CN207402771U - 一种iii-v化合物半导体圆片foup自动化夹持机械手 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种III‑V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，涉及圆片FOUP的传送技术领域。该夹持机械手在可移动装置的带动下实现水平方向的位移与旋转，其包括支撑板，支撑板的顶部设有推拉液压缸，推拉液压缸的缸体与支撑板连接，伸出端连接有推杆梯形块；推杆梯形块的两侧面分别设有一个夹持手指，每个夹持手指末端通过滑动滚轮与推杆梯形块滑动连接，前端设有用于夹持III‑V化合物半导体圆片FOUP的夹持滚轮；两夹持手指的中部通过销钉固定在支撑板上，并可绕销钉转动，且两夹持手指间通过弹簧连接。本实用新型不但结构简单、使用灵活，而且占用空间小、使用成本低，适用于小空间、短距离设备之间的圆片FOUP转移。

Description

一种III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手

技术领域

本实用新型涉及圆片FOUP的传送技术领域，具体来讲是一种III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手。

背景技术

目前，在半导体产业中一般是使用圆片FOUP(front opening unified pod，正面开口标准箱)来作为承载、传送和保护晶片的容器，其主要用于圆片厂内的机器与机器间或工艺与工艺间，承载、传送和保护圆片。

现有技术中，针对圆片FOUP的自动化夹持搬运设备均为从上方进行夹持，配合轨道系统实现半导体晶片在机台间的运输。其自动化程度高，对其他相关设备的要求也高，系统比较复杂，占用空间较大，设备成本较高，适用于自动化程度较高的大型生产线。

但是，实际使用过程中，有些情况下仅需要在小空间、短距离工艺设备之间进行FOUP转移，比如III-V化合物半导体圆片FOUP的转移。而在这种情况下，若按照现有技术中的自动化夹持搬运设备进行设置，则存在系统庞杂、占用空间较大，设备成本较高等问题。因此，现有的自动化夹持搬运设备并不适用于小空间、短距离设备之间的III-V化合物半导体圆片FOUP转移。

实用新型内容

针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，不但结构简单、使用灵活，而且占用空间小、使用成本低，适用于小空间、短距离设备之间的圆片FOUP转移。

为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是：提供一种III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，该夹持机械手安装于可移动装置上，在可移动装置的带动下实现水平方向的位移与旋转。其中，所述夹持机械手包括支撑板，该支撑板固定于可移动装置上且水平设置；所述支撑板的顶部水平设置有推拉液压缸，所述推拉液压缸的缸体与支撑板固定连接，伸出端固定连接有推杆梯形块；所述推杆梯形块两腰所在的侧面分别设置有一个夹持手指，每个夹持手指的末端通过一个滑动滚轮与推杆梯形块的侧面滑动连接，每个夹持手指的前端设置有用于夹持III-V化合物半导体圆片FOUP的夹持滚轮；两个夹持手指的中部均通过销钉固定在支撑板上，并可绕销钉转动，且两个夹持手指之间通过一根弹簧连接。

在上述技术方案的基础上，所述夹持机械手通过一个升降液压缸安装于可移动装置上，所述升降液压缸的伸出端与所述夹持机械手的支撑板底部固定连接，缸体固定在可移动装置上；且所述升降液压缸的缸体上部水平设置有一个托盘，所述托盘位于夹持滚轮的下方。

在上述技术方案的基础上，在两个夹持手指的夹持滚轮表面设置有防滑垫。

在上述技术方案的基础上，所述III-V化合物半导体圆片FOUP的相对两侧面设置有用于配合两个夹持手指夹持的弧形凹陷。

在上述技术方案的基础上，所述弧形凹陷处设置有防滑垫。

在上述技术方案的基础上，所述可移动装置为可实现水平方向位移与旋转的移动小车。

在上述技术方案的基础上，所述可移动装置包括长条形的固定底座和设置在固定底座上的旋转移动底座；所述夹持机械手固定安装于旋转移动底座的顶部，并在旋转移动底座的带动下实现旋转以及沿固定底座的中轴线实现水平方向的位移。

在上述技术方案的基础上，所述夹持机械手处于未工作状态时，弹簧处于自然状态，两个夹持手指在弹簧作用下是张开状态。

在上述技术方案的基础上，所述夹持机械手处于工作状态时，推杆梯形块在推拉液压缸的作用下向III-V化合物半导体圆片FOUP方向移动，同时带动两个滑动滚轮在推杆梯形块的两侧面滚动，两个夹持手指在弹簧的张力作用下绕固定的销钉转动，实现对III-V化合物半导体圆片FOUP的夹紧。

