CN113400131A - 一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置 - Google Patents

一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，包括底板，所述底板左侧固定连接有侧板，所述侧板顶部固定连接有水平向右侧伸出顶板，所述底板上方通过下连接座转动连接有下转盘，所述顶板上滑动连接有上连接座，所述上连接座的下端面上转动连接有上转盘，所述顶板上固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩杆末端与上转盘固定连接，所述顶板的右侧固定连接有安装板，所述安装板上滑动连接有活动板，所述活动板上固定连接有电机，所述电机的输出轴末端固定连接有金刚石砂轮，所述活动板与安装板之间设置有位置调节装置。本发明设计合理，操作便捷，有效避晶圆边缘碎裂状况。

Description

一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置。
背景技术
一般，当硅结晶成很大的、在其大部分长度上为圆柱体之后，要把这种柱状结晶材料切割成很薄的、成为硅晶片的圆片，由于其形状为圆形，这样的硅晶片也可称为晶圆(Wafer)。在晶圆上可进一步加工制作成各种电路元件结构，从而成为有特定电性功能的集成电路产品。
随着半导体技术朝向大尺寸晶圆的方向发展，对晶圆的表面颗粒度、几何参数、边缘及表面的粗糙度提出了更加严格的要求。例如在切片工艺中，切片所得的晶圆边缘比较粗糙，存在凹凸不平、尖角等，这样，在各种后续加工工艺中可能会受到外力的作用，当外力超出晶圆的最大负载或是应力过度集中时就会造成晶圆裂痕、晶圆破片等问题，严重影响晶圆工艺的良率，因此，会针对晶圆进行边缘抛光作业，使得晶圆边缘的损伤部分能被去除，得到光滑的晶圆边缘。
目前现有的大多数晶圆边缘抛光装置在抛光过程中圆边缘易发生碎裂，因此，亟需一种新型的改善晶圆边缘碎裂的削边装置克服上述缺陷。
发明内容
本发明的目的在于提供一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，包括底板，所述底板左侧固定连接有侧板，所述侧板顶部固定连接有水平向右侧伸出顶板，所述底板上方通过下连接座转动连接有下转盘，所述顶板上滑动连接有上连接座，所述上连接座的下端面上转动连接有上转盘，所述顶板上固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩杆末端与上转盘固定连接，所述顶板的右侧固定连接有安装板，所述安装板上滑动连接有活动板，所述活动板上固定连接有电机，所述电机的输出轴末端固定连接有金刚石砂轮，所述活动板与安装板之间设置有位置调节装置。
优选的，所述位置调节装置包括固定连接在安装板上的丝杠套，所述丝杠套中螺纹连接有丝杠，所述丝杠的左端与活动板转动连接。
优选的，所述丝杠的右端固定连接有手轮。
优选的，所述底板的底部设置有一组支撑脚，所述支撑脚高度可调节。
优选的，所述支撑脚包括螺纹连接在底板上的螺杆，所述螺杆的底部固定连接有接触座。
优选的，所述螺杆的底部设置有六棱装的扳手位。
优选的，所述上转盘的下端面和下转盘的上端面上设置有一组环形的减震垫槽，所述减震垫槽中粘接有减震垫。
优选的，所述顶板上固定连接有一组导套，所述导套中滑动连接有导杆，所述导杆的下端与上连接座固定连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明削边过程中用于控制下转盘、上转盘缓慢转动，避免转动过快导致晶圆边缘碎裂；由于晶圆边缘有上转盘、下转盘的支撑，大大降低了碎裂的风险。支撑脚高度可调节方便调整底板的水平度，进而提升削边过程的稳定性。减震垫避免夹持过程中损伤晶圆。本发明设计合理，操作便捷，有效避晶圆边缘碎裂状况。
附图说明
图1为一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置的结构示意图；
图2为图1中K处的局部放大图；
图3为一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置中下转盘的结构示意图。
图中：1-底板，2-侧板，3-顶板，4-下连接座，5-下转盘，6-上转盘，7-上连接座，8-导套，9-导杆，10-电动伸缩杆，11-支撑脚，12-螺杆，13-扳手位，14-接触座，15-减震垫槽，16-减震垫，17-安装板，18-丝杠套，19-丝杠，20-手轮，21-活动板，22-电机，23-金刚石砂轮。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～3，本发明提供一种技术方案：
一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，包括底板1，所述底板1左侧固定连接有侧板2，所述侧板2顶部固定连接有水平向右侧伸出顶板3，所述底板1上方通过下连接座4转动连接有下转盘5，所述顶板3上滑动连接有上连接座7，所述上连接座7的下端面上转动连接有上转盘6，所述顶板3上固定连接有电动伸缩杆10，所述电动伸缩杆10的伸缩杆末端与上转盘6固定连接，所述顶板3的右侧固定连接有安装板17，所述安装板17上滑动连接有活动板21，所述活动板21上固定连接有电机22，所述电机22的输出轴末端固定连接有金刚石砂轮23，所述活动板21与安装板17之间设置有位置调节装置。
