CN117280472A - 显示基板及其制备方法、显示装置 - Google Patents
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Abstract
一种显示基板及其制备方法、显示装置。显示基板包括设置在基底(101)上的驱动电路层(102),基底(101)至少包括第一柔性层(10A)、第二柔性层(10C)以及设置在第一柔性层(10A)和第二柔性层(10C)之间的基底导电层,基底导电层至少包括第一连接线(70),驱动电路层(102)至少包括遮挡导电层和功能导电层,遮挡导电层至少包括第二连接线(80),功能导电层至少包括功能信号线;第二连接线(80)通过第一搭接过孔(DV1)与第一连接线(70)连接,功能信号线通过第二搭接过孔(DV2)与第二连接线(80)连接。
Description
本文涉及但不限于显示技术领域,具体涉及一种显示基板及其制备方法、显示装置。
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称OLED)和量子点发光二极管(Quantum-dot Light Emitting Diodes,简称QLED)为主动发光显示器件,具有自发光、广视角、高对比度、低耗电、极高反应速度、轻薄、可弯曲和成本低等优点。随着显示技术的不断发展,以OLED或QLED为发光器件、由薄膜晶体管(Thin Film Transistor,简称TFT)进行信号控制的柔性显示装置(Flexible Display)已成为目前显示领域的主流产品。
发明内容
以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
一方面,本公开提供了一种显示基板,包括设置在基底上的驱动电路层;所述基底至少包括第一柔性层、第二柔性层以及设置在所述第一柔性层和第二柔性层之间的基底导电层,所述基底导电层至少包括第一连接线;所述驱动电路层至少包括设置在所述基底上的遮挡导电层和设置在所述遮挡导电层远离所述基底一侧的功能导电层,所述遮挡导电层至少包括第二连接线,所述功能导电层至少包括功能信号线;所述第二连接线通过第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述功能信号线通过第二搭接过孔与所述第二连接线连接。
在示例性实施方式中,在平行于所述显示基板的平面内,所述驱动电路层包括多个电路单元,至少一个电路单元包括像素驱动电路,所述像素驱动电路与所述功能信号线连接。
在示例性实施方式中,所述功能信号线包括向所述像素驱动电路提供数据信号的数据信号线。
在示例性实施方式中,所述功能信号线包括向所述像素驱动电路提供电源信号的第一电源线。
在示例性实施方式中,所述驱动电路层至少包括在所述基底上依次设置的遮挡导电层、第一绝缘层、半导体层、第二绝缘层、第一导电层、第三绝缘层、第二导电层、第四绝缘层和第三导电层,所述功能导电层包括所述第三导电层。
在示例性实施方式中,在所述第一搭接过孔区域,所述第二连接线远离所述基底一侧设置有多个无机层,多个无机层包括如下任意一种或多种:第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层。
在示例性实施方式中,所述基底还包括第一阻挡层和第二阻挡层,所述第一阻挡层设置在所述第一柔性层和所述基底导电层之间,所述第二阻挡层设置在所述第二柔性层远离所述第一柔性层的一侧。
在示例性实施方式中,所述第一搭接过孔设置在所述第二柔性层和第二阻挡层上,所述第一搭接过孔的内侧壁包括所述第二柔性层和第二阻挡层,所述第二连接线覆盖所述第一搭接过孔的内侧壁。
在示例性实施方式中,所述第一搭接过孔包括第一搭接子孔和第二搭接子孔,所述第一搭接子孔设置在所述第二柔性层上,所述第一搭接子孔的内侧壁包括所述第二柔性层,所述第二阻挡层覆盖所述第一搭接子孔的内侧壁,所述第二搭接子孔设置在所述第二阻挡层上,所述第二搭接子孔的内侧壁包括所述第二阻挡层,所述第二连接线覆盖所述第二搭接子孔的内侧壁。
在示例性实施方式中,所述第一搭接子孔暴露出所述第一连接线的表面和所述第一阻挡层的部分表面,所述第二阻挡层覆盖所述第一搭接子孔的内侧壁和所述第一搭接子孔暴露出的第一阻挡层的表面。
在示例性实施方式中,所述显示基板包括显示区域和设置在所述显示区域一侧的绑定区域;所述显示区域至少包括多个电路单元,所述绑定区域至少包括沿着远离所述显示区域方向依次设置的引出线区和弯折区,所述第一 搭接过孔设置在所述引出线区,所述第二搭接过孔设置在所述显示区域。
在示例性实施方式中,所述引出线区包括沿着远离所述显示区域方向依次设置的封装区和非封装区,所述第一搭接过孔设置在所述非封装区。
在示例性实施方式中,所述弯折区的基底包括第一柔性层、第一阻挡层、基底导电层和第二柔性层。
在示例性实施方式中,所述显示基板包括显示区域和设置在所述显示区域一侧的绑定区域;所述显示区域至少包括多个电路单元,至少一个电路单元至少包括像素驱动电路,所述像素驱动电路与所述数据信号线连接;所述绑定区域至少包括沿着远离所述显示区域方向依次设置的引出线区和弯折区;所述第一搭接过孔和第二搭接过孔设置在所述显示区域。
在示例性实施方式中,所述第二连接线至少包括连接块、第一子线和第二子线,所述连接块通过所述第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述第一子线的第一端所述连接块连接,所述第一子线的第二端沿着所述第一方向的反方向延伸后,与所述第二子线的第一端连接,所述第二子线的第二端沿着所述第二方向的反方向延伸后,通过所述第二搭接过孔与所述功能信号线连接。
在示例性实施方式中,所述第一搭接过孔靠近所述第二子线一侧的边缘与所述第二子线靠近所述第一搭接过孔一侧的边缘之间的第一距离为0.1M1至0.5M1,M1为电路单元所述第一方向的长度
在示例性实施方式中,所述第一距离为6μm至30μm。
在示例性实施方式中,所述第二搭接过孔靠近所述第一子线一侧的边缘与所述第一子线靠近所述第二搭接过孔一侧的边缘之间的第二距离为0.2M2至1.2M2,M2为电路单元所述第二方向的长度。
在示例性实施方式中,所述第二距离为6μm至70μm。
另一方面,本公开还提供了一种显示装置,包括前述的显示基板。
又一方面,本公开还提供了一种显示基板的制备方法,包括:
形成基底,所述基底至少包括第一柔性层、第二柔性层以及设置在所述 第一柔性层和第二柔性层之间的基底导电层,所述基底导电层至少包括第一连接线;
在所述基底上形成驱动电路层,所述驱动电路层至少包括设置在所述基底上的遮挡导电层和设置在所述遮挡导电层远离所述基底一侧的功能导电层,所述遮挡导电层至少包括第二连接线,所述功能导电层至少包括功能信号线;所述第二连接线通过第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述功能信号线通过第二搭接过孔与所述第二连接线连接。
在阅读并理解了附图和详细描述后,可以明白其他方面。
附图用来提供对本公开技术方案的理解,并且构成说明书的一部分,与本公开的实施例一起用于解释本公开的技术方案,并不构成对本公开技术方案的限制。
图1为一种显示装置的结构示意图;
图2为一种显示基板的结构示意图;
图3为一种显示基板中显示区域的平面结构示意图;
图4为一种显示基板中显示区域的剖面结构示意图;
图5为一种像素驱动电路的等效电路示意图;
图6为本公开示例性实施例一种显示基板的平面结构示意图;
图7a和图7b为本公开示例性实施例一种数据连接线的结构示意图;
图8a和图8b为本公开一种显示基板中形成基底后的示意图;
图9a和图9b为本公开一种显示基板中形成第一搭接过孔后的示意图;
图10a和图10b为本公开一种显示基板中形成遮挡导电层后的示意图;
图11a和图11b为本公开一种显示基板中形成半导体层后的示意图;
图12a为图12b为本公开一种显示基板中形成第一导电层后的示意图;
图13a为图13b为本公开一种显示基板中形成第二导电层后的示意图;
图14a和图14b为本公开一种显示基板中形成第四绝缘层后的示意图;
图15a为图15b为本公开一种显示基板中形成第三导电层后的示意图;
图16为本公开示例性实施例另一种显示基板的平面结构示意图;
图17为本公开示例性实施例另一种数据连接线的结构示意图;
图18为本公开另一种显示基板中形成基底后的示意图;
图19为本公开另一种显示基板中形成第一搭接过孔后的示意图;
图20为本公开另一种显示基板中形成遮挡导电层后的示意图;
图21为本公开另一种显示基板中形成第二导电层后的示意图;
图22为本公开另一种显示基板中形成第四绝缘层后的示意图;
图23为本公开另一种显示基板中形成第三导电层后的示意图;
图24为本公开示例性实施例又一种数据连接线的结构示意图;
图25为本公开示例性实施例又一种数据连接线的结构示意图。
附图标记说明:
10A—第一柔性层; 10B—第一阻挡层; 10C—第二柔性层;
10D—第二阻挡层; 11—第一有源层; 12—第二有源层;
13—第三有源层; 14—第四有源层; 15—第五有源层;
16—第六有源层; 17—第七有源层; 21—第一扫描信号线;
22—第二扫描信号线; 23—发光控制线; 24—第一极板;
31—初始信号线; 32—第二极板; 33—极板连接线;
34—开口; 41—第一连接电极; 42—第二连接电极;
43—第三连接电极; 44—第一电源线; 50—遮挡电极;
60—数据信号线; 70—第一连接线; 71—第一连接块;
80—第二连接线; 81—第二连接块; 91—第一绝缘层;
92—第二绝缘层; 93—第三绝缘层; 94—第四绝缘层;
100—显示区域; 101—基底; 102—驱动电路层;
103—发光结构层; 104—封装结构层; 110—第一区域;
120—第二区域; 200—绑定区域; 201—引出线区;
202—弯折区; 300—边框区域。
为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白,下文中将结合附图对本公开的实施例进行详细说明。注意,实施方式可以以多个不同形式来实施。所属技术领域的普通技术人员可以很容易地理解一个事实,就是方式和内容可以在不脱离本公开的宗旨及其范围的条件下被变换为各种各样的形式。因此,本公开不应该被解释为仅限定在下面的实施方式所记载的内容中。在不冲突的情况下,本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。
本公开中的附图比例可以作为实际工艺中的参考,但不限于此。例如:沟道的宽长比、各个膜层的厚度和间距、各个信号线的宽度和间距,可以根据实际需要进行调整。显示基板中像素的个数和每个像素中子像素的个数也不是限定为图中所示的数量,本公开中所描述的附图仅是结构示意图,本公开的一个方式不局限于附图所示的形状或数值等。
本说明书中的“第一”、“第二”、“第三”等序数词是为了避免构成要素的混同而设置,而不是为了在数量方面上进行限定的。
在本说明书中,为了方便起见,使用“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系的词句以参照附图说明构成要素的位置关系,仅是为了便于描述本说明书和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本公开的限制。构成要素的位置关系根据描述各构成要素的方向适当地改变。因此,不局限于在说明书中说明的词句,根据情况可以适当地更换。
在本说明书中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解。例如,可以是固定连接,或可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或通过中间件间接相连,或两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情 况理解上述术语在本公开中的具体含义。
