CN110571176B - 一种半导体清洗处理箱体夹持工装 - Google Patents

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Abstract

一种半导体清洗处理箱体夹持工装，属于半导体清洗处理技术领域，包括固定架和横向伸缩缸，所述固定架下方固定安装有水平的固定板，所述固定板后侧与横向伸缩缸缸体固定连接，固定板前侧通过滑动机构与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述横向伸缩缸缸轴通过固定柱固定安装有后板，所述后板固定安装有后夹持架，所述固定板前端固定安装有前夹持架，所述前夹持架和后夹持架与夹持箱体形状相匹配。前夹持架和后夹持架通过横向伸缩缸提供动力，实现对箱体的夹持，结构简单，造价低廉，夹持紧固、稳定，实现高效稳定的自动化清洗处理，提高作业效率，降低成本。

Description

一种半导体清洗处理箱体夹持工装
技术领域
本发明属于半导体清洗处理技术领域，具体地说是一种半导体清洗处理箱体夹持工装。
背景技术
半导体材料须严格保证清洁，即使微量的污染也会导致半导体器件的失效。在长时间使用后，半导体表面易被污染，半导体清洗的目的在于清除半导体表面的污染杂质，包括有机物和无机物，以实现半导体材料的循环再利用，保证资源利用效率。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式附存于半导体的表面，在正常使用时，会导致各种缺陷。
在半导体处理清洗技术中，通常使用清洗溶液对半导体表面杂质进行反应、反复冲洗，以达到去除杂质的目的，在此清洗工艺系统中，通常是通过镂空的箱体盛放各种半导体碎片，通过夹持工装抓取，在清洗溶液中旋转往复冲洗，从而实现对半导体清洗处理的自动量产化，现今的夹持装置具有结构复杂，造价高，夹持不稳的问题，对自动量产清洗处理半导体严重影响其作业效率。
发明内容
为解决现今半导体清洗处理中，半导体箱体夹持工装具有结构复杂，体型大，造价高和夹持不稳的特点，导致大大影响自动量产清洗处理半导体的作业效率的问题，本发明提供一种半导体清洗处理箱体夹持工装。
本发明是通过下述技术方案来实现的。
一种半导体清洗处理箱体夹持工装，包括固定架和横向伸缩缸，所述固定架下方固定安装有水平的固定板，所述固定板后侧与横向伸缩缸缸体固定连接，固定板前侧通过滑动机构与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述横向伸缩缸缸轴通过固定柱固定安装有后板，所述后板固定安装有后夹持架，所述固定板前端固定安装有前夹持架，所述前夹持架和后夹持架与夹持箱体形状相匹配。前夹持架和后夹持架通过横向伸缩缸提供动力，实现对箱体的夹持，结构简单，造价低廉，夹持紧固、稳定，实现高效稳定的自动化清洗处理，提高作业效率，降低成本。
本发明的进一步改进还有，上述滑动机构包括固定在固定板上的滑轨，所述滑轨上匹配安装有滑块，所述滑块上固定安装有连接板，所述连接板与横向伸缩缸缸轴固定连接，所述连接板通过固定柱与后板固定连接。结构安装牢靠，运行稳定、可靠。
本发明的进一步改进还有，上述固定板底部固定安装有竖直向下的纵向伸缩缸，所述纵向伸缩缸缸轴固定安装有与夹持箱体匹配的压板。通过压板压紧箱体上部，使夹持更加牢靠、紧密，避免箱体出现滑脱现象。
本发明的进一步改进还有，上述压板上开有窗口，所述窗口内安装有防护网。箱体可以不用加装上盖，通过压板压紧并密封箱体，避免箱体内部半导体在旋转冲洗过程中滑出，节省结构成本，提高作业效率。
本发明的进一步改进还有，上述压板前侧开有与前夹持架匹配的滑槽。使压板升降过程中运行更加稳定、顺畅，降低故障发生率。
本发明的进一步改进还有，上述前夹持架和后夹持架底端均固定安装有支撑板，所述前夹持架和后夹持架左右侧均向内折弯有侧限位板。通过底部支撑板和侧面的侧限位板对箱体进行夹持限位，使夹持更加牢靠、稳定，杜绝了箱体滑脱问题。
本发明的进一步改进还有，上述压板底侧面覆有PVC弹性垫。使密封更好，防止在清洗过程中，半导体碎片漂出的问题。
本发明的有益效果是：1、结构简单，安装连接牢靠，运行稳定；2、体积小，造价低廉，通用性好；3、夹持紧密牢靠，避免箱体在旋转清洗过程中滑脱现象，提高作业效率。
附图说明
图1为本发明具体实施方式的结构示意图。
图2为本发明具体实施方式的横向伸缩缸传动结构示意图。
图3为本发明具体实施方式的长方体形箱体结构示意图。
图4为本发明具体实施方式的圆柱体形箱体结构示意图。
