JP2002192043A - ノズルユニット、ノズルチップユニット、および蛍光体インク塗布ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来、ノズルチップをノズルユニットを構成
する筐体底部の穿孔部に取り付けることが困難であっ
た。 【解決手段】 ノズルチップユニット５１３に設けられ
ている穿孔部に、蛍光体インクを吐出するためのノズル
チップ５１６を熱軟化性樹脂で取り付け、ノズルユニッ
トを構成する筐体５０４の、蛍光体インクが充填される
インクスペース５１０に連通するインク吐出口が存在す
る側の面に、ノズルチップ５１６が取り付けられている
ノズルチップユニット５１３を熱軟化性樹脂で取り付け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体インク塗布
ノズルとガス放電パネルの製造方法とに関し、特に高精
細な構造を有するガス放電パネルに精度よく蛍光体イン
クを塗布する技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、高精細な表示（ハイビジョン等）
や大画面などディスプレイのさらなる高性能化が要求さ
れるようになり、種々のディスプレイの研究開発がなさ
れている。その代表的なディスプレイとしてはＣＲＴデ
ィスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマデ
ィスプレイパネル（ＰＤＰ）などが挙げられる。

【０００３】このうちＰＤＰはガス放電パネルの一種で
あり、２枚の薄いガラス板を隔壁（リブ）を介して対向
させ、隔壁の間に蛍光体インクを塗布して蛍光体層を形
成し、両ガラス板の間に放電ガスを封入して気密接着し
た構造であって、放電ガス中で放電して蛍光発光させる
ものである。したがって、大画面化してもＣＲＴのよう
に奧行き寸法や重量が増加しにくく、また、ＬＣＤのよ
うに視野角が限定される問題も回避できる点で優れてい
る。近年のＰＤＰでは、５０インチ以上のハイビジョン
型ＰＤＰまでが製造されるに至っている。

【０００４】ところで高精細なＰＤＰを作製するには、
例えば４２インチクラスのハイビジョン型ＰＤＰで画素
数１９２０×１０８０、セルピッチ０．１４ｍｍ、およ
び単位セル面積約０．０６３ｍｍ²ほどの性能が要求さ
れる。これは現行のＮＴＳＣ方式型等のＰＤＰに比べて
相当に高精細な構造である。これに伴い、蛍光体層もハ
イビジョンなどに見合った微細なものを形成する必要が
あるが、一般に高精細に蛍光体インクを塗布しようとす
れば問題が生じ易い。

【０００５】例えばスクリーン印刷法では、隔壁ピッチ
が０．１ｍｍ〜０．１５ｍｍとなる高精細ＰＤＰにおい
ては、隔壁の厚み影響で蛍光体インクの充填可能な隔壁
間の幅が０．１ｍｍ〜０．０８ｍｍ程度と非常に狭くな
る。この狭い幅に、本来より高粘度（数万センチポア
ズ）の蛍光体インクを効率よく且つ精度よく塗布しよう
とすると、隣接する隔壁内に別の色の蛍光体インクが入
り、混色するといった問題が生じる。

【０００６】これに対し、例えば特開平１０−１９２５
４１号公報には、蛍光体インクを微細なノズルより吐出
し、隔壁間に蛍光体インクを充填し塗布するインクジェ
ット（ラインジェット）法が開示されている。

【０００７】ここで図５は上記インクジェット法で用い
るノズルユニット１０１の正面断面図である。当該ノズ
ルユニット１０１はステンレス鋼をバスタブ状に削り出
してなる筐体１０３と蓋部１０２とで構成される中空直
方体であって、インク供給口１０５から供給される蛍光
体インクはインクスペース１０４に充填され、一定の加
圧力（例えば７〜８ｋｇ／ｍ²）で合計７孔のインク吐
出口１０６〜１１２より吐出する。各インク吐出口１０
６〜１１２の口径サイズは数十〜百数十μｍほどであ
り、蛍光体インクを塗布する隔壁間サイズに合わせて調
整されている。このようなインク吐出口１０６〜１１２
は筐体１０３底壁にあたるインクスペース１０４の底面
を放電加工により一定間隔貫通加工して複数並設されて
いる。

【０００８】以上の構成のノズルユニットを用いれば、
一度に複数の隔壁間（当図では７溝分）に蛍光体インク
を塗布することが可能となっている。

【０００９】しかしながら、上記構成のノズルユニット
１０１におけるインク吐出口１０６〜１１２は上述のよ
うに放電加工により形成するので、全てのインク吐出口
を一様に形成することが困難であった。したがって、各
インク吐出口から吐出する蛍光体インクの吐出量が一様
にならないことがあった。そこで、蛍光体インクの吐出
量をそろえるために、図８に示すように、筐体８２０底
面に穿孔部８２２を設け、その穿孔部８２２に吐出量を
一様にするためのノズルチップを取り付ける方法が考え
られた。

【００１０】なお、図８（ａ）はノズルユニット８００
の分解斜視図であって、インク供給口８１１を有する蓋
部８１０と、インクスペース８２１および７個の穿孔部
８２２を持つ筐体８２０とで構成されるノズルユニット
８００の例を示している。また、図８（ｂ）はノズルチ
ップ６００の斜視図であって、そのノズルチップ６００
は、実質上円錐状の中空部６０１と、その中空部６０１
に連通する吐出口６０２とが設けられている円柱体であ
る。

【００１１】具体的には、上記のノズルチップ６００
を、図８（ａ）に示すノズルユニット８００の筐体８２
０の各穿孔部８２２に取り付けて、インクスペース８２
１に充填された蛍光体インクをノズルチップ６００の吐
出口６０２から吐出させるのである。ここで、各ノズル
チップ６００からの吐出量が一様にならなければ、全部
または一部のノズルチップ６００を、各ノズルチップ６
００からの吐出量が一様になるものと取り換えることが
できるので、蛍光体インクの吐出量を容易にそろえるこ
とができることになる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このように、図８を用
いて説明したノズルチップ６００をノズルユニット８０
０の筐体８２０の各穿孔部８２２に取り付ける方法を用
いると、各ノズルチップ６００からの吐出量を一様にす
ることができるが、ノズルチップ６００のサイズが小さ
いために、各ノズルチップ６００を筐体８２０の各穿孔
部８２２に取り付けることが困難であった。

【００１３】また従来は、１色の蛍光体インクしか塗布
できず、３色の蛍光体を塗布するには塗布対象物である
バックパネルガラスの載置換えや、ＲＧＢ蛍光体のいず
れか１色の塗布後に乾燥等の同じ工程を３度繰り返す必
用があり、３色の蛍光体インク塗布完成まで長い工程が
必用となっていた。

