CN1215619C - 激光振荡器 - Google Patents

Abstract

一种根据输入的激光输出指令值或电流指令值、控制对激光媒质的激励、得到期望的激光输出的激光振荡器，包括：按照前述激光输出指令值或电流指令值生成作为基准的激光输出波形及电流波形的基准波形生成装置，作为电流监测值取得激励激光媒质用的电流值、与前述基准波形生成装置生成的前述电流波形进行比较的第1比较装置，以及作为激光输出监测值取得激励输出的激光输出值、与前述基准波形生成装置生成的前述激光输出波形进行比较的第2比较装置。能检测异常。

Description

激光振荡器

技术领域

本发明涉及检测激光振荡器的故障的异常判断装置，能准确判断激光的放大部分是否异常或者有关电源是否异常、因而容易确定故障部位。

背景技术

图11，是表示激光振荡器的概略构成的构成图。

图中，1是通过电源装置10产生的直流电流发光的激光二极管，2是激光媒质，3是全反射镜，4是部分反射镜，5是扩大激光的扩大透镜，6是将激光平行化的平行化透镜，7是光纤入射透镜，8是光纤，9是加工头，10是电源装置。

激光二极管1利用流过的直流电流发光、激励激光媒质2、在全反射镜3与部分反射镜4间引起共振、得到激光。

将这样得到的激光，经扩大透镜5、平行化透镜6进行扩大、平行化，再通过光纤入射透镜7集光于光纤8的端面。此外，该集光的激光，通过光纤内部，通过加工头9，将激光导光到规定的位置。

此外，激光输出的调整，可通过改变激光二极管1中的通电电流进行，一般，对激光二极管1通电的电源装置10期望的激光输出，从外部提供电流指令、由该电源装置10对激光二极管1中的通电电流进行控制。

图12，是表示电源装置10的内部的具体例的构成图。

首先，对电源装置10的基本动作进行说明。

在电源装置10，输入电源通过整流装置16变换为直流，使电容器7充电。

这里，由于晶体管13的导通，通过扼流线圈14使电流开始在激光二极管1中流动。

晶体管13导通时，激光二极管1中流动的电流增加，因此，当电流大于电流期望值时，关断晶体管13，使电流减少。

反之，电流小于电流期望值时，晶体管13导通，使电流增加。

通过这样反复的导通、关断，将电流控制在电流期望值。

对导通、导通时间的控制，如图13所示，对电流值设置上限值、下限值，在这上下限值的范围内，有控制导通、关断的滞后比较电路控制和控制某一定期间中的导通时间的PWM控制等。

下面，参照图12对控制进行详细说明。

电流控制装置18，通过电流期望值(电流指令值)及电流传感器12、取得进行适当增益调整20的现在的电流值。

这样，将这2种取得的数据、在滞后比较电路控制的场合、放在比较器21与预先设定的导通电流值、关断电流值作比较，以决定导通还是关断晶体管13。

另外，在未图示的PWM控制场合，用微机演算这2种取得的数据的差分量，以控制一定时间中的导通时间。

这样求得的晶体管13的导通、关断指令，被送到驱动晶体管13的电路(根据控制系统的逻辑信号，供给实际导通、关断晶体管13用的必要的电流及电压的电路)，使晶体管13导通、关断。

通过这些动作，将电流期望值取入电流控制装置18，并成为它的电流值。

然后，对使之成为期望的激光输出值时的控制进行说明。

电流控制装置18，取得通过期望的激光输出指令值及激光输出检测用传感器11的激光输出监测值(现在的激光输出)。

又，对这个取得的数据的差分量进行演算，以控制现在的电流指令值。

根据这个被控制的电流指令值，与从外部提供电流期望值的情况一样地控制晶体管13的导通、关断。

此外，开关19，是在使电流指令有效和使激光输出指令有效间进行切换的开关。

进行前述控制的固体激光振荡器，用于金属等的焊接及切割。

此时，在不能维持期望的激光输出时，会发生焊接及切割不良，因此，在不能维持期望的激光输出时，需要向外部报知异常的装置。

当得不到这期望的激光输出时，作为向外部报知异常的装置的例，在期望的激光输出最低需要200W时，激光输出监测值如达到200W，用预先导通的电路25将导通信号输入到振荡器控制装置26，同时，规定守候导通信号的时间，在该规定时间内，这个能在不导通时报知异常。

