CN116893572A - 感光性玻璃组合物、电子部件和电子部件的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及感光性玻璃组合物、电子部件及其制造方法。由本发明提供能够形成具有微细的图案且翘曲、自基材上的剥离受到抑制的玻璃层的感光性玻璃组合物。此处公开的感光性玻璃组合物是在具备具有规定宽度的槽部的玻璃层及配置在该玻璃层槽部的导电层的电子部件中用于制作玻璃层的感光性玻璃组合物。该感光性玻璃组合物至少包含玻璃粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和有机系分散介质。光固化性树脂包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B。五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A与二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B的质量比(A:B)为90:10～12.5:87.5。

Description

感光性玻璃组合物、电子部件和电子部件的制造方法
技术领域
本发明涉及感光性玻璃组合物、电子部件和电子部件的制造方法。
背景技术
层叠芯片式电感器等电子部件具备在基材上形成有规定图案的导电层的电路基板。近年来，使用包含光聚合性物质和导电性材料的组合物(以下称为“感光性导电组合物”)来形成上述那样的电子部件的导电层的方法广为人知。作为该方法的一例，可列举出光刻法(例如专利文献1)。在该方法中，首先，在对基材表面供给感光性导电组合物后，通过使该组合物干燥而成形出包含导电性粉末的膜状体(导电膜状体)。接着，使具有规定图案的狭缝(开口部)的光掩模覆盖到导电膜状体，对从狭缝露出的导电膜状体的一部分照射光。由此，光固化性树脂发生固化，形成包含导电性粉末的固化膜(导电固化膜)。接着，利用显影液将被光掩模遮光的未曝光部分(未固化的导电膜状体)去除。由此，仅经曝光的规定图案的导电固化膜残留于基材表面，因此，通过对其进行烧成而能够形成期望的导电层。
然而，近年来对于电子部件小型化的要求进一步提高。为了实现该电子部件的小型化，要求进一步减小L/S(线和空间)，所述L/S表示导电层的线宽L与邻接的导电层的间隔(空间)的宽度S之间的尺寸关系。例如，以往一般的电子部件的导电层的L/S为40μm/40μm左右，但近年来要求形成L/S小于30μm/30μm的微细的导电层。但是，若为了形成微细的导电层而使用狭缝小的光掩模，则在曝光工序中对导电膜状体供给的光量(曝光量)变少，因此，光有可能不会到达导电膜状体的下部(基材侧)。在该情况下，导电膜状体的下部不会充分固化而是在显影工序中被去除，因此，形成在剖视时为倒梯形状的导电层。形成这种倒梯形状的导电层的情况被称为“底部内切”，可能成为电子部件的电阻增大、导电层的断线等不良情况的原因。
作为用于形成微细的导电层而不发生这种底部内切的技术，提出了组合使用包含光聚合性物质和玻璃材料的组合物(以下称为“感光性玻璃组合物”)的光刻法。在该方法中，首先，对基材表面供给感光性玻璃组合物而成形玻璃膜状体。接着，使具有规定图案的狭缝的光掩模覆盖到玻璃膜状体，对从狭缝露出的玻璃膜状体进行曝光。接着，利用显影液将未固化的玻璃膜状体去除，在基材表面形成具有规定图案的槽部的玻璃固化膜。接着，通过向该玻璃固化膜的槽部填充感光性导电组合物并使其曝光，从而在玻璃固化膜的槽部形成导电固化膜。然后，通过对这些玻璃固化膜和导电固化膜进行烧成，从而能够制造具有玻璃层和导电层的电子部件，所述玻璃层具有微细的槽部，所述导电层形成于该玻璃层的槽部。专利文献2～4中公开了在这种制造技术中使用的感光性组合物的一例。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第6694099号公报
专利文献2：日本专利第5163687号公报
专利文献3：日本专利第5195432号公报
专利文献4：日本专利第4719332号公报
发明内容
发明要解决的问题
然而，印刷有感光性玻璃组合物的玻璃膜状体与导电膜状体相比，具有高透光性(透明度)。在透光性这样高的玻璃膜状体中，即便为了在曝光工序中形成微细的布线图案(槽部的图案)而减小光掩模的狭缝、降低光的供给量，也不易因上述那样的固化不良而发生底部内切。另一方面，在感光性玻璃组合物中仅使用光固化性优异的树脂的情况下，在玻璃膜状体的曝光工序中容易因高透光性而发生光固化收缩(由固化导致的体积收缩)。例如，在使用上述专利文献3和4的感光性玻璃组合物的情况下，有时在曝光工序中发生光固化收缩，在曝光工序后的玻璃固化膜中发生翘曲(卷曲)。
另外，专利文献3中研究了形成通孔并形成层叠芯片的导电图案的内容，针对形成L/S为40μm/40μm、L/S为30μm/30μm那样的微细图案的玻璃层未作研究。因此，在想要使用专利文献3中公开的感光性玻璃组合物来形成微细图案的玻璃层的情况下，具有在显影工序中局部发生剥离的课题。
本发明是鉴于该情况而进行的，其目的在于，提供能够形成具有微细的图案且翘曲、自基材上的剥离受到抑制的玻璃层的感光性玻璃组合物。另外，另一目的在于，提供具备该玻璃层和导电层的电子部件以及电子部件的制造方法。
用于解决问题的方案
为了实现上述目的而提供此处公开的感光性玻璃组合物。此处公开的感光性玻璃组合物在具备具有规定宽度的槽部的玻璃层及配置在该玻璃层槽部的导电层的电子部件中用于制作上述玻璃层。该感光性玻璃组合物至少包含玻璃粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和有机系分散介质。上述光固化性树脂包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B。上述五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A与上述二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B的质量比(A:B)为90:10～12.5:87.5。
在感光性玻璃组合物中，通过以上述那样的质量比包含具有高光固化性的五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和具有柔软性的二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B，从而能够适合地抑制在曝光工序中因高透光性而产生的光固化收缩。根据该构成的感光性玻璃组合物，能够适合地形成微细图案，且在该感光性玻璃组合物经光固化而得到的玻璃固化膜中，能够降低曝光工序后的翘曲、显影工序中自基材上的剥离。
在此处公开的感光性玻璃组合物的一个适合方式中，上述五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A与上述二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B的质量比(A:B)为82.5:17.5～25:75。
