JP2001076619A - プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置とその形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置とその形成方法Info
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- JP2001076619A JP2001076619A JP24565899A JP24565899A JP2001076619A JP 2001076619 A JP2001076619 A JP 2001076619A JP 24565899 A JP24565899 A JP 24565899A JP 24565899 A JP24565899 A JP 24565899A JP 2001076619 A JP2001076619 A JP 2001076619A
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- rib
- ribs
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 表示品質の高い大型ＰＤＰを製造する。
【解決手段】 基板表面に並列に設けられた複数本のリ
ブの間に形成される溝に蛍光体ペーストを塗布して蛍光
体層を形成する装置であって、基板を載置する載置台
と、蛍光体ペーストを吐出するノズルを有するノズルヘ
ッドと、ノズルヘッドに蛍光体ペーストを供給する供給
部と、ノズルヘッドがリブに平行に移動するようにノズ
ルヘッドと載置台とを相対移動させるＸ方向移動部と、
ノズルヘッドがリブに直交して移動するようにノズルヘ
ッドと載置台とを相対移動させるＹ方向移動部と、前記
供給部とＸ方向移動部とＹ方向移動部を制御する制御部
とを備え、リブ間の溝に蛍光体ペーストを塗布するため
にＸ方向移動部が駆動するとき、制御部はノズルを対応
する２つのリブの中心から一方のリブの方向へ所定距離
だけ偏るように初期設定することを特徴とする。
ブの間に形成される溝に蛍光体ペーストを塗布して蛍光
体層を形成する装置であって、基板を載置する載置台
と、蛍光体ペーストを吐出するノズルを有するノズルヘ
ッドと、ノズルヘッドに蛍光体ペーストを供給する供給
部と、ノズルヘッドがリブに平行に移動するようにノズ
ルヘッドと載置台とを相対移動させるＸ方向移動部と、
ノズルヘッドがリブに直交して移動するようにノズルヘ
ッドと載置台とを相対移動させるＹ方向移動部と、前記
供給部とＸ方向移動部とＹ方向移動部を制御する制御部
とを備え、リブ間の溝に蛍光体ペーストを塗布するため
にＸ方向移動部が駆動するとき、制御部はノズルを対応
する２つのリブの中心から一方のリブの方向へ所定距離
だけ偏るように初期設定することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プラズマディス
プレイパネル（以下ＰＤＰという）の製造工程に用いら
れ、表面に複数のリブ（隔壁）を有する基板の各リブ間
に蛍光体層を形成する装置および形成する方法に関す
る。
プレイパネル（以下ＰＤＰという）の製造工程に用いら
れ、表面に複数のリブ（隔壁）を有する基板の各リブ間
に蛍光体層を形成する装置および形成する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のＰＤＰの蛍光体層形成装置や方法
においては、複数のノズル（いわゆるマルチノズル）を
有するノズルヘッドを用いて蛍光体ペーストをリブ間の
溝に塗布するようにしたものが知られている。しかしな
がら、ＰＤＰの大型化、つまり基板の大型化に伴い、基
板全面にわたって一度に塗布することが困難になり、基
板の塗布領域をノズルヘッドの塗布可能幅に対応させて
複数の小領域に分割し、その各小領域を順次ノズルヘッ
ドで塗布するようになってきた。
においては、複数のノズル（いわゆるマルチノズル）を
有するノズルヘッドを用いて蛍光体ペーストをリブ間の
溝に塗布するようにしたものが知られている。しかしな
がら、ＰＤＰの大型化、つまり基板の大型化に伴い、基
板全面にわたって一度に塗布することが困難になり、基
板の塗布領域をノズルヘッドの塗布可能幅に対応させて
複数の小領域に分割し、その各小領域を順次ノズルヘッ
ドで塗布するようになってきた。
【０００３】ところで、リブ間の溝に塗布される蛍光体
ペーストの塗布量や蛍光体ペーストに含まれる蛍光物質
の濃度などがばらつくと、それがＰＤＰの表示特性に悪
影響を及ぼすため、表示品質の高いＰＤＰを得るために
は、塗布量やペースト中の蛍光物質濃度などを高精度に
管理する必要がある。そのため、蛍光体ペーストの粘度
を比較的低く設定し、蛍光体ペーストの表面張力を利用
して塗布したり、ノズルの長さと口径との関係を種々制
御するようにしたものが知られている（例えば、特開平
１１−４００６５号公報，特開平１１−７３８８２号公
報参照）。
ペーストの塗布量や蛍光体ペーストに含まれる蛍光物質
の濃度などがばらつくと、それがＰＤＰの表示特性に悪
影響を及ぼすため、表示品質の高いＰＤＰを得るために
は、塗布量やペースト中の蛍光物質濃度などを高精度に
管理する必要がある。そのため、蛍光体ペーストの粘度
を比較的低く設定し、蛍光体ペーストの表面張力を利用
して塗布したり、ノズルの長さと口径との関係を種々制
御するようにしたものが知られている（例えば、特開平
１１−４００６５号公報，特開平１１−７３８８２号公
報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、表示品
質の高い大型ＰＤＰを製造するためには、さらに次の点
を解決する必要がある。つまり、２つのリブ間の溝とノ
ズルとの位置ずれにより、リブの内壁のみならず、いず
れか一方のリブの頂上まで蛍光体ペーストが乗上げた状
態で塗布されることがよく見られる。しかし、頂上まで
塗布されるリブがいずれか一方に特定されず、それがノ
ズルヘッドの塗布領域毎に異なると、その境界において
