CN212944553U - 一种花篮挂杆 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种花篮挂杆,包括悬挂机构和硅片花篮,两个所述悬挂机构对称设置,且硅片花篮安装在两个悬挂机构之间;本实用新型的硅片花篮与斜座接触,对斜座产生向外的作用力,此时支撑座底部的活动座分别通过第一支撑块和第二支撑块在第一导杆和第二导杆上向两侧移动,对第一弹簧进行压缩,且通过第一弹簧的弹性形变将硅片花篮限位在两个支撑座之间,硅片花篮的限位块与限位座的斜板接触,带动斜板分别向两端移动,此时承载板连接的连接座带动滑块在滑槽的连接杆上向两端移动,当限位块放置到承载板上时,通过第二弹簧的弹性形变将硅片花篮装夹在限位座之间,完成对不同规格的硅片花篮的悬挂,且便于实际操作应用。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备领域,具体为一种花篮挂杆。
背景技术
硅片加工的过程中,通过硅片清洗机对硅片进行清洗,通过将硅片有序的放置到花篮内,然后将花篮悬挂到硅片清洗机的挂杆上,通过硅片清洗机完成硅片的清洗操作。
清洗过程中,需要将硅片有序的放置到花篮内,此时根据不同规格的硅片使用不同规格的花篮进行存放,不同规格的花篮均需要悬挂到硅片清洗机的挂杆机构上,现有的硅片清洗机的挂杆机构都是固定不动的,无法满足不同规格的花篮悬挂。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种花篮挂杆,为了克服上述清洗过程中,需要将硅片有序的放置到花篮内,此时根据不同规格的硅片使用不同规格的花篮进行存放,不同规格的花篮均需要悬挂到硅片清洗机的挂杆机构上,现有的硅片清洗机的挂杆机构都是固定不动的,无法满足不同规格的花篮悬挂的技术问题。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
一种花篮挂杆,包括悬挂机构和硅片花篮,两个所述悬挂机构对称设置,且硅片花篮安装在两个悬挂机构之间;
所述悬挂机构包括活动座和支撑杆,所述支撑杆一侧两端均安装有第一导杆,所述活动座两端均安装有第一支撑块,所述第一导杆一端贯穿第一支撑块安装有挡块,所述第一导杆外侧且位于第一支撑块和活动座之间套装有第一弹簧,所述活动座顶侧安装有支撑座,所述支撑座顶部安装有斜座;
所述活动座内侧水平开设有滑槽,所述滑槽内部两端均滑动安装有滑块,所述滑块外侧安装有连接座,所述连接座外侧安装有限位座。
作为本实用新型进一步的方案:所述支撑杆一侧对称安装有第二导杆,所述活动座底侧对称安装有第二支撑块,所述第二导杆贯穿第二支撑块,且与第二支撑块滑动安装。
作为本实用新型进一步的方案:所述支撑座与活动座相垂直,所述斜座内侧与支撑座内侧呈135°安装。
作为本实用新型进一步的方案:所述滑槽两端壁与连接杆两端连接,所述连接杆两端外侧均套装有第二弹簧和滑块,所述第二弹簧两端分别与同端滑槽端壁以及滑块连接。
作为本实用新型进一步的方案:所述限位座包括斜板和承载板,且承载板水平安装在连接座外侧,两个所述承载板相远离端和斜板底端呈135°安装。
作为本实用新型进一步的方案:所述硅片花篮四角均安装有限位块,且限位块与承载板相适配。
本实用新型的有益效果:本实用新型通过合理的结构设计,将硅片依次放置到硅片花篮内,将硅片花篮从两个悬挂机构放下,首先硅片花篮与斜座接触,对斜座产生向外的作用力,此时支撑座底部的活动座分别通过第一支撑块和第二支撑块在第一导杆和第二导杆上向两侧移动,对第一弹簧进行压缩,且通过第一弹簧的弹性形变将硅片花篮限位在两个支撑座之间,继续下移,硅片花篮的限位块与限位座的斜板接触,带动斜板分别向两端移动,此时承载板连接的连接座带动滑块在滑槽的连接杆上向两端移动,并对第二弹簧进行压缩,当限位块放置到承载板上时,通过第二弹簧的弹性形变将硅片花篮装夹在限位座之间,完成对不同规格的硅片花篮的悬挂,且便于实际操作应用。
附图说明
为了便于本领域技术人员理解,下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1为本实用新型整体结构示意图;
图2为本实用新型悬挂机构结构示意图;
图3为本实用新型结构示意图侧视图;
图4为本实用新型活动座剖视图。
图中:1、悬挂机构;2、活动座;3、第一支撑块;4、第二支撑块;5、第一导杆;6、第一弹簧;7、挡块;8、第二导杆;9、支撑杆;10、支撑座;11、斜座;12、滑槽;13、滑块;14、连接座;15、限位座;16、连接杆;17、第二弹簧;18、硅片花篮;19、限位块。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4所示,一种花篮挂杆,包括悬挂机构1和硅片花篮18,两个悬挂机构1对称设置,且硅片花篮18安装在两个悬挂机构1之间;