根据该构成，在利用更宽泛的条件来实施曝光工序、显影工序时，也能够实现充分的翘曲降低和剥离抑制。
在此处公开的感光性玻璃组合物的一个适合方式中，上述光固化性树脂还包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯。
根据该构成，在感光性玻璃组合物经光固化而得到的玻璃固化膜中，能够降低曝光工序后的翘曲，进而也能够降低粘度，因此，能够更适合地发挥出上述效果。
在此处公开的感光性玻璃组合物的一个适合方式中，上述玻璃粉末包含以B2O3和SiO2作为主成分的B2O3-SiO2系玻璃。另外，在该方式中，将该玻璃的整体设为100质量％时，上述B2O3-SiO2系玻璃以氧化物换算的质量比计含有5质量％以上且20质量％以下的上述B2O3，且含有20质量％以上且70质量％以下的上述SiO2。另外，将上述感光性玻璃组合物的整体设为100质量％时，上述玻璃粉末的比例为45质量％以上且60质量％以下。
根据该构成的感光性玻璃组合物，能够形成固定性优异的玻璃层。
此处公开的感光性玻璃组合物的一个适合方式中，上述有机系分散介质是沸点为150℃以上且250℃以下的有机溶剂。
根据该构成，能够提高感光性玻璃组合物的保存稳定性、该组合物在印刷时的处理性，且能够将印刷后的干燥温度抑制得较低。
另外，根据此处公开的技术，可提供一种电子部件，其具备：由上述感光性玻璃组合物的烧成体形成的玻璃层、以及配置在该玻璃层的槽部的导电层。
使用上述感光性玻璃组合物得到的玻璃层具有微细的图案。因此，通过使用该玻璃层来形成导电层，从而能够实现具有微细图案的电子部件。
另外，根据此处公开的技术，提供一种电子部件的制造方法，其包括如下工序：将上述感光性玻璃组合物供给至基材上，进行曝光、显影后，再进行烧成，形成由前述感光性玻璃组合物的烧成体形成的玻璃层。
根据该制造方法，能够以良好的精度制造具有L/S为30μm/30μm以下的微细图案的电子部件。
附图说明
图1是示意性地示出一个实施方式所述的层叠芯片式电感器的结构的剖视图。
图2是说明一个实施方式所述的层叠芯片式电感器的制造步骤的图。
附图标记说明
12玻璃固化膜
14玻璃层
22导电固化膜
24导电层
26通孔
30主体部
40外部电极
50陶瓷基材
100层叠体
具体实施方式
以下，说明本发明的适合实施方式。需要说明的是，在本说明书中除特别提及的事项之外的事项且对于本发明的实施而言必要的事项可根据本领域的现有技术作为本领域技术人员的设计事项来加以掌握。本发明可根据本说明书中公开的内容和本领域的技术常识来实施。需要说明的是，在本说明书中表示数值范围的“A～B”这一表述只要没有特别记载就是指“A以上且B以下”。
需要说明的是，本说明书中，将在光固化性树脂和光聚合性引发剂的沸点以下的温度、具体而言大致为200℃以下、例如100℃以下进行干燥而得到的感光性玻璃组合物称为“玻璃膜状体”，将使该玻璃膜状体发生光固化而得到的物质称为“玻璃固化膜”。并且，将对该玻璃固化膜进行烧成而得到的物质称为“玻璃层”。
另外，本说明书中，将在光固化性树脂和光聚合性引发剂的沸点以下的温度、具体而言大致为200℃以下、例如100℃以下进行干燥而得到的感光性导电组合物称为“导电膜状体”，将使该导电膜状体发生光固化而得到的物质称为“导电固化膜”。并且，将对该导电固化膜进行烧成而得到的物质称为“导电层”。
需要说明的是，本说明书中的“糊剂”是指一部分或全部的固体成分分散于溶剂而得到的混合物，包括所谓的“浆料”、“墨”等。
1.感光性玻璃组合物
此处公开的感光性玻璃组合物是在具备具有规定宽度的槽部的玻璃层及配置在该玻璃层槽部的导电层的电子部件中用于制作上述玻璃层的组合物。典型而言，感光性玻璃组合物为糊剂状。该感光性玻璃组合物至少含有玻璃粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和有机系分散介质。以下，针对各构成成分依次进行说明。
(1)玻璃粉末
玻璃粉末是在烧成处理时发生残留而不被烧毁，且在烧成后形成玻璃层的成分。作为玻璃粉末，除了一般的非晶质玻璃之外，也可以为包含结晶的晶化玻璃。作为玻璃粉末，优选为不具有结晶化部分的非晶质玻璃。作为该玻璃粉末的适合例，可列举出包含硼成分(B2O3)和硅成分(SiO2)作为主成分的B2O3-SiO2系玻璃。通过使用包含B2O3-SiO2系玻璃的感光性玻璃组合物，从而能够形成在基材表面上的固定性优异的玻璃层。
需要说明的是，在本说明书中，“粉末”是指包括粉末状、玻璃料状等的术语。
硼成分(B2O3)有助于提高烧成中的流动性，因此可推测其会改善玻璃层相对于基材表面的固定性。上述B2O3-SiO2系玻璃中的B2O3的比例以氧化物换算计优选为1质量％以上、更优选为3质量％以上、进一步优选为5质量％以上。另一方面，若B2O3-SiO2系玻璃中的B2O3的比例过量，则难以在烧成中维持玻璃层的形状。从该观点出发，B2O3-SiO2系玻璃中的B2O3的比例以氧化物换算计优选为25质量％以下、更优选为23质量％以下、进一步优选为20质量％以下。
另外，硅成分(SiO2)是构成烧成后的玻璃层的骨架的成分。B2O3-SiO2系玻璃中的SiO2的比例以氧化物换算计优选为10质量％以上、更优选为15质量％以上、进一步优选为20质量％以上。另一方面，B2O3-SiO2系玻璃中的SiO2的比例优选为80质量％以下、更优选为75质量％以下、进一步优选为70质量％以下。
需要说明的是，上述B2O3-SiO2系玻璃可以包含除B2O3和SiO2之外的成分。作为该成分，可列举出2族元素的氧化物(R例如表示Mg、Ca、Zn、Ba、Sr。以下相同。)、铝成分(Al2O3)、锌成分(ZnO)等。
作为玻璃粉末，不限定于上述B2O3-SiO2系玻璃，可没有特别限定地使用以往公知的玻璃组合物。作为一例，可列举出SiO2-RO系玻璃、SiO2-RO-Al2O3系玻璃、SiO2-RO-Y2O3系玻璃、SiO2-RO-B2O3系玻璃、SiO2-Al2O3系玻璃、SiO2-ZnO系玻璃、SiO2-ZrO2系玻璃、RO系玻璃、铅系玻璃、铅锂系玻璃等。
玻璃粉末的D50粒径没有特别限定，若考虑到分散性等，则优选为0.3μm以上、更优选为0.7μm以上、进一步优选为1μm以上。另一方面，若考虑到干燥后的玻璃层的表面平滑性，则玻璃粉末的D50粒径优选为8μm以下、更优选为5μm以下、进一步优选为2μm以下。
需要说明的是，在本说明书中，“D50粒径”是指：在基于激光衍射/散射法的体积基准的粒度分布中，从粒径小的一侧起的累积值相当于50％的粒径。
在感光性玻璃组合物中的玻璃粉末的比例过高的情况下，糊剂粘度增大，可能发生作业效率的降低、印刷性的降低等。从该观点出发，玻璃粉末在感光性玻璃组合物整体中所占的比例优选为60质量％以下、更优选为58质量％以下、进一步优选为56质量％以下，例如可以为54质量％以下。另一方面，在感光性玻璃组合物中的玻璃粉末的比例低的情况下，可预料到印刷性随着组合物的粘度降低而提高，光固化时的玻璃膜中的遮蔽物降低(即，间隙增加)，由此使显影性提高。因此，能够比较容易地降低该组合物中的玻璃粉末的比例。然而，在感光性玻璃组合物中的玻璃粉末的比例过少的情况下，有可能玻璃层中的玻璃密度变低，在该玻璃层的槽部所形成的导电层的膜厚变得过薄。从这些观点出发，玻璃粉末在感光性玻璃组合物整体中所占的比例的下限值例如优选为35质量％以上、更优选为40质量％以上、进一步优选为45质量％以上、特别优选为50质量％以上，例如可以为52质量％以上。
