CN117824316A - 一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及碳化硅陶瓷生产技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，包括有支撑座，所述支撑座固接有第一安装壳，所述第一安装壳转动连接有密封门，所述第一安装壳连通有进风管，所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳，所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板，所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板，所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接，所述第一滑动板开设有孔。本发明通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动，对晶舟下侧的出风位置进行替换，通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑，使晶舟在烘干的过程中烘干均匀，防止影响产品质量。

Description

一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置

技术领域

本发明涉及碳化硅陶瓷生产技术领域，尤其涉及一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。

背景技术

碳化硅陶瓷晶舟是晶圆生产过程中的重要部件，有着较强的耐高温性能，在碳化硅陶瓷晶舟生产过程中，碳化硅陶瓷晶舟脱模后需要对其进行烘干，将碳化硅陶瓷晶舟内的水分排出，防止在高温烧结时因水分蒸发产生应力变形，由于未烧结的碳化硅陶瓷晶舟质地较软，无法进行夹持，直接将碳化硅陶瓷晶舟放置到烘干装置内进行烘干时，碳化硅陶瓷晶舟底部受热排出的水分在烘干装置的阻挡下无法及时排出，使水分在碳化硅陶瓷晶舟的底部聚集，聚集的水分会影响碳化硅陶瓷晶舟受热的均匀性，从而降低碳化硅陶瓷晶舟烘干后的质量。

发明内容

为了克服现有烘干装置难以烘干碳化硅陶瓷晶舟底部的缺点，本发明提供了一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置。

技术方案是：一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，包括有支撑座，所述支撑座固接有第一安装壳，所述第一安装壳转动连接有密封门，所述第一安装壳连通有进风管，所述进风管与外部热风机连通，所述第一安装壳固接有排风管，所述第一安装壳内侧固接有第二安装壳，所述排风管与所述第二安装壳连通，所述第二安装壳固接有矩形阵列分布的第一固定板，所述第二安装壳滑动连接有等间距分布的第一滑动板，所述第一固定板与相邻的所述第一滑动板密封滑动连接，所述第一滑动板开设有孔，所述第二安装壳固接有等间距分布的固定块，所述第一滑动板与相邻的所述固定块密封滑动连接，所述第二安装壳开设有等距分布的通孔，所述第二安装壳通过其上的通孔密封滑动连接有对称且等间距分布的滑动件，所述第一滑动板与相邻且对称分布的所述滑动件固接，所述固定块、相邻所述第一滑动板和所述第二安装壳之间形成的腔体通过所述第二安装壳上的通孔与外侧连通，所述支撑座设置有用于带动所述滑动件滑动的动力组件。

进一步地，所述第一滑动板由直板开设有两组等距分布的槽组成，两组槽错位分布，所述第一滑动板上开设的孔位于所述第一滑动板上的两组槽内的侧边。

进一步地，所述动力组件包括有步进电机，所述步进电机固接于所述支撑座，所述步进电机的输出轴固接有摩擦轮，所述支撑座转动连接有转动杆，所述转动杆固接有摩擦轮，所述步进电机输出轴上的摩擦轮与所述转动杆上的摩擦轮摩擦配合，所述转动杆固接有对称分布的转动轮，所述转动轮固接有第一限位柱，所述第一安装壳滑动连接有对称分布的滑动杆，所述滑动杆与相邻且等间距分布的所述滑动件均固接，对称分布的所述滑动杆靠近所述步进电机的一侧均固接有方形框架，所述方形框架与相邻的所述第一限位柱滑动配合，所述第二安装壳设置有方形阵列分布的烘干组件，所述烘干组件用于烘干碳化硅陶瓷晶舟上的孔。

进一步地，所述烘干组件包括有密封板，所述密封板滑动连接于所述第二安装壳，所述第二安装壳开设有方形孔，所述密封板固接有圆管，所述圆管在相邻的所述方形孔内滑动，所述圆管贯穿相邻的所述密封板，所述圆管固接并连通有进风板，所述进风板位于所述第一安装壳和所述第二安装壳之间，所述圆管远离相邻所述进风板的一侧固接并连通有密封壳，所述密封壳开设有对称分布的出风孔。

