蛍光体インキを安定的に吐出させるために、インキ粘
度もかなり低く設定する必要がある。図１０に示すよう
に、従来のスクリーン印刷などに用いるインキ粘度と比
べて、およそ２桁ほど粘度を低くする必要がある。

【００９４】そのため、ノズルに目詰まりが発生しやす
いが、本実施形態の蛍光体インキは蛍光体粒子の分散が
良好なため、ノズルの目詰まりが生じにくく、従って蛍
光体インキを連続的に長時間塗布することが可能であっ
て、連続で１００時間以上塗布することも可能である。
ノズル５４の口径を、隔壁ピッチと比べてかなり小さく
設定する理由は次の通りである。

【００９５】図１１は、ノズルからの蛍光体インキの吐
出状況を示す図である。図１１（ａ）に示すように、ノ
ズルから蛍光体インキが吐出された後で蛍光体インキが
膨張する傾向を示す。これは、いわゆるバラス効果とい
われるものである この点を考慮すると、ノズル径ｄ
は、隔壁ピッチと比べてかなり小さくする必要がある。
例えばＶＧＡクラスの３６０μｍピッチの隔壁の場合、
ノズル径ｄを１００μｍ前後に設定する必要があり、Ｈ
Ｄクラスではノズル径ｄを５０μｍ前後と非常に小さく
設定する必要がある。

【００９６】（蛍光体インキを塗布する方法の変形例）
このような低粘度の蛍光体インキをノズルから吐出させ
た後、吐出を停止させると、図１１（ｂ）に示すよう
に、停止後の流れは噴流の軸がずれ、流れが不安定とな
りやすい。この理由は、インキの吐出を停止すると、ノ
ズル先端における噴出口の周囲（ノズル下面）に蛍光体
インキが付着し、その濡れ性が微妙に変わるためであ
り、特にノズル周囲の濡れぶち長さが小さく、インキの
粘性が小さい場合に顕著となる。

【００９７】これに対する対策として、ノズル５４から
連続的に蛍光体インキを吐出して、複数の溝に順次塗布
する間は継続的に蛍光体インキを吐出さればよい。即
ち、ノズル５４が溝から外れた位置にあるときも、蛍光
体インキの吐出を停止させることなく継続させる塗布方
法を用いれば、ノズル先端下面における蛍光体インキの
付着を防止できるので、図１１（ｂ）に示すようなイン
キジェット噴流の軸がずれは防止できる。

【００９８】例えば、背面ガラス基板２１全体に対して
一色の塗布を終わるまでは継続して蛍光体インキを吐出
させるようにすれば、その間はインキジェット噴流の軸
ずれは防止できるので、安定して塗布することができ
る。 ［実施の形態２］図１２は、本実施形態にかかるインキ
塗布装置を示す斜視図であり、図１３はこのインキ塗布
装置の正面図（一部断面）である。

【００９９】このインキ塗布装置は、基本的に上記イン
キ塗布装置５０と同様の構成であるが、蛍光体インキを
回収して用いる循環機構や複数のノズルを持つノズルヘ
ッドを回転してノズルピッチを調整するノズル回転機構
などを備えるといった工夫が施されている。 （インキ塗布装置の構成）このインキ塗布装置は、装置
本体１００と制御器２００とから構成されている。

【０１００】装置本体１００は、本体ベース１０１と、
当該本体ベース１０１の上面に敷かれたレール１０２に
沿ってＸ軸方向（図中矢印Ｘ方向）に移動する基板載置
台１０３と、本体ベース１０１を跨ぐように設けられた
アーム１０４のレール１０５に沿ってＹ軸方向（図中矢
印Ｙ方向）に移動するノズルヘッドユニット１１０、同
様にアーム１０４をＹ軸方向に移動し基板載置台１０３
上に載置された背面ガラス基板２１の隔壁位置を検出す
る撮像ユニット１２０が設けられている。

【０１０１】本体ベース１０１の内部には、基板載置台
１０３をＸ軸方向に往復駆動させるためのＸ駆動機構１
３０が設けられている。このＸ駆動機構１３０は、駆動
モータ１３１（例えばサーボモータ，ステッピングモー
タ）と、レール１０２に沿ってＸ軸方向に延びる送りネ
ジ１３２と、基板載置台１０３の下部に固着されたナッ
ト１３３とから構成され、駆動モータ１３１で送りネジ
１３２を回転駆動することによって、ナット１３３と共
に基板載置台１０３をＸ軸方向に高速でスライド駆動さ
せることができる。

【０１０２】図１４は、図１２に示すノズルヘッドユニ
ット１１０の拡大図である。ノズルヘッドユニット１１
０には、これをＹ軸方向に往復駆動させるためのＹ軸駆
動機構が内蔵された駆動ベース部１１１、複数のノズル
１１３が並設されたノズルヘッド１１２、ノズルヘッド
１１２の高さを調整するためにこれを昇降させる昇降機
構１１４、及びノズルヘッド１１２を基板載置台１０３
と平行な面内で回転駆動させる回転駆動機構１１５が設
けられている。

【０１０３】上記Ｙ軸駆動機構及び昇降機構１１４とし
ては、例えば、リニアモータや、ピニオン歯車付き駆動
モータをラック歯車とを組み合わせたスライド機構を適
用することができる。また、回転駆動機構１１５として
は、例えばサーボモータを用い、これによってノズルヘ
ッド１１２の回転軸１１２ａ中心にして回転させる。撮
像ユニット１２０は、上記駆動ベース部１１１と同様に
Ｙ軸駆動機構（不図示）によってアーム１０４上をＹ軸
方向に駆動できるようになっている。この撮像ユニット
１２０には、実施の形態１で説明した溝検出用ヘッド５
５と同様、Ｙ軸方向に延びるＣＣＤラインセンサなどが
内蔵され、基板載置台１０３上に載置された背面ガラス
基板２１の上面画像データを得ることができるようにな
っている。

【０１０４】なお、図示はしないが、このインキ塗布装
置には、基板載置台１０３のＸ軸方向の位置を検出する
Ｘ位置検出機構、ノズルヘッドユニット１１０及び撮像
ユニット１２０のＹ軸方向の位置を検出するＹ位置検出
機構、昇降機構１１４の高さ位置を検出する高さ検出機
構として、Ｘ軸方向・Ｙ軸方向・上下方向の各々にリニ
アセンサー（例えば、光学式のリニアエンコーダ）が設
けられており、これによって、制御器２００では、各リ
ニアセンサーからの信号に基づいて、ノズルヘッドユニ
ット１１０及び撮像ユニット１２０の位置（基板載置台
１０３上におけるＸ座標及びＹ軸座標）並びにノズルヘ
ッド１１２の高さを随時検出できるようになっている。
また、ノズルヘッド１１２のＸ軸に対する角度θも角度
検出機構（例えば、ロータリエンコーダ）で随時検出可
能となっている。

