CN117921585B - 歧管组件安装治具及安装方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种歧管组件安装治具及安装方法。歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个水平组件和多个垂直组件依次连接并形成闭环结构；歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个组件在垂直方向上的位置关系；定位基准板固定于治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个组件在水平方向上的位置关系；侧向定位面与水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位歧管组件的一侧表面。本发明可有效减少安装返工，提高安装质量和安装效率。

Description

歧管组件安装治具及安装方法

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种歧管组件安装治具及安装方法。

背景技术

在半导体芯片制造的薄膜沉积等复杂工艺中，对于反应气源的供气和气态副产物的排气等工艺过程都有较高的工艺要求。歧管组件因其所具备的独特优势而被广泛地应用于薄膜沉积等半导体制造设备中。

目前，在该类半导体设备的组装及维护过程中，对于其中歧管组件的准确且高效的安装是确保设备工艺结果稳定正常及提升设备生产效率和产能的重要因素之一。

然而，由于复杂的半导体工艺往往会在半导体制造设备中引入结构复杂、形状各异的歧管组件，这使得歧管组件的安装变得更加困难，无法实现模块化安装且需要较多人员协助安装，不但费时费力，而且容易因安装不合格而出现返工。其主要原因有以下几点：

1、因为歧管都是配合设备的其余半导体组件的，其安装定位基准很多，主要包括中心距、平面接触对齐中的一种或多种的组合，这导致安装工序复杂而困难；

2、因距离不准而造成无法将歧管组件安装到其相应配合位置上；

3、因平面接触不合理而造成漏水或漏气；

4、因平面接触不合理而导致接触面间密封圈的压缩量以及填充率差异大，进而造成密封圈失效，导致工艺不稳定，影响产品的良率。

对于接触面较少的简单歧管单元，可以通过设置定位销钉来解决上述问题，但由于先进的半导体设备往往涉及复杂的歧管组件结构，无法对每个接触面均使用定位销钉。对于接触面较多的空间型歧管组件，若每个接触面均使用销钉定位，则导致整个尺寸链极为严格，增加不必要的加工难度。如不采用销钉定位，则需要工程师按顺序依次拼装，安装质量取决于工程师的经验，歧管组件质量很难控制。例如，在依次安装组件后发现无法形成闭环，即最后一个零件无法匹配相邻零件（紧固件孔位由于安装过程的累计误差导致不同心），导致需要重新调整之前已经安装好的零件，造成安装效率降低；或者，依次安装好后发现歧管组件相邻零部件间存在间隙，导致需要重新调整之前已经安装好的零件，造成安装效率降低。在设备安装和维护的过程中，上述复杂歧管的安装问题对于设备的正常维护和运行至关重要。

因此，有必要提出一种新的歧管组件安装治具及安装方法，解决上述问题。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种歧管组件安装治具及安装方法，用于解决现有技术中因歧管组件结构复杂而导致安装困难的问题。

为实现上述目的及其它相关目的，本发明提供了一种歧管组件安装治具，所述歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次连接并形成闭环结构；所述歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，所述治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个水平组件和垂直组件在垂直方向上的位置关系；所述定位基准板固定于所述治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个水平组件和垂直组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面。

在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于搬运所述治具基板的治具把手，所述治具把手安装于所述治具基板的上表面。

在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括设置于治具基板上，用于在安装过程中临时固定所述水平组件的肘夹和用于固定所述肘夹的肘夹支架。

在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述水平组件在垂直方向上的位置关系的末端高度支撑板；所述末端高度支撑板设置于所述治具基板上，其具有高于所述水平定位面的高度定位面，所述高度定位面对垂直位置高于所述水平定位面的所述水平组件进行定位。

在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于在安装过程中临时固定所述垂直组件的高度调节板和用于固定所述高度调节板的高度调节支架，所述高度调节板和高度调节支架设置于所述治具基板上。

