CN116604463B - 一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法，属于晶圆加工技术领域，包括加工台，可调节抛光机构，固定设于加工台上，其用以晶圆片边缘倒角抛光角度的调节，以及夹持机构，设于加工台上，其用以晶圆片的夹持定位，驱动电机可以驱动传动齿转动，由于传动齿轮和环形齿板啮合，从而方便带动环形齿板转动，进而带动环形板在两个限位套内部之间移动，调节环形板上的抛光组件的使用角度，方便抛光组件中的抛光垫可以对晶圆片边缘各种角度的倒角都能进行抛光，伸缩杆方便带动对应安装板以及抛光垫进行移动，从而方便调节对应抛光垫和晶圆片之间的间距，方便不同粗糙程度的抛光垫分别进行使用，提升对晶圆片抛光全面性和质量。

Description

一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法

技术领域

本发明属于晶圆加工技术领域，具体涉及一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法。

背景技术

晶圆片一般指硅晶片，元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素，在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素，硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。

授权公开号“CN111168515A”记载了“一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆、抛光系统、液压缸、机体，机体顶端面设有两个抛光系统，抛光系统正上方设有液压缸，液压缸和抛光系统机械连接，机体最顶端设有固定杆，抛光系统包含进风口、主杆、折叠筒、固定盘、操作平台，操作平台固定在机体正上方，操作平台正上方设有固定盘，本发明通过液压缸、主杆和固定盘之间的相互配合，利用液压缸下压后对晶圆进行固定，避免晶圆在固定时发生相对滑动，本发明通过固定盘和进风口等相互配合，利用抽气的方式，对晶圆实现吸附，并且采用吸气内环和吸气外环对晶圆的内部和外部同时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均匀不会从中间开始断裂成两半”。

上述专利可以显著提高晶圆片的夹持定位安全性，避免晶圆吸附受力不均出现断裂，但上述专利中的抛光系统始终垂直于晶圆片，且晶圆片在加工过程中，需要对其边缘进行倒角，因此上述专利中的抛光系统很难对晶圆片靠近上下端面处的倒角进行抛光处理，导致对晶圆片的抛光不够全面，同时影响晶圆片边缘平坦程度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法。本发明旨在解决上述专利对晶圆片边缘的抛光不够全面，影响晶圆片边缘的平坦程度的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法，包括：

加工台；

可调节抛光机构，固定设于加工台上，其用以晶圆片边缘倒角抛光角度的调节；以及

夹持机构，设于加工台上，其用以晶圆片的夹持定位。

作为本发明的一种优选方案，所述可调节抛光机构包括：

调节组件，固定设于加工台上，其用以可调节抛光机构的角度调节；

抛光组件，固定设于调节组件上，其用以对晶圆片的边缘进行抛光；以及

驱动组件，固定设于加工台上，其用以调节组件进行角度的调节。

作为本发明的一种优选方案，所述调节组件包括支撑杆，所述支撑杆共设置有两个且对称固定连接于加工台顶部，每个所述支撑杆顶部均固定连接有限位套，两个所述限位套内部之间活动嵌设有环形板，所述环形板外表面固定嵌设有环形齿板；

所述抛光组件包括伸缩杆，所述伸缩杆共设置有多个且均固定连接于环形板内壁，每个所述伸缩杆的伸缩端均固定连接有连接板，每个所述连接板一侧外表面螺纹嵌设有连接杆，每个所述连接杆的一端均固定连接有安装板，每个所述安装板一侧外表面均固定连接有抛光垫，且每个所述抛光垫的粗糙程度均不同；