(2)光固化性树脂
光固化性树脂是若照射光(紫外线)则发生聚合反应、交联反应等并固化的有机化合物。本说明书中，“光固化性树脂”是包括单体、低聚物、聚合物的术语。此处公开的感光性玻璃组合物中，作为光固化性树脂，包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A(以下也称为“低聚物A”)和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B(以下也称为“低聚物B”)。另外，一个适合方式中，作为光固化性树脂，还包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯。
需要说明的是，在本说明书中，“氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯”是指一分子中具有氨基甲酸酯键(-NH-C(＝O)-O-)和(甲基)丙烯酰基的化合物。另外，在本说明书中，“(甲基)丙烯酰基”是指包括“甲基丙烯酰基(-C(＝O)-C(CH3)＝CH2)”和“丙烯酰基(-C(＝O)-CH＝CH2)”的术语。并且，“(甲基)丙烯酸酯”是指包括“甲基丙烯酸酯”和“丙烯酸酯”的术语。
另外，在本说明书中，“氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物”是指分子中具有氨基甲酸酯键和(甲基)丙烯酰基的化合物，且是重均分子量(Mw)较小的聚合物(例如重均分子量为10000以下的聚合物)。
五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A是分子中具有5个以上(大致为5～15、例如为5～10)的官能团的多官能氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。通过使低聚物A具有5个以上的官能团，从而具有高的光固化性，通过包含该低聚物A而能够提高玻璃固化膜的硬度。
五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A可以是使含有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物与多异氰酸酯化合物发生反应而得到的化合物。另外，可以为使含有异氰酸酯基的丙烯酸酯化合物与多元醇化合物发生反应而得到的化合物。或者，可以为使含有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物与多异氰酸酯化合物与多元醇化合物发生反应而得到的化合物。没有特别限定，五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A可通过使多元醇化合物和多异氰酸酯化合物发生反应，在生成具有异氰酸酯基的氨基甲酸酯型前体后，使(甲基)丙烯酸酯化合物发生反应来获得。
作为可作为上述低聚物A的原料而使用的、含有羟基的(甲基)丙烯酸酯单体，可列举出例如(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸6-羟基己酯等(甲基)丙烯酸羟基烷基酯；2-羟基乙基丙烯酰基磷酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、己内酯改性2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇(甲基)丙烯酸酯、脂肪酸改性-缩水甘油基(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-3-丙烯酰基-氧基丙基甲基丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、环氧乙烷改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等。它们可以单独使用1种或混合使用2种以上。
作为多异氰酸酯化合物，可列举出甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、聚亚甲基聚亚苯基多异氰酸酯、苯二亚甲基二异氰酸酯、四甲基苯二亚甲基二异氰酸酯等芳香族多异氰酸酯；六亚甲基二异氰酸酯、三甲基六亚甲基二异氰酸酯、戊烷二异氰酸酯、赖氨酸二异氰酸酯、降冰片烷二异氰酸酯等脂肪族多异氰酸酯；异佛尔酮二异氰酸酯、环己基二异氰酸酯、双(异氰酸根合甲基)环己烷、二环己基甲烷二异氰酸酯、二环己基甲烷二异氰酸酯等脂环式多异氰酸酯等。它们可以单独使用1种或混合使用2种以上。
作为多元醇化合物，例如，可以为聚醚多元醇、聚酯多元醇等高分子量多元醇，也可以为三乙二醇、己二醇等低分子量多元醇。它们可以单独使用1种或混合使用2种以上。
一个适合方式中，低聚物A是五官能以上的脂肪族氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物，其中，多异氰酸酯化合物为上述脂肪族和/或脂环式多异氰酸酯。这些五官能以上的脂肪族氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物具有在曝光工序中更快速地发生固化的性质，在玻璃固化膜中可以具有更高的硬度。由此，能够形成精密图案的玻璃固化膜。
典型而言，五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A的重均分子量(Mw)为10000以下。重均分子量(Mw)例如优选为500～10000，可以为750～8000，也可以为1000～5000。需要说明的是，在本说明书中，重均分子量Mw可利用凝胶渗透色谱(GPC)进行测定。
该五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A可通过购买市售品来加以准备。具体而言，可列举出Daicel Allnex公司制的商品名EBECRYL1290、EBECRYL5129、EBECRYL8301R、KRM8200、KRM8904、KRM8452；共荣社科学公司制的商品名AH-600、UA-306T、UA-306I、UA-510H；日本化药公司制的商品名UX-5005、UX-5103、UX-5102、D-M20、UX5000、DPHA-40H；新中村化学公司制的商品名UA-1100H、U-6LPA、UA-33H、U-10HA、U-10PA、U-15HA；东洋化学公司制的商品名Miramer PU610、Miramer MU9500等。它们可以单独使用1种，也可以混合使用2种以上。