【００１４】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あって、ノズルチップをノズルユニットに簡単に取り付
けるための、ノズルチップが取り付けられるノズルチッ
プユニットと、ノズルチップが取り付けられたノズルチ
ップユニットを筐体インク吐出口が存在する面に取り付
けるための取付部を有するノズルユニットと、それらノ
ズルチップユニット、ノズルユニットおよびノズルチッ
プで構成される蛍光体インク塗布ノズルと、その蛍光体
インク塗布ノズルの製造方法と、上記蛍光体インク塗布
ノズルを用いて所定の塗布対象に蛍光体インクを塗布す
る蛍光体インク塗布装置と、その蛍光体インク塗布装置
を用いて所定のパネルの所定の位置に蛍光体インクを塗
布してガス放電パネルを製造する方法とを提供すること
を目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、第１の本発明（請求項１に対応）は、蛍光体インク
が充填されるインクスペース、およびそのインクスペー
スに連通するインク吐出口を有する筐体と、蓋部とを備
え、前記筐体の前記インク吐出口が存在する側の面に
は、所定の数の穿孔部が設けられた平板状のノズルチッ
プユニットを取り付けるための取付部が設けられている
ことを特徴とするノズルユニットである。

【００１６】第２の本発明（請求項２に対応）は、前記
ノズルチップユニットには、前記取付部に固定されるた
めの突起部が設けられており、前記取付部には、前記ノ
ズルチップユニットの前記突起部と嵌合する段付き溝が
設けられており、その段付き溝に前記ノズルチップユニ
ットの前記突起部が嵌合することによって、前記ノズル
チップユニットが前記筐体の前記取付部に固定されるこ
とを特徴とする第１の本発明に記載のノズルユニットで
ある。

【００１７】第３の本発明（請求項３に対応）は、前記
筐体には、赤色の蛍光体インク、緑色の蛍光体インク、
および青色の蛍光体インクそれぞれが充填される少なく
とも３個の前記インクスペースが設けられており、前記
取付部が前記各インクスペースそれぞれに対応して形成
されていることを特徴とする第１または第２の本発明に
記載のノズルユニットである。

【００１８】第４の本発明（請求項４に対応）は、第１
から第３のいずれかに記載の本発明のノズルユニットに
取り付けられる、前記所定の数の穿孔部が設けられた平
板状のノズルチップユニットであって、前記各穿孔部に
は、前記ノズルユニットに前記ノズルチップユニットが
取り付けられたときに、前記ノズルユニットの前記イン
クスペースに充填された蛍光体インクを吐出するための
ノズルチップが取り付けられていることを特徴とするノ
ズルチップユニットである。

【００１９】このように、筐体と複数個のノズルチップ
が装着されたノズルチップユニットを別体で構成するこ
とにより、たとえ３色のうち１色の蛍光体吐出状態が精
度上のバラツキなどの問題があったとしても、問題のあ
る箇所のノズルチップユニットを交換するだけで修正が
可能になる。従って前記修正加工にかかる部品の取り回
しが飛躍的に改善されるとともに、当該修正加工にかか
るコストも抑えることができる。また、ＲＧＢ３色の蛍
光体インクを同時にバックパネルの隔壁間に塗布するこ
とができ、精度のよい蛍光体インクノズルを飛躍的に効
率よくかつ迅速に構成することができる。

【００２０】なお、筐体の吐出口が存在する面に取り付
けられるノズルチップユニットは外周部に形成された位
置決め突起部を筐体底部の穿孔部周辺に加工された位置
決め部に装着することで、バックパネルに形成されてい
る隔壁との位置関係を自動的に決定することができる。

【００２１】第５の本発明（請求項５に対応）は、ノズ
ルチップユニットに設けられている穿孔部に、蛍光体イ
ンクを吐出するためのノズルチップを、熱軟化性樹脂を
用いて取り付け、ノズルユニットを構成する筐体の、前
記蛍光体インクが充填されるインクスペースに連通する
インク吐出口が存在する側の面に、前記ノズルチップが
取り付けられている前記ノズルチップユニットを、熱軟
化性樹脂を用いて取り付ける蛍光体インク塗布ノズルの
製造方法であって、前記ノズルチップを前記ノズルチッ
プユニットに固着したさいの軟化点より低い温度で、前
記ノズルチップユニットを前記ノズルユニットの前記筐
体の前記取付部に固着することを特徴とする蛍光体イン
ク塗布ノズルの製造方法である。

【００２２】第６の本発明（請求項６に対応）は、蛍光
体インクを吐出するためのノズルチップと、所定の数の
穿孔部が設けられており、前記穿孔部の全部または一部
に前記ノズルチップが取り付けられる平板状のノズルチ
ップユニットと、前記蛍光体インクが充填されるインク
スペースおよびそのインクスペースに連通するインク吐
出口を持つ筐体と、蓋部とを有し、前記筐体の前記イン
ク吐出口が存在する側の面に、前記ノズルチップユニッ
トが取り付けられるノズルユニットとを備え、前記ノズ
ルチップユニットには前記ノズルチップが取り付けられ
ており、前記ノズルユニットには前記ノズルチップユニ
ットが取り付けられていることを特徴とする蛍光体イン
ク塗布ノズルである。

【００２３】第７の本発明（請求項７に対応）は、第６
の本発明に記載の蛍光体インク塗布ノズルが載置され、
所定の塗布対象を載せるテーブル表面に沿って、前記蛍
光体インク塗布ノズルを移動するための加工ヘッドを備
えたことを特徴とする蛍光体インク塗布装置である。

【００２４】第８の本発明（請求項８に対応）は、第７
の本発明に記載の蛍光体インク塗布装置の前記加工ヘッ
ドに第６の本発明に記載の蛍光体インク塗布ノズルを載
置し、複数の隔壁が並設された所定のパネルのパネル面
に対し、前記蛍光体インク塗布ノズルのノズルユニット
に充填された蛍光体インクを塗布するガス放電パネルの
製造方法であって、前記蛍光体インク塗布装置の加工ヘ
ッドを前記隔壁の長手方向に沿って移動させることによ
って、前記ノズルユニットに充填された蛍光体インク
を、前記隔壁の間隙に塗布する蛍光体インク塗布工程を
備えたことを特徴とするガス放電パネルの製造方法であ
る。