在一可选方案中，通过调节螺钉调节所述高度调节板与所述高度调节支架的相对位置关系。

在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片。

本发明还提供一种歧管组件的安装方法，包括如下步骤：

提供上述方案中所述的歧管组件安装治具；

将歧管组件的多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次安装于所述治具基板上，使用治具基板和末端高度支撑板固定并定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在垂直方向上的位置关系，并通过所述定位基准板定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在水平方向上的位置关系；在安装所述水平组件时，使用肘夹固定所述水平组件；在安装所述垂直组件时，使用高度调节板固定所述垂直组件；

在多个所述水平组件和多个所述垂直组件安装完成且两者的相对位置关系固定后，松开肘夹和高度调节板，使所述歧管组件与所述歧管安装治具分离。

在一可选方案中，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片；在安装所述歧管组件时，部分歧管组件在垂直方向上通过所述调整垫片垫高以定位其与相邻的需要组装的其他歧管组件的位置关系。

在一可选方案中，在进行所述歧管组件的安装前，还包括先进行所述歧管组件安装治具的安装，包括如下步骤：

将装有末端高度支撑板和高度调节支架的所述治具基板放置于水平安装台上；

将所述定位基准板固定于所述治具基板上；

将肘夹支架固定于所述治具基板上，将肘夹安装于所述肘夹支架上。

如上所述，本发明提供的歧管组件安装治具及安装方法，通过引入固定并定位歧管组件的治具基板和定位基准板，使复杂的歧管组件在依次安装后形成闭环，可有效减少安装返工，提高安装质量和安装效率。

附图说明

图1显示为本发明实施例中提供的歧管组件的安装完成示意图。

图2显示为本发明实施例中提供的歧管组件的安装完成俯视图。

图3显示为本发明实施例中提供的歧管组件的安装完成正视图。

图4显示为本发明实施例中提供的歧管组件安装治具的示意图。

图5显示为本发明实施例中提供的治具基板的示意图。

图6显示为本发明实施例中提供的歧管组件的安装方法中完成步骤2-2）后的示意图。

图7显示为本发明实施例中提供的歧管组件的安装方法中完成步骤2-7）后的示意图。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。如在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

为了方便描述，此处可能使用诸如“之下”、“下方”、“低于”、“下面”、“上方”、“上”等的空间关系词语来描述附图中所示的一个元件或特征与其他元件或特征的关系。将理解到，这些空间关系词语意图包含使用中或操作中的器件的、除了附图中描绘的方向之外的其他方向。此外，当一层被称为在两层“之间”时，它可以是所述两层之间仅有的层，或者也可以存在一个或多个介于其间的层。

在本发明的上下文中，所描述的第一特征在第二特征“之上”的结构可以包括第一和第二特征形成为直接接触的实施例，也可以包括另外的特征形成在第一和第二特征之间的实施例，这样第一和第二特征可能不是直接接触。

请参阅图1至图7。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

实施例一

请参阅图1至图7，本实施例提供一种歧管组件安装治具，所述歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次连接并形成闭环结构；所述歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，所述治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个所述水平组件和垂直组件在垂直方向上的位置关系；所述定位基准板固定于所述治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个所述水平组件和垂直组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度夹角（即这两个面不在一个水平面上），并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面。

