CN116374926A - 一种光刻胶成品自动化灌装设备及其灌装方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种光刻胶成品自动化灌装设备，涉及光刻胶成品加工，包括：输送架、供料筒，供料筒包括进料阀、搅拌螺带；安装在供料筒上的分料结构，分料结构包括安装室、定量分料件、分瓶处理组件；分瓶处理组件包括通过螺栓锁固在安装室底部的滑动横架，滑动设置在滑动横架内轨上的滑动座，锁固在滑动座上的转动电机，转动电机的输出轴上安装有一横向安装板，横向安装板底部的一端固接有瓶口清理件，横向安装板底部的另一端锁固有灌装件；灌装件包括有外封闭架以及内灌装架，解决了光刻胶溶液容易受到污染的问题，能够切换不同的处理结构对容器进行处理，以降低光刻胶灌装过程中受污染的几率，提高光刻胶的纯度。

Description

一种光刻胶成品自动化灌装设备及其灌装方法

技术领域

本发明涉及一种光刻胶成品加工设备，特别是一种光刻胶成品自动化灌装设备及其灌装方法。

背景技术

光刻胶是一种由光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂（表面活性剂、匀染剂等）组成的对光敏感的混合液体，组成成分大致为：溶剂占比50%-90%，树脂占比10%-40%，光引发剂占比1%-8%，其他助剂则占比达到1%，为溶液状。其是经过紫外光、电子束、离子束、X射线等的辐射或照射后，其在显影溶液中溶解度将会发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。

光刻胶在进行充分的混合溶解后过滤，过滤得到的溶液即成品的光刻胶，成品需要分装至容器中，现有的光刻胶灌装设备采用的是传统的液体灌装设备，即将成品输入釜体或者筒体中，随后通过灌装设备将光刻胶溶液灌装到容器中。

但是常规的灌装机构在灌装时对气密性以及感光保护的能力近乎没有，光刻胶从灌装设备到容器中的一段时间中光刻胶溶液容易受到污染，例如，容易混入外部环境中的其他杂质，又或者，容易受到外部光线的干扰变质，从而直接影响光刻胶的纯度，甚至影响到光刻胶的保存时间，使其在显影阶段失效。

故本案旨在提供一种在整个光刻胶的灌装阶段对容器和管路完全封闭的光刻胶成品自动化灌装设备及其灌装方法，以保证光刻胶在灌装过程中的纯度。

发明内容

本发明提供了一种光刻胶成品自动化灌装设备及其灌装方法，可以有效解决上述问题。

本发明是这样实现的：

一种光刻胶成品自动化灌装设备，包括：

一用于传输容器的输送架；

安置在输送架上方的供料筒，所述供料筒上固接有若干进料阀，供料筒内设置有搅拌螺带；

安装在供料筒上的分料结构，所述分料结构包括锁紧在供料筒底部的安装室，设于安装室内且与供料筒相通的定量分料件，与定量分料件相通且指向输送架上容器的分瓶处理组件；

所述分瓶处理组件包括通过螺栓锁固在安装室底部的滑动横架，滑动设置在滑动横架内轨上的滑动座，锁固在滑动座上的转动电机，转动电机的输出轴上安装有一横向安装板，横向安装板底部的一端固接有瓶口清理件，横向安装板底部的另一端锁固有灌装件；

所述灌装件包括有用于封闭瓶口的外封闭架以及设置在外封闭架内侧且用于灌装光刻胶溶液的内灌装架，所述外封闭架套接在瓶口的外侧后内灌装架再伸入瓶口的内侧。

作为进一步改进的，所述外封闭架包括垂直固接在横向安装板底面的安装腔，套接在所述安装腔外侧的连接环，安装在所述连接环上的若干助力油缸，插接在所述助力油缸内环壁上的外套筒，所述外套筒下移后套接在瓶口的外部。