【０１０５】以上のような各駆動機構及び各検出機構に
よって、ノズルヘッド１１２並びに撮像ユニット１２０
は、基板載置台１０３上に沿ってＸ軸方向及びＹ軸方向
に走査することができ、更に、ノズルヘッド１１２は、
基板載置台１０３からの高さ及びＸ軸に対する角度を調
整することが可能となっている。また、図１２，１３に
示すように、基板載置台１０３上に基板を吸着する基板
吸着機構１４０を構成するため、本体ベース１０１の内
部には、吸引ポンプ１４１及びこの吸引ポンプ１４１と
基板載置台１０３とを連結するフレキシブルホース１４
２が設けられている。また、基板載置台１０３の内部に
は空洞部１０３ａ（図１３参照）が形成されており、基
板載置台１０３の上面には、空洞部１０３ａと連通する
多数の微細孔が設けられている。そして、吸引ポンプ１
４１で空洞部１０３ａから排気することにより、基板載
置台１０３上の基板を吸着できるようになっている。

【０１０６】図１２，１３に示すように、装置本体１０
０内には、ノズルヘッドユニット１１０から吐出される
蛍光体インキを回収し循環して用いるために循環機構１
５０が設けられている。この循環機構１５０は、ノズル
ヘッドユニット１１０から吐出される蛍光体インキ（イ
ンキジェット）を回収する回収容器１５１及び回収容器
１５１内の蛍光体インキを加圧送出する加圧ポンプ１５
２等から構成されている。

【０１０７】回収容器１５１は、ノズルヘッドユニット
１１０の走査範囲全体にわたってインキジェットを回収
できるようにＹ軸方向に延びており、回収された蛍光体
インキは、加圧ポンプ１５２から配管１５３を経由して
ノズルヘッドユニット１１０内のノズルヘッド１１２に
供給され、循環して使用されるようになっている。ま
た、この循環機構１５０には、循環する蛍光体インキの
量を一定に保つインキ補充器１５４が付設されている。
このインキ補充器１５４は、回収容器１５１内のイン
キ量が規定量以上あるか否かを監視し、規定量以下にな
ったときに自動的に蛍光体インキを補充するものであ
る。

【０１０８】更に、ノズルヘッド１１２から吐出される
インキジェットが背面ガラス基板２１の端部に付着する
のを防止するため、ノズルヘッドユニット１１０内に
は、ジェット遮蔽機構１１６が設けられている。このジ
ェット遮蔽機構１１６は、Ｘ軸方向にスライドする遮蔽
トレイ１１７とこれをスライド駆動させるソレノイド
（不図示）からなり、遮蔽トレイ１１７は、通常はイン
キジェットの通過ラインから待避しているが、ソレノイ
ドを駆動させることによってインキジェットを遮断する
位置にスライドできるものである。

【０１０９】なお、遮蔽トレイ１１７で遮蔽した蛍光体
インキは、吸引ポンプ（不図示）によって第２回収容器
１１８に移されるようになっている。制御器２００は、
上記装置本体１００の各部の駆動制御を行うものであ
る。この制御器２００は、上記駆動モータ１３１，ノズ
ルヘッドユニット１１０，撮像ユニット１２０，吸引ポ
ンプ１４１，加圧ポンプ１５２とケーブル２０１〜２０
５で結ばれており、制御器２００から各ケーブルを通し
て供給される電力及び駆動制御信号によって、これら各
部の駆動がなされる。

【０１１０】また、撮像ユニット１２０で得た画像デー
タは、ケーブル２０３を通して制御器２００に送られ
る。 （インキ塗布装置の操作及び動作制御について）このよ
うな装置構成を用いて蛍光体インキを塗布する手順を説
明する。先ず、背面ガラス基板２１を基板載置台１０３
上に置き、吸引ポンプ１４１を作動させることにより吸
着固定する。

【０１１１】次に、実施の形態１のインキ塗布装置５０
について説明したの同様にして、撮像ユニット１２０を
走査させて、背面ガラス基板２１の表面全体にわたって
撮像し、制御器２００では、撮像ユニット１２０からの
画像データをもとに、基板載置台１０３上の座標と輝度
とを対応させた画像データを得、隔壁間の溝に走査ライ
ンを設定する。

【０１１２】次に、昇降機構１１４を駆動してノズルヘ
ッド１１２の高さを調整することによって、ノズル１１
３の下端と隔壁３０上面との間隔を調整する。そして、
加圧ポンプ１５２を駆動して、ノズルヘッドユニット１
１０から蛍光体インキを吐出させる。そして、インキを
吐出させた状態を保ったまま、以下のように、ノズルヘ
ッドユニット１１０を走査させて蛍光体インキを塗布す
る。

【０１１３】図１５は、ノズルヘッド１１２が背面ガラ
ス基板２１上を走査される様子を示す図ある。ここで
は、２つおきの溝３２ａに一色（青）の蛍光体インキを
塗布する場合について説明する。ノズルヘッド１１２に
おいて、３つのノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１３ｃが
距離Ａを隔てて直線上に並設され、ノズル間隔Ａは、２
つおきの溝３２ａのピッチよりも若干大きく設定され、
中央のノズル１１３ｂの位置とノズルヘッド１１２の回
転中心とが一致しているものとする。

【０１１４】本図において、太線矢印（Ｒ1→Ｒ2→Ｒ3
→Ｒ4→）は、ノズルヘッド１１２の中心が走査される
ラインを示している。図に示すように、ノズル１１３ａ
・１１３ｂ・１１３ｃが２つおきの溝３２ａ上に位置す
るようにノズルヘッド１１２をＹ軸に対して傾かせた状
態で、Ｘ軸方向に走査する（Ｒ1→Ｒ2）。次に、ノズル
ヘッド１１２をＹ軸方向に、隔壁ピッチ９個分ずらし
（Ｒ2→Ｒ3）、同様にノズルヘッド１１２をＹ軸に対し
て傾かせた状態で、Ｘ軸方向に走査してする（Ｒ3→Ｒ
4）。

【０１１５】以下、同様の走査を繰り返すことによっ
て、背面ガラス基板２１全体にわたって各溝３２ａに蛍
光体インキを塗布するが、この間、加圧ポンプ１５２は
停止させることなく、連続して蛍光体インキを吐出させ
ておく。それによって、ノズル１１３ａ・１１３ｂ・１
１３ｃの下面に蛍光体インキが付着して噴流が不安定に
なるのが防止される。

