CN118202442A - 气刀以及具备该气刀的抗蚀剂剥离装置 - Google Patents

Abstract

气刀(50B)包括：气刀主体(51)；吹出口(52)，其呈狭缝状形成于气刀主体(51)，并吹出送入的气体；风路(53)，其形成于气刀主体(51)的内部，并将所述送入的气体引导至吹出口(52)；以及清扫部(70)，其配置于风路(53)的内部，并具有头部(71)、从头部(71)朝向吹出口(52)延伸的腿部(72)和设置于头部(71)的把手部(73)。清扫部(70)设置成沿着吹出口(52)的长边方向能够移动。

Description

气刀以及具备该气刀的抗蚀剂剥离装置

技术领域

本发明涉及气刀以及具备该气刀的抗蚀剂剥离装置。

背景技术

已知有将形成在基板上的抗蚀剂剥离的剥离装置。该剥离装置具备：为了将形成在基板上的抗蚀剂剥离而在基板上涂布剥离液的涂布装置；向基板喷射清洗液的高压淋浴；以及向基板上吹出空气的气刀。通常，当剥离液附着在抗蚀剂剥离后的基板上时，在基板上形成的图案产生缺陷。因此，在涂布装置中涂布剥离液后，通过高压喷淋向基板上喷射清洗液，对基板进行清洗。清洗后的基板通过从气刀吹出的空气进行液体切割。

但是，即使在进行利用气刀进行液体切割的处理后，也有可能在基板上附着雾状的液体。作为其原因之一是异物附着在气刀的吹出口上。附着于气刀的吹出口的异物有可能成为例如对(i)从吹出口吹出的空气产生紊乱、(ii)与从吹出口吹出的空气一起吹出附着于吹出口的异物等的原因。其结果，认为从吹出口吹出的空气产生异常，雾状的液体附着于基板上。因此，需要去除附着于气刀的吹出口的异物。

例如，在专利文献1中公开了清扫狭缝状的开口部的清扫部件。该清扫部件从喷嘴的外部朝向喷嘴的内部插入到喷嘴的开口部。通过使该清扫部件沿着喷嘴的开口部的长边方向移动，从而除去附着于开口部的异物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利第5771432号

发明内容

本发明所要解决的技术问题

但是，在如专利文献1那样将清扫部件从喷嘴的外部插入到喷嘴的内部的情况下，存在通过清扫部件将附着于喷嘴的开口部的异物送入喷嘴的内部的可能性。由此，附着于喷嘴的开口部的异物不会向喷嘴的外部排出，有可能残留于喷嘴内部。

因此，即使使用专利文献1的清扫部件清扫了气刀的吹出口，也有可能无法消除从吹出口吹出的空气产生的异常。因此，有可能在基板上附着雾状的液体。

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够防止异物因从吹出口吹出的空气而附着在基板上的气刀。

用于解决技术问题的技术方案

为了上述课题，本发明的一方式的气刀具备：气刀主体；吹出口，其呈狭缝状形成于所述气刀主体，并吹出送入的气体；风路，其形成于所述气刀主体的内部，并将所述送入的气体引导至所述吹出口；以及清扫部，其至少一部分配置于所述风路的内部，并具有头部、从所述头部向所述吹出口延伸的腿部、以及设置于所述头部的把手部，所述清扫部设置为沿着所述吹出口的长边方向能够移动。

有益效果

根据本发明，能够提供一种能够防止异物因从吹出口吹出的空气而附着在基板上的气刀。

附图说明

图1为第一实施方式的抗蚀剂剥离装置的概略图。

图2是示意性地表示图1所示的抗蚀剂剥离装置所包含的气刀在清扫时的形态的图。

图3是示意性表示图2所示的气刀的内部构成的截面图。

图4是示意性地表示图1所示的抗蚀剂剥离装置所包含的气刀在通常时的形态的图。

图5是示意性表示图4所示的气刀的内部构成的截面图。

图6是示意性表示设于第一实施方式的气刀上的清扫部的主视图。

图7是示意性表示设于第一实施方式的气刀上的清扫部的侧视图。图8是示意性地表示第一实施方式的清扫部的腿部的第一变形例的图。

具体实施方式

[第一实施方式]

