CN116423861A - 一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及膜片加工模具的领域，尤其是涉及一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法；包括外部接头以及锁紧块；所述外部接头设有气体通道，所述外部接头一端与充气设备连接；所述锁紧块可拆卸连接于所述外部接头的另一端，阀体膜片设于所述外部接头与所述锁紧块之间；通过将阀体膜片放置在外部接头内，锁紧块将阀体膜片与外部接头固定，再将高压气体通入到外部接头内，在高压气体的作用下实现对阀体膜片的加工，加工过程中可以通过控制高压气体的通入量，以适配不同材质的阀体膜片，便于实现对不同材质阀体膜片的精确加工，进而提高了对阀体膜片的加工品质。
Description
技术领域
本申请涉及膜片加工模具的领域，尤其是涉及一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法。
背景技术
在对半导体材料加工过程中，常会使用到多种阀体，如减压阀、单向阀等，其中，各类阀体中较为重要的部件-阀门膜片；在各类阀体中阀门膜片用于将阀体的操作机构或执行机构隔离开，以防止气体、液体泄漏，同时阀门膜片能将操作机构与执行机构连接，起到连带作用。
经检索，申请号为CN202123151793.1的专利文件公开了一种阀门膜片精密成型装置；该装置包括：包括底板，底板上固定有安装板且安装板上固定带有水冷机构的定模具，底板上设置有两组第一电动伸缩杆且两组第一电动伸缩杆之间安装有其上端带有注塑孔的动模具，安装板位于定模具的两侧呈对称设置有两组移动组件且两组移动组件之间固定有喷油筒且喷油筒通过泵体与储油桶连接；该装置的大致工作原理是：通过移动组件与喷油筒配合，便于在动模具与定模具表面形成一层油膜，便于实现对膜片的脱模。
针对上述相关技术，存在如下的技术缺陷：对阀门膜片进行加工时，通过将阀门膜片放置在定模具上，动模具靠近定模具实现对阀门膜片的加工，而阀门膜片所需的弧面是预先在冲压模具上设计的，但对于不同材质的膜片冲压模具需要冲压的要求各不相同，如对于质地较硬的阀门膜片需冲压较多次数已达到加工需要，但若超过阈值，存在降低阀门膜片加工品质的风险。
发明内容
为了便于对不同材质阀门膜片的加工，提高对阀门膜片加工的品质，本申请提供一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法。
本申请提供的一种半导体超高纯膜片制作模具采用如下的技术方案：
一种半导体超高纯膜片制作模具，包括外部接头以及锁紧块；所述外部接头设有气体通道，所述外部接头一端与充气设备连接；所述锁紧块可拆卸连接于所述外部接头的另一端，阀体膜片设于所述外部接头与所述锁紧块之间。
通过采用上述技术方案，将阀体膜片放置在外部接头内，将锁紧块连接在外部接头上，锁紧块将阀体膜片固定在外部接头内，将外部接头与充气设备连接，充气设备运动，高压气体进入到外部接头内，高压气体与阀体膜片接触，在高压气体的冲击下，实现对阀体膜片的加工；通过将阀体膜片放置在外部接头内，锁紧块将阀体膜片与外部接头固定，再将高压气体通入到外部接头内，在高压气体的作用下实现对阀体膜片的加工，加工过程中可以通过控制高压气体的通入量，以适配不同材质的阀体膜片，便于实现对不同材质阀体膜片的精确加工，进而提高了对阀体膜片的加工品质。
可选的，所述外部接头通过固定螺栓与所述锁紧块连接。
通过采用上述技术方案，锁紧块靠近外部接头，锁紧块与外部接头抵紧，转动固定螺栓，固定螺栓穿过锁紧块与外部接头，实现对锁紧块与外部接头的可拆卸固定。
可选的，还包括用于减少阀体膜片加工超过阈值出现损坏的控制组件；所述控制组件包括控制块、开关板以及带动件；所述控制块滑动连接于所述锁紧块上，其中，所述控制块的运动方向与高压气体的进气方向相同，且所述控制块能够与阀体膜片接触；所述开关板转动连接于所述气体通道内，所述开关板与所述外部接头的转动轴线与高压气体的进气方向垂直，所述开关板通过所述带动件与所述控制块连接；所述带动件用于将所述控制块的运动传递至所述开关板上，以实现气体通道的打开与关闭。
通过采用上述技术方案，高压气体通入到外部接头内，阀体膜片产生形变，阀体膜片与控制块接触，控制块在锁紧块上运动，控制块运动驱使带动件运动，带动件运动带动开关板运动，当阀体膜片的形变将要达到阈值时，开关板运动将气体通道关闭，外部高压气体无法进入到外部接头内，实现对阀体膜片的加工，同时减少出现当阀体膜片加工到达要求后，高压气体的继续作用，导致出现阀体膜片损坏的现象，提高了对阀体膜片加工的精度。
