CN1207593C - 包括由导电衬垫隔开的镜面基片和布线基片的微镜面单元 - Google Patents

包括由导电衬垫隔开的镜面基片和布线基片的微镜面单元 Download PDF

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Abstract

一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。

Description

包括由导电衬垫隔开的镜面基片和布线基片的微镜面单元
技术领域
本发明涉及例如用于切换由光纤所提供的光路的光切换器件中的微镜面单元。
背景技术
在最近几年，光通信技术被广泛用于各种领域。在光通信中，光纤作为传输光信号的一种介质。当通过给定光纤的光信号被切换到另一条光纤时，使用所谓的光切换器件。为了获得高质量的光通信，光切换器件在切换动作中必须具有高容量、高速度和高可靠性的特性。考虑到这种情况，通过微加工技术所制造的微镜面单元非常普遍地作为包含在光切换器件中的一种切换元件。微镜面单元能够在光切换器件的输入侧和输出侧上的光路之间执行切换操作，而不把光信号转换为电信号。其优点是实现上述特性。
例如在国际专利公告WO00/20899以及文献“Fully Proviisioned112*112 Micro-Mechanical Optical Crossconnect with 35.8Th/secDemonstrated Capacity”(Proc.25th Optical Fiber CommunicationConf.Baltimore.PD12(2000))中公开通过采用微加工技术制造的微镜面单元的光切换器件。
图18示出一种普通的光切换器件500。该光切换器件500包括一对微镜面阵列501、502、输入光纤阵列503、输出光纤阵列504、以及多个微透镜505、506。输入光纤阵列503包括预定数目的输入光纤503a。微镜面阵列501具有分别对应于一个输入光纤503a的相同数目的微镜面单元501a。类似地，输出光纤阵列504包括预定数目的输入光纤504a。微镜面阵列502具有分别对应于一个输出光纤504a的相同数目的微镜面单元502a。每个微镜面单元501a、502a具有反射光线的镜面。镜面的方向是可控制的。每个微透镜505面对相应的输入光纤503a的一端。类似地，每个微透镜506面对相应的输出光纤504a的一端。
在发送光信号中，来自输入光纤阵列503a的光线L1通过相应的微透镜505，从而变为相互平行，并且传送到微镜面阵列501。光线L1分别在它们相应的微镜面单元501a上反射，从而转向微镜面阵列502。微镜面单元501a的镜面被预先定向在适当的方向上，从而把光线L1转向到所需的微镜面单元502a。然后，光线L1在微镜面单元502a上反射，从而转向到输出光纤阵列504。微镜面单元502a的镜面被预先定向在适当的方向上，以把光线L1转向到所需的输出光纤504a。
如上文所述，根据光切换器件，来自输入光纤503a的光线L1由于微镜面阵列501、502的反射到达所需的输出光纤504a。按照这种方式，给定输入光纤503a以一一对应的关系与相关的输出光纤504a相联系。通过适当地改变微镜面单元501a、502a的方向，可以执行切换操作，以及光线L1可以转向到所选择的输出光纤504a。
图19示出另一种普通的光切换装置600。该光切换装置600包括微镜面阵列601、固定镜面602、输入输出光纤阵列603以及多个微透镜604。输入输出光纤阵列603包括多个输入光纤603a和输出光纤603b。微镜面阵列601包括分别对应于一个光纤603a、603b的相同数目的微镜面单元601a。每个微镜面单元601a具有用于反射光线的镜面，镜面的方向可控制。每个微透镜604面对相应的一个光纤603a、603b的一端。
