TWI754519B - 等離子清洗機 - Google Patents

Abstract

本發明提出一種等離子清洗機。等離子清洗機包括清洗機本體、活動台、夾持治具及腔體組件。其中，清洗機本體包括工作台；活動台可活動地安裝於工作台上，活動台包括第一活動台和第二活動台，第一活動台與第二活動台在工作台上的位置可以切換；夾持治具包括第一夾持治具和第二夾持治具，第一夾持治具安裝於第一活動台上，第二夾持治具安裝於第二活動台上；腔體組件可選擇性地蓋合於第一活動台和第二活動台的其中之一而形成密封腔，以使得第一夾持治具和第二夾持治具可交替地處於密封腔內。本發明的等離子清洗機，能夠解決現有等離子清洗機結構複雜的技術問題，降低等離子清洗機的製造成本。

Description

等離子清洗機

本發明涉及清洗技術領域，特別涉及一種等離子清洗機。

等離子清洗機是利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。現有的等離子清洗機，在對夾持治具上的基板進行清洗時，通常是將夾持治具固定安裝於腔體組件上，這樣造成等離子清洗機的結構較為複雜，零件較多造成等離子清洗機的製造成本高。

因此，有必要提出一種等離子清洗機，以解決上述問題。

本發明的主要目的是提出一種等離子清洗機，旨在解決現有等離子清洗機結構複雜的技術問題，降低等離子清洗機的製造成本。

為實現上述目的，本發明提出一種等離子清洗機，所述等離子清洗機包括清洗機本體、活動台、夾持治具及腔體組件。其中，所述清洗機本體包括工作台；所述活動台可活動地安裝於所述工作台上，所述活動台包括第一活動台和第二活動台，所述第一活動台與所述第二活動台在所述工作台上的位置可以切換；所述夾持治具包括第一夾持治具和第二夾持治具，所述第一夾持治具安裝於所述第一活動台上，所述第二夾持治具安裝於所述第二活動台上；所述腔體組件可選擇性地蓋合於所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一而形成密封腔，以使得所述第一夾持治具和所述第二夾持治具可交替地處於所述密封腔內。

可選地，所述腔體組件包括上蓋腔體、下蓋腔體及驅動裝置，所述驅動裝置用於驅動所述上蓋腔體和所述下蓋腔體進行上升或者下降調節；所述工作台上設有工作區，所述上蓋腔體設於所述工作區的上方，所述下蓋腔體設於所述工作區的下方，所述第一活動台和所述第二活動台可交替地進入所述工作區，所述上蓋腔體和所述下蓋腔體與所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一的上下兩側蓋合而形成所述密封腔。

可選地，所述活動台可滑動地安裝於所述工作台上，以使得所述第一活動台與所述第二活動台通過滑動來切換位置；或者，所述活動台可轉動地安裝於所述工作台上，以使得所述第一活動台與所述第二活動台通過轉動來切換位置。

可選地，所述第一活動台包括第一活動本體和兩個第一滑軌組件，兩個所述第一滑軌組件相對設置的安裝於所述工作台上，所述第一活動本體安裝於兩個所述第一滑軌組件上，所述第一活動本體的兩端分別與兩個所述第一滑軌組件滑動連接。

可選地，所述第二活動台包括第二活動本體和兩個第二滑軌組件，兩個所述第二滑軌組件相對設置的安裝於所述工作台上並位於兩個所述第一滑軌組件之間，所述第二活動本體安裝於兩個所述第二滑軌組件上，所述第二活動本體的兩端分別與兩個所述第二滑軌組件滑動連接。

可選地，所述活動台還包括傳送機構，所述傳送機構包括傳送電機、傳送帶組件和傳送固定件，所述傳送固定件的數量為兩個，其中一個所述傳送固定件安裝於所述傳送帶組件上並與所述第一活動本體固定連接，另外一個所述傳送固定件安裝於所述傳送帶組件上並與所述第二活動本體固定連接，所述傳送電機能驅動所述傳送帶組件做往復運動，以使得所述第一活動本體與所述第二活動本體在所述工作台上的位置可以切換。

可選地，所述上蓋腔體包括上蓋本體和第一電極，所述上蓋本體具有空腔，所述第一電極設於所述空腔內；所述下蓋腔體包括下蓋本體、玻璃板和第二電極，所述玻璃板安裝於所述下蓋本體上，所述玻璃板上設有絕緣座，所述第二電極安裝於所述絕緣座上。

