CN116892831B - 一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，属于半导体大硅片制造领域。本发明的一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，包括装置底座，所述装置底座的一端设置有后固定板；所述装置底座上端的另一侧设置有第一前挡板，所述第一前挡板和第二前挡板之间卡槽连接，所述第二前挡板外部的一侧与装置底座的上端通过第一转动连接轴转动连接。本发明解决了现有焙烧炉不能高效的对大批量材料进行加工的问题，本发明由上材料收集框、第一下材料收集框和第二下材料收集框同时对材料进行堆积并存放材料，避免大量材料同时堆积，便于使用者的使用。

Description

一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉

技术领域

本发明涉及半导体大硅片制造领域，具体为一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉。

背景技术

半导体大硅片是一种由硅原料制成的半导体材料，它是由硅原料经过特殊的加工制成的，主要用于制造电子元件，如晶体管、集成电路等，它的特点是可以把小型的电子元件集成在一起，可以实现低成本、高效率的电子元件制造，它具有高强度，高导热性和高电导率，而且可以在环境温度范围内稳定使用，它也可以用于制造涂层，以提高物体的耐磨性和耐腐蚀性；

公开号为CN218380540U的中国专利公开了一种石墨焙烧炉节能燃烧系统，包括呈空心结构的外壳体，外壳体上表面设置有用于添加石墨原料的进料口，且外壳体下表面设置有出料口；内部挡板，固定安装在外壳体内部中间位置；燃烧仓，为内部挡板上方的外壳体内部空间，该石墨焙烧炉节能燃烧系统，采用新型的结构设计，使得装置在使用的过程中利用中转仓将上料和出料过程分开，从而减少此过程的时间，达到较小热量散出的目的，并且出料时带出的热量可以经过连通管重新输送进入燃烧炉内部，保持燃烧炉内部高温，从而在下一次烧制时进一步节省能源，同时隔离箱可以对燃烧废气进行处理，避免废气直接排出而造成的环境污染。

上述专利的焙烧炉在实际使用过程中，材料的放置是直接堆叠至炉内，大量的堆叠会造成加工效果降低，而为了提高加工效果减少堆叠量会造成加工效率降低，焙烧炉不能高效的对大批量材料进行加工；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，通过由上材料收集框、第一下材料收集框和第二下材料收集框同时对材料进行堆积并存放材料，避免大量材料同时堆积，通过三个位置分别进行堆积并使得材料得以全面的接触火焰，使得焙烧炉得以高效率的同时对大批量材料加工，提高加工效率以及加工效果，便于使用者的使用，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，包括装置底座，所述装置底座的一端设置有后固定板，所述后固定板上端的两侧均设置有燃气传输分流管，两个所述燃气传输分流管之间通过燃气传输汇聚管密封连接；

还包括第二前挡板，其设置于装置底座上端的一侧，所述装置底座上端的另一侧设置有第一前挡板，所述第一前挡板和第二前挡板之间卡槽连接，所述第二前挡板外部的一侧与装置底座的上端通过第一转动连接轴转动连接，所述第一前挡板外部的另一侧与装置底座的上端通过第二转动连接轴转动连接，所述第一前挡板的上端设置有上固定框，且上固定框与后固定板固定连接。

优选的，所述第二前挡板的一端设置有第一下材料收集框，且第一下材料收集框与第二前挡板的一端焊接固定，所述第一前挡板的一端设置有第二下材料收集框，且第二下材料收集框与第一前挡板的一端焊接固定，所述第一下材料收集框与第二下材料收集框之间的上端设置有上材料收集框。

优选的，所述上材料收集框外部的前端设置有材料放置口，所述上材料收集框上端的中间设置有传动杆，所述传动杆下端的四角位置通过连结架与上材料收集框上端的四角位置固定连接，所述上固定框内部的上端设置有适配滑动腔，且适配滑动腔贯穿并延伸至上固定框的上下两端，且适配滑动腔与传动杆卡槽连接。