所述驱动组件包括驱动电机，所述驱动电机固定连接于加工台顶部，所述驱动电机的输出端固定连接有传动齿轮，且传动齿轮和环形齿板啮合。

作为本发明的一种优选方案，所述夹持机构包括：

升降组件，固定设于加工台上，其用以配合可调节抛光机构；

夹持组件，设于升降组件上，其用以晶圆片的夹持固定；以及

保护组件，设于夹持组件上，其用以为晶圆片的夹持提供保护。

作为本发明的一种优选方案，所述升降组件包括固定架，所述固定架一侧外表面开设有限位槽，所述固定架固定连接于加工台顶部，所述固定架顶部和加工台顶部之间转动连接有螺纹杆一，所述螺纹杆一外表面螺纹套设有螺纹块一，且螺纹块一活动嵌设于限位槽内部，所述螺纹块一一侧外表面开设有安装槽；

所述夹持组件包括连接轴，所述连接轴转动连接于安装槽内顶壁和内底壁之间，所述连接轴外表面固定套设有连接块，所述连接块一侧外表面固定连接有安装架，所述安装架内顶壁和内底壁之间转动连接有螺纹杆二，所述螺纹杆二外表面螺纹连接有螺纹块二，所述螺纹块二一侧外表面固定连接有上夹板，所述安装架一侧外表面固定连接有下夹板；

所述保护组件包括安装轴，所述安装轴共设置有两个且分别转动嵌设于上夹板和下夹板一侧外表面，每个所述安装轴的一端均固定连接有保护垫板。

作为本发明的一种优选方案，所述加工台顶部固定连接有升降电机，所述升降电机的输出端和螺纹杆的一端固定连接；

所述螺纹块一顶部固定连接有摆动电机，所述摆动电机的输出端和连接轴的一端固定连接，且连接轴和螺纹杆二通过皮带和皮带轮转动连接；

每个所述保护垫板一侧外表面均固定连接有海绵垫，每个所述海绵垫一侧外表面均开设有多个透气孔，且每个透气孔均贯穿对应保护垫板。

作为本发明的一种优选方案，所述上夹板顶部固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出端和其中一个安装轴的一端固定连接。

作为本发明的一种优选方案，所述安装架内顶壁和内底壁之间固定连接有两个限位杆，每个所述限位杆外表面均活动套设有限位块，每个所述限位块均和上夹板一侧外表面固定连接。

作为本发明的一种优选方案，每个所述安装轴外表面和对应保护垫板一侧外表面之间均固定连接有多个加强板。

一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置的方法，包括如下步骤：

S1、上料：启动摆动电机，带动夹持组件中的安装架以及上夹板和下夹板向左或者右侧转动，使之脱离可调节抛光机构，摆动电机启动的同时，会带动上夹板持续远离下夹板，使用外部机械手将需要抛光的晶圆片放置在下夹板上的保护垫板和海绵垫上；

S2、夹持：启动摆动电机，通过连接轴带动连接块和安装架相反方向转动，继而带动上夹板和下夹板恢复原位，此时，连接轴通过皮带和皮带轮带动螺纹杆二同步转动，带动螺纹块二以及上夹板移动，使上夹板向下移动，并通过上夹板和下夹板上的保护垫板和海绵垫对晶圆片进行夹持定位；

S3、调节：启动驱动电机，驱动电机驱动传动齿轮转动，由于传动齿轮和环形齿板啮合，从而带动环形齿板和环形板在两个限位套内部之间转动，带动环形板上的抛光组件进行转动，进行角度抛光角度的调节；

S4、抛光：启动升降电机和其中一个伸缩杆，升降电机驱动螺纹杆一转动，带动螺纹块一和安装架进行升降，从而带动夹持组件上的晶圆片进行升降，伸缩杆驱动安装板和抛光垫进行移动，使得晶圆片边缘抵接对应抛光垫，启动旋转电机，旋转电机驱动上夹板上的安装轴转动，带动保护垫板以及晶圆片转动，持续对晶圆片边缘进行抛光，当需要更精度的抛光时，启动另外一个伸缩杆，使较为精细的抛光垫抵接晶圆片即可。

有益效果

相比于现有技术，本发明提供了一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置及方法，具有以下有益效果：