作为进一步改进的，所述内灌装架包括安装在安装腔内部的推杆电机，所述推杆电机的输出端上连接有一中空的导柱，所述导柱的内侧开设有导流道，所述导流道上分别连接有一与定量分料件相通的进料管柱以及与外部空压机相通的真空管柱，所述导柱的底部连接一堵塞筒，所述堵塞筒下滑后卡紧在瓶口的内侧壁上。

作为进一步改进的，所述外套筒与安装腔的外壁间隔设置，所述外套筒的内侧壁锁接有一圈第一压电薄片，所述第一压电薄片与外部空压机电连接，当所述外套筒伸出并箍紧在瓶口外侧壁后，第一压电薄片受压压紧在瓶口外侧壁，所述外部空压机通过真空管柱抽吸容器内的空气。

作为进一步改进的，所述堵塞筒与安装腔的内壁间隔设置，所述堵塞筒的外侧锁接有一圈第二压电薄片，所述第二压电薄片与所述定量分料件电连接，当所述堵塞筒伸出并垫压在瓶口的内侧壁后，所述第二压电薄片压紧在瓶口内侧壁，所述定量分料件通过进料管柱灌装溶液至容器内。

作为进一步改进的，所述瓶口清理件包括垂直固接在横向安装板底面的液压缸，连接在所述液压缸输出端上的双层夹座，所述双层夹座包括与液压缸输出轴连接的第一夹座，设置在所述第一夹座内侧的第二夹座，所述第一夹座的孔径与容器外径相对应，所述第二夹座的孔径与容器内径相对应，所述第一夹座与第二夹座之间的间隙设置有一冲气阀，所述冲气阀的气口指向第一夹座与第二夹座的底沿。

作为进一步改进的，所述定量分料件包括与供料筒相通的第一电磁阀，连接在所述第一电磁阀出料端的第一暂容管，固接在所述第一暂容管出料端的第二电磁阀，所述第二电磁阀连接一第二暂容管，所述第一暂容管与第二暂容管中均设置有重量传感器。

作为进一步改进的，进一步包括箍紧在外套筒外侧的倒覆结构，所述倒覆结构包括锁固在外套筒外侧的弧形架，滑动安装在所述弧形架两侧的两组承托件，堆叠在所述承托件上的封口片，所述封口片的侧壁贴合设置有固接在弧形架上的外挡板，所述承托件包括沿弧形架外侧轨道滑动连接的调节座，以及锁紧在所述调节座上的摆动电机，所述摆动电机上插接有用于侧向偏摆的摆动杆，所述摆动杆承接封口片。

本发明还提供了一种光刻胶成品自动化灌装方法，应用上述的一种光刻胶成品自动化灌装设备，具体步骤包括：

S1；进料：精准将容器通过输送架输送至供料筒的底部；

S2；清洁：将柔性的瓶口清理件套接到瓶口的内外侧，对瓶口内外侧的污物进行粘附；

S3；密封：在清洁完毕后，令外套筒向下移动卡紧至瓶口的外侧面，确定卡紧后再通过真空吸附装置吸附容器内的残余气体；

S4；灌装：保持外套筒的卡紧状态，将堵塞筒伸入容器堵塞容器的内侧面，确定堵塞容器内侧面后再经导流道将光刻胶溶液注入容器中；

S5；覆面：将堵塞筒缩回，随后缩回外套筒，外套筒缩回至与瓶口齐平后让滑动座后退，让倒覆结构上的封口片封紧在容器上，对容器的瓶口进行密封；

S6；输送：将灌装完成以及密封完成的容器通过输送架输送至下一位置，重复上述的步骤。

作为进一步改进的，在步骤S3中，确定外套筒上的第一压电薄片压紧在瓶口的外侧壁后启动真空吸附装置，在步骤S4中，确定堵塞筒上的第二压电薄片压紧在瓶口的内侧壁后启动定量分料件。