在本说明书中,晶体管是指至少包括栅电极、漏电极以及源电极这三个端子的元件。晶体管在漏电极(漏电极端子、漏区域或漏电极)与源电极(源电极端子、源区域或源电极)之间具有沟道区域,并且电流能够流过漏电极、沟道区域以及源电极。注意,在本说明书中,沟道区域是指电流主要流过的区域。
在本说明书中,第一极可以为漏电极、第二极可以为源电极,或者第一极可以为源电极、第二极可以为漏电极。在使用极性相反的晶体管的情况或电路工作中的电流方向变化的情况等下,“源电极”及“漏电极”的功能有时互相调换。因此,在本说明书中,“源电极”和“漏电极”可以互相调换,“源端”和“漏端”可以互相调换。
在本说明书中,“电连接”包括构成要素通过具有某种电作用的元件连接在一起的情况。“具有某种电作用的元件”只要可以进行连接的构成要素间的电信号的授受,就对其没有特别的限制。“具有某种电作用的元件”的例子不仅包括电极和布线,而且还包括晶体管等开关元件、电阻器、电感器、电容器、其它具有各种功能的元件等。
在本说明书中,“平行”是指两条直线形成的角度为-10°以上且10°以下的状态,因此,也包括该角度为-5°以上且5°以下的状态。另外,“垂直”是指两条直线形成的角度为80°以上且100°以下的状态,因此,也包括85°以上且95°以下的角度的状态。
在本说明书中,“膜”和“层”可以相互调换。例如,有时可以将“导电层”换成为“导电膜”。与此同样,有时可以将“绝缘膜”换成为“绝缘层”。
本说明书中三角形、矩形、梯形、五边形或六边形等并非严格意义上的,可以是近似三角形、矩形、梯形、五边形或六边形等,可以存在公差导致的一些小变形,可以存在导角、弧边以及变形等。本公开中的“约”,是指不严格限定界限,允许工艺和测量误差范围内的数值。
图1为一种显示装置的结构示意图。如图1所示,显示装置可以包括时序控制器、数据驱动器、扫描驱动器、发光驱动器和像素阵列,时序控制器 分别与数据驱动器、扫描驱动器和发光驱动器连接,数据驱动器分别与多个数据信号线(D1到Dn)连接,扫描驱动器分别与多个扫描信号线(S1到Sm)连接,发光驱动器分别与多个发光信号线(E1到Eo)连接。像素阵列可以包括多个子像素Pxij,i和j可以是自然数,至少一个子像素Pxij可以包括电路单元和与电路单元连接的发光器件,电路单元可以至少包括像素驱动电路,像素驱动电路分别与扫描信号线、数据信号线和发光信号线连接。在示例性实施方式中,时序控制器可以将适合于数据驱动器的规格的灰度值和控制信号提供到数据驱动器,可以将适合于扫描驱动器的规格的时钟信号、扫描起始信号等提供到扫描驱动器,可以将适合于发光驱动器的规格的时钟信号、发射停止信号等提供到发光驱动器。数据驱动器可以利用从时序控制器接收的灰度值和控制信号来产生将提供到数据信号线D1、D2、D3、……和Dn的数据电压。例如,数据驱动器可以利用时钟信号对灰度值进行采样,并且以像素行为单位将与灰度值对应的数据电压施加到数据信号线D1至Dn,n可以是自然数。扫描驱动器可以通过从时序控制器接收时钟信号、扫描起始信号等来产生将提供到扫描信号线S1、S2、S3、……和Sm的扫描信号。例如,扫描驱动器可以将具有导通电平脉冲的扫描信号顺序地提供到扫描信号线S1至Sm。例如,扫描驱动器可以被构造为移位寄存器的形式,并且可以在时钟信号的控制下顺序地将以导通电平脉冲形式提供的扫描起始信号传输到下一级电路的方式产生扫描信号,m可以是自然数。发光驱动器可以通过从时序控制器接收时钟信号、发射停止信号等来产生将提供到发光信号线E1、E2、E3、……和Eo的发射信号。例如,发光驱动器可以将具有截止电平脉冲的发射信号顺序地提供到发光信号线E1至Eo。例如,发光驱动器可以被构造为移位寄存器的形式,并且可以以在时钟信号的控制下顺序地将以截止电平脉冲形式提供的发射停止信号传输到下一级电路的方式产生发射信号,o可以是自然数。
图2为一种显示基板的结构示意图。如图2所示,显示基板可以包括显示区域100、位于显示区域100一侧的绑定区域200以及位于显示区域100其它侧的边框区域300。在示例性实施方式中,显示区域100可以是平坦的区域,包括组成像素阵列的多个子像素Pxij,多个子像素Pxij配置为显示动态图片或静止图像,显示区域100可以称为有效区域(AA)。在示例性实施 方式中,显示基板可以是可变形的,例如卷曲、弯曲、折叠或卷起。
在示例性实施方式中,绑定区域200可以包括沿着远离显示区域100的方向依次设置的扇出区、弯折区、驱动芯片区和绑定引脚区。扇出区连接到显示区域100,可以至少包括多条数据连接线,多条数据连接线被配置为以扇出(Fanout)走线方式连接显示区域的数据信号线。弯折区连接到扇出区,可以包括设置有凹槽的复合绝缘层,被配置为使绑定区域弯折到显示区域的背面。驱动芯片区可以至少包括集成电路(Integrated Circuit,简称IC),被配置为与多条数据连接线连接。绑定引脚区可以至少包括多个绑定焊盘(Bonding Pad),被配置为与外部的柔性线路板(Flexible Printed Circuit,简称FPC)绑定连接。
在示例性实施方式中,边框区域300可以包括沿着远离显示区域100的方向依次设置的电路区、电源线区、裂缝坝区和切割区。电路区连接到显示区域100,可以至少包括栅极驱动电路,栅极驱动电路与显示区域100中像素驱动电路的第一扫描线、第二扫描线和发光控制线连接。电源线区连接到电路区,可以至少包括边框电源引线,边框电源引线沿着平行于显示区域边缘的方向延伸,与显示区域100中的阴极连接。裂缝坝区连接到电源线区,可以至少包括在复合绝缘层上设置的多个裂缝。切割区连接到裂缝坝区,可以至少包括在复合绝缘层上设置的切割槽,切割槽配置为在显示基板的所有膜层制备完成后,切割设备分别沿着切割槽进行切割。
在示例性实施方式中,绑定区域200中的扇出区和边框区域300中的电源线区可以设置有第一隔离坝和第二隔离坝,第一隔离坝和第二隔离坝可以沿着平行于显示区域边缘的方向延伸,形成环绕显示区域100的环形结构,显示区域边缘是显示区域绑定区域或者边框区域一侧的边缘。
图3为一种显示基板中显示区域的平面结构示意图。如图3所示,显示基板可以包括以矩阵方式排布的多个像素单元P,至少一个像素单元P可以包括出射第一颜色光线的第一子像素P1、出射第二颜色光线的第二子像素P2、出射第三颜色光线的第三子像素P3和第四子像素P4。每个电路单元可以均包括电路单元和发光器件,电路单元可以至少包括像素驱动电路,像素驱动电路分别与扫描信号线、数据信号线和发光信号线连接,像素驱动电路 被配置为在扫描信号线和发光信号线的控制下,接收数据信号线传输的数据电压,向发光器件输出相应的电流。每个电路单元中的发光器件分别与所在子像素的像素驱动电路连接,发光器件被配置为响应所在子像素的像素驱动电路输出的电流发出相应亮度的光。
在示例性实施方式中,第一子像素P1可以是出射红色光线的红色子像素(R),第二子像素P2可以是出射蓝色光线的蓝色子像素(B),第三子像素P3和第四子像素P4可以是出射绿色光线的绿色子像素(G)。在示例性实施方式中,子像素的形状可以是矩形状、菱形、五边形或六边形,四个子像素可以采用钻石形(Diamond)方式排列,形成RGBG像素排布。在其它示例性实施方式中,四个子像素可以采用水平并列、竖直并列或正方形等方式排列,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,像素单元可以包括三个子像素,三个子像素可以采用水平并列、竖直并列或品字等方式排列,本公开在此不做限定。
图4为一种显示基板中显示区域的剖面结构示意图,示意了显示区域中四个子像素的结构。如图4所示,在垂直于显示基板的平面上,显示基板可以包括设置在基底101上的驱动电路层102、设置在驱动电路层102远离基底101一侧的发光结构层103以及设置在发光结构层103远离基底101一侧的封装结构层104。在一些可能的实现方式中,显示基板可以包括其它膜层,如触控结构层等,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,基底101可以是柔性基底,或者可以是刚性基底。驱动电路层102可以包括多个电路单元,电路单元可以至少包括像素驱动电路。发光结构层103可以至少多个发光器件,发光器件可以至少包括阳极、有机发光层和阴极,有机发光层在阳极和阴极的驱动下出射相应颜色的光线。封装结构层104可以包括叠设的第一封装层、第二封装层和第三封装层,第一封装层和第三封装层可以采用无机材料,第二封装层可以采用有机材料,第二封装层设置在第一封装层和第三封装层之间,形成无机材料/有机材料/无机材料叠层结构,可以保证外界水氧无法进入发光结构层103。
在示例性实施方式中,有机发光层可以包括发光层(EML)以及如下任意一层或多层:空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)、电子阻挡层 (EBL)、、空穴阻挡层(HBL)、电子传输层(ETL)和电子注入层(EIL)。在示例性实施方式中,所有子像素的空穴注入层、空穴传输层、电子阻挡层、空穴阻挡层、电子传输层和电子注入层中的一层或多层可以是连接在一起的共通层,相邻子像素的发光层可以有少量的交叠,或者可以是相互隔离的。
图5为一种像素驱动电路的等效电路示意图。在示例性实施方式中,像素驱动电路可以是3T1C、4T1C、5T1C、5T2C、6T1C、7T1C或8T1C结构。如图5所示,像素驱动电路可以包括7个晶体管(第一晶体管T1到第七晶体管T7)和1个存储电容C,像素驱动电路分别与7个信号线(数据信号线D、第一扫描信号线S1、第二扫描信号线S2、发光信号线E、初始信号线INIT、第一电源线VDD和第二电源线VSS)连接。
在示例性实施方式中,像素驱动电路可以包括第一节点N1、第二节点N2和第三节点N3。其中,第一节点N1分别与第三晶体管T3的第一极、第四晶体管T4的第二极和第五晶体管T5的第二极连接,第二节点N2分别与第一晶体管的第二极、第二晶体管T2的第一极、第三晶体管T3的控制极和存储电容C的第二端连接,第三节点N3分别与第二晶体管T2的第二极、第三晶体管T3的第二极和第六晶体管T6的第一极连接。
在示例性实施方式中,存储电容C的第一端与第一电源线VDD连接,存储电容C的第二端与第二节点N2连接,即存储电容C的第二端与第三晶体管T3的控制极连接。
第一晶体管T1的控制极与第二扫描信号线S2连接,第一晶体管T1的第一极与初始信号线INIT连接,第一晶体管的第二极与第二节点N2连接。当导通电平扫描信号施加到第二扫描信号线S2时,第一晶体管T1将初始电压传输到第三晶体管T3的控制极,以使第三晶体管T3的控制极的电荷量初始化。
第二晶体管T2的控制极与第一扫描信号线S1连接,第二晶体管T2的第一极与第二节点N2连接,第二晶体管T2的第二极与第三节点N3连接。当导通电平扫描信号施加到第一扫描信号线S1时,第二晶体管T2使第三晶体管T3的控制极与第二极连接。
第三晶体管T3的控制极与第二节点N2连接,即第三晶体管T3的控制 极与存储电容C的第二端连接,第三晶体管T3的第一极与第一节点N1连接,第三晶体管T3的第二极与第三节点N3连接。第三晶体管T3可以称为驱动晶体管,第三晶体管T3根据其控制极与第一极之间的电位差来确定在第一电源线VDD与第二电源线VSS之间流动的驱动电流的量。
第四晶体管T4的控制极与第一扫描信号线S1连接,第四晶体管T4的第一极与数据信号线D连接,第四晶体管T4的第二极与第一节点N1连接。第四晶体管T4可以称为开关晶体管、扫描晶体管等,当导通电平扫描信号施加到第一扫描信号线S1时,第四晶体管T4使数据信号线D的数据电压输入到像素驱动电路。
