CN220981787U - 一种探针卡烘干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种探针卡烘干装置，用于对探针卡进行烘干，所述探针卡烘干装置包括腔体、至少一组喷嘴机构、挂架、至少一组动力组件，所述腔体为一端开口的中空立方形壳体，所述动力组件安装于所述腔体内侧上方，所述喷嘴机构与所述动力组件连接，所述挂架放置于所述腔体内部中部位置，所述喷嘴机构可相对所述腔体上下移动，所述喷嘴机构包括多个喷嘴，所述喷嘴可喷压缩空气。所述挂架用于放置安装探针卡，所述喷嘴机构用于喷压缩空气烘干所述探针卡。该装置烘干均匀且烘干质量好，并且使用操作方便，从而体现了该探针卡烘干装置在性能上的优越性。

Description

一种探针卡烘干装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种探针卡烘干装置。

背景技术

芯片测试探针卡是用于芯片引脚测试，当探针卡从硅片上释放后，由于表面有药剂、水渍，需要进行表面清洗，并且要进行烘干，然后才能进入下一道工序。而市场上的相关的烘干设备并非是专门针对探针卡进行烘干而设计的设备，存在着在烘干过程中由于温升过高过快，烘干风力过大，照成探针卡变形且烘干不均匀，烘干效果不很理想并且操作不便的问题。因此探针卡测试相关技术人员希望有一种新的装置对上述问题进行改善和解决。

实用新型内容

有鉴于此，提供一种探针卡烘干装置，其是专门针对探针卡进行烘干而开发的设备，且操作方便，极大地增强了用户使用的体验感。

一种探针卡烘干装置，所述探针卡烘干装置包括腔体、至少一组喷嘴机构、挂架、至少一组动力组件。

所述腔体为一端开口的中空壳体，所述喷嘴机构安装于所述腔体内侧面，所述动力组件安装于所述腔体内侧，所述喷嘴机构与所述动力组件连接，所述挂架放置于所述腔体内部中部位置，所述喷嘴机构能相对所述腔体上下移动，所述动力组件用于使所述喷嘴机构相对所述腔体上下移动。

所述喷嘴机构包括多个喷嘴，所述喷嘴机构连接有压缩空气管道，所述喷嘴与压缩空气管道连通以喷压缩空气。

所述挂架用于放置安装探针卡，所述喷嘴机构用于向挂架喷压缩空气以烘干所述探针卡。

优选地，所述喷嘴机构还包括基体、气压表和气体管路，多个所述喷嘴安装于所述基体朝向挂架一侧，所述基体通过所述气体管路与供气系统连接，所述基体具有气路通道，所述气路通道用于使所述气体管路的气体连通于多个所述喷嘴，多个所述喷嘴为雾状喷嘴，多个所述雾状喷嘴用于向探针卡喷出干燥气体。

所述气压表固定安装于所述腔体一侧，所述气压表与所述气体管路连通，所述气压表用于显示所述气体管路的气体气压。

在一些具体实施方案中，所述喷嘴机构还包括两组导柱组件，每组所述导柱组件包括导柱、直线轴承和两个连接座，所述导柱通过两个所述连接座固定连接于所述腔体，所述直线轴承固定安装于所述基体，所述导柱滑动穿于所述直线轴承，所述基体通过两组所述导柱组件能顺畅地滑动。

进一步地，所述喷嘴机构组数与所述动力组件组数相同，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构或伺服电机带动同步带结构。

进一步地，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构，所述动力组件包括伺服电机组件、支撑件和滚珠丝杠组件，所述支撑件固定安装于所述腔体内侧上部，所述伺服电机组件包括伺服电机和联轴器，滚珠丝杠组件包括丝杠和螺母，所述伺服电机固定安装于所述支撑件，所述伺服电机具有能旋转的电机轴，所述电机轴通过所述联轴器与所述丝杠固定连接，所述螺母安装于所述基体对应的安装孔柱中，所述丝杠螺旋旋转穿过所述螺母，所述基体能在所述动力组件驱动下上下移动。

优选地，所述挂架包括架体和多个夹子，所述架体具有多排和/或多列夹具结构，所述夹具结构两端分别安装一个所述夹子，所述夹具结构中间安装至少一个所述夹子，所述夹具结构两端安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的两端，所述夹具结构中间安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的中间。

优选地，所述探针卡烘干装置还包括排气扇，所述排气扇固定安装于所述腔体一侧，所述排气扇用于加快所述探针卡烘干装置中气体的空气流动。

具体地，所述喷嘴机构还包括至少一个极限感应开关，所述极限感应开关为行程开关或光电感应开关，所述极限感应开关可调整地固定安装于所述腔体内侧，所述极限感应开关用于感应所述基体移动的最大极限位置。

