CN104918748A - 用于机械加工平坦基材的通用固定装置 - Google Patents

Abstract

一种用于向工作平台(14)安装平坦工件(12)的固定装置设备(10)，其至少具有分开放置的第一和第二真空安装元件(20a-20b)，其中每个真空安装元件具有基座(22)，所述基座(22)具有下接触表面(24)和夹持表面(28)，所述下接触表面(24)抵靠工作平台安装，所述夹持表面(28)与所述下接触表面间隔开。存在凸起部分(26)，该凸起部分(26)与下接触表面呈直角延伸，并且该凸起部分(26)具有与下接触表面平行的上接触表面以抵靠平坦工件安置，其中下接触表面和上接触表面之间的高度尺寸是均匀的，在±0.02mm之间。在凸起部分中挖空的真空室(40)，所述真空室(40)与真空口流体连通，用于通过真空室提供真空作用力以将工件固定于上接触表面。

Description

用于机械加工平坦基材的通用固定装置

本申请根据35U.S.C.§120，要求2012年8月8日提交的美国申请序列第13/569341号的优先权，本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。

技术领域

本发明一般地涉及用于在工具加工过程中对工件进行固定的设备和方法，更具体地，涉及可配置用于固定可变尺寸的平坦工件的固定装置组件的系统。

背景技术

计算机数字控制(CNC)和其他类型的自动化机械加工实现了对各种类型的玻璃和其他平坦材料进行快速和精确的机械加工。机械加工的质量及其可重复性部分地取决于玻璃片或者其他工件的固定，从而在整个机械加工过程中将其牢固地固定在位置上并维持牢固地对准。为此，常规实践是设计一种固定装置，其小心地制造成(crafted to)工件的尺寸并且当工件进行加工时施加足够的保持力用于固定工件。固定装置的设计和制造会是一项耗费成本的过程，需要相当量的时间和精密机械加工，目标工件的尺寸是整体设计和性能的一项因素。可以施加各种类型的保持力，包括机械夹持力、磁保持力和真空。必须小心地提供适当量的作用力，而不发生过度约束，以避免损坏工件。

出于各种原因，真空安装方案是有利的，但是通常导致复杂设计。为了获得表面积上的合适均匀的保持力，对真空通道、分配室以及文丘里管进行小心地设计并且通常需要复杂的选线和确定尺寸。这通常意味着相对于采用机械或其他保持力的固定装置的增加的成本和复杂度。对于保持平坦工件的任意类型的固定装置，固定装置的表面必须非常小心地进行制备，使得其在非常严格容差内是平坦的。但是，甚至是对于以这种方式机械加工的固定装置，也难以确保在处理、设定和机械加工过程中维持这些容差。

固定装置的成本、复杂度和时间要求不仅对于体积制造还对于原型制造都是相当的挑战。对于原型制造和取样要求快速周转。符合该要求并维持加工质量的能力会是有效响应消费者要求和符合时间关键目标的一项决定性因素。通常，对于原型制造过程的固定装置是一项瓶颈。

因此，可以理解的是，存在对于至少符合以下这些目标的固定装置方案的需求：

(i)可配置用于各种尺寸的平坦玻璃基材；

(ii)能够保持和维持严格容差，使得在机械加工过程中，玻璃或其他基材维持合适的平坦状态；

(iii)能够为各种尺寸的基材提供均匀真空；

(iv)能够快速地配置用于特定基材和尺寸，并允许校正措施来校正CNC或者其他机械加工工具的工件表面的不规则；以及

(v)维持工件表面质量，使得对于表面的破坏，例如刮痕和磨损，最小化。

用于玻璃和其他平坦基材的常规固定装置方案符合部分这些要求，但是通常难以以令人满意的方式符合所有这些要求。

发明内容

本发明的一个目的是改进用于加工玻璃和其他平坦基材的固定装置的技术。考虑到该目的，本发明提供了用于对工作平台安装平坦工件的固定装置设备，该设备包含：

至少第一和第二独立安置的真空安装元件，其中每个所述真空安装元件具有：

(i)具有下接触表面和夹持表面的基座，所述下接触表面抵靠工作平台安装，所述夹持表面与所述下接触表面间隔开；

(ii)凸起部分，该凸起部分与下接触表面呈直角延伸，该凸起部分具有与下接触表面平行的上接触表面以抵靠平坦工件安置，其中下接触表面和上接触表面之间的高度尺寸是均匀的，在+/-0.02mm之间；以及

