CN1194594C - 软钎焊方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的是提供一种可以提高热传递效率，使热传递率均匀、被加热面上的温度偏差极小的软钎焊方法及其装置。本发明的软钎焊装置(10A)包括气体供给源(20)、将该气体(例如空气)加热到规定温度的气体加热部(12)、通过乳脂状软钎焊料载置元件的被处理基板(P)能够被送入、并可以在规定位置以水平状态保持的加热炉部分(13)、将平行于保持在加热炉部分(13)内的被处理基板的被加热面、具有规定速度及直线行进性的热风(Fa)向加热炉部分(13)进行供给的气体整流部(11)、控制热风(Fa)的温度、速度及流量的控制部(15)。

Description

软钎焊方法及其装置

技术领域

本发明涉及一种将元件软钎焊在电路板上的方法及其装置。

背景技术

首先，参照图8及11对现有技术的逆流装置的结构进行概略说明。

图8是现有技术的第1实施例的逆流装置的示意的结构图，图9表示从图8所示的逆流装置进行送风的热风的流动的简图，图10是由现有技术的逆流炉加热被处理基板时的温度分布图，图11是现有技术的第2实施例的逆流装置的示意的结构图，图12是对图11所示的逆流装置中的热风的对流状态进行说明的视图。

现有技术的逆流炉50，如图8所示，由多个加热单元51、向下方吹出热风的喷出孔52、以及链式输送器53等设置构成，其中多个加热单元51分在被区分成多个的构成预加热区域和逆流区域中且设置于所述多个加热区；喷出孔52配置在这些加热单元51之间；链式输送器53载置被处理基板P，并朝向远红外线加热器51及喷出孔52的下方连续地进行输送。

这里，被处理基板P是将各种尺寸的电子元件及机械元件通过乳脂状的软钎焊料而载置在回路基板上的基板，是通过使用前述的逆流炉50将该乳脂状的软钎焊料加热、熔融、冷却而将前述的元件固定在基板的回路上的半成品。

因此，被处理基板P由链式输送器53随着从上游经过各加热单元51、喷出孔52的下方而徐徐加热，使回路基板上的乳脂状的软钎焊料熔融而进行软钎焊。

这种情况下，热风如图9所示，从喷出孔52流向被处理基板P，热风与被处理基板P接触，在由符号a表示的部分滞流(滞流点a)，而且，与该被处理基板P接触的热风沿着被处理基板P形成壁喷流并进行流动(壁喷流区域b)。

这时，发生热传递率在滞流点a较高、在沿被处理基板P流动的壁喷流区域b较低的现象，这是产生温度偏差的一个原因。

现在，为了改善这一点，在前述逆流装置50中，通过增大加热装置51的加热有效面积来提高热传递率、同时延长加热时间以借助于被处理基板P的热传导而减小被处理基板P的整体温度偏差。为此，由于加热部的尺寸加大，且延长了加热时间，产生的问题是装置整体尺寸变大，且时间较长。

从时间、以及被处理基板P上的不同位置的温度变化来观察被处理基板P的加热状态时，由于被处理基板P由链式输送器53的输送机构连续地移动到装置内，在被处理基板P上，会产生这样的现象，即上游部分的温度先上升，下游部分的温度根据链式输送器53速度所对应时间随后上升。另外，前述上游部分的加热通过被处理基板P的热传导可以将热向下游方向传递。在前述下游部分，累加这种热传导传递的热量后容易比上游部分的温度高，如图10的温度分布所示，会产生在被处理基板P上产生温度偏差的问题。

另外，为了消除前述的加热不均匀，特开平9-237965中提出了一种逆流炉60。该现有技术的第2实施例的逆流炉60如图11所示，设有被区分成多个第1预加热区、第2预加热区的、热风沿炉本体61的长度方向对流的加热区域以及象逆流区域那样沿炉本体61的宽度方向使热风对流的加热区域。在前者的加热区设置多个红外线加热器62，在后者的加热区设置多个红外线加热器63。在被处理基板P的送入口设置向下方喷射热风的热风喷嘴64，在逆流区域设置向下方喷射热风的热风喷嘴65，被处理基板P由链式输送器66输送，经过红外线加热器62、63及热风喷嘴64、65的下方。热风为将鼓风机67、68送出的空气分别经加热器69、70加热而产生的，并由热风喷嘴64、65向被处理基板P吹出。