可選地，所述驅動裝置包括上蓋升降機構和下蓋升降機構，所述上蓋升降機構安裝於所述工作台上並位於所述工作區的上方，所述上蓋升降機構能驅動所述上蓋腔體在所述工作區內進行上升或者下降調節，以使得所述上蓋腔體可選擇性地與所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一蓋合或者打開；所述下蓋升降機構設於所述工作區的下方，所述下蓋升降機構能驅動所述下蓋腔體在所述工作區內進行上升或者下降調節，以使得所述下蓋腔體可選擇性地與所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一蓋合或者打開。

可選地，所述第一活動台包括第一安裝件，所述第二活動台包括第二安裝件，所述第一夾持治具安裝於所述第一安裝件上，所述第二夾持治具安裝於所述第二安裝件上，所述第一夾持治具與所述第二夾持治具相同，所述第二夾持治具具有夾槽，所述夾槽的寬度可調；所述清洗機本體還包括控制器和調節裝置，所述調節裝置安裝於所述第二夾持治具的一側，所述調節裝置與所述控制器電連接，所述調節裝置用於調節所述夾槽的寬度。

可選地，所述第二夾持治具包括固定部和活動部，所述固定部固定安裝於所述第二安裝件上，所述活動部與所述固定部活動連接，所述固定部和所述活動部之間配合形成所述夾槽，所述調節裝置驅動所述活動部沿所述固定部移動以調節所述夾槽的寬度。

本發明的技術方案，通過將第一夾持治具安裝於第一活動台上和第二夾持治具安裝於第二活動台上，第一活動台與第二活動台在工作台上的位置可以切換，腔體組件可選擇性地蓋合於第一活動台和第二活動台的其中之一而形成密封腔，以使得第一夾持治具和第二夾持治具可交替地處於密封腔內，相對於現有的等離子清洗機將夾持治具固定安裝於腔體組件上而言，通過第一夾持治具和第二夾持治具可交替地處於密封腔內，簡化了等離子清洗機的結構，減少了零件，降低了等離子清洗機的製造成本。

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對於本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖示出的結構獲得其他的附圖。

本發明目的實現、功能特點及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。

需要說明，若本發明實施例中有涉及方向性指示（諸如上、下、左、右、前、後……），則該方向性指示僅用於解釋在某一特定姿態（如附圖所示）下各部件之間的相對位置關係、運動情況等，如果該特定姿態發生改變時，則該方向性指示也相應地隨之改變。

另外，若本發明實施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，則該“第一”、“第二”等的描述僅用於描述目的，而不能理解為指示或暗示其相對重要性或者隱含指明所指示的技術特徵的數量。由此，限定有“第一”、“第二”的特徵可以明示或者隱含地包括至少一個該特徵。另外，各個實施例之間的技術方案可以相互結合，但是必須是以本領域普通技術人員能夠實現為基礎，當技術方案的結合出現相互矛盾或無法實現時應當認為這種技術方案的結合不存在，也不在本發明要求的保護範圍之內。

本發明提供一種等離子清洗機，所述等離子清洗機是利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果，所述等離子清洗機能夠解決現有等離子清洗機結構複雜的技術問題，降低等離子清洗機的製造成本。

請參閱圖1至圖3，本發明的等離子清洗機10的一實施例中，等離子清洗機10包括清洗機本體100、活動台200、夾持治具300及腔體組件400。其中，清洗機本體100包括工作台130；活動台200可活動地安裝於工作台130上，活動台200包括第一活動台210和第二活動台220，第一活動台210與第二活動台220在工作台130上的位置可以切換；夾持治具300包括第一夾持治具310和第二夾持治具320，第一夾持治具310安裝於第一活動台210上，第二夾持治具320安裝於第二活動台220上；腔體組件400可選擇性地蓋合於第一活動台210和第二活動台220的其中之一而形成密封腔，以使得第一夾持治具310和第二夾持治具320可交替地處於密封腔內。

