CN115535531A - 一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体公开了一种半导体基板预热流水线上料机构，包括至少两组输送皮带、输送带支撑架、输送带旋转装置、输送带驱动装置、基板定位装置和基板推送装置，两组输送皮带的两端分别转动连接在输送带支撑架的两侧，输送带支撑架的中部与输送带旋转装置的转动端连接，输送带驱动装置与输送皮带驱动连接，基板定位装置设置在输送皮带的内侧，基板推送装置设置在输送带支撑架的一侧。能够实现双基板自动对称高效上料，适应无尘车间自动化操作。

Description

一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体是一种半导体基板预热流水线上料机构及流水线。

背景技术

在半导体无尘封装的制造中，在使用具有成型模具的树脂密封单元进行树脂密封之前，通过对搭载了半导体元件的基板(也有人称基材或引线框架)进行预热，可以抑制在树脂密封单元的高温模具上放置基材时，因热量而引起的基材变形。如果基板的变形较小，则由于可以在基板的每个步骤之间顺利进行输送和传递，因此对粘附在基材上的半导体元件和导线的损坏也可以抑制得较小，可以提高封装芯片的良品率。因此在半导体封装的制造中，在进行树脂密封之前，对装有半导体元件的基板进行预热，效果明显，通过预热装置对基板进行短时间的预热，能抑制基板在高温模具内封装的损坏。预热装置的上料效率会直接影响着基板的预热效果，及大批量生产时，会影响芯片的封装效率。

专利文献(中国专利公开号CN204102863U)公开了一种引线框架全自动封装系统，其说明书具体公开了条带预热单元及条带预热单元上料和下料方式，如说明书中记载的工作时，先将引线框架放入料盒，启动生产后，上料单元内的推杆装置将料盒推进引线框架整列单元并夹紧料盒，由引线框架整列单元后面的推杆将引线框架推出，由条带牵引单元将引线框架送入条带预热单元，与此同时树脂振动单元将树脂逐个送入树脂整列单元内，进而由树脂整列单元内的机械手将树脂逐个送入树脂上升单元内的树脂夹具内，夹具随着树脂上升单元上升到等待位置。上料机械手沿着IO/UL导轨单元运动到条带预热单元和树脂上升单元的等待位置的上方，将引线框架和树脂带入压机单元内进行封装。现有的整料单元，虽然能将基板整齐的排列到料盒内，一层层区别叠放，以防止这种精度较高的基板(引线框架)间传送时相互损伤，但其还是存在以下问题：1、条带牵引单元将引线框架送入条带预热单元的效率未知；2、一般的压机单元会存在多台，可以提高芯片的封装效率，通过条带牵引单元，牵引效率低，并不能很好的满足对多台压机单元或者说封装模具进行同时上料操作；另外封装模具一般装备有负压、卸料和加温等装置，并排放置，如果一件一件的通过上料机械手抓取，抓取效率太低；3、条带牵引单元将引线框架送入条带预热单元时定位不易精确，由于引线框架不能对称输送，因此定位时也不能对称定位，影响后续工序如浇注的进行，不能从浇注中心向两侧同步浇注，影响封装质量；4、一般的条性牵引单元刚度较低，输送引线框架时不稳定。

因此，有必要提出一种高效的、稳定性好、定位精确的半导体基板预热流水线及上料机构，来提高基板的预热效率，从而提高整机的自动封装效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体基板预热流水线上料机构，实现双基板自动对称高效上料。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种半导体基板预热流水线上料机构，包括至少两组输送皮带、输送带支撑架、输送带旋转装置、输送带驱动装置、基板定位装置和基板推送装置，两组输送皮带的两端分别转动连接在输送带支撑架的两侧，所述输送带支撑架的中部与输送带旋转装置的转动端连接，所述输送带驱动装置与输送皮带驱动连接，所述基板定位装置设置在输送皮带的内侧，所述基板推送装置设置在输送带支撑架的一侧。