【０１１６】また、ノズルヘッド１１２をＸ方向に走査
する時間の中で、隔壁３０の端部と基板載置台１０３の
縁との間の領域（図中Ｗ1及びＷ2で示される領域）をノ
ズルヘッド１１２が通過する時間には、ジェット遮蔽機
構１１６を作動させて遮蔽トレイ１１７でインキジェッ
トを遮断する。これによって、背面ガラス基板２１上に
おける隔壁３０の端部付近（図中Ｗ3及びＷ4で示される
領域）に蛍光体インキが付着するのを防止することがで
きる。

【０１１７】蛍光体インキの粘度が低い場合には、溝３
２ａに塗布する蛍光体インキが隔壁３０の端部付近（Ｗ
3，Ｗ4領域）に付着すれば、付着したインキが隣の溝３
２ｂや溝３２ｃに流れ込み、混色を起こす可能性がある
が、上記のようにして付着を防止することによりこの混
色を防ぐことができる。なお、このジェット遮蔽機構１
１６において、ノズル１１３の下端と隔壁３０上面との
間に遮蔽トレイ１１７が入り込む必要がある。そのた
め、遮蔽トレイ１１７を薄く設計することも考えられる
が、蛍光体インキをある程度貯められるように遮蔽トレ
イ１１７の厚さを確保し、ジェット遮蔽機構１１６を作
動させるタイミングに合わせて、昇降機構１１４を駆動
させてノズルヘッド１１２を上方に移動させるようにす
ることが好ましい。

【０１１８】また連続的にインキを循環しながら塗布す
ると、容器内のインキ量が減少するだけでなく、溶剤の
蒸発などにより物性値が変化しやすい。そのため、蛍光
体インキの物性が許容範囲を超えないような工夫をする
ことが好ましい。例えば、回収容器１５１内で粘度を検
出し、自動的に蛍光体インキに溶剤などを補充する溶剤
補充機構を設けることによって、インキの粘度を一定に
保つことができる。これによって、長時間にわたって安
定した塗布を行うことができる。

【０１１９】また、ジェット遮蔽機構で受けたインキ
は、単純な回収容器で受けたインキと比べて物性値が異
なる場合が多い、従って、ジェット遮蔽機構で受けたイ
ンキは循環するインキとは別に、第２回収容器１１８に
保管しておき、別個に再利用するのが好ましい。 〔ノズルヘッド１１２の位置制御について〕本実施態で
も、実施の形態１と同様に、ノズルヘッド１１２をＸ軸
方向に走査する際に、Ｙ軸方向に調整しながら走査を行
うが、本実施形態では更に、ノズルヘッド１１２を回転
駆動機構１１５で回転することによって、ノズルヘッド
１１２におけるＹ軸方向のノズルピッチの調整も行いな
がら走査を行う。

【０１２０】即ち、３つのノズル１１３ａ・１１３ｂ・
１１３ｃの中の両端のノズル１１３ａ及びノズル１１３
ｃが、それぞれ対応する溝３２ａの中央に設定されるラ
インに沿うように、ノズルヘッド１１２のＹ軸方向の位
置調整及び回転角の調整を行いながらＸ軸方向への走査
を行う。このように制御しながら走査することによっ
て、仮に溝３２ａ，３２ｂ，３２ｃが彎曲したり隔壁間
のピッチが変化しているような場合でも、ノズルヘッド
１１２における複数のノズル１１３ａ・１１３ｂ・１１
３ｃを、対応する各溝３２ａの中央部に設定した走査ラ
インに沿って走査させることができる。以下、この制御
について更に具体的に説明する。

【０１２１】図１６は、基板載置台１０３上の座標と輝
度とを対応させた画像データの部分拡大図であって、溝
３２ａ，３２ｂ，３２ｃがＸ軸に彎曲している場合を示
している。この画像データ上において、実施形態１の図
５で説明したように、ノズル走査ラインＳ1，Ｓ2，Ｓ3
…を設定する。そして、図中に示すように、長さが２Ａ
で且つノズル走査ラインＳ1とノズル走査ラインＳ7上に
両端が存在する線分Ｋ1，Ｋ2，Ｋ3…をほぼ等ピッチで
設定する。

【０１２２】そして、各線分Ｋ1，Ｋ2，Ｋ3…につい
て、中点Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3…の位置（Ｘ，Ｙ座標）及びＸ
軸に対する角度θ1，θ2，θ3…を算出する。このよう
にして算出した中点Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3…を結ぶラインを、
ノズルヘッド１１２の走査ライン（ヘッド走査ライン）
とする。図１６からわかるように、このヘッド走査ライ
ンは、ノズル走査ラインＳ4に対して若干のずれはある
もののほとんど一致している。

【０１２３】そしてノズルヘッド１１２を走査する際に
は、ノズルヘッド１１２をＸ軸方向に走査しながら、ノ
ズルヘッド１１２の回転中心（ノズル１１３ｂ）が、上
記ヘッド走査ライン（中点Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3…を通るライ
ン）と一致するようにノズルヘッドユニット１１０のＹ
軸駆動機構を駆動制御する。それと共に、ノズルヘッド
１１２の回転中心が、上記算出した中点Ｍ1，Ｍ2，Ｍ3
…位置にあるときには、ノズルヘッド１１２のｘ軸に対
する角度θが、上記算出した角度θ1，θ2，θ3…と一
致するように回転駆動機構１１５の駆動を制御する。

【０１２４】ノズルヘッド１１２の走査時において、こ
のようにＹ軸方向及び回転角θの制御を行うことによっ
て、両端のノズル１１３ａ，１１３ｃは走査ラインＳ
1，Ｓ7上を走査されることになり、中央のノズル１１３
ａはヘッド走査ライン（即ちノズル走査ラインＳ4の近
傍）上を走査されることになる。よって、各ノズル１１
３ａ，１１３ｂ，１１３ｃは、常に各溝３２ａの中央部
近くを通って走査されることになる。

【０１２５】〔蛍光体インキを回収する機構を設けたこ
とによる効果〕ノズルが基板の溝上をはずれた状態にあ
るいとき、即ち図１３に示すように基板が待機状態の位
置にあるときには、吐出されるインキジェットは回収容
器１５１で回収されるので、蛍光体インキを連続的に吐
出させてもロスはほとんどない。