二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B是分子中具有1个或2个官能团的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。通过使低聚物B具有2个以下的官能团，从而显示出高的柔软性、伸缩性，因此，与五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A相比能够进一步提高感光性玻璃组合物的加工性。因而，通过包含该低聚物B而能够提高曝光时对于基材的追随性。另外，通过使低聚物B具有氨基甲酸酯键，从而柔软性、伸缩性也优异。因此，在使该感光性玻璃组合物发生光固化而得到的玻璃固化膜中，翘曲得以改善，能够适合地抑制裂纹产生。
上述低聚物B可以为使含有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物与多异氰酸酯化合物发生反应而得到的化合物。另外，可以为使含有异氰酸酯基的(甲基)丙烯酸酯化合物与多元醇化合物发生反应而得到的化合物。或者，可以为使含有羟基的(甲基)丙烯酸酯系化合物与多异氰酸酯化合物与多元醇系化合物发生反应而得到的化合物。没有特别限定，例如，二官能以下的氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物B可通过使多元醇化合物与多异氰酸酯化合物发生反应，在生成具有异氰酸酯基的氨基甲酸酯型的前体后，使具有羟基和(甲基)丙烯酰基的单官能(甲基)丙烯酸酯化合物发生反应来获得。
作为可作为上述低聚物B的原料而使用的含有羟基的单官能(甲基)丙烯酸酯化合物，可列举出例如(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸6-羟基己酯、1,4-环己烷二甲醇单(甲基)丙烯酸酯等。它们可以单独使用1种或混合使用2种以上。
多异氰酸酯化合物和多元醇化合物可没有特别限定地使用上述化合物。一个适合方式中，低聚物B为二官能以下的脂肪族氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物，其中，多异氰酸酯化合物为上述脂肪族和/或脂环式多异氰酸酯。这些二官能以下的脂肪族氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物可具有优异的强韧性和柔软性，因此，能够形成对于基材的密合性得以提高的可靠性高的玻璃层。
典型而言，二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B的重均分子量(Mw)为10000以下。重均分子量(Mw)例如优选为500～10000，可以为750～8000，也可以为1000～5000。
该二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B可通过购买市售品来加以准备。具体而言，可列举出Daicel Allnex公司制的商品名EBECRYL230、EBECRYL270、EBECRYL4858、EBECRYL8402、EBECRYL8804、EBECRYL8807、EBECRYL9270、KRM8191；共荣社科学公司制的商品名UF-8001G、DAUA-167；日本化药公司制的商品名UXT-6100、UXF-4002、UXF-4001-M35、UX-0937、UX-8101、UX-6101、UX-4101、UX-3204；新中村化学公司制的商品名UA-4200、UA-160TM、UA-290TM、UA-W2A、UA-4400、UA-122P、U-200PA；东洋化学公司制的商品名Miramer PU240等。它们可以单独使用1种，也可以混合使用2种以上。
此处公开的玻璃组合物中，以低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)成为90:10～12.5:87.5的方式包含上述那样的五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B。如上所述那样，低聚物A的光固化性优异，能够发挥出使玻璃层的强度提高的效果。另一方面，低聚物B的柔软性优异，能够发挥出使对于基材的追随性提高的效果。在感光性玻璃组合物中，通过以上述质量比包含这些低聚物A和低聚物B，从而能够抑制源自高透光性的光固化收缩。因此，能够适合地抑制曝光工序中的翘曲、显影工序中自基材上的剥离。
另外，一个适合方式中，低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)为82.5:17.5～25:75。进而，一个适合方式中，低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)为75:25～37.5:62.5。由此更适合地发挥出上述效果。因此，即便在曝光量更多的曝光条件下实施曝光工序的情况下，也可抑制曝光工序后的玻璃固化膜的翘曲。另外，即便在进一步延长显影液供给时间的显影条件下实施显影工序的情况下，也能够抑制玻璃固化膜自基材上剥离。
此处公开的感光性玻璃组合物的一个适合方式中，作为光固化性树脂，还包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯。二官能以下的(甲基)丙烯酸酯是指分子中具有1个或2个丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯化合物。该二官能以下的(甲基)丙烯酸酯例如可以为二官能以下的(甲基)丙烯酸酯单体、二官能以下的(甲基)丙烯酸酯低聚物。或者，可以为这种二官能以下的(甲基)丙烯酸酯的改性物。通过使感光性玻璃组合物在包含上述低聚物A和低聚物B的基础上进一步包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯，从而能够降低使感光性玻璃组合物发生光固化而得到的玻璃固化膜中的曝光工序后的翘曲、该组合物的粘度。因此，即便玻璃粉末在感光性玻璃组合物整体中所占的比例增加的情况下，也能够适合地发挥出上述曝光工序后的翘曲改善、显影工序中的剥离改善。因此，能够实现具备更高密度的玻璃层的电子部件。
作为该二官能以下的(甲基)丙烯酸酯，在例如上述含有羟基的单官能(甲基)丙烯酸酯化合物的基础上，还可列举出三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇羟基特戊酸酯二(甲基)丙烯酸酯、羟基特戊酸新戊二醇酯二(甲基)丙烯酸酯等。它们可以单独使用1种或混合使用2种以上。
该二官能以下的(甲基)丙烯酸酯可通过例如购买市售品来加以准备。具体而言，可列举出Daicel Allnex公司制的商品名DPGDA、HDDA、TPGDA、EBECRYL145；共荣社科学公司制的商品名Light Acrylate 1.6HX-A、Light Acrylate NP-A、Light Acrylate 1.9ND-A；日本化药公司制的商品名KAYARADRTM HX-220、HX-620、UX-3240；新中村科学公司制的商品名NK ESTER A-HD-N、NK ESTER A-NOD-N、NK ESTER A-NPG、NK ESTER APG-200等。它们可以单独使用1种，也可以混合使用2种以上。优选从上述之中适当选择使用粘度低的物质。