具體說來，清洗機本體100還包括上機架110、下機架120和控制器140，上機架110罩蓋於下機架120上，工作台130安裝於下機架120上，工作台130呈鏤空設置。控制器140包括觸控式螢幕和控制模組，控制模組包括電控板及與電控板連接的控制按鍵，觸控式螢幕安裝於上機架110上，以方便對觸控式螢幕進行操作，電控板上設有控制程式，電控板與腔體組件400電連接，通過操作觸控式螢幕及控制按鍵能對腔體組件400進行控制，使得腔體組件400可選擇性地蓋合於第一活動台210和第二活動台220的其中之一而形成密封腔，進而使得第一夾持治具310和第二夾持治具320可交替地處於密封腔內。

進一步地，活動台200可活動地安裝於工作台130的方式有多種設計方式，例如但不局限於：活動台200通過滑動連接的方式安裝於工作台130上，或者活動台200通過轉動的方式安裝於工作台130上。具體在後文還有詳細介紹。等離子清洗機10還包括輸送模組，輸送模組安裝於工作台130上，輸送模組適用於將基板輸送給夾持治具300，以使得夾持治具300能對基板進行夾持固定，進而方便腔體組件400對夾持治具300上的基板進行清洗。

本發明的技術方案，通過將第一夾持治具310安裝於第一活動台210上和第二夾持治具320安裝於第二活動台220上，第一活動台210與第二活動台220在工作台130上的位置可以切換，腔體組件400可選擇性地蓋合於第一活動台210和第二活動台220的其中之一而形成密封腔，以使得第一夾持治具310和第二夾持治具320可交替地處於密封腔內，相對於現有的等離子清洗機10將夾持治具300固定安裝於腔體組件400上而言，通過第一夾持治具310和第二夾持治具320可交替地處於密封腔內，簡化了等離子清洗機10的結構，減少了零件，降低了等離子清洗機10的製造成本。

請參閱圖2至圖4，在一實施例中，為了簡化等離子清洗機10的結構，可選地，腔體組件400包括上蓋腔體410、下蓋腔體420及驅動裝置430，驅動裝置430用於驅動上蓋腔體410和下蓋腔體420進行上升或者下降調節；工作台130上設有工作區131，上蓋腔體410設於工作區131的上方，下蓋腔體420設於工作區131的下方，第一活動台210和第二活動台220可交替地進入工作區131，上蓋腔體410和下蓋腔體420與第一活動台210和第二活動台220的其中之一的上下兩側蓋合而形成密封腔。

具體說來，工作台130上的工作區131為上蓋腔體410與下蓋腔體420蓋合形成密封腔的區域，第一活動台210和第二活動台220可交替地進入工作區131，上蓋腔體410設於工作區131的上方並且能進行上升或者下降調節，使得上蓋腔體410能在工作區131內可選擇性地蓋合或者打開於第一活動台210或者第二活動台220的其中一個；下蓋腔體420設於工作區131的下方並能進行上升或者下降調節，使得下蓋腔體420能在工作區131內可選擇性的蓋合或者打開於第一活動台210或者第二活動台220的其中一個。

進一步地，第一活動台210和第二活動台220可交替地進入工作區131，使得上蓋腔體410和下蓋腔體420可以同時蓋合處於工作區131的第一活動台210的上下兩側而形成密封腔，進而使得安裝於第一活動台210上的第一夾持治具310也處於密封腔內，進而方便對第一夾持治具310上的基板進行清洗；或者上蓋腔體410和下蓋腔體420可以同時蓋合處於工作區131的第二活動台220的上下兩側而形成密封腔，進而使得安裝於第二活動台220上的第二夾持治具320也處於密封腔內，進而方便對第二夾持治具320上的基板進行清洗。這樣的清洗方式，相對於現有的夾持治具300固定安裝於下蓋腔體420而言，減少了下蓋腔體420的數量，下蓋腔體420的數量由兩個減少為一個，進而減少了等離子清洗機10的零件，簡化了等離子清洗機10的結構，降低了等離子清洗機10的製造成本，以及方便對上蓋腔體410和下蓋腔體420進行維護保養。

請參閱圖2至圖4，在一實施例中，為了使第一活動台210與第二活動台220在工作台130上的位置可以切換，可選地，活動台200可滑動地安裝於工作台130上，以使得第一活動台210與第二活動台220通過滑動來切換位置；或者，活動台200可轉動地安裝於工作台130上，以使得第一活動台210與第二活動台220通過轉動來切換位置。