如图1所示，是本实施例所述歧管组件安装治具用来安装的歧管组件完成安装后的示意图，图2是图1所示歧管组件的俯视图，图3是图1所示歧管组件的正视图。在图2中，A为第一垂直组件103和第四垂直组件111所含圆柱体的轴心在图2中水平方向上的间距，C1和C2分别为所述第一垂直组件103和所述第四垂直组件111所含圆柱体的轴心与第五垂直组件114所含圆柱体的轴心在图2中垂直方向上的间距。在图3中，B1和B2分别为所述第一垂直组件103和所述第四垂直组件111的顶部与所述第五垂直组件114的顶部的高度差。在本实施例中，C1=C2，B1=B2。在图1中，所述歧管组件包括多个水平组件和多个垂直组件。具体地，本实施例中，如图1至图3所示，所述水平组件包括第一水平组件101、第二水平组件102、第三水平组件104、第四水平组件106、第五水平组件108、第六水平组件110、第七水平组件112、第八水平组件113和第九水平组件107；所述垂直组件包括第一垂直组件103、第二垂直组件105、第三垂直组件109、第四垂直组件111和第五垂直组件114。在歧管组件完成安装后，第一水平组件101、第二水平组件102、第一垂直组件103、第三水平组件104、第二垂直组件105、第四水平组件106、第九水平组件107、第五水平组件108、第三垂直组件109、第六水平组件110、第四垂直组件111、第七水平组件112、第八水平组件113和第五垂直组件114将依次连接形成闭环结构。在其他示例中，歧管组件的水平组件和垂直组件的数量可与此不同，对此不作严格限制。但为确保安装精度，上述各个组件在安装时需要相互配合，安装定位基准有很多，主要包括中心距、平面接触对齐中的一种或其组合，在进行定位贴合后确保精准安装到位，防止由于接触不合理而导致气液泄露或者压缩过量导致密封圈失效。

如图4所示，是本实施例提供的歧管组件安装治具的示意图，其包括：

治具基板201，其在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板201上表面的水平定位面固定并定位歧管组件的多个组件在垂直方向上的位置关系；所述水平组件的延伸方向平行于所述水平定位面，所述垂直组件的延伸方向垂直于所述水平定位面；如图4和图5所示，本实施例中，所述水平定位面位于所述治具基板的上表面；所述治具基板201和定位基准板的材质可以为不锈钢等合金，其形状可以根据待组装的歧管组件的结构而定，比如本实施例中的治具基板201大体呈矩形状，其四边角可做倒角处理，但并不以此为限；在一些示例中，治具基板201的中央可以设置有通孔201b，通孔201b例如可以为圆形或矩形。设置通孔201b不仅可以使治具基板201的重量减少，且通孔201b提供了抓握空间，便于治具基板201的取放以及歧管组件的安装；

定位基准板，其固定于所述治具基板201上，通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面。在本实施例中所述侧向定位面可以与所述水平定位面呈90°垂直关系。具体地，在本实施例中，所述定位基准板包括第一定位基准板204、第二定位基准板207、第三定位基准板209、第四定位基准板210、第五定位基准板212、第六定位基准板213、第七定位基准板214和第八定位基准板215。所述第一定位基准板204用于定位所述第一水平组件101在水平方向上的位置，所述第二定位基准板207用于定位所述第二水平组件102在水平方向上的位置，所述第三定位基准板209用于定位所述第三水平组件104在水平方向上的位置，所述第四定位基准板210用于定位所述第二垂直组件105在水平方向上的位置，所述第五定位基准板212用于定位所述第三垂直组件109在水平方向上的位置，所述第六定位基准板213用于定位所述第六水平组件110在水平方向上的位置，所述第七定位基准板214用于定位所述第七水平组件112在水平方向上的位置，所述第八定位基准板215用于定位所述第八水平组件113在水平方向上的位置。但定位基准板的模块数量并不以此为限，重要的是模块数量以及形貌结构与待安装的歧管组件相匹配。

作为示例，如图4所示，所述歧管组件安装治具还包括用于搬运所述治具基板201的治具把手208，所述治具把手208安装于所述治具基板201的上表面。可选地，在本实施例中，所述治具把手208设有一对，对称设置于所述治具基板201上的相对两侧。治具把手可以是固定连接，也可以是可动连接设置于治具基板上。例如在一些示例中，治具基板为可拆卸连接，以在需要时卸除。在另外的一些示例中，如图5所示，定位基准板和治具把手等组件都通过螺钉等紧固件固定于所述治具基板201的销钉孔201a上（图5中的点为将定位基准板的各部分安装于治具基板上的安装孔，比如销钉孔，但为使图示简洁，并未一一标示）。