ＰＤＰの表示ムラ、いわゆるスジムラが生じる。
質の高い大型ＰＤＰを製造するためには、さらに次の点
を解決する必要がある。つまり、２つのリブ間の溝とノ
ズルとの位置ずれにより、リブの内壁のみならず、いず
れか一方のリブの頂上まで蛍光体ペーストが乗上げた状
態で塗布されることがよく見られる。しかし、頂上まで
塗布されるリブがいずれか一方に特定されず、それがノ
ズルヘッドの塗布領域毎に異なると、その境界において
ＰＤＰの表示ムラ、いわゆるスジムラが生じる。
【０００５】この発明はこのような事情を考慮してなさ
れたもので、頂上まで塗布するリブをいずれか一方に特
定することにより、ＰＤＰの表示ムラの発生を防止する
ことが可能な蛍光体層形成装置およびその形成方法を提
供するものである。
れたもので、頂上まで塗布するリブをいずれか一方に特
定することにより、ＰＤＰの表示ムラの発生を防止する
ことが可能な蛍光体層形成装置およびその形成方法を提
供するものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、基板表面に
並列に設けられた複数本のリブの間に形成される溝に蛍
光体ペーストを塗布して蛍光体層を形成する装置であっ
て、基板を載置する載置台と、蛍光体ペーストを吐出す
るノズルを有するノズルヘッドと、ノズルヘッドに蛍光
体ペーストを供給する供給部と、ノズルヘッドがリブに
平行に移動するようにノズルヘッドと載置台とを相対移
動させるＸ方向移動部と、ノズルヘッドがリブに直交し
て移動するようにノズルヘッドと載置台とを相対移動さ
せるＹ方向移動部と、前記供給部とＸ方向移動部とＹ方
向移動部を駆動制御する制御部とを備え、制御部は、リ
ブ間の溝に蛍光体ペーストを塗布するためにＸ方向移動
部を駆動させるとき、ノズルを対応する２つのリブの中
心から一方のリブの方向へ所定距離だけ偏るように初期
設定することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の蛍光体層形成装置を提供するものである。
並列に設けられた複数本のリブの間に形成される溝に蛍
光体ペーストを塗布して蛍光体層を形成する装置であっ
て、基板を載置する載置台と、蛍光体ペーストを吐出す
るノズルを有するノズルヘッドと、ノズルヘッドに蛍光
体ペーストを供給する供給部と、ノズルヘッドがリブに
平行に移動するようにノズルヘッドと載置台とを相対移
動させるＸ方向移動部と、ノズルヘッドがリブに直交し
て移動するようにノズルヘッドと載置台とを相対移動さ
せるＹ方向移動部と、前記供給部とＸ方向移動部とＹ方
向移動部を駆動制御する制御部とを備え、制御部は、リ
ブ間の溝に蛍光体ペーストを塗布するためにＸ方向移動
部を駆動させるとき、ノズルを対応する２つのリブの中
心から一方のリブの方向へ所定距離だけ偏るように初期
設定することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の蛍光体層形成装置を提供するものである。
【０００７】別の観点からこの発明は、上記蛍光体層形
成装置を用いたプラズマディスプレイパネルの蛍光体層
形成方法であって、基板の蛍光体ペースト塗布領域をノ
ズルヘッドのノズル数に対応させて複数の小領域に分割
し、各小領域の溝に対して順次蛍光体ペーストを塗布す
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光
体層形成方法を提供するものである。
成装置を用いたプラズマディスプレイパネルの蛍光体層
形成方法であって、基板の蛍光体ペースト塗布領域をノ
ズルヘッドのノズル数に対応させて複数の小領域に分割
し、各小領域の溝に対して順次蛍光体ペーストを塗布す
ることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの蛍光
体層形成方法を提供するものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】この発明において、ノズルは対応
する２つのリブの中心から一方のリブの方向へ所定距離
ΔＬだけ偏るように初期設定されるが、その所定距離Δ
Ｌは、溝幅をＷとするときＷ／４に設定されることが好
ましい。このように設定することにより、ノズルが偏っ
た方のリブに蛍光体ペーストが塗布されることになり、
そのために必要な溝の中心とノズルとの溝幅方向の位置
ずれの許容範囲を最大値（±Ｗ／４）にすることができ
る。
する２つのリブの中心から一方のリブの方向へ所定距離
ΔＬだけ偏るように初期設定されるが、その所定距離Δ
Ｌは、溝幅をＷとするときＷ／４に設定されることが好
ましい。このように設定することにより、ノズルが偏っ
た方のリブに蛍光体ペーストが塗布されることになり、
そのために必要な溝の中心とノズルとの溝幅方向の位置
ずれの許容範囲を最大値（±Ｗ／４）にすることができ
る。
【０００９】この発明は、リブの位置を検出するセンサ
をさらに備え、制御部はそのセンサの検出結果に基づい
てノズル位置を設定してもよい。さらに、センサは基板
に設けられた位置合わせマークに基づいてリブの位置を
検出してもよい。
をさらに備え、制御部はそのセンサの検出結果に基づい
てノズル位置を設定してもよい。さらに、センサは基板
に設けられた位置合わせマークに基づいてリブの位置を
検出してもよい。
【００１０】この発明に係るプラズマディスプレイパネ
ル（ＰＤＰ）は、対向する２枚の基板間に局部的に放電
を発生させ、基板上に区画形成された蛍光体層を励起・
発光させるようにしたものである。これは、例えば、図
１に示すような一対の基板アッセンブリ５０，５０ａか
ら構成（１画素分）される。
ル（ＰＤＰ）は、対向する２枚の基板間に局部的に放電
を発生させ、基板上に区画形成された蛍光体層を励起・
発光させるようにしたものである。これは、例えば、図
１に示すような一対の基板アッセンブリ５０，５０ａか
ら構成（１画素分）される。
【００１１】基板アッセンブリ５０ａにおいては、前面
側のガラス基板１１の内面に、基板面に沿った面放電を
生じさせるためのサステイン電極Ｘ，Ｙが、ライン毎に
