CN111687144A - 一种等离子自动清洗设备及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种等离子自动清洗设备，属于半导体加工技术领域；其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；本发明提供了一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。

Description

一种等离子自动清洗设备及其工作方法

技术领域

本发明涉及一种等离子自动清洗设备及其工作方法，属于半导体加工技术领域。

背景技术

等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新清洗技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果；等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

目前等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，但目前的等离子清洗机在取片时大多是采用人工取片，即人工将待清洗的物料板放置在清洗腔内，清洗完成后再由人工从清洗腔内取出，这样不仅降低了清洗的效率，且增加了大量人工成本，经济效益低下。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种等离子自动清洗设备，其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内。

进一步地，所述清洗机构包括设置在机台上的清洗腔盘、与机架滑动连接的转动座、与转动座转动铰接的转动支撑梁、设置在转动支撑梁上的盖壳以及能够限制转动支撑梁转动的限位装置，所述盖壳设置在清洗腔盘上方，所述清洗腔盘内设有能够允许物料板滑动的清洗腔滑槽，所述盖壳能够密封盖设在清洗腔盘上。

进一步地，所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾，所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧。

进一步地，所述储料装置包括与机架竖向滑动连接的料盒，所述料盒内设有多层相互平行的储料滑槽，物料板能够在储料滑槽内滑动，所述料盒能够穿出至机架上方。

进一步地，所述送料装置包括设置在机架上的推料机构以及推料驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与推料驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧连接。

进一步地，所述推头包括推料导向板以及设置在推料导向板前方的推块，所述推块上设有推料豁口，所述推料导向板上设有弯曲的加强槽，所述加强槽的延伸方向与推料方向平行，所述加强槽的下表面与传送板带贴合；所述推料导向板相邻的两棱边经倒角过渡连接，所述推料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。

进一步地，所述回料装置包括与机架滑动连接的安装座、与安装座滑动连接的连接块、设置在连接块上的双头推板、设置在连接块与安装座之间的弹性装置以及设置在连接块与安装座之间的位移检测装置，所述连接块滑动方向与送料方向平行，所述双头推板两端设有内凹的回料豁口，所述回料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。

进一步地，所述储料装置与送料装置之间还设有送料挡板，所述送料挡板上设有过渡孔，所述过渡孔内设有过渡滑槽，所述储料装置内的物料板能够经过过渡滑槽进入清洗机构内，所述清洗机构内的物料板能够经过过渡滑槽进入储料装置内。

一种上述的等离子自动清洗设备，其工作方法包括以下步骤：

A、将待清洗的物料板放置在两侧的料盒的储料滑槽内，竖向升起盖壳使盖壳与清洗腔盘脱离，将回料装置移动至清洗机构的一侧外，

B、移动两侧的料盒直至料盒最下方的物料板与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；

C、启动距离回料装置较远一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板完全推送至清洗滑槽内后，该侧的送料装置的推头复位，盖壳下移，直至密封盖设在清洗腔盘上，启动清洗机构，开始清洗；

D、清洗完成后，提升盖壳，启动回料装置将清洗后的物料板推送回料盒后，降下料盒使相邻的上一层物料板移动至与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；

E、与步骤D同一时刻，启动另一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板推送至清洗腔盘的清洗滑槽内；

F、回料装置移动至清洗机构外侧，另一侧的送料装置将物料板完全推送至清洗槽内后，该侧的送料装置复位，盖壳下压密封盖设在清洗腔盘内，启动清洗机构，开始清洗；

G、重复D-F步骤，直至两侧料盒内所有的物料板均被清洗完，停止设备运行，取下料盒，取出物料板。

与现有技术相比，本发明所达到的有益效果：

本技术方案设有送料装置、储料装置以及回料装置，能够实现物料板的自动进料与回料，减少了人工作业量，提升了作业效率；

本技术方案在清洗机构两侧均设有送料装置与储料装置，在送料的同时能够进行另一侧的回料作业，两侧的送料与回料作业交替重复进行，有效利用了设备作业时间，缩短了单次清洗的周期，提升了作业效率

