CN117227091A - 一种基板生产用预上料装置及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于电子元件技术领域，具体涉及一种基板生产用预上料装置及其工作方法，通过输送部，所述输送部适于输送基板；搬运部，所述搬运部设置在所述输送部的上方，所述搬运部适于对输送部输送的基板进行搬运；预加热部，所述预加热部设置在所述输送部的一侧，并且所述预加热部设置在所述搬运部的下方，所述搬运部搬运的基板放置在所述预加热部上，所述预加热部适于对基板进行预加热；实现了在摆放整理基板的过程中保持矩形框架可以直接精准的与支撑座配合，避免在调整矩形框架时导致支撑件发生弯曲或折断。

Description

一种基板生产用预上料装置及其工作方法

技术领域

本发明属于电子元件技术领域，具体涉及一种基板生产用预上料装置及其工作方法。

背景技术

基板在成产过程中需要对基板上的芯片等进行注塑，在注塑之前需要将基板进行整理放置，然后将基板上进行注塑，传统的基板整理放置采用人工操作的方式，用于放置基板的矩形框架上设置有很多的支撑件，支撑件一边通过与支撑座上的通槽配合进行定位，一边对基板进行支撑，然而由于人工操作无法保证绝对的水平，在对于支撑件和通槽配合时可能会出现部分支撑件先插入通槽中，使得在人工移动矩形框架时导致支撑件的弯折甚至折断；并且在注塑时矩形框架会受到高温影响温度升高，在下一次人工在矩形框架上整理基板时可能会对人体造成伤害。

因此，基于上述技术问题需要设计一种新的基板生产用预上料装置及其工作方法。

发明内容

本发明的目的是提供一种基板生产用预上料装置及其工作方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种基板生产用预上料装置，包括：

输送部，所述输送部适于输送基板；

搬运部，所述搬运部设置在所述输送部的上方，所述搬运部适于对输送部输送的基板进行搬运；

预加热部，所述预加热部设置在所述输送部的一侧，并且所述预加热部设置在所述搬运部的下方，所述搬运部搬运的基板放置在所述预加热部上，所述预加热部适于对基板进行预加热。