第五晶体管T5的控制极与发光信号线E连接,第五晶体管T5的第一极与第一电源线VDD连接,第五晶体管T5的第二极与第一节点N1连接。第六晶体管T6的控制极与发光信号线E连接,第六晶体管T6的第一极与第三节点N3连接,第六晶体管T6的第二极与发光器件的第一极连接。第五晶体管T5和第六晶体管T6可以称为发光晶体管。当导通电平发光信号施加到发光信号线E时,第五晶体管T5和第六晶体管T6通过在第一电源线VDD与第二电源线VSS之间形成驱动电流路径而使发光器件发光。
第七晶体管T7的控制极与第二扫描信号线S2连接,第七晶体管T7的第一极与初始信号线INIT连接,第七晶体管T7的第二极与发光器件的第一极连接。当导通电平扫描信号施加到第二扫描信号线S2时,第七晶体管T7将初始电压传输到发光器件的第一极,以使发光器件的第一极中累积的电荷量初始化或释放发光器件的第一极中累积的电荷量。
在示例性实施方式中,发光器件可以是OLED,包括叠设的第一极(阳极)、有机发光层和第二极(阴极),或者可以是QLED,包括叠设的第一极(阳极)、量子点发光层和第二极(阴极)。
在示例性实施方式中,发光器件的第二极与第二电源线VSS连接,第二电源线VSS的信号为持续提供的低电平信号,第一电源线VDD的信号为持续提供的高电平信号。
在示例性实施方式中,第一晶体管T1到第七晶体管T7可以是P型晶体管,或者可以是N型晶体管。像素驱动电路中采用相同类型的晶体管可以简 化工艺流程,减少显示面板的工艺难度,提高产品的良率。在一些可能的实现方式中,第一晶体管T1到第七晶体管T7可以包括P型晶体管和N型晶体管。
在示例性实施方式中,第一晶体管T1到第七晶体管T7可以采用低温多晶硅薄膜晶体管,或者可以采用氧化物薄膜晶体管,或者可以采用低温多晶硅薄膜晶体管和氧化物薄膜晶体管。低温多晶硅薄膜晶体管的有源层采用低温多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon,简称LTPS),氧化物薄膜晶体管的有源层采用氧化物半导体(Oxide)。低温多晶硅薄膜晶体管具有迁移率高、充电快等优点,氧化物薄膜晶体管具有漏电流低等优点,将低温多晶硅薄膜晶体管和氧化物薄膜晶体管集成在一个显示基板上,形成低温多晶氧化物(Low Temperature Polycrystalline Oxide,简称LTPO)显示基板,可以利用两者的优势,可以实现低频驱动,可以降低功耗,可以提高显示品质。
下面以7个晶体管均为P型晶体管为例,像素驱动电路的工作过程可以包括:
第一阶段A1,称为复位阶段,第二扫描信号线S2的信号为低电平信号,第一扫描信号线S1和发光信号线E的信号为高电平信号。第二扫描信号线S2的信号为低电平信号使第一晶体管T1和第七晶体管T7导通。第一晶体管T1导通使得初始信号线INIT的初始电压提供至第二节点N2,对存储电容C进行初始化,清除存储电容中原有数据电压。第七晶体管T7导通使得初始信号线INIT的初始电压提供至OLED的第一极,对OLED的第一极进行初始化(复位),清空其内部的预存电压,完成初始化。第一扫描信号线S1和发光信号线E的信号为高电平信号,使第二晶体管T2、第四晶体管T4、第五晶体管T5和第六晶体管T6断开,此阶段OLED不发光。
第二阶段A2、称为数据写入阶段或者阈值补偿阶段,第一扫描信号线S1的信号为低电平信号,第二扫描信号线S2和发光信号线E的信号为高电平信号,数据信号线D输出数据电压。此阶段由于存储电容C的第二端为低电平,因此第三晶体管T3导通。第一扫描信号线S1的信号为低电平信号使第二晶体管T2和第四晶体管T4导通。第二晶体管T2和第四晶体管T4导通使得数据信号线D输出的数据电压经过第一节点N1、导通的第三晶体管T3、 第三节点N3、导通的第二晶体管T2提供至第二节点N2,并将数据信号线D输出的数据电压与第三晶体管T3的阈值电压之差充入存储电容C,存储电容C的第二端(第二节点N2)的电压为Vd-|Vth|,Vd为数据信号线D输出的数据电压,Vth为第三晶体管T3的阈值电压。第二扫描信号线S2的信号为高电平信号,使第一晶体管T1和第七晶体管T7断开。发光信号线E的信号为高电平信号,使第五晶体管T5和第六晶体管T6断开。
第三阶段A3、称为发光阶段,发光信号线E的信号为低电平信号,第一扫描信号线S1和第二扫描信号线S2的信号为高电平信号。发光信号线E的信号为低电平信号,使第五晶体管T5和第六晶体管T6导通,第一电源线VDD输出的电源电压通过导通的第五晶体管T5、第三晶体管T3和第六晶体管T6向OLED的第一极提供驱动电压,驱动OLED发光。
在像素驱动电路驱动过程中,流过第三晶体管T3(驱动晶体管)的驱动电流由其栅电极和第一极之间的电压差决定。由于第二节点N2的电压为Vdata-|Vth|,因而第三晶体管T3的驱动电流为:
I=K*(Vgs-Vth)
2=K*[(Vdd-Vd+|Vth|)-Vth]
2=K*[(Vdd-Vd]
2
其中,I为流过第三晶体管T3的驱动电流,也就是驱动OLED的驱动电流,K为常数,Vgs为第三晶体管T3的栅电极和第一极之间的电压差,Vth为第三晶体管T3的阈值电压,Vd为数据信号线D输出的数据电压,Vdd为第一电源线VDD输出的电源电压。
随着OLED显示技术的发展,消费者对显示产品显示效果的要求越来越高,极窄边框成为显示产品发展的新趋势,因此边框的窄化甚至无边框设计在OLED显示产品设计中越来越受到重视。一种显示基板中,数据连接线设置在绑定区域的扇出区,由于扇出区的宽度小于显示区域的宽度,因而数据连接线需要通过扇出走线方式才能引入到较宽的显示区域,显示区域与绑定区域的宽度差距越大,扇形区中斜向扇出线越多,扇形区占用空间越大。此外,随着显示屏分辨率逐渐增加,扇出线的占用宽度会逐渐增加,导致下边框的窄化设计难度较大,下边框一直维持在2.0mm左右。
本公开示例性实施例提供了一种显示基板,采用数据连接线位于显示区 域(Fanout in AA,简称FIAA)结构,多条数据连接线的一端位于显示区域,与显示区域中的多条数据信号线对应连接,多条数据连接线的另一端延伸到绑定区域,与绑定区域的集成电路对应连接。由于绑定区域中不需要设置扇形状的斜线,因而缩减了扇出区的宽度,有效减小了下边框宽度。
在示例性实施方式中,本公开示例性实施例显示基板可以包括设置在基底上的驱动电路层、设置在驱动电路层远离基底一侧的发光结构层以及设置在发光结构层远离基底一侧的封装结构层。在平行于显示基板的平面内,显示基板可以至少包括显示区域、位于显示区域一侧的绑定区域和位于显示区域其它侧的边框区域。在示例性实施例中,显示区域的驱动电路层可以包括构成多个单元行和多个单元列的多个电路单元,至少一个电路单元可以包括像素驱动电路,像素驱动电路被配置为向所连接的发光器件输出相应的电流。显示区域的发光结构层可以包括构成像素阵列的多个子像素,至少一个子像素可以包括发光器件,发光器件与对应电路单元的像素驱动电路连接,发光器件被配置为响应所连接的像素驱动电路输出的电流发出相应亮度的光。
在示例性实施例中,本公开中所说的子像素,是指按照发光器件划分的区域,本公开中所说的电路单元,是指按照像素驱动电路划分的区域。在示例性实施例中,子像素在基底上正投影的位置与电路单元在基底上正投影的位置可以是对应的,或者,子像素在基底上正投影的位置与电路单元在基底上正投影的位置可以是不对应的。
在示例性实施例中,本公开示例性实施例显示基板可以包括设置在基底上的驱动电路层;所述基底至少包括第一柔性层、第二柔性层以及设置在所述第一柔性层和第二柔性层之间的基底导电层,所述基底导电层至少包括第一连接线;所述驱动电路层至少包括设置在所述基底上的遮挡导电层和设置在所述遮挡导电层远离所述基底一侧的功能导电层,所述遮挡导电层至少包括第二连接线,所述功能导电层至少包括功能信号线;所述第二连接线通过第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述功能信号线通过第二搭接过孔与所述第二连接线连接。
在示例性实施例中,在平行于所述显示基板的平面内,所述驱动电路层包括多个电路单元,至少一个电路单元包括像素驱动电路,所述像素驱动电 路与所述功能信号线连接。
在示例性实施例中,所述功能信号线包括向所述像素驱动电路提供数据信号的数据信号线。
在示例性实施例中,所述功能信号线包括向所述像素驱动电路提供电源信号的第一电源线。
图6为本公开示例性实施例一种显示基板的平面结构示意图,显示基板中的数据连接线采用FIAA结构。在平行于显示基板的平面内,显示基板可以包括显示区域100、位于显示区域100第二方向Y一侧的绑定区域200以及位于显示区域100其它侧的边框区域300。显示区域100可以至少包括构成多个单元行和多个单元列的多个电路单元和多条数据信号线60,至少一个电路单元可以至少包括像素驱动电路,像素驱动电路与数据信号线60连接。绑定区域200可以至少包括沿着远离显示区域100的方向依次设置的引出线区201和弯折区202。在示例性实施例中,显示基板还可以包括多条数据连接线,多条数据连接线的第一端与绑定区域的集成电路对应连接,多条数据连接线的第二端经过弯折区202和引出线区201后延伸到显示区域100与多条数据信号线60对应连接。
在示例性实施例中,沿着第一方向X依次设置的多个电路单元可以称为单元行,沿着第二方向Y依次设置的多个电路单元可以称为单元列,多个单元行和多个单元列构成阵列排布的电路单元阵列,第一方向X与第二方向Y交叉。
在示例性实施例中,第二方向Y可以是数据信号线的延伸方向(竖直方向),第一方向X可以与第二方向Y垂直(水平方向)。
在示例性实施方式中,数据信号线60可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的线形状,多条数据信号线60在第一方向X上以设定的间隔依次设置,每条数据信号线60与一个单元列中多个电路单元的像素驱动电路连接。
在示例性实施例中,数据连接线可以包括相互连接的第一连接线70和第二连接线80。
在示例性实施例中,第一连接线70的第一端与绑定区域中的集成电路连 接,第一连接线70的第二端经过弯折区202延伸到引出线区201后,通过第一搭接过孔DV1与第二连接线80的第一端连接,第二连接线80的第二端延伸到显示区域100后,通过第二搭接过孔DV2与数据信号线60连接,形成第一搭接过孔DV1设置在引出线区201、第二搭接过孔DV2设置在显示区域100的连接线结构。这样,显示区域中的数据信号线60通过包括第一连接线70和第二连接线80的数据连接线与绑定区域中的集成电路连接,实现了集成电路向数据信号线60提供数据信号。在示例性实施例中,引出线区201和弯折区202的多条第一连接线70可以相互平行,且平行于数据信号线60,由于绑定区域中不需要设置扇形状的斜线,因而缩减了扇出区的宽度,可以有效减小下边框宽度。
本公开中,A沿着B方向延伸是指,A可以包括主要部分和与主要部分连接的次要部分,主要部分是线、线段或条形状体,主要部分沿着B方向伸展,且主要部分沿着B方向伸展的长度大于次要部分沿着其它方向伸展的长度。以下描述中所说的“A沿着B方向延伸”均是指“A的主体部分沿着B方向延伸”。在示例性实施方式中,第二方向Y可以是从显示区域指向绑定区域的方向,第二方向Y的反方向可以是从绑定区域指向显示区域的方向。
在示例性实施方式中,数据连接线的数量与数据信号线的数量可以相同,或者,数据连接线的数量可以小于数据信号线的数量,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,可以按照有无数据连接线作为划分依据,将显示区域100划分为第一区域110和第二区域120,第一区域110可以是没有设置数据连接线的区域,第二区域120可以是设置有数据连接线的区域。
在示例性实施方式中,在第二方向Y上,第二区域120可以位于显示区域100第二方向Y的一侧,即位于显示区域100靠近绑定区域200的位置。