以下，使用图1～7详细地说明本发明的一实施方式。

(抗蚀剂剥离装置)

使用图1说明抗蚀剂剥离装置10。图1是抗蚀剂剥离装置10的概略图。抗蚀剂剥离装置10包括抗蚀剂剥离槽20、漂洗槽30以及搬送装置40。另外，抗蚀剂剥离装置10可以包含蚀刻处理槽、清洗处理槽、干燥处理槽等其他处理槽，也可以仅是抗蚀剂剥离槽20。

抗蚀剂剥离槽20是对形成于基板100上的抗蚀剂进行剥离的处理的槽。抗蚀剂剥离槽20包括涂布装置21、清洗装置22和气刀50A、50B。在抗蚀剂剥离槽20的入口201设有气刀50A。气刀50A相对于基板100垂直地喷出风(气体)。

气刀50A的下游设有涂布装置21。涂布装置21将剥离形成于基板100的抗蚀剂的剥离液涂布于基板100。虽然均未图示，但涂布装置21具备储存剥离液的液体储存部、喷出剥离液的喷头、以及从液体储存部向喷头供给剥离液的液体供给部。涂布装置21通过将储存于液体储存部的剥离液从喷头喷出，将剥离液涂布于基板。另外，涂布装置21也可以是通过将基板浸渍于剥离液而将剥离液涂布于基板100的装置。

在涂布装置21的下游设有清洗装置22。清洗装置22向基板100喷出用于对涂布了剥离液的基板100进行清洗的清洗液。清洗装置22从高压喷头喷出从液体储存部供给的清洗液，由此清洗基板100。在清洗装置22的下游，在抗蚀剂剥离槽20的出口202设置有切口50B。如图1的箭头所示，气刀50B使风向朝向抗蚀剂剥离槽20的内侧并且向基板100吹出风。通过气刀50B液体切割附着于基板100上的液体。另外，气刀50B也可以相对于基板100垂直地吹出风。

漂洗槽30是对实施了抗蚀剂剥离处理的基板100进行漂洗的处理的槽。漂洗槽30包括涂布装置31、清洗装置32、水刀(Aqua Knife)33以及气刀50C。在漂洗槽30的入口301设有气刀50C。如图1的箭头所示，气刀50C使风向朝向漂洗槽30的内侧并且向基板100吹出风。气刀50C使基板100干燥，同时防止漂洗液侵入抗蚀剂剥离槽20中。在气刀50C的下游设置有水刀33。水刀33通过向基板100喷出清洗液来除去附着于基板100的表面的异物。如图1的箭头所示，水刀33向漂洗槽30的内部侧喷出清洗液。

在水刀33的下游设置有涂布装置31。涂布装置31将对剥离了抗蚀剂的基板100进行漂洗的漂洗液涂布于基板100。涂布装置31从喷头喷出从液体储存部供给的漂洗液。通过从喷头喷出漂洗液，涂布装置31向基板100涂布漂洗液。在涂布装置31的下游设有清洗装置32。清洗装置32向基板100喷出用于对涂布有漂洗液的基板100进行清洗的清洗液。清洗装置32通过从高压喷淋器向基板喷出从液体储存部供给的清洗液来清洗基板。

搬送装置40是在抗蚀剂剥离槽20和漂洗槽30中搬送基板100的装置。具体而言，搬送装置40将基板100从抗蚀剂剥离槽20的入口201向抗蚀剂剥离槽20的出口202、以及从漂洗槽30的入口301向漂洗槽30的出口302搬送。搬送装置40通过多个辊搬送基板100。另外，搬送装置40也可以通过带搬送基板100。

(气刀)

