CN116356396B - 一种间隙定向流动的进液机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及电镀池进液机构的技术领域，提出了一种间隙定向流动的进液机构，包括架设在电镀池内的若干与阳极板一一对应的阳极盒，所述阳极盒平行套设在对应的阳极板外周，所述阳极盒包括设置在阳极板底部的喷液管；所述喷液管两端垂直连通有两组进液管；两组所述进液管之间设置有两组相对的连接板，两组所述连接板分别位于阳极板相对两侧且均与阳极板留有间距；所述喷液管、两组进液管以及两组连接板围合形成包裹阳极板的壳体；所述阳极盒朝向铜箔一侧的连接板开设有若干通孔，所述喷液管朝向铜箔一侧还连通有喷液通道且喷液通道的喷液方向与铜箔的传送方向平行设置。本申请具有在不影响铜箔正常电镀前提下及时补充有效电镀区铜离子的效果。

Description

一种间隙定向流动的进液机构

技术领域

本申请涉及电镀池进液结构的技术领域，尤其是涉及一种间隙定向流动的进液机构。

背景技术

PET复合铜箔进行电镀加厚工艺时通常在电镀池中进行，相关技术中，如图1，电镀池1底部设置液下辊10，铜箔2呈V形绕设于液下辊10，电镀池1内还设置两组阳极板11组，两组阳极板11组分别位于液下辊10的输入端与输出端，阳极板11组均由两组与铜箔2传送方向平行的阳极板11（阳极板11为不溶性阳极板11）构成且两组阳极板11分别位于铜箔2相对两侧。

阳极板与铜箔之间为有效电镀区，电镀时，位于有效电镀区内电解液铜离子不断析出金属铜并附在铜箔上，导致有效电镀区内电解液铜离子数量不断降低，但由于电镀池内阳极板与铜箔自身的阻隔，导致电镀池电解液循环流动性不足，电镀有效区外的铜离子浓度正常的电解液难以及时流入有效电镀区内以进行铜离子的补充，导致铜箔电镀受影响，容易引起铜箔无效电镀（即电镀电流不变，走带速度不变，但没法达到预期的电镀厚度要求）。

针对这一技术问题，目前传统解决方案有以下两种：第一种是在阳极板上打孔以提升有效电镀区内外电解液流动性，但该种处理方式电解液的流速缓慢，使得电解液整体循环流动仍较为局限，且由于在阳极板上打孔影响了阳极板的反射面积，容易影响铜箔的正常电镀。另一种持续性往电镀池进行电解液的大流量喷射，此种方式虽可存进有效电镀区内外电解液循环流动来补充有效电镀区内电解液铜离子浓度，但由于待镀铜箔自身厚度较小，进行电解液的大流量喷射极易导致铜箔产生强烈的颤动甚至撕裂，导致铜箔无法正常电镀。

发明内容

为了在不影响铜箔正常电镀的前提下及时补充有效电镀区内铜离子，本申请提供了一种间隙定向流动的进液机构。

本申请提供的一种间隙定向流动的进液机构，采用如下的技术方案：

一种间隙定向流动的进液机构，包括架设在电镀池内的若干与阳极板一一对应的阳极盒，所述阳极盒平行套设在对应的阳极板外周，所述阳极盒包括设置在阳极板底部的喷液管；所述喷液管两端垂直连通有两组进液管；两组所述进液管之间设置有两组相对的连接板，两组所述连接板分别位于阳极板相对两侧且均与阳极板留有间距；所述喷液管、两组进液管以及两组连接板围合形成包裹阳极板的壳体；所述阳极盒朝向铜箔一侧的连接板开设有若干通孔，所述喷液管朝向铜箔一侧还连通有喷液通道且喷液通道的喷液方向与铜箔的传送方向平行设置。

