CN117960679A - 一种硅片清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本发明属于硅片清洗技术领域，具体涉及一种硅片清洗设备，本装置包括：滑动设置在清洗箱内的机械手，机械手包括水平移动副，水平移动副的移动端设置有竖直移动副，竖直移动副的移动端上设置有横梁本体；若干设置在横梁本体上的夹持组件，夹持组件包括一对夹持头，一侧的夹持头滑动设置在横梁本体的底部；设置在清洗箱两侧的物料台，物料台包括底座本体，底座本体的顶部若干承托座，承托座成对设置；设置在底座本体内的横向移动副，横向移动副的移动端滑动设置有移动支架，移动支架贯穿底座本体的顶部；若干设置在底座本体内的抬升组件，抬升组件包括滑动设置的抬升块，抬升块能够顶起片盒的一端。
Description
技术领域
本发明属于硅片技术领域，具体涉及一种硅片清洗设备。
背景技术
在太阳能电池片制备过程中，电池片需要经过多种工艺槽，包括药液槽、水槽、烘干槽等。现有的槽式清洗设备中，片盒用于盛放电池片便于清洗和转移，通过机械手臂对片盒进行传输，但是现有的片盒通常水平放置在清洗槽内，在清洗介质流动过程中，会对片盒内的硅片进行扰动，导致硅片左右晃动，容易造成硅片的破碎，并且水平移动的片盒上容易残留药液；
因此，提供一种能够将片盒倾斜输送的硅片清洗设备是很有必要的。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够将片盒倾斜输送的硅片清洗设备。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片清洗设备，包括：
清洗箱，所述清洗箱内阵列设置有若干对支撑座，所述支撑座上设置有若干对支撑组件；所述支撑组件包括第一支撑条和第二支撑条，所述第一支撑条上设置有第一支撑缺口，所述第二支撑条上设置有第二支撑缺口，并且所述第一支撑缺口的深度大于所述第二支撑缺口的深度；架设在所述第一支撑缺口和所述第二支撑缺口内的花篮本体；滑动设置在所述清洗箱内的机械手，所述机械手包括水平移动副，所述水平移动副的移动端设置有竖直移动副，所述竖直移动副的移动端上设置有横梁本体；若干设置在所述横梁本体上的夹持组件，所述夹持组件包括一对夹持头，一侧的所述夹持头滑动设置在所述横梁本体的底部；设置在所述清洗箱两侧的物料台，所述物料台包括底座本体，所述底座本体的顶部若干承托座，所述承托座成对设置；设置在所述底座本体内的横向移动副，所述横向移动副的移动端滑动设置有移动支架，所述移动支架贯穿所述底座本体的顶部；若干设置在所述底座本体内的抬升组件，所述抬升组件包括滑动设置的抬升块，所述抬升块能够顶起片盒的一端。
作为优选，所述第一支撑缺口的横向面为水平面，所述第一支撑缺口的竖向面的顶部向外侧倾斜设置；所述第二支撑缺口的横向面为水平面，所述第二支撑缺口的竖向面的顶部向外侧倾斜设置。
作为优选，所述清洗箱包括清洗外槽和清洗内槽；所述清洗内槽卡设在所述清洗外槽内，所述清洗内槽的底部设置有若干进液口，所述清洗内槽的顶部开设有溢流缺口；所述清洗外槽的底部开设有排液口，所述清洗外槽的底壁倾斜设置，并且所述排液口位于较低点。
作为优选，所述清洗内槽的外壁设置有第一卡扣，所述第一卡扣的底部开设有第一卡设缺口，所述清洗外槽的内壁设置有第二卡扣，所述第二卡扣的顶部开设有第二卡设缺口，以及，所述第一卡扣的头部卡设在所述第二卡设缺口内，所述第二卡扣的头部卡设在所述第一卡设缺口内。
作为优选，所述花篮本体包括一对架设板和插接在所述架设板之间的架设条；所述架设板分别卡设在所述第一支撑缺口和所述第二支撑缺口的顶角处，所述架设条上开设有若干成对架设缺口，所述架设缺口与所述架设板平行。
作为优选，所述夹持组件还包括夹持气缸和连接板，所述夹持气缸和所述连接板分别设置在所述横梁本体的侧壁，所述夹持头分别设置在所述夹持气缸的活塞杆的端部和所述连接板的侧壁，并且所述夹持气缸的行程可调。
作为优选，所述夹持组件包括一对连接板，所述连接板设置在所述横梁本体的侧壁，所述连接板的侧壁与所述夹持头固定连接，并且所述连接板的长度不等，以及，相邻的两个所述夹持组件中的所述连接板一体设置。