本技术方案的送料装置的传送板带弯折设置，充分利用了设备的上部空间，减少了设备的水平占地空间，设备紧凑性、集成度更高，同样的水平区域内能够设置更多的设备，提升了作业效率；

本技术方案的回料装置能够分别将清洗后的物料板推送至两侧的储料装置内，方便快捷，效率高；

本技术方案的回料装置设有位移感应装置能够时时获知双头推板是工作状态，减少物料板与设备的损坏，方便人员操作；

本技术方案的清洗机构设有限位装置，能够在盖壳掀起后对盖壳进行限位固定，为操作人员提供了方便，确保了使用安全性。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的主视结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的立体结构示意图；

图3是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的局部结构放大示意图；

图4是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的料盒的立体结构局部放大示意图；

图5是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的立体结构示意图；

图6是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的推料机构的立体结构示意图；

图7是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的推料头的立体结构示意图；

图8是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的清洗机构的局部结构使用状态示意图1；

图9是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的清洗机构的局部结构使用状态示意图2；

图10是本发明实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的回料装置的立体结构示意图。

标号说明：1-机架、2-清洗机构、3-送料装置、4-储料装置、5-回料装置、6-罩壳、7-物料板、8-清洗腔盘、9-转动座、10-转动支撑梁、11-盖壳、12-限位装置、13-清洗腔滑槽、14-水平限位挂轴、15-掀盖限位挂轴、16-限位挂勾、17-料盒、18-储料滑槽、19-推料机构、20-推料驱动机构、21-导向座、22-传送板带、23-推料头、24-导向轮、25-弹性连杆、26-弹簧、27-推料导向板、28-推块、29-推料豁口、30-加强槽、31-倒角、32-安装座、33-连接块、34-双头推板、35-弹性装置、36-位移检测装置、37-回料豁口、38-送料挡板、39-过渡孔、40-过渡滑槽。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如附图所述的一种等离子自动清洗设备，其包括机架1、设置在机架上的清洗机构2、分设在清洗机构两侧外的送料装置3、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置4、与机架滑动连接的回料装置5以及罩设在外周的罩壳6，所述送料装置能够将物料板7从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；

清洗机构需要提供清洗用的等离子体且需要在真空下作业，清洗机构的两侧均设有送料装置与储料装置，两侧均能够进行送料和回料，作业效率更高，回料装置用于将清洗后的物料板推回至储料装置内，待清洗的物料板和清洗后的物料板均放置在同一个储料装置内，收集更整理方便，效率更高，成本更低；

整个装置能够实现自动送料、自动清洗、自动回料收纳，极大地减少了人工作业量，提升了清洗效率，经济效益更好。

所述清洗机构包括设置在机台上的清洗腔盘8、与机架滑动连接的转动座9、与转动座转动铰接的转动支撑梁10、设置在转动支撑梁上的盖壳11以及能够限制转动支撑梁转动的限位装置12，所述盖壳设置在清洗腔盘上方，所述清洗腔盘内设有能够允许物料板滑动的清洗腔滑槽13，所述盖壳能够密封盖设在清洗腔盘上；

清洗腔盘下连接有等离子发生器，清洗滑槽用于放置物料板并为物料板滑动提供导向；需要清洗之前，将盖壳转动至与清洗腔盘平行的位置后限位，然后降下盖壳，直至其密封压盖在清洗腔盘上，压盖为金属材质，质量较重，依靠自身重力即能够密封压盖在清洗腔盘上，清洗腔盘内连接有抽真空装置，物料板在真空状态下进行等离子清洗。

所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴14、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴15以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾16，所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧；