例如，工作台130上設有兩個滑軌組件，第一活動台210和第二活動台220分別安裝於一個滑軌組件上，第一活動台210和第二活動台220沿著滑軌組件通過滑動的方式來切換位置；或者，工作台130上設有轉動架，第一活動台210和第二活動台220分別安裝於轉動架的兩側，第一活動台210和第二活動台220在轉動架上通過轉動的方式來切換位置。

請參閱圖5至圖7，在本實施例中，第一活動台210和第二活動台220採用滑動的方式來切換位置。具體地，第一活動台210包括第一活動本體211和兩個第一滑軌組件212，兩個第一滑軌組件212相對設置的安裝於工作台130上，第一活動本體211安裝於兩個第一滑軌組件212上，第一活動本體211的兩端分別與兩個第一滑軌組件212滑動連接。

進一步地，兩個第一滑軌組件212包括兩個第一滑軌和四個第一滑塊，兩個第一滑軌相對設置的安裝於工作台130上，每兩個第一滑塊安裝於一個第一滑軌上。第一活動本體211包括第一本體板和兩個第一側板，兩個第一側板安裝於第一本體板的相對兩側，第一側板的兩端分別與兩個第一滑塊固定連接，第一滑塊可以沿第一滑軌滑動，進而使得第一活動台210沿著第一滑軌可滑動的安裝於工作台130上。

此外，第一活動本體211的第一本體板和兩個第一側板之間形成有凹槽，第二活動台220可以沿著凹槽穿過，第一側板與第一本體板之間還設有第一加強筋，第一加強筋適用於加強第一本體板與兩個第一側板之間的強度，提高了第一活動台210的穩定性。

請參閱圖5至圖7，在本實施例中，第二活動台220包括第二活動本體221和兩個第二滑軌組件222，兩個第二滑軌組件222相對設置的安裝於工作台130上並位於兩個第一滑軌組件212之間，第二活動本體221安裝於兩個第二滑軌組件222上，第二活動本體221的兩端分別與兩個第二滑軌組件222滑動連接。

具體說來，兩個第二滑軌組件222包括兩個第二滑軌和四個第二滑塊，兩個第二滑軌相對設置的安裝於工作台130上並位移兩個第一滑軌之間，每兩個第二滑塊安裝於一個第二滑軌上。第二活動本體221包括第二本體板，第二本體板的相對兩端分別安裝於兩個第二滑塊上，以使得第二活動本體221沿著第二滑軌可滑動的安裝於工作台130上。第二本體板與第一本體板均呈鏤空設置。第二活動台220在工作台130上的高度尺寸小於第一活動台210的凹槽的高度尺寸，使得第二活動台220可以穿過第一活動台210的凹槽，進而實現了第一活動台210與第二活動台220在工作台130上的位置可以切換的功能。

請參閱圖5至圖7，在一實施例中，活動台200還包括傳送機構230，傳送機構230包括傳送電機231、傳送帶組件232和傳送固定件233，傳送固定件233的數量為兩個，其中一個傳送固定件233安裝於傳送帶組件232上並與第一活動本體211固定連接，另外一個傳送固定件233安裝於傳送帶組件232上並與第二活動本體221固定連接，傳送電機231能驅動傳送帶組件232做往復運動，以使得第一活動本體211與第二活動本體221在工作台130上的位置可以切換。

具體說來，傳送電機231與控制器140電連接，傳送帶組件232包括傳送帶和傳送軸，傳送軸的數量為兩個，兩個傳動軸設於傳動帶的兩端，傳動電機與其中一個傳動軸連接並固定安裝於工作台130上，傳送電機231能驅動傳送軸轉動以帶動傳送帶做往復運動。

進一步地，第一活動本體211的第一側板靠近傳送帶的一側設有第一固定槽，其中一個傳動固定件安裝於第一固定槽內並與傳送帶固定連接，第二活動本體221的第二本體板靠近傳送帶的一側設有第二固定槽，另外一個傳送固定件233安裝於第二固定槽內並與傳送帶固定連接，進而使得傳動帶能帶動第一活動本體211和第二活動本體221移動。當傳送電機231驅動傳送帶做往復運動時，第一活動本體211和第二活動本體221在工作台130上的位置可以隨著傳動帶的往復運動進行切換，進而實現了第一活動本體211與第二活動本體221自動切換位置的功能。這樣的切換方式，結構簡單，佔用空間小。