【０１２６】従って、例えば、基板載置台１０３上の背
面ガラス基板２１を交換する間も連続的にインキを吐出
させれば、複数の基板２１に対して安定して塗布するこ
とができ、且つ蛍光体インキのロスも少ない。更に、基
本的にメンテナンス時のみ、ノズルからの蛍光体インキ
の吐出を停止させ、後は、連続的に吐出するようにして
もよいので、１日中稼動する生産工場では、２４時間以
上連続して吐出させてもよいし、場合によっては週単位
や月単位での連続稼動も可能である。

【０１２７】このように、本実施形態の塗布方法は、蛍
光体インキのロスが少なく且つ隔壁間の溝に均一的に安
定的に塗布できるので、量産に適した優れた方法であっ
て、本実施形態の塗布方法によって製造コストの低下も
実現できる。 〔本実施の形態にかかる変形例について〕操作手順を変
更する場合の適応性などを考慮すると、図１２に示す装
置のように、アーム１０４上においてノズルヘッドユニ
ット１１０と撮像ユニット１２０とは各々独立して駆動
できるようにしておくことが望ましいが、ノズルヘッド
ユニット１１０と撮像ユニット１２０とを一体にして
も、上記と同様に操作することは可能である。

【０１２８】また、本実施形態においては、背面ガラス
基板２１の隔壁端部における蛍光体インキの混色を防止
する方法として、インキジェットを遮断する方法を示し
たが、例えば、図１７に示すように、背面ガラス基板２
１上において、隔壁３０端部に沿って補助隔壁３３を形
成しておけば、隔壁３０の端部で溝３２ａ，３２ｂ，３
２ｃは閉じられるので、仮に溝３２ａに塗布する蛍光体
インキが背面ガラス基板２１上の隔壁端部付近に付着し
ても隣接する溝３２ｂ，３２ｃに流れ込まないため混色
を防止することができる。

【０１２９】［実施の形態３］本実施形態のインキ塗布
装置は、上記実施形態２のインキ塗布装置と同様である
が、蛍光体インキを循環させる循環機構に更なる工夫が
施されている。図１８は、本実施形態のインキ塗布装置
における蛍光体インキ循環機構の構成を示す図である。

【０１３０】この循環機構１６０は、上記実施形態２の
循環機構１５０と同様、ノズルヘッド１１２のノズル１
１３から吐出される蛍光体インキを、回収容器１５１で
回収して、回収した蛍光体インキを再びノズルヘッド１
１２に送って循環させるものであるが、回収容器１５１
からノズルヘッド１１２に到る配管経路に、蛍光体イン
キを再分散させる分散器１６１が介挿されている。

【０１３１】この分散器１６１は、内部に粒径２ｍｍ以
下のジルコニアビーズが充填された流通管型のサンドミ
ルであって、回転ディスク１６３が５００ｒｐｍ以下の
回転速度で一定方向に回転することによって、内部を流
通する蛍光体インキは、ビーズと共に攪拌されて分散さ
れる。循環機構１６０には、この他に、回収容器１５１
中の蛍光体インキを送る分散器１６１に送り込む循環ポ
ンプ１６４、分散器１６１を通過した蛍光体インキを貯
えるサーバ１６５、サーバ１６５からノズルヘッド１１
２に蛍光体インキを加圧して供給する加圧ポンプ１６６
が設けられている。

【０１３２】これによって、回収容器１５１に回収され
た蛍光体インキは、分散器１６１で再分散されてからノ
ズルヘッド１１２から再び吐出される。なお、分散器１
６１としては、この他に、アトライタやジェットミルな
ども用いることができる。蛍光体インキを製造してから
長時間放置すると蛍光体インキの分散状態が低下する場
合がある。また、実施形態２のような循環機構で蛍光体
インキを循環させていると、蛍光体インキの分散状態が
低下したり二次凝集物が生成する場合もある。そのため
ノズルが詰まったり、塗布した蛍光体インキの溝３２へ
の付着状態が低下することもあるが、本実施形態の循環
機構１６０では、蛍光体インキを吐出直前で再分散され
るので、このような問題は解消される。

【０１３３】このような蛍光体インキの再分散による効
果は、インキ循環機構の中で蛍光体インキを再分散させ
る場合のみならず、一般的に、蛍光体インキを製造して
から塗布するまでの条件を設定する際にも適用できる。
ここで、蛍光体インキを製造してから塗布するまでの好
ましい条件について説明する。 図１９は、蛍光体イン
キを製造してから塗布されるまでの工程を示す図であ
る。

【０１３４】蛍光体インキを製造する際には、蛍光体イ
ンキの原料である各色蛍光体粉末と樹脂と溶剤とを混合
して分散させる（一次分散）。この一次分散工程におい
て、サンドミルやボールミルやビースミルのように分散
媒体（メディア）を用いる分散器で分散する場合、粒径
１．０ｍｍ以下のジルコニアビーズをメディアとして用
い、３時間以内の短時間でビーズミル分散を行うことが
好ましい。これは、蛍光体粉末へのダメージを抑えると
共に、不純物の混入（コンタミ）を抑えるためである。

【０１３５】また、蛍光体インキの粘度は、１５〜２０
０ｃｐ程度に調整し、ノズル径の約１／２以上の大きな
凝集物がないようにすることが望ましい。このようにし
て製造した蛍光体インキを、製造直後にインキ塗布装置
にセットして塗布すれば、一次分散で得られた良好な分
散状態が塗布時にも保たれているので、再分散しなくて
も各溝に均一的に塗布でき且つ良好な塗布状態も比較的
良好となる。そして、製造直後にインキ塗布装置にセッ
トするために、蛍光体インキの分散装置と、インキ塗布
装置とを、同じ作業場に設定して、製造した蛍光体イン
キを、そのままインキ塗布装置にセットして塗布するよ
うにするのがよいと考えられる。

【０１３６】時間的に言えば、蛍光体インキを製造して
から、数時間以内、できれば１時間以内に塗布するのが
好ましい。一方、蛍光体インキを製造した後、長時間た
ってからインキ塗布装置にセットして塗布する場合、一
次分散してから長時間経過した後に塗布されるので、そ
の間に分散状態が低下したり、二次凝集物ができやす
い。従って、これをそのままノズルから塗布しようとす
ると、各溝に均一的に塗布されにくく、またノズルの目
づまりも起こりやすい。

【０１３７】しかし、製造（一次分散）してから長時間
たった蛍光体インキでも、蛍光体インキを二次分散工程
で再分散させてからインキ塗布装置にセットして塗布す
れば、良好な分散状態で塗布できるので、各溝に均一的
に塗布され、またノズルの目づまりも回避できる。二次
分散では、二次凝集物を分散させるのが主な目的である
ために、大きなせん断力を必要としない。むしろ、弱い
力で攪拌する方が蛍光体へのダメージが小さい。