附图中：1、固定架，2、横向伸缩缸，3、后板，4、固定柱，5、滑轨，6、滑块，7、纵向伸缩缸，8、前夹持架，9、连接板，10、后夹持架，11、侧限位板，12、支撑板，13、压板，14、固定板。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施方式做进一步说明。
如附图所示，一种半导体清洗处理箱体夹持工装，包括固定架1、横向伸缩缸2和后板3，所述固定架1下方固定安装有水平的固定板14，所述固定板14的后侧与横向伸缩缸2的缸体固定安装连接，固定板14的前侧上部固定安装有左右的滑轨5，所述滑轨5上匹配安装有滑块6，所述滑块6上固定安装有连接板9，所述连接板9与横向伸缩缸2缸轴固定连接，所述连接板9通过固定柱4与后板3固定连接，所述横向伸缩缸2缸轴通过左右两根固定柱4与后板3固定安装，所述后板3上固定安装有竖直向下的后夹持架10，所述固定板14前端固定安装有竖直向下的前夹持架8。
所述前夹持架8和后夹持架10与夹持箱体形状相匹配，根据不同形状的箱体采用不同形状的前夹持架8和后夹持架10结构。
实施例1
箱体为长方体形，如图3所示，箱体五个侧面均安装有隔网，箱体上侧面开有通口，方便向内放入待处理半导体和向外取出处理完半导体。
所述前夹持架8和后夹持架10均呈长方形状，所述前夹持架8和后夹持架10底端均固定安装有水平的支撑板12，所述前夹持架8和后夹持架10左右侧均向内折弯有侧限位板11。所述固定板14底部固定安装有竖直向下的纵向伸缩缸7，所述纵向伸缩缸7缸轴固定安装有与箱体上开口相匹配的压板13，压板13底侧面覆有PVC弹性垫，压板13上镂空有四个窗口，所述窗口内安装有防护网，所述压板13前侧开有与前夹持架8匹配的滑槽。
在使用时，智能机器人臂与固定架1固定安装，通过智能识别定位，本夹持工装移动到待夹持箱体上部，横向伸缩缸2呈回缩状态，纵向伸缩缸7呈回缩状态，前夹持架8和后夹持架10呈张开状态，并把待夹持箱体卡在中间，前夹持架8紧贴箱体，横向伸缩缸2伸出，同步带动连接板9和滑块6沿滑轨5向前移动，连接板9通过左右两侧的固定柱4带动后板3向前移动，即实现后夹持架10的向前加紧，直到加紧箱体，且前后侧的支撑板12和左右侧的侧限位板11把箱体限位，然后纵向伸缩缸7伸出，压板13通过滑槽沿前前夹持架8向下移动，直到与箱体上部开口吻合压实，通过智能机器人臂实现在清洗液中半导体清洗处理的反应过程，直到完成整个工艺，最后纵向伸缩缸7回缩，压板13上升，横向伸缩缸2回缩，后夹持架10张开，实现对箱体的拆卸。完成整个循环过程。
实施例2
箱体为圆柱体形，如图4所示，箱体底面和侧面均安装有隔网，箱体上侧面开有通口，方便向内放入待处理半导体和向外取出处理完半导体。
所述前夹持架8和后夹持架10均呈弧面状，所述前夹持架8和后夹持架10底端均固定安装有水平的弧形支撑板12。所述固定板14底部固定安装有竖直向下的纵向伸缩缸7，所述纵向伸缩缸7缸轴固定安装有与箱体上开口相匹配的压板13，压板13底侧面覆有PVC弹性垫，压板13上镂空有一个圆形窗口，所述窗口内安装有防护网，所述压板13前侧开有与前夹持架8匹配的滑槽。
在使用时，智能机器人臂与固定架1固定安装，通过智能识别定位，本夹持工装移动到待夹持箱体上部，横向伸缩缸2呈回缩状态，纵向伸缩缸7呈回缩状态，前夹持架8和后夹持架10呈张开状态，并把待夹持箱体卡在中间，前夹持架8紧贴箱体，横向伸缩缸2伸出，同步带动连接板9和滑块6沿滑轨5向前移动，连接板9通过左右两侧的固定柱4带动后板3向前移动，即实现后夹持架10的向前加紧，直到加紧箱体，且前后侧的弧形支撑板12把箱体限位，然后纵向伸缩缸7伸出，压板13通过滑槽沿前前夹持架8向下移动，直到与箱体上部开口吻合压实，通过智能机器人臂实现在清洗液中半导体清洗处理的反应过程，直到完成整个工艺，最后纵向伸缩缸7回缩，压板13上升，横向伸缩缸2回缩，后夹持架10张开，实现对箱体的拆卸。完成整个循环过程。
本半导体清洗处理箱体夹持工装中的前夹持架8和后夹持架10可以根据箱体的形状做不同的变换和应用。
本半导体清洗处理箱体夹持工装，结构简单，安装连接牢靠，运行稳定，体积小，造价低廉，夹持紧密牢靠，避免箱体在旋转清洗过程中滑脱现象，大大提高作业效率，实用性好。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同、相似部分互相参见即可。
本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“上”、“下”、“外侧”“内侧”等如果存在是用于区别位置上的相对关系，而不必给予定性。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (4)