再举例，在焊接时，为避免过焊、设置激光输出的上限值时，例如，设定上限值为最大300W，超过该输出时，预设的导通电路24利用这个导通信号进行同样的报知异常。

此外，为了对激光二极管1中可流过的最大电流进行规定，当流过的电流大于这个规定的电流值时，应向外部报知异常。

例如，对电流超过50A时激光二极管1破损的情况，来自电流传感器11的电流监测值，在大于50A时预设导通电路23可将该导通信号输入振荡器控制装置26，报知异常。

根据该导通信号，振荡器控制装置26进行适当处理(电源阻断等)，以保护激光二极管1。

这里，举保护激光二极管1的例，当然，当其他元件(晶体管13，扼流线圈14)中流动的电流值低于激光二极管1中的电流值时，需要变更适合于该元件的电流值的规定。

这样，由于在固体激光振荡器中具有向外部报知异常的装置，可事前防范焊接及切割的不良。

此外，当电流超过规定值时，可利用向外部报知异常的装置，对各元件进行保护。

在前述以往的固体激光振荡器中，当超过激光输出的上限值的异常、和超过电流规定值的异常同时发生时，可将激光二极管1中的电流判断为过流，并根据有关电源的异常判断为超过激光输出的上限值。

此外，这里说的有关电源的异常，不仅表示除图1中激光二极管1以外的光的放大部分的异常(PR透镜，TR透镜的损伤等)，还表示使用电源的元件等的故障。

另外，按仅对超过激光输出的上限值的异常的通知(不发生超过电流规定值的异常时)，还不能判断有关电源有没有异常。

作为一例，在图12，作为输出的限制值取下限200W，上限300W，规定的最大电流值为50A，当电流为20A时，可得到激光输出250W，40A时可得到350W的激光振荡器，对期望的电流指令值为20A的情况进行说明。

来自电流传感器11的电流监测值，在增益调整20时出现异常，在将实际的电流值的0.5倍的值返回比较器21时，本来，可控制使20A的电流在激光二极管1中流动，实际，由于控制会使(1/0.5)倍的40A的电流流经激光二极管1，使激光输出为350W。

为此，以往被判断为超过输出上限的激光输出的异常。此外，此时，激光二极管1中的实际电流是40A，由于低于规定的最大电流值，所以不发生超过电流规定值的异常。

通常，所说超过激光输出的上限值的异常，被认为是光的放大部分的异常，此时，光的放大部分无异常，是电流控制装置18的增益调整20的异常，虽应作为有关电源的异常，却不能确实地检测它。

此外，当连接激光二极管1的配线断线时，激光二极管1中没有电流，当然激光输出也没有。

因此，激光输出低于限制值的下限时，会发生激光输出的异常。

此外，此时，由于在激光二极管1中没有电流，不会发生超过电流规定值的异常。

同样，虽应判断为不是光的放大部分的异常、是断线的有关电源的异常，但仅按激光输出的异常，是不能确定的。

这是由于电源异常的检测是以电源自身的保护(激光二极管1，及晶体管13等元件的保护)为目的进行设定的，焊接不良及切割不良引起的电源的异常，可作为激光输出的异常进行检测。

即亦，在以往的激光振荡器中，通过激光输出的异常，可避开焊接不良及切割不良的发生，但不能判断是光的放大部分的异常还是有关电源的异常，不容易确定异常的部位，异常发生时的处置需要时间。