1、本发明，驱动电机可以驱动传动齿转动，由于传动齿轮和环形齿板啮合，从而方便带动环形齿板转动，进而带动环形板在两个限位套内部之间移动，调节环形板上的抛光组件的使用角度，方便抛光组件中的抛光垫可以对晶圆片边缘各种角度的倒角都能进行抛光，伸缩杆方便带动对应安装板以及抛光垫进行移动，从而方便调节对应抛光垫和晶圆片之间的间距，方便不同粗糙程度的抛光垫分别进行使用，提升对晶圆片抛光全面性和质量。

2、本发明，连接轴转动连接在螺纹块一上的安装槽内，连接轴转动，可以带动连接块和安装架转动，进而方便带动上夹板和下夹板进行水平方向转动，方便上夹板和下夹板脱离和进入环形板内部，从而方便晶圆片的上下料，同时连接轴和螺纹杆二通过皮带和皮带轮传动连接，使得连接轴和螺纹杆二可以同步转动，当连接轴转动，上夹板和下夹板逐渐脱离环形板时，螺纹杆二带动螺纹块二移动，带动上夹板逐渐远离下夹板，反之，当上夹板和下夹板逐渐进入环形板内部时，上夹板和下夹板可以对晶圆片进行夹持，进一步提升晶圆片上下料的便捷性，通过摆动电机可以驱动连接轴转动，从而带动螺纹杆二进行同步转动，提升夹持组件的使用便捷性，通过安装架内部的限位杆和上夹板外壁的限位块配合，提升上夹板的升降稳定性。

3、本发明，通过保护垫板和海绵垫可以提升上夹板和下夹板的夹持安全性，避免其对晶圆片表面造成损伤，通过安装轴转动，可以带动保护垫板和海绵垫转动，进而带动晶圆片进行转动，从而方便晶圆片边缘的抛光，安装轴和对应保护垫板之间设置加强板，提升保护垫板的使用强度，可以保证保护垫板始终平行于上夹板和下夹板，从而晶圆片的夹持稳定性，保护垫板和海绵垫上设置透气孔，方便对海绵垫和晶圆片之间进行透气，避免气压造成晶圆片的损坏，提升保护组件的使用效果。

附图说明

图1为本发明的立体图；

图2为本发明的第二视角立体图；

图3为本发明的可调节抛光机构的立体图；

图4为本发明中抛光组件的爆炸图；

图5为本发明的部分立体图；

图6为本发明图5中部分立体图的剖视图；

图7为本发明图6中A处的放大图。

图中标号说明：

1、加工台；2、可调节抛光机构；3、夹持机构；5、调节组件；501、支撑杆；502、限位套；503、环形板；504、环形齿板；6、抛光组件；601、伸缩杆；602、连接板；603、连接杆；604、安装板；605、抛光垫；7、驱动组件；701、驱动电机；702、传动齿轮；8、升降组件；801、固定架；802、螺纹杆一；803、螺纹块一；804、升降电机；9、夹持组件；901、连接轴；902、连接块；903、安装架；904、螺纹杆二；905、螺纹块二；906、上夹板；907、下夹板；908、摆动电机；10、保护组件；1001、安装轴；1002、保护垫板；1003、海绵垫；1004、透气孔；11、旋转电机；12、限位杆；13、限位块；14、加强板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例：

请参阅图1-7，本发明提供以下技术方案：

一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，包括：

加工台1；

请参阅图1-4，在加工台1上设有可调节抛光机构2以提供角度调节和晶圆片的抛光，可调节抛光机构2由调节组件5、抛光组件6以及驱动组件7构成具体如下阐述：

请查阅图2-3，调节组件5设于加工台1上，其用以角度调节，具体的：调节组件5包括支撑杆501，支撑杆501共设置有两个且对称固定连接于加工台1顶部，每个支撑杆501顶部均固定连接有限位套502，两个限位套502内部之间活动嵌设有环形板503，环形板503外表面固定嵌设有环形齿板504。