請參閱圖8和圖9，在一實施例中，上蓋腔體410包括上蓋本體411和第一電極412，上蓋本體411具有空腔，第一電極412設於空腔內；下蓋腔體420包括下蓋本體421、玻璃板和第二電極422，玻璃板安裝於下蓋本體421上，玻璃板上設有絕緣座，第二電極422安裝於絕緣座上。

具體說來，上蓋腔體410蓋合於下蓋腔體420上，第一電極412作為陽極電極，第二電極422作為陰極電極，下蓋本體421下方設有射頻電源，射頻電源通過導管與下蓋本體421連接，下蓋本體421上還設有氣體導入孔，氣體導入孔與下機架120內的儲氣罐通過氣體導管連接，儲氣罐內可以儲存氧、氬、氫等工作氣體，具體在本實施例中為氬氣。

進一步地，等離子清洗機10利用射頻電源產生的陰極電極和陽極電極之間的高壓交變電場將氬氣震盪成具有高反應活性或高能量的離子，然後對基板上的有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發性物質，然後由工作氣體及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到對基板表面進行清洗的目的。

此外，玻璃板為絕緣體，在第二電極422的下方形成阻隔，能夠減弱第二電極422下方的電場，這樣，在相同的清洗時間下，使用的射頻電源的功率更小，清洗時材料的溫度更低，射頻電源的壽命更長。

請參閱圖3至圖5，在一實施例中，驅動裝置430包括上蓋升降機構431和下蓋升降機構432，上蓋升降機構431安裝於工作台130上並位於工作區131的上方，上蓋升降機構431能驅動上蓋腔體410在工作區131內進行上升或者下降調節，以使得上蓋腔體410可選擇性地與第一活動台210和第二活動台220的其中之一蓋合或者打開；下蓋升降機構432設於工作區131的下方，下蓋升降機構432能驅動下蓋腔體420在工作區131內進行上升或者下降調節，以使得下蓋腔體420可選擇性地與第一活動台210和第二活動台220的其中之一蓋合或者打開。

具體說來，上蓋升降機構431包括上蓋安裝架、上蓋滑動機構、上蓋移動氣缸和上蓋連接組件，上蓋安裝架安裝於工作台130上，上蓋滑動機構和上蓋移動氣缸均安裝於上蓋安裝架上，上蓋連接組件安裝於上蓋安裝架上並與上蓋腔體410連接，上蓋移動氣缸能驅動上蓋腔體410進行上升或者下降調節。

進一步地，下蓋升降機構432包括下蓋安裝架、下蓋移動氣缸和下蓋連接組件，下蓋安裝架安裝於清洗機本體100內，下蓋移動氣缸安裝於下蓋安裝架上，下蓋連接組件安裝於下蓋安裝架上並與下蓋腔體420連接，下蓋移動氣缸能驅動下蓋腔體420進行上升或者下降調節。

請參閱圖5至圖7，在一實施例中，為了提高了夾持治具300的相容性，可選地，第一活動台210包括第一安裝件213，第二活動台220包括第二安裝件223，第一夾持治具310安裝於第一安裝件213上，第二夾持治具320安裝於第二安裝件223上，第一夾持治具310與第二夾持治具320相 同，第二夾持治具320具有夾槽，夾槽的寬度可調；清洗機本體100還包括控制器140和調節裝置150，調節裝置150安裝於第二夾持治具320的一側，調節裝置150與控制器140電連接，調節裝置150用於調節夾槽的寬度。

具體說來，第一安裝件213安裝於第一本體板上，第二安裝件223安裝於第二本體板上，第一安裝件213和第二安裝件223都呈鏤空設置。第一夾持治具310與第二夾持治具320相同，便於夾持治具300對基板進行交替更換，縮短了腔體組件400換料的閒置時間，提高了生產效率。

進一步地，調節裝置150包括治具調節件、水平位移機構和升降機構，治具調節件安裝於水平位移機構上，水平位移機構安裝於升降機構上，治具調節件設於第二安裝件223的下方，水平位移機構和升降機構分別與控制器140電連接，以使得治具調節件能穿過第二安裝件223而調節夾槽的寬度。通過控制器140能控制調節裝置150自動的對夾槽寬度進行調節，使得夾持治具300的夾槽具有不同的寬度，進而使得夾持治具300能夾持不同寬度尺寸的基板，提高了夾持治具300的相容性，以及提高了等離子清洗機10的適用性。