优选的，所述传动杆的内部设置有传动螺纹壁，所述传动螺纹壁外部的一侧设置有传动螺纹杆，且传动螺纹杆的外部与传动螺纹壁的内部之间螺纹配合，所述传动螺纹杆外部的一侧设置有第三转动连接轴，所述第三转动连接轴的下端与上固定框的上端转动连接，所述第三转动连接轴与传动螺纹杆之间通过第二传动带传动连接，所述第三转动连接轴的上端与传动螺纹杆之间的上端设置有上支撑架，且上支撑架下端的一侧与传动螺纹杆的上端转动连接，所述上支撑架下端的中间与第三转动连接轴的上端转动连接，所述上支撑架下端的另一侧设置与上固定框的上端固定连接。

优选的，所述第一转动连接轴外部的上端与第三转动连接轴之间通过第一传动带传动连接，所述第一转动连接轴的下端设置有第一传动块，且第一传动块与第一转动连接轴固定连接，所述第一传动块的一侧设置有第三传动齿轮，且第三传动齿轮与第一传动块之间通过第二传输带传动连接。

优选的，所述第三传动齿轮外部的一侧设置有第四传动齿轮，且第四传动齿轮的外部与第三传动齿轮的外部啮合连接，所述第二转动连接轴的下端设置有第二传动块，且第二传动块与第二转动连接轴固定连接，所述第二传动块与第四传动齿轮之间通过第四传输带传动连接。

优选的，所述第四传动齿轮一侧的下端设置有第六传动齿轮，且第六传动齿轮与第四传动齿轮之间通过第三传输带传动连接，所述第三传动齿轮另一侧的下端设置有第五传动齿轮，所述第五传动齿轮与第三传动齿轮之间通过第一传输带传动连接。

优选的，所述第五传动齿轮的一侧设置有第一传动齿轮，且第一传动齿轮与第一传动块啮合连接，所述第六传动齿轮的另一侧设置有第二传动齿轮，且第二传动齿轮与第六传动齿轮啮合连接，所述第二传动齿轮和第一传动齿轮的上端均设置有固定盘。

优选的，所述固定盘的上端与燃气传输分流管之间通过转动密封连接轴转动密封连接，两个所述固定盘的外部均设置有侧固定框，两个所述侧固定框均与上固定框的两侧焊接固定，所述侧固定框内部的一侧设置有适配凹槽，且适配凹槽贯穿并延伸至侧固定框的内外两侧，所述适配凹槽与固定盘卡槽连接，所述固定盘的一端阵列设置有燃烧装置。

优选的，所述上固定框内部上端的两侧均设置有排风口，两个所述排风口外部的一侧均设置有空气传输分流管，两个所述空气传输分流管之间设置有第一空气传输汇聚管，所述第一空气传输汇聚管的一端设置有抽气风机，且抽气风机、第一空气传输汇聚管、空气传输分流管和上固定框的上端依次密封连接，所述第三传动齿轮的一端设置有输出电机，所述第三传动齿轮的一端设置有第二空气传输汇聚管，所述第二空气传输汇聚管的一端延伸至后固定板外部的一侧，所述第二空气传输汇聚管的另一端延伸至上固定框内部的下端，所述抽气风机外部的下端与后固定板的一侧通过连接架固定连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明通过在装置底座的上端设置有上固定框，上固定框的下端与装置底座上端的一侧之间设置有第二前挡板，装置底座与上固定框上端的另一侧之间设置有第一前挡板，第一前挡板的一端设置有第二下材料收集框，第二前挡板的一端设置有第一下材料收集框，上固定框的一端设置有上材料收集框，在进行加热并完成材料的加工时，由上材料收集框、第一下材料收集框和第二下材料收集框同时对材料进行堆积并存放材料，避免大量材料同时堆积，通过三个位置分别进行堆积并使得材料得以全面的接触火焰，使得焙烧炉得以高效率的同时对大批量材料加工，提高加工效率以及加工效果，便于使用者的使用。