作为优选，所述夹持头包括挂板和挂钩；所述挂板分别与所述夹持气缸的活塞杆和所述连接板连接，所述挂钩相向设置；所述挂板的侧壁检测板，所述检测板的底部设置有检测器，所述检测器适于检测所述挂钩上是否有片盒。
作为优选，所述横梁本体的截面为“L”形，所述横梁本体的竖直面连接在所述竖直移动副的移动端的侧壁。
作为优选，所述竖直移动副包括竖直导轨、竖直丝杆、竖直滑块和竖直电机；所述竖直滑块滑动设置在所述竖直导轨上，并且所述竖直滑块与所述竖直丝杆螺纹连接，所述竖直电机的输出轴与所述竖直丝杆连接，以及，所述横梁本体与所述竖直滑块的侧壁连接。
作为优选，所述抬升组件设置在所述底座本体的进料端；所述抬升组件还包括抬升气缸，所述抬升气缸设置在所述底座本体内，所述抬升气缸的活塞杆伸出所述底座本体，所述抬升块设置在所述抬升气缸的活塞杆上。
作为优选，所述抬升块上开设有插接槽，所述插接槽与片盒的端盖适配；所述抬升气缸的对侧设置有引导块，所述引导块升开设有引导槽，所述引导槽的侧壁开设有引导缺口；所述底座本体的顶部设置有接漏盒，所述接漏盒的入口与所述引导缺口连通。
作为优选，所述横向移动副的移动端设置有若干移动气缸，所述移动气缸的活塞杆连接在所述移动支架的底部。
作为优选，所述底座本体的顶部设置有若干称重组件，所述称重组件包括滑动设置的称重板，所述称重板适于抬升片盒以称重。
本发明的有益效果是：
1、通过清洗箱和花篮本体，能够对硅片进行有效安装以及清洗；
2、通过第一支撑缺口和第二支撑缺口能够有效完成花篮本体的限位，并且第一支撑缺口的深度大于第二支撑缺口的深度，能够使花篮本体倾斜放置，能够使花篮本体内的硅片始终倒向一侧，避免在清洗过程中，被清洗介质搅动，导致硅片左右晃动，从而避免硅片的破碎。
3、通过竖直移动副和水平移动副，能够完成夹持组件的平面移动，能够将片盒从物料台上输送至清洗槽内；
4、一侧的夹持头滑动设置，能够适配物料台上倾斜角度不同的片盒，并且能够将片盒从清洗槽取出时，进行不同倾斜角度的沥水。
5、通过承托座能够对前道工序的片盒进行承托放置，并且能够供后道工序的机械手拿取；
6、滑动设置的移动支架能够抓取片盒并抬起，并且配合横向移动副能够将片盒进行输送；
7、通过抬升组件，能够将离开承托座的片盒的一端进行抬升，以使片盒倾斜沥水。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。
为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明的清洗设备的优选实施例的主视图；
图2是本发明的清洗箱的俯视图；
图3是本发明的清洗箱的侧视图；
图4是本发明的清洗箱的剖视图
图5是本发明的清洗设备的剖视图；
图6是本发明的机械手的主视图；
图7是本发明的清洗设备的剖视图；
图8是本发明的物料台的侧视图；
图9是本发明的抬升组件的主视图；
图10是本发明的物料台的剖视图；
图11是本发明的物料台的侧视图。
图中：
000、片盒；
1100、清洗箱；11001、清洗外槽；11002、清洗内槽；11003、进液口；11004、溢流缺口；11005、排液口；11006、第一卡扣；11007、第一卡设缺口；11008、第二卡扣；11009、第二卡设缺口；
1101、支撑座；1102、支撑组件；11021、第一支撑条；11022、第二支撑条；11023、第一支撑缺口；11024、第二支撑缺口；
1200、花篮本体；1201、架设板；1202、架设条；1203、架设缺口。
2000、机械手；2100、竖直移动副；2101、竖直导轨；2102、竖直丝杆；2103、竖直滑块；2104、竖直电机；2105、横梁本体；
2200、水平移动副；
2300、夹持组件；2301、夹持头；23011、挂板；23012、挂钩；23013、检测板；23014、检测器；2302、夹持气缸；2303、连接板。
3000、物料台；3100、底座本体；3101、承托座；3102、引导块；31021、引导槽；31022、引导缺口；3103、接漏盒；
3200、横向移动副；3201、移动支架；3202、移动气缸；
3300、抬升组件；3301、抬升块；33011、插接槽；3302、抬升气缸；