其中，水平位移機構包括第一直線模組、水平移動件和第一拖鏈組件，治具調節件安裝於第一直線模組上，第一直線模組安裝於水平移動件上，第一拖鏈組件與水平移動件連接，第一直線模組與第一拖鏈組件的移動方向相同，第一直線模組和第一拖鏈組件共同驅動治具調節件沿水平方向移動。升降機構包括支撐件、第二直線模組、升降移動件和第二拖鏈組件，第二直線模組安裝於支撐件上並與升降移動件連接，第二拖鏈組件與升降移動件連接，第二直線模組與第二拖鏈組件的移動方向相同，水平位移機構安裝於升降移動件上，第二直線模組和第二拖鏈組件共同驅動水平位移機構進行上升或者下降調節。

請參閱圖5至圖7，在一實施例中，第二夾持治具320包括固定部和活動部，固定部固定安裝於第二安裝件223上，活動部與固定部活動連接，固定部和活動部之間配合形成夾槽，調節裝置150驅動活動部沿固定部移動以調節夾槽的寬度。

具體說來，固定部包括固定框和固定杆，固定杆安裝於固定框的一側；活動部包括活動框和活動杆，活動杆安裝於活動框的一側並與固定杆安裝於固定框的一側相同，固定杆與活動杆之間形成夾槽，活動框可活動地安裝於固定框內，以使得夾槽的寬度可調。

進一步地，固定部包括固定框和固定杆，固定杆安裝於固定框的一側；活動部包括活動框和活動杆，活動杆安裝於活動框的一側並與固定杆安裝於固定框的一側相同，固定杆與活動杆之間形成夾槽，活動框可移動地安裝於固定框內，以使得夾槽的寬度可調。通過驅動活動部移動來調節夾槽寬度的方式簡單，易於操作。

以上所述僅為本發明的優選實施例，並非因此限制本發明的專利範圍，凡是在本發明的發明構思下，利用本發明說明書及附圖內容所作的等效結構變換，或直接/間接運用在其他相關的技術領域均包括在本發明的專利保護範圍內。

10:等離子清洗機

100:清洗機本體

110:上機架

120:下機架

130:工作台

131:工作區

140:控制器

150:調節裝置

200:活動台

210:第一活動台

211:第一活動本體

212:第一滑軌組件

213:第一安裝件

220:第二活動台

221:第二活動本體

222:第二滑軌組件

223:第二安裝件

230:傳送機構

231:傳送電機

232:傳送帶組件

233:傳送固定件

300:夾持治具

310:第一夾持治具

320:第二夾持治具

400:腔體組件

410:上蓋腔體

411:上蓋本體

412:第一電極

420:下蓋腔體

421:下蓋本體

422:第二電極

430:驅動裝置

431:上蓋升降機構

432:下蓋升降機構

圖1為本發明的等離子清洗機一實施例的結構示意圖； 圖2為圖1中等離子清洗機的部分結構示意圖； 圖3為圖2中等離子清洗機的部分結構示意圖； 圖4為圖3中的結構另一視角的結構示意圖； 圖5為圖3中的結構分解後的結構示意圖； 圖6為圖5中等離子清洗機的部分結構示意圖； 圖7為圖6中的結構另一視角的結構示意圖； 圖8為圖3中的部分結構分解後的結構示意圖； 圖9為圖8中的結構另一視角的結構示意圖。

150:調節裝置

200:活動台

210:第一活動台

220:第二活動台

230:傳送機構

300:夾持治具

310:第一夾持治具

320:第二夾持治具

410:上蓋腔體

420:下蓋腔體

431:上蓋升降機構

Claims (10)