图2～图5说明气刀50B的构成。图2是示意性地示出图1所示的抗蚀剂剥离装置10中包含的气刀50B的清扫时的形态的图。图3是示意性地表示图2所示的气刀50B的内部构成的截面图。图4是示意性地表示图1所示的抗蚀剂剥离装置10中包含的气刀50B的通常时的形态的图。图5是示意性地表示图4所示的气刀50B的内部构成的截面图。在说明气刀50B具备的各构成要素的形状及位置关系等时，为了方便，规定如图2等所示的X(X1-X2)方向、Y(Y1-Y2)方向、Z(Z1-Z2)方向这三方向的坐标轴。另外，关于气刀50A以及50C，也可以具备与气刀50B相同的构成。

在本申请中，风路53(第一风路531、第二风路532)的长边方向是指与送入风路53的气体朝向吹出口52的气体的流动方向正交的方向上的长边方向，风路53(第一风路531、第二风路532)的短边方向是指与送入风路53的气体朝向吹出口52的气体的流动方向正交的方向上的短边方向。在本实施方式中，气刀50B和吹出口52的长边方向与风路53的长边方向相同，气刀50B和吹出口52的长边方向与风路53的长边方向相同。在本实施方式中，气刀50B、风路53(第一风路531、第二风路532)和吹出口52的长边方向相当于X方向，气刀50B、风路53(第一风路531、第二风路532)和吹出口52的短边方向相当于Z方向。此外，在本申请中，清扫部的腿部的宽度意味着上述风路53的长边方向上的长度，清扫部的腿部的厚度意味着上述风路53的短边方向上的长度。

如图2及图3所示，气刀50B具有气刀主体51、风路53、开口部54以及收纳部55。气刀主体51是SUS(不锈钢)等金属制。另外，气刀主体也可以由对金属以外的剥离液具有耐性的材料形成。另外，气刀主体51的形状并无特别限定，也可以是矩形、三角形、多边形或圆形那样的形状。另外，气刀主体51也可以具有L字形那样的弯曲的形状、弯曲的形状等。此外，气刀主体51也可以具有改变所吹出的空气的方向的风向板等。

如图2以及图3所示，风路53形成于气刀主体51的内部。在图2中，用虚线表示形成有风路53的部分。风路53构成将从未图示的送风部送入的风(气体)从气刀50B的吹出口52吹出为止的送风路径。在本实施方式中，被送入风路53的风朝向吹出口52的风的流动方向为Y2方向。风路53具有第一风路531和第二风路532。

第一风路531位于比第二风路532靠送风路径的上游的位置。第一风路531是清扫部70的头部71能够移动的风路。第二风路532是与第一风路531连接的风路。第二风路532是在气刀主体51形成为狭缝状的风路。第二风路532是清扫部70的腿部72能够移动的风路。第二风路532的终端形成气刀50B的吹出口52。第二风路532的短边方向的宽度S2形成为比第一风路的短边方向的宽度S1窄。另外，第二风路532的宽度S2也可以与第一风路的宽度S1相同。

如图2以及图3所示，开口部54形成于气刀主体51。开口部54是连接第一风路531与气刀主体51的外部空间的开口。开口部54是清扫部70的把手部73能够移动的开口。如图2所示，开口部54形成为在气刀主体51的长边方向上风路53位于开口部54的两端之间。即，在气刀主体51的长边方向上，第二风路532位于开口部54的两端之间。另外，只要至少第二风路532位于气刀主体51的长边方向的开口部54的两端之间即可。此外，如图3所示，在开口部54的周围设有用于固定罩部60的固定部56。在图中示出的例子中，固定部56是螺纹孔。另外，考虑到附图的难易度，省略了图2中的固定部56的记载。

如图2所示，气刀主体51上设有用于在不使用清扫部70时收纳清扫部70的收纳部55。在收纳部55收纳清扫部70的头部71及腿部72。另外，收纳部55还可以收纳清扫部70的把手部73。收纳部55设于风路53的外侧。收纳部55在吹出口52的长边方向上，既可以仅设于风路53的一侧，也可以设置于风路53的两侧。此外，也可以在气刀主体51不设置收纳部55，而从开口部54或从与开口部54不同的开口将清扫部70从气刀主体51取出。