本发明是针对以上问题提出的，目的在于提供不仅避开焊接不良及切割不良的发生、同时容易确定故障部位的装置。

发明内容

为达到以上目的，按照第1观点构成的激光振荡器，根据输入的激光输出指令值或电流指令值、控制对激光媒质的激励、得到期望的激光输出，包括：按照前述激光输出指令值或电流指令值生成作为基准的激光输出波形及电流波形的基准波形生成装置；取得激励激光媒质用的电流值作为电流监测值，并将前述基准波形生成装置生成的前述电流波形与所述电流值进行比较的第1比较装置；以及取得激励输出的激光输出值作为激光输出监测值，并将前述基准波形生成装置生成的前述激光输出波形与所述激光输出值进行比较的第2比较装置。能检测异常。

此外，包括：取得对用于激励激光媒质的激光二极管中的电流进行控制的主电路元件的导通/关断信号或所述主电路元件的检测信号，并将所述导通/关断信号与按激光输出指令值或电流指令值由基准波形生成装置生成的主电路元件的导通/关断信号进行比较的第3比较装置。

此外，在以比较装置进行比较时，对基准波形设定规定的允许范围。

附图说明

图1是表示实施形态1的激光振荡器的概略构成的构成图。

图2是表示异常判断的处理流程图的流程图。

图3是表示激光二极管的等效电路的说明图。

图4是表示电流波形的图。

图5是表示电流波形的近似图。

图6是异常判断的顺序。

图7是表示实施形态2的允许范围的设定图。

图8是表示实施形态3的激光振荡器的概略构成的构成图。

图9是表示晶体管的导通关断波形判断的图。

图10是表示晶体管的导通关断波形生成的图。

图11是表示以往的激光振荡器的概略构成的构成图。

图12是表示电源装置10的内部的具体例的构成图。

图13是关于滞后比较电路控制、PWM控制的说明图。

具体实施方式

实施形态1

图1，是表示实施形态1的激光振荡器的构成的构成图。

首先，对电源装置10的基本动作进行说明。

在电源装置10，输入电源通过整流装置16变换为直流，使电容器7充电。

这里，由于晶体管13的导通，通过扼流线圈14使电流开始在激光二极管1中流动。

晶体管13导通时，激光二极管1中流动的电流增加，因此，当电流大于电流期望值时，关断晶体管13，使电流减少。

反之，电流小于电流期望值时，晶体管13导通，使电流增加。

通过这样反复的导通、关断，将电流控制在电流期望值。

对导通、导通时间的控制，如以往技术中说明的图13所示，对电流值设置上限值、下限值，在这上下限值的范围内，有控制导通、关断的滞后比较电路控制和控制某一定期间中的导通时间的PWM控制等。

下面，参照图1对控制进行详细说明。

电流控制装置18，通过电流期望值(电流指令值)及电流传感器12、取得进行适当增益调整20的现在的电流值。

这样，将这2种取得的数据、在滞后比较电路控制的场合、放在比较器20与预先设定的导通电流值、关断电流值作比较，判断导通还是关断晶体管13。

另外，在未图示的PWM控制场合，用微机演算这2种取得的数据的差分量，以增减一定时间中的导通时间。

下面，对具有本实施形态特征的异常判断装置22的动作进行说明。

以往的异常判断装置中，通过将预先设定的电流限制值、激光输出上限值、激光输出下限值与取得的电流监测值及激光输出监测用值比较进行异常判断，但本实施形态中，可将电流指令值、激光输出指令值作为取得构成，与取得的电流监测值及激光输出监测用值进行比较。

图2，是表示异常判断装置中的异常判断的处理流程的流程图，参照该流程图对异常判断的概略动作进行说明。

首先，经步骤S1，输入电流指令值、激光输出指令值。此外，可输入电流指令值及激光输出指令值中的任一方。

在步骤S2，按照其中的任一方的指令值，生成对应于其指令值的基准的电流及激光输出的波形(以下，将对应于其指令值的基准的电流及激光输出的波形分别称为电流基准波形，激光输出基准波形)。