进一步的方案中，所述输送带支撑架包括左右架体、皮带轮、轮轴和从动轮，所述皮带轮通过轮轴转动连接在左右架体的两端，所述左右架体的中部连接在输送带旋转装置的转动端，所述从动轮与皮带轮通过轮轴同轴连接，两组输送皮带分别套接在左右架体上的皮带轮上。

进一步的方案中，所述输送带旋转装置包括安装架、旋转驱动器、旋转台、旋转台限位单元和第一位置感应单元，所述旋转驱动器的壳体固定连接在安装架上，所述旋转台连接在所述旋转驱动器的转动端，所述左右架体的中部连接在旋转台的台面上，所述旋转台限位单元连接在安装架与旋转台之间，所述第一位置感应单元设置在旋转台限位单元的一侧。

进一步的方案中，所述旋转台限位单元包括挡块和弹性限位座，所述挡块连接在旋转台的下方，所述弹性限位座连接在安装架上，所述挡块通过弹性限位座限位。

进一步的方案中，所述输送带驱动装置包括主动轮、驱动电机、第一顶升驱动器和第二位置感应单元，所述主动轮连接在驱动电机的转轴上，驱动电机的壳体连接在第一顶升驱动器的升降端，所述第一顶升驱动器的固定端连接在安装架上，所述主动轮与从动轮相对应，所述第二位置感应单元连接在安装架与输送带支撑架之间。

进一步的方案中，所述基板定位装置包括基板限位单元、第二顶升驱动器和基板位置感应器，所述基板限位单元滑动连接在输送带支撑架的两端，所述第二顶升驱动器与基板限位单元之间驱动连接，所述基板位置感应器连接在安装架上，且位于基板限位单元靠近输送带支撑架中间的一侧。

进一步的方案中，所述基板限位单元包括限位板、放置槽、T型连接杆和复位弹簧，所述放置槽设置在左右架体上，所述限位板的上表面设置有的凹槽，且位于放置槽内，所述T型连接杆的竖直端依次穿过复位弹簧和输送带支撑架后与限位板的底部连接。

进一步的方案中，所述基板推送装置包括推杆、横向移动组件和纵向升降组件，所述推杆的一端设置在输送皮带的上方，另一端连接纵向升降组件的升降端，所述纵向升降组件的固定端连接在横向移动组件的移动端，所述横向移动组件的固定端连接在输送带旋转装置一侧。

进一步的方案中，所述横向移动组件包括丝杆滑台直线模组和连接座，丝杆滑台直线模组连接在连接座的上部，所述连接座连接在输送带支撑架的一侧，所述纵向升降组件包括连杆升降机构、第三顶升驱动器、顶杆、滚轮、连接板，所述顶杆的一端与推杆的另一端连接，所述顶杆的另一端穿过丝杆滑台直线模组的滑台后与连接板连接，所述连接板与滚轮转动连接，所述滚轮与连杆升降机构的升降端滑动连接。

本发明的目的还在于提供一种半导体基板预热流水线，实现双基板自动对称高速上料及统一预热。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种半导体基板预热流水线，包括上料机构、基板预热台和连接架，所述上料机构和基板预热台依次连接在连接架上，所述上料机构包括至少两组输送皮带、输送带支撑架、输送带旋转装置、输送带驱动装置、基板定位装置和基板推送装置，两组输送皮带的两端分别转动连接在输送带支撑架的两侧，使用时输送皮带的输出端与基板预热台上的预热单元相对应，输送带支撑架的中部与输送带旋转装置的转动端连接，输送带旋转装置的固定端安装在连接架上，输送带驱动装置与输送皮带驱动连接，所述基板定位装置设置在输送皮带的内侧，所述基板推送装置连接在基板预热台的一侧。