进一步地，所述圆管滑动连接有第一限位板，所述第一限位板与相邻的所述第一滑动板固接，所述圆管上侧与相邻的所述第一限位板之间固接有第一弹簧，所述密封壳内的出风孔固接有喷管，所述喷管由多个软管扭转组成，所述第一滑动板上设置有等距分布的摆正组件，所述摆正组件用于将碳化硅陶瓷晶舟摆正。

进一步地，所述摆正组件包括有对称分布的第二滑动板，对称分布的所述第二滑动板均滑动连接于相邻的所述第一滑动板，对称分布的所述第二滑动板均位于相邻的所述密封壳下方，所述第二滑动板滑动连接有对称分布的弧形块，所述第一滑动板固接有对称且等距分布第二固定板，所述第二固定板与相邻的所述第二滑动板之间固接有对称分布的第二弹簧，所述第二滑动板转动连接有对称分布的第二限位板，所述第二限位板与相邻的所述弧形块限位配合，所述第二限位板与相邻的所述第二固定板之间固接有第一拉簧，所述第一拉簧的弹性系数小于所述第二弹簧的弹性系数，所述弧形块与相邻所述第二滑动板之间固接有第二拉簧，所述第二滑动板固接有限位杆，所述限位杆与相邻且对称的所述弧形块滑动连接。

进一步地，还包括有方形阵列分布的吹风机构，所述吹风机构设置于所述第二安装壳，所述吹风机构用于对碳化硅陶瓷晶舟进行烘干，所述吹风机构包括有限位件，所述限位件固接并连通于所述第二安装壳上侧或相邻的所述固定块，所述限位件滑动连接有滑动壳，所述滑动壳转动并连通有等间距分布的出风壳，所述出风壳开设有孔。

进一步地，所述限位件上等间距分布的所述出风壳的长度由内到外逐渐缩短，用于与碳化硅陶瓷晶舟对应。

进一步地，所述限位件设置有对称分布的第三拉簧，对称分布的所述第三拉簧两端均固接有第二限位柱，所述第二限位柱与相邻的所述限位件滑动连接，所述第二限位柱与相邻的所述出风壳滑动连接，所述出风壳与相邻的所述限位件限位配合，所述限位件设置有对称分布的第四拉簧，对称分布的所述第四拉簧两端均固接有第三限位柱，所述第三限位柱与相邻的所述限位件滑动连接，所述第三限位柱与相邻的所述出风壳滑动连接，所述第四拉簧的弹性系数小于所述第三拉簧的弹性系数。

进一步地，所述滑动壳固接有钢丝绳，所述限位件固接有电动开关，所述电动开关滑动连接有限位滑块，所述限位滑块与相邻的所述滑动壳限位配合，所述限位件远离相邻所述滑动壳的一侧固接有第一导向轮，所述第二安装壳和所述固定块均固接有第二导向轮，所述钢丝绳绕过相邻的所述第一导向轮和相邻的所述第二导向轮与所述密封门固接。

本发明的有益效果：本发明通过在烘干的过程中第一滑动板的上下滑动，对晶舟下侧的出风位置进行替换，通过第一滑动板和相邻第一固定板的交替支撑，使晶舟在烘干的过程中烘干均匀，防止影响产品质量；

本发明通过弧形块对晶舟进行限位，将晶舟防止在固定位置，并在进行烘干的过程中使弧形块与晶舟自动脱离，防止弧形块与晶舟接触影响晶舟的烘干；

本发明通过方形孔对晶舟上的孔进行烘干，将晶舟上的孔内的热量和水分无法快速排出，防止晶舟上的孔排出的出现水蒸气滞留，导致晶舟上的孔内受热不均，进而影响晶舟品质；

本发明通过在烘干时出风壳与晶舟对应，对晶舟较厚的位置重点烘干，提高烘干效率，同时防止晶舟较厚的部分烘干不彻底。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明第二安装壳内部的立体结构示意图；