优选地，所述腔体安装有能开闭的腔体门，所述腔体门具有多个孔，多个所述孔用于所述探针卡烘干装置通风透气。

进一步地，所述探针卡烘干装置还包括控制组件，所述控制组件包括触摸显示屏和中央控制器，所述触摸显示屏安装于所述腔体外侧，所述中央控制器安装于所述腔体内侧，所述中央控制器具有线路与所述触摸显示屏、所述极限感应开关、所述排气扇、所述动力组件、所述气压表分别一一对应相互连接，所述中央控制器为单片机控制器或PLC控制器。

上述探针卡烘干装置，其是为针对探针卡进行烘干而专门设计，其具有专门为烘干探针卡而设计的挂架，其喷嘴机构烘干时可上下移动，并且采用了雾状喷嘴，烘干基本无温升，且烘干气体轻柔喷出，这样达到了探针卡烘干均匀、烘干后不变形，且烘干质量好，并且操作方便的使用效果，具有广泛的应用前景。

附图说明

所包括的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本实用新型的实施方式，并与文字描述一起来阐释本实用新型的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本实用新型实施例提供的一种探针卡烘干装置设备原理示意图。

图2是本实用新型实施例提供的一种探针卡烘干装置的挂架示意图。

其中：

101、腔体；201、喷嘴机构；203、基体；204、气压表；207、雾状喷嘴；

220、导柱组件；221、导柱；225、直线轴承；230、连接座；301、挂架；

302、架体；310、夹具结构；312、夹子；320、探针卡；401、动力组件；

402、支撑件；405、伺服电机；410、联轴器；415、丝杠；420、螺母；

501、排气扇；601、极限感应开关；701、触摸显示屏。

具体实施方式

以下将结合具体实施例和附图对本实用新型进行详细说明。

请参阅图1-图2，示出本实用新型的实施例提供的一种探针卡烘干装置，所述探针卡烘干装置包括腔体101、至少一组喷嘴机构201、挂架301、至少一组动力组件401。

具体地，所述腔体101为一端开口的中空壳体，所述喷嘴机构201安装于所述腔体101内侧面，所述动力组件401安装于所述腔体101内侧，所述喷嘴机构201与所述动力组件401连接，所述挂架301放置于所述腔体101内部中部位置，所述喷嘴机构201能相对所述腔体101上下移动，所述动力组件401用于使所述喷嘴机构201相对所述腔体101上下移动。

具体地，所述喷嘴机构201包括多个喷嘴，所述喷嘴机构201连接有压缩空气管道，所述喷嘴与压缩空气管道连通以喷压缩空气。

具体地，所述挂架301用于放置安装探针卡320，所述喷嘴机构201用于向挂架301喷压缩空气以烘干所述探针卡320。

在本实施例中，所述喷嘴机构201设置有两组，所述动力组件401也设置有两组，所述挂架301放置在所述腔体101的中央位置，所述喷嘴机构201位置在所述挂架301的两侧，所述动力组件401使所述喷嘴机构201相对所述腔体101上下移动，所述喷嘴机构201上的喷嘴对装在所述挂架301上的探针卡喷出轻柔的压缩空气来进行干燥。

优选地，所述喷嘴机构201还包括基体203、气压表204和气体管路，多个所述喷嘴安装于所述基体203朝向挂架301一侧，所述基体203通过所述气体管路与供气系统连接，所述基体203具有气路通道，所述气路通道用于使所述气体管路的气体连通于多个所述喷嘴，多个所述喷嘴为雾状喷嘴207，多个所述雾状喷嘴207用于向探针卡320喷出干燥气体。因为探针卡320为非常精密的半导体测试元件，为了防止压力过强的气体直接喷到探针卡320上而导致探针卡320出现变形等缺陷，因此喷嘴采用所述雾状喷嘴207，采用所述雾状喷嘴207可使气体轻柔喷出，这样可最大程度地避免压力过强的气体直接喷到探针卡320上而导致探针卡320出现变形等缺陷。在本实施例中，每组所述喷嘴机构201所述雾状喷嘴207共7排8列，共56个雾状喷嘴207，其均匀分布在所述基体203朝向挂架301一侧。

所述气压表204固定安装于所述腔体101一侧，所述气压表204与所述气体管路连通，所述气压表204用于显示所述气体管路的气体气压。同样为了防止压力过强的气体直接喷到探针卡上而导致探针卡出现变形等缺陷，因此设置所述气压表204对气体管路的气体气压进行显示，在本实施例中，设置有两个气压表204来分别显示通往两组所述喷嘴机构201中的气压，一旦气压表显示压力异常，操作人员可及时调整供气设备，来使气压维持在正常使用要求的范围。