(罩部)

如图4及图5所示，罩部60是堵塞气刀主体51的开口部54的部件。罩部60是橡胶制或树脂制的部件。如图5示出，罩部60具有罩主体61、突部62以及贯通孔63。罩主体61形成为大于开口部54的开口的面积。罩主体61以覆盖气刀主体51的开口部54的方式堵塞开口部54。虽未图示，但露出于罩主体61的外部的面被SUS等的对金属、或者金属以外的剥离液具有耐性的材料覆盖，以免暴露于剥离液。另外，可以将罩主体61形成为与开口部54的开口的面积相同程度的大小以及形状。在该情况下，也可以通过将罩主体61可靠地嵌入开口部54来堵塞开口部54。

在罩主体61上设置有能够插入开口部54的突部62。突部62形成为：(i)与开口部54的面积相同程度的大小及形状，或者(ii)小于开口部54的开口的面积，能够插入开口部54的形状。如图5所示，在罩部60固定于气刀主体51时，突部62的前端延伸至气刀主体51的第一风路531。通过在罩主体61上设置突部62，能够将罩部60相对于过滤器主体51定位。另外，通过以无间隙地填埋开口部54的空间的方式形成突部62，能够减少在气刀主体51的第一风路531内产生紊流。

如图5所示，在罩主体61上，在与气刀主体51的固定部56对应的位置形成有贯通孔63。用于将罩部60固定在气刀主体51上的螺钉65插入贯通孔63中。通过将插通贯通孔63的螺钉65与气刀主体51的固定部56螺合，从而将罩部60固定在气刀主体51上。另外，也可以在罩部60的突部62与气刀主体51的开口部54之间设置O型环。也可以通过O型环密封开口部54。

另外，罩部60通过螺纹结构固定于气刀主体51，但不限于此。例如，也可以设为如下结构：在气刀主体51形成有作为固定部56的卡合孔，在罩部60设有卡合于该卡合孔的卡合部。在该卡合结构中，罩部60的卡合部在该卡合部的前端设有突起部。通过将罩部60的卡合部嵌入气刀主体51的卡合孔，使该突起部与该卡合孔卡合。由此，罩部60固定在气刀主体51上。另外，也可以构成为在罩部60上设置卡合孔，在气刀主体51上设置设有突起部的卡合部。

(清扫部)

使用图2、图3、图6、图7说明设于气刀50B的清扫部70。图6是示意地表示设于气刀50B的清扫部70的主视图。图6相当于从Z1方向观察图3所示的清扫部70的图。图7是示意性地示出设置于气刀50B的清扫部70的侧视图。图7相当于从X2方向观察图2所示的清扫部70的图。

如图3所示，清扫部70设置在气刀主体51的内部。清扫部70能够沿着风路53的长边方向移动。如图6及图7所示，清扫部70具有头部71、腿部72和把手部73。

清扫部70的头部71位于气刀50B的第一风路531内。头部71能够在第一风路内移动。头部71是由SUS(不锈钢)等的对金属、或者金属以外的剥离液具有耐性的材料形成的部件。在图示的例子中，头部71为圆柱状的形状。另外，头部71的形状并不限定于此，例如可以为长方体状、多棱柱体、圆锥、多棱锥等形状。头部71的宽度H1形成为比第二风路532的宽度S2大。另外，头部71的宽度H1也可以设置为与第二风路532的宽度S2相同程度。在头部71形成有用于安装把手部73的安装部75。在本实施方式中，安装部75是螺纹孔。