2、本发明通过在第二前挡板外部的一侧与装置底座之间通过第一转动连接轴转动连接，第一前挡板外部的一侧与装置底座之间通过第二转动连接轴转动连接，第一前挡板和第二前挡板通过旋转后可直接展开并露出对应的第二下材料收集框和第一下材料收集框，第二下材料收集框和第一下材料收集框的旋转展开可便于直接放置材料以及取出材料，另一方面，由传动螺纹杆的旋转可带动上材料收集框纵向向下移动，纵向向下移动，移动至原先第二下材料收集框和第一下材料收集框的位置，通过材料放置口搭配第一前挡板和第二前挡板的旋转展开，可便于直接放置材料以及取出材料，放置材料同时展开，便于使用者的使用。

3、本发明通过在其中一个固定盘的下端设置有第一传动齿轮，其中另一个固定盘的下端设置有第二传动齿轮，第一转动连接轴的下端设置有第一传动块，第二转动连接轴的下端设置有第二传动块，第一转动连接轴的上端设置有第一传动带，通过传动，可使得输出电机输出后使得第一前挡板和第二前挡板同时展开，展开的同时两个固定盘也可同时展开，固定盘展开的同时上材料收集框纵向向下移动并完成位置的移动，装置整体内部通过传动可完成整体的展开以及闭合，整体的展开以及闭合可使得装置得以便于使用者进行放置以及取出材料，并且便于使用者对内部喷火位置进行清理以及修复，便于使用者的使用，另一方面，通过传动完成上材料收集框、第一下材料收集框和第二下材料收集框位置的偏移可避免三者之间碰撞，避免材料损坏。

附图说明

图1为本发明的整体外部结构立体图；

图2为本发明的装置底座内传动结构剖视图；

图3为本发明的上材料收集框传动结构剖视图；

图4为本发明的图3中A区域局部放大图；

图5为本发明的固定盘传动结构示意图；

图6为本发明的连结架、第一下材料收集框和第二下材料收集框之间位置关系示意图；

图7为本发明的上固定框内部结构剖视图。

图中：1、装置底座；3、后固定板；4、上固定框；5、第一前挡板；6、第二前挡板；7、侧固定框；8、第一转动连接轴；9、第二转动连接轴；10、第一传动带；11、第三转动连接轴；12、传动杆；13、传动螺纹壁；14、第二传动带；15、上支撑架；16、第一空气传输汇聚管；17、抽气风机；18、燃气传输汇聚管；19、固定盘；20、燃气传输分流管；21、空气传输分流管；22、适配凹槽；23、第一传动齿轮；24、第二传动齿轮；25、第二空气传输汇聚管；26、输出电机；27、第一传输带；28、第三传动齿轮；29、第一传动块；30、第二传输带；31、第四传动齿轮；32、第三传输带；33、第四传输带；34、第二传动块；35、第五传动齿轮；36、第六传动齿轮；37、上材料收集框；38、材料放置口；39、连结架；40、传动螺纹杆；41、适配滑动腔；42、燃烧装置；43、转动密封连接轴；44、第一下材料收集框；46、排风口；47、第二下材料收集框；48、连接架。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

实施例1公开了一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，如图1和图2所示，包括装置底座1，装置底座1的一端设置有后固定板3，通过装置底座1和后固定板3垂直连接并对装置内部的结构进行支撑和安装，如图1、图2和图7所示，在使用装置对材料进行高温加工时，通过火焰燃烧材料，后固定板3上端的两侧均设置有燃气传输分流管20，两个燃气传输分流管20之间通过燃气传输汇聚管18密封连接，外部的燃气通过传输后，同时输送至固定盘19内，如图5所示，固定盘19的上端与燃气传输分流管20之间通过转动密封连接轴43转动密封连接，两个固定盘19的外部均设置有侧固定框7，两个侧固定框7均与上固定框4的两侧焊接固定，侧固定框7内部的一侧设置有适配凹槽22，且适配凹槽22贯穿并延伸至侧固定框7的内外两侧，适配凹槽22与固定盘19卡槽连接，固定盘19的一端阵列设置有燃烧装置42，通过燃烧装置42的启动可对传输的燃气点燃，并对材料进行加工；