用这样结构的逆流炉60焊接元件时，如图11及图12所示，用链式输送器66载置被处理基板P并从第1预加热区的上游侧以水平状态送入，由配置在其上方的热风喷嘴64将热风Hv垂直地向下吹向被处理基板P的被加热面，与该被处理基板P等产生接触、沿炉本体61的长度方向对流的热风部分Hc将前述被加热面加热，并由多个红外线加热器62加热而进行预热，然后，送入逆流区域，由热风喷嘴65向被处理基板P的被加热面垂直地向下吹热风Hv，与被加热面产生接触，通过沿炉本体61的宽度方向对流的热风部分Hc进行加热，并且用多个红外线加热器63进行加热，将乳脂状的软钎焊料熔融。

在此，在该逆流装置60中，所使用的热风hc是对流的，因而无方向性，直线行进性较差，且风速波动，因此热传递率不稳定。

因此，这种改进的逆流炉60也会导致被处理基板P的被加热面上的温度产生偏差，难以均匀地对被加热面进行加热。

发明内容

本发明就是要解决这样的问题，提高加热效率，使热传导率均匀，因此，本发明的目的是提供一种被加热面上的温度偏差极小的软钎焊方法及其装置。

因此，本发明提供一种软钎焊方法，其特征在于，把使用乳脂状软钎焊料载置元件的被处理基板停留在软钎焊料熔融机构内的规定位置处，为了在该软钎焊熔融机构内获得规定的温度分布，按照预热及主加热所需要的规定温度及时间来进行控制的热风，以规定的速度平行于所述被处理基板的被加热面地进行控制、供给，对所述被加热面的所述乳脂状软钎焊料进行加热、熔融后将所述被处理基板从所述软钎焊熔融机构内取出，使熔融的软钎焊料冷却，将所述元件软钎焊在所述被处理基板上。

在上述的软钎焊方法中，在对被处理基板进行软钎焊之前，利用配置多个温度检测器的实验用基板进行检测，以按照温度分布曲线的方式，对气体加热机构的温度、气体整流机构的风速和风量进行控制。

在上述的软钎焊方法中，以按照温度分布曲线的方式，对增减热风进出的风门进行控制。

本发明还提供一种软钎焊装置，该装置中包括：清洁气体供给源；将该清洁气体加热到规定温度的气体加热机构；将使用乳脂状软钎焊料载置元件的被处理基板送入、并可以在规定位置以水平状态保持着的软钎焊熔融机构；将平行于保持在该软钎焊熔融机构内的所述被处理基板的被加热面、通过所述气体加热机构加热到规定温度的所述气体作为具有规定速度及直线行进性的热风向所述软钎焊熔融机构进行供给的气体整流机构；热风循环通路管道，使热风从该软钎焊熔融机构返回气体整流机构；以及控制热风的温度、速度及流量的控制机构。

在上述所述的软钎焊装置中，在软钎焊熔融机构内将所述被处理基板以水平状态保持的所述规定位置的管路的上面形成有从所述热风的上游朝向下游侧变低的倾斜面。

在上述的软钎焊装置中，在所述软钎焊熔融机构内的所述被处理基板所在的管路上游侧一部分的上面，形成有可以排出部分通过所述管路的所述热风的开关风门。

在上述的软钎焊装置中，在形成所述软钎焊熔融机构的所述倾斜面的管路前方的上面，形成有可以排出部分通过所述管路的所述热风的开关风门。

在上述的软钎焊装置中，在所述软钎焊熔融机构内的所述被处理基板的上方设置有远红外线加热器。

在上述的软钎焊装置中，在所述封闭管路的返回通路的下游侧设置有排气机构。

按照本发明，可以使被处理基板停留在加热炉内的规定的位置，全面同时地对其被加热面进行加热，使乳脂状软钎焊料均匀地加热、熔融。

按照本发明，可以形成平行于被处理基板的被加热面、控制成规定温度及速度、具有明确的直线行进性的热风，用于加热被处理基板的被加热面的热风可以返回到气体加热机构再次利用，因此可以节约热能及气体。