削边时将晶圆放置在下转盘5上，放置时注意晶圆与下转盘5圆心重合，而后电动伸缩杆10推动上转盘6将晶圆压紧，晶圆边缘稍微伸出上转盘6、下转盘5的边缘，压紧后金刚石砂轮23对晶圆的边缘进行打磨削边，削边过程中用于控制下转盘5、上转盘6缓慢转动，避免转动过快导致晶圆边缘碎裂；由于晶圆边缘有上转盘6、下转盘5的支撑，大大降低了碎裂的风险。
可优选地，所述位置调节装置包括固定连接在安装板17上的丝杠套18，所述丝杠套18中螺纹连接有丝杠19，所述丝杠19的左端与活动板21转动连接。
转动丝杠19即可调节活动板21左右移动。
可优选地，所述丝杠19的右端固定连接有手轮20。
手轮20方便转动丝杠19。
可优选地，所述底板1的底部设置有一组支撑脚11，所述支撑脚11高度可调节。
支撑脚11高度可调节方便调整底板1的水平度，进而提升削边过程的稳定性。
可优选地，所述支撑脚11包括螺纹连接在底板1上的螺杆12，所述螺杆12的底部固定连接有接触座14。
可优选地，所述螺杆12的底部设置有六棱装的扳手位13。
扳手位13与扳手配合，方便拧动螺杆12。
可优选地，所述上转盘6的下端面和下转盘5的上端面上设置有一组环形的减震垫槽15，所述减震垫槽15中粘接有减震垫16。
减震垫16避免夹持过程中损伤晶圆。
可优选地，所述顶板3上固定连接有一组导套8，所述导套8中滑动连接有导杆9，所述导杆9的下端与上连接座7固定连接。
导套8、导杆9滑动连接实现上连接座7的滑动安装。
本发明的工作原理是：削边时将晶圆放置在下转盘5上，放置时注意晶圆与下转盘5圆心重合，而后电动伸缩杆10推动上转盘6将晶圆压紧，晶圆边缘稍微伸出上转盘6、下转盘5的边缘，压紧后金刚石砂轮23对晶圆的边缘进行打磨削边，削边过程中用于控制下转盘5、上转盘6缓慢转动，避免转动过快导致晶圆边缘碎裂；由于晶圆边缘有上转盘6、下转盘5的支撑，大大降低了碎裂的风险。转动丝杠19即可调节活动板21左右移动。手轮20方便转动丝杠19。支撑脚11高度可调节方便调整底板1的水平度，进而提升削边过程的稳定性。扳手位13与扳手配合，方便拧动螺杆12。减震垫16避免夹持过程中损伤晶圆。导套8、导杆9滑动连接实现上连接座7的滑动安装。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）左侧固定连接有侧板（2），所述侧板（2）顶部固定连接有水平向右侧伸出顶板（3），所述底板（1）上方通过下连接座（4）转动连接有下转盘（5），所述顶板（3）上滑动连接有上连接座（7），所述上连接座（7）的下端面上转动连接有上转盘（6），所述顶板（3）上固定连接有电动伸缩杆（10），所述电动伸缩杆（10）的伸缩杆末端与上转盘（6）固定连接，所述顶板（3）的右侧固定连接有安装板（17），所述安装板（17）上滑动连接有活动板（21），所述活动板（21）上固定连接有电机（22），所述电机（22）的输出轴末端固定连接有金刚石砂轮（23），所述活动板（21）与安装板（17）之间设置有位置调节装置。
2.根据权利要求1所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述位置调节装置包括固定连接在安装板（17）上的丝杠套（18），所述丝杠套（18）中螺纹连接有丝杠（19），所述丝杠（19）的左端与活动板（21）转动连接。
3.根据权利要求2所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述丝杠（19）的右端固定连接有手轮（20）。
4.根据权利要求3所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述底板（1）的底部设置有一组支撑脚（11），所述支撑脚（11）高度可调节。
5.根据权利要求4所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述支撑脚（11）包括螺纹连接在底板（1）上的螺杆（12），所述螺杆（12）的底部固定连接有接触座（14）。
6.根据权利要求5所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述螺杆（12）的底部设置有六棱装的扳手位（13）。
7.根据权利要求6所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述上转盘（6）的下端面和下转盘（5）的上端面上设置有一组环形的减震垫槽（15），所述减震垫槽（15）中粘接有减震垫（16）。
8.根据权利要求7所述的一种改善晶圆边缘碎裂的削边装置，其特征在于：所述顶板（3）上固定连接有一组导套（8），所述导套（8）中滑动连接有导杆（9），所述导杆（9）的下端与上连接座（7）固定连接。
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