3400、称重组件；3401、称重板。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1，如图1-11所示，本实施例的硅片清洗设备，包括：
清洗箱1100
所述清洗箱1100内阵列设置有若干对支撑座1101，所述支撑座1101上设置有若干对支撑组件1102；所述支撑组件1102包括第一支撑条11021和第二支撑条11022，所述第一支撑条11021上设置有第一支撑缺口11023，所述第二支撑条11022上设置有第二支撑缺口11024，并且所述第一支撑缺口11023的深度大于所述第二支撑缺口11024的深度；架设在所述第一支撑缺口11023和所述第二支撑缺口11024内的花篮本体1200；简言之，通过清洗箱1100和花篮本体1200，能够对硅片进行有效安装以及清洗；进一步的，通过第一支撑缺口11023和第二支撑缺口11024能够有效完成花篮本体1200的限位，并且第一支撑缺口11023的深度大于第二支撑缺口11024的深度，能够使花篮本体1200倾斜放置，能够使花篮本体1200内的硅片始终倒向一侧，避免在清洗过程中，被清洗介质搅动，导致硅片左右晃动，从而避免硅片的破碎。
所述第一支撑缺口11023的横向面为水平面，所述第一支撑缺口11023的竖向面的顶部向外侧倾斜设置；简言之，第一支撑缺口11023的横向面能够限位花篮本体1200的竖直方向，第一支撑缺口11023的竖向面能够限位花篮本体1200的水平方向；进一步的，由于花篮本体1200倾斜设置，为了不与花篮本体1200发生干涉，第一支撑缺口11023的竖向面向外倾斜设置。
所述第二支撑缺口11024的横向面为水平面，所述第二支撑缺口11024的竖向面的顶部向外侧倾斜设置；简言之，第二支撑缺口11024的横向面能够限位花篮本体1200的竖直方向，第二支撑缺口11024的竖向面能够限位花篮本体1200的水平方向；进一步的，由于花篮本体1200倾斜设置，为了不与花篮本体1200发生干涉，第二支撑缺口11024的竖向面向外倾斜设置。
所述清洗箱1100包括清洗外槽11001和清洗内槽11002；所述清洗内槽11002卡设在所述清洗外槽11001内，所述清洗内槽11002的底部设置有若干进液口11003，所述清洗内槽11002的顶部开设有溢流缺口11004；所述清洗外槽11001的底部开设有排液口11005；简言之，通过清洗内槽11002和清洗外槽11001的分体设置，并且配合清洗内槽11002底部的进液口11003，能够使清洗内槽11002内始终为洁净的清洗介质，污浊的清洗介质通过顶部的溢流缺口11004溢出至清洗外槽11001，保证了硅片的清洗效果。
所述清洗外槽11001的底壁倾斜设置，并且所述排液口11005位于较低点；简言之，清洗外槽11001的底壁倾斜设置，能够使污浊的清洗介质向低处引导，并通过排液口11005进行排出。
所述清洗内槽11002的外壁设置有第一卡扣11006，所述第一卡扣11006的底部开设有第一卡设缺口11007，所述清洗外槽11001的内壁设置有第二卡扣11008，所述第二卡扣11008的顶部开设有第二卡设缺口11009，以及，所述第一开口的头部卡设在所述第二卡设缺口11009内，所述第二卡扣11008的头部卡设在所述第一卡设缺口11007内；简言之，通过第一卡扣11006和第二卡扣11008的设置，能够限制清洗内槽11002的水平位置，并且通过清洗内槽11002的自重能够使清洗内槽11002压紧在第二卡扣11008处。
所述花篮本体1200包括一对架设板1201和插接在所述架设板1201之间的架设条1202；所述架设板1201分别卡设在所述第一支撑缺口11023和所述第二支撑缺口11024的顶角处，所述架设条1202上开设有若干成对架设缺口1203，所述架设缺口1203与所述架设板1201平行；简言之，架设缺口1203与架设板1201平行设置，能够使硅片能够倒向架设缺口1203的一侧，以使硅片通过自重向架设缺口1203的侧壁施加一个压力，保证硅片在清洗过程中不发生晃动。
机械手2000