在发送光信号时，来自输入光纤603a的光线L2通过相应的微透镜604，并且传送到微镜面阵列601。光线L2然后由相应的第一微镜面单元601a所反射，从而转向固定镜面602，被固定镜面602所反射，然后进入相应的第二微镜面单元601a。第一微镜面单元601a的镜面被预先定向在预定的方向上，从而把光线L2转向到所选择的一个微镜面单元601a。然后，光线L2在第二微镜面单元601a上反射，从而转向到输入输出光纤阵列603。第二微镜面单元601a的镜面被预先定向在预定的方向上，以把光线L2转向到预定的输出光纤603a。
如上文所述，根据光切换器件600，来自输入光纤603a的光线L2由于微镜面阵列601和固定镜面602的反射到达所需的输出光纤603b。按照这种方式，给定输入光纤603a以一一对应的关系与相关的输出光纤604a相联系。利用该结构，通过适当地改变第一和第二微镜面单元601a的方向，可以执行切换操作，以及光线L2可以转向到所选择的输出光纤603a。
根据上述光切换器件500、600，光纤的数目随着光通信网络的尺寸增加而增加。这意味着包含在微镜面透镜中的微镜面单元或镜面的数目也增加。对于较大数目的镜面，需要较大的布线量来驱动镜面，因此必须增加为每个微镜面阵列提供的布线的面积。如果镜面和布线图案被形成在相同基片中，则布线量的增加要求增加镜面之间的间距。结果，作为一个整体的基片本身或微镜面阵列必须较大。另外，增加镜面的数目导致难以在相同的基片上形成镜面和布线图案。
发明内容
本发明在上文所述的情况下提出。因此本发明的一个目的是提供一种微镜面单元，其能够减小由于镜面数目的增加而导致的尺寸增加的趋势。
根据本发明第一方面，在此提供一种微镜面单元，其中包括：微镜面基片，其包括镜面形成部分、围绕该镜面形成部分的内部框架、将镜面形成部分连接到内部框架的第一扭杆、围绕内部框架的外部框架、以及将内部框架连接到外部框架的第二扭杆；形成有布线图案的布线基片；以及多个导电衬垫，用于将微镜面基片电连接到布线图案，并用于将微镜面基片与布线基片彼此分隔开；其特征在于：外部框架包括多个彼此电隔离的导电岛状物，各个衬垫连接到导电岛状物中相应的一个岛状物上。
利用上述结构，运动部分(承载一个镜面部分)被提供在一个基片上，并且在另一个基片上提供操作该运动部分所需的该布线。这使得微镜面单元比把运动部分和布线提供在相同基片上时更小。利用导电衬垫，可以把隔开的镜面和布线基片相互电连接。另外，由于镜面基片(其中提供有运动部分)由该衬垫与布线基片相隔离，因此运动部分可以适当地旋转而不与布线基片相干扰。
根据本发明第二方面，在此提供一种微镜面单元，其中包括：微镜面基片，其包括多个镜面形成部分、分别围绕该镜面形成部分中相应的一个镜面形成部分的多个内部框架、将各个镜面形成部分连接到内部框架中相应的一个内部框架的第一扭杆、围绕各个内部框架的外部框架、以及将各个内部框架连接到外部框架的第二扭杆；形成有布线图案的布线基片；以及多个导电衬垫，用于将微镜面基片电连接到布线图案，并用于将微镜面基片与布线基片彼此分隔开；其特征在于：对于各个内部框架，外部框架包括多个彼此电隔离的导电岛状物，各个衬垫连接到导电岛状物中相应的一个岛状物上。
最好，导电衬垫可以包括单个凸块和多个叠加的凸块。
最好，该导电衬垫可以通过一个电极焊盘或导电粘合剂连接到布线图案和框架。
最好，该导电衬垫和电极焊盘可以相互焊接，或者相互压力接触。
最好，该布线基片可以具有面对微镜面基片的第一表面，以及该第一表面可以形成有用于容纳该运动部分的接收部分。
最好，该布线基片可以具有与第一表面相对的第二表面，以及第二表面可以形成有一部分布线图案。
最好，该布线基片可以包括通过布线基片的导电体，用于形成在第一表面的布线图案与形成在第二表面的布线图案之间的电连接。
最好，该微镜面基片和布线基片可以通过粘合剂相互固定。
最好，本发明的微镜面单元可以进一步包括插入在该框架和布线基片之间的附加衬垫。该附加衬垫可以是一个凸块。