本发明的有益效果：

1、本发明通过两组输送皮带，可对两组基板进行输送，通过输送带旋转装置可带动输送带支撑架旋转，使得每次从料盒出料口处推送出来的基板都可以关于输送带旋转装置的旋转轴对称，便于两组基板双输送时输送轨道的精确，便于将其通过基板推送装置同时精确推送到基板预热台上的预热单元上定位，相比于通过双气缸的推送装置推送来说，可以省略推送动力元件的个数及调节气压保持两者同时推送的同步性，简化结构的同时，提高了工作效率。

2、本发明通过输送带旋转装置旋转接料，可提高接料效率，同时旋转输送也能提高基板的输送效率。

3、本发明通过输送带旋转装置、输送皮带、输送带驱动装置配合选择输料，可提高基板输送效率。

4、本发明通过基板定位装置和基板推送装置可同时实现对两组输送皮带上的基板同时推料，提高了推料效率的同时，也能保证推送到预热台上时的位置精度要求。

5、结构布局采用两个条带中心对称布置，方便下一道注塑工艺实现中心点注塑，送上预热台后，通过预热台进行定位，不同的条带设计不同尺寸的预热单元。

6、基板送料过程是受推动或者条带带动，运动轨道设计圆滑，防止出现卡料现象。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例中一种半导体基板预热流水线上料机构的连接示意图；

图2是本发明实施例中一种半导体基板预热流水线上料机构安装时的示意图一；

图3是本发明实施例中一种半导体基板预热流水线上料机构安装时的示意图二；

图4是本发明实施例中输送带支撑架的连接示意图；

图5是本发明实施例中输送带旋转装置的连接示意图；

图6是本发明实施例中旋转台限位单元的连接示意图；

图7是本发明实施例中旋转驱动器的连接示意图；

图8是本发明实施例中输送带驱动装置的连接示意图；

图9是本发明实施例中基板推送装置的连接示意图；

图10是图2中A处放大示意图；

图11是图4中B处放大示意图。

图中：1、上料机构；11、输送皮带；12、输送带支撑架；121、左右架体；122、皮带轮；123、轮轴；124、从动轮；125、导向键；13、输送带旋转装置；131、安装架；132、旋转驱动器；133、旋转台；1331、Z型板；1332、中心轴；1333、中心轴轴承座；134、旋转台限位单元；1341、挡块；1342、弹性限位座；135、第一位置感应单元；1351、第一感应板；1352、第一感应器；14、输送带驱动装置；141、主动轮；142、驱动电机；143、第一顶升驱动器；144、第二位置感应单元；1441、第二感应板；1442、第二感应器；15、基板定位装置；151、基板限位单元；1511、限位板；1512、放置槽；1513、T型连接杆；1514、复位弹簧；1515、凹槽；152、第二顶升驱动器；153、基板位置感应器；16、基板推送装置；161、推杆；162、横向移动组件；1621、丝杆滑台直线模组；1622、连接座；1623、第三感应器；163、纵向升降组件；1631、连杆升降机构；1632、第三顶升驱动器；1633、顶杆；1634、滚轮；1635、连接板；2、基板预热台；21、避让槽；3、连接架。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，一种半导体基板预热流水线上料机构，包括至少两组输送皮带11、输送带支撑架12、输送带旋转装置13、输送带驱动装置14、基板定位装置15和基板推送装置16，两组输送皮带11的两端分别转动连接在输送带支撑架12的两侧，输送带支撑架12的中部与输送带旋转装置13的转动端连接，输送带驱动装置14与输送皮带11驱动连接，基板定位装置15设置在输送皮带11的内侧，基板推送装置16设置在输送带支撑架12的一侧。