在一些可能的示例性实施方式中,第二区域120可以位于显示区域第二方向Y的中部,或者,第二区域120可以位于显示区域远离绑定区域的位置,第二区域120可以包括至少一个单元行,本公开在此不做限定。
图7a为本公开示例性实施例一种数据连接线的结构示意图,为图6中C区域的放大图,图7b为图7a中A-A向的剖视图。如图7所示,在垂直于显示基板的平面内,显示基板可以至少包括设置在基底101上的驱动电路层 102。在示例性实施方式中,基底101可以至少包括第一柔性层10A、第二柔性层10C以及设置在第一柔性层10A和第二柔性层10C之间的基底导电层,基底导电层可以至少包括第一连接线70。驱动电路层102可以至少包括设置在基底101上的遮挡导电层和设置在遮挡导电层远离基底一侧的功能导电层,遮挡导电层可以至少包括第二连接线80,功能导电层可以至少包括功能信号线,第二连接线80通过第一搭接过孔DV1与第一连接线70连接,功能信号线通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接。
在一种示例性实施方式中,功能导电层可以至少包括作为功能信号线的数据信号线60,数据信号线60通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接。
在另一种示例性实施方式中,功能导电层可以至少包括作为功能信号线的第一电源线44,第一电源线44通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接。
在示例性实施方式中,在平行于显示基板的平面内,驱动电路层101可以包括多个电路单元,至少一个电路单元可以包括像素驱动电路,像素驱动电路可以至少包括多个晶体管和存储电容,像素驱动电路分别与向像素驱动电路提供电源信号的第一电源线44和向像素驱动电路提供数据信号的数据信号线60连接。
在示例性实施方式中,驱动电路层102可以包括在基底101上依次设置的遮挡导电层、第一绝缘层91、半导体层、第二绝缘层92、第一导电层、第三绝缘层93、第二导电层、第四绝缘层94和第三导电层。遮挡导电层可以至少包括第二连接线80,半导体层可以至少包括多个晶体管的有源层,第一导电层可以至少包括多个晶体管的栅电极和存储电容的第一极板,第二导电层可以至少包括存储电容的第二极板,第三导电层可以作为功能导电层,第三导电层可以至少包括数据信号线60和第一电源线44。
在示例性实施方式中,基底101还可以包括第一阻挡层10B和第二阻挡层10D,第一阻挡层10B设置在第一柔性层10A和基底导电层之间,第二阻挡层10D设置在第二柔性层10C远离第一柔性层10A的一侧。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔DV1可以设置在第二柔性层10C和第二阻挡层10D上,第一搭接过孔DV1内的第二柔性层10C和第二阻挡层10D被去掉,暴露出第一连接线70的表面,第一搭接过孔DV1的内侧壁包括第二柔性层10C和第二阻挡层10D,与第一连接线70连接的第二连接线80覆盖第一搭接过孔DV1的内侧壁。
在示例性实施方式中,在第一搭接过孔DV1所在区域,与第一连接线70连接的第二连接线80远离基底101的一侧设置有多个无机层,多个无机层可以包括如下任意一种或多种:第一绝缘层91、第二绝缘层92、第三绝缘层93和第四绝缘层94。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔DV1可以设置在引出线区201,第二搭接过孔DV2可以设置在显示区域100。
在示例性实施方式中,引出线区201包括由封装线FX划分的封装区和非封装区,封装区和非封装区可以沿着远离显示区域100方向依次设置,封装线FX靠近显示区域100的一侧为封装区,封装线FX远离显示区域100的一侧为非封装区,第一搭接过孔DV1可以设置在引出线区201中的非封装区,即第一搭接过孔DV1可以设置在封装线FX远离显示区域100的一侧。
在示例性实施方式中,绑定区域中的弯折区202的基底仅包括叠设的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层和第二柔性层10C,即弯折区202的第二阻挡层10D、第一绝缘层91、第二绝缘层92、第三绝缘层93和第四绝缘层94被去掉。
下面通过显示基板的制备过程进行示例性说明。本公开所说的“图案化工艺”,对于金属材料、无机材料或透明导电材料,包括涂覆光刻胶、掩模曝光、显影、刻蚀、剥离光刻胶等处理,对于有机材料,包括涂覆有机材料、掩模曝光和显影等处理。沉积可以采用溅射、蒸镀、化学气相沉积中的任意一种或多种,涂覆可以采用喷涂、旋涂和喷墨打印中的任意一种或多种,刻蚀可以采用干刻和湿刻中的任意一种或多种,本公开在此不做限定。“薄膜”是指将某一种材料在基底上利用沉积、涂覆或其它工艺制作出的一层薄膜。若在整个制作过程当中该“薄膜”无需图案化工艺,则该“薄膜”还可以称为“层”。若在整个制作过程当中该“薄膜”需图案化工艺,则在图案化工艺前称为“薄 膜”,图案化工艺后称为“层”。经过图案化工艺后的“层”中包含至少一个“图案”。本公开所说的“A和B同层设置”是指,A和B通过同一次图案化工艺同时形成,膜层的“厚度”为膜层在垂直于显示基板方向上的尺寸。本公开示例性实施方式中,“B的正投影位于A的正投影的范围之内”或者“A的正投影包含B的正投影”是指,B的正投影的边界落入A的正投影的边界范围内,或者A的正投影的边界与B的正投影的边界重叠。
在示例性实施方式中,以图6中C区域为例,本示例性实施例显示基板的制备过程可以包括如下操作。
(11)制备基底。在示例性实施方式中,制备基底可以包括:先在玻璃载板1上涂布一层第一柔性材料,固化成膜后形成第一柔性层10A。然后在第一柔性层10A上依次沉积第一阻挡薄膜和基底导电薄膜,通过图案化工艺对基底导电薄膜进行图案化,形成覆盖第一柔性层10A的第一阻挡(Barrier)层10B,以及设置在第一阻挡层10B上的基底导电层图案。然后再涂布一层第二柔性材料,固化成膜后形成覆盖基底导电层图案的第二柔性层10C。然后,再沉积第二阻挡薄膜,形成覆盖第二柔性层10C的第二阻挡层10D,如图8a和图8b所示,图8b为图8a中A-A向的剖视图。在示例性实施方式中,基底导电层可以称为第0源漏金属(SD0)层。
在示例性实施方式中,基底导电层图案可以至少包括设置在引出线区201和弯折区202的多条第一连接线70。
在示例性实施方式中,第一连接线70的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的线形状,第一连接线70的第一端与绑定区域中的集成电路连接,第一连接线70的第二端跨过弯折区202延伸到引出线区201。
在示例性实施方式中,第一连接线70靠近显示区域100的端部(第一连接线70的第二端)设置有第一连接块71,第一连接块71的形状可以为矩形状,且与第一连接线70可以为相互连接的一体结构,第一连接块71被配置为通过第一搭接过孔与后续形成的第二连接线连接。
在示例性实施方式中,第一连接块71可以设置在封装线FX远离显示区域的一侧,封装线FX是封装结构层覆盖引出线区201的边界,封装线FX 可以将引出线区201划分为封装区和非封装区,封装区和非封装区可以沿着远离显示区域100方向依次设置,封装线FX靠近显示区域100的一侧为封装区,封装线FX远离显示区域100的一侧为非封装区。
在示例性实施方式中,多个第一连接线70可以沿着第一方向X间隔设置,多个第一连接线70的位置可以与显示区域100中单元列的位置相对应。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层、第二柔性层10C和第二阻挡层10D。
在示例性实施方式中,第一柔性层和第二柔性层的材料可以包括但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯、对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚醚酮、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚芳基酸酯、聚芳酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、聚乙烯、纺织纤维中的一种或多种。第一阻挡层和第二阻挡层的材料可以包括但不限于硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和氮氧化硅(SiON)中的任意一种或多种,可以是单层、多层或复合层,用于提高基底的抗水氧能力。基底导电层可以采用金属材料,如银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)和钼(Mo)中的任意一种或多种,或上述金属的合金材料。例如,基底导电层可以采用金属钼。又如,基底导电层可以采用钛/铝/钛(Ti/Al/Ti)的复合结构。
在示例性实施方式中,第一阻挡层和第二阻挡层的厚度可以约为0.3μm至0.5μm。例如,第一阻挡层的厚度可以约为0.4μm左右,第二阻挡层的厚度可以约为0.4μm左右。
(12)形成第一搭接过孔图案。在示例性实施方式中,形成第一搭接过孔图案可以包括:通过图案化工艺对第二阻挡层和第二柔性层进行图案化,形成多个第一搭接过孔DV1,如图9a和图9b所示,图9b为图9a中A-A向的剖视图。
在示例性实施方式中,多个第一搭接过孔DV1可以设置在引出线区201内的非封装区,即第一搭接过孔DV1可以设置在封装线FX远离显示区域100的一侧。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔DV1在基底上的正投影可以位于 第一连接块71在基底上的正投影的范围之内,第一搭接过孔DV1内的第二阻挡层和第二柔性层被去掉,暴露出第一连接块71的表面,第一搭接过孔DV1的内侧壁包括第二柔性层和第二阻挡层,第一搭接过孔DV1被配置为使后续形成的第二连接线通过该过孔与第一连接块71连接。
在示例性实施方式中,在形成多个第一搭接过孔DV1的图案化工艺中,弯折区202的第二阻挡层10D被去掉,使得弯折区暴露出第二柔性层10C。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层和第二柔性层10C。
(13)形成遮挡导电层图案。在示例性实施方式中,形成遮挡导电层图案可以包括:在基底上沉积遮挡薄膜,通过图案化工艺对遮挡薄膜进行图案化,在第二阻挡层上形成遮挡导电层图案,如图10a和图10b所示,图10b为图10a中A-A向的剖视图。
在示例性实施方式中,遮挡导电层图案可以至少包括设置在显示区域的遮挡电极50,以及设置在显示区域和引出线区的第二连接线80。
在示例性实施方式中,遮挡电极50的形状可以为矩形状,可以设置在显示区域100的每个电路单元中,遮挡电极50被配置为对像素驱动电路的至少一个晶体管进行遮挡,减少光线对晶体管电学特性的影响。此外,遮挡电极50还可以被配置为抑制碰撞电离产生的电子在沟道内部的聚集与减弱沟道焦耳热的聚集等。
在示例性实施方式中,第二连接线80的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的线形状,第二连接线80远离显示区域100的端部(第二连接线80的第一端)设置有第二连接块81,第二连接块81的形状可以为矩形状,第二连接块81通过第一搭接过孔DV1与第一连接块71连接。第二连接线80的第二端延伸到显示区域100,第二连接线80的第二端被配置为与后续形成的数据信号线连接。
在示例性实施方式中,由于第一搭接过孔DV1的内侧壁包括第二柔性层10C和第二阻挡层10D,因而第二连接线80的第二连接块81覆盖第一搭 接过孔DV1内侧壁的第二柔性层10C和第二阻挡层10D。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层和第二柔性层10C。