最好，该移动部件可以具有第一梳状电极，而该框架可以具有第二梳状电极，用于通过在第一和第二梳状电极之间产生的静电力而操作该运动部分。
最好，该运动部分可以包括通过扭杆连接到第一所述框架的中继框架、与中继框架相隔离的镜面形成部分、以及把该中继框架和镜面形成部分相互连接的中继扭杆。该中继扭杆可以在与扭杆延伸的方向相交叉的方向上延伸。
最好，该镜面形成部分可以包括第三梳状电极，并且该中继框架可以包括第四梳状电极，用于通过在第三和第四梳状电极之间产生的静电力而操作镜面形成部分。
从下文参照附图的描述中，本发明的其它特点和优点将变得更加清楚。
附图说明
图1为根据本发明第一实施例的微镜面单元的透视图；
图2为图1的微镜面单元的部件分解透视图；
图3为沿着图1的线III-III截取的截面示图；
图4为图1的微镜面单元的底视图；
图5为根据本发明第二实施例的微镜面单元的透视图；
图6为图5的微镜面单元的部件分解透视图；
图7为沿着图5的线VII-VII截取的截面示图；
图8示出图5的微镜面单元的制造方法的一个步骤；
图9-14示出图8中所示步骤之后的制造步骤；
图15为示出微镜面基片和布线基片之间提供的附加衬垫的截面示图；
图16示出导电衬垫的不同结构；
图17为示出根据本发明第三实施例的微镜面单元的部分截面视图；
图18示出一种常规的光切换器件；以及
图19示出另一种常规的光切换器件。
具体实施方式
下面参照附图描述本发明的优选实施例。
图1为示出根据本发明第一实施例的微镜面单元X1的透视图。图2为微镜面单元X1的部件分解透视图。图3为沿着图1的线III-III截取的截面示图。
微镜面单元X1包括微镜面基片100、布线基片200、以及在这些基片之间的导电衬垫300。微镜面基片100包括镜面形成部分110、围绕在其周围的内部框架120、围绕该内部框架120的外部框架130、把镜面形成部分110连接到内部框架120的一对扭杆140、以及把内部框架120连接到外部框架130的一对扭杆150。该对扭杆140确定用于镜面形成部分110的转轴A1，以相对于内部框架120旋转。该对扭杆150确定用于内部框架120的转轴A2，以及用于相关的镜面形成部分110，以相对于外部框架130旋转。转轴A1和转轴A2相互垂直。按照这种方式，微镜面基片100具有双轴微镜面。
根据本发明的微镜面基片100通过微加工技术，由具有多层结构的SOI(绝缘体上硅)晶片来形成，该多层结构包括具有100微米厚的第一硅层、具有100微米厚的第二硅层、以及具有1微米厚的绝缘层。具体来说，微镜面基片100由光刻、例如DRIE(深度反应离子蚀刻)这样的干法蚀刻技术、或者湿法蚀刻技术所形成，从而从第一硅基片、第二硅基片和绝缘层除去规定的部分。提供第一硅层和第二硅层的硅掺杂有例如P或As这样的n型杂质，或者掺杂有例如B这样的p型杂质，以给出导电性。根据本发明，微镜面基片100可以由不同材料的基片所形成。
镜面形成部分110具有形成有薄镜面层(未示出)的上表面。另外，镜面形成部分110具有相对的两个侧表面，其分别形成有梳状电极110a、110b(第一梳状电极)。镜面形成部分110由第一硅层所产生。
内部框架120具有多层结构，包括内部框架主要部分121、一部分电极基底122以及它们之间的绝缘层。内部框架主要部分121和电极基底122相互电隔离。该对电极基底122分别形成有向内延伸的梳状电极122a、122b(第二梳状电极)。内部框架主要部分121具有相外延伸的梳状电极121a、121b(第三梳状电极)。梳状电极122a、122b在镜面形成部分110的梳状电极110a、110b之下，从而当镜面形成部分110旋转时不与梳状电极110a、110b相冲突。内部框架主要部分121由第一硅层所产生，而电极基底122由第二硅层所产生。
连接到镜面形成部分110和内部框架主要部分121的每个扭杆140由第一硅层所产生。