参阅图2和图3所示，其工作原理或使用方法为：首先将上述半导体基板预热流水线上料机构安装在现有的整列单元或料盒出料口和基板预热台2之间，安装时输送皮带11的输出端与基板预热台2上的预热单元相对应。当基板从现有的整列单元或料盒的出料口(为现有自动出料方式，图中未示出)推出后，落在上料机构1上第一组输送皮带11一端上预定位置后，控制输送带驱动装置14驱动输送皮带11向前输送，到达输送带支撑架12上基板定位装置15后，通过基板定位装置15定位后，使得基板到达基板定位装置15预定位置后，输送皮带11在输送带驱动装置14的作用下脱出动力，继而在输送带旋转装置13的作用下，旋转180°，使得第二组输送皮带11靠近基板预热台2的一端到达之前第一组输送皮带11上料位置处时，基板继续从现有的整列单元或料盒推出，落到第二组输送皮带11另一端的预定位置后，反转180°，第一组输送皮带11的另一端，继续接料，通过基板推送装置16推动到该端基板定位装置15上的预定位置处，同时此时，两组输送皮带11上的同一端基板定位装置15定位的预定位置处均感应到基板，就可通过基板推送装置16将两处基板一同推送基板预热台2上的预热单元上预热，通过输送带旋转装置13的输送，可以保证基板关于旋转中心对称，从而保持后续工序中也能对称，如在通过基板推送装置16推送后至基板预热台2上后，也能继续保持中心对称，保证两块基板在下一封装工序中，能够从中心注胶口处同步对称封装。

另外相比于现有的单一基板逐个推送的方式，明显的推送效率更高，使得其预热效率也更高，也能保证两个基板能预热同步，使得两个基板都能达到相同的温度，不必在另行对温度调控，这样方便同时进入到下一工序中，另外通过输送带旋转装置13旋转输送带支撑架12可以方便两组输送皮带两端轮流上料，提高输送皮带11的上料效率，基板定位装置15能保证接料位置和推料位置基本相同，便于基板同时推到基板预热台2，相比现有的单机输送或者并排的双机输送结构来说，可节省基板的定位时间以及保证定位后同时推送的时间上的自动控制的繁琐，明显的效率会更高，结构共用部分也多，可节省成本，另外由于输送带旋转装置13可旋转180°快速输送基板到达输送皮带11的另一端，同时一组输送皮带11自身也可以实现基板的输送，这样就可以对基板进行同时输送，提高基板的输送效率。

根据上述工作原理，优选的一些实施结构，如图4所示，输送带支撑架12包括左右架体121、皮带轮122、轮轴123和从动轮124，皮带轮122通过轮轴123转动连接在左右架体121的两端，左右架体121的中部连接在输送带旋转装置13的转动端，从动轮124与皮带轮122通过轮轴123同轴连接，两组输送皮带11分别套接在左右架体121上的皮带轮122上。这样可以提供给输送皮带11一定的刚度，整体结构设计合理，便于输送皮带的安装及旋转，便于基板的输送，轮轴123可以为四个，从动轮124可以为四个，便于单一输送皮带单独驱动要求。

参阅图4、图5和图7所示，输送带旋转装置13包括安装架131、旋转驱动器132、旋转台133、旋转台限位单元134和第一位置感应单元135，旋转驱动器132的壳体固定连接在安装架131上，旋转台133连接在旋转驱动器132的转动端，左右架体121的中部连接在旋转台133的台面上，旋转台限位单元134连接在安装架131与旋转台133之间，第一位置感应单元135设置在旋转台限位单元134的一侧。旋转驱动器132可以为旋转气缸或旋转电缸或电机或别的旋转机构。以旋转气缸为例，旋转驱动器132通过驱动旋转台133旋转，可带动旋转台133上的左右架体121的旋转，通过旋转台限位单元134可输送皮带11在实现180°转动后限位，防止过转，造成定位误差，通过第一位置感应单元135可以提供给整个流水线的控制器提供旋转台133到位信号。当然这里的第一位置感应单元135还可以设计为用于直接感应左右架体121的到位正转180°时的到位信号，及反转180°时的到位信号，以便于对左右架体121上的输送皮带11在旋转后到达的最终接料或推料时的位置精准限位。