在步骤S3，按照各自的基准波形，对通过电流传感器12检测的电流监测值的实际电流、以及通过激光输出检测用传感器11输入的激光输出监测值的激光输出设定可不同的允许范围。

在步骤S4，通过第1比较装置的比较部28，比较该可允许范围与电流监测值，处于可允许范围以外时，经步骤S5判断为异常，将故障信号输出到振荡器控制装置26。

在步骤S6，通过第2比较装置的比较部29，比较该可允许范围与激光输出监测值，处于可允许范围以外时，经步骤S7判断为异常，将故障信号输出到振荡器控制装置26。

重复进行前述步骤S1～7的动作，监视固体激光振荡器。

下面，对按照电流指令值或激光输出指令值生成电流基准波形及激光输出基准波形的具体例进行说明。

首先，对按照电流指令生成电流基准波形的例进行说明。

电流基准波形，在图1，当晶体管13导通时，成为由扼流线圈14与负荷的激光二极管1的特性决定的上升沿波形。

这里，激光二极管1的特性，如图3所示，可与电阻R及直流电压源V近似，如图4所示，电流几乎直线增加。

此时的上升的电流的斜率，以扼流线圈14的电感值为L1，近似激光二极管1的电阻值为R1时，斜率可作为按照(R1/L1)的值决定的常数α求得。这个常数α，在扼流线圈14与激光二极管1的特性不变时，取通常决定的值，因此，只要扼流线圈14与激光二极管1的特性不变，电流的上升沿波形，可用常数α表示，可用下数学式表示。