外部框架130具有多层结构，包括第一外框架131、第二外框架132和它们之间的绝缘层。第一外框架131和第二外框架132由绝缘层电隔离。如图4中所示，第二外框架132包括第一岛状物134、第二岛状物135、第三岛状物136和第四岛状物137，它们之间由一个间隙所分隔。第一至第四岛状物134-137分别形成有电极焊盘138a-138d。电极焊盘138a-138d由Au或Al所形成。第三岛状物136和第四岛状物137分别形成有梳状电极132a、132b(第四梳状电极)。梳状电极132a、132b分别在内部框架主要部分121的梳状电极121a、121b之下，并且当内部框架120旋转时不与梳状电极121a、121b相冲突。第一外框架131由第一硅层所产生，而第二外框架132由第二硅层所产生。
每个扭杆150具有多层结构，包括上层151、下层152和它们之间的绝缘层。上层151和下层152由绝缘层电隔离。上层151连接到内部框架主要部分121和第一外框架131，而下层152连接到电极基底122和第二外框架132。上层151由第一硅层所形成，而下层152由第二硅层所形成。
布线基片200具有第一表面201和第二表面202。第一表面201形成有预定的布线图案210。该布线图案210包括用于建立内部电连接的4个电极焊盘211a-211d，以及用于外部连接的4个电极焊盘212a-212d。电极焊盘211a-211d形成在分别与电极焊盘138a-138d相面对的位置处。布线基片200本身是具有300微米的厚度并且由硅、陶瓷等等所制成的基片。通过首先在布线基片200的第一表面201上形成金属材料膜，然后对该膜构图而形成布线图案210。该金属材料例如可以是Au和Al。该膜可以通过溅射、电镀等等来形成。
衬垫300被置于微镜面基片的电极焊盘138a-138d和布线基片的电极焊盘211a-211d之间。根据本实施例，每个衬垫300包括分别由Au所制成的两个球形凸块，一个凸块叠加在另一个凸块上，一个凸块被焊接到相应一个电极焊盘211a-211d，另一个凸块通过导电粘合剂303粘合到相应一个电极焊盘138a-138d。两个Au球形凸块通过超声焊接方法而焊接在一起。
根据具有上述结构的微镜面单元X1，当第一外框架131接地时，由相同硅材料所制成并且与第一外框架131整体形成的部件，即扭杆150的上层151、内部框架主要部分121、扭杆140和镜面形成部分110提供使梳状电极110a、110b和梳状电极121a、121b接地的电流路径。在这种状态下，通过把预定的电势给予梳状电极122a或122b，从而在梳状电极110a和梳状电极122a之间，或者在梳状电极110b和梳状电极122b之间产生静电力，可以绕着转轴A1旋转镜面形成部分110。类似地，通过把预定的电势给予梳状电极132a或132b，从而在梳状电极121a和梳状电极132a之间，或者在梳状电极121b和梳状电极132b之间产生静电力，可以绕着转轴A2旋转镜面形成部分110。
通过参照图2至图4可以清楚地看出，梳状电极122a可以通过布线基片200的电极焊盘212a、电极焊盘211a、其上面的衬垫300、微镜面基片100的电极焊盘138a、第一岛状物134、与其相连接的扭杆150的下层152、以及与其相连接的电极基底122而被充电。梳状电极122b可以通过布线基片200的电极焊盘212b、电极焊盘211b、其上面的衬垫300、微镜面基片100的电极焊盘138b、第二岛状物134、与其相连接的扭杆150的下层152、以及与其相连接的电极基底122而被充电。梳状电极132a可以通过布线基片200的电极焊盘212c、电极焊盘211c、其上面的衬垫300、微镜面基片100的电极焊盘138c、第三岛状物136而被充电。梳状电极132b可以通过布线基片200的电极焊盘212d、电极焊盘211d、其上面的衬垫300、微镜面基片100的电极焊盘138d、第四岛状物137而被充电。通过使用所述的四条路径给出预定的电荷，镜面形成部分110可以被定向在所需的方向上。