所述机械手2000包括水平移动副2200，所述水平移动副2200的移动端设置有竖直移动副2100，所述竖直移动副2100的移动端上设置有横梁本体2105；若干设置在所述横梁本体2105上的夹持组件2300，所述夹持组件2300包括一对夹持头2301，一侧的所述夹持头2301滑动设置在所述横梁本体2105的底部；简言之，通过竖直移动副2100和水平移动副2200，能够完成夹持组件2300的平面移动，能够将片盒000从物料台3000上输送至清洗槽内；进一步的，一侧的夹持头2301滑动设置，能够适配物料台3000上倾斜角度不同的片盒000，并且能够将片盒000从清洗槽取出时，进行不同倾斜角度的沥水。
所述夹持组件2300还包括夹持气缸2302和连接板2303，所述夹持气缸2302和所述连接板2303分别设置在所述横梁本体2105的侧壁，所述夹持头2301分别设置在所述夹持气缸2302的活塞杆的端部和所述连接板2303的侧壁，以及，所述夹持气缸2302的行程可调；简言之，通过一端的夹持气缸2302，能够实现一侧的夹持头2301滑动设置，能够便于两个夹持头2301的高度的调节。
所述夹持头2301包括挂板23011和挂钩23012；所述挂板23011分别与所述夹持气缸2302的活塞杆和所述连接板2303连接，所述挂钩23012相向设置；简言之，通过挂钩23012能够完成对片盒000的吊装，结构简单可靠。
所述挂板23011的侧壁检测板23013，所述检测板23013的底部设置有检测器23014，所述检测器23014适于检测所述挂钩23012上是否有片盒000；简言之，此处的检测器23014可以选用声波传感器或光电传感器，能够检测挂钩23012上是否有片盒000，首先能够检测片盒000是否成功被吊装，并且能够在活动的挂钩23012滑动的过程中检测片盒000是否掉落。
所述横梁本体2105的截面为“L”形，所述横梁本体2105的竖直面连接在所述竖直移动副2100的移动端的侧壁；简言之，横梁本体2105的竖直端能够与竖直移动副2100的移动端连接。
所述竖直移动副2100包括竖直导轨2101、竖直丝杆2102、竖直滑块2103和竖直电机2104；所述竖直滑块2103滑动设置在所述竖直导轨2101上，并且所述竖直滑块2103与所述竖直丝杆2102螺纹连接，所述竖直电机2104的输出轴与所述竖直丝杆2102连接，以及，所述横梁本体2105与所述竖直滑块2103的侧壁连接；简言之，竖直电机2104能够转动竖直丝杆2102，实现竖直滑块2103的上下滑动，完成横梁本体2105的上下滑动，并且竖直导轨2101与水平移动副2200的移动端连接，以使横梁能够水平滑动。
物料台3000
所述物料台3000包括底座本体3100，所述底座本体3100的顶部若干承托座3101，所述承托座3101成对设置；设置在所述底座本体3100内的横向移动副3200，所述横向移动副3200的移动端滑动设置有移动支架3201，所述移动支架3201贯穿所述底座本体3100的顶部；若干设置在所述底座本体3100内的抬升组件3300，所述抬升组件3300包括滑动设置的抬升块3301，所述抬升块3301能够顶起片盒000的一端；简言之，通过承托座3101能够对前道工序的片盒000进行承托放置，并且能够供后道工序的机械手2000拿取；进一步的，滑动设置的移动支架3201能够抓取片盒000并抬起，并且配合横向移动副3200能够将片盒000进行输送；进一步的，通过抬升组件3300，能够将离开承托座3101的片盒000的一端进行抬升，以使片盒000倾斜沥水。
所述抬升组件3300设置在所述底座本体3100的进料端；简言之，片盒000被移动支架3201抬起离开承托座3101后，移动至抬升组件3300处，通过抬升组件3300进行沥水，能够使片盒000在进入物料台3000时就完成药液的沥除。
所述抬升组件3300还包括抬升气缸3302，所述抬升气缸3302设置在所述底座本体3100内，所述抬升气缸3302的活塞杆伸出所述底座本体3100，所述抬升块3301设置在所述抬升气缸3302的活塞杆上；简言之，通过抬升气缸3302的活塞杆的升降能够完成片盒000的一端的抬起，完成片盒000的倾斜沥水。
所述抬升块3301上开设有插接槽33011，所述插接槽33011与片盒000的端盖适配；简言之，片盒000的端盖卡设在插接槽33011内，能够在抬升块3301抬起片盒000时，避免片盒000滑落。