【００２５】このようなガス放電パネルの製造方法を用
いると、ハイビジョン方式などの微細構造のガス放電パ
ネルであっても良好に蛍光体層を形成することができ
る。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の、ノ
ズルユニットと、ノズルチップユニットと、それらノズ
ルユニット、ノズルチップユニット、およびノズルチッ
プで構成された蛍光体インク塗布ノズルと、蛍光体イン
ク塗布装置と、蛍光体インク塗布ノズルおよび蛍光体イ
ンク塗布装置を用いたガス放電パネル（ＰＤＰ）への蛍
光体インクの塗布方法について順を追って説明する。

【００２７】ここではまず、蛍光体インクの塗布装置等
の説明に先だち、蛍光体インクを塗布することによって
作製されるＰＤＰの基本構成を示しておく。

【００２８】１−１．ＰＤＰの基本構成 図１は本発明の実施の形態の蛍光体インク塗布装置によ
って蛍光体インクを塗布してなる交流面放電型ＰＤＰ
（以下単に「ＰＤＰ」という）の主要構成を示す部分的
な断面斜視図である。図１中、ｚ方向がＰＤＰの厚み方
向、ｘｙ平面がＰＤＰのパネル面に平行な平面に相当す
る。本ＰＤＰは４２インチクラスのＮＴＳＣ仕様に合わ
せた構成になっている。また、以下に挙げるすべての図
面において、ｘｙｚ各方向は一致するものとする。

【００２９】図１に示すように、本ＰＤＰは互いに主面
を対向させて配設されたフロントパネル２０およびバッ
クパネル２６から構成される。

【００３０】フロントパネル２０の基板となるフロント
パネルガラス２１には、その片面に厚さ１．０μｍ、幅
１２０μｍの帯状の透明電極２２０（２３０）と、厚さ
５μｍ、幅４０μｍのバスライン２２１（２３１）で構
成される表示電極２２（２３）（Ｘ電極２３，Ｙ電極２
２）がｘ方向に沿って複数対並設され、各対の表示電極
２２、２３との間隙（約６０μｍ）で面放電を行うよう
になっている。

【００３１】表示電極２２、２３を配設したフロントパ
ネルガラス２１には、当該ガラス２１の主面全体にわた
って厚さ約２０μｍの誘電体層２４がコートされ、さら
に誘電体層２４上に厚さ約０．９μｍの保護層２５がコ
ートされている。

【００３２】バックパネル２６の基板となるバックパネ
ルガラス２７には、その片面に５μｍ、幅４０μｍの複
数のアドレス電極２８がｙ方向を長手として一定間隔毎
（約３６０μｍ）でストライプ状に並設され、このアド
レス電極２８を内包するようにフロントパネルガラス２
１の全面にわたって厚さ１５μｍの誘電体膜２９がコー
トされている。誘電体膜２９上には、隣接するアドレス
電極２８の間隙に合わせて高さ１２０μｍ、幅４０μｍ
の隔壁３０が配設され、そして隣接する隔壁３０の側面
とその間の誘電体膜２９の面上には、赤色（Ｒ）、緑色
（Ｇ）、青色（Ｂ）の何れかに対応する蛍光体インクを
塗布してなる蛍光体層３１〜３３が形成されている。こ
れらのＲＧＢ各蛍光体層３１〜３３はｘ方向に順次配さ
れている。

【００３３】このような構成を有するフロントパネル２
０とバックパネル２６は、アドレス電極２８と表示電極
２２、２３の互いの長手方向が直交するように対向させ
つつ、両パネル２０、２６の外周縁部にて接着し封止さ
れている。前記両パネル２０、２６間にはＨｅ、Ｘｅ、
Ｎｅなどの希ガス成分からなる放電ガス（封入ガス）が
所定の圧力（通常５００〜７６０Ｔｏｒｒ程度）で封入
されている。

【００３４】隣接する隔壁３０間は放電空間３８とな
り、隣り合う一対の表示電極２２、２３と一本のアドレ
ス電極２８が放電空間３８を挟んで交叉する領域が、画
像表示にかかるセル（不図示）に対応している。ここで
一例として、ｘ方向のセルピッチは約３６０μｍ、ｙ方
向のセルピッチは約１０８０μｍである。

【００３５】なお、このＰＤＰを駆動する時には不図示
のパネル駆動部によって、アドレス電極２８と表示電極
２２、２３のいずれか（本実施の形態ではこれをＸ電極
２３とし、当該Ｘ電極２３はスキャン電極、Ｙ電極２２
はサステイン電極と称される）にパルスを印加し、放電
させることにより各セルに書き込み放電（アドレス放
電）を行った後、一対の表示電極２２、２３同士にパル
スを印加し、放電させることによって短波長の紫外線
（波長約１７３ｎｍを中心波長とするＸｅの分子線）を
発生させ、蛍光体層３１〜３３を発光させて画像表示を
なす。

【００３６】上記構成のＰＤＰは、実際の駆動実験にお
いて放電維持電圧１５０Ｖ、周波数３０ｋＨｚで放電さ
せた場合、約４８０ｃｄ／ｃｍ²のパネル輝度が得られ
た。

【００３７】次に、上記ＰＤＰの製造方法について、そ
の一例を説明する。

【００３８】１−２．ＰＤＰの製造方法 １−２−１．フロントパネルの作製 厚さ約２．８ｍｍのソーダライムガラスからなるフロン
トパネルガラス２１の面上に表示電極２２、２３を製作
する。これにはまず、透明電極２２０、２３０をフォト
エッチング法などにより形成する。

【００３９】フロントパネルガラス２１の全面に、厚さ
約０．５μｍでフォトレジスト（例えば紫外線硬化型樹
脂）を塗布する。そして透明電極２２０、２３０のパタ
ーンのフォトマスクを上に重ねて紫外線を照射し、現像
液に浸して未硬化の樹脂を洗い出す。次に透明電極２２
０、２３０の材料としてＩＴＯ（Indium Tin Oxide）
等をフロントパネルガラス２１のレジストのギャップに
塗布する。この後に洗浄液などでレジストを除去し、透
明電極２２０、２３０を完成する。

【００４０】続いて、ＡｇもしくはＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒを
主成分とする金属材料により、前記透明電極２２０、２
３０上に幅４０μｍのバスライン２２１、２３１を形成
する。Ａｇを用いる場合にはスクリーン印刷法が適用で
き、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒを用いる場合には蒸着法またはス
パッタ法などが適用できる。