在点燃装置内部，对材料进行加热时，装置内部燃烧后氧气会消耗，为了保持高效的燃烧，如图6和图7所示，上固定框4内部上端的两侧均设置有排风口46，两个排风口46外部的一侧均设置有空气传输分流管21，两个空气传输分流管21之间设置有第一空气传输汇聚管16，第一空气传输汇聚管16的一端设置有抽气风机17，且抽气风机17、第一空气传输汇聚管16、空气传输分流管21和上固定框4的上端依次密封连接，第三传动齿轮28的一端设置有输出电机26，第三传动齿轮28的一端设置有第二空气传输汇聚管25，第二空气传输汇聚管25的一端延伸至后固定板3外部的一侧，第二空气传输汇聚管25的另一端延伸至上固定框4内部的下端，抽气风机17外部的下端与后固定板3的一侧通过连接架48固定连接，外部的氧气会通过第二空气传输汇聚管25输送至装置内部，输送并便于持续的燃烧和加工，而装置内部的二氧化碳则通过抽气风机17抽取后，顺沿空气传输分流管21和第一空气传输汇聚管16的流动而排出，主动替换装置内部气体，保持装置内部得以持续燃烧，而通过将第二空气传输汇聚管25安装于第二下材料收集框47和第一下材料收集框44之间的下端后，将氧气由装置内部下端输送至装置内部，也可对燃烧的火焰进行导流，使得火焰得以全面的对第一下材料收集框44、第二下材料收集框47和上材料收集框37内放置材料进行加热；

在取出或放置材料至第一下材料收集框44和第二下材料收集框47内部时，为了提高效率以及为了材料便于取出，如图1、图2、图6和图7所示，还包括第二前挡板6，其设置于装置底座1上端的一侧，装置底座1上端的另一侧设置有第一前挡板5，第一前挡板5和第二前挡板6之间卡槽连接，第二前挡板6外部的一侧与装置底座1的上端通过第一转动连接轴8转动连接，第一前挡板5外部的另一侧与装置底座1的上端通过第二转动连接轴9转动连接，第一前挡板5的上端设置有上固定框4，且上固定框4与后固定板3固定连接，第二前挡板6的一端设置有第一下材料收集框44，且第一下材料收集框44与第二前挡板6的一端焊接固定，第一前挡板5的一端设置有第二下材料收集框47，且第二下材料收集框47与第一前挡板5的一端焊接固定，第一下材料收集框44与第二下材料收集框47之间的上端设置有上材料收集框37，通过第一前挡板5可固定第二下材料收集框47，而第二前挡板6可固定第一下材料收集框44，第一下材料收集框44和第二下材料收集框47通过旋转可直接收容至装置内部。

将材料放置于第一下材料收集框44和第二下材料收集框47之间的上端时，如图6所示，上材料收集框37外部的前端设置有材料放置口38，上材料收集框37上端的中间设置有传动杆12，传动杆12下端的四角位置通过连结架39与上材料收集框37上端的四角位置固定连接，上固定框4内部的上端设置有适配滑动腔41，且适配滑动腔41贯穿并延伸至上固定框4的上下两端，且适配滑动腔41与传动杆12卡槽连接，使用者透过材料放置口38即可将材料输送至上材料收集框37内部，输送并随着传动杆12的拉动而纵向水平朝向移动，移动至第一下材料收集框44和第二下材料收集框47之间的上端；