本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型中，推杆梯形块在推拉液压缸的作用下实现向III-V化合物半导体圆片FOUP方向的推动或拉回，进而带动两个滑动滚轮在推杆梯形块的两侧面滚动，使得两个夹持手指在弹簧的张力作用下绕固定的销钉转动，实现对III-V化合物半导体圆片FOUP的夹紧或松开。并且，该夹持机械手安装于任意一种可移动装置上，在可移动装置的带动下实现水平方向的位移与旋转，从而将III-V化合物半导体圆片FOUP从一台设备转运到另一台设备上，进而实现小空间、短距离设备之间的III-V化合物半导体圆片FOUP的转移。

与现有技术相比，本实用新型不但结构简单、使用灵活，而且无需设置大型夹持搬运设备，也无需配合大规模的轨道系统，占用空间小且设备成本低，特别适用于小空间、短距离设备之间的FOUP转移。

2.本实用新型中，III-V化合物半导体圆片FOUP是被夹持机械手放到一个平稳的托盘上后再开始运输，进一步提高了圆片FOUP在传送过程中的安全系数。

3.本实用新型中，在III-V化合物半导体圆片FOUP的两侧面设置有弧形凹陷，能更好地配合两个夹持手指的夹持。并且，该弧形凹陷处，以及两个夹持手指的夹持滚轮表面均设置有防滑垫，可以进一步保证夹持过程的稳定性和安全性。

4.本实用新型中，可移动装置可选用任意一种可实现水平方向位移与旋转的装置或组件，适用范围广，使用更加灵活。

附图说明

图1为本实用新型实施例中安装于可移动装置上的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手的结构示意图；

图2为处于未工作状态的夹持机械手的部分结构示意图；

图3为处于工作状态的夹持机械手的部分结构示意图；

图4为III-V化合物半导体圆片FOUP的结构示意图。

附图标记：

1－推拉液压缸；2－支撑板；3－推杆梯形块；4－滑动滚轮；5－弹簧；6－销钉；7－夹持手指；8－夹持滚轮；9－升降液压缸；10－托盘；

11－可移动装置，11a－旋转移动底座，11b－固定底座；

12－III-V化合物半导体圆片FOUP，12a－弧形凹陷。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例作进一步详细说明。

参见图1所示，本实用新型实施例提供一种III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，该夹持机械手安装于任意一种可移动装置11上，在可移动装置11的带动下实现水平方向的位移与旋转。具体来说，该夹持机械手包括支撑板2，该支撑板2固定于可移动装置11上且水平设置；该支撑板2的顶部水平设置有推拉液压缸1，该推拉液压缸1的缸体与支撑板2固定连接，推拉液压缸1的伸出端固定连接有推杆梯形块3；该推杆梯形块3两腰所在的侧面分别设置有一个夹持手指7，每个夹持手指7的末端通过一个滑动滚轮4与推杆梯形块3的侧面滑动连接，每个夹持手指7的前端设置有用于夹持III-V化合物半导体圆片FOUP12的夹持滚轮8；两个夹持手指7的中部均通过销钉6固定在支撑板2上，并可绕销钉6转动，且两个夹持手指7之间通过一根弹簧5连接。

参见图2所示，该夹持机械手处于未工作状态时，弹簧5处于自然状态(即没有拉伸或压缩)，此时两个夹持手指7在弹簧5作用下是张开状态。参见图3所示，当该夹持机械手定位到要被夹持的FOUP位置后，该夹持机械手处于工作状态，此时推杆梯形块3在推拉液压缸1的作用下向III-V化合物半导体圆片FOUP12方向移动，同时带动两个滑动滚轮4在推杆梯形块3的两侧面滚动，两个夹持手指7在弹簧5的张力作用下绕固定的销钉6转动，实现对III-V化合物半导体圆片FOUP12的夹紧。夹紧了III-V化合物半导体圆片FOUP12的夹持机械手在可移动装置11的带动下实现水平方向的位移与旋转，从而将III-V化合物半导体圆片FOUP12从一台设备转运到另一台设备上，进而实现小空间、短距离设备之间的III-V化合物半导体圆片FOUP12转移。

进一步地，为了提高III-V化合物半导体圆片FOUP12在传送过程中的安全系数，本实施例中，设计将III-V化合物半导体圆片FOUP12被夹持机械手放到一个平稳的托盘10上后再开始运输。具体来说，参见图1所示，所述夹持机械手通过一个升降液压缸9安装于可移动装置11上，该升降液压缸9的伸出端与夹持机械手的支撑板2底部固定连接，升降液压缸9的缸体固定在可移动装置11上，且升降液压缸9的缸体上部水平设置有一个托盘10，该托盘10位于夹持滚轮8的下方。当夹持机械手夹紧了III-V化合物半导体圆片FOUP12后，夹持机械手连同被夹紧的III-V化合物半导体圆片FOUP12在升降液压缸9的作用下下降，此时，夹持机械手的两个夹持手指7松开III-V化合物半导体圆片FOUP12(即推拉液压缸1将推杆梯形块3拉回，使得夹持机械手恢复如图2的张开状态)，使得III-V化合物半导体圆片FOUP12降落到固定在升降液压缸9的托盘10上；然后，托盘10连同III-V化合物半导体圆片FOUP12在可移动装置11的带动下实现水平方向的位移与旋转，从而将III-V化合物半导体圆片FOUP12从一台设备转运到另一台设备上，然后在其他部件的配合操作下将III-V化合物半导体圆片FOUP12放到对应位置，从而实现不同工位上取放III-V化合物半导体圆片FOUP12。