本发明的有益效果是：

本发明通过设置的分瓶处理组件，能够切换不同的处理结构对容器进行处理，以降低光刻胶灌装过程中受污染的几率，提高光刻胶的纯度，具体的如下述两个方面：

本发明通过设置的瓶口清理件，在外封闭架与内灌装架的应用前端能够对瓶口的内外侧进行粘附处理，让瓶口处可能有的灰尘和颗粒物被粘走，令外封闭架与内灌装架在与瓶口配合时能够更加的紧密贴合，从而避免套装连接后的漏气以及不稳定现象。

本发明通过设置的灌装件，在灌装初始，先通过外封闭架对整个容器的外侧面进行封闭，尔后，再将内灌装架直接伸入容器内，由此不仅能够完全隔绝容器与外部大气环境，同时还能够建立光线分隔区域，从供料筒到容器中的罐装阶段均不会与外部的光线接触，在隔绝了光线与大气后，使光刻胶自过滤后其纯度就定性，在灌装的过程中不会再受到污染。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本发明提供的一种光刻胶成品自动化灌装设备的结构示意图。

图2是本发明提供的一种分料结构的侧视结构示意图。

图3是本发明提供的一种分料结构的动作示意图(第一状态)。

图4是本发明提供的一种分料结构的动作示意图(第二状态)。

图5是本发明提供的一种分瓶处理组件的结构示意图。

图6是本发明提供的一种瓶口清理件的结构示意图。

图7是本发明提供的一种定量分料件的结构示意图。

图8是本发明提供的一种倒覆结构与外封闭架的正视结构示意图。

图9是本发明提供的一种倒覆结构的侧视结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

参照图1～图9所示，一种光刻胶成品自动化灌装设备，包括：一用于传输容器的输送架10；安置在输送架10上方的供料筒20，所述供料筒20上固接有若干进料阀21，供料筒20内设置有搅拌螺带22；安装在供料筒20上的分料结构30，所述分料结构30包括锁紧在供料筒20底部的安装室31，设于安装室31内且与供料筒20相通的定量分料件32，与定量分料件32相通且指向输送架10上容器的分瓶处理组件33；所述分瓶处理组件33包括通过螺栓锁固在安装室31底部的滑动横架331，滑动设置在滑动横架331内轨上的滑动座332，锁固在滑动座332上的转动电机333，转动电机333的输出轴上安装有一横向安装板334，横向安装板334底部的一端固接有瓶口清理件335，横向安装板334底部的另一端锁固有灌装件336；所述灌装件336包括有用于封闭瓶口的外封闭架3361以及设置在外封闭架3361内侧且用于灌装光刻胶溶液的内灌装架3362，所述外封闭架3361套接在瓶口的外侧后内灌装架3362再伸入瓶口的内侧。

在具体传输的过程中，可采用本实施例中的直线型输送架10，也可采用直线型输送架10与环形输送架结合，达到的效果相同，但均需要在输送架10上设置对应的感应或者定位结构，与便于容器在到达指定位置后可以使输送架10暂时停顿进行灌装。

在本实施例中，供料筒20通过进料阀21与多个过滤设备连接，让多个过滤设备经过过滤后的光刻胶溶液能够进入供料筒20中，从而让供料筒20能够持续性供料。

由于灌装时间的不定性，为了避免供料筒20底部的光刻胶沉积出现分层，供料筒20中还设置有搅拌螺带22，能够实时对供料筒20中的溶液进行搅拌，以保证光刻胶溶液时刻处于一个活动状态。

在分料灌装的整个过程中，均是在安装室31内进行的，处于一个封闭的环境中，相对于传统的直接通过电磁阀进行控料，在本实施例中，采用的是单独设置一个定量分料件32，在定量分料件32中至少进行两次以上的重量衡量，保证灌装量达到最精确的区间范围再输入分瓶处理组件33内，文中所述的瓶口全为待灌装容器的瓶口。