1.一种半导体清洗处理箱体夹持工装，其特征在于，包括固定架（1）和横向伸缩缸（2），所述固定架（1）下方固定安装有水平的固定板（14），所述固定板（14）后侧与横向伸缩缸（2）缸体固定连接，固定板（14）前侧通过滑动机构与横向伸缩缸（2）缸轴固定连接，所述横向伸缩缸（2）缸轴通过固定柱（4）固定安装有后板（3），所述后板（3）固定安装有后夹持架（10），所述固定板（14）前端固定安装有前夹持架（8），所述前夹持架（8）和后夹持架（10）与夹持箱体形状相匹配；所述滑动机构包括固定在固定板（14）上的滑轨（5），所述滑轨（5）上匹配安装有滑块（6），所述滑块（6）上固定安装有连接板（9），所述连接板（9）与横向伸缩缸（2）缸轴固定连接，所述连接板（9）通过固定柱（4）与后板（3）固定连接；所述固定板（14）底部固定安装有竖直向下的纵向伸缩缸（7），所述纵向伸缩缸（7）缸轴固定安装有与夹持箱体匹配的压板（13）；所述前夹持架（8）和后夹持架（10）底端均固定安装有支撑板（12），所述前夹持架（8）和后夹持架（10）左右侧均向内折弯有侧限位板（11）。
2.根据权利要求1所述的半导体清洗处理箱体夹持工装，其特征在于，所述压板（13）上开有窗口，所述窗口内安装有防护网。
3.根据权利要求1所述的半导体清洗处理箱体夹持工装，其特征在于，所述压板（13）前侧开有与前夹持架（8）匹配的滑槽。
4.根据权利要求1所述的半导体清洗处理箱体夹持工装，其特征在于，所述压板（13）底侧面覆有PVC弹性垫。
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