(14)形成半导体层图案。在示例性实施方式中,形成半导体层图案可以包括:在基底上依次沉积第一绝缘薄膜和半导体薄膜,通过图案化工艺对半导体薄膜进行图案化,形成覆盖遮挡导电层的第一绝缘层91,以及设置在第一绝缘层91上的半导体层图案,如图11a和图11b所示,图11b为图11a中A-A向的剖视图。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的半导体层图案可以至少包括第一晶体管T1的第一有源层11至第七晶体管T7的第七有源层17,且第一有源层11至第七有源层17为相互连接的一体结构。在第二方向Y上,本单元行电路单元中的第六有源层16与下一单元行电路单元中的第七有源层17相互连接。
在示例性实施方式中,在第一方向X上,第二有源层12和第六有源层16可以位于本电路单元中第三有源层13的同一侧,第四有源层14和第五有源层15可以位于本电路单元中第三有源层13的同一侧,第二有源层12和第四有源层14可以位于本电路单元的第三有源层13的不同侧。在第二方向Y上,第一有源层11、第二有源层12、第四有源层14和第七有源层17可以位于本电路单元中第三有源层13第二方向Y的反方向的一侧,第五有源层15和第六有源层16可以位于本电路单元中第三有源层13第二方向Y的一侧。
在示例性实施方式中,第三有源层13在基底上的正投影可以位于遮挡电极50在基底上的正投影的范围之内,遮挡电极50可以对第三有源层13进行遮挡,减少光线对驱动晶体管电学特性的影响。
在示例性实施方式中,第一有源层11的形状可以呈“n”字形,第二有源层12和第五有源层15的形状可以呈“L”字形,第三有源层13的形状可以呈“Ω”字形,第四有源层14、第六有源层16和第七有源层17的形状可以呈“I”字形。
在示例性实施方式中,每个晶体管的有源层可以包括第一区、第二区以及位于第一区和第二区之间的沟道区。在示例性实施方式中,第一有源层11的第一区11-1可以作为第七有源层17的第一区17-1,第一有源层11的第二区11-2可以作为第二有源层12的第一区12-1,第三有源层13的第一区13-1可以同时作为第四有源层14的第二区14-2和第五有源层15的第二区15-2,第三有源层13的第二区13-2可以同时作为第二有源层12的第二区12-2和第六有源层16的第一区16-1,第六有源层16的第二区16-2可以作为第七有源层17的第二区17-2,第四有源层14的第一区14-1和第五有源层15的第一区15-1可以单独设置。
在示例性实施方式中,半导体层在基底上的正投影与第二连接线80在基底上的正投影没有交叠。
在示例性实施方式中,第一绝缘层的厚度可以约为0.3μm至0.5μm。例如,第一绝缘层的厚度可以约为0.4μm左右。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层、第二柔性层10C和第一绝缘层91。
(15)形成第一导电层图案。在示例性实施方式中,形成第一导电层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,依次沉积第二绝缘薄膜和第一导电薄膜,通过图案化工艺对第一导电薄膜进行图案化,形成覆盖半导体层图案的第二绝缘层92,以及设置在第二绝缘层92上的第一导电层图案,如图12a和图12b所示,图12b为图12a中A-A向的剖视图。在示例性实施方式中,第一导电层可以称为第一栅金属(GATE1)层。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的第一导电层图案至少包括:第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、发光控制线23和存储电容的第一极板24。
在示例性实施方式中,第一极板24的形状可以为矩形状,矩形状的角部可以设置倒角,第一极板24在基底上的正投影与第三晶体管T3的第三有源层在基底上的正投影至少部分交叠。在示例性实施方式中,第一极板24可以同时作为存储电容的一个极板和第三晶体管T3的栅电极。
在示例性实施方式中,第一扫描信号线21的形状可以为主体部分沿着第一方向X延伸的线形状,第一扫描信号线21可以位于本电路单元的第一极板24第二方向Y的反方向的一侧。每个电路单元的第一扫描信号线21设置有栅极块21-1,栅极块21-1的第一端与第一扫描信号线21连接,栅极块21-1的第二端向着远离第一极板24的方向延伸。第一扫描信号线21和栅极块21-1与本电路单元的第二有源层相重叠的区域作为双栅结构的第二晶体管T2的栅电极,第一扫描信号线21与本电路单元的第四有源层相重叠的区域作为第四晶体管T4的栅电极。
在示例性实施方式中,第二扫描信号线22的形状可以为主体部分沿着第一方向X延伸的线形状,第二扫描信号线22可以位于本电路单元的第一扫描信号线21远离第一极板24的一侧,第二扫描信号线22与本电路单元的第一有源层相重叠的区域作为双栅结构的第一晶体管T1的栅电极,第二扫描信号线22与本电路单元的第七有源层相重叠的区域作为第七晶体管T7的栅电极。
在示例性实施方式中,发光控制线23的形状可以为主体部分沿着第一方向X延伸的线形状,发光控制线23可以位于本电路单元的第一极板24第二方向Y的一侧,发光控制线23与本电路单元的第五有源层相重叠的区域作为第五晶体管T5的栅电极,发光控制线23与本电路单元的第六有源层相重叠的区域作为第六晶体管T6的栅电极。
在示例性实施方式中,第一扫描信号线21、第二扫描信号线22和发光控制线23可以为等宽度设计,或者可以为非等宽度设计,可以为直线,或者可以为折线,不仅可以便于像素结构的布局,而且可以降低信号线之间的寄生电容,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,第二绝缘层的厚度可以约为0.1μm至0.2μm。例如,第二绝缘层的厚度可以约为0.12μm左右。
在示例性实施方式中,形成第一导电层图案后,可以利用第一导电层作为遮挡,对半导体层进行导体化处理,被第一导电层遮挡区域的半导体层形成第一晶体管T1至第七晶体管T7的沟道区域,未被第一导电层遮挡区域的半导体层被导体化,即第一晶体管T1至第七有源层的第一区和第二区均被 导体化。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层、第二柔性层10C、第一绝缘层91和第二绝缘层92。
(16)形成第二导电层图案。在示例性实施方式中,形成第二导电层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,依次沉积第三绝缘薄膜和第二导电薄膜,采用图案化工艺对第二导电薄膜进行图案化,形成覆盖第一导电层的第三绝缘层93,以及设置在第三绝缘层93上的第二导电层图案,如图13a和图13b所示,图13b为图13a中A-A向的剖视图。在示例性实施方式中,第二导电层可以称为第二栅金属(GATE2)层。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的第二导电层图案至少包括:初始信号线31、存储电容的第二极板32和极板连接线33。
在示例性实施方式中,第二极板32的轮廓可以为矩形状,矩形状的角部可以设置倒角,第二极板32在基底上的正投影与第一极板24在基底上的正投影至少部分交叠,第二极板32可以作为存储电容的另一个极板,第一极板24和第二极板32构成像素驱动电路的存储电容。第二极板32上设置有开口34,开口34的形状可以为矩形状,可以位于第二极板32的中部,使第二极板32形成环形结构。开口34暴露出覆盖第一极板24的第三绝缘层,且第一极板24在基底上的正投影包含开口34在基底上的正投影。在示例性实施方式中,开口34被配置为容置后续形成的第一过孔,第一过孔位于开口34内并暴露出第一极板24,使后续形成的第一晶体管T1的第二极与第一极板24连接。
在示例性实施方式中,一个单元行中相邻两个子像素中的第二极板32可以通过极板连接线33相互连接。例如,第N-1列的第二极板32和第N列的第二极板32可以通过极板连接线33相互连接。又如,第N列的第二极板32和第N+1列的第二极板32通过极板连接线33相互连接。在示例性实施方式中,由于每个电路单元中的第二极板32与后续形成的第一电源线连接,通过将相邻电路单元的第二极板32形成相互连接的一体结构,一体结构的第二极板可以复用为电源信号线,可以保证一单元行中的多个第二极板具有相 同的电位,有利于提高面板的均一性,避免显示基板的显示不良,保证显示基板的显示效果。
在示例性实施方式中,初始信号线31的形状可以为主体部分沿着第一方向X延伸的线形状,初始信号线31可以位于本电路单元的第二扫描信号线22远离第一扫描信号线21的一侧,初始信号线31被配置为与后续形成的第一晶体管T1的第一极(也是第七晶体管T7的第一极)连接。
在示例性实施方式中,第三绝缘层的厚度可以约为0.1μm至0.2μm。例如,第三绝缘层的厚度可以约为0.13μm左右。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层、第二柔性层10C、第一绝缘层91、第二绝缘层92和第三绝缘层93。
(17)形成第四绝缘层图案。在示例性实施方式中,形成第四绝缘层图案可以包括:在形成前述图案的基底上,沉积第四绝缘薄膜,采用图案化工艺对第四绝缘薄膜进行图案化,形成覆盖第二导电层的第四绝缘层94,第四绝缘层94上设置有多个过孔,如图14a和图14b所示,图14b为图14a中A-A向的剖视图。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的多个过孔至少包括:第一过孔V1、第二过孔V2、第三过孔V3、第四过孔V4、第五过孔V5、第六过孔V6、第七过孔V7、第八过孔V8和第二搭接过孔DV2。
在示例性实施方式中,第一过孔V1在基底上的正投影位于开口34在基底上的正投影的范围之内,第一过孔V1内的第四绝缘层和第三绝缘层被刻蚀掉,暴露出第一极板24的表面,第一过孔V1被配置为使后续形成的第一晶体管T1的第二极(也是第二晶体管T2的第一极)通过该过孔与第一极板24连接。
在示例性实施方式中,第二过孔V2在基底上的正投影位于第二极板32在基底上的正投影的范围之内,第二过孔V2内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出第二极板32的表面,第二过孔V2被配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与第二极板32连接。在示例性实施方式中,第二过孔V2可以是多 个,多个第二过孔V2可以沿着第二方向Y依次设置,以提高连接可靠性。
在示例性实施方式中,第三过孔V3在基底上的正投影位于第五有源层的第一区在基底上的正投影的范围之内,第三过孔V3内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第五有源层的第一区的表面,第三过孔V3被配置为使后续形成的第一电源线通过该过孔与第五有源层的第一区连接。
在示例性实施方式中,第四过孔V4在基底上的正投影位于第六有源层的第二区(也是第七有源层的第二区)在基底上的正投影的范围之内,第四过孔V4内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第六有源层的第二区的表面,第四过孔V4被配置为使后续形成的第六晶体管T6的第二极(也是第七晶体管T7的第二极)通过该过孔与第六有源层的第二区连接。