在清扫部70的头部71设有棒状的把手部73。把手部73是SUS等金属制或树脂制等部件。把手部73相对于头部71能够拆卸。在把手部73的一端形成有用于将把手部73安装于头部71的安装部的被安装部74。在本实施方式中，被安装部74是螺纹牙。把手部73的另一端形成球体的形状，以便于作业者保持。把手部73的另一端的形状不限于球体，只要设为作业者容易保持的形状即可。另外，把手部73也可以形成为与头部71一体的结构。把手部73经由开口部54而从气刀主体51的外部安装于清扫部70的头部71。如图3所示，在将把手部73安装于清扫部70的头部71的状态下，把手部73的另一端延伸至气刀主体51的外部。

另外，把手部73通过螺丝结构安装于头部71，但不限于此。例如，也可以通过使把手部73的卡合部卡合于在头部71形成的卡合孔的卡合结构、将把手部73夹紧于头部71的夹紧构造等其他方法，将把手部73安装于头部71。

在清扫部70的头部71设有腿部72。腿部72为板状的部件。腿部72是由SUS等对金属、或者金属以外的剥离液具有耐性的材料形成的部件。另外，腿部72不限于此，也可以是设有多个纤维状的构件的刷状、棉状部件。

如图3所示，腿部72从头部71朝向吹出口52延伸。腿部72位于第二风路532内，沿着吹出口52的长边方向在第二风路532内能够移动。腿部72能够与沿第二风路532的长边方向延伸的至少1个壁抵接。腿部72的前端位于与第二风路532的吹出口52实质上相同的位置。另外，腿部72的前端既可以向气刀主体51的外部突出，也可以位于比吹出口52靠气刀主体的内侧的位置。

如图6所示，在X方向上，腿部72的前端的宽度W2形成为比与头部71连接的腿部72的根部部分的宽度W1更窄。X方向上的腿部72的宽度随着从与清扫部70的头部71连接的根部部分朝向气刀50B的吹出口52侧的前端部分而逐渐变窄。此外，腿部72的宽度也可以从根部部分到前端部分实质上为一定的宽度。

如图7所示，在第二风路532的方向上，腿部72的前端的厚度W4形成为比与清扫部70的头部71连接的根部部分的腿部72的厚度W3更薄。腿部72的厚度随着从根部部分朝向前端部分而逐渐变薄。通过使腿部72的前端部分的厚度变薄，能够形成用于将被腿部刮出的异物沿着腿部的形状向外部排出的空间。此外，腿部72的根部部分的厚度W3形成为与第二风路532的宽度S2相同程度的大小。这样，通过增厚腿部72的根部部分的宽度W3，能够防止异物侵入第一风路531侧。另外，腿部72也可以形成为，腿部72的根部部分的厚度W3和腿部72的前端的厚度W4成为实质上相同的厚度。

(关于气刀的清扫作业)

在清扫气刀50B的风路53的情况下，作业者从气刀主体51拆下罩部60。然后，作业者将把手部73安装于收纳于收纳部55的清扫部70的头部71。在未设置收纳部55的情况下，将清扫部70从开口部54或与开口部54不同的开口插入，并配置于规定的位置。作业者拿着位于气刀主体51的外部的把手部73，使把手部73沿着开口部54的长边方向移动。

通过使把手部73沿着开口部54移动，清扫部70的头部71在第一风路531内沿着第一风路531的长边方向移动。当头部71沿着第一风路531的长边方向移动时，清扫部70的腿部72沿着第二风路532的长边方向移动。即，清扫部70沿着吹出口52的长边方向移动。此时，腿部72边与沿长边方向延伸的第二风路532的至少1个壁滑动接触边移动。由此，腿部72将附着于第二风路532的异物向气刀主体51的外部排出。

在清扫风路53之后，将清扫部70收纳于收纳部55。在未设有收纳部55的情况下，从开口部54或与开口部54不同的开口取出清扫部70。在将清扫部70收纳于收纳部55之后，将把手部73自头部71卸下，并将罩部60安装于气刀主体51并堵塞开口部54。