通过采用上述技术方案，电镀过程中，往两组进液管内持续注入电解液，电解液经由进液管流入至喷液管内后经由喷液管上的喷液通道喷出，由于喷液管位于阳极板底部且喷液管上的喷液通道位于喷液管朝向铜箔的一侧，使得喷出的电解液可以快速由下至上定向流动至阳极板与铜箔之间的有效电镀区，实现对有效电镀区铜离子的及时补充，使得电镀过程中有效电镀区的电解液的铜离子浓度可以始终保持在工艺设定范围内，减少铜箔出现的无效电镀的情况；通过喷液通道的喷液方向与铜箔传送方向平行，减少了由喷液通道喷出的电解液对铜箔的扰动，进而减少喷液过程中铜箔出现抖动撕裂的情况，实现在不影响铜箔电镀的情况下快速补充地有效电镀区内铜离子的浓度。

优选的，所述喷液通道包括开设在喷液管上表面的喷液口，所述喷液口位于喷液管朝向铜箔的一侧且喷液口与阳极盒朝向铜箔一侧的连接板相对设置，所述阳极盒朝向铜箔一侧的连接板底端伸入至喷液口内并与喷液口相对两侧内壁留有间距。

通过采用上述技术方案，电解液可以同时喷出至与阳极盒内腔与阳极盒与铜箔之间的区域，在实现对有效电镀区注入新的电解液以补充有效电镀区铜离子浓度的同时，提升阳极盒内部电解液的循环流动性，加速阳极盒内电解液中铜离子通过连接板上的通孔均匀快速地流向有效电镀区，使得在电镀过程中有效电镀区的铜离子的及时补充。

优选的，两组所述进液管相对一侧均开设有滑槽且滑槽顶端开口设置，阳极板相对两侧分别滑动插接于两组进液管的滑槽内。

通过采用上述技术方案，实现将阳极板架设安装在电镀池内，同时使得阳极板可拆卸连接于阳极盒，便于后续阳极板的拆洗更换。

优选的，所述进液管顶端垂直连通有主连接管，所述主连接管轴线与喷液管长度方向平行，所述主连接管远离进液管的一端通过连接组件可拆卸连通有副连接管，所述副连接管远离主连接管的一端穿设固定于电镀池侧壁。

通过采用上述技术方案，电镀过程中，可将电解液从副连接管通入，再依次经由主连接管与进液管与进液管流入至喷液管内最后经由喷液通道喷出；实现对有效电镀区铜离子的及时补充。同时实现阳极盒可拆卸架设在电镀池内，使得阳极盒无需与电镀池一体成型，后续定期冲洗清洁电镀池时，还可将阳极盒从电镀池内拆除，以便于更好冲洗清洁电镀池。

优选的，所述连接组件包括分别同轴设置在主连接管与副连接管相互靠近一端的主法兰与副法兰，所述的主法兰与副法兰通过若干螺栓螺母副相连接。

通过采用上述技术方案，拆装主法兰与副法兰之间的螺栓螺母副便可实现主连接管与副连接管之间的断开与连接，使得阳极盒的拆装更加简单方便。

优选的，所述喷液管顶端与阳极板底端留有间距；所述阳极盒背离铜箔的一侧的连接板底部均匀开设有若干连接孔。

通过采用上述技术方案，使得阳极盒背离铜箔一侧的电解液可以通过连接孔进入至阳极盒内腔，再经由阳极盒朝向铜箔一侧的连接板上通孔流入阳极盒与铜箔之间间隙，提升有效电镀区外电解液的循环流动性，便于更好补充有效电镀区的铜离子。

优选的，还包括若干与进液管一一相对的限位件，所述限位件包括两组平行设置的限位板，所述限位板固定在电镀池与进液管相对的内侧壁，两组所述限位板形成供进液管插入的限位槽，所述阳极盒两侧的进液管分别插接于对应的限位槽内。