清洗腔盘一般水平放置，水平限位挂轴与限位挂勾配合能够将盖壳限位在水平状态，方便盖壳能够密封压盖在清洗腔盘上，为了保证密封效果，盖壳与清洗腔盘之间还设有橡胶圈，为了便于观察，盖壳外周还应设有透明的观察窗，如需进入清洗腔盘内操作时，需要将盖壳掀开且长期保持掀开状态，此时将盖壳上掀至指定位置后，将限位挂勾勾设在掀盖限位挂轴上即能够让盖壳一直保持掀开状态，使用更方便也更安全。

所述储料装置包括与机架竖向滑动连接的料盒17，所述料盒内设有多层相互平行的储料滑槽18，物料板能够在储料滑槽内滑动，所述料盒能够穿出至机架上方；

料盒与机架的滑动连接可通过导柱导套、滑轨滑套等直线运动模组实现，驱动装置可由电动丝杠同步带等装置结构实现，料盒用于存放物料板，每层储料滑槽内只放置一片物料板，送料装置每次只推送一层储料滑槽内的物料板至清洗机构内，且清洗完成后的物料板仍被回料装置推送至原来的储料滑槽内，收纳整理效率更高，使用更方便。

所述送料装置包括设置在机架上的推料机构19以及推料驱动机构20，所述推料机构包括导向座21、与导向座滑动连接的传送板带22、设置在传送板带前端的推料头23以及导向轮24，所述传送板带另一端与推料驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆25连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧26连接；

推料驱动装置需要驱动传送板带的一端往复移动，其与机架之间的滑动连接可采用滑轨滑套配合的直线运动模组来实现，驱动力可由丝杠螺母副或同步带提供，

传送板带呈折弯状，传送路径为非水平状态，有效利用了设备的其他空间，提升了推送料的行程，能够在同样的水平空间内放置更多的设备提升作业效率，或者同样的清洗作业量，设备占用的水平空间更小，使用更方便，经济效益更高。

所述推头包括推料导向板27以及设置在推料导向板前方的推块28，所述推块上设有推料豁口29，所述推料导向板上设有弯曲的加强槽30，所述加强槽的延伸方向与推料方向平行，所述加强槽的下表面与传送板带贴合；所述推料导向板相邻的两棱边经倒角31过渡连接，所述推料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离；

推料头用于推送物料板，在使用时需要将物料板从料盒内推送至清洗腔盘内，推料豁口梯形设置能够保证推块推送物料时的对接容错率，卡料豁口前端开口较大，与物料可能的接触距离较大，能够减少推送物料时偏离物料而空载的概率，而且梯形设置能够在推送物料时，自动将物料导向归正至豁口后端，推料导向板四周由倒角过渡能够使推料导向板前后两端的宽度小于中间的宽度，更方便与料盒内的料槽对接，更加顺畅地插入料槽或从料槽内抽出，减少卡死，类似的圆角结构也能够满足需求；

传送板带被卡设在导向轮与导向座之间，导向轮起到导向作用，能够保证整个传送板带的传送路径形状的稳定性与传送板带的传送的平稳性；

传送板带采用类似“卷尺”的材料和结构，自然状态下截面成弧形，具有一定的结构强度，能够满足设备所需的推送料的需求，能够保证在推送料过程中的外力作用下，卷尺不会发生局部隆起等变形；同时本身具有一定的弹性，在外力作用下克服自身的结构强度后，各处均能够按需弯折，并且在无外力作用下又能够及时恢复原状，保持原有的结构强度；

传送板带经导向轮弯折后，形成了水平传送段和倾斜传送段，为了保证水平传送段的传送板带的形状与结构强度稳定，导向座顶面、导向轮外周以及加强槽均应与传送板带贴合设置，避免传送板带在该段传送时发生形变，影响传送，传送板带在倾斜传送段传送时，在自身弹力作用下能够保持整体直线状且截面为弧形，确保拥有一定的结构强度，能够满足传送的推力需求；