图3为本发明第一固定板和固定块的立体结构示意图；

图4为本发明第一固定板和第一滑动板的立体结构示意图；

图5为本发明动力组件的立体结构示意图；

图6为本发明滑动杆和方形框架的立体结构示意图；

图7为本发明烘干组件的立体结构示意图；

图8为本发明第一限位板、第一弹簧和喷管的立体结构示意图；

图9为本发明摆正组件的立体结构示意图；

图10为本发明第二滑动板的立体结构剖视图；

图11为本发明钢丝绳和第二导向轮的立体结构示意图；

图12为本发明限位件和出风壳的立体结构示意图；

图13为本发明限位件的立体结构剖视图；

图14为本发明第三拉簧和第四拉簧的立体结构示意图；

图15为本发明出风壳展开的立体结构示意图。

附图标记：1-支撑座，101-第一安装壳，102-密封门，103-进风管，104-排风管，105-第二安装壳，2-第一固定板，201-第一滑动板，202-固定块，203-滑动件，3-步进电机，301-转动杆，302-转动轮，303-第一限位柱，304-滑动杆，305-方形框架，4-密封板，401-方形孔，402-圆管，403-进风板，404-密封壳，5-第一限位板，501-第一弹簧，502-喷管，6-第二滑动板，601-弧形块，602-第二固定板，603-第二弹簧，604-第二限位板，6041-第一拉簧，605-第二拉簧，606-限位杆，7-限位件，701-滑动壳，702-出风壳，8-第三拉簧，801-第二限位柱，802-第四拉簧，803-第三限位柱，9-钢丝绳，901-电动开关，902-限位滑块，903-第一导向轮，904-第二导向轮。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。本发明中的晶舟代指碳化硅陶瓷晶舟，下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

实施例1：一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，如图1-图4所示，包括有支撑座1，支撑座1固接有第一安装壳101，第一安装壳101的前侧转动连接有密封门102，第一安装壳101的上侧连通有进风管103，进风管103与外部热风机连通，用于提供热风对晶舟进行烘干，第一安装壳101固接有排风管104，排风管104的出气口穿过第一安装壳101，第一安装壳101内侧固接有第二安装壳105，排风管104与第二安装壳105连通，第二安装壳105内的热风通过排风管104排出到外部，排风管104位于第一安装壳101和第二安装壳105之间，第二安装壳105固接有矩形阵列分布的第一固定板2，第二安装壳105内的第一固定板2分为四组，每一组由均匀分布的第一固定板2组成，第二安装壳105滑动连接有等间距分布的四个第一滑动板201，第一固定板2与相邻的第一滑动板201密封滑动连接，第一滑动板201由直板开设有两组等距分布的槽组成，两组槽上下错位分布，第一滑动板201开设有均匀分布的孔，第一滑动板201上开设的孔位于U形板的侧边，第二安装壳105固接有等间距分布的四个固定块202，固定块202位于相邻第一滑动板201的下侧，第一滑动板201与相邻的固定块202密封滑动连接，第二安装壳105开设有等距分布的八组通孔，第二安装壳105通过其上的通孔密封滑动连接有左右对称且上下等间距分布的八个滑动件203，第一滑动板201与相邻且对称分布的两个滑动件203固接，滑动件203为L形，滑动件203位于第二安装壳105的外侧，固定块202、相邻第一滑动板201和第二安装壳105之间形成的腔体通过第二安装壳105上的通孔与外侧连通，热气通过第二安装壳105上的通孔进入到第二安装壳105内，滑动件203滑动时将第二安装壳105上相邻的通孔上部封堵，支撑座1设置有动力组件，动力组件用于带动滑动件203滑动。

如图5和图6所示，动力组件包括有步进电机3，步进电机3固接于支撑座1的中部，步进电机3的输出轴固接有摩擦轮，支撑座1转动连接有转动杆301，转动杆301固接有摩擦轮，步进电机3输出轴上的摩擦轮与转动杆301上的摩擦轮摩擦配合，步进电机3的输出轴转动时通过摩擦轮组带动转动杆301转动，转动杆301固接有左右对称分布的两个转动轮302，转动轮302固接有第一限位柱303，第一安装壳101滑动连接有对称分布的两个滑动杆304，滑动杆304位于第一安装壳101和第二安装壳105之间，滑动杆304与相邻且等间距分布的滑动件203均固接，对称分布的两个滑动杆304对向侧均固接有方形框架305，方形框架305与相邻的第一限位柱303滑动配合，在转动轮302转动时，转动轮302带动相邻的第一限位柱303转动，并带动方形框架305上下滑动，第二安装壳105设置有方形阵列分布的烘干组件，烘干组件用于烘干碳化硅陶瓷晶舟上的孔。