在实施例中，环形板503横截面尺寸和限位套502横截面的内径尺寸相适配，避免环形板503在转动过程中出现晃动，环形板503的厚度大于环形齿板504，避免环形齿板504的齿和限位套502发生碰撞，从而影响环形板503的转动，通过支撑杆501可以提升限位套502的使用稳定性，进而提升环形板503和环形齿板504的使用稳定性。

请参阅图2-4，抛光组件6设于调节组件5上，其用以对晶圆片的边缘进行抛光，具体的：抛光组件6包括伸缩杆601，伸缩杆601共设置有多个且均固定连接于环形板503内壁，每个伸缩杆601的伸缩端均固定连接有连接板602，每个连接板602一侧外表面螺纹嵌设有连接杆603，每个连接杆603的一端均固定连接有安装板604，每个安装板604一侧外表面均固定连接有抛光垫605，且每个抛光垫605的粗糙程度均不同。

本实施例中，多个伸缩杆601均采用电动式伸缩杆，电动式伸缩杆为现有技术，此处不做叙述，伸缩杆601的数量可根据实际情况进行更改(连接板602、连接杆603、安装板604以及抛光垫605的数量做相应更改，且抛光垫605的粗糙程度依旧不同)，伸缩杆601方便带动对应安装板604以及抛光垫605进行移动，从而方便调节对应抛光垫605和晶圆片之间的间距，方便不同粗糙程度的抛光垫605分别进行使用，连接杆603表面设置螺纹，通过连接杆603，方便安装板604和抛光垫605从连接板602上进行安装以及拆卸，方便对其进行更换和清理。

请参阅图1-3，驱动电机701固定连接于加工台1顶部，驱动电机701的输出端固定连接有传动齿轮702，且传动齿轮702和环形齿板504啮合。

本实施例中，驱动电机701可以驱动传动齿轮702转动，由于传动齿轮702和环形齿板504啮合，从而方便带动环形齿板504转动，进而带动环形板503在两个限位套502内部之间移动，调节环形板503上的抛光组件6的使用角度，方便抛光组件6中的抛光垫605可以对晶圆片边缘各种角度的倒角都能进行抛光，提升调节机构5的使用便捷性。

请参阅图1-2和图5-7，在加工台1上设有夹持机构3用以晶圆片的夹持定位，夹持机构3由升降组件8、夹持组件9以及保护组件10构成，具体如下阐述：

请参阅图2，升降组件8包括固定架801，固定架801一侧外表面开设有限位槽，固定架801固定连接于加工台1顶部，固定架801顶部和加工台1顶部之间转动连接有螺纹杆一802，螺纹杆一802外表面螺纹套设有螺纹块一803，且螺纹块一803活动嵌设于限位槽内部，螺纹块一803一侧外表面开设有安装槽；

加工台1顶部固定连接有升降电机804，升降电机804的输出端和螺纹杆一802的一端固定连接。

本实施例中，加工台1上的升降电机804可以驱动螺纹杆一802在固定架801上进行转动，螺纹杆一802可以带动螺纹块一803升降，固定架801上的限位槽内径和螺纹块一803外径适配，避免螺纹块一803移动时出现晃动，从而提升螺纹块一803的移动稳定性，螺纹块一803升降方便带动夹持组件9和保护组件10进行升降，从而方便带动夹持组件9中的晶圆片进行升降，方便其更好的配合抛光组件6中的抛光垫605的使用。

请参阅图2和图5-7，夹持组件9包括连接轴901，连接轴901转动连接于安装槽内顶壁和内底壁之间，连接轴901外表面固定套设有连接块902，连接块902一侧外表面固定连接有安装架903，安装架903内顶壁和内底壁之间转动连接有螺纹杆二904，螺纹杆二904外表面螺纹连接有螺纹块二905，螺纹块二905一侧外表面固定连接有上夹板906，安装架903一侧外表面固定连接有下夹板907；