在示例性实施方式中,第五过孔V5在基底上的正投影位于第四有源层的第一区在基底上的正投影的范围之内,第五过孔V5内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第四有源层的第一区的表面,第五过孔V5被配置为使后续形成的数据信号线通过该过孔与第四有源层的第一区连接。
在示例性实施方式中,第六过孔V6在基底上的正投影位于第一有源层的第二区(也是第二有源层的第一区)在基底上的正投影的范围之内,第六过孔V6内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出第一有源层的第二区的表面,第六过孔V6被配置为使后续形成的第一晶体管T1的第二极(也是第二晶体管T2的第一极)通过该过孔与第一有源层的第二区(也是第二有源层的第一区)连接。
在示例性实施方式中,第七过孔V7在基底上的正投影位于第一有源层的第一区(也是第七有源层的第一区)在基底上的正投影的范围之内,第七过孔V7内的第四绝缘层、第三绝缘层和第二绝缘层被刻蚀掉,暴露出的第一有源层的第一区表面,第七过孔V7被配置为使后续形成的第一晶体管T1的第一极(也是第七晶体管T7的第一极)通过该过孔与第一有源层的第一区(也是第七有源层的第一区)连接。
在示例性实施方式中,第八过孔V8在基底上的正投影位于初始信号线31在基底上的正投影的范围之内,第八过孔V8内的第四绝缘层被刻蚀掉,暴露出初始信号线31的表面,第八过孔V8被配置为使后续形成的第一晶体管T1的第一极(也是第七晶体管T7的第一极)通过该过孔与初始信号线31连接。
在示例性实施方式中,第二搭接过孔DV2在基底上的正投影位于第二连接线80的第二端在基底上的正投影的范围之内,第二搭接过孔DV2内的第四绝缘层、第三绝缘层、第二绝缘层和第一绝缘层被刻蚀掉,暴露出第二连接线80的第二端的表面,第二搭接过孔DV2被配置为使后续形成的数据信号线通过该过孔与第二连接线80连接。
在示例性实施方式中,第二搭接过孔DV2在基底上的正投影与第一搭接过孔在基底上的正投影没有交叠。
在示例性实施方式中,由于步骤(14)至步骤(17)中第一绝缘层91、第二绝缘层92、第三绝缘层93和第四绝缘层94依次沉积在第一搭接过孔DV1内,使得第一搭接过孔DV1所在区域的第二连接线80上形成有多个无机层,不仅可以提高深孔边缘无机层质量,而且可以提高深孔隔绝水氧的能力,水氧隔绝效果好,提高了显示装置的信赖性寿命。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔内第二连接线80上的多个无机层可以包括如下任意一种或多种:第一绝缘层91、第二绝缘层92、第三绝缘层93和第四绝缘层94。
在示例性实施方式中,在形成多个过孔的图案化工艺中,绑定区域中弯折区202的第四绝缘层94、第三绝缘层93、第二绝缘层92和第一绝缘层91被同步去掉,使得弯折区暴露出第二柔性层10C。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层和第二柔性层10C。
(18)形成第三导电层图案。在示例性实施方式中,形成第三导电层可以包括:在形成前述图案的基底上,沉积第三导电薄膜,采用图案化工艺对 第三导电薄膜进行图案化,形成设置在第四绝缘层上的第三导电层,如图15a和图15b所示,图15b为图15a中A-A向的剖视图。在示例性实施方式中,第三导电层可以称为第一源漏金属(SD1)层。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的第三导电层至少包括:第一连接电极41、第二连接电极42、第三连接电极43、第一电源线44和数据信号线60。
在示例性实施方式中,第一连接电极41的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的直线状,第一连接电极41的第一端通过第一过孔V1与第一极板24连接,第一连接电极41的第二端通过第六过孔V6与第一有源层的第二区(也是第二有源层的第一区)连接,使第一极板24、第一有源层的第二区和第二有源层的第一区具有相同的电位。在示例性实施方式中,第一连接电极41可以同时作为第一晶体管T1的第二极和第二晶体管T2的第一极。
在示例性实施方式中,第二连接电极42的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的折线状,第二连接电极42的第一端通过第八过孔V8与初始信号线31连接,第二连接电极42的第二端通过第七过孔V7与第一有源层的第一区(也是第七有源层的第一区)连接。在示例性实施方式中,第二连接电极42可以同时作为第一晶体管T1的第一极和第七晶体管T7的第一极。
在示例性实施方式中,第三连接电极43的形状可以为块形状,第三连接电极43通过第四过孔V4与第六有源层的第二区(也是第七有源层的第二区)连接。在示例性实施方式中,第三连接电极43可以同时作为第六晶体管T6的第二极和第七晶体管T7的第二极,第三连接电极43被配置为与后续形成的阳极连接电极连接。
在示例性实施方式中,第一电源线44的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的直线状,一方面,第一电源线44通过第二过孔V2与第二极板32连接,另一方面,第一电源线44通过第三过孔V3与第五有源层的第一区连接,实现了将电源信号写入第五晶体管T5的第一极,且第二极板32和第五晶体管T5的第一极具有相同的电位。
在示例性实施方式中,数据信号线60的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的直线状,一方面,数据信号线60通过第五过孔V5与第四有源层 的第一区连接,实现了将数据信号写入第四晶体管T4的第一极,另一方面,数据信号线60通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接。由于第二连接线80通过第一搭接过孔与第一连接线70连接,因而实现了显示区域100的数据信号线60通过第一连接线70和第二连接线80与绑定区域的集成电路的连接。
在其它示例性实施方式中,在第一电源线44作为功能信号线的方案中,第一电源线44可以通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接,数据信号线60不与第二连接线80连接。
在示例性实施方式中,本次工艺后,绑定区域中弯折区202的膜层包括在玻璃载板1上依次设置的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层和第二柔性层10C。
后续制备工艺中,可以包括形成第一平坦层、形成第四导电层和形成第二平坦层等工艺,在玻璃载板上制备完成驱动电路层。
在示例性实施方式中,在形成第一平坦层、第四导电层和第二平坦层的图案化工艺中,绑定区域中弯折区202的第一平坦层、第四导电层和第二平坦层被去掉,使得弯折区仍暴露出第二柔性层10C。
在示例性实施方式中,在平行于显示基板的平面内,显示区域的驱动电路层可以包括多个电路单元,每个电路单元可以包括像素驱动电路,像素驱动电路分别与第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、发光控制线23、初始信号线31、第一电源线44和数据信号线60连接。绑定区域的驱动电路层可以包括多条第一连接线70和多条第二连接线80,第二连接线80通过第一搭接过孔DV1与第一连接线70连接。
在示例性实施方式中,在垂直于显示基板的平面内,驱动电路层可以设置在基底上,基底可以包括叠设的第一柔性层10A、第一阻挡层10B、基底导电层、第二柔性层10C和第二阻挡层10D,基底导电层可以至少包括位于绑定区域的第一连接线70。驱动电路层可以至少包括在基底上依次设置的遮挡导电层、第一绝缘层91、半导体层、第二绝缘层92、第一导电层、第三绝缘层93、第二导电层、第四绝缘层94和第三导电层。遮挡导电层可以至少包括位于显示区域和绑定区域的第二连接线80,第二连接线80通过第一搭 接过孔DV1与第一连接线70连接。半导体层可以至少包括第一晶体管至第七晶体管的有源层,第一导电层可以至少包括第一扫描信号线21、第二扫描信号线22、发光控制线23和存储电容的第一极板24,第二导电层可以至少包括初始信号线31、存储电容的第二极板32和极板连接线33,第三导电层可以至少包括第一连接电极41、第二连接电极42、第三连接电极43、第一电源线44和数据信号线60,数据信号线60通过第二搭接孔DV2与第二连接线80连接。
在示例性实施方式中,遮挡导电层、第一导电层、第二导电层和第三导电层可以采用金属材料,如银(Ag)、铜(Cu)、铝(Al)和钼(Mo)中的任意一种或多种,或上述金属的合金材料,如铝钕合金(AlNd)或钼铌合金(MoNb),可以是单层结构,或者多层复合结构,如Mo/Cu/Mo等。第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层可以采用硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)和氮氧化硅(SiON)中的任意一种或多种,可以是单层、多层或复合层。第一绝缘层可以称为缓冲(Buffer)层,第二绝缘层和第三绝缘层可以称为栅绝缘(GI)层,第四绝缘层可以称为层间绝缘(ILD)层。半导体层可以采用非晶态氧化铟镓锌材料(a-IGZO)、氮氧化锌(ZnON)、氧化铟锌锡(IZTO)、非晶硅(a-Si)、多晶硅(p-Si)、六噻吩或者聚噻吩等材料,即本发明实施例适用于基于氧化物(Oxide)技术、硅技术或者有机物技术制造的薄膜晶体管。
在示例性实施方式中,制备完成驱动电路层后,可以在驱动电路层依次制备发光结构层和封装结构层。
在示例性实施方式中,制备发光结构层可以包括:先形成阳极导电层,阳极导电层可以至少包括多个阳极图案。随后形成像素定义层,每个电路单元的像素定义层上设置有像素开口,像素开口内的像素定义层被去掉,暴露出所在电路单元的阳极。随后采用蒸镀或喷墨打印工艺形成有机发光层,然后在有机发光层上形成阴极。
在示例性实施方式中,在形成发光结构层的图案化工艺中,绑定区域中弯折区202的阳极导电层和像素定义层被去掉,且弯折区202没有蒸镀有机发光层和阴极,使得弯折区暴露出第二柔性层10C。
在示例性实施方式中,封装结构层可以包括叠设的第一封装层、第二封装层和第三封装层,第一封装层和第三封装层可以采用无机材料,第二封装层可以采用有机材料,第二封装层设置在第一封装层和第三封装层之间,可以保证外界水氧无法进入发光结构层。
在示例性实施方式中,封装结构层可以形成在显示区域和引出线区,引出线区中的封装结构层可以位于封装线FX靠近显示区域的一侧。
从以上描述的显示基板的结构以及制备过程可以看出,本公开提供的显示基板,通过在基底的双柔性层之间设置基底导电层,基底导电层包括第一连接线,第一连接线通过第二连接线与数据信号线连接,在显示区域实现了数据走线,可以缩减下边框宽度,有利于实现全面屏显示。
一种采用FIAA结构的显示基板中,虽然在基底上设置基底导电层,但是采用第二导电层通过搭接过孔与基底导电层连接。研究表明,由于该结构中搭接过孔较深,挖孔膜层包括第二柔性层、第二阻挡层、第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层,搭接过孔的深度约为5μm至8μm,不仅使得搭接过孔内的第二导电层因较陡的内侧壁爬坡导致工艺难度大,而且使得第二导电层易发生断裂,导致信赖性试验时出现栅漏短路(GDS)黑点不良。此外,搭接过孔的内侧壁只覆盖有第二导电层和第四绝缘层,由于只有第四绝缘层提供隔绝,因而搭接过孔区域水氧隔绝的风险较高,易导致封装失效,影响显示装置的信赖性寿命。