再进一步地，为了使得两个夹持手指7能够更好的夹持住III-V化合物半导体圆片FOUP12，从而保证夹持过程的稳定性。本实施例中，在两个夹持手指7的夹持滚轮8表面设置有防滑垫(图未示)，该防滑垫可以保证夹持状态时不会滑动。在此基础上，参见图4所示，本实施例中，在III-V化合物半导体圆片FOUP12相对的两侧面设置有用于配合两个夹持手指7夹持的弧形凹陷12a，并且该弧形凹陷12a处还设置有防滑垫，可以保证夹持过程的稳定性。

更进一步地，实际操作时，所述可移动装置11可选用任意一种可实现水平方向位移与旋转的装置或组件，例如移动小车或其他结构组件。本实施例中，如图1所示，所述可移动装置11包括长条形的固定底座11b和设置在固定底座11b上的旋转移动底座11a，该夹持机械手固定安装于旋转移动底座11a的顶部，并在旋转移动底座11a的带动下实现旋转以及沿着固定底座11b的中轴线实现水平方向的位移。

本实用新型不局限于上述最佳实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本实用新型相同或相近似的技术方案，均在其保护范围之内。

Claims (9)

1.一种III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述夹持机械手安装于可移动装置(11)上，在可移动装置(11)的带动下实现水平方向的位移与旋转；

所述夹持机械手包括支撑板(2)，该支撑板(2)固定于可移动装置(11)上且水平设置；所述支撑板(2)的顶部水平设置有推拉液压缸(1)，所述推拉液压缸(1)的缸体与支撑板(2)固定连接，伸出端固定连接有推杆梯形块(3)；所述推杆梯形块(3)两腰所在的侧面分别设置有一个夹持手指(7)，每个夹持手指(7)的末端通过一个滑动滚轮(4)与推杆梯形块(3)的侧面滑动连接，每个夹持手指(7)的前端设置有用于夹持III-V化合物半导体圆片FOUP(12)的夹持滚轮(8)；两个夹持手指(7)的中部均通过销钉(6)固定在支撑板(2)上，并可绕销钉(6)转动，且两个夹持手指(7)之间通过一根弹簧(5)连接。

2.如权利要求1所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述夹持机械手通过一个升降液压缸(9)安装于可移动装置(11)上，所述升降液压缸(9)的伸出端与所述夹持机械手的支撑板(2)底部固定连接，缸体固定在可移动装置(11)上；且所述升降液压缸(9)的缸体上部水平设置有一个托盘(10)，所述托盘(10)位于夹持滚轮(8)的下方。

3.如权利要求1所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：在两个夹持手指(7)的夹持滚轮(8)表面设置有防滑垫。

4.如权利要求1所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述III-V化合物半导体圆片FOUP(12)的相对两侧面设置有用于配合两个夹持手指(7)夹持的弧形凹陷(12a)。

5.如权利要求4所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述弧形凹陷(12a)处设置有防滑垫。

6.如权利要求1所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述可移动装置(11)为可实现水平方向位移与旋转的移动小车。

7.如权利要求1所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述可移动装置(11)包括长条形的固定底座(11b)和设置在固定底座(11b)上的旋转移动底座(11a)；所述夹持机械手固定安装于旋转移动底座(11a)的顶部，并在旋转移动底座(11a)的带动下实现旋转以及沿固定底座(11b)的中轴线实现水平方向的位移。

8.如权利要求1至7中任一项所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述夹持机械手处于未工作状态时，弹簧(5)处于自然状态，两个夹持手指(7)在弹簧(5)作用下是张开状态。

9.如权利要求1至7中任一项所述的III-V化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械手，其特征在于：所述夹持机械手处于工作状态时，推杆梯形块(3)在推拉液压缸(1)的作用下向III-V化合物半导体圆片FOUP(12)方向移动，同时带动两个滑动滚轮(4)在推杆梯形块(3)的两侧面滚动，两个夹持手指(7)在弹簧(5)的张力作用下绕固定的销钉(6)转动，实现对III-V化合物半导体圆片FOUP(12)的夹紧。