如图7和图8所示，烘干组件包括有密封板4，密封板4滑动连接于第二安装壳105的外侧，第二安装壳105开设有方形孔401，密封板4将相邻的方形孔401封堵，防止漏风，密封板4中部固接有圆管402，圆管402在相邻的方形孔401内滑动，圆管402贯穿相邻的密封板4与第二安装壳105和第一安装壳101之间的腔体连通，圆管402固接并连通有进风板403，进风板403位于第一安装壳101和第二安装壳105之间，圆管402前侧固接并连通有密封壳404，密封壳404开设有对称分布的两个出风孔，在烘干时，密封壳404上的出风孔与晶舟对应。

如图8所示，圆管402滑动连接有第一限位板5，第一限位板5的下侧与相邻的第一滑动板201固接，圆管402上侧与相邻的第一限位板5之间固接有第一弹簧501，第一弹簧501用于限制圆管402的位置，密封壳404内的出风孔固接有喷管502，喷管502由多个软管扭转组成，对吹出的热风进行引导，使热风形成旋涡，使热风更集中的进入到晶舟的孔内，对晶舟进行烘干，同时形成的旋涡在晶舟的孔转动，更好的将晶舟上孔内的水分带出，第一滑动板201上设置有等距分布的三个摆正组件，摆正组件用于将碳化硅陶瓷晶舟摆正。

如图8-图10所示，摆正组件包括有对称分布的两个第二滑动板6，对称分布的两个第二滑动板6均滑动连接于相邻的第一滑动板201，对称分布的两个第二滑动板6均位于相邻的密封壳404下方，第二滑动板6的中心点与相邻的密封壳404的中心点竖直对应，第二滑动板6滑动连接有对称分布的两个弧形块601，两个弧形块601对向的弧形与晶舟贴合，防止弧形块601在移动晶舟时对晶舟造成损坏，第一滑动板201下侧固接有对称且等距分布的四个第二固定板602，第二固定板602与相邻的第二滑动板6之间固接有对称分布的两个第二弹簧603，第二滑动板6转动连接有对称分布的两个第二限位板604，第二限位板604由一个三角形和一个直板组成，第二限位板604与相邻的弧形块601限位配合，初始时，第二限位板604对相邻弧形块601限位，第二限位板604与相邻的第二固定板602之间固接有第一拉簧6041，第一拉簧6041用于带动相邻第二限位板604转动，第一拉簧6041的弹性系数小于第二弹簧603的弹性系数，弧形块601与相邻第二滑动板6之间固接有第二拉簧605，第二拉簧605用于带动相邻弧形块601移动，使弧形块601带动晶舟移动，初始时，第二拉簧605和第一拉簧6041均为拉伸状态，第二滑动板6固接有限位杆606，限位杆606与相邻且对称的两个弧形块601均滑动连接，限位杆606用于对弧形块601进行引导。

在使用本装置对碳化硅陶瓷晶舟进行烘干时，先将挤压成型的碳化硅陶瓷晶舟放置到相邻的两个第二滑动板6上，并使碳化硅陶瓷晶舟靠近相邻的密封壳404，在碳化硅陶瓷晶舟放置到第二滑动板6上时挤压第二滑动板6，第二滑动板6向下移动，初始时，第二限位板604将相邻弧形块601限位，第一拉簧6041蓄力，在第二滑动板6向下移动的过程中挤压相邻的第二弹簧603，同时第一拉簧6041蓄力释放并逐渐受到挤压，在第一拉簧6041受到挤压的同时挤压第二限位板604，使第二限位板604转动，当第二滑动板6的上表面与第一滑动板201的上表面平行时，碳化硅陶瓷晶舟与第一固定板2和相邻第一滑动板201组成的平面接触（初始时，第一固定板2和相邻第一滑动板201组成平面），此时第二限位板604转动到与相邻的弧形块601断开接触，弧形块601释放，并在第二拉簧605的拉动下移动，使一个第二滑动板6上的两个弧形块601相互靠近。

一个第二滑动板6上的两个弧形块601相互靠近时带动其上的晶舟，使晶舟向第二滑动板6的中部聚集，防止晶舟偏移，两个弧形块601对向侧的弧面与晶舟贴合，防止弧形块601在与晶舟接触时将晶舟挤压变形，当弧形块601停止移动时，晶舟位于相邻两个第二滑动板6的中部，同时晶舟上的孔与相邻密封壳404上的出风孔对应。