一対ずつ配列される。サステイン電極Ｘ，Ｙは、それぞ
れがＩＴＯ薄膜からなる幅の広い直線帯状の透明電極４
１と金属薄膜からなる幅の狭い直線帯状のバス電極４２
とから構成される。
側のガラス基板１１の内面に、基板面に沿った面放電を
生じさせるためのサステイン電極Ｘ，Ｙが、ライン毎に
一対ずつ配列される。サステイン電極Ｘ，Ｙは、それぞ
れがＩＴＯ薄膜からなる幅の広い直線帯状の透明電極４
１と金属薄膜からなる幅の狭い直線帯状のバス電極４２
とから構成される。
【００１２】バス電極４２は、適正な導電性を確保する
ための補助電極である。サステイン電極Ｘ，Ｙを被覆す
るように誘電体層１７が設けられ、誘電体層１７の表面
には保護膜１８が蒸着される。誘電体層１７及び保護膜
１８はともに透光性を有している。
ための補助電極である。サステイン電極Ｘ，Ｙを被覆す
るように誘電体層１７が設けられ、誘電体層１７の表面
には保護膜１８が蒸着される。誘電体層１７及び保護膜
１８はともに透光性を有している。
【００１３】次に、基板アッセンブリ５０においては、
背面側のガラス基板２１の内面に、サステイン電極Ｘ，
Ｙと直交するようにアドレス電極Ａが配列される。各ア
ドレス電極Ａの間に、帯状（図では直線状）の隔壁つま
りリブｒが１つずつ設けられる。
背面側のガラス基板２１の内面に、サステイン電極Ｘ，
Ｙと直交するようにアドレス電極Ａが配列される。各ア
ドレス電極Ａの間に、帯状（図では直線状）の隔壁つま
りリブｒが１つずつ設けられる。
【００１４】基板アッセンブリ５０では、隣接するリブ
ｒによってアドレス電極方向に連通した細長い溝状の放
電空間３０がライン方向にサブピクセル（単位発光領
域）ＥＵ毎に区画され、且つ放電空間３０の間隙寸法が
規定される。なお、隔壁はサステイン電極対の間の非放
電部（逆スリット）に対応する部分で隔壁間間隔が狭く
なるように蛇行させたり、狭くするための突起部を付属
させたり、当該部位の隔壁間溝底部に隔壁よりも背の低
い障壁を付属させることができ、本発明ではこれらの形
状を含めて帯状と定義する。
ｒによってアドレス電極方向に連通した細長い溝状の放
電空間３０がライン方向にサブピクセル（単位発光領
域）ＥＵ毎に区画され、且つ放電空間３０の間隙寸法が
規定される。なお、隔壁はサステイン電極対の間の非放
電部（逆スリット）に対応する部分で隔壁間間隔が狭く
なるように蛇行させたり、狭くするための突起部を付属
させたり、当該部位の隔壁間溝底部に隔壁よりも背の低
い障壁を付属させることができ、本発明ではこれらの形
状を含めて帯状と定義する。
【００１５】そして、細長い溝内にはアドレス電極Ａの
上部及びリブｒの側面を含めて背面側の壁面を被覆する
ように、カラー表示のためのＲ，Ｇ，Ｂの３色の蛍光体
層２８が設けられる。
上部及びリブｒの側面を含めて背面側の壁面を被覆する
ように、カラー表示のためのＲ，Ｇ，Ｂの３色の蛍光体
層２８が設けられる。
【００１６】リブｒは低融点ガラスからなり、紫外線に
対して不透明である。なお、リブｒの形成方法として
は、例えばベタ膜状の低融点ガラス層の上にフォトリソ
グラフィによってエッチングマスクを設け、サンドブラ
ストでパターニングする工程が用いられる。
対して不透明である。なお、リブｒの形成方法として
は、例えばベタ膜状の低融点ガラス層の上にフォトリソ
グラフィによってエッチングマスクを設け、サンドブラ
ストでパターニングする工程が用いられる。
【００１７】マトリクス表示の１ラインにはサステイン
電極対１２が対応し、１列には１本のアドレス電極Ａが
対応する。そして、３列が１ピクセル（画素）ＥＧに対
応する。つまり、１ピクセルＥＧはライン方向に並ぶ
Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルＥＵからなる。
電極対１２が対応し、１列には１本のアドレス電極Ａが
対応する。そして、３列が１ピクセル（画素）ＥＧに対
応する。つまり、１ピクセルＥＧはライン方向に並ぶ
Ｒ，Ｇ，Ｂの３つのサブピクセルＥＵからなる。
【００１８】アドレス電極Ａとサステイン電極Ｙとの間
の対向放電によって、誘電体層１７における壁電荷の蓄
積状態が制御される。サステイン電極Ｘ，Ｙに交互にサ
ステインパルスを印加すると、所定量の壁電荷が存在す
るサブピクセルＥＵで面放電（主放電）が生じる。
の対向放電によって、誘電体層１７における壁電荷の蓄
積状態が制御される。サステイン電極Ｘ，Ｙに交互にサ
ステインパルスを印加すると、所定量の壁電荷が存在す
るサブピクセルＥＵで面放電（主放電）が生じる。
【００１９】蛍光体層２８は、面放電で生じた紫外線に
よって局部的に励起されて所定色の可視光を放つ。この
可視光の内、ガラス基板１１を透過する光が表示光とな
る。リブｒの配置パターンがいわゆるストライプパター
ンであることから、放電空間３０の内の各列に対応した
部分は、全てのラインに跨がって列方向に連続してい
る。各列内のサブピクセルＥＵの発光色は同一である。
よって局部的に励起されて所定色の可視光を放つ。この
可視光の内、ガラス基板１１を透過する光が表示光とな
る。リブｒの配置パターンがいわゆるストライプパター
ンであることから、放電空間３０の内の各列に対応した
部分は、全てのラインに跨がって列方向に連続してい
る。各列内のサブピクセルＥＵの発光色は同一である。
【００２０】このようなＰＤＰの製造に際して、蛍光体
層２８は、図１に示すように、基板２１上にアドレス電
極Ａとリブｒを設けた後に形成される。
層２８は、図１に示すように、基板２１上にアドレス電
極Ａとリブｒを設けた後に形成される。
【００２１】また、蛍光体ペーストは、粉末状蛍光物質
と合成樹脂を溶剤に溶かしたものであり、蛍光体ペース
トにおける蛍光物質の含有量は６０〜１０重量％が適当
である。
と合成樹脂を溶剤に溶かしたものであり、蛍光体ペース
トにおける蛍光物質の含有量は６０〜１０重量％が適当
である。
【００２２】蛍光体ペーストに含まれる蛍光物質はその
発光色により異なり、具体的には、Ｙ2 Ｏ3 ：Ｅｕ、Ｙ