相较于传统的分瓶处理组件33，本案中的分瓶处理组件33不再只具备单纯的灌装作用，其还具备切换功能，至少设置有瓶口清理件335与灌装件336，且能够对二者的位置进行变更，首先作用于瓶口的为瓶口清理件335，其次则是灌装件336，由于整个灌装过程的时间较短，故瓶口清理件335与灌装件336需要在短时间内进行位置的轮换，对此，在本实施例中，将负载瓶口清理件335与灌装件336的横向安装板334安置在转动电机333的输出轴上，故在转动电机333转动时即可切换瓶口清理件335与灌装件336之间的位置，而实际上，由于瓶口清理件335与灌装件336均需要准确的与容器对接，故在转动后不能仅是简单的判断准确的到达指定位置，还需要通过微调来精准定位，为了便于瓶口清理件335与灌装件336可同时调节，故直接将转动电机333安装到一滑动座332上，通过滑动座332的位置变化从而让横向安装板334可实现横向位置上的位置变换，达到精准定位的效果。

在上述中实现了瓶口清理件335与灌装件336两个相位上的移动，再加上瓶口清理件335与灌装件336本身可进行纵轴上移动，从而使二者能够具备三个方向上的自由度，无论容器的摆放位置是否整齐，均能够进行一系列位置调节让瓶口清理件335与灌装件336与容器的瓶口匹配。

在整个灌装过程中，由于光刻胶本身的特性，其在灌装的过程中需要避光、密闭，故为了使整个灌装过程符合要求，在本实施例中通过设置外封闭架3361，能够在瓶口的外侧建立起第一道封闭措施，与此同时，还设置了内灌装架3362，又在瓶口的内侧建立了第二道封闭措施进行密闭，从而极大程度上阻止了光刻胶溶液在灌装的过程中可能出现的被污染现象。

在上述灌装过程中确实做到了密封的过程，但是，一旦灌装结束，外封闭架3361与内灌装架3362脱离瓶口后，容器在输送架10上传输时仍会受到外部的污染，对此，本实施例进一步包括箍紧在外套筒3034外侧的倒覆结构40，所述倒覆结构40包括锁固在外套筒3034外侧的弧形架41，滑动安装在所述弧形架41两侧的两组承托件42，堆叠在所述承托件42上的封口片43，所述封口片43的侧壁贴合设置有固接在弧形架41上的外挡板44，所述承托件42包括沿弧形架41外侧轨道滑动连接的调节座421，以及锁紧在所述调节座421上的摆动电机422，所述摆动电机422上插接有用于侧向偏摆的摆动杆423，所述摆动杆423承接封口片43，其中，承托件42共存在两个方向上的自由度，其中之一是通过调节座421的滑动效果实现上下方向上的横移，从而便于其调节自身的位置对不同的封口片43起阻挡的效果，其二则是通过摆动电机422实现水平方向上的摆动，便于承接或者下放封口片43；

在本实施例中，封口片43为具有一定厚度的膜片，膜片的底端较薄，所有封口片43底端的位置均嵌卡在弧形架41上，将摆动杆423的末端做薄，从而其能够插接至封口片43内分隔封口片43，在具体的使用阶段，内灌装架3362先升高复位，尔后，外封闭架3361也开始升高复位，但是此时外封闭架3361不完全复位到初始位置上，而是在升高至与瓶口顶沿齐平后停下，此时尚未完全脱离瓶口，二者贴合在一起保持密封，尔后，让滑动座332沿着滑动横架331逐渐后移，与此同时，底部的摆动电机422逐渐外摆，让底部的摆动杆423往外扩，让最底部的封口片43下翻，覆于瓶口的顶沿，随着滑动座332的逐步滑动直至完全贴合在瓶口上，由于此时外部大气压明显大于容器内的气压，故封口片43能够紧紧的贴在瓶口上，在移除掉外封闭架3361与内灌装架3362的密封后能够迅速衔接上密闭的状态，由此保证容器在后续的移动过程中也不会发生污染，并且需要强调的是，封口片43为软性的膜片，在对容器封盖的时候可以直接封盖，无需再扯下，减少后续的加工工序。