在晶舟上的孔与相邻密封壳404上的出风孔对应时，关闭密封门102，在关闭密封门102后启动进风管103的外部热风机，外部热风机吹出的热风通过进风管103进入到第一安装壳101和第二安装壳105之间，同时启动步进电机3。

进入到第一安装壳101和第二安装壳105之间的 热风通过进风板403进入到相邻的圆管402，圆管402内的热风进入到相邻的密封壳404，并通过密封壳404上的出风孔排出，对晶舟上的孔进行烘干，在密封壳404从出风孔排出时通过相邻的喷管502，使热风更集中的进入到晶舟的孔内，对晶舟进行烘干，同时形成的旋涡在晶舟的孔转动，更好的将晶舟上孔内的水分带出。

在启动步进电机3后，步进电机3的输出轴先转动，在步进电机3的输出轴转动的过程中，步进电机3的输出轴通过摩擦轮带动转动杆301上的摩擦轮转动，使转动杆301转动，当转动杆301转动90度后，步进电机3停止，在转动杆301转动的过程中带动左右两个转动轮302转动，转动轮302带动其上的第一限位柱303转动，第一限位柱303带动方形框架305上下移动，同时第一限位柱303在方形框架305内滑动，方形框架305移动的过程中带动滑动杆304移动，在滑动杆304上移的过程中带动相邻的四个滑动件203上移，滑动件203带动相邻的第一滑动板201上移。

在第一滑动板201上移的过程中，第一滑动板201带动其上的第一限位板5向上移动，第一限位板5带动相邻的圆管402向上移动，在第一弹簧501的挤压下相邻圆管402的下侧始终与相邻第一限位板5贴合，在第一滑动板201向上移动的过程中，相邻的第一固定板2逐渐与第一滑动板201的下侧靠近，当相邻的第一固定板2与第一滑动板201上表面接触时，第一滑动板201上的孔位于第一固定板2的上方，此时位于第一滑动板201下侧的风通过其上的孔进入到第一滑动板201的上侧，对晶舟进行烘干。

在步进电机3的输出轴停止转动，一段时间后，步进电机3的输出轴再次转动，在步进电机3的输出轴转动的过程中通过传动使转动轮302转动，当转动轮302转动180度时，步进电机3的输出轴停止转动，转动轮302在转动时通过相邻的第一限位柱303带动相邻的滑动杆304向下移动，滑动杆304带动滑动件203向下移动，滑动件203带动第一滑动板201向下移动，在第一滑动板201向下移动的过程中带动第一限位板5向下移动，第一限位板5通过其上的第一弹簧501带动相邻的圆管402向下同步移动，圆管402带动密封壳404向下移动，使密封壳404内的喷管502与晶舟对应。

在第一滑动板201向下移动的过程，当第一滑动板201的上侧面与相邻的第一固定板2上侧面平齐时，圆管402与相邻方形孔401的下侧接触，第一滑动板201继续向下移动，同时晶舟与第一固定板2接触，晶舟在第一固定板2的支撑下不再下降，第一限位板5继续下降，圆管402在方形孔401的限位下不再下降，使密封壳404上的出风孔始终与晶舟上的孔对应，对晶舟进行烘干，在第一限位板5继续下降的过程中，第一弹簧501受到压缩，当步进电机3的输出轴转动停止后，此时第一滑动板201位于相邻第一固定板2的下侧，第一滑动板201上的孔喷出的热风向上移动，并在相邻的第一固定板2之间的缝隙排出，对晶舟进行烘干，一段时间后，步进电机3的输出轴再次转动并通过传动使转动轮302转动180度时，步进电机3的输出轴停止转动，重复上述过程，直至对晶舟烘干完全。

在上述过程中，第一滑动板201向下移动带动其上的第二滑动板6向下移动，在第一滑动板201与晶舟脱离并向下移动的过程中，第二滑动板6同时向下移动，并逐渐与晶舟脱离，在第二滑动板6与晶舟脱离的过程中，第二弹簧603在挤压相邻的第二滑动板6，第二滑动板6相对于相邻的第一滑动板201向上滑动，第二固定板602与相邻第二滑动板6之间的距离伸长，第一拉簧6041受到拉伸，并带动第二限位板604复位，同时弧形块601逐渐与晶舟脱离，在弧形块601与晶舟完全脱离后，弧形块601继续在第二拉簧605的拉力下移动，弧形块601不再与晶舟接触，防止弧形块601与晶舟接触的部分不能均匀受热，影响晶舟质量。