可选的，还包括用于驱使所述控制块回弹运动的回弹件；所述回弹件包括第一回复弹簧；所述第一回复弹簧的一端与所述锁紧块连接；所述控制块连接于所述第一回复弹簧的另一端，且所述第一回复弹簧的轴向与所述控制块的轴向相同。
通过采用上述技术方案，阀体膜片运动带动控制块运动，控制块运动带动第一回复弹簧运动，第一回复弹簧收缩，加工完毕后，第一回复弹簧伸展，第一回复弹簧带动控制块运动，控制块回复至初始位置，便于实现对相同材质阀体膜片的加工，同时，不需要后期人工干预调节，减少了对阀体膜片加工的工序，进而提高对阀体膜片加工的效率。
可选的，所述带动件包括带动杆以及推动源；所述带动杆与所述控制块连接，并与所述外部接头滑动连接，所述带动杆的运动方向与所述控制块的运动方向相同；所述推动源安装于所述外部接头上，所述推动源能够与所述带动杆接触，用于推动所述开关板运动。
通过采用上述技术方案，控制块运动，控制块驱使带动杆运动，带动杆运动驱使推动源运动，推动源运动，推动源与开关板接触，实现将气体通道关闭的目的，减少外界高压气体再次进入到内部接头的目的，从而停止了对阀体膜片的加工。
可选的，所述推动源包括推动杆以及第二回复弹簧；所述第二回复弹簧的一端与所述外部接头连接，所述第二回复弹簧的轴向与高压气体的进气方向垂直；所述推动杆同轴连接于所述第二回复弹簧的另一端，且所述推动杆能够与所述开关板接触，其中，所述带动杆能够与所述推动杆卡接。
通过采用上述技术方案，控制块驱使带动杆运动，带动杆与推动杆接触，推动杆带动第二回复弹簧运动，第二回复弹簧收缩，当阀体膜片形变后，阀体膜片驱使控制块运动，控制块驱使带动杆运动，带动杆远离推动杆，第二回复弹簧伸展，第二回复弹簧驱使推动杆运动，推动杆与开关板接触，推动板推动开关板运动，实现将气体通道关闭的目的。
可选的，所述控制组件设置为两组；两组控制组件关于气体的进气方向对称设置。
通过采用上述技术方案，通过将控制组件设置为两组，两组控制组件关于气体的进气方向对称设置；当阀体膜片加工完成后，能够快速实现气体通道的关闭，减少外界高压气体的进入，提高对阀体膜片的加工品质。
可选的，所述推动源还包括用于操作所述推动杆运动的操作杆；所述操作杆与所述推动杆连接，并与所述外部接头滑动连接，所述操作杆的轴向与所述推动杆的轴向相同。
通过采用上述技术方案，调节操作杆，操作杆运动，操作杆带动推动杆运动，将操作杆滑动至合适位置后，将锁紧块靠近外部接头，带动杆与推动杆接触，并将推动杆进行位置限制；通过调节操作杆，操作杆带动推动杆运动，便于实现将推动杆驱使至合适位置，以实现带动杆与推动杆的位置限定。
可选的，还包括用于调节所述控制块与所述外部接头距离的调节块；所述锁紧块为中空设置，所述调节块螺纹连接于所述锁紧块的空腔内，所述第一回复弹簧与所述调节块连接。
通过采用上述技术方案，当需要加工不同形变量的阀体膜片时，转动调节块，调节块带动第一回复弹簧运动，第一回复弹簧带动控制块运动，实现控制块与阀体膜片之间间距的调节，进而实现对不同形变量阀体膜片的加工。
另一方面，基于半导体超高纯膜片制作模具，包括如下的制作方法：
S1：放置待加工阀体膜片；将待加工阀体膜片放置在外部接头内，对待加工阀体膜片进行初步定位；
S2：锁紧块与外部接头固定；
S21：将锁紧块伸入到外部接头内，调节锁紧块，锁紧块与外部接头抵紧，使用固定螺栓将锁紧块与外部接头固定；
S22：带动杆穿过锁紧块调节操作杆，操作杆驱使推动杆运动，推动杆带动第二回复弹簧压缩，带动杆与推动杆抵紧；
S3；调节阀体膜片形变值；转动调节块，调节块在锁紧块上运动，调节块带动第一回复弹簧运动，第一回复弹簧带动控制块运动，控制块与待加工阀体膜片之间的间距变化；
S4：加工阀体膜片；
S41：将通气设备与外部接头连接，高压气体进入到外部接头的气体通道内，高压气体使得阀体膜片形变；
S42：阀体膜片形变运动带动控制块运动，控制块带动第一回复弹簧运动，控制块运动驱使带动杆运动，带动杆与推动杆分离，第二回复弹簧伸展，推动杆与开关板接触，开关板转动，气体通道关闭，完成对阀体膜片的精准加工。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.本申请通过将阀体膜片放置在外部接头内，锁紧块将阀体膜片与外部接头固定，再将高压气体通入到外部接头内，在高压气体的作用下实现对阀体膜片的加工，加工过程中可以通过控制高压气体的通入量，以适配不同材质的阀体膜片，便于实现对不同材质阀体膜片的精确加工，进而提高了对阀体膜片的加工品质；