进一步，所述预加热部包括：预加热机构、支撑机构和定位机构；

所述预加热机构设置在底座上；

所述定位机构设置在底座上，所述定位机构设置在所述预加热机构的一侧；

所述支撑机构适于与所述定位机构连接，以使得所述支撑机构准确放置在所述预加热机构上；

所述支撑机构适于支撑基板。

进一步，所述定位机构包括：转动条和一对固定件；

所述固定件设置在底座上；

所述转动条设置在两固定件之间，即所述转动条的一端与一固定件转动连接，所述转动条的另一端与另一固定件转动连接。

进一步，所述转动条上并排设置有若干插接槽；

所述插接槽内设置有顶块。

进一步，所述支撑机构包括：矩形框架；

所述矩形框架的一侧壁上设置有与插接槽对应的插接筒，所述插接筒适于插入对应的插接槽内；

所述矩形框架内设置有流道，所述流道与插接筒连通。

进一步，所述矩形框架的内壁上设置有十字件，通过所述十字件将矩形框架划分为四个矩形区域；

矩形区域的内壁上均设置有若干支撑件；

所述支撑件远离矩形区域内壁的一端开设有缺口。

进一步，所述插接筒内壁上设置有两个限位环，一个限位环靠近矩形框架外壁设置，另一个限位环靠近插接筒远离矩形框架的一端设置；

两个限位环之间设置有弹簧和活塞板，所述活塞板与所述弹簧连接；

所述活塞板靠近插接筒远离矩形框架的一端设置；

所述活塞板的外壁与所述插接筒的内壁接触，所述活塞板适于在两个限位环之间滑动。

进一步，所述流道与所述矩形框架的顶面通过气孔连通。

进一步，所述矩形框架的外壁上设置有若干握把。

进一步，所述预加热部包括：与矩形区域对应的支撑座；

所述支撑座设置在底座上；

所述支撑座的四周设置有限位边沿，所述限位边沿的顶面高于所述支撑座的顶面；

所述限位边沿上开设有与支撑件对应的第一通槽；

所述支撑座上开设有与第一通槽对应的第二通槽，并且第一通槽与第二通槽连通；

所述缺口的顶面与所述支撑座的顶面齐平；

所述支撑座内部设置有加热器。

进一步，所述支撑座的顶面上开设有若干条形槽。

进一步，所述搬运部包括：输送带、立架、三轴移动副和夹爪；

所述输送带设置在底座上，所述输送带设置在支撑座的一侧，所述输送带适于输送基板；

所述立架设置在底座上，所述三轴移动副设置在所述立架上；

所述夹爪设置在所述三轴移动副上。

进一步，所述输送部包括：滑轨、夹紧板、挡块和推板；

所述滑轨设置在底座是哪个，所述夹紧板设置在滑轨上并且适于沿着滑轨移动；

所述挡块设置在底座上；

所述夹紧板和所述挡块配合将盒体夹紧，所述推板适于将盒体中的基板推送至输送带上。

另一方面，本发明还提供一种上述基板生产用预上料装置所采用的工作方法，包括：

通过输送部适于输送基板；

通过搬运部对输送部输送的基板进行搬运；

通过预加热部对基板进行预加热。

本发明的有益效果是，本发明通过输送部，所述输送部适于输送基板；搬运部，所述搬运部设置在所述输送部的上方，所述搬运部适于对输送部输送的基板进行搬运；预加热部，所述预加热部设置在所述输送部的一侧，并且所述预加热部设置在所述搬运部的下方，所述搬运部搬运的基板放置在所述预加热部上，所述预加热部适于对基板进行预加热；实现了在摆放整理基板的过程中保持矩形框架可以直接精准的与支撑座配合，避免在调整矩形框架时导致支撑件发生弯曲或折断。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的一种基板生产用预上料装置的结构示意图；

图2是本发明的输送部的结构示意图；

图3是本发明的转动条的结构示意图；

图4是本发明的插接槽的剖视图；

图5是本发明的搬运部的结构示意图；

图6是本发明的矩形框架的结构示意图；

图7是本发明的支撑件的结构示意图；

图8是本发明的插接筒的剖视图；

图9是本发明的支撑座的结构示意图。

图中：

1输送部、11滑轨、12夹紧板、13挡块、14推板、15推动气缸、16顶升气缸、17支撑板；

2搬运部、21输送带、22立架、23三轴移动副、24夹爪、25旋转电机；

3预加热部、31转动条、311固定件、312插接槽、313顶块、32矩形框架、321十字件、322支撑件、323缺口、33插接筒、331限位环、332弹簧、333活塞板、34握把、35支撑座、351限位边沿、352第一通槽、353第二通槽、354条形槽；

4底座。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1，如图1至图9所示，本实施例1提供了一种基板生产用预上料装置，包括：输送部1，所述输送部1适于输送基板；搬运部2，所述搬运部2设置在所述输送部1的上方，所述搬运部2适于对输送部1输送的基板进行搬运；预加热部3，所述预加热部3设置在所述输送部1的一侧，并且所述预加热部3设置在所述搬运部2的下方，所述搬运部2搬运的基板放置在所述预加热部3上，所述预加热部3适于对基板进行预加热；实现了在摆放整理基板的过程中保持矩形框架32可以直接精准的与支撑座35配合，避免在调整矩形框架32时导致支撑件322发生弯曲或折断。

在本实施例中，所述预加热部3包括：预加热机构、支撑机构和定位机构；所述预加热机构设置在底座4上；所述定位机构设置在底座4上，所述定位机构设置在所述预加热机构的一侧；所述支撑机构适于与所述定位机构连接，以使得所述支撑机构准确放置在所述预加热机构上；所述支撑机构适于支撑基板；通过支撑机构与定位机构的配合可以使得支撑机构准确的与预加热机构进行配合，避免手动对矩形框架32的移动调整，进而避免支撑件322被弯曲或折断。

在本实施例中，所述定位机构包括：转动条31和一对固定件311；所述固定件311设置在底座4上；所述转动条31设置在两固定件311之间，即所述转动条31的一端与一固定件311转动连接，所述转动条31的另一端与另一固定件311转动连接；通过转动条31与固定件311的转动设置，使得转动条31可以转动，进而调整插接槽312的角度，便于插接筒33插入对应的插接槽312中。

在本实施例中，所述转动条31上并排设置有若干插接槽312；所述插接槽312内设置有顶块313；通过设置多个插接槽312和插接筒33的配合，使得矩形框架32的位置可以被精确的限制。