当镜面形成部分110和/或内部框架120被该电荷所旋转时，这些运动部分的一端偏转向布线基片200。例如，假设内部框架120的电极基底122具有600微米的长度L3。如果内部框架120绕着转轴A2旋转5度，电极基底122的一端比没有旋转扭曲时降低60微米。为了不影响内部框架的偏转，微镜面基片100和布线基片200必须相互隔开。因此，根据本实施例，衬垫300例如具有100微米的高度。
如上文所述，微镜面单元X1具有用于减小微镜面单元变大趋势的结构，并且使微镜面单元的运动部分适当地移动。具体来说，衬垫300提供形成于微镜面基片100中的电路与形成于布线基片200中的布线图案210之间的电连接。与此同时，衬垫300提供在微镜面基片100和布线基片200之间的适当间隔。另外，用于驱动运动部分(即，镜面形成部分110和内部框架120)的布线不形成在具有运动部分的微镜面基片100中。因此，实现微镜面基片100和微镜面单元X1的尺寸减小。
图5为根据本发明第二实施例的微镜面单元X2的透视图。图6为微镜面单元X2的部件分解透视图。图7为沿着图5的线VII-VII截取的截面。
微镜面单元X2包括微镜面基片100、布线基片200、以及在这些基片之间的导电衬垫300。微镜面基片100包括总共9个微镜面单元X2’以及其周围的公共外部框架130’。每个微镜面单元X2`包括镜面形成部分110、围绕在其周围的内部框架120、把镜面形成部分110连接到内部框架120的一对扭杆140、以及把内部框架120连接到外部框架130’的一对扭杆150。该镜面形成部分110、内部框架120和微镜面单元X2’的扭杆140、150具有与微镜面单元X1相同的结构。对于每个微镜面单元X2’，公共外部框架130’具有与微镜面单元X1的外部框架130相同的结构。
布线基片200具有第一表面201和第二表面202。第一表面201形成有预定的布线图案210，用于相互独立地驱动微镜面单元X2’。每个布线图案210用于一个微镜面单元X2’，并且包括用于建立内部连接的4个电极焊盘211a-211d以及用于建立外部连接的4个电极焊盘212a-212d。电极焊盘211a-211d面对分别形成在每个微镜面单元X2’中的电极焊盘138a-138d。用于布线基片200的所有其它结构与微镜面单元X1相同。
衬垫300被置于微镜面基片的电极焊盘138a-138d和布线基片的电极焊盘211a-211d之间。所有其它关于该衬垫300的结构与微镜面单元X1相同。
如上文所述，微镜面单元X2包括一同形成在单个微镜面基片100中和单个布线基片200中的9个微镜面单元X1。因此，根据该微镜面单元X2，如上文已经对该微镜面单元X1所述，可以驱动每个微镜面单元X2’，从而旋转它们各自的运动部分，即镜面形成部分110和内部框架120。
如上文所述，微镜面单元X2具有用于减小该微镜面单元变大的趋势的结构，并且允许微镜面单元的运动部分适当地移动。具体来说，根据该微镜面单元X2，衬垫300提供形成于微镜面基片100中的电路与形成于布线基片200中的布线图案210之间的电连接。同时，衬垫300提供在微镜面基片100和布线基片200之间的适当间隔。另外，用于驱动运动部分、或者镜面形成部分110和内部框架120的布线不形成在形成有运动部分的微镜面基片100中。在此，对于微镜面基片100实现尺寸的减小，因此也减小微镜面单元X2的尺寸。根据本实施例，微镜面基片100总共形成有9个微镜面单元X2’。根据本发明，在较大量的微镜面单元X2’形成在微镜面基片100中的情况下提供与对第二实施例所述相同的优点。
图8至图12示出制造微镜面单元X2的方法。在制造微镜面单元X2中，首先如图8中所示，布线图案210形成在基片200’上，从而制作一个布线基片200。具体来说，基片200’首先使用例如溅射和电镀这样的技术用金属材料膜所形成，然后通过预定的掩膜对该金属膜构图。在该步骤形成的布线图案210包括电极焊盘211a-211d和电极焊盘212a-212d。基片200’可以由例如硅这样的半导体以及陶瓷、玻璃等等所制成。该布线可以形成有例如Au和Al这样的金属材料。