如图5和图6所示，旋转台限位单元134包括挡块1341和弹性限位座1342，挡块1341连接在旋转台133的下方，弹性限位座1342连接在安装架131上，挡块1341通过弹性限位座1342限位。通过挡块1341和弹性限位座1342相抵即可实现对旋转台133的限位。

第一位置感应单元135包括第一感应板1351和第一感应器1352，第一感应板1351连接在旋转台133上，第一感应器1352连接在安装架131上，且与第一感应板1351相感应。第一感应器1352可以为光电感应传感器，通过第一感应板1351使得第一感应器1352的电信号发生变化，从而在感应旋转台133的位置，提供给流水线控制器相应旋转台133的位置信号或者说到位信号。

参阅图1、图4、图7和图8所示，输送带驱动装置14包括主动轮141、驱动电机142、第一顶升驱动器143和第二位置感应单元144，主动轮141连接在驱动电机142的转轴上，驱动电机142的壳体连接在第一顶升驱动器143的升降端，第一顶升驱动器143的固定端连接在安装架131上，主动轮141与从动轮124相对应，第二位置感应单元144连接在安装架131与输送带支撑架12之间。从动轮124通过主动轮驱动就可实现带动轮轴123、皮带轮122转动，从而带动输送皮带11输送，第一顶升驱动器143在第二位置感应单元144在感应到输送带支撑架12初始到位信号后，顶升驱动电机142，带动主动轮141和从动轮124啮合传动，在输送带旋转装置13带动输送带支撑架12旋转时，第一顶升驱动器143可带动主动轮141和从动轮124脱去啮合，第一顶升驱动器143可以为顶升气缸或伸缩电缸或别的直线伸缩机构，这里就不一一赘述，本领域人员可以自由选取。

参阅图3和图4所示，第二位置感应单元144包括第二感应板1441和第二感应器1442，第二感应板1441连接在输送带支撑架12上，第二感应器1442连接在安装架131上，且与第二感应板1441相感应。

参阅图5和图6所示，旋转台133包括Z型板1331、中心轴1332和中心轴轴承座1333，Z型板1331的中部连接在中心轴1332的一端上，中心轴1332的中部通过中心轴轴承座1333转动连接在安装架131上，中心轴1332的另一端与旋转驱动器132的驱动端连接。通过旋转驱动器132驱动中心轴1332在中心轴轴承座1333内旋转，带动Z型板1331旋转，可以使得Z型板1331旋转稳定，同时Z型板1331便于对左右架体121进行支撑，结构简单，节省原料。

第一感应板1351的形状为Z形，连接在挡块1341上，且位于Z型板1331的末端。这样便于对Z型板1331的位置进行感应，从而便于对旋转台133的位置进行感应。

参阅图1、图4和图11所示基板定位装置15包括基板限位单元151、第二顶升驱动器152和基板位置感应器153，基板限位单元151滑动连接在输送带支撑架12的两端，第二顶升驱动器152与基板限位单元151之间驱动连接，基板位置感应器153连接在安装架131上，且位于基板限位单元151靠近输送带支撑架12中间的一侧。第二顶升驱动器152也可以是装在连接架3上，也可以是别的另外设计的架体上，这样当基板位置感应器153感应到输送皮带11上有基板时，将信号反馈给控制器，控制器控制第二顶升驱动器152带动基板限位单元151上升至对基板预定位处，完成对基板的定位。

基板限位单元151包括限位板1511、放置槽1512、T型连接杆1513和复位弹簧1514，放置槽1512设置在左右架体121上，限位板1511的上表面设置有的凹槽1515，且位于放置槽1512内，T型连接杆1513的竖直端依次穿过复位弹簧1514和输送带支撑架12后与限位板1511的底部连接。限位板1511可以是L形的折弯板或多道折弯的折弯板,凹槽1515两边的凸起可以对两个基板同时定位，凹槽1515的凹陷处可以在放置槽1512内滑动，使得可以通过一个第二顶升驱动器152就可以实现对两组输送皮带11上基板同时定位。这里第二顶升驱动器152同样可以是多种直线推送机构，如气缸、电缸、液压缸等，这里不一一赘述。