二官能以下的(甲基)丙烯酸酯的重均分子量(Mw)例如优选为100～10000，可以为150～8000，也可以为200～5000。
在包含低聚物A和低聚物B的基础上还包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯的方式中，五官能以上的低聚物A与二官能以下的低聚物B和二官能以下的(甲基)丙烯酸酯的合计的质量比(A:(B+二官能以下的(甲基)丙烯酸酯))优选为90:10～12.5:87.5、更优选为82.5:17.5～25:75、进一步优选为75:25～37.5:62.5。通过以满足该范围的方式进一步包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯，从而能够抑制感光性玻璃组合物的粘度变得过高。由此，能够形成具有微细的图案且通过包含低聚物A和低聚物B而适当地发挥出抑制光固化收缩这一效果的高品质的玻璃固化膜。
光固化性树脂在感光性玻璃组合物整体中所占的比例大致优选为1质量％以上，优选为3质量％以上，进一步优选为6质量％以上。由此，能够在较短的曝光时间内适当地形成具有规定宽度的玻璃固化膜。另外，光固化性树脂在感光性玻璃组合物整体中所占的比例大致为20质量％以下，优选为15质量％以下，更优选为10质量％以下。由此，能够进一步提高玻璃固化膜的精密性。
(3)光聚合引发剂
此处公开的感光性玻璃组合物包含光聚合引发剂。光聚合引发剂是通过紫外线等光能量的照射而发生分解，并产生自由基、阳离子等活性种，引发光固化性树脂的聚合反应的成分。光聚合引发剂没有特别限定，可根据光固化性树脂的种类等从现有公知的物质中单独使用1种或适当组合使用2种以上。作为光聚合引发剂的适合例，可列举出2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、2,4-二乙基噻吨酮、二苯甲酮等。需要说明的是，作为上述那样的光聚合引发剂，可没有特别限定地使用市售品。
虽然没有特别限定，但光聚合引发剂在感光性玻璃组合物整体中所占的比例大致可以为0.1质量％以上且5质量％以下，典型而言，可以为0.5质量％以上且3质量％以下，例如可以为1质量％以上且2质量％以下。光聚合引发剂相对于上述光固化性树脂100质量份的比例例如可以设为1质量份以上且50质量份以下，优选设为10质量份以上且30质量份以下。通过设为该范围，从而充分地发挥出感光性玻璃组合物的光固化性，能够稳定地形成玻璃固化膜。
(4)有机系分散介质
此处公开的感光性玻璃组合物包含有机系分散介质。有机系分散介质是对感光性玻璃组合物赋予适度的粘性、流动性，提高感光性玻璃组合物的处理性或提高成形为玻璃层时的作业性的成分。有机系分散介质可根据光固化性树脂、光聚合引发剂的种类等从现有公知的物质中单独使用1种，或者适当组合使用2种以上。作为有机系分散介质的一例，可列举出例如甲苯、二甲苯等烃系溶剂；乙二醇、丙二醇、二乙二醇等二醇系溶剂；乙二醇单甲基醚(甲基溶纤剂)、乙二醇单乙基醚(溶纤剂)、二乙二醇单丁基醚(丁基卡必醇)、二乙二醇单丁基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚、二丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇苯基醚、3-甲基-3-甲氧基丁醇等二醇醚系溶剂；1,7,7-三甲基-2-乙酰氧基-双环-[2,2,1]-庚烷、2,2,4-三甲基-1,3-五二醇单异丁酸酯等酯系溶剂；萜品醇、二氢萜品醇、丙酸二氢萜品酯、苄醇等醇系溶剂；其它矿油精等具有高沸点的有机溶剂等。
上述有机溶剂之中，从提高感光性玻璃组合物的保存稳定性、玻璃膜状体形成时的处理性的观点出发，优选沸点为150℃以上的有机溶剂，进一步优选沸点为170℃以上的有机溶剂。另外，作为另一个适合例，从将印刷玻璃膜状体后的干燥温度抑制得较低的观点出发，优选沸点为250℃以下的有机溶剂，进一步优选沸点为220℃以下的有机溶剂。由此，能够在提高生产率的同时降低生产成本。
另外，例如在陶瓷基材上形成玻璃层来制造陶瓷电子部件的用途中，优选向陶瓷生片中的浸透性低的有机溶剂。作为向陶瓷生片中的浸透性低的有机溶剂，可列举出例如具有像环己基、叔丁基等那样地立体蓬松的结构的有机溶剂；分子量较大的有机溶剂。进而，还优选例如将上述那样的向陶瓷生片中的浸透性低的有机溶剂与能够适合地溶解感光性玻璃组合物所含有的成分(例如光固化性树脂和/或光聚合引发剂)的有机溶剂以任意的比例加以混合，并用作有机系分散介质。
作为具有上述那样的性状(沸点和向陶瓷生片中的浸透性)的市售有机溶剂，可列举出例如DOWANOL DPM(商标)(沸点：190℃、道化学公司制)、DOWANOL DPMA(商标)(沸点：209℃、道化学公司制)、MENTHANOL(沸点：207℃)、MENTHANOL P(沸点：216℃)、ISOPAR H(沸点：176℃、关东燃料公司制)、SW-1800(沸点：198℃、丸善石油公司制)等。
有机系分散介质在感光性玻璃组合物整体中所占的比例没有特别限定，大致为1质量％～50质量％，典型而言，可以为3质量％～30质量％、例如可以为5质量％～20质量％。
(5)有机粘结剂
作为有机粘结剂，在现有公知的感光性组合物所使用的物质中，可以无特别限定地加以使用。可以使用例如甲基纤维素、乙基纤维素、羧甲基纤维素、羟甲基纤维素等纤维素系高分子(纤维素衍生物)、丙烯酸类树脂、酚醛树脂、醇酸树脂、聚乙烯醇、聚乙烯醇缩醛(典型而言，为聚乙烯醇缩丁醛)等中的1种或2种以上。其中，可优选使用亲水性(典型而言，为碱可溶性)高的有机粘结剂。由此，在后述蚀刻处理(典型而言，为碱处理)中，能够适合地去除未固化部分。
有机粘结剂在感光性玻璃组合物的整体中所占的比例例如为0.1质量％以上且30质量％以下，优选为0.5质量％以上且30质量％以下，更优选为1质量％以上且25质量％以下。
(6)其它成分
感光性玻璃组合物可以在不显著损害此处公开的技术效果的范围内，在含有上述成分的基础上进一步根据需要而含有各种添加成分。作为这种添加成分，可以从现有公知的物质中适当选择并使用1种或2种以上。作为添加成分的一例，可列举出例如无机填料、光敏剂、阻聚剂(抗聚合剂)、自由基捕捉剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、增塑剂、表面活性剂、流平剂、增稠剂、分散剂、消泡剂、抗胶凝剂、稳定剂、防腐剂、颜料等。虽然没有特别限定，但感光性玻璃组合物整体中的添加剂的含量大致为5质量％以下，例如可以设为3质量％以下。
如上所述，此处公开的感光性玻璃组合物中，作为光固化性树脂，包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B。并且，这些低聚物A与低聚物B的质量比率(A:B)被调整至90:10～12.5:87.5。由此，适当地发挥出五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物的硬质性和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物的柔软性，在曝光工序中抑制玻璃膜状体过度光固化而发生光固化收缩。由此，能够适合地形成具备微细图案的槽部的玻璃固化膜，且能够改善所形成的玻璃固化膜中的翘曲、自基材上的剥离。并且，通过将该高品质的玻璃固化膜与基材一同进行烧成，从而能够形成具有微细图案的槽部且翘曲、自基材上的剥离得以改善的玻璃层。