在底部的摆动电机422外摆的过程中，顶部的摆动电机422能够将倒数第二的封口片43靠压住避免其下坠，实现逐步进料的过程，外挡板44则是能够对堆叠的封口片43的前后侧进行限位，并且外挡板44的半径有限，不会对摆动电机422与摆动杆423进行干涉。

在密闭瓶口外壁的过程中，全部依靠外封闭架3361进行封闭，具体的，所述外封闭架3361包括垂直固接在横向安装板334底面的安装腔3031，套接在所述安装腔3031外侧的连接环3032，安装在所述连接环3032上的若干助力油缸3033，插接在所述助力油缸3033内环壁上的外套筒3034，所述外套筒3034下移后套接在瓶口的外部，其中，助力油缸3033为主要的动力元件，外套筒3034为一有一定硬度的胶筒结构，其内径等于瓶口的外径，在外套筒3034下滑后会卡接在瓶口的外侧，从而将容器与外部的环境隔绝。

而虽然经过外套筒3034的封闭，但是，外套筒3034仅仅只是封闭瓶口的外侧，瓶口的内侧没有经过任何的处理措施，对此，本实施例中引入了内灌装架3362，内灌装架3362不仅能够起到原先的灌装效果，同时，还能够起到密封瓶口内侧的作用，具体的，所述内灌装架3362包括安装在安装腔3031内部的推杆电机3041，所述推杆电机3041的输出端上连接有一中空的导柱3042，所述导柱3042的内侧开设有导流道3043，所述导流道3043上分别连接有一与定量分料件32相通的进料管柱3044以及与外部空压机相通的真空管柱3045，所述导柱3042的底部连接一堵塞筒3046，所述堵塞筒3046下滑后卡紧在瓶口的内侧壁上，其中，堵塞筒3046会随着推杆电机3041、导柱3042的下移从而将瓶口的内侧壁封堵住，至此，通过堵塞筒3046与外套筒3034的两相封堵效果，保证在灌装前形成密封度高的密封内腔，仅通过进料管柱3044、真空管柱3045与外部建立一定的连接，而在经过严格的密封之后，则经进料管柱3044进入导流道3043内的光刻胶溶液能够处于一个无光、封闭的环境，被污染的几率降到最低。

需要强调的是，真空管柱3045可以延伸到整个安装室31的外部，不对整个灌装起到任何的影响，而进料管柱3044则必须在整个安装室31内，虽然其为不透明的软管，但是仍然需杜绝外部的影响，进料管柱3044的长度较长，且具有一定的弹性，需保证在内灌装架3362旋转的过程中不会缠绕在一起。

在整个密封过程，是存在一定的顺序的，即，先要让外套筒3034形成外封闭环境，然后通过真空管柱3045连接的外部空压机抽吸，让容器内形成真空环境，最后才令堵塞筒3046对瓶口进行堵塞，若在建立真空环境之前即让堵塞筒3046下移，则难以让容器内形成真空的环境，基于此，所述外套筒3034与安装腔3031的外壁间隔设置，所述外套筒3034的内侧壁锁接有一圈第一压电薄片3035，所述第一压电薄片3035与外部空压机电连接，当所述外套筒3034伸出并箍紧在瓶口外侧壁后，第一压电薄片3035受压压紧在瓶口外侧壁，所述外部空压机通过真空管柱3045抽吸容器内的空气，所述堵塞筒3046与安装腔3031的内壁间隔设置，所述堵塞筒3046的外侧锁接有一圈第二压电薄片3047，所述第二压电薄片3047与所述定量分料件32电连接，当所述堵塞筒3046伸出并垫压在瓶口的内侧壁后，所述第二压电薄片3047压紧在瓶口内侧壁，所述定量分料件32通过进料管柱3044灌装溶液至容器内。

首先进行的是外套筒3034的推出过程，当外套筒3034在安装腔3031的外侧时，由于二者为间隔设置，故外套筒3034上的第一压电薄片3035没有受力，而在外套筒3034下移后，外套筒3034内侧的第一压电薄片3035会受瓶口外壁的挤压得电，并且立即将已经封闭的信号输出到外部的空压机上，表明此时已经可以建立真空的环境；