在烘干的过程中，通过第一滑动板201的上下滑动，对晶舟下侧的出风位置进行替换，通过第一滑动板201和相邻第一固定板2的交替支撑，使晶舟在烘干的过程中烘干均匀，防止晶舟下侧存在死角，影响产品质量。

风在第一滑动板201的孔排出后通过晶舟向上移动，然后通过排风管104排出。

在烘干完成后，步进电机3的输出轴转动，并通过传动使滑动杆304位于初始状态，此时步进电机3的输出轴停止转动，此时第一滑动板201的上表面和相邻第一固定板2的上表面平齐，工作人员关闭步进电机3和进风管103外部的热风机，停止对晶舟的烘干，然后打开密封门102，将烘干后的晶舟取出。

在将晶舟取出时，第二滑动板6在相邻第二弹簧603的作用下复位，同时滑动弧形块601，使同一个第二滑动上的弧形块601相互远离，直至弧形块601与相邻的第二限位板604接触，第二限位板604将弧形块601限位。

实施例2：在实施例1的基础之上，如图11-图15所示，还包括有方形阵列分布的吹风机构，吹风机构设置于第二安装壳105内，吹风机构用于对碳化硅陶瓷晶舟进行烘干，吹风机构与相邻的两个第二滑动板6对应，位于第二滑动板6的上方，吹风机构包括有限位件7，限位件7内部开设有通透的腔体，限位件7固接并连通于第二安装壳105上侧或相邻的固定块202，限位件7的内部滑动连接有滑动壳701，滑动壳701下侧转动并连通有等间距分布的四个出风壳702，出风壳702开设有孔，第二安装壳105和第一安装壳101之间的热风通过限位件7上侧的孔进入到其内部，并通过滑动壳701进入到出风壳702内，限位件7上等间距分布的四个出风壳702的长度由内到外逐渐缩短，同一个限位件7上内侧的两个出风壳702的长度大于外侧的两个出风壳702的长度，用于与碳化硅陶瓷晶舟对应。

如图13和图14所示，限位件7下部设置有前后对称分布的两个第三拉簧8，前后对称分布的两个第三拉簧8的两端均固接有第二限位柱801，第三拉簧8为弧形，第二限位柱801与相邻的限位件7滑动连接，第二限位柱801与相邻的出风壳702滑动连接，出风壳702与相邻的限位件7限位配合，当出风壳702与限位件7解除限位时，第三拉簧8通过相邻的两个第二限位柱801带动相邻的出风壳702摆动，限位件7下部设置有前后对称分布的两个第四拉簧802，第四拉簧802为弧形，对称分布的两个第四拉簧802两端均固接有第三限位柱803，第三限位柱803与相邻的出风壳702滑动连接，第三限位柱803与相邻的出风壳702滑动连接，第四拉簧802的弹性系数小于第三拉簧8的弹性系数，使同一个滑动壳701上的四个出风壳702外侧的两个摆动的幅度比内侧的两个摆动的幅度大，使相邻的四个出风壳702与晶舟对应。

如图11-图13所示，滑动壳701的上侧固接有钢丝绳9，限位件7固接有电动开关901，电动开关901滑动连接有限位滑块902，当电动开关901断电时，限位滑块902能够在压力下向电动开关901内滑动，限位滑块902在不受挤压时复位，限位滑块902与相邻的滑动壳701限位配合，限位滑块902限制相邻滑动壳701的移动，限位件7上侧固接有第一导向轮903，第二安装壳105和固定块202均固接有第二导向轮904，钢丝绳9绕过相邻的第一导向轮903和相邻的第二导向轮904与密封门102固接。