在本实施例中，所述支撑机构包括：矩形框架32；所述矩形框架32的一侧壁上设置有与插接槽312对应的插接筒33，所述插接筒33适于插入对应的插接槽312内；所述矩形框架32内设置有流道，所述流道与插接筒33连通；流道中可以注入液体，便于帮助矩形框架32进行冷却。

在本实施例中，所述矩形框架32的内壁上设置有十字件321，通过所述十字件321将矩形框架32划分为四个矩形区域；矩形区域的内壁上均设置有若干支撑件322；所述支撑件322远离矩形区域内壁的一端开设有缺口323；通过十字件321可以将矩形框架32围成的区域分为四份，可以承载更多的基板；通过支撑件322可以对基板进行支撑。

在本实施例中，所述插接筒33内壁上设置有两个限位环331，一个限位环331靠近矩形框架32外壁设置，另一个限位环331靠近插接筒33远离矩形框架32的一端设置；两个限位环331之间设置有弹簧332和活塞板333，所述活塞板333与所述弹簧332连接；所述活塞板333靠近插接筒33远离矩形框架32的一端设置；所述活塞板333的外壁与所述插接筒33的内壁接触，所述活塞板333适于在两个限位环331之间滑动；限位环331可以限制活塞板333的移动，活塞板333与矩形框架32的外壁之间存储有液体，液体可以是冷却液等，活塞板333的外壁与插接筒33的内壁紧密接触可以避免液体的泄漏，活塞板333可以采用隔热材料制成，避免在注塑过程中导致冷却液温度的上升，确保冷却的效果；所有插接筒33内活塞板333至矩形框架32外壁之间的容积总和与流道的体积相同，使得插接筒33内的液体进入流道时可以完全填充流道。

在本实施例中，所述流道与所述矩形框架32的顶面通过气孔连通，在冷却液被推入流道时，流道内的气体可以从气孔排出，便于冷却液的注入；流道的气孔与插接筒33位于矩形框架32相对的两条边框上，避免液体注入流道时从气孔流出。

在本实施例中，所述矩形框架32的外壁上设置有若干握把34，握把34可以用于搬运矩形框架32，避免接触温度过高的矩形框架32，避免人员受到伤害；握把34和插接筒33可以设置在矩形框架32相对的两条边框的外壁上，便于人员握持握把34搬运矩形框架32时更方便的将插接筒33插入对应的插接槽312中。

在本实施例中，所述预加热部3包括：与矩形区域对应的支撑座35；所述支撑座35设置在底座4上；所述支撑座35的四周设置有限位边沿351，所述限位边沿351的顶面高于所述支撑座35的顶面；所述限位边沿351上开设有与支撑件322对应的第一通槽352；所述支撑座35上开设有与第一通槽352对应的第二通槽353，并且第一通槽352与第二通槽353连通；所述缺口323的顶面与所述支撑座35的顶面齐平；所述支撑座35内部设置有加热器；将矩形框架32放置在支撑座35周围，此时支撑件322会进入第一通槽352和第二通槽353内，避免矩形框架32的移动，此时通过夹爪24将基板放置在支撑座35上，通过支撑座35内的加热器对基板进行预热，在预热结束后将矩形框架32抬起，通过缺口323对基板进行支撑，将基板取下，取下的基板由支撑框架进行支撑。