作为示例，如图1至图4所示，所述歧管组件安装治具还包括用于在安装过程中临时固定所述水平组件的肘夹206和用于固定所述肘夹206的肘夹支架205。在本实施例中，所述肘夹206和所述肘夹支架205共设有六对，分别一一对应紧贴第一定位基准板204、第二定位基准板207、第三定位基准板209、第六定位基准板213、第七定位基准板214和第八定位基准板215设置，分别用于在安装过程中通过所述肘夹206临时固定所述第一水平组件101、所述第二水平组件102、所述第三水平组件104、所述第六水平组件110、所述第七水平组件112和所述第八水平组件113。所述肘夹206用于在安装过程中临时固定所述歧管组件，在通过所述治具基板和所述定位基准板定位所述歧管组件后，通过所述肘夹206将所述歧管组件进行临时固定，以通过螺钉等方式紧固所述歧管组件时，所述歧管组件不会发生偏移。

作为示例，如图1至图4所示，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述水平组件在垂直方向上的位置关系的末端高度支撑板211；所述末端高度支撑板211设置于所述治具基板201上，其具有高于所述水平定位面的高度定位面，且末端高度支撑板211的端部可向安装治具的中心水平延伸，使得末端高度支撑板211呈匸型状，所述高度定位面对垂直位置高于所述水平定位面的水平组件进行定位。例如，对所述第九水平组件107、第四水平组件106和第五水平组件108进行定位。具体地，所述末端高度支撑板211用于定位所述第九水平组件107、第四水平组件106和第五水平组件108在垂直方向上的位置关系。具体地，所述第九水平组件107、第四水平组件106和第五水平组件108的底部高于所述治具基板201所在的水平面，因此在垂直位置关系上，所述末端高度支撑板211将所述第九水平组件107、第四水平组件106和第五水平组件108支撑在高于所述治具基板201的水平面上。

作为示例，如图1至图3所示，所述歧管组件还包括在垂直方向延伸的垂直组件，例如所述第五垂直组件114；如图4所示，所述歧管组件安装治具还包括用于在安装过程中临时固定所述垂直组件的高度调节板203和用于固定所述高度调节板203的高度调节支架202。具体地，当所述第五垂直组件114放置于所述治具基板201上后，所述高度调节板203从所述第五垂直组件114的顶部对其进行固定。所述高度调节板203起到了对所述第五垂直组件114的临时固定作业，防止其位置在安装过程中出现偏移。

作为示例，所述高度调节板203通过调节螺钉216调节其与所述高度调节支架202的相对位置关系。具体地，当所述第五垂直组件114放置于所述治具基板201上后，通过旋转所述调节螺钉216，将所述高度调节板203压紧于所述第五垂直组件114的顶部。

本发明提供的歧管组件安装治具，通过引入固定并定位歧管组件的治具基板和定位基准板，使复杂的歧管组件在依次安装后形成闭环，可有效减少安装返工，提高安装质量和安装效率。该治具结构紧凑，生产成本低，可适配多种歧管组件。同时其使用方便，通过其安装的歧管组件具有良好的稳定性，有助于延长歧管组件的使用寿命，

本实施例还提供了一种歧管组件的安装方法，该安装方法基于上述任一方案中所述的治具进行。具体地，本实施例提供的的歧管组件安装方法包括如下步骤：

1）提供上述任一方案中所述的歧管组件安装治具；

2）将多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次安装于所述治具基板上，使用所述治具基板和末端高度支撑板固定并定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在垂直方向上的位置关系，并通过所述定位基准板定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在水平方向上的位置关系；在安装所述水平组件时，使用肘夹固定所述水平组件；在安装所述垂直组件时，使用高度调节板固定所述垂直组件；