所述抬升气缸3302的对侧设置有引导块3102，所述引导块3102升开设有引导槽31021，所述引导槽31021的侧壁开设有引导缺口31022；所述底座本体3100的顶部设置有接漏盒3103，所述接漏盒3103的入口与所述引导缺口31022连通；简言之，引导块3102设置在抬升气缸3302的对侧，当片盒000被抬升气缸3302倾斜抬升时，引导块3102能够承托片盒000的较低的一端，配合引导缺口31022能够将片盒000的较低的一端的端盖的药液引导至接漏盒3103内，避免药液的泄露。
所述横向移动副3200的移动端设置有若干移动气缸3202，所述移动气缸3202的活塞杆连接在所述移动支架3201的底部；简言之，通过移动气缸3202的设置，能够完成片盒000的抬升，结构简单可靠。
所述底座本体3100的顶部设置有若干称重组件3400，所述称重组件3400包括滑动设置的称重板3401，所述称重板3401适于抬升片盒000以称重；简言之，物料台3000作为片盒000的输送机构，可以设置在各个清洗设备的前后端，通过承重组件能够对片盒000内的硅片的清洗前后的重量进行测量，以判断清洗效果。
实施例2，图7是本发明的另一种可选的（或者优选的）实施方式；
本实施例的所述夹持组件2300包括一对连接板2303，所述连接板2303设置在所述横梁本体2105的侧壁，所述连接板2303的侧壁与所述夹持头2301固定连接，并且所述连接板2303的长度不等，以及，相邻的两个所述夹持组件2300中的所述连接板2303一体设置；简言之，物料台3000上的支架本身倾斜设置的情况下，为了提高片盒000的取拿速度，将夹持头2301与横梁本体2105通过长度不等的连接板2303连接。
实施例3，如图10所示，所述抬升组件3300设置在所述底座本体3100的出料端；简言之，抬升组件3300设置在出料端，能够直接将片盒000在出料端处呈倾斜状态，便于不等长的机械手2000直接抓取。
实施例4，如图11所示，所述移动支架3201的水平的横梁与所述横向移动副3200的移动端铰接；所述抬升组件3300设置在所述横向移动副3200的移动端，所述抬升块3301能够顶推所述移动支架3201的水平的横梁；简言之，抬升块3301直接连接在移动支架3201的底部，当抬升块3301上升时，移动支架3201发生转动，从而使抬升组件3300和横向移动副3200能够进行同步工作，在片盒000移动的过程中进行倾斜沥水，提高了物料台3000对片盒000的输送效率。
本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。
在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (14)
1.一种硅片清洗设备，其特征在于，包括：
清洗箱，所述清洗箱内阵列设置有若干对支撑座，所述支撑座上设置有若干对支撑组件；所述支撑组件包括第一支撑条和第二支撑条，所述第一支撑条上设置有第一支撑缺口，所述第二支撑条上设置有第二支撑缺口，并且所述第一支撑缺口的深度大于所述第二支撑缺口的深度；架设在所述第一支撑缺口和所述第二支撑缺口内的花篮本体；
滑动设置在所述清洗箱内的机械手，所述机械手包括水平移动副，所述水平移动副的移动端设置有竖直移动副，所述竖直移动副的移动端上设置有横梁本体；若干设置在所述横梁本体上的夹持组件，所述夹持组件包括一对夹持头，一侧的所述夹持头滑动设置在所述横梁本体的底部；
设置在所述清洗箱两侧的物料台，所述物料台包括底座本体，所述底座本体的顶部若干承托座，所述承托座成对设置；设置在所述底座本体内的横向移动副，所述横向移动副的移动端滑动设置有移动支架，所述移动支架贯穿所述底座本体的顶部；若干设置在所述底座本体内的抬升组件，所述抬升组件包括滑动设置的抬升块，所述抬升块能够顶起片盒的一端。
2.如权利要求1所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述第一支撑缺口的横向面为水平面，所述第一支撑缺口的竖向面的顶部向外侧倾斜设置；
所述第二支撑缺口的横向面为水平面，所述第二支撑缺口的竖向面的顶部向外侧倾斜设置。
3.如权利要求2所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述清洗箱包括清洗外槽和清洗内槽；