【００４１】以上で表示電極２２、２３が形成される。

【００４２】次に、表示電極２２、２３の上から酸化鉛
（ＰｂＯ）、酸化ホウ素（Ｂ₂Ｏ₂）、酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ₂）をそれぞれ７０：１５：１５の重量比で混合して
なる材料をスクリーン印刷法によりフロントパネルガラ
ス２１の全面にわたってコートし、焼成（例えば５２０
℃で１０分）して厚さ約２０μｍの誘電体層２４を形成
する。

【００４３】次に誘電体層２４の表面に、例えばスパッ
タ法により酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる厚さ約
０．９μｍの保護層２５を形成する。

【００４４】以上でフロントパネル２０が作製される。

【００４５】１−２−２．バックパネルの製作 厚さ２．８ｍｍのソーダライムガラスからなるバックパ
ネルガラス２７の表面上に、スクリーン印刷法により銀
（Ａｇ）を主成分とする導電体材料を一定間隔でストラ
イプ状に塗布し、厚さ４０μｍのアドレス電極２８を形
成する。

【００４６】続いて、アドレス電極２８を形成したバッ
クパネル２６の面前体にわたって鉛系ガラスペーストを
厚さ約２０〜３０μｍで塗布して焼成し、誘電体膜２９
を形成する。

【００４７】次に、誘電体膜２９と同じ鉛系ガラス材料
を用いて、誘電体膜２９の上に、隣り合うアドレス電極
２８の間隙（約１４０μｍ）毎に高さ約１２０μｍの隔
壁３０を形成する。この隔壁３０は、たとえば上記ガラ
ス材料を含むペーストを繰り返しスクリーン印刷し、そ
の後焼成して形成できる。

【００４８】隔壁３０ができたら、隔壁３０の壁面と、
隣接する隔壁３０間で露出している誘電体膜２９の表面
に、赤色（Ｒ）、蛍光体、緑色（Ｇ）蛍光体、青色
（Ｂ）蛍光体のいずれかを含む蛍光インクを塗布し、こ
れを乾燥・焼成（例えば５００℃で１０分）してそれぞ
れ蛍光体層３１〜３３とする。

【００４９】一般的にＰＤＰに使用されている蛍光体材
料の一例を以下に列挙する。

【００５０】・赤色蛍光体；（Ｙ_xＧｄ_1-x）ＢＯ₃：Ｅ
ｕ³⁺（或いはＹＢＯ₃：Ｅｕ³⁺） ・緑色蛍光体； Ｚｎ₂ＳｉＯ₄：Ｍｎ（或いはＢａＡＬ
₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ） ・青色蛍光体； ＢａＭｇＡＬ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ³⁺（或いは
ＢａＭｇＡＬ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ³⁺） 各蛍光体材料は、例えば平均粒径約２μｍ程度の粉末が
使用できる。なお、蛍光体インクの塗布については詳細
を後述する。

【００５１】以上でバックパネル２６が完成される。

【００５２】１−２−３．ＰＤＰの完成 上記製作したフロントパネル２０とバックパネル２６
を、封着用ガラスを用いて貼り合わせる。その後、放電
空間３８の内部を高真空（４×１０^-7Ｔｏｒｒ）程度に
排気し、これに所定の圧力（５００〜８００Ｔｏｒｒ）
でＮｅ−Ｘｅ系やＨｅ−Ｎｅ−Ｘｅ系、Ｈｅ−Ｎｅ−Ｘ
ｅ−Ａｒ系などのいずれかの放電ガスを封入する。この
とき、Ｘｅの含有量を５体積％以上にする。

【００５３】以上で本ＰＤＰが完成される。

【００５４】２．蛍光体層の形成方法についての詳細 次に、蛍光体層３１〜３３の材料となる蛍光体インクを
塗布する塗布装置について説明する。

【００５５】なお、蛍光体インク塗布装置には、上記し
たＰＤＰの製造工程において、バックパネルガラス２７
上にアドレス電極２８、誘電体膜２９、および隔壁３０
が並設された直後のバックパネル２６がセッティングさ
れる。

【００５６】２−１．蛍光体インク塗布装置の全体構成 図２に本発明の実施の形態の蛍光体インク塗布装置の模
式的な外観図を示す。当該蛍光体インク塗布装置１０は
ｘｙテーブル（ｘｙ単独移動テーブル）を基本構成とし
ており、移動テーブル２００（ｙ方向に往復移動自在）
および加工ヘッドベース３２０（ｘ方向に往復移動自
在）等を有するものである。

【００５７】蛍光体インク塗布装置１０の基盤となる長
方形のテーブル１０１には、その長手方向（ｙ方向）に
平行にレール板１０２が敷設されている。当該レール板
１０２の幅方向（ｘ方向）両端部は折り曲げ加工により
レール１０２０Ｒ、１０２０Ｌとなっており、これにボ
ールリテーナーなどを内蔵するレール走行体２０１Ｒ、
２０１Ｌがそれぞれ係合されている。

【００５８】レール板１０２のｙ方向両端部付近には、
プーリ１０４および誘導プーリ（紙面奧側のため不図
示）が設置され、レール板１０２を介してプーリ１０４
にタイミングベルト１０５が架張されている。プーリ１
０４はステッピングモータ１０３の駆動軸に直結されて
おり、これによってタイミングベルト１０５が回動駆動
される。

【００５９】上記移動テーブル２０２上には、バックパ
ネル２６が載置され、公知の吸着固定機構（真空チャッ
ク法）などによりｘｙ平面に沿って水平固定される。

【００６０】一方、テーブル１０１にはレール板１０２
を跨ぐように固定された逆Ｕ字型ブリッジ３０１を中心
にしてブリッジ部３００が配置されている。ブリッジ３
００には、加工ヘッドベース３２０を駆動するための機
構が備えられている。

【００６１】すなわち図２に示すように、ブリッジ３０
１の側面片側には、ｘ方向に沿ってシャフト３１０、ボ
ールスクリュー３１１、およびｙｚ平面に沿った断面が
凹型のレールガイド３１２等が配設されている。ボール
スクリュー３１１は軸受部３１３、３１４で回転可能に
保持され、その軸にプーリ３１５、Ｖベルト３１６プー
リ３１７を介してステッピングモータ３１８の回転駆動
力が伝達されるようになっている。

【００６２】加工ヘッドベース３２０は図２に示すよう
に、ｚ方向を長手方向としｘｚ平面に主面を有する板体
であって、厚み部分がｘ方向に２箇所穿孔された形状を
有する。