3）在多个所述水平组件和多个所述垂直组件完成安装并固定其相对位置关系后，松开所述肘夹和所述高度调节板，使所述歧管组件与所述歧管安装治具分离。

在步骤1）中，请参阅图4，提供本实施例所述的歧管组件安装治具。

作为示例，在进行所述歧管组件的安装前，还包括先进行所述歧管组件安装治具的安装，包括如下步骤：

将装有所述末端高度支撑板211和所述高度调节支架202的所述治具基板201放置于水平安装台上；

将所述定位基准板固定于所述治具基板201上；如图4和图5所示，所述定位基准板包括第一定位基准板204、第二定位基准板207、第三定位基准板209、第四定位基准板210、第五定位基准板212、第六定位基准板213、第七定位基准板214和第八定位基准板215。所述定位基准板按照图4和图5所示的位置，通过螺钉紧固于所述治具基板201上的销钉孔201a中。

将所述肘夹支架205固定于所述治具基板上，将所述肘夹206安装于所述肘夹支架205上；具体地，所述肘夹支架205通过螺钉紧固在所述治具基板201上，所述肘夹支架205和所述肘夹206共有6组。

至此，除了所述高度调节板203外，所述歧管组件安装治具基本完成安装。可选地，如图4和图5所示，所述定位基准板通过销钉固定于所述治具基板201上。

在步骤2）中，请参阅图4、图6、图7，将多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次安装于所述治具基板201上，使用所述治具基板201和所述末端高度支撑板211固定并定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在垂直方向上的位置关系，并通过所述定位基准板定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在水平方向上的位置关系；在安装所述水平组件时，使用所述肘夹206固定所述水平组件；在安装所述垂直组件时，使用所述高度调节板203固定所述垂直组件。

具体地，在本实施例中，歧管组件的安装顺序如下：

2-1）将所述第五垂直组件114通过定位销钉和定位孔的配合安装在所述治具基板201上，使其关于所述治具基板201竖直中心线左右对称；将高度调节板203置于所述第五垂直组件114的上方，并通过调节螺钉216的下移，使所述第五垂直组件114固定在所述治具基板201上；

2-2）将所述第一水平组件101置于所述治具基板201上并使其长边紧靠第一定位基准板204的一侧定位面，以实现其水平方向的定位。移动所述第一水平组件101，使其靠近所述第五垂直组件114，直至两者的接触面无间隙时，扭动其附近的肘夹206，使其将所述第一水平组件101压紧并固定在该安装位置，随后使用螺钉紧固所述第一水平组件101和所述第五垂直组件114。此时，所述歧管组件完成了一个接触面的正确安装；所述第八水平组件113的安装方式与所述第一水平组件101的同理，其通过第八定位基准板215进行定位，安装好后的状态如图6所示；

2-3）将所述第二水平组件102置于所述治具基板201上并使其长边紧靠所述第一定位基准板204的一侧定位面，移动所述第二水平组件102靠近所述第一水平组件101直至两接触面无间隙时，扭动附近的肘夹206使其将所述第二水平组件102压在该安装位置，随后使用螺钉紧固所述第二水平组件102和所述第一水平组件101，此时完成该接触面的正确安装；另一侧的第七水平组件112的安装过程可以参考所述第二水平组件102的安装过程。所述第七水平组件112也通过所述第八定位基准板215进行定位；需要指出的是，所述第一定位基准板204的定位面可以对所述第二水平组件102和所述第一垂直组件103进行定位；所述第八定位基准板215的定位面可以所述第七水平组件112和所述第四垂直组件111进行定位。

2-4）将第一垂直组件103置于所述治具基板201上并使其长边紧靠所述第二定位基准板207的一侧定位面，移动所述第一垂直组件103靠近所述第二水平组件102直至两接触面无间隙时，使用螺钉紧固所述第二水平组件102和所述第一垂直组件103，此时完成该接触面的正确安装；另一侧的第四垂直组件111的安装过程可以参考所述第一垂直组件103的安装过程，所述第四垂直组件111通过所述第七定位基准板214进行定位；