传动杆12纵向水平位置的调整，调整上材料收集框37的水平高度，如图1、图2、图3和图4所示，传动杆12的内部设置有传动螺纹壁13，传动螺纹壁13外部的一侧设置有传动螺纹杆40，且传动螺纹杆40的外部与传动螺纹壁13的内部之间螺纹配合，传动螺纹杆40外部的一侧设置有第三转动连接轴11，第三转动连接轴11的下端与上固定框4的上端转动连接，第三转动连接轴11与传动螺纹杆40之间通过第二传动带14传动连接，第三转动连接轴11的上端与传动螺纹杆40之间的上端设置有上支撑架15，且上支撑架15下端的一侧与传动螺纹杆40的上端转动连接，所述上支撑架15下端的中间与第三转动连接轴11的上端转动连接，上支撑架15下端的另一侧设置与上固定框4的上端固定连接，通过传动螺纹杆40的转动可带动并使得传动杆12顺沿适配滑动腔41纵向水平高度的调整，纵向水平高度的调整可带动并使得上材料收集框37及内部材料位置进行调整；

而在传动并使得装置内部转动结构得以同时进行转动并展开时，如图1和图2所示，第一转动连接轴8外部的上端与第三转动连接轴11之间通过第一传动带10传动连接，第一转动连接轴8的下端设置有第一传动块29，且第一传动块29与第一转动连接轴8固定连接，第一传动块29的一侧设置有第三传动齿轮28，且第三传动齿轮28与第一传动块29之间通过第二传输带30传动连接，通过第一传动带10的传动可使得第一转动连接轴8在转动的过程中可带动第三转动连接轴11以及传动螺纹杆40进行转动，转动可与传动杆12之间产生相对运动；

两个固定盘19得以同时旋转并展开，便于随着第一前挡板5和第二前挡板6的旋转而一同展开，如图5所示，第三传动齿轮28外部的一侧设置有第四传动齿轮31，且第四传动齿轮31的外部与第三传动齿轮28的外部啮合连接，第二转动连接轴9的下端设置有第二传动块34，且第二传动块34与第二转动连接轴9固定连接，第二传动块34与第四传动齿轮31之间通过第四传输带33传动连接，第四传动齿轮31一侧的下端设置有第六传动齿轮36，且第六传动齿轮36与第四传动齿轮31之间通过第三传输带32传动连接，第三传动齿轮28另一侧的下端设置有第五传动齿轮35，第五传动齿轮35与第三传动齿轮28之间通过第一传输带27传动连接，展开露出固定的燃烧装置42，第五传动齿轮35的一侧设置有第一传动齿轮23，且第一传动齿轮23与第一传动块29啮合连接，第六传动齿轮36的另一侧设置有第二传动齿轮24，且第二传动齿轮24与第六传动齿轮36啮合连接，第二传动齿轮24和第一传动齿轮23的上端均设置有固定盘19，固定盘19展开的同时上材料收集框37纵向向下移动并完成位置的移动，装置整体内部通过传动可完成整体的展开以及闭合，整体的展开以及闭合可使得装置得以便于使用者进行放置以及取出材料，并且便于使用者对内部喷火位置进行清理以及修复，便于使用者的使用，另一方面，通过传动完成上材料收集框37、第一下材料收集框44和第二下材料收集框47位置的偏移可避免三者之间碰撞，避免材料损坏；