参阅图1、图2、图9和图10所示，基板推送装置16包括推杆161、横向移动组件162和纵向升降组件163，推杆161的一端设置在输送皮带11的上方，另一端连接纵向升降组件163的升降端，纵向升降组件163的固定端连接在横向移动组件162的移动端，横向移动组件162的固定端连接在输送带旋转装置13一侧。通过横向移动组件162可带动推杆161横向移动，通过纵向升降组件163可以在移动到基板位置之前，下降带动推杆161压住基板，带动基板一同推送，在返回到原点时，又可以通过纵向升降组件163带动推杆161上升，脱去对基板接触。

横向移动组件162包括丝杆滑台直线模组1621和连接座1622，丝杆滑台直线模组1621连接在连接座1622的上部，连接座1622连接在输送带支撑架12的一侧，纵向升降组件163包括连杆升降机构1631、第三顶升驱动器1632、顶杆1633、滚轮1634、连接板1635，顶杆1633的一端与推杆161的另一端连接，顶杆1633的另一端穿过丝杆滑台直线模组1621的滑台后与连接板1635连接，连接板1635与滚轮1634转动连接，滚轮1634与连杆升降机构1631的升降端滑动连接。第三顶升驱动器1632带动连杆升降机构1631一个连杆升降，可带动与该连杆升降机构1631连接的滚轮1634上下移动，从而顶升滚轮1634上的连接板1635及顶杆1633的升降，从而带动推杆161的竖直升降，丝杆滑台直线模组1621可带动顶杆1633横向移动，从而带动推杆161横向移动，结构简单，滚轮1634与连杆升降机构1631之间的限位滑动，可以降低顶杆1633对连杆升降机构1631的撞击噪声。

连接座1622的两端连接有第三感应器1623。第三感应器可以为光电位置传感器，用于感应推杆161位置。

第三顶升驱动器1632的升降端位置处设置有位置传感器，用于感应其升降端的到位信号，用于将信号传输给控制器，使得控制器能根据到位信号，自动控制下一工序操作。

参阅图4所示，输送皮带11为圆形条带，与基板的接触面小，便于对基板的推送，每组输送皮带11至少为三根圆形条带。三根圆形条带可更好的对基板限位，可以保证基板输送时更稳定。

轮轴123为“D”形，且其上设置有“D”形的导向键125，两者“D”形的竖平面相互连接。便于与基板接触，导向基板进入输送皮带11。

参阅图1-11，具体使用时，基带从料盒的出料口推出后，落到输送皮带11上，主动轮141在驱动电机142的带动下与从动轮124啮合，带动皮带轮122、轮轴123旋转，从而带动输送皮带11向基板预热台2一端进给，当前端的基板位置感应器153感应到基板的到位信号后，反馈控制器，通过控制器控制第二顶升驱动器152带动限位板1511对基板进行限位，使得基板定位在预定位置，同时控制第一顶升驱动器143带动驱动电机142及主动轮141下降，控制旋转驱动器132带动旋转台133转动180°使得左右架体121上的另一组输送皮带11的一端接料，接料后，继续控制第一顶升驱动器143带动驱动电机142及主动轮141上升与另一端的从动轮124啮合，继续带动皮带向前输料，待到达预定位置后，此时第二顶升驱动器152带动限位板1511对双基板进行限位，当两组的基板位置感应器153均感应到基板时，控制第三顶升驱动器1632带动连杆升降机构1631一个连杆升降，可带动与该连杆升降机构1631连接的滚轮1634上下移动，从而顶升滚轮1634上的连接板1635及顶杆1633的升降，从而带动推杆161的竖直升降，丝杆滑台直线模组1621可带动顶杆1633横向移动，从而带动推杆161横向移动推动双基板至下一工序，如基板预热台2上预热。