ＶＯ4 ：Ｅｕ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3 ：Ｅｕ，Ｙ2 Ｏ
3 Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ3 （ＰＯ4 ）2 ：Ｍｎ、（Ｚｎ，
Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ（以上赤色）、Ｚｎ2 ＧｅＯ2 ：Ｍｎ、
ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ、ＬａＰ
Ｏ 4 ：Ｔｂ、ＺｎＳ：（Ｃｕ，Ａｌ）、ＺｎＳ：（Ａ
ｕ，Ｃｕ，Ａｌ）、（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：（Ｃｕ，Ａ
ｌ）、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：（Ｍｎ，Ａｓ）、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ
12：Ｃｅ、Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ12：Ｔ
ｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ（以上緑色）、Ｓｒ5 （ＰＯ4 ）3 Ｃ
ｌ：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ 16
Ｏ27：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ、ＺｎＳ：Ａ
ｇ、Ｙ2 ＳｉＯ3 ：Ｃｅ（以上青色）等が上げられる。
発光色により異なり、具体的には、Ｙ2 Ｏ3 ：Ｅｕ、Ｙ
ＶＯ4 ：Ｅｕ、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ3 ：Ｅｕ，Ｙ2 Ｏ
3 Ｓ：Ｅｕ、γ−Ｚｎ3 （ＰＯ4 ）2 ：Ｍｎ、（Ｚｎ，
Ｃｄ）Ｓ：Ａｇ（以上赤色）、Ｚｎ2 ＧｅＯ2 ：Ｍｎ、
ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎ、ＬａＰ
Ｏ 4 ：Ｔｂ、ＺｎＳ：（Ｃｕ，Ａｌ）、ＺｎＳ：（Ａ
ｕ，Ｃｕ，Ａｌ）、（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：（Ｃｕ，Ａ
ｌ）、Ｚｎ2 ＳｉＯ4 ：（Ｍｎ，Ａｓ）、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ
12：Ｃｅ、Ｇｄ2 Ｏ2 Ｓ：Ｔｂ、Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ12：Ｔ
ｂ、ＺｎＯ：Ｚｎ（以上緑色）、Ｓｒ5 （ＰＯ4 ）3 Ｃ
ｌ：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ 16
Ｏ27：Ｅｕ、ＢａＭｇＡｌ10Ｏ17：Ｅｕ、ＺｎＳ：Ａ
ｇ、Ｙ2 ＳｉＯ3 ：Ｃｅ（以上青色）等が上げられる。
【００２３】また、蛍光体ペーストに含まれる合成樹脂
には当該分野で公知の樹脂をいずれも使用することがで
きる。具体的には、エチルセルロース、ニトロセルロー
ス、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール等が挙げら
れ、更に感光性樹脂等を含んでいてもよい。一方、溶剤
としては、アルコール類、テルピネオール、ブチルカル
ビトールアセテート（ＢＣＡ）、ブチルカルビトール、
トルエン、酢酸ブチル等が挙げられる。
には当該分野で公知の樹脂をいずれも使用することがで
きる。具体的には、エチルセルロース、ニトロセルロー
ス、アクリル樹脂、ポリビニルアルコール等が挙げら
れ、更に感光性樹脂等を含んでいてもよい。一方、溶剤
としては、アルコール類、テルピネオール、ブチルカル
ビトールアセテート（ＢＣＡ）、ブチルカルビトール、
トルエン、酢酸ブチル等が挙げられる。
【００２４】蛍光体ペーストを吐出するノズルにおい
て、ノズル内径はリブ間隔よりも小さくなるように設定
されるが、ノズル先端はリブとリブとの間に挿入される
ことがないので、先端の外径はリブ間隔よりも大きくて
もよい。例えば、リブの間隔が２５０〜３００μｍのと
きには、ノズルは内径２００〜２５０μｍ、外径４００
〜４５０μｍ程度のものが好ましい。また、ノズルヘッ
ドには、複数本（例えば、５０〜１５０本）のノズルを
リブピッチの整数倍のピッチで一列に配列したものを用
いることができる。
て、ノズル内径はリブ間隔よりも小さくなるように設定
されるが、ノズル先端はリブとリブとの間に挿入される
ことがないので、先端の外径はリブ間隔よりも大きくて
もよい。例えば、リブの間隔が２５０〜３００μｍのと
きには、ノズルは内径２００〜２５０μｍ、外径４００
〜４５０μｍ程度のものが好ましい。また、ノズルヘッ
ドには、複数本（例えば、５０〜１５０本）のノズルを
リブピッチの整数倍のピッチで一列に配列したものを用
いることができる。
【００２５】実施例 以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述す
る。これによってこの発明が限定されるものではない。
図２はこの発明の実施例の構成を示す説明図であり、こ
の実施例では図１に示すアドレス電極Ａとリブｒとを有
する基板２１に蛍光体層２８を形成するため、蛍光体ペ
ーストをリブｒの間の溝に塗布する装置について説明す
る。
る。これによってこの発明が限定されるものではない。
図２はこの発明の実施例の構成を示す説明図であり、こ
の実施例では図１に示すアドレス電極Ａとリブｒとを有
する基板２１に蛍光体層２８を形成するため、蛍光体ペ
ーストをリブｒの間の溝に塗布する装置について説明す
る。
【００２６】図２において、マニピュレータ１はシャフ
ト２を水平に保持しながら矢印Ｚ１，Ｚ２方向（Ｚ軸方
向）に昇降させるＺ軸移動装置３ａ，３ｂと、シャフト
２に支持されて矢印Ｙ１，Ｙ２方向（Ｙ軸方向）に摺動