所述清洗内槽卡设在所述清洗外槽内，所述清洗内槽的底部设置有若干进液口，所述清洗内槽的顶部开设有溢流缺口；
所述清洗外槽的底部开设有排液口，所述清洗外槽的底壁倾斜设置，并且所述排液口位于较低点。
4.如权利要求3所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述清洗内槽的外壁设置有第一卡扣，所述第一卡扣的底部开设有第一卡设缺口，
所述清洗外槽的内壁设置有第二卡扣，所述第二卡扣的顶部开设有第二卡设缺口，以及
所述第一卡扣的头部卡设在所述第二卡设缺口内，所述第二卡扣的头部卡设在所述第一卡设缺口内。
5.如权利要求4所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述花篮本体包括一对架设板和插接在所述架设板之间的架设条；
所述架设板分别卡设在所述第一支撑缺口和所述第二支撑缺口的顶角处，所述架设条上开设有若干成对架设缺口，所述架设缺口与所述架设板平行。
6.如权利要求5所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述夹持组件还包括夹持气缸和连接板，所述夹持气缸和所述连接板分别设置在所述横梁本体的侧壁，所述夹持头分别设置在所述夹持气缸的活塞杆的端部和所述连接板的侧壁，并且所述夹持气缸的行程可调。
7.如权利要求6所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述夹持组件包括一对连接板，所述连接板设置在所述横梁本体的侧壁，所述连接板的侧壁与所述夹持头固定连接，并且所述连接板的长度不等，以及
相邻的两个所述夹持组件中的所述连接板一体设置。
8.如权利要求7所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述夹持头包括挂板和挂钩；
所述挂板分别与所述夹持气缸的活塞杆和所述连接板连接，所述挂钩相向设置；
所述挂板的侧壁检测板，所述检测板的底部设置有检测器，所述检测器适于检测所述挂钩上是否有片盒。
9.如权利要求8所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述横梁本体的截面为“L”形，所述横梁本体的竖直面连接在所述竖直移动副的移动端的侧壁。
10.如权利要求9所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述竖直移动副包括竖直导轨、竖直丝杆、竖直滑块和竖直电机；
所述竖直滑块滑动设置在所述竖直导轨上，并且所述竖直滑块与所述竖直丝杆螺纹连接，所述竖直电机的输出轴与所述竖直丝杆连接，以及
所述横梁本体与所述竖直滑块的侧壁连接。
11.如权利要求10所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述抬升组件设置在所述底座本体的进料端；
所述抬升组件还包括抬升气缸，所述抬升气缸设置在所述底座本体内，所述抬升气缸的活塞杆伸出所述底座本体，所述抬升块设置在所述抬升气缸的活塞杆上。
12.如权利要求11所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述抬升块上开设有插接槽，所述插接槽与片盒的端盖适配；
所述抬升气缸的对侧设置有引导块，所述引导块升开设有引导槽，所述引导槽的侧壁开设有引导缺口；
所述底座本体的顶部设置有接漏盒，所述接漏盒的入口与所述引导缺口连通。
13.如权利要求12所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述横向移动副的移动端设置有若干移动气缸，所述移动气缸的活塞杆连接在所述移动支架的底部。
14.如权利要求13所述的硅片清洗设备，其特征在于，
所述底座本体的顶部设置有若干称重组件，所述称重组件包括滑动设置的称重板，所述称重板适于抬升片盒以称重。
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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