同理，在堵塞筒3046的推出过程中，当堵塞筒3046位于安装腔3031的内侧时，由于二者为间隔设置，故堵塞筒3046上的第二压电薄片3047没有受力，而在堵塞筒3046下移后，堵塞筒3046外侧的第二压电薄片3047会受瓶口内壁的挤压得电，并且立即将已经实现双向封闭的信号输出至定量分料件32上，表明此时已经建立好灌装环境，可以立即进行灌装。

在本实施例中，堵塞筒3046的材料与外套筒3034的材料相同，其不同之处在于堵塞筒3046为一有一定硬度的实心胶柱结构，仅中心开导流道3043，故堵塞筒3046与外套筒3034上的压电薄片在与瓶口接触时堵塞筒3046与外套筒3034本身可以进行一定的形变，形变位置仅针对压电薄片安装的位置，在顶端与低端的位置仍不影响密闭的效果。

综上所述，密封瓶口的内外壁是通过堵塞筒3046与外套筒3034进行封闭，而若瓶口上沾染有灰尘或颗粒，则容易将卡于堵塞筒3046与外套筒3034与瓶口的径向位置上，故在进行上述的操作时需要先对瓶口进行处理，具体的：所述瓶口清理件335包括垂直固接在横向安装板334底面的液压缸3351，连接在所述液压缸3351输出端上的双层夹座3352，所述双层夹座3352包括与液压缸3351输出轴连接的第一夹座3501，设置在所述第一夹座3501内侧的第二夹座3502，所述第一夹座3501的孔径与容器外径相对应，所述第二夹座3502的孔径与容器内径相对应，在液压缸3351推出的过程中，会直接将第一夹座3501与第二夹座3502推出，第一夹座3501与第二夹座3502，第一夹座3501与第二夹座3502的内部具有一定的粘性，在下移的过程中要么直接将固体颗粒向下推走，直接推离瓶口的区域，要么将固体颗粒粘附在内壁带走，为堵塞筒3046与外套筒3034的下移密封配合提供较好的安装条件。

而在经过一次的清理之后，需要为下次清理做准备，对应的，所述第一夹座3501与第二夹座3502之间的间隙设置有一冲气阀3503，所述冲气阀3503的气口指向第一夹座3501与第二夹座3502的底沿，可在瓶口清理件335转动到远离容器的方向时通过冲气阀3503进行清洗，经高压气体将可能粘附在第一夹座3501与第二夹座3502内侧的固体颗粒冲走，为下次清洁提供优质配合环境。

在进料阶段，为了保证进料的精度，在本实施例中，共分为两道关卡，具体的，所述定量分料件32包括与供料筒20相通的第一电磁阀321，连接在所述第一电磁阀321出料端的第一暂容管322，固接在所述第一暂容管322出料端的第二电磁阀323，所述第二电磁阀323连接一第二暂容管324，所述第一暂容管322与第二暂容管324中均设置有重量传感器，在第一次进料时，供料筒20中的光刻胶溶液经第一电磁阀321流至第一暂容管322中，在第一暂容管322处可以进行第一次称重，在第一暂容管322需要让重量达标，否则第二电磁阀323无法打开，而在第二电磁阀323打开后溶液流至第二暂容管324中进行第二次的称重，通过两次的称重让溶液的重量到达要求，但是此时仍然没有直接输送至导流道3043中，而是需要等待第二压电薄片3047的信号，导流道304与第二暂容管324之间还设置有控制阀门。

进一步地，所述滑动横架331靠近瓶口的一端向下延伸设置有限位柱，通过限位柱能够限制横向安装板334的位置，通过物理限位的方式，在接触碰撞后横向安装板334无法再进行位移。