【０１３８】そのため、粒径２ｍｍ以下のジルコニアビ
ーズを用い、６時間以内で５００ｒｐｍ以下の回転速度
を与えて再分散させることのは有効である。ジルコニア
ビーズを用いるのは、一次分散の時と同じようにコンタ
ミを避けるためである。このようにして二次分散で調整
される蛍光体インキについても、ノズルからの安定した
吐出を得るために粘度は１５〜２００ｃｐｓ程度に設定
し、ノズル径の約１／２以上の大きな凝集物がないよう
にすることが望ましい。

【０１３９】〔実施の形態１〜３についての変形例な
ど〕上記実施の形態では、隔壁間の溝に蛍光体インキを
直接塗布する例を示したが、隔壁間の溝に反射材インキ
を塗布して、その上に蛍光体層を形成する場合にも適用
できる。即ち、反射層並びに蛍光体層３１は、上記のイ
ンキ塗布装置を用いて、反射材インキ並びに蛍光体イン
キを塗布することによって形成する。

【０１４０】反射材インキは、反射材料とバインダーと
溶剤成分とが調合されたものであって、反射材料として
は、酸化チタンやアルミナなどの反射率の高い白色粉末
を用いることができるが、特に、平均粒径５μｍ以下の
酸化チタンが良好である。上記実施の形態では、ＡＣ型
のＰＤＰを例にとって説明したが、本発明は、ＡＣ型の
ＰＤＰに限らず、隔壁がストライプ状に配設され、隔壁
間に蛍光体層が配設されたＰＤＰを作製するのに広く適
用することできる。

【０１４１】

【実施例】［実施例１］実施の形態１に基づいて、蛍光
体粒子，樹脂，溶剤の種類及び量などを変えて蛍光体イ
ンキを作製し、作製した蛍光体インキを塗布してＰＤＰ
を作製した。

【０１４２】

【表１】

【０１４３】

【表２】

【０１４４】

【表３】

【０１４５】

【表４】

【０１４６】表１，２，３のＮｏ．１〜９は、実施例に
関するものであって、０．２ｍｍ〜２ｍｍのジルコニア
ボールを用いたサンドミルで分散することによって蛍光
体インキ作製した。蛍光体の粒径，樹脂の種類と量，溶
剤の種類と量，界面活性剤，分散剤の種類と量、蛍光体
インキの塗布時の粘度（２５℃でせん断速度が１００ｓ
ｅｃ^-1における粘度）等については、表１〜３に示す通
りである。

【０１４７】実施例のＰＤＰを作製する上で、背面ガラ
ス基板２１における隔壁３０のピッチは０．１５ｍｍ
に、高さは０．１５ｍｍに設定した。蛍光体層は、各色
蛍光体インキを各溝の上部まで充填されるよう塗布した
後、５００℃で１０分間焼成することによって形成し
た。封入する放電ガスは、１０％のキセノン（Ｘｅ）ガ
スを含むネオン（Ｎｅ）ガスを用い、封入圧力５００Ｔ
ｏｒｒとした。

【０１４８】一方、表４の試料Ｎｏ．１０〜１２は比較
例に関するものであって、蛍光体インキを作製する上
で、試料Ｎｏ１０では、アクリル樹脂と分散剤（グリセ
リルトリオレート）とを組み合せて配合し、試料Ｎｏ．
１１では、エトキシ基の含有量が５０％のエチルセルロ
ースとターピネオールを組み合せているが分散剤は添加
していない。また、試料Ｎｏ．１２では、ポリビニルア
ルコールと水とを組み合せているが、分散剤は入ってい
ない。それ以外は、実施例の試料Ｎｏ．１〜９と同様に
設定して比較例のＰＤＰを作製した。

【０１４９】比較テスト：そして、作製した各ＰＤＰに
ついて、蛍光体の隔壁側面への付着状態、混色の有無、
パネル輝度を測定した。混色の有無については、ＰＤＰ
を色毎に発光させその発光色を測定することによって判
定した。

【０１５０】その結果、実施例及び比較例の何れのＰＤ
Ｐにおいても、隔壁側面の上部にまで蛍光体が付着して
おり、混色の発生も見られなかった。パネル輝度につい
ては、ＰＤＰを放電維持電圧１５０Ｖ周波数３０ＫＨｚ
で駆動し、パネル輝度計で測定した。その結果は、表１
〜４に示す通りである。なお、これらのＰＤＰを駆動し
たときに発生する紫外線の波長についても調べたとこ
ろ、主として１７３ｎｍを中心とするＸｅの分子線によ
る励起波長が観察された。

【０１５１】また、各作製した蛍光体インキについて、
ノズルから長時間連続的に吐出させる実験も行った。そ
の結果、実施例の蛍光体インキは、いずれも１００時間
連続して吐出させることが可能であったが、比較例の蛍
光体インキは、８時間以内でノズルに目詰まりが生じ
た。 考察；表１〜４に示すように、輝度については、実施例
（Ｎｏ．１〜９）のパネル輝度は５３０ｃｄ／ｍ²以上
であって、比較例（Ｎｏ．１０〜１２）のパネル輝度
（４６０〜４８０ｃｄ／ｍ²）に比べて優れている。こ
れは、実施例のＰＤＰの方が比較例のＰＤＰと比べて、
溝の底面に対して隔壁側面に付着している蛍光体層の割
合が大きいためと考えられる。 ［実施例２］本実施例（試料Ｎｏ．２１，２２）では、
赤（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ、青ＢａＭｇＡｌ₁₀Ｏ₁₇：
Ｅｕ、緑ＺｎＳｉＯ₄ ：Ｍｎの各色蛍光体粒子の表面
に、負に帯電する酸化物（ＳｉＯ₂）粒子を付着（コー
ティング）させた蛍光体インキを用いる。

【０１５２】

【表５】

【０１５３】蛍光体粒子の表面にＳｉＯ₂粒子を付着さ
せる方法は、先づ、各色蛍光体の懸濁液と、ＳｉＯ₂粒
子（粒子径は蛍光体粒子の１／１０以下）の懸濁液とを
作製し、作製した両懸濁液を混合攪拌した後、吸引濾過
して、１２５℃以上で乾燥後、３５０℃で焼成すること
によって行った。このようにＳｉＯ₂粒子を付着させた
蛍光体粒子と、エチルセルロースからなる樹脂成分と、
ターピネオールとペンタンジオールとの混合溶媒（１／
１）を、表５に示す割合で混合し、ジェットミルで混合
分散して、蛍光体インキを作製した。混合分散時には、
混合溶液に加わる圧力は１０Ｋｇｆ／ｃｍ² 〜２００Ｋ
ｇｆ／ｃｍ² の範囲に調整した。