1. 一種等離子清洗機，其特徵在於，所述等離子清洗機包括： 清洗機本體，所述清洗機本體包括工作台； 活動台，所述活動台可活動地安裝於所述工作台上，所述活動台包括第一活動台和第二活動台，所述第一活動台與所述第二活動台在所述工作台上的位置可以切換； 夾持治具，所述夾持治具包括第一夾持治具和第二夾持治具，所述第一夾持治具安裝於所述第一活動台上，所述第二夾持治具安裝於所述第二活動台上；以及 腔體組件，所述腔體組件可選擇性地蓋合於所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一而形成密封腔，以使得所述第一夾持治具和所述第二夾持治具可交替地處於所述密封腔內。
2. 如請求項1所述的等離子清洗機，所述腔體組件包括上蓋腔體、下蓋腔體及驅動裝置，所述驅動裝置用於驅動所述上蓋腔體和所述下蓋腔體進行上升或者下降調節； 所述工作台上設有工作區，所述上蓋腔體設於所述工作區的上方，所述下蓋腔體設於所述工作區的下方，所述第一活動台和所述第二活動台可交替地進入所述工作區，所述上蓋腔體和所述下蓋腔體與所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一的上下兩側蓋合而形成所述密封腔。
3. 如請求項1所述的等離子清洗機，所述活動台可滑動地安裝於所述工作台上，以使得所述第一活動台與所述第二活動台通過滑動來切換位置；或者，所述活動台可轉動地安裝於所述工作台上，以使得所述第一活動台與所述第二活動台通過轉動來切換位置。
4. 如請求項3所述的等離子清洗機，所述第一活動台包括第一活動本體和兩個第一滑軌組件，兩個所述第一滑軌組件相對設置的安裝於所述工作台上，所述第一活動本體安裝於兩個所述第一滑軌組件上，所述第一活動本體的兩端分別與兩個所述第一滑軌組件滑動連接。
5. 如請求項4所述的等離子清洗機，所述第二活動台包括第二活動本體和兩個第二滑軌組件，兩個所述第二滑軌組件相對設置的安裝於所述工作台上並位於兩個所述第一滑軌組件之間，所述第二活動本體安裝於兩個所述第二滑軌組件上，所述第二活動本體的兩端分別與兩個所述第二滑軌組件滑動連接。
6. 如請求項5所述的等離子清洗機，所述活動台還包括傳送機構，所述傳送機構包括傳送電機、傳送帶組件和傳送固定件，所述傳送固定件的數量為兩個，其中一個所述傳送固定件安裝於所述傳送帶組件上並與所述第一活動本體固定連接，另外一個所述傳送固定件安裝於所述傳送帶組件上並與所述第二活動本體固定連接，所述傳送電機能驅動所述傳送帶組件做往復運動，以使得所述第一活動本體與所述第二活動本體在所述工作台上的位置可以切換。
7. 如請求項2所述的等離子清洗機，所述上蓋腔體包括上蓋本體和第一電極，所述上蓋本體具有空腔，所述第一電極設於所述空腔內；所述下蓋腔體包括下蓋本體、玻璃板和第二電極，所述玻璃板安裝於所述下蓋本體上，所述玻璃板上設有絕緣座，所述第二電極安裝於所述絕緣座上。
8. 如請求項2所述的等離子清洗機，所述驅動裝置包括上蓋升降機構和下蓋升降機構，所述上蓋升降機構安裝於所述工作台上並位於所述工作區的上方，所述上蓋升降機構能驅動所述上蓋腔體在所述工作區內進行上升或者下降調節，以使得所述上蓋腔體可選擇性地與所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一蓋合或者打開；所述下蓋升降機構設於所述工作區的下方，所述下蓋升降機構能驅動所述下蓋腔體在所述工作區內進行上升或者下降調節，以使得所述下蓋腔體可選擇性地與所述第一活動台和所述第二活動台的其中之一蓋合或者打開。
9. 如請求項1所述的等離子清洗機，所述第一活動台包括第一安裝件，所述第二活動台包括第二安裝件，所述第一夾持治具安裝於所述第一安裝件上，所述第二夾持治具安裝於所述第二安裝件上，所述第一夾持治具與所述第二夾持治具相同，所述第二夾持治具具有夾槽，所述夾槽的寬度可調；所述清洗機本體還包括控制器和調節裝置，所述調節裝置安裝於所述第二夾持治具的一側，所述調節裝置與所述控制器電連接，所述調節裝置用於調節所述夾槽的寬度。
10. 如請求項9所述的等離子清洗機，所述第二夾持治具包括固定部和活動部，所述固定部固定安裝於所述第二安裝件上，所述活動部與所述固定部活動連接，所述固定部和所述活動部之間配合形成所述夾槽，所述調節裝置驅動所述活動部沿所述固定部移動以調節所述夾槽的寬度。

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