在一些具体实施方案中，所述喷嘴机构201还包括两组导柱组件220，每组所述导柱组件220包括导柱221、直线轴承225和两个连接座230，所述导柱221通过两个所述连接座230固定连接于所述腔体101，所述直线轴承225固定安装于所述基体203，所述导柱221滑动穿于所述直线轴承225，所述基体203通过两组所述导柱组件220能顺畅地滑动。在本实施例中，两组所述导柱组件220为竖直地安装在所述腔体101中，采用圆柱导柱和直线轴承结构可使所述基体203得以顺畅地沿着两组所述导柱组件220上下平行滑动。

进一步地，所述喷嘴机构201组数与所述动力组件401组数相同，所述动力组件401为伺服电机带动滚珠丝杠结构或伺服电机带动同步带结构。伺服电机带动滚珠丝杠结构和伺服电机带动同步带结构都可实现可控位置的传动，在本实施例中采用的是伺服电机带动滚珠丝杠结构，其优点为传动更加精确。

进一步地，所述动力组件401为伺服电机带动滚珠丝杠结构，所述动力组件401包括伺服电机组件、支撑件402和滚珠丝杠组件，所述支撑件402固定安装于所述腔体101内侧上部，所述伺服电机组件包括伺服电机405和联轴器410，滚珠丝杠组件包括丝杠415和螺母420，所述伺服电机405固定安装于所述支撑件402，所述伺服电机405具有能旋转的电机轴，所述电机轴通过所述联轴器410与所述丝杠415固定连接，所述螺母420安装于所述基体203对应的安装孔柱中，所述丝杠415螺旋旋转穿过所述螺母420，所述基体203能在所述动力组件401驱动下上下移动。在本实施例中，采用伺服电机带动滚珠丝杠结构使得所述基体203实现可控的上下精确移动，从而使得安装在其上的所述雾状喷嘴207能相对所述挂架301上的所述探针卡320上下精确移动，这样可使烘干达到尽可能好的烘干效率和效果。

优选地，所述挂架301包括架体302和多个夹子312，所述架体302具有多排和/或多列夹具结构310，所述夹具结构310两端分别安装一个所述夹子312，所述夹具结构310中间安装至少一个所述夹子312，所述夹具结构310两端安装的所述夹子312用于夹住固定探针卡320的两端，所述夹具结构310中间安装的所述夹子312用于夹住固定探针卡320的中间。所述夹具结构310用三个所述夹子312将所述探针卡320两端和中间分别固定住，这样可有效地防止所述探针卡320在烘干时产生变形。

优选地，所述探针卡烘干装置还包括排气扇501，所述排气扇501固定安装于所述腔体101一侧，所述排气扇501用于加快所述探针卡烘干装置中气体的空气流动。所述排气扇501加快所述探针卡烘干装置中气体的空气流动可提高所述探针卡烘干装置的烘干效率。

具体地，所述喷嘴机构201还包括至少一个极限感应开关601，所述极限感应开关601为行程开关或光电感应开关，所述极限感应开关601可调整地固定安装于所述腔体101内侧，所述极限感应开关601用于感应所述基体203移动的最大极限位置。在本实施例中，每组所述喷嘴机构201分别包括有两个光电感应开关，两个光电感应开关分别安装在所述基体203移动的上下共两个最大极限位置处，当光电感应开关感应到所述基体203已移动到最大位置，便会向中央控制器发出一个信号，中央控制器便会发出一个指令使得所述基体203向相反的方向移动。

优选地，所述腔体101安装有能开闭的腔体门，所述腔体门具有多个孔，多个所述孔用于所述探针卡烘干装置通风透气。所述探针卡烘干装置能做到及时地通风透气，有利于所述探针卡烘干装置从所述探针卡320吹下的潮湿气体从装置中排出，有利于所述探针卡烘干装置的烘干效率。

进一步地，所述探针卡烘干装置还包括控制组件，所述控制组件包括触摸显示屏701和中央控制器，所述触摸显示屏701安装于所述腔体101外侧，所述中央控制器安装于所述腔体101内侧，所述中央控制器具有线路与所述触摸显示屏701、所述极限感应开关601、所述排气扇501、所述动力组件401、所述气压表204分别一一对应相互连接，所述中央控制器为单片机控制器或PLC控制器。在本实施例中，所述中央控制器为PLC控制器，因为其结构紧凑，操作编程指令方便。