(iii)在所述凸起部分中挖空的真空室，所述真空室与真空口流体连通，用于通过真空室提供真空作用力以将工件固定于上接触表面。

本发明的优点是能够适应各种不同的工件尺寸且仍能为所述工件提供均匀的夹持力的能力。工件可以被牢固地固定，没有倾斜。本发明的实施方式进一步提供了能够为CNC或者其他机械加工工具的工作平台表面的不规则之处提供校正的方案。可以快速设定本发明的固定装置以符合特定工件的需求，并且所述固定装置可用于可变的真空级。

本发明可能存在其他所需的目的、特征以及优点，或者它们对本领域技术人员是显而易见的。本发明由所附权利要求书所限定。

在以下的详细描述中给出了本发明的其他特征和优点，其中的部分特征和优点对本领域的技术人员而言是容易理解的，或通过实施文字描述和其权利要求书以及附图中所述实施方式而被认识。

应理解，上面的一般性描述和下面的详细描述都仅仅是示例性的，用来提供理解权利要求书的性质和特点的总体评述或框架。所附附图提供了对本发明的进一步理解，附图被结合在本说明书中并构成说明书的一部分。附图说明了本发明的一个或多个实施方式，并与说明书一起用来解释各种实施方式的原理和操作。

附图简要说明

图1A显示了用于对机械加工的工作平台安装玻璃工件的示例性固定装置设备的侧视图。

图1B是图1A的侧视图所对应的俯视图。

图1C显示了图1A布置的透视图。

图2是显示了图1A-1C的示例性真空连接和安装布置的路径选择的俯视示意图。

图3A是显示了如何形成真空安装元件的平面图。

图3B是显示了配备用于真空连接和安装的图3A的真空安装元件的透视图。

图4是显示了使用本发明的固定装置的示例性夹具布置的俯视图。

图5是显示了用于固定装置定位的任选的对准导向装置的透视图。

图6A、6B和6C显示了使用两个真空安装元件的不同配置的俯视图，所述真空安装元件用于固定较小工件。

图7A是用于不规则工作平台表面上的本发明固定装置的侧视图。

图7B显示了对于图7A所示的不规则工作平台表面的校正。

图8A是在用于形成具有多真空安装元件的装置的最初制造阶段中的经机械加工的块的透视图。

图8B是图8A的经机械加工的块的俯视图。

详细描述

在本文中通过图示和描述来说明根据各个实施方式的设备的操作以及制造的关键原理，但是这些附图不一定按照实际尺寸或比例绘制。可能需要一些夸大来强调基本结构关系或者操作原理。例如，在本文中所给出的多个附图中，放大了组件之间的间距以改善可见性和描述。以下描述强调了机械加工应用；然而本发明的实施方式可以更一般地用于任意类型的平坦工件的加工，其中有利于在加工时将工件牢固地固定在位置中。

在本文中，诸如“顶”和“底”或者“上”、“下”、“上方”和“下方”的术语是相对的，并非用来表示组件或者表面的任意必须取向，而是简单地用于表示和区分相对的表面或者组件间的关系。类似地，例如，可以相对于附图使用术语“水平”和“垂直”，用以描述不同平面中的组件的相对正交关系，但是并不表示组件需要是相对于真正的水平和垂直取向的任意取向。

当使用时，术语“第一”、“第二”、以及“第三”等不一定表示任意顺序或者优先关系，而是用于更清楚地将一种元件或时间间隔与另一种元件或时间间隔区分开。例如，本文所述中没有固定的“第一”或“第二”元件；这些描述仅用于在本发明中将一种元件与另一种相似的元件清楚地区分开。“多个”表示两个或更多。用于平坦表面的术语“基本平行”表示表面范围上的平行偏差为+/-0.5mm内或者更小。

根据本发明的一个宽方面，描述的设备和方法提供了可配置的固定装置设备，所述固定装置设备用于对机械加工用工作平台安装工件。不同于常规固定装置方案，本发明的设备使用一组相互分隔的多个真空安装元件，所述真空安装元件可以用合适的布置独立地定位以支撑各种尺寸的玻璃或者其他平坦工件。

图1A显示了用于向工作平台14安装玻璃工件12进行机械加工或者其他加工的示例性固定装置设备10的侧视图。图1B是对应的俯视图。工作平台14是CNC系统或者其他机械加工工具的典型部分。在工作平台14和工件12之间分布有多个真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e，以支撑工件12并将其牢固地夹在用于机械加工的位置。图1C显示了与图1A和1B类似的布置的透视图，具有五个真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e。在图1A-1C中放大了安装元件之间的间距，以提升单个组件的可视性。