〔变形例1〕

使用图8，说明第一实施方式的清扫部70的腿部72的第一变形例。图8是示意性地示出清扫部70的腿部72的第一变形例的图。另外，清扫部70的腿部721以外的构成与上述的实施方式中说明的构成相同，因此省略说明。图8所示的箭头表示腿部721在气刀主体51的第二风路532内移动时的移动方向。

如图8所示，清扫部70的腿部721形成为在第二风路532的长边方向上厚度不同。第二风路532的长边方向的另一侧的腿部721的厚度W6比第二风路532的长边方向的一侧的腿部721的厚度W5更薄。腿部721的厚度以随着朝向第二风路532的长边方向的一侧而宽度逐渐变窄的方式形成。此外，腿部721的与头部71连接的根部侧的厚度W7比腿部721的前端侧的厚度W8更厚。即，腿部721的厚度随着从根部部分朝向前端部分而逐渐变薄。

这样，在第二风路532的长边方向上，通过使腿部721的厚度逐渐变薄，能够减少与在长边方向上延伸的第二风路532的至少1个壁抵接的面积。由此，能够使清扫部70顺畅地在气刀主体51的风路53内移动。

〔总结〕

本发明的形态1的气刀50B包括：气刀主体51；吹出口52，其呈狭缝状形成于气刀主体51，并吹出送入的气体；风路53，其形成于气刀主体51的内部，并将送入的气体引导至吹出口52；以及清扫部70，其配置于风路53的内部，并具有头部71、从头部71朝向吹出口52延伸的腿部72以及设置于头部71的把手部73，清扫部70设置为沿着吹出口52的长边方向能够移动。

根据上述构成，不需要将清扫部从气刀主体的外部插入气刀主体的内部。因此，能够不将附着于吹出口、风路的异物送入风路的内部而向气刀的外部排出。由此，能够提供一种能够防止因从吹出口吹出的空气而在基板上附着异物的气刀。

本发明的方式2的气刀50B的特征在于：在上述方式1中，头部71在吹出口52的短边方向上比吹出口52的宽度更大。

根据上述构成，清扫部在吹出口的短边方向上具有宽度比气刀的吹出口宽的头部。因此，清扫部的头部无法通过吹出口。由此，能够防止清扫部从吹出口向气刀主体的外部落下。

本发明的方式3的气刀50B的特征在于，在上述方式1或2中，在气刀主体51上形成有开口部54，把手部73从风路53(第一风路531)通过开口部54向气刀主体51的外部延伸。

根据上述构成，作业者通过对向气刀主体的外部伸出的把手部进行操作而使清扫部移动。因此，作业者不需要将手伸入气刀主体而使清扫部移动。由此，作业者能够容易使清扫部移动。

本发明的方式4的气刀50B的特征在于，在上述方式3中，头部71具有安装部75，把手部73具有相对于安装部75能够拆卸的被安装部74。

根据上述构成，清扫部的把手部相对于清扫部的头部能够拆卸。因此，在不使用清扫部时，能够设为从清扫部的头部拆卸的状态。由此，能够有效地利用清扫部的不使用时的气刀外部周边的空间。

本发明的方式5的气刀50B的特征在于，在上述方式3或4，还包括用于堵塞开口部54的罩部60。根据上述构成，气刀具备堵塞气刀的开口部的罩。因此，能够防止雾状的液体、异物等从气刀的开口部浸入气刀的内部。由此，能够提供一种能够防止因从吹出口吹出的空气而在基板上附着异物的气刀。

本发明的方式6的气刀50B的特征在于，上述方式5中，气刀主体51具有固定部56，该固定部56设于开口部54的周围，罩部60固定于固定部56。

根据上述构成，能够利用设于气刀主体51的固定部将罩部固定于气刀主体。由此，能够防止罩部从气刀主体脱落。

本发明的方式7的气刀50B的特征在于，在上述方式1至6的任一方式，腿部72是板状的部件，腿部72在吹出口52的长边方向上的宽度从与头部71连接的根部部分朝向吹出口52侧的前端部分逐渐变窄。