电流I＝斜率α×时间t

此外，常数α，不随电流指令值变化，是一定值，因此，到达电流期望值的时间，因电流指令值而异。

电流指令值为I1时，到达I1的时间，可用(I1/α)表示。

因此，电流可用下面的函数表示。

0≤t≤(I1/α)时

I＝α×t                          ……式1

(I1/α)≤t时

I＝I1                             ……式2

电流可用函数表示，因此，可将它作为电流基准波形。

此外，如将激光二极管1作为电阻与电压源近似表示，可用比较单纯的函数表示，但按照激光二极管1的特性，有时就不能单纯地表示为电阻与电压源。

此时，实际检测电流波形，求得近似曲线的函数，需要将该函数作成电流基准波形。

其他的方法，如图5所示，有将实际电流波形作阶梯近似的方法。在时间t1到t2间电流值为Ia，在时间t2到t3间电流值为Ib，近似阶梯状的方法。

该近似的极端的例，如图5b所示，在时间0～tx，电流值为0，在时间tx后的电流值为电流期望值I1。

如前所述，可按照电流指令生成电流基准波形。

下面，对按照电流指令生成激光输出基准波形的情况进行说明。

此时，可把电流值与激光输出的关系函数代入前述电流基准波形的函数求得。

激光输出，在超过阈值电流(激光起振用的最低必要的电流)时，激光输出与电流的增加成比例地增加，因此，电流I与激光输出P的关系可表示为：

P＝β×(I-γ)                    ……式3

这里，β是比例常数，γ是阈值电流。

电流基准波形，在用式1，2的函数表示时，激光输出可用下面的函数表示：

0≤t≤(I1/α)时

P＝β×(α×t-γ)                ……式4

(I1/α)≤t时

P＝β×(I1-γ)                   ……式5

激光输出用函数表示，因此，可形成激光输出基准波形。

此外，当电流值与激光输出的关系不能用式3那样单纯地表示时，需要对激光输出波形进行实际检测，求得近似曲线的函数，再将该函数作成激光输出基准波形。

其他，在按照电流指令值求电流基准波形的例中，也对阶梯近似的场合作例示，求激光输出基准波形的情况也同样，阶梯近似也可以。

下面，对按照激光输出指令生成电流基准波形的情况进行说明。

激光输出监测值在成为激光输出指令值之前，电流持续增加。

此外，成为激光输出指令值时，电流是一定值。

该波形，可在将成为激光输出指令值P1的电流值作为IP1时根据电流指令值求电流基准波形场合、通过将电流指令值I1置换成IP1得到。

例如，在用式1，2，3表示电流指令值，实际的电流及激光输出时，按照式3，作为激光输出指令值P1的电流值IP1为：

IP1＝(P1/β)+γ                   ……式6

因此，由式1，2

当0≤t≤(((P1/β)+γ)/α)时

I＝α×t                          ……式7

当(((P1/β)+γ)/α)≤t时

I＝(P1/β)+γ                    ……式8

这样，电流用函数表示，将它做成电流基准波形。

此外，对按照电流指令值求电流基准波形及激光输出基准波形的例进行说明。对电流波形进行实际检测，求得近似曲线的函数，再将该函数作成电流基准波形，进行阶梯近似作成电流基准波形也可以。

下面，对按照激光输出指令生成激光输出基准波形的例进行说明。

如同按照电流指令生成激光输出基准波形的例进行说明的那样，可将表示电流值与激光输出间关系的函数代入电流基准波形的函数求得。

例如，在电流基准波形成为式7，8时，按照式3：

当0≤t≤(((P1/β)+γ)/α)时

P＝β×(α×t-γ)                  ……式9

当(((P1/β)+γ)/α)≤t时

P＝P1                              ……式10

这样，激光输出用函数表示，将它做成激光输出基准波形。

当然，对激光输出波形进行实际检测，求得近似曲线的函数，再将该函数作成激光输出基准波形，进行阶梯近似作成激光输出基准波形也可以。

以上的例，对于取电流及激光输出的上升沿及一定值时的例作了说明，但后沿也同样能生成基准波形。

此外，当没有电流指令、激光输出指令时，或者说，电流值或激光输出指示为0A或0W时，当然也可生成电流值0A、激光输出0W的基准波形。

下面，对前述那样求得的电流基准波形、激光输出基准波形，即使实际的电流监测值及激光输出监测值不同，也要设定可允许范围。

这是由于负荷的激光二极管1及扼流线圈14的特性离散，使各自的基准波形也不同。

在决定该允许范围时，应考虑：

1.扼流线圈及激光二极管的特性离散引起的电流斜率的离散，

2.电流传感器的设置偏差(实际0A却可能输出1A的传感器信号之类)引起的电流值的平移，

3.晶体管的导通关断控制引起的电流最大电流值及最小电流值的离散(图13中晶体管导通电流值与关断电流值之差)。

分析前述项目，决定允许范围，它的具体数据因电源而异，所以，这里不进行详细说明，对允许范围的设定方法的例进行说明。

对电流基准波形及激光输出基准波形可按同样思路处理，这里以电流基准波形为例进行说明。

在设定允许范围后，判断是正常还是异常，该判断是对某时间内的基准波形偏离多少监测值进行检测后，进行判断是正常还是异常。

此外，检测到达某基准电流的时间与基准值有多大差异，进行判断是正常还是异常。考虑以上2种方法，各自进行的允许范围的设定是不同的。

为此，在检测某时间的监测值与基准值有多大差异时必须进行设定，使得如图6那样，在某时间能对允许的监测值的大小进行设定。

另外，在检测到达某基准电流的时间与基准的时间值有多大差异时，对如图6所示的某基准电流必须设定到达时间的幅度。

此时，到达一定电流后，需要变更对某时间的监测值与基准值有多大差异的判断。

这些的允许范围，常常可以不是一定值，也可以随电流指令值、激光输出指令值关连变化，也可随经过的时间变化。

允许范围设定后，对其可允许范围及电流监测值及激光输出监测值进行比较。

该比较，如前所述，检测某时间的监测值与基准值有多大差异，或，进行检测到达某基准电流的时间与基准时间值有多大差异等的比较，在超出基准范围时，判断为异常，将故障信号输出到振荡器控制装置26。