【０１５４】このように作製した蛍光体インキを、表５
に示す粘度に調整して塗布し、それ以外の条件について
は実施例１と同様にして、ＰＤＰを作製した。作製した
ＰＤＰについて、上記実施例１と同様に、隔壁側面への
蛍光体の付着状態、混色の有無、パネル輝度を測定し
た。その結果、いずれも隔壁の上部にまで蛍光体が付着
し、混色の発生もなかった。

【０１５５】また、パネル輝度は表５に示すとおり良好
であった。また、試料Ｎｏ．２１、２２のいずれの蛍光
体インキにおいても、連続的に１００時間以上塗布して
もノズルの目づまりは発生しなかった。

【０１５６】

【実施例３】本実施例では、蛍光体インキに、分散剤及
び除電物質として様々な界面活性剤を添加する実施例
（試料Ｎｏ．３１〜３７）、並びに除電物質として導電
性微粒子を添加する実施例（試料Ｎｏ．３８〜４２）を
示す。また、この中で、試料Ｎｏ．３１〜３４は、蛍光
体の表面にＺｎＯ，ＭｇＯといった酸化物を付着させた
実施例でもある。

【０１５７】なお、試料Ｎｏ．４３は、除電物質を添加
していない例である。

【０１５８】

【表６】

【０１５９】

【表７】

【０１６０】

【表８】

【０１６１】

【表９】

【０１６２】各実施例で用いた蛍光体インキの蛍光体の
種類と粒径と量、蛍光体に付着させる酸化剤の種類と
量、樹脂の種類と量、溶剤の種類と量等については、表
６，７に示す通りである。また、界面活性剤及び除電物
質の種類、添加量、蛍光体インキの塗布時の粘度（２５
℃でせん断速度が１００ｓｅｃ^-1における粘度）につい
ては、表８，９に示す通りである。 そして、ノズル径
５０μｍのノズルを用い、ノズル先端と背面ガラス基板
と距離を１ｍｍに保って走査しながら蛍光体インキを吐
出して蛍光体インキを塗布し、その他は実施例１と同様
の条件でＰＤＰを作製した。

【０１６３】なお、本実施例では、蛍光体インキの塗布
面に対する濡れを良くするために、蛍光体インキを塗布
する前に、隔壁付き背面ガラス基板の表面をエキシマラ
ンプ（中心波長１７２ｎｍ）で１０秒〜１分間照射し、
蛍光体層の焼成後にも、蛍光体層中に残存するバインダ
ーや残滓を除去するために、蛍光体層を形成した背面ガ
ラス基板の表面を、エキシマランプ（中心波長１７２ｎ
ｍ）で１０秒〜１分間照射した。

【０１６４】作製した各ＰＤＰについて、それを駆動し
たときのパネル輝度、並びに筋むら発生の有無も測定し
た。パネル輝度については、ＰＤＰを放電維持電圧１５
０Ｖ周波数３０ＫＨｚで駆動し、パネル輝度計で測定し
たものである。筋むらについては、ＰＤＰ画面全体を白
表示し、肉眼で筋むらの有無を観察した。

【０１６５】なお、これらのＰＤＰを駆動したときに発
生する紫外線の波長についても調べたところ、主として
１７３ｎｍを中心とするＸｅの分子線による励起波長が
観察された。これらの結果は、表８，９に示されてい
る。表８，９に示すように、試料Ｎｏ．３１〜４２は、
試料Ｎｏ．４３の輝度と比べて、高い輝度が得られてい
る。また、試料Ｎｏ．４３では、筋むらが発生したのに
対して、試料Ｎｏ．３１〜４２では、筋むらの発生はな
かった。

【０１６６】また、作製した各ＰＤＰについて、蛍光体
層を観察したところ、いずれも蛍光体の混色は見られな
かったが、蛍光体層の形状については、試料Ｎｏ．４３
よりも試料Ｎｏ．３１〜４２の方が、隔壁の側面に対す
る蛍光体の付着は良好であった。 考察：このような輝度及び筋むらについてのテスト結果
は、蛍光体インキに除電物質を添加した試料Ｎｏ．３１
〜４２の方が、蛍光体インキに除電物質を添加しなかっ
た試料Ｎｏ．４３よりも、蛍光体インキが隔壁側面上と
溝底面上とにバランスよく均一的に塗布されたために生
じたものと考えられる。

【０１６７】

【実施例４】〔一次分散に関する実施例〕実施の形態３
に基づいて、表１０に示すように、インキ製造時（一次
分散時）における分散方法（ビーズの種類、粒径、およ
び分散時間）をいろいろと変えて、各色蛍光体インキを
製造した。

【０１６８】

【表１０】

【０１６９】各蛍光体インキでは、平均粒径３μｍの各
色蛍光体粉末を６０ｗｔ％、エチルセルロースを１ｗｔ
％、溶剤としてターピネオール及びリモネンの混合溶剤
を用いた。そして、製造した蛍光体インキについて、輝
度評価、蛍光体粉末の粒径測定（一次分散後の蛍光体粒
径測定）、凝集物の有無の評価を行った。

【０１７０】輝度の評価においては、分散後の蛍光体イ
ンキを大気中にて５００℃で焼成して蛍光体層を形成
し、これを真空チャンバ内に入れ、エキシマランプで真
空紫外光を照射したときに発生する励起発光を輝度計で
測定した。各評価結果は、表１０に示す通りである。表
１０の評価結果から、赤、緑、青の各色とも、分散媒体
としてガラスビーズを用いると、ジルコニアビーズを用
いた場合と比べて輝度が低下していることがわかる。ま
た分散媒体としてガラスビーズを用いたものは、ナトリ
ウム（Ｎａ）、カルシウム（Ｃａ）、けい素（Ｓｉ）の
成分が多く検出されている。

【０１７１】このように分散媒体としてガラスビーズを
用いた場合の方が輝度が低いのは、分散時にせん断力を
付加する際にガラスビーズに強い衝撃が加えられること
により、ガラス成分が不純物（コンタミ）としてインキ
中に混入し、これが発光キラーになるためと考えられ
る。また、表１０の評価結果から、用いる分散媒体の種
類は同じ場合でも、その粒径や分散時間が変われば輝度
が変化することがわかる。これは、同じせん断力を付加
させた場合でも、分散媒体の粒径が異なると衝突係数が
異なり、また、分散時間が異なると蛍光体粉末への衝突
回数が異なるためと考えられる。