接着，如图9中所示，使用线接合器把由Au所制成的球形凸块形成在电极焊盘211a-211d上，从而形成导电衬垫300。在形成球形凸块301、302中，由于线接合器的特性，在球形凸块301、302的上端形成小的凸起，如图9和10中所示。
接着，如图11中所示执行矫正，使得所有衬垫300具有相同高度。具体来说，在球形凸块302上端的凸起被压为例如玻璃板的平坦表面，从而该凸起被压平，并且衬垫300具有相同的高度。如上文对微镜面单元X1所述，包括镜面形成部分的运动部分例如向着布线基片200降低60微米。因此，为了使运动部分在移动时不与布线基片200相接触，则微镜面基片100和布线基片200必须相距60微米或更多。根据本实施例，通过在两排设置该球形凸块而提供这种所需的间隔。具体来说，在矫正步骤之后该两排球形凸块301、302提供例如给出100微米的间距的导电衬垫。但是，应当指出，根据本发明，可以根据在微镜面基片100和布线基片200之间所需的距离而适当地选择每个导电衬垫所用的球形凸块的数目。
接着，如图12中所示，衬垫300或球形凸块302的顶部被施加一种导电热固粘合剂303。为此，例如可以把粘合剂303均匀地施加在一个平面上，达到25微米的厚度，然后该平面被置于布线基片200上，它们之间具有衬垫300。按照这种方式，导电粘合剂303可以印刷到衬垫300的上部。
接着，使用倒装片接合器，目前相互分离的微镜面基片100和布线基片200相互对齐。微镜面基片100被置于布线基片200上，然后如图7中所示，在压力和热的作用下，微镜面基片100和布线基片200相互接合，它们之间具有衬垫300。在该步骤中，导电粘合剂303变硬，从而把衬垫300接合到微镜面基片100的电极焊盘138a-138d。结果，布线基片200的布线图案210与微镜面基片100的电极焊盘138a-138d电连接。这就是微镜面单元X2的制造方法。
图13和图14示出可以接在图12的步骤之后的其它步骤。首先，在图13中所示的步骤中，经过图12所示的步骤的布线基片200被施加热固粘合剂401。粘合剂401例如可以采用环氧树脂粘合剂。该粘合剂401被施加预定的量，不覆盖衬垫300以及在面对微镜面基片100的公共外框架130’的布线基片200上的预定位置。
接着，如图14中所示，使用倒装片结合器，目前相互分离的微镜面基片100和布线基片200相互对齐。微镜面基片100被置于布线基片200上，然后如图7中所示，在压力和热的作用下，微镜面基片100和布线基片200相互接合，它们之间具有衬垫300。在该步骤中，导电粘合剂303变硬，从而把衬垫300接合到微镜面基片100的电极焊盘138a-138d。结果，布线基片200的布线图案210与微镜面基片100的电极焊盘138a-138d电连接。当微镜面基片100置于布线基片200上时，由粘合剂401所提供的粘合不牢固地把微镜面基片100固定到布线基片200上。在粘合剂401在微镜面基片100的公共外框架130’和布线基片200之间由于压力和热的作用而硬化之后，粘合剂401有助于使微镜面基片100和布线基片200保持在一起。微镜面单元X2也可以用这样的方式来制造。
在微镜面单元X2中，如图15所示，额外的衬垫300’可以形成在微镜面基片100和布线基片200之间。在这种情况中，该额外衬垫300’形成在微镜面基片100的外框架130’和布线基片200之间。该额外衬垫300’可以由焊锡凸块、电镀金属、干膜光刻胶、玻璃、树脂球衬垫等等而形成。如果该额外衬垫300’由例如焊锡这样的金属材料所形成，则最好预先在要形成该额外衬垫的位置处，在公共外框架130’和布线基片200上形成金属焊盘。这样获得衬垫300与公共外框架130’和布线基片200之间足够的接合强度。另外，当由例如焊锡这样的金属材料形成额外衬垫300’时，执行额外衬垫300’的形成，从而额外衬垫300’将不使在布线基片200上的布线图案210与形成于微镜面基片100上的导电路径相短路。