在对晶舟进行烘干的过程中，工作人员启动与进风管103连通的热风机和电动开关901，进风管103将热风通入第一安装壳101和第二安装壳105之间，以一个限位件7为例，热风通过限位件7上侧的孔进入到其内部，进入到滑动壳701的风通过滑动壳701进入到四个出风壳702内，并从四个出风壳702的孔排出，初始时，如图13所示，电动开关901带动限位滑块902向右移动，限位滑块902与滑动壳701脱离，在限位滑块902与滑动壳701脱离后，滑动壳701在重力的作用下向下移动，当滑动壳701滑动到限位件7的下部时，钢丝绳9被相邻的滑动壳701拉紧，滑动壳701不再移动，此时出风壳702与相邻的限位件7失去接触，第三拉簧8通过相邻的两个第二限位柱801带动相邻的两个出风壳702移动，使外侧的两个出风壳702摆动，第四拉簧802通过相邻的两个第三限位柱803带动相邻的两个出风壳702摆动，使四个出风壳702均张开，由于第三拉簧8的弹力比第四拉簧802大，外侧的两个出风壳702与晶舟的外边缘对应，内侧的两个出风壳702与晶舟的内侧两个圆柱形支撑条对应，针对晶舟的形状进行烘干。

在同一个限位件7上的出风壳702进行烘干的过程中，外侧的两个出风壳702比内侧的两个出风壳702的长度短，四个出风壳702与晶舟的距离相等，使晶舟均匀受热。

在烘干完成后，工作人员关闭热风机和电动开关901，在打开密封门102的过程中，密封门102拉动钢丝绳9，钢丝绳9在第一导向轮903和第二导向轮904的导向下带动相邻的滑动壳701向上移动，滑动壳701带动其上的四个出风壳702向上移动，四个出风壳702在相邻限位件7的作用下收缩，并通过相邻的第三限位柱803和相邻的第二限位柱801拉动相邻的第四拉簧802和相邻的第三拉簧8，使第四拉簧802和相邻的第三拉簧8复位。

在滑动壳701上升的同时与相邻的限位滑块902接触，并挤压相邻的限位滑块902，限位滑块902向右移动，并逐渐将滑动壳701限位，将出风壳702收缩，便于晶舟的拿取。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，包括有支撑座（1），所述支撑座（1）固接有第一安装壳（101），所述第一安装壳（101）转动连接有密封门（102），所述第一安装壳（101）连通有进风管（103），所述进风管（103）与外部热风机连通，所述第一安装壳（101）固接有排风管（104），所述第一安装壳（101）内侧固接有第二安装壳（105），所述排风管（104）与所述第二安装壳（105）连通，所述第二安装壳（105）固接有矩形阵列分布的第一固定板（2），所述第二安装壳（105）滑动连接有等间距分布的第一滑动板（201），所述第一固定板（2）与相邻的所述第一滑动板（201）密封滑动连接，所述第一滑动板（201）开设有孔，所述第二安装壳（105）固接有等间距分布的固定块（202），所述第一滑动板（201）与相邻的所述固定块（202）密封滑动连接，所述第二安装壳（105）开设有等距分布的通孔，所述第二安装壳（105）通过其上的通孔密封滑动连接有对称且等间距分布的滑动件（203），所述第一滑动板（201）与相邻且对称分布的所述滑动件（203）固接，所述固定块（202）、相邻所述第一滑动板（201）和所述第二安装壳（105）之间形成的腔体通过所述第二安装壳（105）上的通孔与外侧连通，所述支撑座（1）设置有用于带动所述滑动件（203）滑动的动力组件。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述第一滑动板（201）由直板开设有两组等距分布的槽组成，两组槽错位分布，所述第一滑动板（201）上开设的孔位于所述第一滑动板（201）上的两组槽内的侧边。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述动力组件包括有步进电机（3），所述步进电机（3）固接于所述支撑座（1），所述步进电机（3）的输出轴固接有摩擦轮，所述支撑座（1）转动连接有转动杆（301），所述转动杆（301）固接有摩擦轮，所述步进电机（3）输出轴上的摩擦轮与所述转动杆（301）上的摩擦轮摩擦配合，所述转动杆（301）固接有对称分布的转动轮（302），所述转动轮（302）固接有第一限位柱（303），所述第一安装壳（101）滑动连接有对称分布的滑动杆（304），所述滑动杆（304）与相邻且等间距分布的所述滑动件（203）均固接，对称分布的所述滑动杆（304）靠近所述步进电机（3）的一侧均固接有方形框架（305），所述方形框架（305）与相邻的所述第一限位柱（303）滑动配合，所述第二安装壳（105）设置有方形阵列分布的烘干组件，所述烘干组件用于烘干碳化硅陶瓷晶舟上的孔。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述烘干组件包括有密封板（4），所述密封板（4）滑动连接于所述第二安装壳（105），所述第二安装壳（105）开设有方形孔（401），所述密封板（4）固接有圆管（402），所述圆管（402）在相邻的所述方形孔（401）内滑动，所述圆管（402）贯穿相邻的所述密封板（4），所述圆管（402）固接并连通有进风板（403），所述进风板（403）位于所述第一安装壳（101）和所述第二安装壳（105）之间，所述圆管（402）远离相邻所述进风板（403）的一侧固接并连通有密封壳（404），所述密封壳（404）开设有对称分布的出风孔。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述圆管（402）滑动连接有第一限位板（5），所述第一限位板（5）与相邻的所述第一滑动板（201）固接，所述圆管（402）上侧与相邻的所述第一限位板（5）之间固接有第一弹簧（501），所述密封壳（404）内的出风孔固接有喷管（502），所述喷管（502）由多个软管扭转组成，所述第一滑动板（201）上设置有等距分布的摆正组件，所述摆正组件用于将碳化硅陶瓷晶舟摆正。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述摆正组件包括有对称分布的第二滑动板（6），对称分布的所述第二滑动板（6）均滑动连接于相邻的所述第一滑动板（201），对称分布的所述第二滑动板（6）均位于相邻的所述密封壳（404）下方，所述第二滑动板（6）滑动连接有对称分布的弧形块（601），所述第一滑动板（201）固接有对称且等距分布第二固定板（602），所述第二固定板（602）与相邻的所述第二滑动板（6）之间固接有对称分布的第二弹簧（603），所述第二滑动板（6）转动连接有对称分布的第二限位板（604），所述第二限位板（604）与相邻的所述弧形块（601）限位配合，所述第二限位板（604）与相邻的所述第二固定板（602）之间固接有第一拉簧（6041），所述第一拉簧（6041）的弹性系数小于所述第二弹簧（603）的弹性系数，所述弧形块（601）与相邻所述第二滑动板（6）之间固接有第二拉簧（605），所述第二滑动板（6）固接有限位杆（606），所述限位杆（606）与相邻且对称的所述弧形块（601）滑动连接。