【０１７２】また表１０の結果から、分散後の蛍光体粒
径は、分散前よりも小さくなっている。これより、蛍光
体粉末は分散によって粉砕されたり、界面状態が劣化し
たりすることがわかる。 〔二次分散に関する実施例〕次に、作製した各色蛍光体
インキに対して、一時分散後７２時間放置した後、二次
分散を行った。この二次分散に際して、表１１に示すよ
うに、分散媒体としてのジルコニアビーズの粒径や分散
時間をいろいろ変えて行った。

【０１７３】

【表１１】

【０１７４】そして、二次分散後の各蛍光体インキにつ
いて、輝度評価、蛍光体粉末の粒径測定（一次分散後の
蛍光体粒径測定）、凝集物の有無の評価を行った。各評
価結果は表１１に示す通りである。表１１から明らかな
ように、二次分散における分散時間が１時間未満の場合
には、赤、緑、青の各色とも蛍光体インキに凝集物が残
っているが、分散時間を長くすると凝集物は見られなく
なっている。また、分散時間を長くした場合にも、蛍光
体粒子の粒径には変化は見られない。

【０１７５】これより、分散媒体にジルコニアを用いて
二次分散することにより、蛍光体粒子自体が粉砕される
ことなく、凝集物を分散できることが分かる。また、表
１１から、分散時間を長くしても輝度の低下が見られな
いことがわかる。これより、分散媒体にジルコニアを用
いて二次分散すると、蛍光体表面へのダメージも少ない
状態で分散できることがわかる。

【０１７６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ノズルから蛍光体インキを連続的に吐出させながら、プ
レートに配設された隔壁間の溝に沿って相対的に走査す
ることによって蛍光体インキを塗布する際に、各溝に関
する位置情報に基づいてノズルが通過する溝内の位置を
調整しながら行うようすることによって、溝が彎曲して
いるような場合でも、ノズルが常に溝の中央部を通るよ
うに走査することができるので、各溝に蛍光体インキを
均一的に塗布し、且つ各溝内の底と隔壁側面とにバラン
スよく付着させることができる。

【０１７７】また、ノズルから蛍光体インキを連続的に
吐出させながら、プレートに配設された隔壁間の溝に沿
って相対的に走査することによって蛍光体インキを塗布
する際に、各溝の幅を溝長手方向にわたって測定し、測
定した溝幅に応じて、隔壁長さ当たりに塗布する蛍光体
インキ量を調整しながら蛍光体インキをノズルから吐出
させるようにした。これによって、溝幅にばらつきがあ
ったり、溝の中で幅が変動しているような場合でも、蛍
光体インキを均一的に塗布することができる。

【０１７８】また、蛍光体インキを複数の溝に順次塗布
する際に、ノズルが溝上から外れた位置にあるときにも
ノズルから蛍光体インキを連続して吐出する状態を維持
しながら塗布するようにすることによって、ノズル出口
付近における蛍光体インキの付着を防止できるので、安
定したインキジェットの流れを得ることができるので、
複数の溝に対して、均一的に蛍光体インキを塗布するこ
とができる。

【０１７９】また、ノズルから蛍光体インキを連続的に
吐出させる前に、インキを分散器で再分散させることに
よっても、塗布される蛍光体インキの分散性が向上する
ので、蛍光体インキを、各溝内の底と隔壁側面とにバラ
ンスよく付着させることができる。また、ＰＤＰの製造
に用いる蛍光体インキにおいて、平均粒径が０．５〜５
μｍの蛍光体粉末、ＯＨ基を末端に持つ溶剤であるター
ピネオール，ブチルカービトールアセテート，ブチルカ
ルビトール，ペンタンジオール，リモネン等の混合溶剤
を用いると共に、バインダーとして、セルロース分子内
のエトキシ基（−ＯＣ₂Ｈ₅）含有量が４９％以上のエチ
ルセルロース、或はエチレンオキサイド系ポリマーを用
い、更に分散剤を添加することによっても、隔壁間の溝
に充填された蛍光体インキは、隔壁側面にもよく付着
し、蛍光体インキを、各溝内の底と隔壁側面とにバラン
スよく付着させることができる。

【０１８０】また、このような蛍光体インキにおいて、
除電物質を添加することによって、精細な構造のＰＤＰ
の場合でも、隔壁間の溝に均一的に蛍光体インキを塗布
することができ、また出来上がったＰＤＰを駆動したと
きに筋むらが発生することもほとんどなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態に係る交流面放電型ＰＤＰを示す斜
視図である。