本发明的第二实施例还提供一种光刻胶成品自动化灌装方法，应用上述的一种光刻胶成品自动化灌装设备，具体步骤包括：

S1；进料：精准将容器通过输送架10输送至供料筒20的底部；

S2；清洁：将柔性的瓶口清理件335套接到瓶口的内外侧，对瓶口内外侧的污物进行粘附；

S3；密封：在清洁完毕后，令外套筒3034向下移动卡紧至瓶口的外侧面，确定卡紧后再通过真空吸附装置吸附容器内的残余气体；

S4；灌装：保持外套筒3034的卡紧状态，将堵塞筒3046伸入容器堵塞容器的内侧面，确定堵塞容器内侧面后再经导流道3043将光刻胶溶液注入容器中；

采用密封灌装转内部流路的方式，让光刻胶溶液的灌装无光、封闭，从而得到无污染、纯度高的光刻胶溶液。

S5；覆面：将堵塞筒3046缩回，随后缩回外套筒3034，外套筒3034缩回至与瓶口齐平后让滑动座后退，让倒覆结构40上的封口片43封紧在容器上，对容器的瓶口进行密封；

在整体灌装结束后随即进行瓶口端的密封，不让外部的污物有污染溶液的机会。

S6；输送：将灌装完成以及密封完成的容器通过输送架10输送至下一位置，重复上述的步骤。

进一步地，在步骤S3中，确定外套筒3034上的第一压电薄片3035压紧在瓶口的外侧壁后启动真空吸附装置。

进一步地，在步骤S4中，确定堵塞筒3046上的第二压电薄片3047压紧在瓶口的内侧壁后启动定量分料件32。

以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，包括：

一用于传输容器的输送架（10）；

安置在输送架（10）上方的供料筒（20），所述供料筒（20）上固接有若干进料阀（21），供料筒（20）内设置有搅拌螺带（22）；

安装在供料筒（20）上的分料结构（30），所述分料结构（30）包括锁紧在供料筒（20）底部的安装室（31），设于安装室（31）内且与供料筒（20）相通的定量分料件（32），与定量分料件（32）相通且指向输送架（10）上容器的分瓶处理组件（33）；

所述分瓶处理组件（33）包括通过螺栓锁固在安装室（31）底部的滑动横架（331），滑动设置在滑动横架（331）内轨上的滑动座（332），锁固在滑动座（332）上的转动电机（333），转动电机（333）的输出轴上安装有一横向安装板（334），横向安装板（334）底部的一端固接有瓶口清理件（335），横向安装板（334）底部的另一端锁固有灌装件（336）；

所述灌装件（336）包括有用于封闭瓶口的外封闭架（3361）以及设置在外封闭架（3361）内侧且用于灌装光刻胶溶液的内灌装架（3362），所述外封闭架（3361）套接在瓶口的外侧后内灌装架（3362）再伸入瓶口的内侧。

2.根据权利要求1所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，所述外封闭架（3361）包括垂直固接在横向安装板（334）底面的安装腔（3031），套接在所述安装腔（3031）外侧的连接环（3032），安装在所述连接环（3032）上的若干助力油缸（3033），插接在所述助力油缸（3033）内环壁上的外套筒（3034），所述外套筒（3034）下移后套接在瓶口的外部。

3.根据权利要求2所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，所述内灌装架（3362）包括安装在安装腔（3031）内部的推杆电机（3041），所述推杆电机（3041）的输出端上连接有一中空的导柱（3042），所述导柱（3042）的内侧开设有导流道（3043），所述导流道（3043）上分别连接有一与定量分料件（32）相通的进料管柱（3044）以及与外部空压机相通的真空管柱（3045），所述导柱（3042）的底部连接一堵塞筒（3046），所述堵塞筒（3046）下滑后卡紧在瓶口的内侧壁上。

4.根据权利要求3所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，所述外套筒（3034）与安装腔（3031）的外壁间隔设置，所述外套筒（3034）的内侧壁锁接有一圈第一压电薄片（3035），所述第一压电薄片（3035）与外部空压机电连接，当所述外套筒（3034）伸出并箍紧在瓶口外侧壁后，第一压电薄片（3035）受压压紧在瓶口外侧壁，所述外部空压机通过真空管柱（3045）抽吸容器内的空气。