するＹ軸移動装置４と、Ｚ軸移動装置３ａ，３ｂを紙面
に対して垂直（Ｘ軸方向）に往復移動させるＸ軸移動装
置５ａ，５ｂと、基板２１を載置するターンテーブル７
を備える。ノズルヘッド５１はＹ軸移動装置４の把手６
に固定される。Ｙ軸移動装置４は基板２１上の位置決め
マークを検出するセンサ６６を備え、ターンテーブル７
は回転装置８により軸９を中心に回転されるようになっ
ている。
ト２を水平に保持しながら矢印Ｚ１，Ｚ２方向（Ｚ軸方
向）に昇降させるＺ軸移動装置３ａ，３ｂと、シャフト
２に支持されて矢印Ｙ１，Ｙ２方向（Ｙ軸方向）に摺動
するＹ軸移動装置４と、Ｚ軸移動装置３ａ，３ｂを紙面
に対して垂直（Ｘ軸方向）に往復移動させるＸ軸移動装
置５ａ，５ｂと、基板２１を載置するターンテーブル７
を備える。ノズルヘッド５１はＹ軸移動装置４の把手６
に固定される。Ｙ軸移動装置４は基板２１上の位置決め
マークを検出するセンサ６６を備え、ターンテーブル７
は回転装置８により軸９を中心に回転されるようになっ
ている。
【００２７】蛍光体ペーストを収容する収容タンク５２
はチューブ５３，５４と電磁バルブ５５を介して加圧タ
ンク５６に接続される。圧縮空気源（例えばエヤコンプ
レッサ）５７は圧力調整器６１，電磁バルブ６２および
チューブ５８，５９，６０を介して加圧タンク５６に接
続され、収容タンク５２から加圧タンク５６へ収容され
た蛍光体ペーストを加圧するようになっている。加圧タ
ンク５６は電磁バルブ６３とチューブ６４，６５を介し
てノズルヘッド５１へ接続されている。
はチューブ５３，５４と電磁バルブ５５を介して加圧タ
ンク５６に接続される。圧縮空気源（例えばエヤコンプ
レッサ）５７は圧力調整器６１，電磁バルブ６２および
チューブ５８，５９，６０を介して加圧タンク５６に接
続され、収容タンク５２から加圧タンク５６へ収容され
た蛍光体ペーストを加圧するようになっている。加圧タ
ンク５６は電磁バルブ６３とチューブ６４，６５を介し
てノズルヘッド５１へ接続されている。
【００２８】図３はノズルヘッド５１の正面図であり、
図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図である。これらの図にお
いて、ノズルヘッド本体８０はチューブ６５から供給さ
れる蛍光体ペーストを収容する収容室８１を内部に備
え、本体８０の底面には、収容室８１に連通して下向き
に突出する１０７本のノズルＮ１〜Ｎ１０７がピッチＰ
ｎで一列に配列されている。ここで、ノズルＮ１〜Ｎ１
０７は長さが１５ｍｍ，外径が４００μｍ，内径が２１
０μｍである。
図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図である。これらの図にお
いて、ノズルヘッド本体８０はチューブ６５から供給さ
れる蛍光体ペーストを収容する収容室８１を内部に備
え、本体８０の底面には、収容室８１に連通して下向き
に突出する１０７本のノズルＮ１〜Ｎ１０７がピッチＰ
ｎで一列に配列されている。ここで、ノズルＮ１〜Ｎ１
０７は長さが１５ｍｍ，外径が４００μｍ，内径が２１
０μｍである。
【００２９】図８は図２に示す装置の制御部を説明する
ブロック図である。マイクロコンピュータを内蔵する制
御部１０３は、各種条件を入力するキーボード１０４お
よびセンサ６６からの出力を受けて、圧力調整器６１，
電磁バルブ５５，６２，６３，Ｘ軸移動装置５ａ，５ｂ
を駆動するＸ軸モータ１０５，Ｙ軸移動装置４を駆動す
るＹ軸モータ１０６，Ｚ軸移動装置３ａ，３ｂを駆動す
るＺ軸モータ１０７および回転装置８を駆動するテーブ
ル用モータ１０２を制御すると共に、キーボード１０４
からの入力条件などをＣＲＴ１０８に表示させる。
ブロック図である。マイクロコンピュータを内蔵する制
御部１０３は、各種条件を入力するキーボード１０４お
よびセンサ６６からの出力を受けて、圧力調整器６１，
電磁バルブ５５，６２，６３，Ｘ軸移動装置５ａ，５ｂ
を駆動するＸ軸モータ１０５，Ｙ軸移動装置４を駆動す
るＹ軸モータ１０６，Ｚ軸移動装置３ａ，３ｂを駆動す
るＺ軸モータ１０７および回転装置８を駆動するテーブ
ル用モータ１０２を制御すると共に、キーボード１０４
からの入力条件などをＣＲＴ１０８に表示させる。
【００３０】このような構成において、次のようにして
図１に示す基板２１のリブｒ間の溝にまず赤色用蛍光体
ペーストが塗布される。この実施例では、基板２１とし
て４２インチＰＤＰ（パネルサイズ９８０ｍｍ×５８０
ｍｍ）用のものを使用し、予め表面には２５６９本のリ
ブｒ（図１）がピッチＰｒで平行に設けられ、それによ
って２５６８本の溝が形成されている。ここで、リブピ
ッチＰｒは（１．０８／３）ｍｍに設定され、ノズルピ
ッチＰｎとリブピッチＰｒとの関係は、Ｐｎ＝６Ｐｒと
なっている。
図１に示す基板２１のリブｒ間の溝にまず赤色用蛍光体
ペーストが塗布される。この実施例では、基板２１とし
て４２インチＰＤＰ（パネルサイズ９８０ｍｍ×５８０
ｍｍ）用のものを使用し、予め表面には２５６９本のリ
ブｒ（図１）がピッチＰｒで平行に設けられ、それによ
って２５６８本の溝が形成されている。ここで、リブピ
ッチＰｒは（１．０８／３）ｍｍに設定され、ノズルピ
ッチＰｎとリブピッチＰｒとの関係は、Ｐｎ＝６Ｐｒと
なっている。
【００３１】そこで、図２に示す基板２１はリブｒの長
手方向が紙面に垂直になるようにターンテーブル７の上
に載置される。図６に示すように基板２１の蛍光体ペー
スト塗布領域Ｓは１つの小領域が６×１０７本の溝を有
するように境界線Ｌを境にして４つの小領域Ｓ１〜Ｓ４
に分割され、まず、小領域Ｓ１から塗布工程が開始され
る。なお、基板２１には図６に示すように塗布領域Ｓの
外側に位置決めマークＭ１，Ｍ２が予め印刷されてい
る。
手方向が紙面に垂直になるようにターンテーブル７の上
に載置される。図６に示すように基板２１の蛍光体ペー
スト塗布領域Ｓは１つの小領域が６×１０７本の溝を有
するように境界線Ｌを境にして４つの小領域Ｓ１〜Ｓ４
に分割され、まず、小領域Ｓ１から塗布工程が開始され
る。なお、基板２１には図６に示すように塗布領域Ｓの