按照本发明，可以根据适应于各种被处理基板特有的温度分布的温度分布来加热、熔融将要软钎焊被处理基板的乳脂状软钎焊料、然后将其冷却以对元件进行软钎焊。

按照本发明，还可以对要在软钎焊熔融机构内加热的所述被处理基板的被加热面全面同时地以同一热传递率进行加热，可以使乳脂状软钎焊料均匀地加热、熔融。

按照本发明，还可以利用开关风门的开启度对软钎焊熔融机构内的热风的风量进行调整。

按照本发明，还可以对要在软钎焊熔融机构内加热的所述被处理基板的被加热面全面同时地以同一热传递率进行加热，也可以利用开关风门的开启度对软钎焊熔融机构内的热风的风量进行调整，使全部乳脂状软钎焊料同时均匀地加热、熔融。

按照本发明，载置在被处理基板上的各种元件的热容量不同、可以通过对流加热、辐射加热来吸收热传递的差异，防止产生热偏差。

按照本发明，还可以通过调整排气机构的排气口的开启，来调整封闭管路内的压力。

附图说明

图1是本发明第1实施例的软钎焊装置的透视图；

图2是图1所示的软钎焊装置的A-A线的断面侧视图；

图3是图2所示的软钎焊装置的箭头A示出部分的放大的断面视图；

图4是本发明第2实施例的软钎焊装置的局部放大断面视图；

图5是本发明第3实施例的软钎焊装置的局部放大断面视图；

图6是本发明第4实施例的软钎焊装置的局部放大断面视图；

图7是可以使用本发明的软钎焊方法的一般的温度分布曲线；

图8是现有技术的第1实施例的逆流装置的示意的结构图；

图9表示从图8所示的逆流装置进行送风的热风的流动的简图；

图10是由现有技术的逆流炉加热被处理基板时的温度分布图；

图11是现有技术的第2实施例的逆流装置的示意的结构图；

图12是对图11所示的逆流装置中的热风的对流状态进行说明的视图。

具体实施方式

以下，用附图说明本发明的软钎焊方法及其装置。

图1是本发明第1实施例的软钎焊装置的透视图，图2是图1所示的软钎焊装置的A-A线的断面侧视图，图3是图2所示的软钎焊装置的箭头A示出部分的放大的断面视图、图4是本发明第2实施例的软钎焊装置的局部放大断面视图，图5是本发明第3实施例的软钎焊装置的局部放大断面视图，图6是本发明第4实施例的软钎焊装置的局部放大断面视图，图7是可以使用本发明的软钎焊方法的一般的温度分布曲线。

图1中，符号10A指作为整体的本发明第1实施例的软钎焊装置。该软钎焊装置10A由气体整流部11、气体加热部12、加热炉部13、排气部14、控制部15、热风循环通路管道16、17、18等配置构成，形成一个循环通路。

热风循环通路管道16上连接有气体供给管19，其内部安装着阀191。气体供给管19与气体供给源20连接，开关阀191的开关使洁净的空气或像氮这样的惰性气体能够随时供给，或阻断供给。

气体整流部11，如图2所示，具有西洛可风风扇111，通过西洛可风风扇111动作，可以引入来自热风循环通路16的气体，例如空气(以下用“空气”进行说明)，然后对气流进行整流以具有方向性，即向着气体加热部12、以及从气体加热部12向着加热炉部分13并平行于后述的被处理基板P的被加热面，以规定的速度、风量进行供给。

配置在气体整流部11下游的气体加热部12，如图2所示，具有电加热器121，流入的空气被加热到规定的温度，形成热风Fa。

加热炉部分13由断面为长方形的炉壁131构成，是通过气体加热部12供给的热风对输送来的被处理基板P的被加热面进行加热的机构部分，其中央部下方的侧面上设有被处理基板P的送入口132，其相反侧的侧面上设有送出口(未图示)。在工作过程中，它们由未图示的门封闭。另外，在送入口132及送出口，配设有可以相对热风通路垂直地送入、送出被处理基板P的输送器21。因此，送入的被处理基板P停留在加热炉部分13的底部。被处理基板P的被加热面朝上，例如可载置在托架T上进行输送。

通过加热炉部分13的热风Fa为被控制成后述的风速、与被处理基板的被加热面平行的直线行进的气流，并构成紊流，风速低时Fa容易构成层流，热传递率比紊流低，前述被加热面不能充分加热。

在前述排气部14上，如图2所示，排气口141开设在其底面的一部分上，此排气口141中安装有呈常闭锁状态的开关阀142，该开关阀142打开时，加热中所用热风的气体的一部分可以从循环通路排气，以调节加热炉部分13内的压力(风量)。另外，在软钎焊作业完成时，该排气口141全部打开排出所有的气体。