螺纹块一803顶部固定连接有摆动电机908，摆动电机908的输出端和连接轴901的一端固定连接，且连接轴901和螺纹杆二904通过皮带和皮带轮转动连接；

安装架903内顶壁和内底壁之间固定连接有两个限位杆12，每个限位杆12外表面均活动套设有限位块13，每个限位块13均和上夹板906一侧外表面固定连接。

本实施例中，连接轴901转动连接在螺纹块一803上的安装槽内，连接轴901转动，可以带动连接块902和安装架903转动，进而方便带动上夹板906和下夹板907进行水平方向转动，方便上夹板906和下夹板907脱离和进入环形板503内部，从而方便晶圆片的上下料，同时连接轴901和螺纹杆二904通过皮带和皮带轮传动连接，使得连接轴901和螺纹杆二904可以同步转动，当连接轴901转动，上夹板906和下夹板907逐渐脱离环形板503时，螺纹杆二904带动螺纹块二905移动，带动上夹板906逐渐远离下夹板907，反之，当上夹板906和下夹板907逐渐进入环形板503内部时，上夹板906和下夹板907可以对晶圆片进行夹持，进一步提升晶圆片上下料的便捷性，通过摆动电机908可以驱动连接轴901转动，从而带动螺纹杆二904进行同步转动，提升夹持组件9的使用便捷性，通过安装架903内部的限位杆12和上夹板906外壁的限位块13配合，提升上夹板906的升降稳定性。

请参阅图2和图5-6，保护组件10包括安装轴1001，安装轴1001共设置有两个且分别转动嵌设于上夹板906和下夹板907一侧外表面，每个安装轴1001的一端均固定连接有保护垫板1002；

每个保护垫板1002一侧外表面均固定连接有海绵垫1003，每个海绵垫1003一侧外表面均开设有多个透气孔1004，且每个透气孔1004均贯穿对应保护垫板1002；

每个安装轴1001外表面和对应保护垫板1002一侧外表面之间均固定连接有多个加强板14。

本实施例中，通过保护垫板1002和海绵垫1003可以提升上夹板906和下夹板907的夹持安全性，避免其对晶圆片表面造成损伤，海绵垫1003采用表面光滑的，通过安装轴1001转动，可以带动保护垫板1002和海绵垫1003转动，进而带动晶圆片进行转动，从而方便晶圆片边缘的抛光，安装轴1001和对应保护垫板1002之间设置加强板14，提升保护垫板1002的使用强度，可以保证保护垫板1002始终平行于上夹板906和下夹板907，从而晶圆片的夹持稳定性，保护垫板1002和海绵垫1003上设置透气孔1004，方便对海绵垫1003和晶圆片之间进行透气，避免气压造成晶圆片的损坏，提升保护组件10的使用效果。

请参阅图2和图5，上夹板906顶部固定连接有旋转电机11，旋转电机11的输出端和其中一个安装轴1001的一端固定连接。

本实施例中，旋转电机11可以驱动上夹板906上的安装轴1001转动，从而带动两个保护垫板1002之间的晶圆片转动，方便对其进行边缘的抛光。

一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置的方法，包括如下步骤：

步骤一、上料：启动摆动电机908，带动夹持组件9中的安装架903以及上夹板906和下夹板907向左或者右侧转动，使之脱离可调节抛光机构2，摆动电机908启动的同时，会带动上夹板906持续远离下夹板907，使用外部机械手将需要抛光的晶圆片放置在下夹板907上的保护垫板1002和海绵垫1003上；

步骤二、夹持：启动摆动电机908，通过连接轴901带动连接块902和安装架903相反方向转动，继而带动上夹板906和下夹板907恢复原位，此时，连接轴901通过皮带和皮带轮带动螺纹杆二904同步转动，带动螺纹块二905以及上夹板906移动，使上夹板906向下移动，并通过上夹板906和下夹板907上的保护垫板1002和海绵垫1003对晶圆片进行夹持定位；