进行比较的时刻，可常时监视，如用微机控制，可每隔一定周期按基准范围进行监视，看是否有异常。

此外，切割及焊接中，差不多都是在激光输出一定后再进行加工，所以，在电流及激光输出没达到一定时，可不进行比较，在电流及激光输出一定后开始比较。

在本实施形态，通过进行这样的动作，检测基准波形以外的监测值，不发生焊接不良及切割不良，同时，在激光输出发生异常时能够准确地判断是光的放大部分异常还是有关电源的异常，使故障部位容易确定。

与以往技术说明的情况相同时，即亦，如果取输出的限制值的下限为200W、上限为300W、规定的最大电流值为50A、电流为20A时可得到激光输出250W，电流40A时可得到350W，对期望的电流指令值为20A的情况进行说明。

来自电流传感器11的电流监测值，在增益调整放大器20有异常，将实际电流值的0.5倍的值返回比较器21时，本来，可控制使20A的电流在激光二极管1中流动，实际，由于使(1/0.5)倍的40A的电流流经激光二极管1，使激光输出为300W。

为此，判断为激光输出的异常。

在以往例，不发生电源的异常，但在本发明，在例如设定偏离基准的波形3A以上时可判断为异常，实际的电流为40A，因此，当基准波形为20A时差异已超过3A，可认为是电源的异常。

即亦，可判断为不是光的放大部分的异常，而是电流控制装置18的增益调整放大器20的异常，正确地说，是有关电源的异常。

另外，当连接激光二极管1的配线断线时，由于激光输出低于限制值的下限，发生激光输出的异常，同时，由于没有电流，所以，与基准的波形不同，也发生电源的异常。

这样，发生的激光输出异常，可判断为电源异常发生。

在发生激光输出异常时，如认为此时不发生电源异常，按照以往技术，由于不将实际流动的电流的波形与基准波形进行比较，因此不能判断激光二极管1中的电流是否(按基准的波形流动)正确，不能判定有关电源无异常。

但是，在本发明，由于将实际流动的电流的波形与基准波形进行比较，因此能判断激光二极管1中的电流是否(按基准的波形流动)正确，可明确地判定是光的放大部分异常、有关电源无异常。

此外，由于对激光输出的异常进行监视，不会发生切割不良及焊接不良。

如前所述，本发明的特征是，由于实施把通过电流传感器12检测的电流监测值及通过激光输出检测用传感器11输入的激光输出监测值、与根据来自外部的电流指令值或激光输出指令值求得的电流及激光输出的基准的波形进行比较，在出现不同时，分别报知异常，因此不会发生切割不良及焊接不良，同时，在发生激光输出异常时，能判断是光的放大部分异常还是有关电源的异常，所以，容易确定故障的部位。

实施形态2

本实施形态2，基准波形的设定方法与实施形态1不同，其波形的设定方法，如图7所示。

在实施形态1，根据电流指令值及激光输出指令值生成不同的基准波形，但在本实施形态2，根据电流指令值及输出指令值的代表值生成基准波形。

代表值的取法，可以是电流指令及激光输出指令的最大值，也可以是中心值。

以此作为基准波形，除了考虑构成电源的元件的离散等，还考虑到电流指令及激光输出指令不同时的电流监测值及激光输出值的变化，设定可允许范围。

此外，作为别的基准波形的取法，可根据电流最小值及最大值的指令设定基准波形，也可同样地设定规定的可允许范围。这样，可得到与实施形态1同样的效果。

实施形态3

本实施形态，在实施形态1中，还形成将晶体管13的导通关断信号输入到相当于异常判断装置22的第3比较装置的比较部30的构造。(图8)