导向轮能够克服传送板带自身的结构强度，使其发生弯折形变，但为确保传送板带在传送过程中能够顺利传递推力，传送板带需一直处于绷紧状态，不能发生隆起变形，导向轮与导向座之间弹性连接能够保证经过导向轮挤压导向后，传送板带始终处于绷紧状态，能够保证推料推力的顺利传递，确保工作稳定性。

所述回料装置包括与机架滑动连接的安装座32、与安装座滑动连接的连接块33、设置在连接块上的双头推板34、设置在连接块与安装座之间的弹性装置35以及设置在连接块与安装座之间的位移检测装置36，所述连接块滑动方向与送料方向平行，所述双头推板两端设有内凹的回料豁口37，所述回料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离；

双头推板用于双向推送料板，将物料板从清洗滑槽内推送至储料滑槽内，正常推送物料板时，物料板与清洗滑槽之间的摩擦力为定值或在一定范围内，与之对应的弹性装置的伸缩量为定值或在一定范围内，将该定值或范围标记为正常工作状态，位移检测装置感应到连接块相较于安装座的移动在该范围内，则说明推头处于正常的推料状态；

若料板与滑槽卡死，则料板与滑槽之间的阻力较大，弹性装置的伸缩量较大，大于正常推料时的伸缩量，与之对应的位移检测装置感应到的连接块的位移也大于正常工作状态所对应的范围，位移检测装置常与设备的控制板及显示器连接，能够将连接块的移动情况及时反馈给操作人员，方便操作人员时时了解推料状态，及时获知推料卡死，及时响应下一步操作；

弹性装置采用弹簧，安装使用方便能够在设备空闲时使双头推板及时复位，方便使用；

位移传感器为常见的标准电子元件应包括设置在连接块上的感应片以及设置在安装座上的位移传感器；位移传感器用于感应连接块的位移并以此为根据判定推头的推料状态；方便操作人员及时获知设备运行状态，及时调整，确保使用安全性。

所述储料装置与送料装置之间还设有送料挡板38，所述送料挡板上设有过渡孔39，所述过渡孔内设有过渡滑槽40，所述储料装置内的物料板能够经过过渡滑槽进入清洗机构内，所述清洗机构内的物料板能够经过过渡滑槽进入储料装置内；

料盒端部靠设在送料挡板上，能够避免料盒在送料装置推送物料板时发生移动，过渡滑槽应与推料豁口、储料滑槽、清洗滑槽以及回料豁口在同一水平面上，物料板始终在滑槽内移动，由滑槽提供重力支撑，送料装置与回料装置只提供水平面的推力。

一种上述的等离子自动清洗设备，其工作方法包括以下步骤：

A、将待清洗的物料板放置在两侧的料盒的储料滑槽内，竖向升起盖壳使盖壳与清洗腔盘脱离，将回料装置移动至清洗机构的一侧外；

B、移动两侧的料盒直至料盒最下方的物料板与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；

C、启动距离回料装置较远一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板完全推送至清洗滑槽内后，该侧的送料装置的推头复位，盖壳下移，直至密封盖设在清洗腔盘上，启动清洗机构，开始清洗；

D、清洗完成后，提升盖壳，启动回料装置将清洗后的物料板推送回料盒后，降下料盒使相邻的上一层物料板移动至与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；

E、与步骤D同一时刻，启动另一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板推送至清洗腔盘的清洗滑槽内；

F、回料装置移动至清洗机构外侧，另一侧的送料装置将物料板完全推送至清洗槽内后，该侧的送料装置复位，盖壳下压密封盖设在清洗腔盘内，启动清洗机构，开始清洗；

G、重复D-F步骤，直至两侧料盒内所有的物料板均被清洗完，停止设备运行，取下料盒，取出物料板；

每个步骤中提到的另一侧均是针对上一步骤说明，为方便说明，该方法是从料盒最下方的物料板进行清洗，但本领域技术人员很容易想到该方法同样可适用于从料盒的最上方物料板进行清洗，相应步骤中的降下料盒替换成升起料盒即可，