2.感光性玻璃组合物的用途
根据此处公开的感光性玻璃组合物，能够形成翘曲和自基材上的剥离得以降低的玻璃层。因此，此处公开的感光性玻璃组合物可用于制造例如电感部件、电容器部件、多层电路基板等各种电子部件。作为电感部件的典型例，可列举出高频过滤器、通用模式过滤器、高频电路用电感器(线圈)、一般电路用电感器(线圈)、高频过滤器、扼流圈、变压器等。另外，该电子部件的形状(结构)也没有特别限定，可以为表面安装类型、穿通孔安装类型等。另外，电子部件可以为具备单一导电层的薄膜型，也可以为层叠有多个导电层的层叠型(参照图1)。
另外，作为上述电子部件的一例，可列举出陶瓷电子部件。需要说明的是，在本说明书中，“陶瓷电子部件”是指使用陶瓷制基材得到的全部电子部件。作为陶瓷电子部件的典型例，可列举出具有陶瓷基材的高频过滤器、陶瓷电感器(线圈)、陶瓷电容器、低温烧成层叠陶瓷基材(Low Temperature Co-fired Ceramics Substrate：LTCC基材)、高温烧成层叠陶瓷基材(High Temperature Co-fired Ceramics Substrate：HTCC基材)等。另外，上述陶瓷基材可列举出非晶质的陶瓷基材(玻璃陶瓷基材)、结晶质(即非玻璃)的陶瓷基材等。需要说明的是，在使用玻璃陶瓷基材的情况下，通过将上述感光性玻璃组合物以板状印刷在PET薄膜等载体片上并使其干燥后，以使该感光性玻璃组合物进行光固化而得到的板状玻璃固化膜作为生片，对该板状的玻璃固化膜进行烧成，由此可以形成基材。另外，作为结晶质的陶瓷基材，可列举出包含氧化锆(锆砂)、氧化镁(镁砂)、氧化铝(矾土)、氧化硅(硅石)、氧化钛(钛白)、氧化铈(铈土)、氧化钇(三氧化二钇)、钛酸钡等氧化物系材料；堇青石、富铝红柱石、镁橄榄石、块滑石、赛隆、锆石、铁素体等复合氧化物系材料；氮化硅(硅氮化物)、氮化铝(铝氮化物)等氮化物系材料；碳化硅(硅碳化物)等碳化物系材料；羟基磷灰石等氢氧化物系材料等的基材。
图1是示意性地示出层叠芯片式电感器1的结构的剖视图。层叠芯片式电感器1具备主体部30及设置在主体部30的左右方向X的两侧面部分的外部电极40。层叠芯片式电感器1例如为1608形状(1.6mm×0.8mm)、2520形状(2.5mm×2.0mm)等尺寸。
需要说明的是，图1中的尺寸关系(长度、宽度、厚度等)不一定反映出实际的尺寸关系。另外，附图中的符号X、Y分别表示左右方向、上下方向。其中，其只不过是为了便于说明的方向。
主体部30具有玻璃层14与导电层24经一体化而得到的结构。玻璃层14使用例如此处公开的感光性玻璃组合物来形成。在上下方向Y上，在玻璃层14之间配置有导电层24。导电层24使用例如包含导电性粉末的组合物(例如感光性导电组合物)来形成。隔着玻璃层14在上下方向Y上彼此相邻的导电层24借助设置于玻璃层14的通孔26而导通。由此，导电层24构成为三维的漩涡形状(螺旋状)。导电层24的两端分别与外部电极40连接。
这种层叠芯片式电感器1例如可如下那样地进行制造。首先，制备包含陶瓷材料、粘结剂树脂和有机溶剂的糊剂，将其供给至载体片上，形成陶瓷生片。
接着，使用上述感光性组合物，在生片的规定位置形成规定线圈图案的固化膜。作为一例，包括以下的工序：通过将感光性玻璃组合物供给(印刷)至作为基材的生片上并进行干燥，从而成形出作为感光性玻璃组合物的干燥体的玻璃膜状体的第一成形工序；在玻璃膜状体上覆盖具有规定图案的光掩模，对从开口部露出的玻璃膜状体的一部分进行曝光，将玻璃膜状体的一部分制成玻璃固化膜的第一曝光工序；使用显影液将未固化的玻璃膜状体去除，在基材上形成具有规定槽部的玻璃固化膜的第一显影工序；将感光性导电组合物供给(印刷)至所形成的玻璃固化膜的槽部并进行干燥，由此在玻璃膜状体的槽部成形出作为感光性导电组合物的干燥体的导电膜状体的第二成形工序；在导电膜状体上覆盖具有规定图案的光掩模，对从开口部露出的导电膜状体的一部分进行曝光，将导电膜状体的一部分制成导电固化膜的第二曝光工序；使用显影液将未固化的导电膜状体去除的第二显影工序。由此，能够在基材的表面形成未烧成状态的玻璃固化膜，且在该玻璃固化膜的槽部形成导电固化膜。
此处，感光性导电组合物没有特别限定，可没有特别限定地使用在制造电子部件时能够使用的现有公知的感光性导电组合物。例如，感光性导电组合物可以为包含导电性粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和有机系分散介质的糊剂状组合物。作为导电性粉末，可列举出金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)、铂(Pt)、钯(Pd)、铝(Al)、镍(Ni)等金属的载体；以及它们的混合物、合金等。作为光固化性树脂，只要是照射光(紫外线)时发生聚合反应、交联反应等而固化的有机化合物就没有特别限定。作为一个适合例，可列举出具有1个以上(甲基)丙烯酰基、乙烯基那样的不饱和键的自由基聚合性单体；具有环氧基那样的环状结构的阳离子聚合性单体。另外，作为光聚合引发剂和有机系分散介质，可没有特别限定地使用与上述感光性玻璃组合物种类相同的物质，因此省略详细说明。
需要说明的是，感光性导电组合物可以含有除上述成分之外的添加成分。这种添加成分没有特别限定，可列举出阻聚剂、自由基捕捉剂、抗氧化剂、增塑剂、表面活性剂、流平剂、分散剂、消泡剂、抗胶凝剂、稳定剂、防腐剂等。
另外，在使用上述感光性玻璃组合物和感光性导电组合物来形成玻璃固化膜和导电固化膜时，可以适当使用现有公知的方法。例如，在第一形成工序和第二形成工序中，感光性玻璃组合物和感光性导电组合物的供给可以使用丝网印刷等各种印刷法、棒涂机等来进行。这些感光性组合物的干燥可以在光固化性树脂和光聚合引发剂的沸点以下的温度、典型而言在40～100℃下进行。
接着，第一曝光工序和第二曝光工序通过将具有规定图案的狭缝的光掩模覆盖在玻璃膜状体上，并对从狭缝露出的玻璃膜状体(或导电膜状体)的一部分进行曝光来实施。在该曝光处理中，可以使用例如发出10nm～500nm波长范围的光线(典型而言，为紫外线)的曝光机、例如高压汞灯、金属卤化物灯、氙灯等紫外线照射灯。
需要说明的是，玻璃膜状体的前体即感光性玻璃组合物如上所述那样，以规定的质量比率包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B。由此，即便在将曝光机的曝光量设定得比通常高的情况下，也能够形成没有剥离等的良好玻璃固化膜。在使用此处公开的感光性玻璃组合物的情况下，曝光机的曝光量例如可以设定为100mJ/cm2～1000mJ/cm2的条件。
并且，在第一显影工序和第二显影工序中，显影液可以使用碱性的水系显影液等。作为该水系显影液的一例，可以使用氢氧化钠水溶液、碳酸钠水溶液等。需要说明的是，这些显影液的碱浓度例如可以调整至0.01～0.5质量％。