步骤三、调节：启动驱动电机701，驱动电机701驱动传动齿轮702转动，由于传动齿轮702和环形齿板504啮合，从而带动环形齿板504和环形板503在两个限位套502内部之间转动，带动环形板503上的抛光组件6进行转动，进行角度抛光角度的调节；

步骤四、抛光：启动升降电机804和其中一个伸缩杆601，升降电机804驱动螺纹杆一802转动，带动螺纹块一803和安装架903进行升降，从而带动夹持组件9上的晶圆片进行升降，伸缩杆601驱动安装板604和抛光垫605进行移动，使得晶圆片边缘抵接对应抛光垫605，启动旋转电机11，旋转电机11驱动上夹板906上的安装轴1001转动，带动保护垫板1002以及晶圆片转动，持续对晶圆片边缘进行抛光，当需要更精度的抛光时，启动另外一个伸缩杆601，使较为精细的抛光垫605抵接晶圆片即可。

最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于，包括：

加工台（1）；

可调节抛光机构（2），固定设于加工台（1）上，其用以晶圆片边缘倒角抛光角度的调节；以及

夹持机构（3），设于加工台（1）上，其用以晶圆片的夹持定位；

所述夹持机构（3）包括：

升降组件（8），固定设于加工台（1）上，其用以配合可调节抛光机构（2）；

夹持组件（9），设于升降组件（8）上，其用以晶圆片的夹持固定；以及

保护组件（10），设于夹持组件（9）上，其用以为晶圆片的夹持提供保护；

所述升降组件（8）包括固定架（801），所述固定架（801）一侧外表面开设有限位槽，所述固定架（801）固定连接于加工台（1）顶部，所述固定架（801）顶部和加工台（1）顶部之间转动连接有螺纹杆一（802），所述螺纹杆一（802）外表面螺纹套设有螺纹块一（803），且螺纹块一（803）活动嵌设于限位槽内部，所述螺纹块一（803）一侧外表面开设有安装槽；

所述夹持组件（9）包括连接轴（901），所述连接轴（901）转动连接于安装槽内顶壁和内底壁之间，所述连接轴（901）外表面固定套设有连接块（902），所述连接块（902）一侧外表面固定连接有安装架（903），所述安装架（903）内顶壁和内底壁之间转动连接有螺纹杆二（904），所述螺纹杆二（904）外表面螺纹连接有螺纹块二（905），所述螺纹块二（905）一侧外表面固定连接有上夹板（906），所述安装架（903）一侧外表面固定连接有下夹板（907）；

所述螺纹块一（803）顶部固定连接有摆动电机（908），所述摆动电机（908）的输出端和连接轴（901）的一端固定连接，且连接轴（901）和螺纹杆二（904）通过皮带和皮带轮转动连接；

所述保护组件（10）包括安装轴（1001），所述安装轴（1001）共设置有两个且分别转动嵌设于上夹板（906）和下夹板（907）一侧外表面，每个所述安装轴（1001）的一端均固定连接有保护垫板（1002）。

2.根据权利要求1所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于：所述可调节抛光机构（2）包括：

调节组件（5），固定设于加工台（1）上，其用以可调节抛光机构（2）的角度调节；

抛光组件（6），固定设于调节组件（5）上，其用以对晶圆片的边缘进行抛光；以及

驱动组件（7），固定设于加工台（1）上，其用以调节组件（5）进行角度的调节。

3.根据权利要求2所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于：所述调节组件（5）包括支撑杆（501），所述支撑杆（501）共设置有两个且对称固定连接于加工台（1）顶部，每个所述支撑杆（501）顶部均固定连接有限位套（502），两个所述限位套（502）内部之间活动嵌设有环形板（503），所述环形板（503）外表面固定嵌设有环形齿板（504）；