2-5）将第三水平组件104置于所述治具基板201上并使其一边紧靠第三定位基准板209的一侧定位面，移动第三水平组件104靠近所述第一垂直组件103直至两接触面无间隙时，扭动附近的肘夹206使其将所述第三水平组件104压在该安装位置，随后使用螺钉紧固所述第三水平组件104和所述第一垂直组件103，此时完成该接触面的正确安装；第六水平组件110的安装过程可以参考所述第三水平组件104的安装过程；

2-6）将第二垂直组件105置于治具基板201上并使其紧靠第四定位基准板210的一侧定位面，移动所述第二垂直组件105靠近第三水平组件104直至两接触面无间隙时，使用螺钉紧固第二垂直组件105和第三水平组件104，此时完成该接触面的正确安装；第三垂直组件109的安装过程可以参考所述第二垂直组件105的安装过程，其通过所述第五定位基准板212进行定位；

2-7）本步骤将进行环形歧管组件的非配合部分的安装，其作用仅仅是和上述各歧管组件构成流体回路，而不是与其余地方有接触配合，即该部分相对于其他部位的安装要求仅仅是保证密封圈合理压缩，螺钉正常工作即可；分别将第九水平组件107置于末端高度支撑板211上，将第四水平组件106一端置于末端高度支撑板211上，另一端置于第二垂直组件105上，随后紧固第九水平组件107和第四水平组件106以及第四水平组件106和第二垂直组件105之间的螺钉；安装后的整体结构如图7所示；

2-8）参考所述第四水平组件106的安装过程，从所述第九水平组件107的另一侧将第五水平组件108通过螺钉紧固在第九水平组件107和第三垂直组件109上。由于第四水平组件106、第九水平组件107和第五水平组件108都是非配合部分的安装，其对于相互间位置关系要求并非严格的接触配合安装，仅是保证密封圈合理压缩，螺钉正常工作即可。

在步骤3）中，请参阅图1至图4，在多个所述水平组件和多个所述垂直组件完成安装并固定其相对位置关系后，松开所述肘夹206和所述高度调节板203，使所述歧管组件与所述歧管安装治具分离。

由于使用本实施例提供的治具，使复杂的歧管组件的安装变得更加简单，减少了安装返工，确保了安装质量和安装效率。

实施例二

本实施例与实施例一的主要区别在于，除具有实施例一中的全部结构外，本实施例的歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片。在安装所述歧管组件时，部分歧管组件在垂直方向上通过所述调整垫片垫高以定位其与相邻的需要组装的其他歧管组件的位置关系。参考图1至图3，在本实施例中，C1=C2，B1>B2。取B1-B2的绝对值，记为D，则上述调整垫片的厚度设为D，将其设置于所述第一垂直组件103与所述治具基板201之间，以定位所述第一垂直组件103与相邻的其他歧管组件的位置关系。本实施例所引入的所述调整垫片可以在B1>B2的情况下，精确定位所述第一垂直组件103与其他歧管组件的位置关系，防止因误差而导致安装后无法形成闭环，从而导致安装返工，使得本实施例的治具适配性进一步提升。

本实施例的歧管组件安装治具的其他结构和安装方法与实施例一相同，在此不再赘述。

实施例三

本实施例与实施例一的主要区别在于，除具有实施例一中的全部结构外，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片。在安装所述歧管组件时，部分歧管组件在垂直方向上通过所述调整垫片垫高以定位其与相邻的需要组装的其他歧管组件的位置关系。参考图1至图3，在本实施例中，C1=C2，B1<B2。取B1-B2的绝对值，记为E，则上述调整垫片的厚度设为E，将其设置于所述第四垂直组件111与所述治具基板201之间，以定位所述第四垂直组件111与相邻的其他歧管组件的位置关系。本实施例所引入的所述调整垫片可以在B1<B2的情况下，精确定位所述第一垂直组件103与其他歧管组件的位置关系，防止因误差而导致安装后无法形成闭环而导致安装返工，使得本实施例的治具适配性进一步提升。