悬挂机构1包括活动座2和支撑杆9,支撑杆9一侧两端均安装有第一导杆5,活动座2两端均安装有第一支撑块3,第一导杆5一端贯穿第一支撑块3安装有挡块7,第一导杆5外侧且位于第一支撑块3和活动座2之间套装有第一弹簧6,活动座2顶侧安装有支撑座10,支撑座10顶部安装有斜座11;
活动座2内侧水平开设有滑槽12,滑槽12内部两端均滑动安装有滑块13,滑块13外侧安装有连接座14,连接座14外侧安装有限位座15。
作为本实用新型的一种实施方式,支撑杆9一侧对称安装有第二导杆8,活动座2底侧对称安装有第二支撑块4,第二导杆8贯穿第二支撑块4,且与第二支撑块4滑动安装。
支撑座10与活动座2相垂直,斜座11内侧与支撑座10内侧呈135°安装,硅片花篮18与斜座11接触,对斜座11产生向外的作用力,此时支撑座10底部的活动座2分别通过第一支撑块3和第二支撑块4在第一导杆5和第二导杆8上向两侧移动,对第一弹簧6进行压缩,且通过第一弹簧6的弹性形变将硅片花篮18限位在两个支撑座10之间。
作为本实用新型的一种实施方式,滑槽12两端壁与连接杆16两端连接,连接杆16两端外侧均套装有第二弹簧17和滑块13,第二弹簧17两端分别与同端滑槽12端壁以及滑块13连接。
限位座15包括斜板和承载板,且承载板水平安装在连接座14外侧,两个承载板相远离端和斜板底端呈135°安装,下移时,硅片花篮18的限位块19与限位座15的斜板接触,带动斜板分别向两端移动,此时承载板连接的连接座14带动滑块13在滑槽12的连接杆16上向两端移动,并对第二弹簧17进行压缩,当限位块19放置到承载板上时,通过第二弹簧17的弹性形变将硅片花篮18装夹在限位座15之间。
作为本实用新型的一种实施方式,硅片花篮18四角均安装有限位块19,且限位块19与承载板相适配,便于通过限位块19将硅片花篮18悬挂在限位座15之间。
本实用新型的工作原理:将硅片依次放置到硅片花篮18内,将硅片花篮18从两个悬挂机构1放下,首先硅片花篮18与斜座11接触,对斜座11产生向外的作用力,此时支撑座10底部的活动座2分别通过第一支撑块3和第二支撑块4在第一导杆5和第二导杆8上向两侧移动,对第一弹簧6进行压缩,且通过第一弹簧6的弹性形变将硅片花篮18限位在两个支撑座10之间,继续下移,硅片花篮18的限位块19与限位座15的斜板接触,带动斜板分别向两端移动,此时承载板连接的连接座14带动滑块13在滑槽12的连接杆16上向两端移动,并对第二弹簧17进行压缩,当限位块19放置到承载板上时,通过第二弹簧17的弹性形变将硅片花篮18装夹在限位座15之间,然后启动清洗机完成清洗,将硅片花篮18向上移动即可自动取下。
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (6)
1.一种花篮挂杆,其特征在于,包括悬挂机构(1)和硅片花篮(18),两个所述悬挂机构(1)对称设置,且硅片花篮(18)安装在两个悬挂机构(1)之间;
所述悬挂机构(1)包括活动座(2)和支撑杆(9),所述支撑杆(9)一侧两端均安装有第一导杆(5),所述活动座(2)两端均安装有第一支撑块(3),所述第一导杆(5)一端贯穿第一支撑块(3)安装有挡块(7),所述第一导杆(5)外侧且位于第一支撑块(3)和活动座(2)之间套装有第一弹簧(6),所述活动座(2)顶侧安装有支撑座(10),所述支撑座(10)顶部安装有斜座(11);
所述活动座(2)内侧水平开设有滑槽(12),所述滑槽(12)内部两端均滑动安装有滑块(13),所述滑块(13)外侧安装有连接座(14),所述连接座(14)外侧安装有限位座(15)。
2.根据权利要求1所述的一种花篮挂杆,其特征在于,所述支撑杆(9)一侧对称安装有第二导杆(8),所述活动座(2)底侧对称安装有第二支撑块(4),所述第二导杆(8)贯穿第二支撑块(4),且与第二支撑块(4)滑动安装。
3.根据权利要求1所述的一种花篮挂杆,其特征在于,所述支撑座(10)与活动座(2)相垂直,所述斜座(11)内侧与支撑座(10)内侧呈135°安装。
4.根据权利要求1所述的一种花篮挂杆,其特征在于,所述滑槽(12)两端壁与连接杆(16)两端连接,所述连接杆(16)两端外侧均套装有第二弹簧(17)和滑块(13),所述第二弹簧(17)两端分别与同端滑槽(12)端壁以及滑块(13)连接。
5.根据权利要求1所述的一种花篮挂杆,其特征在于,所述限位座(15)包括斜板和承载板,且承载板水平安装在连接座(14)外侧,两个所述承载板相远离端和斜板底端呈135°安装。
6.根据权利要求1所述的一种花篮挂杆,其特征在于,所述硅片花篮(18)四角均安装有限位块(19),且限位块(19)与承载板相适配。
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