控制部15内组装有如下控制机构：内设微型计算机、在该微型计算机的控制下控制气体整流部11的西洛可风风扇111的旋转，并对送风速度进行控制的控制机构；为调节气体加热部12的电加热器121的加热温度，对加热器121的通电电流进行控制的控制机构；调整排气部15的开关阀142的开启角度、增加或降低加热炉13内的压力(风量)的控制机构；开关气体供给管19内的开关阀191、供给或停止来自气体供给源20的气体的控制机构；驱动输送器21、对送入送出被处理基板P进行控制的控制机构。

热风循环通路管道16、17、18是使来自加热炉部分13的热风返回到气体整流部11的管道，热风循环通路管道16、17是断面呈半圆形的管道，热风循环通路管道18是断面呈矩形的管道，但是，这些管道例如也可用同一口径的一根柔性管构成，此构造并无限定。主要是形成可以使热风平稳顺畅地循环的返回回路即可。

来自热风循环通路管道16的气体，例如空气，由安装在气体整流部11内的西洛可风风扇111送入，由气体加热部12的加热器121加热后送入加热炉部分13。

下面，参照图3说明上述结构的第1实施例的软钎焊装置10A的动作。

该软钎焊装置10A与通过现有技术的逆流装置采用热风向下流动来加热被处理基板P不同，是使热风相对被处理基板P的被加热面平行地流动来进行加热的。

首先，在控制部15的控制下，西洛可风风扇111及电加热器121动作，开关阀142关闭，然后，开关阀191打开。西洛可风风扇111的动作使来自气体供给源20的洁净空气或氮气被送入，该气体通过气体供给管19及热风循环通路管道16供给到气体整流部11。该气体供给到气体加热部12，由电加热器121加热。加热的气体作为热风Fa送到加热炉部分13。被处理基板P的被加热面的温度是通过其上方的热风Fa进行热传递的。

由加热炉部分13对被处理基板P进行加热的热风Fb通过热风循环通路管道17改变方向，接着流过热风循环通路管道18、送入排气部14，当加热炉部分13内的压力达到一定时，可以根据需要排出部分热风Fb，或者在软钎焊结束时全部将其排出。不需要排气时，全部热风Fb通过热风循环通路管道16返回到气体整流部11及气体加热部12，通过前述循环达到规定的温度后，以平行于被加热面直线行进的风速、风量进行循环。

就软钎焊的被处理基板来说，由于回路基板的面积本身有各种尺寸，在这些回路的基板上还需要载置高度、表面积、表面材质不同的各种部件，根据被处理基板的种类，它们的比热不同。另外，所使用的乳脂状软钎焊料，也必须要改变其加热的温度特性。使用一般的软钎焊焊料时的一般的温度分布曲线为图7所示的曲线，需要进行沿着这样的曲线的被处理基板P上的加热温度管理。为了这种测定，在试验用基板Pt上，在这些多个的测定场所中固定有作为温度检测器的热电对、红外线检测原件，例如热电偶S。

从而，通过加热炉部13的热风Fa上升到规定的温度，在具有充分的风速、风量的情况下，预先将载置有与准备软钎焊的被处理基板P同样的部件的试验用基板Pt用输送器21或托架T输送，投入到加热炉部13内的规定位置，由热电偶测定加热了的试验用基板Pt的各处温度，控制气体整流部11、气体加热部12，使该试验用基板Pt的测定温度为沿图7所示的温度分布曲线的温度，进行将从气体加热部供给的热风Fa的温度、风速、风量的数据作为要素记忆于控制部15的微机内的作业。

加热炉部13中的热风的风速通过控制部15控制西洛可风风扇，使其为例如3～7m/s。在热风风速快的场合，发生被处理基板上的部件偏移、倒下或移动。热风Fa的温度通过电气加热器121上通电的电流量来进行调整，风量通过西洛可风风扇的回转数或排气部14的开关阀142的开角度来进行控制。这些控制由前述控制部15来进行。

并且，为了使用于实际地加热被处理基板P的被加热面所必要的最合适的温度分布如图7所示，使用将前述的西洛可风风扇的回转数、电气加热器的加热温度、开闭阀142的开角度由控制部15内的微机控制的各种控制装置来控制，同时将这种值记忆在微机的控制部中。