本实施例的歧管组件安装治具的其他结构和安装方法与实施例一相同，在此不再赘述。

综上所述，本发明提供一种歧管组件安装治具及方法。所述歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次连接并形成闭环结构；所述歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，所述治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个水平组件和垂直组件在垂直方向上的位置关系；所述定位基准板固定于所述治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个水平组件和垂直组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面。本发明通过引入固定并定位歧管组件的治具基板和定位基准板，使复杂的歧管组件在依次安装后形成闭环，可有效减少安装返工，提高安装质量和安装效率。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (7)

1.一种歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件包括多个沿水平方向延伸的水平组件以及多个沿垂直方向延伸的垂直组件，在歧管组件完成安装后，多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次连接并形成闭环结构；所述歧管组件安装治具包括治具基板及定位基准板，所述治具基板在歧管组件的安装过程中放置于水平安装台上，用于通过治具基板上表面的水平定位面固定并定位多个水平组件和垂直组件在垂直方向上的位置关系；所述定位基准板固定于所述治具基板上，用于通过定位基准板所包含的侧向定位面定位多个水平组件和垂直组件在水平方向上的位置关系；所述侧向定位面与所述水平定位面具有非零度的夹角，并在安装过程中贴合并定位所述歧管组件的一侧表面；所述歧管组件安装治具还包括设置于治具基板上，用于在安装过程中临时固定所述水平组件的肘夹和用于固定所述肘夹的肘夹支架；所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述水平组件在垂直方向上的位置关系的末端高度支撑板；所述末端高度支撑板设置于所述治具基板上，其具有高于所述水平定位面的高度定位面，所述高度定位面对垂直位置高于所述水平定位面的所述水平组件进行定位；所述歧管组件安装治具还包括用于在安装过程中临时固定所述垂直组件的高度调节板和用于固定所述高度调节板的高度调节支架，所述高度调节板和高度调节支架设置于所述治具基板上。

2.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于搬运所述治具基板的治具把手，所述治具把手安装于所述治具基板的上表面。

3.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，通过调节螺钉调节所述高度调节板与所述高度调节支架的相对位置关系。

4.根据权利要求1所述的歧管组件安装治具，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片。

5.一种歧管组件的安装方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供如权利要求1所述的歧管组件安装治具；

将歧管组件的多个所述水平组件和多个所述垂直组件依次安装于所述治具基板上，使用治具基板和末端高度支撑板固定并定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在垂直方向上的位置关系，并通过所述定位基准板定位多个所述水平组件和多个所述垂直组件在水平方向上的位置关系；在安装所述水平组件时，使用肘夹固定所述水平组件；在安装所述垂直组件时，使用高度调节板固定所述垂直组件；

在多个所述水平组件和多个所述垂直组件安装完成且两者的相对位置关系固定后，松开肘夹和高度调节板，使所述歧管组件与所述歧管组件安装治具分离。

6.根据权利要求5所述的歧管组件的安装方法，其特征在于，所述歧管组件安装治具还包括用于定位所述歧管组件在垂直方向上的位置关系的调整垫片；在安装所述歧管组件时，部分歧管组件在垂直方向上通过所述调整垫片垫高以定位其与相邻的需要组装的其他歧管组件的位置关系。

7.根据权利要求5所述的歧管组件的安装方法，其特征在于，在进行所述歧管组件的安装前，还包括先进行所述歧管组件安装治具的安装，包括如下步骤：

将装有末端高度支撑板和高度调节支架的所述治具基板放置于水平安装台上；

将所述定位基准板固定于所述治具基板上；

将肘夹支架固定于所述治具基板上，将肘夹安装于所述肘夹支架上。