图2是示意性地示出烧成前的层叠体100的图。如图2所示那样，通过反复实施上述第一形成工序～第二显影工序，从而能够制作在陶瓷基材50上具备多个层(在图2中是第一层L1～第四层L4)的层叠体100，所述多个层具备具有精密槽部的玻璃固化膜12和形成于该槽部的导电固化膜22。另外，该层叠体100中，第一层L1～第四层L4的各层的导电固化膜22借助通孔26进行连接。需要说明的是，通孔26例如可通过如下操作来形成：使用导穿孔机等对成为第一层L1的上表面的玻璃固化膜12形成通孔，使导电固化膜22的一部分上表面露出，向该通孔中填充感光性导电组合物后，进行干燥和曝光。
在向上述层叠体100供给外部电极形成用糊剂后，通过实施烧成处理来制造具有精密导电层24的层叠芯片式电感器1。需要说明的是，烧成温度(烧成处理中的最高温度)例如优选为600～1000℃左右。在该层叠芯片式电感器1的制造中，由于在玻璃固化膜12的形成中使用上述构成的感光性玻璃组合物，因此，能够实现矩形性高的精密图案化。通过对该玻璃固化膜12供给感光性导电组合物来形成导电固化膜22，从而能够形成具有微细图案的导电固化膜22。并且通过对它们进行烧成，能够以良好的精度制造L/S为30μm/30μm以下的具有微细图案的电子部件。即，根据该制造方法，即便是具有微细图案的电子部件，也能够在上述显影工序中抑制膜状体的曝光部分被去除的底部内切，能够制造可靠性高的电子部件。
[试验例]
以下，说明与此处公开的技术相关的实施例，但并不意味着此处公开的技术限定于该实施例所示的内容。
<第一试验>
在本试验中，准备组成不同的感光性玻璃组合物，将该感光性玻璃组合物印刷在基材上。并且，通过对印刷的玻璃膜状体进行曝光和显影，从而在基材上制作玻璃固化膜。进行用于评价该玻璃固化膜的翘曲和评价剥离性的评价试验。
1.感光性玻璃组合物的制备
(1)各材料的准备
首先，准备感光性玻璃组合物中包含的各材料。
作为玻璃粉末，准备硼硅酸玻璃(SiO2-B2O3-Al2O3-K2O)。该玻璃粉末的平均粒径为2μm。
作为光固化性树脂，准备以下3种树脂。作为五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A，准备十官能脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物和五官能脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物。另外，作为二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B，准备二官能脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物。
作为光聚合引发剂，准备2种光聚合引发剂(引发剂a、引发剂b)。作为引发剂a，准备2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮-1。作为引发剂b，准备双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦。
作为有机系分散介质，准备将二丙二醇甲基醚乙酸酯(有机溶剂a)与二氢萜品醇(有机溶剂b)混合而得到的混合溶剂。
作为粘结剂，准备2种粘结剂(粘结剂a、粘结剂b)。作为粘结剂a，准备甲基纤维素系水溶性树脂。作为粘结剂b，准备水溶性丙烯酸类树脂(甲基丙烯酸-甲基丙烯酸甲酯共聚物)。
(2)样品1～14
以成为表2所示质量比例(质量％)的方式称量玻璃粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和粘结剂，并使其溶解于上述准备的有机系分散介质中，由此制备样品1～14的感光性玻璃组合物。表2所示的质量比例(质量％)是将感光性玻璃组合物的整体设为100质量％时的比例。需要说明的是，在样品1～14中，除表2所示的成分之外，作为其它添加成分的紫外线吸收剂、敏化剂和阻聚剂合计含量为2.1质量％。
2.评价试验
(1)标准曝光条件
在本试验中，作为基材，准备市售的PET薄膜。使用丝网印刷，将样品1～14的感光性玻璃组合物在PET薄膜上涂布成4cm×4cm的大小后，在45℃下干燥15分钟，由此形成15μm的玻璃膜状体。并且，将具有规定图案的狭缝的光掩模覆盖在玻璃膜状体上，然后利用曝光机在照度为50mW/cm2、曝光量为300mJ/cm2的条件下照射光，使配置在光掩模的狭缝正下方的玻璃膜状体发生固化而形成玻璃固化膜。其后，将该曝光后的玻璃固化膜静置1小时。需要说明的是，本试验中使用的光掩模的L/S(线/空间)设定为25μm/25μm。如此操作，针对各样品，各制作10片形成有玻璃膜状体和玻璃固化膜的PET薄膜。
(2)过度曝光条件
与上述同样地使用丝网印刷，将样品1～14的感光性玻璃组合物在PET薄膜上涂布成4cm×4cm的大小后，在45℃下干燥15分钟，由此形成15μm的玻璃膜状体。并且，将具有规定图案的狭缝的光掩模覆盖在玻璃膜状体上，然后利用曝光机在照度为50mW/cm2、曝光量为1000mJ/cm2的条件下照射光，使配置在光掩模的狭缝正下方的玻璃膜状体发生固化而形成玻璃固化膜。其后，将该曝光后的玻璃固化膜静置1小时。需要说明的是，本试验中使用的光掩模的L/S(线/空间)设定为25μm/25μm。如此操作，针对各样品，各制作10片形成有玻璃膜状体和玻璃固化膜的PET薄膜。
(3)标准显影条件
在通过上述标准曝光条件而制作的PET薄膜上的玻璃膜状体和玻璃固化膜上吹附0.1质量％的Na2CO3水溶液(显影液)，直至达到断点(breakpoint，B.P.)+5秒为止。需要说明的是，B.P.是指：至能够通过目视而确认到遮光部分的玻璃膜状体因上述显影液而被去除为止的时间。并且，在去除遮光部分的玻璃膜状体后，利用纯水实施清洗处理，在室温下进行干燥。由此，针对各样品，各制作10片在PET薄膜上具有规定图案的槽部的玻璃固化膜。
(4)过度显影条件
在通过上述标准曝光条件而制作的PET薄膜上的玻璃膜状体和玻璃固化膜上吹附0.1质量％的Na2CO3水溶液(显影液)，直至达到断点(B.P.)+15秒为止。并且，在去除遮光部分的玻璃膜状体后，利用纯水实施清洗处理，在室温下进行干燥。由此，针对各样品，各制作10片在PET薄膜上具有规定图案的槽部的玻璃固化膜。
(5)翘曲的评价
通过目视来评价在标准曝光条件和过度曝光条件下形成的、针对各样品各为10片具有玻璃膜状体和玻璃固化膜的PET薄膜的翘曲。对于该10片PET薄膜而言，将在过度曝光条件下10片均没有翘曲的状态评价为“◎”，将在标准曝光条件下10片均没有翘曲的状态评价为“○”，将在标准曝光条件下10片之中的1～2片存在翘曲的状态评价为“△”，将在标准曝光条件下10片之中的3片以上存在翘曲的状态评价为“×”。将结果示于表2。
(6)剥离性的评价
利用光学显微镜，观察在标准显影条件和过度显影条件下进行显影而制作的、针对各样品各为10片的玻璃固化膜，根据所得观察图像来确认剥离的有无。对于该10片玻璃固化膜而言，将在过度显影条件下10片均未剥离的状态评价为“◎”，将在标准显影条件下10片均未剥离的状态评价为“○”，将在标准曝光条件下10片之中的1～2片存在剥离的状态评价为“△”，将在标准曝光条件下10片之中的3片以上存在剥离的状态评价为“×”。将结果示于表2。
(7)综合评价