参阅图2和图3，明显的根据上述上料机构1的工作原理和使用方法，上料机构1与基板预热台2通过连接架3连接可构成一种半导体基板预热流水线，其中，上料机构1和基板预热台2依次连接在连接架3上，上料机构1包括至少两组输送皮带11、输送带支撑架12、输送带旋转装置13、输送带驱动装置14、基板定位装置15和基板推送装置16，两组输送皮带11的两端分别转动连接在输送带支撑架12的两侧，使用时输送皮带11的输出端与基板预热台2上的预热单元相对应，输送带支撑架12的中部与输送带旋转装置13的转动端连接，输送带旋转装置13的固定端安装在连接架3上，输送带驱动装置14与输送皮带11驱动连接，基板定位装置15设置在输送皮带11的内侧，基板推送装置16连接在基板预热台2的一侧。

其中，基板预热台2靠近输送带支撑架12一端设置有避让槽21。避让槽21便于上料机构1旋转推料。

基板预热台2安装加热棒和温度传感器，配合调温仪表，实现温度的精准控制。

综上所示，可以得到，本发明通过两组输送皮带11，可对两组基板进行输送，通过输送带旋转装置13可带动输送带支撑架12旋转，使得每次从料盒出料口处推送出来的基板都可以关于输送带旋转装置13的旋转轴对称，便于两组基板双输送时输送轨道的精确，便于将其通过基板推送装置同时精确推送到基板预热台2上的预热单元上定位，相比于通过双气缸的推送装置推送来说，可以省略推送动力元件的个数及调节气压保持两者同时推送的同步性，简化结构的同时，提高了工作效率。

本发明通过输送带旋转装置13旋转接料，可提高接料效率，同时旋转输送也能提高基板的输送效率。

本发明通过输送带旋转装置13、输送皮带11、输送带驱动装置14配合选择输料，可提高基板输送效率。

本发明通过基板定位装置15和基板推送装置16可同时实现对两组输送皮带11上的基板同时推料，提高了推料效率的同时，也能保证推送到预热台上时的位置精度要求。

整体结构布局满足两个基板中心对称布置的输送要求，方便下一道注塑工艺实现中心点注塑，送上预热台后，通过预热台进行定位，不同的基板设计不同尺寸的预热单元。

基板送料过程是受推动或者输送皮带11带动，运动轨道设计圆滑，防止出现卡料现象。

需要说明的是，本申请中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。在本申请中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。

Claims (10)

1.一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，包括至少两组输送皮带(11)、输送带支撑架(12)、输送带旋转装置(13)、输送带驱动装置(14)、基板定位装置(15)和基板推送装置(16)，两组输送皮带(11)的两端分别转动连接在输送带支撑架(12)的两侧，所述输送带支撑架(12)的中部与输送带旋转装置(13)的转动端连接，所述输送带驱动装置(14)与输送皮带(11)驱动连接，所述基板定位装置(15)设置在输送皮带(11)的内侧，所述基板推送装置(16)设置在输送带支撑架(12)的一侧。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述输送带支撑架(12)包括左右架体(121)、皮带轮(122)、轮轴(123)和从动轮(124)，所述皮带轮(122)通过轮轴(123)转动连接在左右架体(121)的两端，所述左右架体(121)的中部连接在输送带旋转装置(13)的转动端，所述从动轮(124)与皮带轮(122)通过轮轴(123)同轴连接，两组输送皮带(11)分别套接在左右架体(121)上的皮带轮(122)上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述输送带旋转装置(13)包括安装架(131)、旋转驱动器(132)、旋转台(133)、旋转台限位单元(134)和第一位置感应单元(135)，所述旋转驱动器(132)的壳体固定连接在安装架(131)上，所述旋转台(133)连接在所述旋转驱动器(132)的转动端，所述左右架体(121)的中部连接在旋转台(133)的台面上，所述旋转台限位单元(134)连接在安装架(131)与旋转台(133)之间，所述第一位置感应单元(135)设置在旋转台限位单元(134)的一侧。