在本实施例中，所述支撑座35的顶面上开设有若干条形槽354，减少基板与支撑座35底面的接触面积，减小支撑座35与基板之间的摩擦，便于基板被抬起取下。

在本实施例中，初始状态下的转动条31处于倾斜状态，此时可以通过手动等方式保持转动条31的状态，插接槽312处于斜向上的方向，此时通过握把34搬运矩形框架32使得插接筒33插入对应的插接槽312内，插接槽312内的顶块313会推动对应的活塞板333向矩形框架32的边框方向移动，将插接筒33内的液体推入流道内，通过液体对注塑时受到加热的矩形框架32进行降温，通过插接筒33和插接槽312的配合使得矩形框架32处于倾斜状态，并且使得矩形框架32的位置被精确限制，避免传统的手动将矩形框架32放置在支撑座35周围时需要手动调整矩形框架32使得支撑件322与第一通槽352和第二通槽353对应，进而避免部分支撑件322已经进入对应的第一通槽352和第二通槽353时移动矩形框架32导致支撑件322的弯曲或折断，此时将转动条31转动，转动的方式可以是直接通过握把34向下压矩形框架32带动转动条31转动，向下压的矩形框架32会下压至将所有支撑座35包围，此时支撑件322会精确的进入对应的第一通槽352和第二通槽353内，缺口323位于第二通槽353内，缺口323顶面的高度与支撑座35顶面的高度齐平，此时可以将新的基板运输至支撑座35顶面进行支撑，通过加热器对基板进行预加热，在加热结束后可以在矩形框架32上盖设另一个矩形框架32，通过两个矩形框架32可以将基板夹紧，即在矩形框架32被抬起时通过缺口323对支撑座35上的基板进行支撑，并与另一个矩形框架32配合将基板夹紧，便于对基板的夹持与运输，通过缺口323对基板的支撑，使得基板的顶面与矩形框架32的顶面齐平，使得另一个矩形框架32支撑件322的底面可以与基板顶面的靠边部分接触，对基板进行夹紧，使得通过两个矩形基板的配合可以对基板进行夹紧运输，在基板被放置在支撑座35上时可以通过手动等方式对基板的位置进行调整，使得基板被若干个支撑件322的缺口323同时对准，后续抬起矩形框架32时可以平稳准确的对基板进行抬起并夹紧，由于冷却液的散热功能，在手动调整基板时避免矩形框架32的高温对工作人员造成烫伤，在基板放置完成后对矩形框架32抬起取走时可以首先通过握把34将矩形框架32的一侧壁先抬起，再将矩形框架32的插接筒33从插接槽312中拔出，以完整的取下矩形框架32，在取下矩形框架32时可以避免传统的手动取下时由于施加力的偏移导致支撑件322在第一通槽352和第二通槽353内收到挤压弯曲或折断，将取下的矩形框架32直接整个移动至后续的注塑设备中，对基板上进行注塑，注塑完成后可以将注塑后的基板取下，只将一个矩形框架32重新进行新的基板的放置和搬运，在矩形框架32拔出后，弹簧332带动活塞板333复位将流道内的液体重新抽回活塞筒内，避免注塑过程中流道内的液体被加热，确保后续的散热功能。

在本实施例中，所述搬运部2包括：输送带21、立架22、三轴移动副23和夹爪24；所述输送带21设置在底座4上，所述输送带21设置在支撑座35的一侧，所述输送带21适于输送基板；所述立架22设置在底座4上，所述三轴移动副23设置在所述立架22上；所述夹爪24设置在所述三轴移动副23上；三轴移动副23可以在输送带21和支撑座35上方移动，带动夹爪24在输送带21和支撑座35上方移动，将输送带21上的基板抓取放置在支撑座35上，完成基板的搬运；三轴移动副23上还可以设置有旋转电机25，旋转电机25的可以带动夹爪24转动，以适配在输送带21上不同状态的基板。

在本实施例中，所述输送部1包括：滑轨11、夹紧板12、挡块13和推板14；所述滑轨11设置在底座4是哪个，所述夹紧板12设置在滑轨11上并且适于沿着滑轨11移动；所述挡块13设置在底座4上；所述夹紧板12和所述挡块13配合将盒体夹紧，所述推板14适于将盒体中的基板推送至输送带21上；底座4上可以设置支撑板17，支撑板17高于底座4的顶面，支撑板17上支撑有盒体，盒体内堆叠存放有若干基板，支撑板17和盒体的底面上均开设有通孔，支撑板17下方设置有顶升气缸16，顶升气缸16的升降端可以穿过通孔将盒体内的基板顶起，此时盒体被夹紧板12和挡块13配合夹紧，避免顶起基板时盒体发生移动，顶起的基板从最上方逐一被推动气缸15连接的推板14推至输送带21上；可以通过气缸等驱动源驱动夹紧板12沿滑轨11移动，使得夹紧板12和挡块13配合夹紧盒体；输送带21上的基板通过夹爪24搬运至支撑座35上。

实施例2，在实施例1的基础上本实施例2还提供一种实施例1中基板生产用预上料装置所采用的工作方法，包括：通过输送部1适于输送基板；通过搬运部2对输送部1输送的基板进行搬运；通过预加热部3对基板进行预加热。