有利地，每个真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e可以分别被分隔地放置，且根据诸如工件12的尺寸以及提供的真空量的因素，可以使用较少或者较多的安装元件。由于该可配置性，固定装置设备10实现了对于用于保持玻璃或者其他工件12的板的真空安装的相当程度的灵活性。图2显示了图1A-1C的安装布置的示意图，具有真空源30和单独的真空软管32，所述真空软管通过真空口34与每一个真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e连接。真空源30可以是真空分配器或者简单地是由CNC或者其他加工工具直接提供的真空。应理解的是，可以使用各种类型的真空连接器用于与真空口34连接。如图2所示，来自多个真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e的一个或多个真空软管32可通过位于工件12和工作平台14之间的区域延伸。真空连接可以是串联或并联的。

对于具体应用中的每一个具体工件12，可以按需在宽范围内改变真空级。根据本发明的一个示例性实施方式，提供了约500-700mm Hg柱(负压)范围内的真空，来保持工件。应理解的是，可以根据工件特性以及机械加工过程的要求改变应用的真空级。此外，根据本发明的一个实施方式，取决于工件12的配置以及机械加工过程的要求，可以对不同的真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e应用不同的真空级，例如相互相差20％或者更高的真空级。

显示了俯视图和截面图的图3A的平面图以及图3B的透视图，以举例方式，显示了真空安装元件20c是如何形成的；形成了其他具有类似结构的真空安装元件，但是对于凸起部分26和基座22具有不同的几何结构。每个真空安装元件具有基座22，所述基座22具有工作平台接触表面，下文中称为下接触表面24。接触表面24抵靠住机械加工工具的工作平台或者其他合适的表面，并被夹持或者以其他方式保持抵靠住工作平台表面，或者，与一个或多个其他真空安装元件机械连接，所述其他真空安装元件它们自身安装在或者夹持住工作平台表面。真空安装元件具有从基座正交延伸的凸起部分26，其方向相对于接触表面24正交，并提供了工件接触表面(下文中称为上接触表面28)用于支撑工件并向所述工件提供来自真空室40的真空作用力。上接触表面28与下接触表面24在非常严格容差内平行，优选地，在上接触表面28的全部范围内的上接触表面28与下接触表面24之间的距离，显示为高度H，是均匀的，机械加工到至少+/-0.02mm之内，或者更优选地，+/-0.01mm之内，或者更好。该严格容差使得用于特定配置的每个真空安装元件的高度是均匀的，在预定的固定值的紧密容差内。用于特定固定装置设备10的真空安装元件的高度H的尺寸是一个预定值，所述预定值基于以下因素，例如：与工作平台的允许距离、工件表面特性以及夹具和真空软管所需的间隔空间。

再次，必须强调“上”和“下”仅是相对术语，用于描述本文附图所示的接触表面24和28的取向。实践中，例如，下接触表面抵靠住工作平台从而可以是垂直的或者一些其他的取向。

如图3A和3B所示，在凸起部分26中挖空真空室40，所述真空室40通过真空口34与真空源流体(真空)连通。沿其基座22，每个真空安装元件具有与下接触表面24间隔开的夹持表面42。如实施方式中所示，夹持表面42与下接触表面24基本平行。或者可以以多种不同方式来配置夹持表面24，用以提供支持真空安装元件夹持或者其他类型附着于工作平台表面的特征。例如，对于螺纹紧固件或者其他类型的夹持紧固件，可任选地提供一个或多个孔62。其中工作平台是合适的材料，还可以在固定装置设备安装过程中使用磁力用于夹持安装元件或者帮助安装元件的粗略定位，例如通过形成诸如铁磁体金属的磁性材料的真空安装元件。应注意，例如，取决于所用的夹持机制和工件尺寸范围之类的因素，可以不同于本文附图中所示的情况，改变基座22的尺寸和厚度及其相对于凸起部分26在任意方向的延伸。因此，例如，图3A的俯视图显示了直接沿着真空安装元件20c边缘的L形凸起部分26的侧面。在该例子中，夹持表面42仅沿着凸起部分26的外侧。对于特定应用，可优选基座22的其他布置。