4.根据权利要求3所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述旋转台限位单元(134)包括挡块(1341)和弹性限位座(1342)，所述挡块(1341)连接在旋转台(133)的下方，所述弹性限位座(1342)连接在安装架(131)上，所述挡块(1341)通过弹性限位座(1342)限位。

5.根据权利要求3所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述输送带驱动装置(14)包括主动轮(141)、驱动电机(142)、第一顶升驱动器(143)和第二位置感应单元(144)，所述主动轮(141)连接在驱动电机(142)的转轴上，所述驱动电机(142)的壳体连接在第一顶升驱动器(143)的升降端，所述第一顶升驱动器(143)的固定端连接在安装架(131)上，所述主动轮(141)与从动轮(124)相对应，所述第二位置感应单元(144)连接在安装架(131)与输送带支撑架(12)之间。

6.根据权利要求2所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述基板定位装置(15)包括基板限位单元(151)、第二顶升驱动器(152)和基板位置感应器(153)，所述基板限位单元(151)滑动连接在输送带支撑架(12)的两端，所述第二顶升驱动器(152)与基板限位单元(151)之间驱动连接，所述基板位置感应器(153)连接在安装架(131)上，且位于基板限位单元(151)靠近输送带支撑架(12)中间的一侧。

7.根据权利要求6所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述基板限位单元(151)包括限位板(1511)、放置槽(1512)、T型连接杆(1513)和复位弹簧(1514)，所述放置槽(1512)设置在左右架体(121)上，所述限位板(1511)的上表面设置有的凹槽(1515)，且位于放置槽(1512)内，所述T型连接杆(1513)的竖直端依次穿过复位弹簧(1514)和输送带支撑架(12)后与限位板(1511)的底部连接。

8.根据权利要求1-7任一所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述基板推送装置(16)包括推杆(161)、横向移动组件(162)和纵向升降组件(163)，所述推杆(161)的一端设置在输送皮带(11)的上方，另一端连接纵向升降组件(163)的升降端，所述纵向升降组件(163)的固定端连接在横向移动组件(162)的移动端，所述横向移动组件(162)的固定端连接在输送带旋转装置(13)一侧。

9.根据权利要求8所述的一种半导体基板预热流水线上料机构，其特征在于，所述横向移动组件(162)包括丝杆滑台直线模组(1621)和连接座(1622)，丝杆滑台直线模组(1621)连接在连接座(1622)的上部，所述连接座(1622)连接在输送带支撑架(12)的一侧，所述纵向升降组件(163)包括连杆升降机构(1631)、第三顶升驱动器(1632)、顶杆(1633)、滚轮(1634)、连接板(1635)，所述顶杆(1633)的一端与推杆(161)的另一端连接，所述顶杆(1633)的另一端穿过丝杆滑台直线模组(1621)的滑台后与连接板(1635)连接，所述连接板(1635)与滚轮(1634)转动连接，所述滚轮(1634)与连杆升降机构(1631)的升降端滑动连接。

10.一种半导体基板预热流水线，其特征在于，包括上料机构(1)、基板预热台(2)和连接架(3)，所述上料机构(1)和基板预热台(2)依次连接在连接架(3)上，所述上料机构(1)包括至少两组输送皮带(11)、输送带支撑架(12)、输送带旋转装置(13)、输送带驱动装置(14)、基板定位装置(15)和基板推送装置(16)，两组输送皮带(11)的两端分别转动连接在输送带支撑架(12)的两侧，使用时输送皮带(11)的输出端与基板预热台(2)上的预热单元相对应，输送带支撑架(12)的中部与输送带旋转装置(13)的转动端连接，输送带旋转装置(13)的固定端安装在连接架(3)上，输送带驱动装置(14)与输送皮带(11)驱动连接，所述基板定位装置(15)设置在输送皮带(11)的内侧，所述基板推送装置(16)连接在基板预热台(2)的一侧。

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