2.本申请通过高压气体通入到外部接头内，阀体膜片产生形变，阀体膜片与控制块接触，控制块在锁紧块上运动，控制块运动驱使带动件运动，带动件运动带动开关板运动，当阀体膜片的形变将要达到阈值时，开关板运动将气体通道关闭，外部高压气体无法进入到外部接头内，实现对阀体膜片的加工，同时减少出现当阀体膜片加工到达要求后，高压气体的继续作用，导致出现阀体膜片损坏的现象，提高了对阀体膜片加工的精度；
3.本申请通过转动调节块，调节块带动第一回复弹簧运动，第一回复弹簧带动控制块运动，实现控制块与阀体膜片之间间距的调节，进而实现对不同形变量阀体膜片的加工。
附图说明
图1是本申请一种半导体超高纯膜片制作模具的整体结构示意图；
图2是本申请一种半导体超高纯膜片制作模具的剖视图；
图3是图2的A部放大图；
图4是图2的B部放大图；
图5是图2的C部放大图。
附图标记：1、外部接头；11、气体通道；12、第一滑动槽；13、第二滑动槽；2、锁紧块；3、固定螺栓；4、控制组件；41、控制块；42、开关板；43、带动件；431、带动杆；4311、水平段；4312、竖直段；4313、卡紧段；432、推动源；4321、推动杆；4322、第二回复弹簧；4323、操作杆；44、回弹件；441、第一回复弹簧；5、调节块；6、阀体膜片。
具体实施方式
以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种半导体超高纯膜片制作模具及制作方法。
实施例一：
参照图1、图2，一种半导体超高纯膜片制作模具包括外部接头1、锁紧块2以及控制组件4；外部接头1内部开设有高压气体的气体通道11，为便于高压气体的通过，本申请实施例中的通气通道的长度方向与外部接头1的长度方向相同，外部接头1一端与充气设备连接；锁紧块2可拆卸连接在外部接头1的另一端，需要对阀体膜片6加工时，将阀体膜片6安装在外部接头1与锁紧块2之间。
参照图1，本申请实施例中，为便于外部接头1与锁紧块2之间的可拆卸连接，外部接头1与锁紧块2通过固定螺栓3固定连接；转动固定螺栓3，固定螺栓3在锁紧块2上运动，固定螺栓3穿过锁紧块2与外部接头1，实现将锁紧块2与外部接头1的连接固定。
参照图2、图3、图4，控制组件4包括控制块41、开关板42以及带动件43；控制块41滑动连接于锁紧块2上，其中，控制块41的运动方向与高压气体的进气方向相同，控制块41位于阀体膜片6的正上方，且控制块41能够与阀体膜片6接触；开关板42转动连接于气体通道11内，开关板42与外部接头1的转动轴线与高压气体的进气方向垂直，开关板42通过带动件43与控制块41连接，且开关板42能够将进气通道关闭；带动件43用于将控制块41的运动传递至开关板42上，以实现气体通道11的打开与关闭。
参照图2、图3，为便于对相同材质阀体膜片6的加工，本申请实施例中还包括用于驱使控制块41回复运动的回弹件44；回弹件44优选为第一回复弹簧441；第一回复弹簧441的一端与锁紧块2通过焊接的方式固定连接；控制块41固定连接=连接在第一回复弹簧441的另一端，第一回复弹簧441的轴向与控制块41的轴向相同。
参照图3，本申请实施例中，为便于控制块41的运动以及减少模具的质量；锁紧块2内部开设有滑动空间，控制块41与第一回复弹簧441均设置在滑动空间内，且控制块41与锁紧块2滑动连接。
参照图2、图5，带动件43包括带动杆431以及推动源432；带动杆431与控制块41连接，并与外部接头1滑动连接，带动杆431的运动方向与控制块41的运动方向相同；推动源432安装在外部接头1上，推动源432能够与带动杆431接触，用于推动开关板42运动。
参照图2，本申请实施例中的带动杆431包括水平段4311以及竖直段4312；水平段4311的一端与控制块41连接，水平段4311的长度方向与控制块41的运动方向垂直；竖直段4312连接在水平段4311的另一端，竖直段4312的长度方向与水平段4311的长度方向垂直；同时，为提高带动杆431的强度以及便于对带动杆431的加工，本申请实施例中的带动杆431为一体成型设置。