将一侧的送料作业与另一侧的回料作业同时进行，两侧的送料作业与回料作业交替进行，极大地提升了作业效率，减少了设备的空闲等待时间。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种等离子自动清洗设备，其特征在于：包括机架（1）、设置在机架上的清洗机构（2）、分设在清洗机构两侧外的送料装置（3）、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置（4）、与机架滑动连接的回料装置（5）以及罩设在外周的罩壳（6），所述送料装置能够将物料板（7）从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内。

2.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述清洗机构包括设置在机台上的清洗腔盘（8）、与机架滑动连接的转动座（9）、与转动座转动铰接的转动支撑梁（10）、设置在转动支撑梁上的盖壳（11）以及能够限制转动支撑梁转动的限位装置（12），所述盖壳设置在清洗腔盘上方，所述清洗腔盘内设有能够允许物料板滑动的清洗腔滑槽（13），所述盖壳能够密封盖设在清洗腔盘上。

3.根据权利要求2所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴（14）、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴（15）以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾（16），所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧。

4.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述储料装置包括与机架竖向滑动连接的料盒（17），所述料盒内设有多层相互平行的储料滑槽（18），物料板能够在储料滑槽内滑动，所述料盒能够穿出至机架上方。

5.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述送料装置包括设置在机架上的推料机构（19）以及推料驱动机构（20），所述推料机构包括导向座（21）、与导向座滑动连接的传送板带（22）、设置在传送板带前端的推料头（23）以及导向轮（24），所述传送板带另一端与推料驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆（25）连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧（26）连接。

6.根据权利要求5所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述推头包括推料导向板（27）以及设置在推料导向板前方的推块（28），所述推块上设有推料豁口（29），所述推料导向板上设有弯曲的加强槽（30），所述加强槽的延伸方向与推料方向平行，所述加强槽的下表面与传送板带贴合；所述推料导向板相邻的两棱边经倒角（31）过渡连接，所述推料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。

7.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述回料装置包括与机架滑动连接的安装座（32）、与安装座滑动连接的连接块（33）、设置在连接块上的双头推板（34）、设置在连接块与安装座之间的弹性装置（35）以及设置在连接块与安装座之间的位移检测装置（36），所述连接块滑动方向与送料方向平行，所述双头推板两端设有内凹的回料豁口（37），所述回料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。

8.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述储料装置与送料装置之间还设有送料挡板（38），所述送料挡板上设有过渡孔（39），所述过渡孔内设有过渡滑槽（40），所述储料装置内的物料板能够经过过渡滑槽进入清洗机构内，所述清洗机构内的物料板能够经过过渡滑槽进入储料装置内。

9.一种如权利要求1-8中任意一项所述的等离子自动清洗设备，其工作方法包括以下步骤：

将待清洗的物料板放置在两侧的料盒的储料滑槽内，竖向升起盖壳使盖壳与清洗腔盘脱离，将回料装置移动至清洗机构的一侧外，

移动两侧的料盒直至料盒最下方的物料板与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；

启动距离回料装置较远一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板完全推送至清洗滑槽内后，该侧的送料装置的推头复位，盖壳下移，直至密封盖设在清洗腔盘上，启动清洗机构，开始清洗；

清洗完成后，提升盖壳，启动回料装置将清洗后的物料板推送回料盒后，降下料盒使相邻的上一层物料板移动至与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；

与步骤D同一时刻，启动另一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板推送至清洗腔盘的清洗滑槽内；

回料装置移动至清洗机构外侧，另一侧的送料装置将物料板完全推送至清洗槽内后，该侧的送料装置复位，盖壳下压密封盖设在清洗腔盘内，启动清洗机构，开始清洗；

重复D-F步骤，直至两侧料盒内所有的物料板均被清洗完，停止设备运行，取下料盒，取出物料板。

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