这样，在每个要将部件软纤焊的各种被处理基板P中，作成温度分布，进行试验，将这些数据记忆于微机的记忆部中后，软钎焊的被处理基板P由输送器21从送入口132送入加热炉部分13，并保持在其底部的规定位置处。因此，按照该被处理基板特有的温度分布图，例如，其温度分布如图7所示，首先，在150～170℃，使被加热面的温度上升(预热)，保持约60～90秒，使乳脂状软钎焊料活化。然后，再使温度上升到230～240℃(主加热)，保持约30秒以上后使软钎焊焊料全部熔融。

然后，该被处理基板P由输送器从加热炉部分13的送入口132及与该送入口132的相反侧的送出口(未图示)输送到加热炉部分13的外面，由风扇等强制空冷，使被处理基板P的温度下降、软钎焊焊料凝固。这样，载置的部件被软钎焊。

如上所述，被处理基板P被送出加热炉部分13后，后面的被处理基板P由输送器21送入加热炉部分13内，并按照前述的温度分布，反复进行布乳脂状软钎焊焊料的加热、熔融、然后冷却。

如上所述，利用本实施例的软钎焊装置10A，由于可以使热风Fa相对被处理基板P的被加热表面平行地流动，不会出现从现有技术中所看到的由于热风向下流动而产生的滞流点及壁喷流区域。由于可以相对被处理基板进行均匀的热传递，热传递的温度偏差较小。

另外，按照本发明，由于对被处理基板P进行加热的方法，或者由于在固定的场所同时对整个被加热面进行预热、主加热，不会使上游侧先加热、下游侧后加热，因此可以减少温度偏差，使被处理基板上的温度比较容易控制。

此外，按照本发明，在加热炉部分13内，利用作为加热被处理基板的媒体的热风Fa，但由于该热风Fb再次返回到气体加热部12，进入气体加热部12的电加热器121的不仅是常温的空气、而是送入约200℃的高温空气，因此可以使电力消费大幅削减。此外，使用氮气(隋性气体)时也一样，再次通过气体整流部11、向气体加热部12环流，借助这种再利用，可以大幅度削减氮气的消耗量。

在热风Fa的风速快时，被处理基板上的元件偏移、倒下，或移动。除了发生这种不良现象之外，风速较大的热风Fa经过被处理基板P上时，使被处理基板P的上游侧的温度变高，下游侧变低。这在加热炉部分13内会产生管路阻抗，使风速降低，热传递率也降低，以及构成热传递率由于被处理基板P上的温度界面层扩张而引起热传递率降低的原因。

这里，为了在被处理基板P的被加热面上进行均匀的热传递，本发明者等对第1实施例的软钎焊装置10A进行了改进，发明了如图4所示的第2实施例的软钎焊装置10B。该软钎焊装置10B中的加热炉部分13B，将使热风Fa通过被处理基板P上的管炉的上面设置成从上游朝向下游倾斜的倾斜炉壁131B，这样，通过减小管路断面面积可以使热风Fa的风速均匀，此外，通过使温度界面层为较为稳定的区域，可以使被处理基板P的热传递均匀。即，通过使箭头A部的断面面积小于箭头B部的断面面积，可以使该处的热风Fa的风速与箭头B部的相同，箭头A部、B部热传递率也相同。

如前所述，被加热面上的温度为以150～170℃约预热60～90秒，然后以230～240℃主加热30秒以上。因此，就象在实验用基板Pt的温度测定时所使用的，在软钎焊装置10A、10B中也设置分别对应于加热炉部分13内的多个主要部分的热电偶S，通过这些热电偶S可以对热风的温度进行检测，并对应于若干种被处理基板构成温度分布曲线，以便用控制部进行控制。

作为该方法，如前所述，已经提供了气体加热部12的温度控制方法、控制气体整流部11的送风机(西洛可风风扇111)的转数的方法、以及排气部分14的开关阀142的开关等，但是，图5所示的第3实施例又例举了由软钎焊装置10C示出的机构，这种机构应答速度快，效果更佳。即，如图5所示，该软钎焊装置10C中采用了将热风进行增减的方法，就是说在被处理基板P的倾斜炉壁131B的上游的水平炉壁131上，向炉内打开地设置着风门133。即，风门133的角度是通过步进电机或伺服电机这样的控制机构相应于预先记忆在控制部15中的图7所示的温度分布曲线来变化的，通过调节从所产生的间隙G流出的热风Fb的流量，可以对被处理基板P上的温度进行控制。