参照图2，本申请实施例中，为便于带动杆431的运动，外部接头1内部开设有用于带动杆431滑动的第一滑动槽12以及第二滑动槽13；水平段4311滑动连接在第一滑动槽12内，竖直段4312滑动在第一滑动槽12内。
参照图2、图5，推动源432包括推动杆4321以及第二回复弹簧4322；第二回复弹簧4322的一端与外部接头1连接，第二回复弹簧4322的轴向与高压气体的进气方向垂直；推动杆4321同轴连接于第二回复弹簧4322的另一端，且推动杆4321能够与开关板42接触，其中，带动杆431能够与推动杆4321卡接。
参照图5，本申请实施例中为便于推动杆4321与竖直段4312之间的卡接，竖直段4312上通过焊接的方式固定有卡紧段4313；卡紧段4313固定在推动杆4321靠近竖直段4312的一侧，且竖直段4312能够与卡紧段4313抵紧。
参照图2，为提高对气体通道11的关闭效率，进而提高对阀体膜片6的加工品质，本申请实施例中的控制组件4设置为两组；两组控制组件4关于气体的进气方向对称设置。
参照图5，推动源432还包括用于操作推动杆4321运动的操作杆4323；操作杆4323与推动杆4321通过焊接的方式连接，操作杆4323与外部接头1滑动连接，操作杆4323的轴向与推动杆4321的轴向相同，其中，操作杆4323的运动防线关于推动杆4321的运动方向相同。
参照图2，还包括用于调节控制块41与外部接头1距离的调节块5；锁紧块2为中空设置，调节块5螺纹连接于锁紧块2的空腔内，第一回复弹簧441与调节块5通过焊接的方式的固定连接；需要加工不同形变量的阀门膜片时，转动调节块5，调节块5在锁紧块2的空腔内运动，调节块5的运动电带动第一回复弹簧441运动，第一回复弹簧441带动控制块41运动，控制块41与阀体膜片6之间的间距变化，便于实现对不同形变量阀体膜片6的加工。
实施例二：
基于半导体超高纯膜片制作模具，其对阀体膜片6的制作方法为：
S1：放置待加工阀体膜片6；将待加工阀体膜片6放置在外部接头1内，对待加工阀体膜片6进行初步定位；
S2：锁紧块2与外部接头1固定；
S21：将锁紧块2伸入到外部接头1内，调节锁紧块2，锁紧块2与外部接头1抵紧，使用固定螺栓3将锁紧块2与外部接头1固定；
S22：带动杆431穿过锁紧块2调节操作杆4323，操作杆4323驱使推动杆4321运动，推动杆4321带动第二回复弹簧4322压缩，带动杆431与推动杆4321抵紧；
S3；调节阀体膜片6形变值；转动调节块5，调节块5在锁紧块2上运动，调节块5带动第一回复弹簧441运动，第一回复弹簧441带动控制块41运动，控制块41与待加工阀体膜片6之间的间距变化；
S4：加工阀体膜片6；
S41：将通气设备与外部接头1连接，高压气体进入到外部接头1的气体通道11内，高压气体使得阀体膜片6形变；
S42：阀体膜片6形变运动带动控制块41运动，控制块41带动第一回复弹簧441运动，控制块41运动驱使带动杆431运动，带动杆431与推动杆4321分离，第二回复弹簧4322伸展，推动杆4321与开关板42接触，开关板42转动，气体通道11关闭，完成对阀体膜片6的精准加工。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：包括外部接头（1）以及锁紧块（2）；所述外部接头（1）设有气体通道（11），所述外部接头（1）一端与充气设备连接；所述锁紧块（2）可拆卸连接于所述外部接头（1）的另一端，阀体膜片（6）设于所述外部接头（1）与所述锁紧块（2）之间。
2.根据权利要求1所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：所述外部接头（1）通过固定螺栓（3）与所述锁紧块（2）连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：还包括用于减少阀体膜片（6）加工超过阈值出现损坏的控制组件（4）；所述控制组件（4）包括控制块（41）、开关板（42）以及带动件（43）；所述控制块（41）滑动连接于所述锁紧块（2）上，其中，所述控制块（41）的运动方向与高压气体的进气方向相同，且所述控制块（41）能够与阀体膜片（6）接触；所述开关板（42）转动连接于所述气体通道（11）内，所述开关板（42）与所述外部接头（1）的转动轴线与高压气体的进气方向垂直，所述开关板（42）通过所述带动件（43）与所述控制块（41）连接；所述带动件（43）用于将所述控制块（41）的运动传递至所述开关板（42）上，以实现气体通道（11）的打开与关闭。