本公开示例性实施例提供的显示基板,利用遮挡导电层通过第一搭接过孔与基底导电层连接,挖孔膜层为第二柔性层和第二阻挡层,有效减小了第一搭接过孔的深度,第一搭接过孔的深度可以减小约1μm左右,不仅降低了工艺难度,而且提高了第二连接线通过第一搭接过孔连接第一连接线的连接质量,有效避免了信赖性试验时出现黑点不良,提高了产品良品率。由于显示基板中通常包括遮挡导电层,因而利用遮挡导电层进行连接的方案,既没有增加新的膜层,又采用成熟工艺,可以很好地与现有制备工艺兼容,工艺实现简单,易于实施,生产效率高,生产成本低,良品率高。
本公开示例性实施例提供的显示基板,利用遮挡导电层连接基底导电层,且后续形成的多个无机层填充第一搭接过孔,使得第一搭接过孔内第二 柔性层的内侧壁覆盖有遮挡导电层、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层,由第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层提供隔绝,不仅可以提高深孔边缘无机层质量,而且可以提高隔绝水氧的能力,水氧隔绝效果好,提高了显示装置的信赖性寿命。
本公开示例性实施例提供的显示基板,通过将连接第一连接线和第二连接线的第一搭接过孔设置在封装线远离显示区域的一侧,不仅可以减少第一搭接过孔对封装质量的影响,而且可以有效降低封装工艺的难度,有效降低封装的信耐性风险,提高了工艺质量。
一种采用FIAA结构的显示基板中,弯折区的膜层通常至少包括第一柔性层、第一阻挡层、第二柔性层、第二阻挡层、第三导电层(SD1)、平坦层和像素定义层,第三导电层作为信号传输线。由于第三导电层不能直接沉积于第二柔性层上,因而需要在第二柔性层和第三导电层之间设置第二阻挡层,而所形成的第三导电层需要保护,因而需要在第三导电层上设置平坦层和像素定义层。研究表明,由于弯折区的膜层较多,因而弯折区整体厚度较大,不仅导致弯折区的弯折半径较大,而且弯折过程中较脆的第二阻挡层、平坦层和像素定义层会出现裂缝。本公开示例性实施例提供的显示基板,通过利用基底导电层作为信号传输线,因而弯折区的膜层仅包括第一柔性层、第一阻挡层、基底导电层和第二柔性层,弯折区的膜层较少,有效减小了弯折区的整体厚度,不仅最大限度地降低了弯折半径,有利于降低边框宽度,而且避免了膜层出现裂缝,提高了产品质量。
图16为本公开示例性实施例另一种显示基板的平面结构示意图,显示基板中的数据连接线采用FIAA结构。如图16所示,本示例性实施例显示基板的主体结构与图6所示结构基本上相近,所不同的是,本示例性实施例为第一搭接过孔DV1和第二搭接过孔DV2均设置在显示区域100的连接线结构。
在示例性实施例中,第一连接线70的第一端与绑定区域的绑定区域中的集成电路连接,第一连接线70的第二端经过弯折区202和引出线区201延伸到显示区域100后,通过第一搭接过孔DV1与第二连接线80的第一端连接,第二连接线80的第二端向着远离引出线区201的方向延伸后,通过第二搭接过孔DV2与数据信号线60连接。在示例性实施例中,引出线区201的多条 第一连接线70可以相互平行,由于绑定区域中不需要设置扇形状的斜线,因而缩减了扇出区的宽度,可以有效减小下边框宽度。
图17为本公开示例性实施例另一种数据连接线的结构示意图,为图16中D区域的放大图。如图17所示,本示例性实施例显示基板中,第一连接线70设置在基底导电层,第二连接线80设置在遮挡导电层,第二连接线80通过第一搭接过孔DV1与第一连接线70连接。在第一电源线44作为功能信号线时,第一电源线44通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接。在数据信号线60作为功能信号线时,数据信号线60通过第二搭接过孔DV2与第二连接线80连接。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔DV1和第二搭接过孔DV2均可以设置在显示区域100,第一搭接过孔DV1可以设置在显示区域100中靠近引出线区201的单元行内,第二搭接过孔DV2可以设置在第一搭接过孔DV1远离引出线区201的一侧。
在示例性实施方式中,第二连接线80可以至少包括第二连接块、第一子线和第二子线,连接块通过第一搭接过孔与第一连接线连接,第一子线的第一端连接块连接,第一子线的第二端沿着第一方向的反方向延伸后,与第二子线的第一端连接,第二子线的第二端沿着第二方向的反方向延伸后,通过第二搭接过孔与功能信号线连接。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔靠近第二子线一侧的边缘与第二子线靠近第一搭接过孔一侧的边缘之间具有第一距离L1,第一距离L1可以约为0.1M1至0.5M1,M1为电路单元第一方向X的长度。
在示例性实施方式中,第二搭接过孔靠近第一子线一侧的边缘与第一子线靠近第二搭接过孔一侧的边缘之间具有第二距离L2,第二距离L2可以约为0.2M2至1.2M2,M2为电路单元第二方向Y的长度。
在示例性实施方式中,以图16中D区域为例,本示例性实施例显示基板的制备过程可以包括如下操作。
(21)制备基底。在示例性实施方式中,制备基底的过程与前述实施例步骤(11)可以基本上相同,基底可以包括在玻璃载板叠设的第一柔性层、 第一阻挡层、基底导电层、第二柔性层和第二阻挡层,如图18所示。
在示例性实施方式中,基底导电层图案可以至少包括设置在显示区域100、引出线区201和弯折区202的多条第一连接线70。
在示例性实施方式中,在示例性实施方式中,第一连接线70可以至少包括第一连接块71、第三子线70-3和第四子线70-4。第三子线70-3的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的线形状,第三子线70-3的第一端与绑定区域中的集成电路连接,第三子线70-3的第二端经过弯折区202和引出线区201并延伸到显示区域100后,与第四子线70-4的第一端连接。第四子线70-4的形状可以为主体部分沿着第一方向X延伸的线形状,第四子线70-4的第一端与第三子线70-3的第二端连接,第四子线70-4的第二端沿着第一方向X延伸后,与第一连接块71连接。第一连接块71的形状可以为矩形状,且第一连接块71、第三子线70-3和第四子线70-4可以为相互连接的一体结构,第一连接块71被配置为通过第一搭接过孔与后续形成的第二连接线连接。
(22)形成第一搭接过孔图案。在示例性实施方式中,形成第一搭接过孔图案的过程与前述实施例步骤(12)可以基本上相同,如图19所示。
在示例性实施方式中,多个第一搭接过孔DV1可以设置在显示区域100,第一搭接过孔DV1在基底上的正投影可以位于第一连接块71在基底上的正投影的范围之内,第一搭接过孔DV1内的第二阻挡层和第二柔性层被去掉,暴露出第一连接块71的表面,第一搭接过孔DV1被配置为使后续形成的第二连接线通过该过孔与第一连接块71连接。
(23)形成遮挡导电层图案。在示例性实施方式中,形成遮挡导电层图案的过程与前述实施例步骤(13)可以基本上相同,如图20所示。
在示例性实施方式中,遮挡导电层图案可以至少包括设置在显示区域的遮挡电极50和第二连接线80,遮挡电极50的结构与前述实施例步骤(13)形成的遮挡电极50的结构可以基本上相同。
在示例性实施方式中,第二连接线80可以至少包括第二连接块81、第一子线80-1和第二子线80-2。第二连接块81的形状可以为矩形状,第二连 接块81通过第一搭接过孔DV1与第一连接块71连接。第一子线80-1的第一端与第二连接块81连接,第一子线80-1的第二端沿着第一方向X的反方向延伸后,与第二子线80-2的第一端连接,第二子线80-2的第二端沿着第二方向Y的反方向延伸,第二子线80-2的第二端被配置为与后续形成的数据信号线连接。
在示例性实施方式中,第二子线80-2的延伸长度可以大于第一子线80-1的延伸长度。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔DV1靠近第二子线80-2一侧的边缘与第二子线80-2靠近第一搭接过孔DV1一侧的边缘之间具有第一距离L1,第一距离L1可以约为0.1M1至0.5M1,M1为电路单元第一方向X的长度。
在示例性实施方式中,第一距离L1可以约为6μm至30μm。例如,第一距离L1可以约为10μm左右。
(24)依次形成半导体层、第一导电层和第二导电层图案。在示例性实施方式中,形成半导体层、第一导电层和第二导电层图案的过程与前述实施例步骤(14)至步骤(16)可以基本上相同,半导体层、第一导电层和第二导电层的结构可以与前述实施例基本上相同,如图21所示。
(25)形成第四绝缘层图案。在示例性实施方式中,形成第四绝缘层图案的过程与前述实施例步骤(17)可以基本上相同,第四绝缘层上设置有多个过孔,如图22所示。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的多个过孔至少包括:第一过孔V1至第八过孔V8、第二搭接过孔DV2,第一过孔V1至第八过孔V8的结构可以与前述实施例基本上相同。
在示例性实施方式中,第二搭接过孔DV2在基底上的正投影位于第二子线80-2的第二端在基底上的正投影的范围之内,第二搭接过孔DV2内的第四绝缘层、第三绝缘层、第二绝缘层和第一绝缘层被刻蚀掉,暴露出第二子线80-2的第二端的表面,第二搭接过孔DV2被配置为使后续形成的数据信号线通过该过孔与第二子线80-2的第二端连接。
在示例性实施方式中,第二搭接过孔DV2靠近第一子线80-1一侧的边缘与第一子线80-1靠近第二搭接过孔DV2一侧的边缘之间具有第二距离L2,第二距离L2可以约为0.2M2至1.2M2,M2为电路单元第二方向Y的长度。
在示例性实施方式中,第二距离L2可以约为6μm至70μm。例如,第二距离L2可以约为63μm左右。
(26)形成第三导电层图案。在示例性实施方式中,形成第三导电层图案的过程与前述实施例步骤(18)可以基本上相同,如图23所示。
在示例性实施方式中,显示区域中每个电路单元的第三导电层至少包括:第一连接电极41、第二连接电极42、第三连接电极43、第一电源线44和数据信号线60,第一连接电极41、第二连接电极42、第三连接电极43和第一电源线44的结构可以与前述实施例基本上相同。
在示例性实施方式中,数据信号线60的形状可以为主体部分沿着第二方向Y延伸的直线状,一方面,数据信号线60通过第五过孔V5与第四有源层的第一区连接,实现了将数据信号写入第四晶体管T4的第一极,另一方面,数据信号线60通过第二搭接过孔DV2与第二子线80-2的第二端连接。
在示例性实施方式中,数据信号线60在基底上的正投影与第二子线80-2在基底上的正投影至少部分交叠。
本公开示例性实施例提供的显示基板,不仅可以实现前述实施例的技术效果,包括在显示区域实现了数据走线,可以缩减下边框宽度,有效减小了第一搭接过孔的深度,避免了信赖性试验时出现黑点不良,提高第一搭接过孔内侧壁的隔绝水氧能力,最大限度地降低了弯折区的弯折半径等,而且通过将第一搭接过孔和第二搭接过孔均设置在显示区域,可以充分利用基底导电层的布线,布线空间充足,可以进一步减小引出线区的宽度,有利于减少下边框。
研究表明,水氧有可能沿着第二柔性层和遮挡导电层入侵到第一搭接过孔,并从第一搭接过孔入侵到第二搭接过孔。本公开通过设置第一搭接过孔和第二搭接过孔之间的第一距离和第二距离,有效增大了水氧入侵的路径,降低水氧入侵几率,提高了显示装置的使用寿命。