工作原理：在使用装置并对石墨进行高温加工时，根据图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7，为了使得装置得以大量并全面的进行材料的加工，由材料放置口38将材料堆积于上材料收集框37内，将材料分别由第一下材料收集框44和第二下材料收集框47的上端放置于内部，为了使得装置得以统一传动并使材料收容至装置内部，启动输出电机26，输出电机26的输出轴带动第三传动齿轮28进行转动，第三传动齿轮28的转动通过第二传输带30带动第一传动块29进行转动，第一传动块29可通过第一转动连接轴8带动第二前挡板6进行转动，第二前挡板6的转动可带动第一下材料收集框44，使得第一下材料收集框44旋转收容至装置内部，第三传动齿轮28的旋转可直接带动第四传动齿轮31进行转动，第四传动齿轮31的转动可通过第四传输带33带动第二传动块34进行转动，第二传动块34的转动可通过第二转动连接轴9带动第一前挡板5进行转动，第一前挡板5的转动可带动第二下材料收集框47旋转，使得第二下材料收集框47旋转收容至装置内部，第一转动连接轴8外部的上端通过第一传动带10带动第三转动连接轴11进行转动，第三转动连接轴11通过第二传动带14带动传动螺纹杆40进行转动，传动螺纹杆40的转动可与传动杆12内部传动螺纹壁13产生相对运动，传动杆12受到适配滑动腔41的限制后由旋转运动转变成纵向直线运动，纵向移动会由连结架39拉动上材料收集框37，使第一下材料收集框44和第二下材料收集框47在旋转的同时拉动上材料收集框37纵向向上移动，为了便于燃烧装置42的检修以及使用，第三传动齿轮28会通过第一传输带27带动第五传动齿轮35进行转动，第五传动齿轮35可带动一侧的第一传动齿轮23进行转动，第四传动齿轮31会通过第三传输带32带动第六传动齿轮36进行转动，第六传动齿轮36可带动一侧的第二传动齿轮24进行转动，第二传动齿轮24和第一传动齿轮23同时进行转动可带动上端的固定盘19以及固定的燃烧装置42进行旋转，由装置外部旋转至装置内部，外部输送装置通过燃气传输汇聚管18输送并由燃气传输分流管20分流，通过燃气传输分流管20传输并由转动密封连接轴43输送至固定盘19内，通过燃烧装置42点燃并对装置内部进行加热，同时，由抽气风机17启动，抽气风机17启动通过空气传输分流管21抽取装置内部的气体，抽取气体排出的同时，外部的气体通过第二空气传输汇聚管25进入装置内部，由装置内部下端流入空气对内部火焰进行导流，使得朝上的火焰可主动朝向内部的下端移动，全面的进行材料的加工。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，包括装置底座（1），所述装置底座（1）的一端设置有后固定板（3），所述后固定板（3）上端的两侧均设置有燃气传输分流管（20），两个所述燃气传输分流管（20）之间通过燃气传输汇聚管（18）密封连接，其特征在于：

还包括第二前挡板（6），其设置于装置底座（1）上端的一侧，所述装置底座（1）上端的另一侧设置有第一前挡板（5），所述第一前挡板（5）和第二前挡板（6）之间卡槽连接，所述第二前挡板（6）外部的一侧与装置底座（1）的上端通过第一转动连接轴（8）转动连接，所述第一前挡板（5）外部的另一侧与装置底座（1）的上端通过第二转动连接轴（9）转动连接，所述第一前挡板（5）的上端设置有上固定框（4），且上固定框（4）与后固定板（3）固定连接；

所述第二前挡板（6）的一端设置有第一下材料收集框（44），且第一下材料收集框（44）与第二前挡板（6）的一端焊接固定，所述第一前挡板（5）的一端设置有第二下材料收集框（47），且第二下材料收集框（47）与第一前挡板（5）的一端焊接固定，所述第一下材料收集框（44）与第二下材料收集框（47）之间的上端设置有上材料收集框（37）；

所述上材料收集框（37）外部的前端设置有材料放置口（38），所述上材料收集框（37）上端的中间设置有传动杆（12），所述传动杆（12）下端的四角位置通过连结架（39）与上材料收集框（37）上端的四角位置固定连接，所述上固定框（4）内部的上端设置有适配滑动腔（41），且适配滑动腔（41）贯穿并延伸至上固定框（4）的上下两端，且适配滑动腔（41）与传动杆（12）卡槽连接；