7.根据权利要求4所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，还包括有方形阵列分布的吹风机构，所述吹风机构设置于所述第二安装壳（105），所述吹风机构用于对碳化硅陶瓷晶舟进行烘干，所述吹风机构包括有限位件（7），所述限位件（7）固接并连通于所述第二安装壳（105）上侧或相邻的所述固定块（202），所述限位件（7）滑动连接有滑动壳（701），所述滑动壳（701）转动并连通有等间距分布的出风壳（702），所述出风壳（702）开设有孔。

8.根据权利要求7所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述限位件（7）上等间距分布的所述出风壳（702）的长度由内到外逐渐缩短，用于与碳化硅陶瓷晶舟对应。

9.根据权利要求8所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述限位件（7）设置有对称分布的第三拉簧（8），对称分布的所述第三拉簧（8）两端均固接有第二限位柱（801），所述第二限位柱（801）与相邻的所述限位件（7）滑动连接，所述第二限位柱（801）与相邻的所述出风壳（702）滑动连接，所述出风壳（702）与相邻的所述限位件（7）限位配合，所述限位件（7）设置有对称分布的第四拉簧（802），对称分布的所述第四拉簧（802）两端均固接有第三限位柱（803），所述第三限位柱（803）与相邻的所述限位件（7）滑动连接，所述第三限位柱（803）与相邻的所述出风壳（702）滑动连接，所述第四拉簧（802）的弹性系数小于所述第三拉簧（8）的弹性系数。

10.根据权利要求9所述的一种碳化硅陶瓷晶舟制备用烘干装置，其特征在于，所述滑动壳（701）固接有钢丝绳（9），所述限位件（7）固接有电动开关（901），所述电动开关（901）滑动连接有限位滑块（902），所述限位滑块（902）与相邻的所述滑动壳（701）限位配合，所述限位件（7）远离相邻所述滑动壳（701）的一侧固接有第一导向轮（903），所述第二安装壳（105）和所述固定块（202）均固接有第二导向轮（904），所述钢丝绳（9）绕过相邻的所述第一导向轮（903）和相邻的所述第二导向轮（904）与所述密封门（102）固接。