图24为本公开示例性实施例又一种数据连接线的结构示意图,为图7a中A-A向的剖视图。如图24所示,在示例性实施方式中,本示例性实施例数据连接线的主体结构与前述实施例基本上相同,所不同的是,第一搭接过孔的内侧壁仅包括无机材料的第二阻挡层10D。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔可以包括套设的第一搭接子孔DV11和第二搭接子孔DV12。第一搭接子孔DV11设置在第二柔性层10C上,第一搭接子孔DV11内的第二柔性层10C被去掉,暴露出第一连接线70的表面,第一搭接子孔DV11的内侧壁仅包括第二柔性层。第二搭接子孔DV12设置在第二阻挡层10D上,第二搭接子孔DV12内的第二阻挡层10D被去掉,暴露出第一连接线70的表面,且第二阻挡层10D完全覆盖第一搭接子孔DV11的内侧壁。在示例性实施方式中,第二搭接子孔DV12在基底上的正投影可以位于第一搭接子孔DV11在基底上的正投影的范围之内,即第二搭接子孔DV12套设在第一搭接子孔DV11内,构成套设结构的第一搭接过孔。
在示例性实施方式中,第二阻挡层10D一方面完全覆盖第一搭接子孔DV11的内侧壁,另一方面覆盖第一搭接子孔DV11的部分底壁,即第一搭接子孔DV11中暴露出的第一连接线70的表面被第二阻挡层10D部分覆盖。
在示例性实施方式中,本示例性实施例中第二连接线80以及第一绝缘层91至第四绝缘层94的结构与前述实施例可以基本上相同。
在示例性实施方式中,本示例性实施例中显示基板的制备过程与前述实施例可以基本上相同,所不同的是,形成第二柔性层后,先通过图案化工艺对第二柔性层进行图案化,形成第一搭接子孔DV11,然后沉积第二阻挡薄膜,第二阻挡薄膜完全覆盖第一搭接子孔DV11的内侧壁和底壁,然后通过图案化工艺对覆盖第一搭接子孔DV11底壁的第二阻挡层进行图案化,在第一搭接子孔DV11内形成第二搭接子孔DV12,从而形成套设结构的第一搭接过孔。
本公开示例性实施例提供的显示基板,不仅可以实现前述实施例的技术效果,包括在显示区域实现了数据走线,可以缩减下边框宽度,有效减小了第一搭接过孔的深度,避免了信赖性试验时出现黑点不良,提高第一搭接过 孔内侧壁的隔绝水氧能力,最大限度地降低了弯折区的弯折半径等,而且通过先在第二柔性层上形成第一搭接子孔,然后第二阻挡层覆盖第一搭接子孔的内侧壁,将第二柔性层予以包裹,利用无机层保护有机材料的内侧壁,可以降低水氧入侵几率,可以有效防止水氧进入有机材料的第二柔性层,可以保证显示装置的信赖性,提高了显示装置的显示品质和使用寿命。
图25为本公开示例性实施例又一种数据连接线的结构示意图,为图7a中B-B向的剖视图。如图25所示,在示例性实施方式中,本示例性实施例数据连接线的主体结构与前述实施例基本上相同,所不同的是,第一搭接过孔的内侧壁被第二阻挡层10D覆盖,且第一连接线70的边缘被第二阻挡层10D包裹。
在示例性实施方式中,第一搭接过孔可以包括套设的第一搭接子孔DV11和第二搭接子孔DV12。第一搭接子孔DV11设置在第二柔性层10C上,第一搭接子孔DV11内的第二柔性层10C被去掉,不仅暴露出第一连接线70的表面,而且暴露出第一连接线70两侧的第一阻挡层10B,第一搭接子孔DV11的内侧壁仅包括第二柔性层。
在示例性实施方式中,第二搭接子孔DV12设置在第二阻挡层10D上,第二搭接子孔DV12内的第二阻挡层10D被去掉,暴露出第一连接线70的表面。在示例性实施方式中,第二搭接子孔DV12在基底上的正投影可以位于第一搭接子孔DV11在基底上的正投影的范围之内,即第二搭接子孔DV12套设在第一搭接子孔DV11内,构成套设结构的第一搭接过孔。
在示例性实施方式中,第二阻挡层10D一方面完全覆盖第一搭接子孔DV11的内侧壁,另一方面覆盖第一搭接子孔DV11内暴露出的第一阻挡层10B,又一方面部分覆盖第一连接线70的表面,形成第一阻挡层10B和第二阻挡层10D包裹第一连接线70边缘的结构。
在示例性实施方式中,本示例性实施例中显示基板的制备过程与图24所示实施例可以基本上相同,所不同的是,第一搭接子孔DV11不仅暴露出第一连接线70的表面,而且暴露出第一连接线70两侧的第一阻挡层10B。
本公开示例性实施例提供的显示基板,不仅可以实现前述实施例的技术效果,包括在显示区域实现了数据走线,可以缩减下边框宽度,有效减小了 第一搭接过孔的深度,避免了信赖性试验时出现黑点不良,提高第一搭接过孔内侧壁的隔绝水氧能力,最大限度地降低了弯折区的弯折半径等,而且通过先在第二柔性层上形成第一搭接子孔,然后第二阻挡层覆盖第一搭接子孔的内侧壁和第一连接线的边缘,利用无机层保护有机材料的内侧壁和金属材料的第一连接线,不仅可以保证显示装置的信赖性,而且可以阻挡水氧沿着第二柔性层侵入到第一连接线,避免第一连接线出现氧化和腐蚀,提高了显示装置的显示品质和使用寿命。
本公开前述所示结构及其制备过程仅仅是一种示例性说明,在示例性实施方式中,可以根据实际需要变更相应结构以及增加或减少构图工艺,本公开在此不做限定。
在示例性实施方式中,本公开显示基板可以应用于具有像素驱动电路的其它显示装置中,如量子点显示等,本公开在此不做限定。
本公开还提供一种显示基板的制备方法,以制作上述实施例提供的显示基板。在示例性实施方式中,所述制备方法可以包括:
形成基底,所述基底至少包括第一柔性层、第二柔性层以及设置在所述第一柔性层和第二柔性层之间的基底导电层,所述基底导电层至少包括第一连接线;
在所述基底上形成驱动电路层,所述驱动电路层至少包括设置在所述基底上的遮挡导电层和设置在所述遮挡导电层远离所述基底一侧的功能导电层,所述遮挡导电层至少包括第二连接线,所述功能导电层至少包括功能信号线;所述第二连接线通过第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述功能信号线通过第二搭接过孔与所述第二连接线连接。
本公开还提供一种显示装置,显示装置包括前述的显示基板。显示装置可以为:手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件,本发明实施例并不以此为限。
虽然本公开所揭露的实施方式如上,但所述的内容仅为便于理解本公开而采用的实施方式,并非用以限定本发明。任何所属领域内的技术人员,在不脱离本公开所揭露的精神和范围的前提下,可以在实施的形式及细节上进 行任何的修改与变化,但本发明的专利保护范围,仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (21)
- 一种显示基板,包括设置在基底上的驱动电路层;所述基底至少包括第一柔性层、第二柔性层以及设置在所述第一柔性层和第二柔性层之间的基底导电层,所述基底导电层至少包括第一连接线;所述驱动电路层至少包括设置在所述基底上的遮挡导电层和设置在所述遮挡导电层远离所述基底一侧的功能导电层,所述遮挡导电层至少包括第二连接线,所述功能导电层至少包括功能信号线;所述第二连接线通过第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述功能信号线通过第二搭接过孔与所述第二连接线连接。
- 根据权利要求1所述的显示基板,其中,在平行于所述显示基板的平面内,所述驱动电路层包括多个电路单元,至少一个电路单元包括像素驱动电路,所述像素驱动电路与所述功能信号线连接。
- 根据权利要求2所述的显示基板,其中,所述功能信号线包括向所述像素驱动电路提供数据信号的数据信号线。
- 根据权利要求2所述的显示基板,其中,所述功能信号线包括向所述像素驱动电路提供电源信号的第一电源线。
- 根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述驱动电路层至少包括在所述基底上依次设置的遮挡导电层、第一绝缘层、半导体层、第二绝缘层、第一导电层、第三绝缘层、第二导电层、第四绝缘层和第三导电层,所述功能导电层包括所述第三导电层。
- 根据权利要求5所述的显示基板,其中,在所述第一搭接过孔区域,所述第二连接线远离所述基底一侧设置有多个无机层,多个无机层包括如下任意一种或多种:第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层。
- 根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述基底还包括第一阻挡层和第二阻挡层,所述第一阻挡层设置在所述第一柔性层和所述基底导电层之间,所述第二阻挡层设置在所述第二柔性层远离所述第一柔性层的一侧。
- 根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述第一搭接过孔设置在所述第二柔性层和第二阻挡层上,所述第一搭接过孔的内侧壁包括所述第二柔性层和第二阻挡层,所述第二连接线覆盖所述第一搭接过孔的内侧壁。
- 根据权利要求7所述的显示基板,其中,所述第一搭接过孔包括第一搭接子孔和第二搭接子孔,所述第一搭接子孔设置在所述第二柔性层上,所述第一搭接子孔的内侧壁包括所述第二柔性层,所述第二阻挡层覆盖所述第一搭接子孔的内侧壁,所述第二搭接子孔设置在所述第二阻挡层上,所述第二搭接子孔的内侧壁包括所述第二阻挡层,所述第二连接线覆盖所述第二搭接子孔的内侧壁。
- 根据权利要求9所述的显示基板,其中,所述第一搭接子孔暴露出所述第一连接线的表面和所述第一阻挡层的部分表面,所述第二阻挡层覆盖所述第一搭接子孔的内侧壁和所述第一搭接子孔暴露出的第一阻挡层的表面。
- 根据权利要求1至10任一项所述的显示基板,其中,所述显示基板包括显示区域和设置在所述显示区域一侧的绑定区域;所述显示区域至少包括多个电路单元,所述绑定区域至少包括沿着远离所述显示区域方向依次设置的引出线区和弯折区,所述第一搭接过孔设置在所述引出线区,所述第二搭接过孔设置在所述显示区域。
- 根据权利要求11所述的显示基板,其中,所述引出线区包括沿着远离所述显示区域方向依次设置的封装区和非封装区,所述第一搭接过孔设置在所述非封装区。
- 根据权利要求11所述的显示基板,其中,所述弯折区的基底包括第一柔性层、第一阻挡层、基底导电层和第二柔性层。
- 根据权利要求1至10任一项所述的显示基板,其中,所述显示基板包括显示区域和设置在所述显示区域一侧的绑定区域;所述显示区域至少包括多个电路单元,至少一个电路单元至少包括像素驱动电路,所述像素驱动电路与所述数据信号线连接;所述绑定区域至少包括沿着远离所述显示区域方向依次设置的引出线区和弯折区;所述第一搭接过孔和第二搭接过孔设置在所述显示区域。
- 根据权利要求14所述的显示基板,其中,所述第二连接线至少包括连接块、第一子线和第二子线,所述连接块通过所述第一搭接过孔与所述 第一连接线连接,所述第一子线的第一端所述连接块连接,所述第一子线的第二端沿着所述第一方向的反方向延伸后,与所述第二子线的第一端连接,所述第二子线的第二端沿着所述第二方向的反方向延伸后,通过所述第二搭接过孔与所述功能信号线连接。
- 根据权利要求15所述的显示基板,其中,所述第一搭接过孔靠近所述第二子线一侧的边缘与所述第二子线靠近所述第一搭接过孔一侧的边缘之间的第一距离为0.1M1至0.5M1,M1为电路单元所述第一方向的长度。
- 根据权利要求16所述的显示基板,其中,所述第一距离为6μm至30μm。
- 根据权利要求15所述的显示基板,其中,所述第二搭接过孔靠近所述第一子线一侧的边缘与所述第一子线靠近所述第二搭接过孔一侧的边缘之间的第二距离为0.2M2至1.2M2,M2为电路单元所述第二方向的长度。
- 根据权利要求18所述的显示基板,其中,所述第二距离为6μm至70μm。
- 一种显示装置,包括如权利要求1至19任一项所述的显示基板。
- 一种显示基板的制备方法,包括:形成基底,所述基底至少包括第一柔性层、第二柔性层以及设置在所述第一柔性层和第二柔性层之间的基底导电层,所述基底导电层至少包括第一连接线;在所述基底上形成驱动电路层,所述驱动电路层至少包括设置在所述基底上的遮挡导电层和设置在所述遮挡导电层远离所述基底一侧的功能导电层,所述遮挡导电层至少包括第二连接线,所述功能导电层至少包括功能信号线;所述第二连接线通过第一搭接过孔与所述第一连接线连接,所述功能信号线通过第二搭接过孔与所述第二连接线连接。
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