可以用Au焊盘和Au凸块之间的超声焊接作为上述方法的替代方法来实现衬垫300到电极焊盘211a-211d和/或电极焊盘138a-138d的焊接。作为另一种替换方法，在焊盘与衬垫300之间可以仅仅是加压接触。在这种情况中，例如通过把如图14中所示的粘合剂401施加在其它位置而实现微镜面基片100与布线基片200之间的机械结合。由Au球形凸块301、302所提供的衬垫300可以由单个珠状焊锡凸块304所提供。通过使用焊接技术或者丝网印刷技术，利用用于在电极上形成焊锡凸块的所选择材料，可以形成由单个珠状焊锡凸块304所制成的衬垫300。
图17为根据本发明第三实施例的微镜面单元X3的部分截面示图。微镜面单元X3包括使用与微镜面单元X2不同的结构的布线基片200，但是包括与微镜面单元X2中所用相同的微镜面基片100和导电衬垫300。但是，在本实施例中，导电衬垫300由单个珠状焊锡凸块304所提供。
微镜面单元X3的布线基片200具有第一表面201和第二表面202。第一表面201形成有一个接收部分203。该接收部分203形成在一个位置处并且具有一定的深度，从而容纳微镜面基片100的镜面形成部分110和内部框架120。由于如上文所述形成该接收部分203，因此微镜面单元X3的衬垫300的高度比使用相同镜面形成部分110和内部框架120的微镜面单元X1和微镜面单元X2中的衬垫300所需的高度更短。因此，相对较小的高度的单个珠状焊锡凸块304足以作为该衬垫300。
接收部分203的形成减小用于在布线基片200的第一表面201上形成布线图案210所需的区域。为了补偿，在微镜面单元X3中，布线图案210还形成在布线基片200的第二表面202上。利用该结构，在第一表面201中的布线图案210和在第二表面202中的布线图案210利用穿过布线基片200的电导体220相互连接。在第一表面201中的布线图案210可以仅仅包括要被衬垫300所接触的电极焊盘211a-211d。在第二表面202中的布线图案210包括用于外部连接的电极焊盘212a-212d。电极焊盘212例如包括用于外部连接的焊锡凸块230。
根据上述第一至第三实施例，微镜面具有两个转轴，并且电极具有梳状结构。但是，本发明还可以应用于其它类型的微镜面，例如平面和平行类型的微镜面。另外，根据上文所述的制作微镜面单元X2的方法，在微镜面基片100接合到布线基片200上之前，衬垫300形成在布线基片200上。但是，根据本发明，在微镜面基片100被接合到布线基片200上之前，衬垫300可以形成在布线基片200上。作为另一种变型，两个基片可以用部分衬垫300所形成，并且衬垫300可以完成在微镜面基片100和布线基片200之间的接合。微镜面单元X1、X3还用于对于微镜面单元X2所述的相同制造方法来制造，包括在上文所述的变型方法。
本发明已经在上文中描述，显然它可以有许多变型。这些变型不被认为是脱离本发明的精神和范围，并且所有本领域技术人员显而易见的这些变型被包含在所附权利要求的范围内。

Claims (16)

1.一种微镜面单元，其中包括：
微镜面基片(100)，其包括镜面形成部分(110)、围绕该镜面形成部分(110)的内部框架(120)、将镜面形成部分(110)连接到内部框架(120)的第一扭杆(140)、围绕内部框架(120)的外部框架(130)、以及将内部框架(120)连接到外部框架(130)的第二扭杆(150)；
形成有布线图案(210)的布线基片(200)；以及
多个导电衬垫(300)，用于将微镜面基片(100)电连接到布线图案(210)，并用于将微镜面基片(100)与布线基片(200)彼此分隔开；
其特征在于：外部框架(130)包括多个彼此电隔离的导电岛状物(134-137)，各个衬垫(300)连接到导电岛状物(134-137)中相应的一个岛状物上。