4.根据权利要求3所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：还包括用于驱使所述控制块（41）回弹运动的回弹件（44）；所述回弹件（44）包括第一回复弹簧（441）；所述第一回复弹簧（441）的一端与所述锁紧块（2）连接；所述控制块（41）连接于所述第一回复弹簧（441）的另一端，且所述第一回复弹簧（441）的轴向与所述控制块（41）的轴向相同。
5.根据权利要求3所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：所述带动件（43）包括带动杆（431）以及推动源（432）；所述带动杆（431）与所述控制块（41）连接，并与所述外部接头（1）滑动连接，所述带动杆（431）的运动方向与所述控制块（41）的运动方向相同；所述推动源（432）安装于所述外部接头（1）上，所述推动源（432）能够与所述带动杆（431）接触，用于推动所述开关板（42）运动。
6.根据权利要求5所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：所述推动源（432）包括推动杆（4321）以及第二回复弹簧（4322）；所述第二回复弹簧（4322）的一端与所述外部接头（1）连接，所述第二回复弹簧（4322）的轴向与高压气体的进气方向垂直；所述推动杆（4321）同轴连接于所述第二回复弹簧（4322）的另一端，且所述推动杆（4321）能够与所述开关板（42）接触，其中，所述带动杆（431）能够与所述推动杆（4321）卡接。
7.根据权利要求3所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：所述控制组件（4）设置为两组；两组控制组件（4）关于气体的进气方向对称设置。
8.根据权利要求6所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：所述推动源（432）还包括用于操作所述推动杆（4321）运动的操作杆（4323）；所述操作杆（4323）与所述推动杆（4321）连接，并与所述外部接头（1）滑动连接，所述操作杆（4323）的轴向与所述推动杆（4321）的轴向相同。
9.根据权利要求4所述的一种半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：还包括用于调节所述控制块（41）与所述外部接头（1）距离的调节块（5）；所述锁紧块（2）为中空设置，所述调节块（5）螺纹连接于所述锁紧块（2）的空腔内，所述第一回复弹簧（441）与所述调节块（5）连接。
10.基于权利要求所述的半导体超高纯膜片制作模具，其特征在于：包括如下的制作方法：
S1：放置待加工阀体膜片（6）；将待加工阀体膜片（6）放置在外部接头（1）内，对待加工阀体膜片（6）进行初步定位；
S2：锁紧块（2）与外部接头（1）固定；
S21：将锁紧块（2）伸入到外部接头（1）内，调节锁紧块（2），锁紧块（2）与外部接头（1）抵紧，使用固定螺栓（3）将锁紧块（2）与外部接头（1）固定；
S22：带动杆（431）穿过锁紧块（2）调节操作杆（4323），操作杆（4323）驱使推动杆（4321）运动，推动杆（4321）带动第二回复弹簧（4322）压缩，带动杆（431）与推动杆（4321）抵紧；
S3；调节阀体膜片（6）形变值；转动调节块（5），调节块（5）在锁紧块（2）上运动，调节块（5）带动第一回复弹簧（441）运动，第一回复弹簧（441）带动控制块（41）运动，控制块（41）与待加工阀体膜片（6）之间的间距变化；
S4：加工阀体膜片（6）；
S41：将通气设备与外部接头（1）连接，高压气体进入到外部接头（1）的气体通道（11）内，高压气体使得阀体膜片（6）形变；
S42：阀体膜片（6）形变运动带动控制块（41）运动，控制块（41）带动第一回复弹簧（441）运动，控制块（41）运动驱使带动杆（431）运动，带动杆（431）与推动杆（4321）分离，第二回复弹簧（4322）伸展，推动杆（4321）与开关板（42）接触，开关板（42）转动，气体通道（11）关闭，完成对阀体膜片（6）的精准加工。
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