【００６３】そして、この穿孔部にシャフト３１０、ボ
ールスクリュー３１１が通され、かつレールガイド３１
２により案内されるように保持されている。これによ
り、ステッピングモータ３１８が回転すると、当該加工
ヘッドベース３２０はシャフト３１０とレールガイド３
１２に沿って精密にｘ方向へ往復移動するように制御さ
れる。

【００６４】以上の構成により、移動テーブル２００
（およびこれに載置した被加工物；この場合バックパネ
ル２６）と加工ヘッドベース３２０は、各ステッピング
モータ１０３、３１８により精密駆動され、相対的にｘ
ｙ方向に移動する。この加工ヘッドベース３２０にはノ
ズルユニット５００が装着されれおり、以下のようにバ
ックパネル２６に対して２次元座標に基づく数十μｍオ
ーダーの蛍光体インクの塗布が可能になっている。

【００６５】なお、これらのステッピングモータ１０
３、３１８等の動作はＣＰＵ、記憶部、オペレータ用の
入力部等を備えるマイクロコンピュータを内蔵する制御
部（不図示）により制御される。この制御部はその記憶
部に格納された制御プログラムに基づいて、前記ステッ
ピングモータ１０３、３１８等とともに、ブリッジ部３
００上部のタンクホルダー３２４に装着されたインクタ
ンク３２５に加圧するエアポンプ（図示せず）の駆動を
も制御し、後述する蛍光体インク塗布プロセスを実行す
る。

【００６６】このような制御部としては、実際にはＰＣ
（パーソナルコンピュータ）型のものが使用される。

【００６７】２−２．加工ヘッドベース３２０周辺の構
成 次に、加工ヘッドベース周辺の構成を説明する。

【００６８】図２に示すように、加工ヘッドベース３２
０にはｚ方向にラック３２３が設けられた加工ヘッド高
さ調節板３２１が装着され、さらに加工ヘッド高さ調節
板３２１の主面にノズルユニット５００が固定された加
工ヘッド固定板３２２が装着されている。加工ヘッド高
さ調節板３２１に対し加工ヘッド固定板３２２は、図示
しないピニオンと前記ラック部３２３の構成によりｚ方
向に沿った微妙な高さ調整が可能である。

【００６９】加工ヘッド固定板３２２にはノズルユニッ
ト５００が固定されている。また、ノズルユニット５０
０は、Ｒ・Ｇ・Ｂのインクタンク３２５と配管Ｌ１で連
結されている。

【００７０】２−３．ノズルユニット周辺の構成 図３（ａ）はノズルユニット５００を分解したあとの蓋
部５０１の上面側の正面図および側面断面図であり、図
３（ｂ）は筐体５０４の底面側の正面図と側面断面図で
ある。なお、図３（ａ）の上図が蓋部５０１の上面側の
正面図であって、図３（ａ）の下図が蓋部５０１の側面
断面図であり、図３（ｂ）の上図が筐体５０４の底面側
の正面図であって、図３（ｂ）の下図が筐体５０４の側
面断面図である。

【００７１】蓋部５０１はＲ・Ｇ・Ｂ蛍光体それぞれを
ノズルユニット５００の内部に供給するための配管締結
部５０３と筐体５０４と締結するための６箇所の固定部
５０２で構成されている。

【００７２】一方、筐体５０４は赤色蛍光体液室５１
０、緑色蛍光体液室５１１、青色蛍光体液室５１２が設
けられ、各液室５１０、５１１、５１２の底部には、ノ
ズルチップユニットが固定される位置決め溝５０８と穿
孔部５０９が形成されており、穿孔部５０９のセンター
間ピッチは、赤色蛍光体液室５１０と緑色蛍光体液室５
１１との間が２１．９６０ｍｍ（０．３６ｍｍ（隔壁１
ピッチ）×３（トリオピッチ＝１．０８ｍｍ）×２０ト
リオピッチ（蛍光体の非干渉距離）＋０．３６ｍｍ（隔
壁への緑色蛍光体を塗布するための、１ピッチずらし
分）＝２１．９６ｍｍ）とし、同じく緑色蛍光体液室５
１１と青色蛍光体液室５１２とのセンター間距離は２
２．３２ｍｍとした。

【００７３】筐体５０４と蓋部５０１は６箇所の固定部
５０２と固定用ネジ部５０７にて六角穴付きボルト等で
固定し、筐体固定ネジ穴部５０６を介して、加工ヘッド
固定板３２２に取り付けられ、配管Ｌ１を配管締結部５
０３に固定する。

【００７４】２−４．ノズルチップユニット周辺の構成 図４（ａ）はノズルチップユニット５１３の正面図であ
り、図４（ｂ）はノズルチップユニット５１３の側面図
であって、図４（ｃ）は図４（ａ）のＡ−Ａ’断面図で
ある。図９にノズルチップ５１６の斜視図を示す。

【００７５】ここにおいて、本実施の形態の特徴はノズ
ルチップユニット５１３の構成にある。ノズルチップユ
ニット５１３は円板体であって、その板厚はノズルチッ
プ５１６の厚みより５〜１０μｍほど小さく仕上げられ
ており、センターを含め７個の穿孔部５１４が設けられ
ている。各穿孔部５１４には図９に示すノズルチップ５
１６が嵌合され、両者は熱軟化性樹脂（例えば日化精工
社製エレクトロンワックス）によって固定される。ま
た、この熱軟化性樹脂によって、一定の温度に加熱する
ことでノズルチップ穿孔部５１４からノズルチップ５１
６を簡単に取り外せるようになっている。

【００７６】ノズルチップ穿孔部５１４は２０００μｍ
（外径部５１９）より若干大きい径を有し、ｘ方向に沿
って隣り合う中心距離（図４（ａ）ではノズルピッチと
表示、以降単に「ｘ方向中心距離」という）が１０８０
μｍに一定間隔をおくようにして、ｙ方向に互い違いに
千鳥配置構造（六角形状とその中央に配置された構造）
を形成するように配置されている。この千鳥配置構造は
限られた領域内に各ノズルチップ穿孔部５１４の互いの
ｘ方向中心距離をできるだけ狭めて配置する工夫であっ
て、前記ｘ方向中心距離をそれほど小さく抑える必用が
ない場合などには、一直線状にノズルチップ穿孔部５１
４を配置するようにしてもよい。