根据上述(5)翘曲的评价和(6)剥离性的评价的结果，按照表1所示的基准来进行综合评价。
[表1]
表1
可判断上述(7)综合评价为“◎”、“○”和“△”的玻璃固化膜作为电子部件中使用的玻璃层的前体，以充分的程度抑制了翘曲且抑制了剥离。需要说明的是，(7)综合评价为“△”的样品与“◎”、“〇”的样品相比成品率差，但制品性能充分令人满足。将结果示于表2。
[表2]
如表2所示那样可知：使用包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B作为光固化性树脂，且低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)为90:10～12.5:87.5的样品4～12而形成的玻璃固化膜的综合评价为“△”以上。
因此，通过使用包含玻璃粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和有机系分散介质，且包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B作为光固化性树脂，该各低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)为90:10～12.5:87.5的感光性玻璃组合物，从而能够制作作为电子部件的玻璃层的前体而实现了充分的翘曲降低和剥离降低的玻璃固化膜。
另外，如表2所示那样可知：上述低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)为82.5:17.5～25:75的样品5～11的综合评价为“○”以上。因此，使用包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B作为光固化性树脂，且该低聚物A与低聚物B的质量比(A:B)为82.5:17.5～25:75的感光性玻璃组合物而制作的玻璃固化膜能够特别良好地实现翘曲的降低和剥离的降低。
<第二试验>
在本试验中，准备玻璃粉末的质量比例高的感光性玻璃组合物，使用该玻璃组合物，将该感光性玻璃组合物印刷在基材上。并且，通过对经印刷的玻璃膜状体进行曝光和显影，从而在基材上制作玻璃固化膜。
1.感光性玻璃组合物的准备
作为光固化性树脂，准备十官能脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物和五官能脂肪族氨基甲酸酯丙烯酸酯低聚物，在此基础上，作为二官能以下的(甲基)丙烯酸酯，准备二官能丙烯酰基丙烯酸酯低聚物。除此之外的各材料(玻璃粉末、光聚合引发剂、有机系分散介质、粘结剂等)准备与第一试验中使用的材料相同的材料。以成为表3所示的质量比例(质量％)的方式称量这些材料，使其溶解于上述准备的有机系分散介质中，由此制备样品15～20的感光性玻璃组合物。表3所示的质量比例(质量％)是将感光性玻璃组合物的整体设为100质量％时的比例。需要说明的是，在样品15～20中，除了包含表3所示的成分之外，作为其它添加成分，紫外线吸收剂、敏化剂和阻聚剂的合计含量为1.7质量％～2.1质量％。
2.评价试验
本试验中，作为基材，准备市售的PET薄膜。使用丝网印刷，将样品15～20的感光性玻璃组合物在PET薄膜上涂布成4cm×4cm的大小后，按照与第一试验相同的步骤，实施(1)标准曝光条件～(4)过度显影条件，并进行(5)翘曲的评价、(6)剥离性的评价和(7)综合评价。将各自的评价试验的结果记载于表3。需要说明的是，表3中为了加以对比还记载样品8的结果。
[表3]
如表3所示那样可知：在感光性玻璃组合物中的玻璃粉末的质量比例为60质量％以下的样品15～19的情况下，综合评价为“○”或“◎”。另一方面可知：玻璃粉末的质量比例为62质量％的样品20在翘曲的评价、剥离性的评价和综合评价中均为“×”。因此，感光性玻璃组合物中的玻璃粉末的质量比例优选为60质量％以下。
进而，若将样品16与样品17加以对比则可知：即便玻璃粉末的质量比例相同，通过包含二官能丙烯酰基丙烯酸酯低聚物，从而在翘曲的评价、剥离性的评价和综合评价中均为“◎”。因此，通过在低聚物A和低聚物B的基础上进一步包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯，从而更适合地实现翘曲抑制效果和剥离抑制效果的兼顾。
以上，详细地说明了本发明的具体例，但它们只不过是例示，不对权利要求书作出限定。在权利要求书所记载的技术中，包括对以上例示的具体例进行各种变形、变更而得到的方案。

Claims (9)

1.一种感光性玻璃组合物，其在具备具有规定宽度的槽部的玻璃层及配置在该玻璃层槽部的导电层的电子部件中用于制作所述玻璃层，
所述感光性玻璃组合物至少包含玻璃粉末、光固化性树脂、光聚合引发剂和有机系分散介质，
所述光固化性树脂包含五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A和二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B，
所述五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A与所述二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B的质量比A:B为90:10～12.5:87.5。
2.根据权利要求1所述的感光性玻璃组合物，其中，所述五官能以上的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物A与所述二官能以下的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯低聚物B的质量比A:B为82.5:17.5～25:75。
3.根据权利要求1或2所述的感光性玻璃组合物，其中，所述光固化性树脂还包含二官能以下的(甲基)丙烯酸酯。
4.根据权利要求1或2所述的感光性玻璃组合物，其中，所述玻璃粉末包含以B2O3和SiO2作为主成分的B2O3-SiO2系玻璃。
5.根据权利要求4所述的感光性玻璃组合物，其中，在将该玻璃的整体设为100质量％时，所述B2O3-SiO2系玻璃以氧化物换算的质量比计含有5质量％以上且20质量％以下的所述B2O3，且含有20质量％以上且70质量％以下的所述SiO2。
6.根据权利要求1或2所述的感光性玻璃组合物，其中，在将所述感光性玻璃组合物的整体设为100质量％时，所述玻璃粉末的比例为45质量％以上且60质量％以下。
7.根据权利要求1或2所述的感光性玻璃组合物，其中，所述有机系分散介质是沸点为150℃以上且250℃以下的有机溶剂。
8.一种电子部件，其具备：
由权利要求1～7中任一项所述的感光性玻璃组合物的烧成体形成的玻璃层；以及
配置在该玻璃层的槽部的导电层。
9.一种电子部件的制造方法，其包括如下工序：
将权利要求1～7中任一项所述的感光性玻璃组合物供给至基材上，进行曝光、显影后，再进行烧成，形成由所述感光性玻璃组合物的烧成体形成的玻璃层。
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