可以使用多种不同的夹持或者安装布置以使得固定装置设备10牢固地固定在工作平台14的表面。图4的俯视示意图，为清楚起见未示出工件12，显示了一个可能的配置，其中仅有一个真空安装元件，在此例子中为真空安装元件20e，被直接夹在工作平台14的表面。夹具50将安装元件20e锁定在工作平台14的表面。夹具50可以是任意的多种类型的夹持装置，诸如常规C-夹具以及安装螺栓等。然后，为了将其他安装元件牢固地固定在位置中，联接器52的网络从夹持安装元件20e向每一个其他的安装元件延伸，或者在安装元件间延伸。可以容易地理解，任意数量的其他布置也可适用于将真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e固定在位置中。例如，每个安装元件可以被单独地夹持在或者螺栓到工作平台14的表面。

例如，图4所示的布置可能是有利的，它可用于建立“基准”或者相对于机械加工工具的参考位置。将一个真空安装元件固定在给定参考数据的位置上，然后可以相对于固定位置定位其他真空安装元件。通过诸如图4中例子的安装元件的布置，将参考安装元件夹持到工作平台的单个点位上，并将其他安装元件与夹持的安装元件连接，还可以容易地解决机械过约束的潜在问题。

因为本发明的真空安装元件可以用正交表面表征，如本文中所给出的例子，所以安装元件与工件12的对准以及安装元件的相互对准是简单易行的。例如，如图3A所示的真空安装元件20c，对L形凸起部分26的侧面进行机械加工以在它们之间提供90度的角度。有利地，本发明的实施方式没有严格的规则控制每个加工元件对于工件的相对位置。可以改变工件边缘的退进距离(setback distance)，图1C中显示为悬垂距离D1，且可以大于当使用常规固定尺寸的固定装置时所允许的悬垂距离。例如，对于典型的机械加工的玻璃，常规固定的悬垂距离小于约1-1.75mm；作为比较，本发明的实施方式允许约10mm范围的最大悬垂距离D1。此能力可以导致磨损的减少以及总体提升的表面质量。

本发明的实施方式提供的另一个优点涉及安装元件之间的灵活间距。特别感兴趣的是相邻凸起部分26之间的距离，图1C中显示为间距D2。该距离可以非常小，例如对于下文所述的小工件。或者，例如对于一些玻璃材料，取决于诸如所使用的机械加工技术、真空级和真空类型、尺寸体积安装的工件的厚度之类的因素，可以使用高至40-50mm的间距。这些相同的因素还可以影响在特定的应用中使用多少真空安装元件。

图5的透视图显示了任选的对准导向装置60，根据本发明的一个实施方式，所述对准导向装置60起了帮助调节安装元件相对于工件12的边缘的位置的作用。对准导向装置60靠着一个或多个安装元件的凸起部分26的侧安装，用于置于工件下方且可以对于不同工件尺寸进行调节。或者，对准导向装置60可用于靠着基座22的侧或者边缘。在其他实施方式中，提供了任选的对齐销和其他特征(未示出)，结合到基座中用于对准固定装置设备10中的工件。

本发明的实施方式还允许安装较小的工件用于机械加工，例如小至约1.5英寸x2.36英寸或更大的玻璃。图6A、6B和6C显示了两个真空安装元件20f和20g的不同配置的俯视图，所述真空安装元件20f和20g用于固定较小的工件12板。在这些实施方式中，第一和第二真空安装元件20f和20g的凸起部分26设置在工件12的对角线上。每个真空安装元件20f和20g在接触工件12的平面具有L形接触表面28(图3A)。如该图所示以及如上前述，真空安装元件20f和20g可以以可变的距离相互间隔开，或者可以相互接触或者相互首尾相连。如所示，所使用的安装元件可以具有直角形状，或者可以呈现对于支撑的平坦工件合适的一些其他表面形状。

作为机械加工设备的部分所提供的工作平台14理想是平的。但是，在实际中，工作平台14可能具有表面瑕疵或者可能被破坏；本发明的实施方式允许校正工作平台14的问题。图7A显示了具有缺陷区域的工作平台14，诸如“低点”的缺陷区域可能导致工件12不合乎希望的倾斜，为提高清晰度放大了细节。即使轻微量的倾斜或者平坦度瑕疵都可能导致工件12后续机械加工的问题。图7B显示了根据本发明实施方式提供的如何对工件14表面的该缺陷和其他缺陷或者不规则进行校正。选择性地使用一个或多个调节元件58，插入到接触表面24和工件14之间以对一个或多个真空安装元件(例子中所示为20d和20e)的高度进行重新调节。可以使用条带或者其他合适的材料作为调节元件58。