【００７７】そして、ノズルチップユニット５１３の各
穿孔部５１４にノズルチップ５１６を熱軟化性樹脂を用
いて取り付けた後、そのノズルチップユニット５１３
を、図３（ｂ）に示した筐体５０４の各穿孔部５０９に
熱軟化性樹脂を用いて取り付ける。このようにして、筐
体５０４に、ノズルチップユニット５１３が取り付けら
れたノズルチップ５１６を取り付けることによって構成
される蛍光体インク塗布ノズルの構成を図１０に示す。
その図１０は蛍光体インク塗布ノズルの一断面を示して
いる。

【００７８】なお、ノズルチップユニット５１３を筐体
５０４の各穿孔部５０９に取り付けるさい、段付きの位
置決め溝５０８に、ノズルチップユニット５１３の位置
決め突起部５１５をはめ込んで取り付ける。また、ノズ
ルチップ５１６をノズルチップユニット５１３に固着し
たさいの軟化点より低い温度で、ノズルチップユニット
５１３をノズルユニットの筐体５０４に固着する。しか
しながら、筐体５０４の各穿孔部５０９へのノズルチッ
プユニット５１３の取り付けは、熱軟化性樹脂を用いて
取り付けるものと限定することはない。

【００７９】ここで、ノズルチップ５１６のサイズの一
例は以下の通りである。

【００８０】ノズルチップ高さ（上面５１７から底面５
２２までのｚ方向高さ）：２０００μｍ ノズルチップ外径：２０００μｍ テーパ部最大径：１２００μｍ テーパ部最小径：（直線部の径）：１５０μｍ テーパ部ｚ方向長さ：１８５０μｍ 直線部ｚ方向長さ：１５０μｍ このようなノズルチップ５１６はまず超硬合金丸材（例
えば外径が２１００μｍで長さが５０ｍｍ程度の金属
棒）を円筒研削盤で研削して外径寸法を２０００μｍと
し、長さを２０５０μｍ程度に切断したのち、平面研削
盤で長さを２０００μｍに加工して、外径部５１９を有
する円柱体を形成する。そして公知の放電加工により前
記円柱体の内部を加工してテーパ部５２１および直進部
５１８を製作することにより形成される。

【００８１】また、ノズルチップユニット５１３の各ノ
ズルチップ穿孔部５１４の互いのｘ方向中心距離（１０
８０μｍ）は、これに嵌合される各ノズルチップ５１６
の先端部５２０の互いのｘ方向中心距離に相当する。そ
してこの１０８０μｍという数字は、ｘ方向で隣接する
ＲＧＢ各３色分の蛍光体層からなる１画素のピッチ（ｘ
方向セルピッチ３６０μｍ×３＝１０８０μｍ）に合わ
せて設定されたものである。

【００８２】２−５．ノズルチップユニットの効果 上記構成を有する本実施の形態のノズルチップユニット
５１３へのノズルチップ５１６の取り付け、取り外しが
非常に簡単に行えるという優れた特徴を持ち、ノズルチ
ップユニット５１３の位置決め突起体５１５（図４
（ａ）参照）を、筐体５０４の位置決め溝５０８（図３
（ｂ）参照）に嵌合するだけで、隣接する他の蛍光体液
室のセンター間距離が確保される。また、何よりもＲＧ
Ｂの蛍光体をバックパネルに形成された隔壁間に同時に
蛍光体を塗布することができ、バックパネルを製作する
上で大幅な工数削減が図れる。

【００８３】３．蛍光体インクについて ここでは本蛍光体インク塗布装置１０で用いる蛍光体イ
ンクの成分例を挙げる。当該蛍光体インク塗布装置では
基本的に一般的な蛍光体インクを用いることが可能であ
る。例えば青色蛍光体インクの場合、平均粒径２μｍの
青色蛍光体（ＢａＭｇＡＩ₁₀Ｏ₁₇：Ｅｕ³⁺）３０ｗｔ
％、エチルセルロース（分子量約２０万）４．５ｗｔ％
分散剤（グリセルトリオレエート）２ｗｔ％、平均粒径
０．０１μｍの酸化ケイ素粒子（シリカ粒子）１ｗｔ
％、溶剤（ブチルカルビトールアセテート）６２ｗｔ
％、可塑剤０．５ｗｔ％を混合し、これをよく撹拌して
約１００センチポイズ（ｃｐ）としたものが使用可能で
ある。

【００８４】４．蛍光体インク塗布装置１０を用いたＰ
ＤＰへの蛍光体インク塗布工程 次に、本蛍光体インク塗布装置を１０を用いたＰＤＰへ
の蛍光体インク塗布工程について具体的に説明する。

【００８５】４−１．蛍光体インク塗布装置の各種設定 まず、上記構成を有する蛍光体インク塗布装置１０の移
動テーブル２００上に、バックパネル２６を方向に注意
しながら（バックパネル２６のｘｙ方向が蛍光体インク
塗布装置１０のｘｙ方向一致するように）載置し、移動
テーブル２００上にバックパネル２６を水平に固定す
る。

【００８６】続いて、ラック３２３を調節してノズルユ
ニット５００底面に取り付けられたノズルチップユニッ
ト５１３の底面とバックパネル２６の隔壁３０の間の距
離を６００μｍ程度まで近づける。これは蛍光体インク
の飛沫や、ノズルチップユニット５１３に取り付けられ
たノズルチップ５１６から吐出するインク流の直進性不
良（曲がり）によって生じる隣接セル間の混色などの悪
影響をできるだけ防ぐ目的による。

【００８７】次に、蛍光体インク塗布装置１０の前記制
御部のオペレータ入力部より、ポンプ（図示せず）およ
び循環ポンプ（図示せず）の吐出力を調節し、インクタ
ンク内にされている蛍光体インクに圧力をかけ、ノズル
チップ５１６からのインク吐出力を７〜８Ｋｇ／ｃｍ²
の範囲に設定する。そしてこの設定に引き続き、塗布プ
ロセスの速度条件（ステッピングモータ１０３、３１８
のドライブコントロールを含む）を設定し、全体的な蛍
光体インク塗布プロセスの設定を完了する。

【００８８】４−２．蛍光体インクの塗布プロセス 蛍光体インク塗布プロセスの設定後、ワーク開始指示を
入力すると、自動的に蛍光体インク塗布プロセスが開始
される。当該インクプロセスは、例えば図６のように行
われる。図６中、ｘ方向に平行な一点鎖線矢印は、ノズ
ルユニット５００を備えた加工ヘッドベース３２０側
（以下「加工ヘッドベース３２０側」と称す）の移動方
向、ｙ方向に平行な実線矢印は移動テーブル２００（バ
ックパネル２６を含む）の移動方向を示す。また「有効
塗布範囲」は、隔壁３０のｙ方向長（形成すべき蛍光体
層３１〜３３ｙ方向長）を十分に含む塗布範囲である。