具体使用时，将待烘干的探针卡320安装在所述挂架301上，然后将所述挂架301放置在所述腔体101的中央位置，两组所述喷嘴机构201位置正好分布在所述挂架301的两侧。当在所述触摸显示屏输入好控制参数后，便可启动所述探针卡烘干装置运行，此时所述动力组件401便使所述喷嘴机构201相对所述挂架301上下移动，所述喷嘴机构201上的喷嘴对装在所述挂架301上的探针卡320喷出轻柔的压缩空气来进行干燥，当达到了设定的烘干时间，便可将所述挂架301从所述探针卡烘干装置中取出，此时其上的探针卡320已经达到烘干要求的标准。

需要说明的是，本实用新型并不局限于上述实施方式，根据本实用新型的创造精神，本领域技术人员还可以做出其他变化，这些依据本实用新型的创造精神所做的变化，都应包含在本实用新型所要求保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种探针卡烘干装置，其特征在于，所述探针卡烘干装置包括腔体、至少一组喷嘴机构、挂架、至少一组动力组件；

所述腔体为一端开口的中空壳体，所述喷嘴机构安装于所述腔体内侧面，所述动力组件安装于所述腔体内侧，所述喷嘴机构与所述动力组件连接，所述挂架放置于所述腔体内部中部位置，所述喷嘴机构能相对所述腔体上下移动，所述动力组件用于使所述喷嘴机构相对所述腔体上下移动；

所述喷嘴机构包括多个喷嘴，所述喷嘴机构连接有压缩空气管道，所述喷嘴与压缩空气管道连通以喷压缩空气；

所述挂架用于放置安装探针卡，所述喷嘴机构用于向挂架喷压缩空气以烘干所述探针卡。

2.如权利要求1所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述喷嘴机构还包括基体、气压表和气体管路，多个所述喷嘴安装于所述基体朝向挂架一侧，所述基体通过所述气体管路与供气系统连接，所述基体具有气路通道，所述气路通道用于使所述气体管路的气体连通于多个所述喷嘴，多个所述喷嘴为雾状喷嘴，多个所述雾状喷嘴用于向探针卡喷出干燥气体；

所述气压表固定安装于所述腔体一侧，所述气压表与所述气体管路连通，所述气压表用于显示所述气体管路的气体气压。

3.如权利要求2所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述喷嘴机构还包括两组导柱组件，每组所述导柱组件包括导柱、直线轴承和两个连接座，所述导柱通过两个所述连接座固定连接于所述腔体，所述直线轴承固定安装于所述基体，所述导柱滑动穿于所述直线轴承，所述基体通过两组所述导柱组件能顺畅地滑动。

4.如权利要求2所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述喷嘴机构组数与所述动力组件组数相同，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构或伺服电机带动同步带结构。

5.如权利要求4所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述动力组件为伺服电机带动滚珠丝杠结构，所述动力组件包括伺服电机组件、支撑件和滚珠丝杠组件，所述支撑件固定安装于所述腔体内侧上部，所述伺服电机组件包括伺服电机和联轴器，滚珠丝杠组件包括丝杠和螺母，所述伺服电机固定安装于所述支撑件，所述伺服电机具有能旋转的电机轴，所述电机轴通过所述联轴器与所述丝杠固定连接，所述螺母安装于所述基体对应的安装孔柱中，所述丝杠螺旋旋转穿过所述螺母，所述基体能在所述动力组件驱动下上下移动。

6.如权利要求1所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述挂架包括架体和多个夹子，所述架体具有多排和/或多列夹具结构，所述夹具结构两端分别安装一个所述夹子，所述夹具结构中间安装至少一个所述夹子，所述夹具结构两端安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的两端，所述夹具结构中间安装的所述夹子用于夹住固定探针卡的中间。

7.如权利要求4所述的探针卡烘干装置，其特征在于,所述探针卡烘干装置还包括排气扇，所述排气扇固定安装于所述腔体一侧，所述排气扇用于加快所述探针卡烘干装置中气体的空气流动。

8.如权利要求7所述的探针卡烘干装置，其特征在于,所述喷嘴机构还包括至少一个极限感应开关，所述极限感应开关为行程开关或光电感应开关，所述极限感应开关可调整地固定安装于所述腔体内侧，所述极限感应开关用于感应所述基体移动的最大极限位置。

9.如权利要求1所述的探针卡烘干装置，其特征在于,所述腔体安装有能开闭的腔体门，所述腔体门具有多个孔，多个所述孔用于所述探针卡烘干装置通风透气。

10.如权利要求8所述的探针卡烘干装置，其特征在于，所述探针卡烘干装置还包括控制组件，所述控制组件包括触摸显示屏和中央控制器，所述触摸显示屏安装于所述腔体外侧，所述中央控制器安装于所述腔体内侧，所述中央控制器具有线路与所述触摸显示屏、所述极限感应开关、所述排气扇、所述动力组件、所述气压表分别一一对应相互连接，所述中央控制器为单片机控制器或PLC控制器。