5.根据权利要求3所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，所述堵塞筒（3046）与安装腔（3031）的内壁间隔设置，所述堵塞筒（3046）的外侧锁接有一圈第二压电薄片（3047），所述第二压电薄片（3047）与所述定量分料件（32）电连接，当所述堵塞筒（3046）伸出并垫压在瓶口的内侧壁后，所述第二压电薄片（3047）压紧在瓶口内侧壁，所述定量分料件（32）通过进料管柱（3044）灌装溶液至容器内。

6.根据权利要求1所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，所述瓶口清理件（335）包括垂直固接在横向安装板（334）底面的液压缸（3351），连接在所述液压缸（3351）输出端上的双层夹座（3352），所述双层夹座（3352）包括与液压缸（3351）输出轴连接的第一夹座（3501），设置在所述第一夹座（3501）内侧的第二夹座（3502），所述第一夹座（3501）的孔径与容器外径相对应，所述第二夹座（3502）的孔径与容器内径相对应，所述第一夹座（3501）与第二夹座（3502）之间的间隙设置有一冲气阀（3503），所述冲气阀（3503）的气口指向第一夹座（3501）与第二夹座（3502）的底沿。

7.根据权利要求1所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，所述定量分料件（32）包括与供料筒（20）相通的第一电磁阀（321），连接在所述第一电磁阀（321）出料端的第一暂容管（322），固接在所述第一暂容管（322）出料端的第二电磁阀（323），所述第二电磁阀（323）连接一第二暂容管（324），所述第一暂容管（322）与第二暂容管（324）中均设置有重量传感器。

8.根据权利要求2所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，进一步包括箍紧在外套筒（3034）外侧的倒覆结构（40），所述倒覆结构（40）包括锁固在外套筒（3034）外侧的弧形架（41），滑动安装在所述弧形架（41）两侧的两组承托件（42），堆叠在所述承托件（42）上的封口片（43），所述封口片（43）的侧壁贴合设置有固接在弧形架（41）上的外挡板（44），所述承托件（42）包括沿弧形架（41）外侧轨道滑动连接的调节座（421），以及锁紧在所述调节座（421）上的摆动电机（422），所述摆动电机（422）上插接有用于侧向偏摆的摆动杆（423），所述摆动杆（423）承接封口片（43）。

9.一种光刻胶成品自动化灌装方法，应用权利要求1-8任一项所述一种光刻胶成品自动化灌装设备，其特征在于，具体步骤包括：

S1；进料：精准将容器通过输送架（10）输送至供料筒（20）的底部；

S2；清洁：将柔性的瓶口清理件（335）套接到瓶口的内外侧，对瓶口内外侧的污物进行粘附；

S3；密封：在清洁完毕后，令外套筒（3034）向下移动卡紧至瓶口的外侧面，确定卡紧后再通过真空吸附装置吸附容器内的残余气体；

S4；灌装：保持外套筒（3034）的卡紧状态，将堵塞筒（3046）伸入容器堵塞容器的内侧面，确定堵塞容器内侧面后再经导流道（3043）将光刻胶溶液注入容器中；

S5；覆面：将堵塞筒（3046）缩回，随后缩回外套筒（3034），外套筒（3034）缩回至与瓶口齐平后让滑动座（332）后退，让倒覆结构（40）上的封口片（43）封紧在容器上，对容器的瓶口进行密封；

S6；输送：将灌装完成以及密封完成的容器通过输送架（10）输送至下一位置，重复上述的步骤。

10.根据权利要求9所述一种光刻胶成品自动化灌装方法，其特征在于，在步骤S3中，确定外套筒（3034）上的第一压电薄片（3035）压紧在瓶口的外侧壁后启动真空吸附装置，在步骤S4中，确定堵塞筒（3046）上的第二压电薄片（3047）压紧在瓶口的内侧壁后启动定量分料件（32）。

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