【００８９】図６のように、本蛍光体インク塗布プロセ
スは蛇行プロセスからなる。

【００９０】なお、図６では説明の簡略化のためテーブ
ルの移動回数および加工ヘッドベースの移動回数を実際
より少なく図示している。

【００９１】蛍光体インク塗布プロセスは、バックパネ
ル２６のｘ方向最左端部下の所定の隔壁３０間に赤色蛍
光体液室５１０に装着されたノズルチップユニット５１
３の最右端のノズルチップ５１６の先端部５２０を位置
させてから開始する。

【００９２】なお、蛍光体インクはＲＧＢ蛍光体供給部
５１０Ａ（図７参照）から赤色蛍光体液室５１０、緑色
蛍光体液室５１１、青色蛍光体液室５１２に圧力がかか
った状態で供給され、この時、図中で「ｓｔａｒｔ」と
表示した位置より紙面下側（バックパネル２６よりｙ方
向手前側）で予め蛍光体インクを吐出状態にさせてお
く。

【００９３】上記ノズルチップ５１６とバックパネル２
６の位置合わせが済んだら、移動テーブル２００側をｙ
方向へ一気に走査し、（最大速度約２．０ｍ／ｓｅ
ｃ）、所定の隔壁３０間に蛍光体インクを塗布する。ノ
ズルチップユニット５１３に装着されたノズルチップ５
１６は計７孔であるから、３色同時塗布の場合は計２１
溝の蛍光体層に相当する蛍光体インクが同時に塗布され
る。

【００９４】ここで、図７（ａ）は蛍光体インクをバッ
クパネル２６に塗布する様子を示している。ノズルユニ
ット５００は実際よりも大きく、またバックパネル２６
は部分的に図示している。図７（ｂ）は５５０部の拡大
図である。バックパネル２６の隔壁３０間にはすでに赤
色蛍光体５１０Ｂと、緑色蛍光体５１１Ｂが塗布され、
最後に青色蛍光体５１２Ｂが塗布される。なお当図では
３溝毎に塗布しているが、実際にはノズルチップ５１６
はｘ方向に１０８０μｍ間隔で７個装着されているの
で、１色当たり７溝でＲＧＢ３色の蛍光体が合計２１溝
に同時に塗布されている。この時、加工ヘッドベース３
２０側のｙ方向の移動距離は７５６０μｍ（７孔分のノ
ズルチップ５１６の間隔１０８０μｍ×７＝７５６０μ
ｍ）であり、速度１．０〜１．５ｍ／ｓｅｃ程度で移動
し、バックパネル２６の規格サイズに合わせて所定回数
だけ繰り返し（本実施の形態では一例として１２３
回）、バックパネル２６全面にわたって行った後、３色
の蛍光体インク塗布プロセスを完了する。

【００９５】５．その他の注意事項 上記実施の形態では、ＮＴＳＣ方式のＰＤＰへの蛍光体
インクの塗布について例示したが、当然ながらこれ以外
の方式のＰＤＰ（ハイビジョン方式のＰＤＰ）であって
もよく、さらに他種のガス放電パネルに本発明を適用し
てもよい。

【００９６】また、本発明はインクジェット法（方式）
に限らず、インクスペース（液室）とインクノズルを備
えるタイプのノズルであれば、前記以外の塗布方法に適
用してもよい。

【００９７】また、蛍光体インク塗布装置は例示した方
式に限らず、これ以外のもの（例えば加工ヘッドベース
側を固定し、移動テーブルがｘｙ各方向に移動する方
式）であってもよい。

【００９８】さらに実施の形態では、隣接するノズルチ
ップ５１６のｘ方向中心距離を１０８０μｍとしたが、
本発明は当然ながらこれに限定するものではなく、塗布
するＰＤＰの規格・サイズ等に合わせて変更してもよ
い。ただし、前記ｘ方向中心距離を変更することによっ
て、これに合ったインク塗布プロセスを調整する必要が
あるのは言うまでもない（これについては例えば走査プ
ロセス数を増減するなどの方法は考えられる）。また、
ノズルチップ５１６も７孔に限らず、これ以外の数であ
ってもよい。

【００９９】また、上記した蛍光体インク塗布プロセス
においては、バックパネルガラス２７の所定の位置に予
めアライメントマークを付し、これを蛍光体インク塗布
装置１０側に備えたＣＣＤ等で読み取って、さらに精密
なアライメントを行った上で蛍光体インクを塗布するよ
うにしてもよい。

【０１００】上述したように、筐体内の液室に供給され
る蛍光体インクを当該液室の底面に形成されたインク吐
出口から塗布対象へ吐出する蛍光体インクノズルが、ノ
ズルユニットと、ノズルチップユニットと、ノズルチッ
プとで構成されており、ノズルユニットの液室底面のノ
ズルチップユニットが取り付けられる位置に穿孔部が設
けられ、ノズルが取り付けられたノズルチップユニット
が脱着可能な状態で上記液室底面に装着されるので、ノ
ズルチップ単体で吐出量等にばらつきが生じても、問題
となるノズルチップユニットを取り外して別のユニット
を取り替えることで、修正加工することが可能となる。

【０１０１】これにより従来に比べて飛躍的に優れた性
能のインクノズルを迅速に構成することが可能となる。
またＲＧＢの３色の蛍光体インクを同時にバックパネル
の隔壁間に塗布することができ、蛍光体インク塗布プロ
セスの簡略化と大幅な工数の削減が図れる。したがっ
て、このようなインクノズルを搭載した蛍光体インク塗
布装置を用いれば、ハイビジョン方式のような微細構造
のＰＤＰなどのガス放電パネルであっても良好に蛍光体
インクを塗布することが可能であり、高精度で蛍光体層
を形成することができる。