制造

本发明实施方式的一个特征是制造多个离散真空安装元件的能力，所述多个离散真空安装元件的高度H基本上是一致的(如图3A所示)，所提供的高度H在接触表面24和28之间是+/-0.02mm之间均匀的或更好，更优选地是约+/-0.01mm之间均匀的或更好。难以使用常规方法模塑或者机械加工单独部件来实现该水平的精度。根据本发明的一个实施方式，通过如下方式形成多个真空安装元件：成形或机械加工单个金属块，形成具有均匀高度的元件，然后从机械加工过的块切割每一个单独安装元件以钻孔和装配用于空气连接和可任选的夹持特征的元件。被机械加工的金属块可以是铝、钢或者其他适合形成真空组件的材料。其中，使用磁力用于夹持，可以机械加工磁化材料以形成真空安装元件。

图8A的透视图显示了用于形成具有多个真空安装元件的装置的最初制造阶段中的机械加工过的块70。图8B显示了该布置的平面图。一系列正交切割平面72和74显示，在块被机械加工之后，至少立即使用了一些切割以从所述块中分隔单独安装元件。在这些图中标出了少量的真空安装元件20a、20b、20c、20d和20e。对于所示的具体例子，从单个经机械加工的块70制造了一组22个单独的真空安装元件。如所示，可以改变从单个金属块制造的真空安装元件的凸起部分26的形状，例如圆形、具有直角或者L形、或者大致线形或大致矩形，如圆角矩形，以提供对于支撑的工件的相应表面。应注意的是，可以使用对于工具制造领域技术人员所熟知的方法和技术，优化沿着切割平面72和74切割的顺序，用于改进质量和效率。根据本发明的一个实施方式，可以使用线切割或者其他合适的切割方法以从经加工的材料块分隔开单独的真空安装元件。

用于产生从相同金属块中产生一组真空安装元件的一系列示例性制造步骤如下所示：

(i)机械加工一组真空安装元件的凸起部分26。

(ii)机械加工挖空的真空室40，所述真空室40位于每个凸起部分26中。

(iii)加工真空安装元件的基座，以靠着CNC或者其他工作平台安装。

(iv)钻取用于空气连接器的空气连接孔和螺，其中所述空气连接器在经机械加工的块70中是可达到的(即，对于沿着块外围的真空安装元件是初次的)。

(v)研磨经机械加工的块70的上表面以对于每个真空安装元件得到高度均匀的高度。

(vi)进行连续分隔切割，例如沿着切割平面72和74，使安装元件相互分隔开。

(vii)在块中进一步完成对于安装元件的空气连接钻取。

(viii)对每一元件固定空气连接器，例如快速连接空气连接器，以便于配置。

(ix)进行最终制备和耐腐蚀性处理。

步骤(iv)、(vii)和(viii)为每个分隔开的真空安装元件分别装配了与相应真空室流体连通的真空口，实现与源30的真空连接(图2)。通过真空室40(图3A、3B)拉或者抽出以空气施加的真空作用力，牢固地抓牢了工件的表面。

本发明的实施方式提供了固定装置方案，所述固定装置方案对于各种尺寸的平坦玻璃基材是高度可配置的，并且能够支持并维持严格容差，使得在机械加工过程中玻璃基材或者其他基材维持在一个合适的平坦条件下。应理解的是，优于每份+/-0.02mm或者甚至优于每份+/-0.01mm之内的严格容差还实现了分隔的真空安装元件的相互高度匹配。单独真空安装元件可以按需分布使得平坦工件牢固地固定在用于机械加工或者其他加工的位置中，以对于各种尺寸的玻璃基材和其他基材提供均匀的真空。对于具有可能的尺寸范围的具体类型的材料，可以快速组装本发明的固定装置，并允许校正措施来校正CNC或者其他机械加工工具的工作表面的不规则。可以使用可变真空级。对于接触表面24和28，可以提供任意多种合适的表面处理。或者，可以对工件本身进行处理以改进与接触表面28的接触，例如使用条带或者其他材料。

尽管已经具体参照本发明的某些优选实施方式详细地描述了本发明，但是如上所述以及如所附权利要求书中所记录，应当理解本领域的技术人员可以在本发明的精神和范围之内进行改变和改良，而不背离本发明的范围。例如，用于真空安装元件的基座配置和相对尺寸以及相关夹持表面可以与本文中所示的情况大不同。例如，本发明的安装元件可以与水平或者垂直放置的工作平台一起使用。本发明由权利要求书所限定。

从而，提供了用于固定装置组件系统的设备和方法，所述固定装置组件可配置用于固定可变尺寸的平坦工件。

Claims (20)