外側に位置決めマークＭ１，Ｍ２が予め印刷されてい
る。
【００３２】制御部１０３は、キーボード１０４からの
起動信号を受けてノズルＮ１〜Ｎ１０７とリブｒとの位
置合わせおよびノズルＮ１〜Ｎ１０７とリブｒとのギャ
ップの調整をセンサ６６からの出力を受けてＸ軸移動装
置５ａ，５ｂ，Ｙ軸移動装置４，Ｚ軸移動装置３ａ，３
ｂおよび回転装置８をそれぞれ駆動して行う。この場
合、ノズルＮ１〜Ｎ１０７は、図１０に示すように対応
する２つのリブｒの中心から右側へＷ／４だけ偏るよう
に初期設定される（Ｗはリブ間隔つまり溝幅であり、こ
の実施例ではＷ＝２９０μｍとしている）。そして、予
め収容タンク５２に収容した赤色用の蛍光体ペーストの
１部をバルブ５５の作動により加圧タンク５６に供給し
た後、圧縮空気源５７から圧力調整器６１と電磁バルブ
６２を介して空気圧を加圧タンク５６に印加する。そこ
で電磁バルブ６３を開くと蛍光体ペーストはノズルヘッ
ド５１に供給され、ノズルＮ１〜Ｎ１０７は図５に示す
ようにリブｒ間および右側のリブｒの頂上に対する蛍光
体ペーストの吐出を開始する。
起動信号を受けてノズルＮ１〜Ｎ１０７とリブｒとの位
置合わせおよびノズルＮ１〜Ｎ１０７とリブｒとのギャ
ップの調整をセンサ６６からの出力を受けてＸ軸移動装
置５ａ，５ｂ，Ｙ軸移動装置４，Ｚ軸移動装置３ａ，３
ｂおよび回転装置８をそれぞれ駆動して行う。この場
合、ノズルＮ１〜Ｎ１０７は、図１０に示すように対応
する２つのリブｒの中心から右側へＷ／４だけ偏るよう
に初期設定される（Ｗはリブ間隔つまり溝幅であり、こ
の実施例ではＷ＝２９０μｍとしている）。そして、予
め収容タンク５２に収容した赤色用の蛍光体ペーストの
１部をバルブ５５の作動により加圧タンク５６に供給し
た後、圧縮空気源５７から圧力調整器６１と電磁バルブ
６２を介して空気圧を加圧タンク５６に印加する。そこ
で電磁バルブ６３を開くと蛍光体ペーストはノズルヘッ
ド５１に供給され、ノズルＮ１〜Ｎ１０７は図５に示す
ようにリブｒ間および右側のリブｒの頂上に対する蛍光
体ペーストの吐出を開始する。
【００３３】それと同時にＸ軸移動装置５ａ，５ｂによ
りノズルヘッド５１をリブｒの前端から後端へ前進させ
た後、電磁バルブ６３を閉じてノズルＮ１〜Ｎ１０７の
吐出を停止させる。それによってピッチＰｎ，つまりピ
ッチ６Ｐｒの１０７本の溝に全長にわたって蛍光体ペー
ストが塗布される。これによって図６の矢印（１）で示
す工程が終了する。
りノズルヘッド５１をリブｒの前端から後端へ前進させ
た後、電磁バルブ６３を閉じてノズルＮ１〜Ｎ１０７の
吐出を停止させる。それによってピッチＰｎ，つまりピ
ッチ６Ｐｒの１０７本の溝に全長にわたって蛍光体ペー
ストが塗布される。これによって図６の矢印（１）で示
す工程が終了する。
【００３４】次に、Ｙ軸移動装置４によりノズルヘッド
５１をＹ２方向（図２）に３Ｐｒだけ移動させる。次
に、電磁バルブ６３を開いてノズルＮ１〜Ｎ１０７から
蛍光体ペーストを吐出させながら、ノズルヘッド５１を
Ｘ軸移動装置５ａ，５ｂによりリブｒの後端から前端へ
後退させた後、電磁バルブ６３を閉じてノズルＮ１〜Ｎ
１０７の吐出を停止させる。これによって図６の矢印
（２）で示す工程が終了する。
５１をＹ２方向（図２）に３Ｐｒだけ移動させる。次
に、電磁バルブ６３を開いてノズルＮ１〜Ｎ１０７から
蛍光体ペーストを吐出させながら、ノズルヘッド５１を
Ｘ軸移動装置５ａ，５ｂによりリブｒの後端から前端へ
後退させた後、電磁バルブ６３を閉じてノズルＮ１〜Ｎ
１０７の吐出を停止させる。これによって図６の矢印
（２）で示す工程が終了する。
【００３５】上記塗布工程を図６の矢印（３）〜（８）
に示すようにくり返すことにより、赤色用蛍光体層を形
成すべきすべての溝に赤色（Ｒ）用の蛍光体ペーストが
塗布される。そして、小領域Ｓ１〜Ｓ４の各境界（図６
のＢ部）の側面図は図７のようになる。図７において塗
布されたペースト層Ｐ１〜Ｐ１０７はそれぞれノズルＮ
１〜Ｎ１０７により形成されたものである。次に、図２
と同等な装置をそれぞれ用いて緑色（Ｇ）用および青色
（Ｂ）用の蛍光体ペーストを同様に塗布し、基板２１に
対する三色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の蛍光体ペーストの塗布作業
を終了する。
に示すようにくり返すことにより、赤色用蛍光体層を形
成すべきすべての溝に赤色（Ｒ）用の蛍光体ペーストが
塗布される。そして、小領域Ｓ１〜Ｓ４の各境界（図６
のＢ部）の側面図は図７のようになる。図７において塗
布されたペースト層Ｐ１〜Ｐ１０７はそれぞれノズルＮ
１〜Ｎ１０７により形成されたものである。次に、図２
と同等な装置をそれぞれ用いて緑色（Ｇ）用および青色
（Ｂ）用の蛍光体ペーストを同様に塗布し、基板２１に
対する三色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の蛍光体ペーストの塗布作業
を終了する。
【００３６】この場合、図６の小領域Ｓ１〜Ｓ４の各境
界ＬのＢ部における側面図は図９のようになり、境界Ｌ
の両側のペースト層Ｐ１，Ｐ１０７はいずれも右側のリ
ブの頂上に乗り上げるように形成されている。従って、
境界Ｌにおいてペースト層の乗り上げるリブが左右にば
らつかないためＰＤＰの表示ムラ、つまりスジムラを生
じることがない。
界ＬのＢ部における側面図は図９のようになり、境界Ｌ
の両側のペースト層Ｐ１，Ｐ１０７はいずれも右側のリ
ブの頂上に乗り上げるように形成されている。従って、
境界Ｌにおいてペースト層の乗り上げるリブが左右にば
らつかないためＰＤＰの表示ムラ、つまりスジムラを生
じることがない。
【００３７】以上のようにこの発明では特定のリブ（右
側のリブ）だけにペースト層を確実に乗り上げさせるた
めに、ノズルＮ１〜Ｎ１０７の位置を図１０に示すよう
に溝の中心からＷ／４だけ偏らせて初期設定している
が、それは次のような理由によるものである。
側のリブ）だけにペースト層を確実に乗り上げさせるた
めに、ノズルＮ１〜Ｎ１０７の位置を図１０に示すよう
に溝の中心からＷ／４だけ偏らせて初期設定している