【０１０２】

【発明の効果】以上説明したところから明らかなよう
に、本発明は、ノズルチップをノズルユニットに簡単に
取り付けるための、ノズルチップが取り付けられるノズ
ルチップユニットと、ノズルチップが取り付けられたノ
ズルチップユニットを筐体インク吐出口が存在する面に
取り付けるための取付部を有するノズルユニットと、そ
れらノズルチップユニット、ノズルユニットおよびノズ
ルチップで構成される蛍光体インク塗布ノズルと、その
蛍光体インク塗布ノズルの製造方法と、上記蛍光体イン
ク塗布ノズルを用いて所定の塗布対象に蛍光体インクを
塗布する蛍光体インク塗布装置と、その蛍光体インク塗
布装置を用いて所定のパネルの所定の位置に蛍光体イン
クを塗布してガス放電パネルを製造する方法とを提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態におけるプラズマディスプ
レイパネルの部分概略図である。

【図２】本発明の実施の形態における蛍光体インク塗布
装置の概略図である。

【図３】ノズルユニットの構成を示す概略図である。

【図４】ノズルチップユニットの構成を示す図である。

【図５】従来型のノズルユニットの構成を示す正面断面
図である。

【図６】蛍光体インク塗布プロセスを示す図である。

【図７】蛍光体インク塗布時のノズルユニット周辺の様
子を示す図である。

【図８】複数の吐出部からの蛍光体インク吐出量を一様
にするためのノズルユニットと、ノズルチップの構成図
である。

【図９】ノズルチップの斜視図である。

【図１０】蛍光体インク塗布ノズルの断面図である。

【符号の説明】

１０ 蛍光体インク塗布装置 ２６ バックパネル ３０ 隔壁 ３１〜３３ 蛍光体層 ３２５ インクタンク ５００ ノズルユニット ５０１ 蓋部 ５０４ 筐体 ５０９ 穿孔部 ５１３ ノズルチップユニット ５１６ ノズルチップ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０９Ｆ 9/30 ３４９ Ｇ０９Ｆ 9/30 ３４９Ｚ ５Ｃ０９４ Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｈ０１Ｊ 9/227 Ｅ ５Ｇ４３５ 11/02 11/02 Ｂ (72)発明者 住田 圭介 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4D075 AC08 AC09 CA47 DA32 DB13 DC24 EA33 4F033 AA01 BA03 CA04 DA05 EA05 MA00 NA01 4F041 AA05 AA17 AB02 BA05 BA13 BA22 5C028 FF06 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GG09 5C094 AA05 AA08 AA43 AA48 AA55 BA12 BA31 CA19 CA24 DA13 EA04 EA05 EB02 EC04 FA01 FA02 GB10 5G435 AA04 AA17 BB06 CC09 HH06 KK05 KK10

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 蛍光体インクが充填されるインクスペー
   ス、およびそのインクスペースに連通するインク吐出口
   を有する筐体と、蓋部とを備え、 前記筐体の前記インク吐出口が存在する側の面には、所
   定の数の穿孔部が設けられた平板状のノズルチップユニ
   ットを取り付けるための取付部が設けられていることを
   特徴とするノズルユニット。
2. 【請求項２】 前記ノズルチップユニットには、前記取
   付部に固定されるための突起部が設けられており、 前記取付部には、前記ノズルチップユニットの前記突起
   部と嵌合する段付き溝が設けられており、 その段付き溝に前記ノズルチップユニットの前記突起部
   が嵌合することによって、前記ノズルチップユニットが
   前記筐体の前記取付部に固定されることを特徴とする請
   求項１に記載のノズルユニット。
3. 【請求項３】 前記筐体には、赤色の蛍光体インク、緑
   色の蛍光体インク、および青色の蛍光体インクそれぞれ
   が充填される少なくとも３個の前記インクスペースが設
   けられており、前記取付部が前記各インクスペースそれ
   ぞれに対応して形成されていることを特徴とする請求項
   １または２に記載のノズルユニット。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれかに記載のノズ
   ルユニットに取り付けられる、前記所定の数の穿孔部が
   設けられた平板状のノズルチップユニットであって、 前記各穿孔部には、前記ノズルユニットに前記ノズルチ
   ップユニットが取り付けられたときに、前記ノズルユニ
   ットの前記インクスペースに充填された蛍光体インクを
   吐出するためのノズルチップが取り付けられていること
   を特徴とするノズルチップユニット。
5. 【請求項５】 ノズルチップユニットに設けられている
   穿孔部に、蛍光体インクを吐出するためのノズルチップ
   を、熱軟化性樹脂を用いて取り付け、 ノズルユニットを構成する筐体の、前記蛍光体インクが
   充填されるインクスペースに連通するインク吐出口が存
   在する側の面に、前記ノズルチップが取り付けられてい
   る前記ノズルチップユニットを、熱軟化性樹脂を用いて
   取り付ける蛍光体インク塗布ノズルの製造方法であっ
   て、 前記ノズルチップを前記ノズルチップユニットに固着し
   たさいの軟化点より低い温度で、前記ノズルチップユニ
   ットを前記ノズルユニットの前記筐体の前記取付部に固
   着することを特徴とする蛍光体インク塗布ノズルの製造
   方法。
6. 【請求項６】 蛍光体インクを吐出するためのノズルチ
   ップと、 所定の数の穿孔部が設けられており、前記穿孔部の全部
   または一部に前記ノズルチップが取り付けられる平板状
   のノズルチップユニットと、 前記蛍光体インクが充填されるインクスペースおよびそ
   のインクスペースに連通するインク吐出口を持つ筐体
   と、蓋部とを有し、前記筐体の前記インク吐出口が存在
   する側の面に、前記ノズルチップユニットが取り付けら
   れるノズルユニットとを備え、 前記ノズルチップユニットには前記ノズルチップが取り
   付けられており、前記ノズルユニットには前記ノズルチ
   ップユニットが取り付けられていることを特徴とする蛍
   光体インク塗布ノズル。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の蛍光体インク塗布ノズ
   ルが載置され、所定の塗布対象を載せるテーブル表面に
   沿って、前記蛍光体インク塗布ノズルを移動するための
   加工ヘッドを備えたことを特徴とする蛍光体インク塗布
   装置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の蛍光体インク塗布装置
   の前記加工ヘッドに請求項６に記載の蛍光体インク塗布
   ノズルを載置し、複数の隔壁が並設された所定のパネル
   のパネル面に対し、前記蛍光体インク塗布ノズルのノズ
   ルユニットに充填された蛍光体インクを塗布するガス放
   電パネルの製造方法であって、 前記蛍光体インク塗布装置の加工ヘッドを前記隔壁の長
   手方向に沿って移動させることによって、前記ノズルユ
   ニットに充填された蛍光体インクを、前記隔壁の間隙に
   塗布する蛍光体インク塗布工程を備えたことを特徴とす
   るガス放電パネルの製造方法。