所述传动杆（12）的内部设置有传动螺纹壁（13），所述传动螺纹壁（13）外部的一侧设置有传动螺纹杆（40），且传动螺纹杆（40）的外部与传动螺纹壁（13）的内部之间螺纹配合，所述传动螺纹杆（40）外部的一侧设置有第三转动连接轴（11），所述第三转动连接轴（11）的下端与上固定框（4）的上端转动连接，所述第三转动连接轴（11）与传动螺纹杆（40）之间通过第二传动带（14）传动连接，所述第三转动连接轴（11）的上端与传动螺纹杆（40）之间的上端设置有上支撑架（15），且上支撑架（15）下端的一侧与传动螺纹杆（40）的上端转动连接，所述上支撑架（15）下端的中间与第三转动连接轴（11）的上端转动连接，所述上支撑架（15）下端的另一侧设置与上固定框（4）的上端固定连接；

第四传动齿轮（31），其一侧的下端设置有第六传动齿轮（36），且第六传动齿轮（36）与第四传动齿轮（31）之间通过第三传输带（32）传动连接，

第三传动齿轮（28），其下端设置有第五传动齿轮（35），所述第五传动齿轮（35）与第三传动齿轮（28）之间通过第一传输带（27）传动连接；

所述第五传动齿轮（35）的一侧设置有第一传动齿轮（23），且第一传动齿轮（23）与第一传动块（29）啮合连接，所述第六传动齿轮（36）的另一侧设置有第二传动齿轮（24），且第二传动齿轮（24）与第六传动齿轮（36）啮合连接，所述第二传动齿轮（24）和第一传动齿轮（23）的上端均设置有固定盘（19）；

所述固定盘（19）的上端与燃气传输分流管（20）之间通过转动密封连接轴（43）转动密封连接，两个所述固定盘（19）的外部均设置有侧固定框（7），两个所述侧固定框（7）均与上固定框（4）的两侧焊接固定，所述侧固定框（7）内部的一侧设置有适配凹槽（22），且适配凹槽（22）贯穿并延伸至侧固定框（7）的内外两侧，所述适配凹槽（22）与固定盘（19）卡槽连接，所述固定盘（19）的一端阵列设置有燃烧装置（42）。

2.根据权利要求1所述的半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，其特征在于：所述第一转动连接轴（8）外部的上端与第三转动连接轴（11）之间通过第一传动带（10）传动连接，所述第一转动连接轴（8）的下端设置有第一传动块（29），且第一传动块（29）与第一转动连接轴（8）固定连接，所述第一传动块（29）的一侧设置有第三传动齿轮（28），且第三传动齿轮（28）与第一传动块（29）之间通过第二传输带（30）传动连接。

3.根据权利要求2所述的半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，其特征在于：所述第三传动齿轮（28）外部的一侧设置有第四传动齿轮（31），且第四传动齿轮（31）的外部与第三传动齿轮（28）的外部啮合连接，所述第二转动连接轴（9）的下端设置有第二传动块（34），且第二传动块（34）与第二转动连接轴（9）固定连接，所述第二传动块（34）与第四传动齿轮（31）之间通过第四传输带（33）传动连接。

4.根据权利要求1所述的半导体大硅片制造用等静压石墨制备加压焙烧炉，其特征在于：所述上固定框（4）内部上端的两侧均设置有排风口（46），两个所述排风口（46）外部的一侧均设置有空气传输分流管（21），两个所述空气传输分流管（21）之间设置有第一空气传输汇聚管（16），所述第一空气传输汇聚管（16）的一端设置有抽气风机（17），且抽气风机（17）、第一空气传输汇聚管（16）、空气传输分流管（21）和上固定框（4）的上端依次密封连接，所述第三传动齿轮（28）的一端设置有输出电机（26），所述第三传动齿轮（28）的一端设置有第二空气传输汇聚管（25），所述第二空气传输汇聚管（25）的一端延伸至后固定板（3）外部的一侧，所述第二空气传输汇聚管（25）的另一端延伸至上固定框（4）内部的下端，所述抽气风机（17）外部的下端与后固定板（3）的一侧通过连接架（48）固定连接。