1.一种用于对工作平台安装平坦工件的固定装置设备，该设备包括：

至少第一和第二独立安置的真空安装元件，其中每个真空安装元件具有：

(i)具有下接触表面和夹持表面的基座，所述下接触表面抵靠工作平台安装，所述夹持表面与所述下接触表面间隔开；

(ii)凸起部分，该凸起部分与下接触表面呈直角延伸，该凸起部分具有与下接触表面平行的上接触表面以抵靠平坦工件安置，其中下接触表面和上接触表面之间的高度尺寸是均匀的，在+/-0.02mm之间；以及

(iii)在凸起部分中挖空的真空室，所述真空室与真空口流体连通，用于通过真空室提供真空作用力以将工件固定于上接触表面。

2.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述上接触表面是圆形、线形、矩形或者圆角形状的。

3.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述夹持表面基本平行于下接触表面。

4.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述至少第一和第二真空安装元件分别夹持住工作平台。

5.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，一个或多个安装元件的夹持表面夹持住工作平台并且一个或多个安装元件相互机械连接。

6.如权利要求1所述的固定装置设备，所述固定装置设备还包括对准工具，所述对准工具靠着所述至少第一和第二安装元件的一个或多个的边缘安装，置于工件下方。

7.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述平坦工件是玻璃。

8.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述工作平台是计算机数字控制机的部分。

9.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述至少第一和第二真空安装元件分别与真空分配器相连。

10.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述至少第一和第二真空安装元件的基座相互接触。

11.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，来自至少第一和第二真空安装元件的一个或多个真空软管在工件和工作平台之间延伸。

12.如权利要求1所述的固定装置设备，其特征在于，所述基座具有至少一个用于夹持紧固件的孔。

13.一种用于对工作平台安装平坦工件进行机械加工的固定装置设备，该设备包括：

至少第一和第二独立安置的真空安装元件，其中每个真空安装元件分别具有：

(i)具有下接触表面和夹持表面的平坦基座，所述下接触表面抵靠工作平台安装，所述夹持表面与所述下接触表面间隔开并且基本与其平行；

(ii)凸起部分，该凸起部分与基座呈直角延伸，并且该凸起部分具有与下接触表面平行的上接触表面以抵靠平坦工件安置，以及其中所述上接触表面是L形的；以及

(iii)在凸起部分中挖空的真空室，所述真空室与真空口流体连通，用于通过真空室提供真空作用力以固定工件；

以及

其中固定装置的各个安装元件的下接触表面和上接触表面之间的高度距离是均匀的，在+/-0.02mm内。

14.如权利要求13所述的固定装置设备，其特征在于，来自至少第一和第二真空安装元件的一个或多个真空软管在工件和工作平台之间延伸。

15.一种用于对工作平台安装平坦工件的方法，该方法包括：

a)对金属块进行成形，以形成多个真空安装元件，其中所述金属块具有基座和顶表面，以及其中各个真空安装元件具有：

(i)具有下接触表面和夹持表面的平坦基座，所述下接触表面沿着金属块的基座抵靠工作平台安装，所述夹持表面与所述下接触表面间隔开并且与其平行；

(ii)凸起部分，该凸起部分与基座呈直角延伸，并且该凸起部分具有沿着金属块的顶表面的上接触表面以抵靠平坦工件安置；

(iii)在凸起部分中挖空的真空室；

b)对金属块的顶表面和底表面进行机械加工，以提供上接触表面和下接触表面之间的均匀间距，该均匀间距在不超过+/-0.02mm之内；

c)对经机械加工的金属块进行切割以使得多个真空安装元件分别相互分开；以及

d)为每个分开的真空安装元件分别装配与相应真空室流体连通的真空口。

16.如权利要求15所述的方法，所述方法还包括：

e)沿着工作平台的位置安装经装配的真空安装元件，用于固定工件；

以及

f)施加真空，用于保持平坦工件抵靠住经装配的真空安装元件的上接触表面。

17.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述金属块是铝或钢。

18.如权利要求15所述的方法，其特征还在于，安装经装配的真空安装元件包括使用对准工具。

19.如权利要求16所述的方法，其特征在于，安装经装配的真空安装元件包括将第一安装元件夹到工作平台并至少使得第二安装元件与第一安装元件相连。

20.如权利要求16所述的方法，其特征在于，施加真空包括向第一真空安装元件施加第一真空级以及向第二真空安装元件时间第二真空级，其中所述第一真空级和第二真空级相互相差超过约20％。