综上所述，本发明通过输送部1，所述输送部1适于输送基板；搬运部2，所述搬运部2设置在所述输送部1的上方，所述搬运部2适于对输送部1输送的基板进行搬运；预加热部3，所述预加热部3设置在所述输送部1的一侧，并且所述预加热部3设置在所述搬运部2的下方，所述搬运部2搬运的基板放置在所述预加热部3上，所述预加热部3适于对基板进行预加热；实现了在摆放整理基板的过程中保持矩形框架32可以直接精准的与支撑座35配合，避免在调整矩形框架32时导致支撑件322发生弯曲或折断。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (12)

1.一种基板生产用预上料装置，其特征在于，包括：

输送部，所述输送部适于输送基板；

搬运部，所述搬运部设置在所述输送部的上方，所述搬运部适于对输送部输送的基板进行搬运；

预加热部，所述预加热部设置在所述输送部的一侧，并且所述预加热部设置在所述搬运部的下方，所述搬运部搬运的基板放置在所述预加热部上，所述预加热部适于对基板进行预加热；

所述预加热部包括：预加热机构、支撑机构和定位机构；

所述预加热机构设置在底座上；

所述定位机构设置在底座上，所述定位机构设置在所述预加热机构的一侧；

所述支撑机构适于与所述定位机构连接，以使得所述支撑机构准确放置在所述预加热机构上；

所述支撑机构适于支撑基板；

所述定位机构包括：转动条和一对固定件；

所述固定件设置在底座上；

所述转动条设置在两固定件之间，即所述转动条的一端与一固定件转动连接，所述转动条的另一端与另一固定件转动连接。

2.如权利要求1所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述转动条上并排设置有若干插接槽；

所述插接槽内设置有顶块。

3.如权利要求2所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述支撑机构包括：矩形框架；

所述矩形框架的一侧壁上设置有与插接槽对应的插接筒，所述插接筒适于插入对应的插接槽内；

所述矩形框架内设置有流道，所述流道与插接筒连通。

4.如权利要求3所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述矩形框架的内壁上设置有十字件，通过所述十字件将矩形框架划分为四个矩形区域；

矩形区域的内壁上均设置有若干支撑件；

所述支撑件远离矩形区域内壁的一端开设有缺口。

5.如权利要求4所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述插接筒内壁上设置有两个限位环，一个限位环靠近矩形框架外壁设置，另一个限位环靠近插接筒远离矩形框架的一端设置；

两个限位环之间设置有弹簧和活塞板，所述活塞板与所述弹簧连接；

所述活塞板靠近插接筒远离矩形框架的一端设置；

所述活塞板的外壁与所述插接筒的内壁接触，所述活塞板适于在两个限位环之间滑动。

6.如权利要求5所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述流道与所述矩形框架的顶面通过气孔连通。

7.如权利要求6所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述矩形框架的外壁上设置有若干握把。

8.如权利要求7所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述预加热部包括：与矩形区域对应的支撑座；

所述支撑座设置在底座上；

所述支撑座的四周设置有限位边沿，所述限位边沿的顶面高于所述支撑座的顶面；

所述限位边沿上开设有与支撑件对应的第一通槽；

所述支撑座上开设有与第一通槽对应的第二通槽，并且第一通槽与第二通槽连通；

所述缺口的顶面与所述支撑座的顶面齐平；

所述支撑座内部设置有加热器。

9.如权利要求8所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述支撑座的顶面上开设有若干条形槽。

10.如权利要求9所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述搬运部包括：输送带、立架、三轴移动副和夹爪；

所述输送带设置在底座上，所述输送带设置在支撑座的一侧，所述输送带适于输送基板；

所述立架设置在底座上，所述三轴移动副设置在所述立架上；

所述夹爪设置在所述三轴移动副上。

11.如权利要求10所述的基板生产用预上料装置，其特征在于：

所述输送部包括：滑轨、夹紧板、挡块和推板；

所述滑轨设置在底座是哪个，所述夹紧板设置在滑轨上并且适于沿着滑轨移动；

所述挡块设置在底座上；

所述夹紧板和所述挡块配合将盒体夹紧，所述推板适于将盒体中的基板推送至输送带上。

12.一种如权利要求1所述基板生产用预上料装置所采用的工作方法，其特征在于，包括：

通过输送部适于输送基板；

通过搬运部对输送部输送的基板进行搬运；

通过预加热部对基板进行预加热。