根据上述构成，清扫部的腿部的与清扫部的头部连接的根部部分变粗，朝向气刀的吹出口侧的前端部分逐渐变细。因此，能够使由腿部从吹出口刮出的异物沿着腿部的形状向吹出口方向移动。其结果，能够将异物向气刀的外部排出。由此，能够提供一种能够防止异物因从吹出口吹出的空气而附着于基板上的气刀。

本发明的方式8的气刀50B的特征在于，在上述方式1至7中的任一方式中，在气刀主体51上设置有收纳部55，该收纳部55收纳清扫部70的，收纳部55位于吹出口52的长边方向上的风路53的外侧。

根据上述构成，在不使用清扫部时，在设置于比气刀的吹出口靠外侧的收纳部收纳清扫部。因此，在向基板上吹出空气时，不会产生因清扫部而产生的吹出的空气的紊乱。由此，能够提供一种不易产生从吹出口吹出的空气的紊乱的气刀。

本发明的方式9的抗蚀剂剥离装置10包括：从上述方式1至8中任一方式所述的气刀50B；涂布装置21，其将剥离抗蚀剂的剥离液涂布于基板100上；以及搬送装置40，其搬送基板100。

本发明不限于上述的各实施方式，能够在权利要求所示的范围内进行各种变更，对于适当组合在不同的实施方式中分别公开的技术手段而得到的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

附图标记说明

10：抗蚀剂剥离装置；

20：抗蚀剂剥离槽；

21、31：涂布装置；

22、32：清洗装置；

30：漂洗槽；

33：水刀；

40：搬送装置；

50A、50B、50C：气刀；

51：气刀主体；

53：风路；

531：第一风路；

532：第二风路；

54：开口部；

55：收纳部；

56：固定部；

60：罩部；

61：罩主体；

62：突部；

63：贯通孔；

65：螺钉；

70：清扫部；

71：头部；

72、721：腿部；

73：把手部；

74：被安装部；

75：安装部；

100：基板。

Claims (9)

1.一种气刀，其特征在于，其具备：

气刀主体；

吹出口，其呈狭缝状形成于所述气刀主体，并吹出送入的气体；

风路，其形成于所述气刀主体的内部，并将所述送入的气体引导至所述吹出口；以及

清扫部，其至少一部分配置于所述风路的内部，并具有头部、从所述头部向所述吹出口延伸的腿部、以及设置于所述头部的把手部，

所述清扫部设置为沿着所述吹出口的长边方向能够移动。

2.根据权利要求1所述的气刀，其特征在于，所述头部在所述吹出口的短边方向上比所述吹出口的宽度更大。

3.根据权利要求1或2所述的气刀，其特征在于，

在所述气刀主体上形成有开口部，

所述把手部从所述风路通过所述开口部向所述气刀主体的外部延伸。

4.根据权利要求3所述的气刀，其特征在于，

所述头部具有安装部，

所述把手部具有相对于所述安装部能够拆卸的被安装部。

5.根据权利要求3或4所述的气刀，其特征在于，

所述气刀还具备堵塞所述开口部的罩部。

6.根据权利要求5所述的气刀，其特征在于，

所述气刀主体具有固定部，所述固定部设置于所述开口部的周围，

所述罩部固定在所述固定部上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的气刀，其特征在于，

所述腿部为板状的部件，所述腿部在所述吹出口的长边方向上的宽度从与所述头部连接的根部部分朝向所述吹出口侧的前端部分逐渐变窄。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的气刀，其特征在于，

在所述气刀主体上设置有收纳部，所述收纳部收纳所述清扫部的至少所述头部和所述腿部，

所述收纳部位于所述吹出口的长边方向上的所述风路的外侧。

9.一种抗蚀剂剥离装置，其特征在于，其具备：

根据权利要求1至8中任一项所述的气刀；

涂布装置，其将剥离抗蚀剂的剥离液涂布于基板上；以及

搬送装置，其搬送所述基板。