2.一种微镜面单元，其中包括：
微镜面基片(100)，其包括多个镜面形成部分(110)、分别围绕该镜面形成部分(110)中相应的一个镜面形成部分的多个内部框架(120)、将各个镜面形成部分(110)连接到内部框架(120)中相应的一个内部框架的第一扭杆(140)、围绕各个内部框架(120)的外部框架(130’)、以及将各个内部框架(120)连接到外部框架(130’)的第二扭杆(150)；
形成有布线图案(210)的布线基片(200)；以及
多个导电衬垫(300)，用于将微镜面基片(100)电连接到布线图案(210)，并用于将微镜面基片(100)与布线基片(200)彼此分隔开；
其特征在于：对于各个内部框架(120)，外部框架(130’)包括多个彼此电隔离的导电岛状物(134-137)，各个衬垫(300)连接到导电岛状物(134-137)中相应的一个岛状物上。
3.根据权利要求1或2的微镜面单元，其中各个导电衬垫(300)包括单个凸块(304)和沿微镜面基片(100)的厚度方向彼此层叠的多个凸块(301，302)中的任一个。
4.根据权利要求1或2的微镜面单元，其中各个导电衬垫(300)经由电极焊盘(211a-211d；138a-138d)连接到至少一个布线图案(210)和所述导电岛状物(134-137)中相应的一个岛状物上。
5.根据权利要求1或2的微镜面单元，其中各个导电衬垫(300)经由导电粘合剂(303)连接到至少一个布线图案(210)和所述导电岛状物(134-137)中相应的一个岛状物上。
6.根据权利要求4的微镜面单元，其中各个导电衬垫(300)和电极焊盘(211a-211d；138a-138d)彼此熔合。
7.根据权利要求4的微镜面单元，其中各个导电衬垫(300)和电极焊盘(211a-211d；138a-138d)彼此加压接触。
8.根据权利要求1或2的微镜面单元，其中布线基片(200)具有面向微镜面基片(100)的第一表面(201)，该第一表面(201)形成有用于容纳所述镜面形成部分(110)或各个镜面形成部分(110)的接收部分(203)。
9.根据权利要求8的微镜面单元，其中布线基片(200)具有与第一表面(201)相对的第二表面(202)，该第二表面(202)形成有布线图案(210)的一部分。
10.根据权利要求9的微镜面单元，其中布线基片(200)包括穿过布线基片(200)、用于在第一表面(201)上形成的布线图案(210)和第二表面(202)上形成的布线图案(210)之间进行电连接的电导体(220)。
11.根据权利要求1或2的微镜面单元，还包括插入在微镜面基片(100)和布线基片(200)之间的粘合剂(401)。
12.根据权利要求1或2的微镜面单元，还包括插入在外部框架(130’)和布线基片(200)之间的附加的衬垫(300’)。
13.根据权利要求12的微镜面单元，其中所述附加的衬垫(300’)包括凸块。
14.根据权利要求1或2的微镜面单元，其中所述镜面形成部分(110)或各个镜面形成部分(110)提供有第一梳状电极(110a，110b)，所述内部框架(120)或各个内部框架(120)提供有第二梳状电极(122a，122b)，用于通过在第一和第二梳状电极之间产生的静电力操作镜面形成部分(110)。
15.根据权利要求1或2的微镜面单元，其中第二扭杆(150)垂直于第一扭杆(140)延伸的方向而延伸。
16.根据权利要求14的微镜面单元，其中所述内部框架(120)或各个内部框架(120)包括第三梳状电极(121a，121b)，对于所述内部框架(120)或各个内部框架(120)，外部框架(130，130’)包括第四梳状电极(132a，132b)，用于通过在第三和第四梳状电极之间产生的静电力操作内部框架(120)。
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