【図２】上記ＰＤＰに回路ブロックを実装した表示装置
の構成図である。

【図３】実施の形態１にかかるインキ塗布装置の概略構
成図である。

【図４】実施の形態１にかかるインキ塗布装置の溝位置
検出で得られた画像データを模式的に示す図である。

【図５】図４の部分拡大図、及び検索ラインＬ1上の各
位置における輝度を模式的に示すグラフである。

【図６】図４の部分拡大図の一例である。

【図７】ノズルが溝の中央部からはずれた場合の塗布状
況、及び形成された蛍光体層の様子を示す図である。

【図８】蛍光体インキを溝に塗布した後、蛍光体層が形
成される様子を模式的に示す図である。

【図９】蛍光体インキ中の樹脂バインダーの濃度と、形
成される蛍光体層形状との関係を模式的に示す図であ
る。

【図１０】本発明にかかる蛍光体インキと、従来のスク
リーン印刷などに用いるインキとで、粘度を比較したグ
ラフである。

【図１１】ノズルからの蛍光体インキの吐出状況を示す
図である。

【図１２】実施の形態２にかかるインキ塗布装置を示す
斜視図である。

【図１３】上記インキ塗布装置の正面図（一部断面）で
ある。

【図１４】図１２に示すノズルヘッドユニットの拡大図
である。

【図１５】上記インキ塗布装置において、ノズルヘッド
が背面ガラス基板上を走査される様子を示す図ある。

【図１６】上記インキ塗布装置の溝位置検出で得られた
画像データの部分拡大図の一例である。

【図１７】実施の形態２にかかる一変形例を示す図であ
る。

【図１８】実施の形態３のインキ塗布装置における蛍光
体インキ循環機構の構成を示す図である。

【図１９】蛍光体インキを製造してから塗布されるまで
の工程を示す図である。

【符号の説明】

１０ 前面パネル ２０ 背面パネル ２１ 背面ガラス基板 ３０ 隔壁 ３１ 蛍光体層 ３２ 溝 ３３ 補助隔壁 ５０ インキ塗布装置 ５１ インキサーバ ５２ 加圧ポンプ ５３ ノズルヘッド ５４ ノズル ５５ 溝検出用ヘッド ５６ 基板載置台 １００ 装置本体 １０１ 本体ベース １０３ 基板載置台 １１０ ノズルヘッドユニット １１２ ノズルヘッド １１２ａ 回転軸 １１３ ノズル １１５ 回転駆動機構 １１６ ジェット遮蔽機構 １２０ 撮像ユニット １５０ 循環機構 １５１ 回収容器 １５２ 加圧ポンプ １５４ インキ補充器 １６０ 循環機構 １６１ 分散器 １６４ 循環ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｊ 3/04 １０１Ｙ (31)優先権主張番号 特願平10−287645 (32)優先日 平成10年10月９日(1998．10．9) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平11−17855 (32)優先日 平成11年１月27日(1999．1．27) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平11−88717 (32)優先日 平成11年３月30日(1999．3．30) (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 青木 正樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 宮下 加奈子 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 住田 圭介 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 桐原 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA04 EA11 EB13 EB36 EC07 EC17 EC32 EC35 EC72 EE17 FA15 FB01 FC02 4D075 AC06 AC93 CB09 DA32 DC24 EA10 EA33 EB13 EB56 EC11 4F041 AA05 AA17 AB01 BA05 BA22 5C028 FF04

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 隔壁がストライプ状に配設された第１プ
   レートに対して、蛍光体インキをノズルから連続流とな
   るよう吐出させながら、隔壁と隔壁との間の溝に沿って
   当該ノズルを相対的に走査することによって蛍光体イン
   キを塗布する蛍光体インキ塗布ステップと、 前記第１プレートの隔壁を配設した側に第２プレートを
   重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステップ
   とからなり、 前記蛍光体インキ塗布ステップでは、 ノズルを走査する際に、 第１プレートに配設された各隔壁間の溝に関する位置情
   報に基づいて、ノズルが通過する溝内の位置を調整する
   ことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方
   法。
2. 【請求項２】 隔壁がストライプ状に配設された第１プ
   レートに対して、蛍光体インキをノズルから連続流とな
   るよう吐出させながら、隔壁と隔壁との間の溝に沿って
   当該ノズルを相対的に走査することによって蛍光体イン
   キを塗布する蛍光体インキ塗布ステップと、 前記第１プレートの隔壁を配設した側に第２プレートを
   重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステップ
   とからなるプラズマディスプレイパネルの製造方法にお
   いて、 前記蛍光体インキ塗布ステップは、 第１プレートに配設された各隔壁間の溝に関する位置情
   報を求める第１サブステップと、 前記第１サブステップで求めた位置情報に基づいて各溝
   に対するノズル走査ラインを設定する第２サブステップ
   と、 蛍光体インキをノズルから吐出しながら、前記走査ライ
   ン設定サブステップで設定された走査ラインに合わせて
   ノズルが通過する溝内の位置をを調整しながら走査を行
   う第３サブステップとからなることを特徴とするプラズ
   マディスプレイパネルの製造方法。
3. 【請求項３】 前記第２サブステップでは、 第１サブステップで検出した各溝に関する位置情報を基
   に、各溝の中央部に走査ラインを設定することを特徴と
   する請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの製造
   方法。
4. 【請求項４】 隔壁がストライプ状に配設された第１プ
   レートに対して、同一色の蛍光体インキをノズルヘッド
   に設けられた複数のノズルから連続流となるよう吐出さ
   せながら、隔壁と隔壁との間の溝に沿って当該ノズルヘ
   ッドを相対的に走査することによって、各ノズルに対応
   する溝に蛍光体インキを塗布する蛍光体インキ塗布ステ
   ップと、 前記第１プレートの隔壁を配設した側に第２プレートを
   重ねて封着すると共にガス媒体を封入する封着ステップ
   とからなり、 前記蛍光体インキ塗布ステップでは、 各ノズルの走査方向に直交する方向に対するピッチを、
   対応する溝のピッチと合うように調整しながら、蛍光体
   インキの塗布を行うことを特徴とするプラズマディスプ
   レイパネルの製造方法。
5. 【請求項５】 前記蛍光体インキ塗布ステップにおいて
   は、 前記ノズルヘッドを、第１プレートと平行な面内で回転
   させることによって、 各ノズルの走査方向に直交する方向に対するピッチを、
   対応する溝のピッチに合わせることを特徴とする請求項
   ４記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
6. 【請求項６】 隔壁がストライプ状に配設されたプラズ
   マディスプレイ用のプレートに対して、蛍光体インキを
   ノズルから連続流となるよう吐出させながら、隔壁と隔
   壁との間の溝に沿って当該ノズルをノズル走査手段で相
   対的に走査することによって蛍光体インキを塗布する蛍
   光体インキ塗布装置において、 前記ノズル走査手段は、 前記プレートに配設された各隔壁間の溝に関する位置情
   報を求める溝位置情報部と、 ノズル走査時に、前記溝位置情報部で求めた位置情報に
   基づいてノズルが通過する溝内の位置を調整するノズル
   位置調整部とを備えることを特徴とする蛍光体インキ塗
   布装置。
7. 【請求項７】 前記ノズル走査手段は、更に、 前記溝位置情報部で求められた位置情報に基づいて、各
   溝に対する走査ラインを設定する走査ライン設定部を備
   え、 前記ノズル位置調整部は、 ノズル走査時に、前記走査ライン設定部で設定された走
   査ラインに合わせてノズルが通過する溝内の位置を調整
   することを特徴とする請求項６記載の蛍光体インキ塗布
   装置。
8. 【請求項８】 隔壁がストライプ状に配設されたプラズ
   マディスプレイ用のプレートに対して、蛍光体インキを
   ノズルヘッドに設けられた複数のノズルから連続流とな
   るよう吐出させながら、隔壁と隔壁との間の溝に沿って
   当該ノズルヘッドをヘッド走査手段で相対的に走査する
   ことによって、各ノズルに対応する溝に蛍光体インキを
   塗布する蛍光体インキ塗布装置において、 前記ヘッド走査手段は、 前記ノズルヘッドをプレートと平行な面内で回転させ回
   転機構と、 ノズル走査時に、前記ノズルヘッドの各ノズルの走査方
   向と直交する方向に対するピッチが対応する溝のピッチ
   に合うよう、前記回転機構の動作を制御する制御機構と
   を備えることを特徴とする蛍光体インキ塗布装置。