が、それは次のような理由によるものである。
【００３８】図１１に示すようにノズルＮ１から蛍光体
ペーストＰが吐出し始めると蛍光体ペーストＰは表面張
力によりノズル先端で球状となり、その径は２つのリブ
ｒの間隔以上になる。従って一方のリブｒに蛍光体ペー
ストＰを乗り上げさせるためにはノズルＮ１の中心が少
なくともΔＬだけそのリブ側に偏って設定されることが
必要となる。しかし、ΔＬを図１２のように大きくして
いくと蛍光体ペーストＰがリブｒを乗り越えて隣の溝へ
移行する危険性があるため、ノズルＮ１の中心はそのリ
ブｒの内側（内壁面）を越えることができない。従っ
て、ΔＬの許容範囲は０＜ΔＬ＜Ｗ／２となり、ノズル
Ｎ１の中心は対応する２つのリブの中心からＷ／４だけ
偏って初期設定されることになる。
ペーストＰが吐出し始めると蛍光体ペーストＰは表面張
力によりノズル先端で球状となり、その径は２つのリブ
ｒの間隔以上になる。従って一方のリブｒに蛍光体ペー
ストＰを乗り上げさせるためにはノズルＮ１の中心が少
なくともΔＬだけそのリブ側に偏って設定されることが
必要となる。しかし、ΔＬを図１２のように大きくして
いくと蛍光体ペーストＰがリブｒを乗り越えて隣の溝へ
移行する危険性があるため、ノズルＮ１の中心はそのリ
ブｒの内側（内壁面）を越えることができない。従っ
て、ΔＬの許容範囲は０＜ΔＬ＜Ｗ／２となり、ノズル
Ｎ１の中心は対応する２つのリブの中心からＷ／４だけ
偏って初期設定されることになる。
【００３９】なお、ノズルＮ１が移動を始めた後では、
図１３に示すようにノズルＮ１が許容範囲から多少はず
れても蛍光体ペーストＰは一方のリブｒから他方のリブ
ｒへ乗り換えることはない。以上、帯状のリブ間に形成
される細長い溝内に連続的に蛍光体ペーストを塗布する
例を説明したが、複数の凹部をマトリクス配列する網目
形状のリブに対しても同じ列の凹部群が同色の蛍光体を
配置される場合は当該列に連続的または断続的に蛍光体
ペーストを吐出させて同列の凹所群に蛍光体塗布するこ
とも可能である。
図１３に示すようにノズルＮ１が許容範囲から多少はず
れても蛍光体ペーストＰは一方のリブｒから他方のリブ
ｒへ乗り換えることはない。以上、帯状のリブ間に形成
される細長い溝内に連続的に蛍光体ペーストを塗布する
例を説明したが、複数の凹部をマトリクス配列する網目
形状のリブに対しても同じ列の凹部群が同色の蛍光体を
配置される場合は当該列に連続的または断続的に蛍光体
ペーストを吐出させて同列の凹所群に蛍光体塗布するこ
とも可能である。
【００４０】
【発明の効果】この発明によれば、ノズルヘッドのサイ
ズに対応して基板上の塗布領域を分割して塗布作業を行
っても、その塗布領域の境界において表示ムラを生じる
ことがないので、大型ＰＤＰの表示品質を向上させるこ
とができる。
ズに対応して基板上の塗布領域を分割して塗布作業を行
っても、その塗布領域の境界において表示ムラを生じる
ことがないので、大型ＰＤＰの表示品質を向上させるこ
とができる。
【図１】この発明に係るＰＤＰの要部構成を示す斜視図
である。
である。
【図２】この発明の実施例を示す構成説明図である。
【図３】この発明のノズルヘッドの正面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図５】この発明の蛍光体ペースト塗布状況を示す説明
図である。
図である。
【図６】この発明に係る基板の平面図である。
【図７】図６のＢ部拡大側面図である。
【図８】この発明の制御部を示すブロック図である。
【図９】図６のＢ部拡大側面図である。
【図１０】この発明におけるノズルとリブとの位置関係
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図１１】この発明におけるノズルとリブとの位置関係
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図１２】この発明におけるノズルとリブとの位置関係
を示す説明図である。
を示す説明図である。
【図１３】この発明におけるノズルとリブとの位置関係
を示す説明図である。
を示す説明図である。
１ マニピュレータ ２ シャフト ３ａ Ｚ軸移動装置 ３ｂ Ｚ軸移動装置 ４ Ｙ軸移動装置 ５ａ Ｘ軸移動装置 ５ｂ Ｘ軸移動装置 ６ 把手 ７ ターンテーブル ８ 回転装置 ９ 軸 ５１ ノズルヘッド ５２ 収容タンク ５３ チューブ ５４ チューブ ５５ 電磁バルブ ５６ 加圧タンク ５７ 圧縮空気源 ５８ チューブ ５９ チューブ ６０ チューブ ６１ 圧力調整器 ６２ 電磁バルブ ６３ 電磁バルブ ６４ チューブ ６５ チューブ ６６ センサ ８０ 本体 ８１ 収容室 Ｎ１ ノズル Ｎ２ ノズル Ｎ３ ノズル Ｎ１０６ ノズル Ｎ１０７ ノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南都 利之 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 Ｆターム(参考） 5C028 FF16 HH14 5C040 FA01 GA03 GB03 GG09 JA13 MA02 MA23 MA24
Claims (5)
- 【請求項１】 基板表面に並列に設けられた複数本のリ
ブの間に形成される溝に蛍光体ペーストを塗布して蛍光
体層を形成する装置であって、基板を載置する載置台
と、蛍光体ペーストを吐出するノズルを有するノズルヘ
ッドと、ノズルヘッドに蛍光体ペーストを供給する供給
部と、ノズルヘッドがリブに平行に移動するようにノズ
ルヘッドと載置台とを相対移動させるＸ方向移動部と、
ノズルヘッドがリブに直交して移動するようにノズルヘ
ッドと載置台とを相対移動させるＹ方向移動部と、前記
供給部とＸ方向移動部とＹ方向移動部を駆動制御する制
御部とを備え、制御部は、リブ間の溝に蛍光体ペースト
を塗布するためにＸ方向移動部を駆動させるとき、ノズ
ルを対応する２つのリブの中心から一方のリブの方向へ
所定距離だけ偏るように初期設定することを特徴とする
プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置。 - 【請求項２】 前記所定距離は、溝幅をＷとするとき、
Ｗ／４に設定される請求項１記載のプラズマディスプレ
イパネルの蛍光体層形成装置。 - 【請求項３】 リブの位置を検出するセンサをさらに備
え、制御部はそのセンサの検出結果に基づいてノズル位
置を設定する請求項１記載のプラズマディスプレイパネ
ルの蛍光体層形成装置。 - 【請求項４】 センサは基板に設けられた位置合わせマ
ークに基づいてリブの位置を検出する請求項３記載のプ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置。 - 【請求項５】 請求項１記載の蛍光体層形成装置を用い
たプラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成方法であ
って、基板の蛍光体ペースト塗布領域をノズルヘッドの
ノズル数に対応させて複数の小領域に分割し、各小領域
の溝に対して順次蛍光体ペーストを塗布することを特徴
とするプラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24565899A JP3928686B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置とその形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24565899A JP3928686B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置とその形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001076619A true JP2001076619A (ja) | 2001-03-23 |
| JP3928686B2 JP3928686B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=17136905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24565899A Expired - Fee Related JP3928686B2 (ja) | 1999-08-31 | 1999-08-31 | プラズマディスプレイパネルの蛍光体層形成装置とその形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3928686B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1020312C2 (nl) * | 2002-04-05 | 2003-10-07 | Otb Groep B V | Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een display, zoals bijvoorbeeld een polymere OLED display, een display en een substraat ten gebruike bij de werkwijze. |
| JP2009277405A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
-
1999
- 1999-08-31 JP JP24565899A patent/JP3928686B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL1020312C2 (nl) * | 2002-04-05 | 2003-10-07 | Otb Groep B V | Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een display, zoals bijvoorbeeld een polymere OLED display, een display en een substraat ten gebruike bij de werkwijze. |
| EP1351325A1 (en) * | 2002-04-05 | 2003-10-08 | OTB Group B.V. | Method and apparatus for manufacturing a display, such as, for instance, a polymer OLED display, a display and a substrate for use in the method |
| US7591906B2 (en) | 2002-04-05 | 2009-09-22 | Pixdro Ltd. | Method and apparatus for manufacturing a display, such as, for instance, a polymer OLED display, a display and a substrate for use in the method |
| US7695754B2 (en) | 2002-04-05 | 2010-04-13 | Pixdro Ltd. | Method and apparatus for manufacturing a display, such as, for instance, a polymer OLED display, a display and a substrate for use in the method |
| JP2009277405A (ja) * | 2008-05-13 | 2009-11-26 | Panasonic Corp | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3928686B2 (ja) | 2007-06-13 |
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