晶体管13的导通关断信号，在检测晶体管13的栅驱动元件的电压变化时，作为晶体管的导通关断信号使用。

此外，检测晶体管的集电极电压及电容器的-电极间的电位差(图8的a部)，与电容器的+电位同电位时，判断晶体管导通，反之，与电容器的-电位同电位时，判断晶体管关断，因此，可将该电压变化作为晶体管的导通关断信号使用。

在本实施形态，可这样将晶体管的导通关断信号做成检测信号。

该晶体管的导通关断信号，也可根据电流指令值及激光输出指令值生成基准的晶体管的导通关断基准波形。

作为晶体管的导通关断基准波形的生成方法的例，对通过图9那样的滞后比较电路控制的电流值规定晶体管的导通关断的情况进行说明。

此时，电流增加时的斜率，成为根据(R1/L1)的值决定的常数α1，减少时的斜率，也成为根据(R1/L1)的值决定的常数α2。

设晶体管的导通电流值为Ion，关断的电流值为Ioff，晶体管导通的时间Ton及关断时间Toff为：

Ton＝(Ion-Ioff)/α1                   ……式11

Toff＝(Ioff-Ion)/α2                    ……式12

这是成为一定的电流值后的关系，在成为一定的电流前，晶体管保持导通状态。

这样、导通时间Ton1，电流指令值为I1时，

Ton1＝I1/α1                            ……式13

此外，在从一定的电流值到0的时间Toff1，

Toff1＝I1/α2                           ……式14

可将这些式提供的晶体管的导通关断的时间作为基准波形。

当然，可实际检测晶体管的导通关断波形，将该波形作为基准波形。

利用该基准波形，如图10所示，检测从基准波形的导通到监测值的关断的间隔(图10的B)，判断是否处在基准波形的关断的时间及其允许范围内(图10的D)。

此外，检测从监测值的导通到监测值的关断的间隔(图10的c)，与从基准波形的导通到关断的间隔(图15的A)比较，判断是否在允许范围内。

这里，以1周期中的导通到关断的间隔作为示例，也可按从导通到导通的间隔，1周期以上的间隔进行判断。

根据以上的判断结果，将故障信号输出到振荡器控制装置26。

由于这样的构成，晶体管的导通关断信号可确认动作是否正常，因此，当电流波形异常时，可判断控制信号(晶体管的导通关断信号等)是否异常，以及为使控制信号正常决定电流波形的扼流线圈及激光二极管的特性是否异常。

即亦，激光输出发生异常时，可判断是光的放大部分异常还是有关电源的异常，而且，对于电源异常，还可详细确定故障的部位。

如前详述，按照本发明，通过检测基准的波形以外的监测值，能在激光输出发生异常时，判断是光的放大部分异常还是有关电源的异常的异常原因，可容易确定故障的部位。

如前所述，本发明相关的激光振荡器，有利于通过检测激光振荡器的故障，容易地确定故障的部位，使作业效率提高。

Claims (3)

1.一种激光振荡器，根据输入的激光输出指令值或电流指令值，控制对激光媒质的激励，得到期望的激光输出，其特征在于，包括：

按照所述激光输出指令值或电流指令值，生成作为基准的激光输出波形及电流波形的基准波形生成装置；

取得激励激光媒质用的电流值作为电流监测值，并将所述基准波形生成装置生成的所述电流波形与所述电流值进行比较的第1比较装置；以及

取得激励输出的激光输出值作为激光输出监测值，并将所述基准波形生成装置生成的所述激光输出波形与所述激光输出值进行比较的第2比较装置。

2.如权利要求1所述的激光振荡器，其特征在于，包括：

取得对用于激励激光媒质的激光二极管中的电流进行控制的主电路元件的导通/关断信号或所述主电路元件的检测信号，并将所述导通/关断信号与按照激光输出指令值或电流指令值由基准波形生成装置生成的主电路元件的导通/关断信号进行比较的第3比较装置。

3.如权利要求1或2所述的激光振荡器，其特征在于，

利用比较装置进行比较时，对基准波形设定规定的允许范围。

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