另外，为了进一步缩小被处理基板的被加热面上的温度偏差，图6所示的第4实施例的软钎焊装置10D是将远红外线加热器22设置在热风Fa通过加热炉部分13的被处理基板P的上面。这样，由于载置在被处理基板P上的各元件的热容量不同，或者是由于对流加热、辐射加热的热传递不同，通过兼用远红外加热器22，可以吸收前述的热容量之差或热传递之差。例如由于电解电容的表面材质为铝，对于辐射加热，元件表面将热反射，热传递不敏感，但在使用对流加热时，在元件表面热传递较为敏感，就可以良好地进行加热。

发明的效果

如上所述，按照本发明，

1.由于热风处于紊流状态，因此，可以提高相对被处理基板的热传递率。此外，由于热风可以相对被处理基板P平行地流动，因而不会产生现有技术中的滞流点。为此，通过使来自气体加热部(热发生源)的热风的温度及风速一定，可以使热传递在整个被处理基板上变得均匀，并使温度偏差降至最小。

2.在对被处理基板上的温度进行条件设定的阶段，将热电偶附加在被处理基板的上面，使其温度形成图7所示的温度分布曲线，以便进行自动调节。这时，由于可以通过被处理基板附近的热电偶同时测量热风温度，并用控制部控制与被处理基板上的温度相关联的关系，因此，就可以在得到适当的温度分布的同时，进行较灵活的条件设定。

3.加热媒体使用空气或隋性气体(氮气)，该热风通过被处理基板，而且通过的热风再次返回到气体加热部进行再利用，由于返回的热风的温度约有200℃的高温，与利用常温的空气相比，所用热量较少，因此可以使电力消费大幅削减。另外，在使用隋性气体(氮气)时，由于热风的循环，同样可以大幅度削减氮气的消耗量，节省能源。

Claims (9)

1.一种软钎焊方法，其特征在于，把使用乳脂状软钎焊料载置元件的被处理基板停留在软钎焊料熔融机构内的规定位置处，为了在该软钎焊熔融机构内获得规定的温度分布，按照预热及主加热所需要的规定温度及时间来进行控制的热风，以规定的速度平行于所述被处理基板的被加热面地进行控制、供给，对所述被加热面的所述乳脂状软钎焊料进行加热、熔融后将所述被处理基板从所述软钎焊熔融机构内取出，使熔融的软钎焊料冷却，将所述元件软钎焊在所述被处理基板上。

2.如权利要求1所述的软钎焊方法，其特征在于，在对被处理基板进行软钎焊之前，利用配置多个温度检测器的实验用基板进行检测，以按照温度分布曲线的方式，对气体加热机构的温度、气体整流机构的风速和风量进行控制。

3.如权利要求1所述的软钎焊方法，其特征在于，以按照温度分布曲线的方式，对增减热风进出的风门进行控制。

4.一种软钎焊装置，该装置中包括：

清洁气体供给源；

将该清洁气体加热到规定温度的气体加热机构；

将使用乳脂状软钎焊料载置元件的被处理基板送入、并可以在规定位置将其以水平状态保持着的软钎焊熔融机构；

将平行于保持在该软钎焊熔融机构内的所述被处理基板的被加热面、通过所述气体加热机构加热到规定温度的所述气体作为具有规定速度及直线行进性的热风向所述软钎焊熔融机构进行供给的气体整流机构；

热风循环通路管道，使热风从该软钎焊熔融机构返回气体整流机构；以及

控制热风的温度、速度及流量的控制机构。

5.如权利要求4所述的软钎焊装置，其特征在于，在所述软钎焊熔融机构内将所述被处理基板以水平状态保持的所述规定位置的管路上面形成有从所述热风的上游朝向下游侧变低的倾斜面。

6.如权利要求4所述的软钎焊装置，其特征在于，在所述软钎焊熔融机构内的所述被处理基板所在的管路上游侧一部分的上面，形成有可以排出部分通过所述管路的所述热风的开关风门。

7.如权利要求5所述的软钎焊装置，其特征在于，在形成所述软钎焊熔融机构的所述倾斜面的管路前方的上面，形成有可以排出部分通过所述管路的所述热风的开关风门。

8.如权利要求4所述的软钎焊装置，共特征在于，

在所述软钎焊熔融机构内的所述被处理基板所在的上方设置有远红外线加热器。

9.如权利要求4所述的软钎焊装置，其特征在于，在所述封闭管路的返回通路的下游侧设置有排气机构。

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