所述抛光组件（6）包括伸缩杆（601），所述伸缩杆（601）共设置有多个且均固定连接于环形板（503）内壁，每个所述伸缩杆（601）的伸缩端均固定连接有连接板（602），每个所述连接板（602）一侧外表面螺纹嵌设有连接杆（603），每个所述连接杆（603）的一端均固定连接有安装板（604），每个所述安装板（604）一侧外表面均固定连接有抛光垫（605），且每个所述抛光垫（605）的粗糙程度均不同；

所述驱动组件（7）包括驱动电机（701），所述驱动电机（701）固定连接于加工台（1）顶部，所述驱动电机（701）的输出端固定连接有传动齿轮（702），且传动齿轮（702）和环形齿板（504）啮合。

4.根据权利要求1所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于：所述加工台（1）顶部固定连接有升降电机（804），所述升降电机（804）的输出端和螺纹杆一（802）的一端固定连接；

每个所述保护垫板（1002）一侧外表面均固定连接有海绵垫（1003），每个所述海绵垫（1003）一侧外表面均开设有多个透气孔（1004），且每个透气孔（1004）均贯穿对应保护垫板（1002）。

5.根据权利要求4所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于：所述上夹板（906）顶部固定连接有旋转电机（11），所述旋转电机（11）的输出端和其中一个安装轴（1001）的一端固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于：所述安装架（903）内顶壁和内底壁之间固定连接有两个限位杆（12），每个所述限位杆（12）外表面均活动套设有限位块（13），每个所述限位块（13）均和上夹板（906）一侧外表面固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，其特征在于：每个所述安装轴（1001）外表面和对应保护垫板（1002）一侧外表面之间均固定连接有多个加强板（14）。

8.一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置的方法，其特征在于，应用有如权利要求1-7中任意一项所述的一种提高晶圆片边缘平坦度的抛光装置，包括如下步骤：

S1、上料：启动摆动电机（908），带动夹持组件（9）中的安装架（903）以及上夹板（906）和下夹板（907）向左或者右侧转动，使之脱离可调节抛光机构（2），摆动电机（908）启动的同时，会带动上夹板（906）持续远离下夹板（907），使用外部机械手将需要抛光的晶圆片放置在下夹板（907）上的保护垫板（1002）和海绵垫（1003）上；

S2、夹持：启动摆动电机（908），通过连接轴（901）带动连接块（902）和安装架（903）相反方向转动，继而带动上夹板（906）和下夹板（907）恢复原位，此时，连接轴（901）通过皮带和皮带轮带动螺纹杆二（904）同步转动，带动螺纹块二（905）以及上夹板（906）移动，使上夹板（906）向下移动，并通过上夹板（906）和下夹板（907）上的保护垫板（1002）和海绵垫（1003）对晶圆片进行夹持定位；

S3、调节：启动驱动电机（701），驱动电机（701）驱动传动齿轮（702）转动，由于传动齿轮（702）和环形齿板（504）啮合，从而带动环形齿板（504）和环形板（503）在两个限位套（502）内部之间转动，带动环形板（503）上的抛光组件（6）进行转动，进行角度抛光角度的调节；

S4、抛光：启动升降电机（804）和其中一个伸缩杆（601），升降电机（804）驱动螺纹杆一（802）转动，带动螺纹块一（803）和安装架（903）进行升降，从而带动夹持组件（9）上的晶圆片进行升降，伸缩杆（601）驱动安装板（604）和抛光垫（605）进行移动，使得晶圆片边缘抵接对应抛光垫（605），启动旋转电机（11），旋转电机（11）驱动上夹板（906）上的安装轴（1001）转动，带动保护垫板（1002）以及晶圆片转动，持续对晶圆片边缘进行抛光，当需要更精度的抛光时，启动另外一个伸缩杆（601），使较为精细的抛光垫（605）抵接晶圆片即可。