通过采用上述技术方案，安装阳极盒时，可将阳极盒相对两侧的进液管插入至对应限位槽内，以实现阳极盒的快速导向与定位，同时移动阳极盒使主连接管与副连接管相对。

优选的，所述进液管朝向限位板的一侧顶部均凸出设置有卡接板，当所述进液管插入对应限位槽并滑动至卡接板与限位板顶端抵接时，所述主法兰与副法兰相对设置。

通过采用上述技术方案，安装阳极盒时，将阳极盒两侧进液管分别滑入对应的限位槽后，进一步向下滑动阳极盒直至卡接板与限位板顶端抵接，便可实现主法兰与副法兰相对，便于通过螺栓螺母副连接主法兰与副法兰。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过阳极盒平行套设在对应阳极板外周，阳极盒包括位于对应阳极板底部的喷液管，喷液管两端垂直连通有进液管，两组所述进液管之前还设置有两组连接板，两组连接板、两组进液管以及喷液管围合形成套设阳极板的壳体；喷液管朝向铜箔的一侧开设有喷液通道且喷液通道的喷液方向与铜箔传送方向平行；电镀时往进液管内持续注入电解液，电解液经由进液管流入喷液管再经由喷液通道喷出，实现由下至上定向补充有效电镀区内的铜离子，通过喷液通道的喷液方向与铜箔传送方向平行，有利于减少喷液通道喷出电解液的对铜箔正常传送造成干扰。

2.通过进液管顶端垂直连通有主进液管，主进液管通过连接组件可拆卸连接有副连接管，副连接管远离主连接管的一端穿设固定于电镀池侧壁，实现阳极盒可拆卸架设在电镀池内的，同时便于后续冲洗电镀池时将阳极板连同阳极板一同拆出电镀池外。

3.通过阳极盒背离铜箔的一侧底部均开设有若干连接孔，喷液管顶部与阳极板底端留有间距，电极液喷入阳极盒内腔的同时，阳极盒背离铜箔一侧电解液可以通过连接孔进入阳极盒内，再经由连接板上的通孔流向有效地电镀区，实现有效电镀区内外电解液的循环流动，有利于更好地补充有效电镀区内电解液的铜离子。

附图说明

图1是用于示意现有电镀池电镀铜箔时的示意图。

图2是实施例一的整体结构示意图。

图3是实施例一用于示意阳极盒内部结构的示意图。

图4是用于示意进液机构电解液流向的示意图。

图5是图3中A部的放大示意图。

图6是实施例一用于示意阳极盒的示意图。

图7是图5中B部的放大示意图。

图8是实施例二的局部结构示意图。

图9是实施例三的局部结构示意图。

附图标记说明：

1、电镀池；10、液下辊；11、阳极板；12、溢流槽；2、铜箔；3、阳极盒；31、喷液管；311、喷液口；32、进液管；321、滑槽；33、连接板；331、通孔；332、连接孔；34、主连接管；341、主法兰；35、副连接管；351、副法兰；4、限位板；40、限位槽；41、卡接板。

具体实施方式

以下结合附图1-9对本申请作进一步详细说明。

参照图2及图3，电镀池1底部安装有液下辊10，铜箔2呈V形绕设于液下辊10，电镀池1内还设置有两组阳极板组，两组阳极板组分别位于液下辊10两侧，阳极板组均包括两组阳极板11，两组阳极板11分别位于铜箔2相对两侧并与铜箔2平行设置，电镀池1内腔相对两侧顶部均连通有溢流槽12以供电解液回流。

本申请实施例公开一种间隙定向流动的进液机构。

实施例一

一种间隙定向流动的进液机构，参照图2及图3，包括架设在电镀池1内的若干与阳极板11一一对应的阳极盒3，阳极盒3平行套设在对应的阳极板11外周，阳极盒3包括设置在阳极板11底部的喷液管31，喷液管31两端垂直连通有进液管32，两组进液管32之间对拉连接有两组连接板33，两组连接板33分别位于阳极板11相对两侧且均与阳极板11留有间距。喷液管31、两组进液管32以及两组连接板33围合形成套设阳极板11的壳体结构；阳极盒3朝向铜箔2一侧均匀开设有若干通孔331；喷液管31朝向铜箔2一侧开设有喷液通道，喷液通道的喷液方向与铜箔2传送方向平行。

参照图4及图5，电镀过程中，通过两组进液管32持续往喷液管31内通入电解液，电解液流入喷液管31后经由喷液通道喷出，通过喷液通道喷液方向与铜箔2传送方向平行，减少了电解液补充过程中造成铜箔2扰动甚至导致铜箔2撕裂的情况，同时实现电解液定向补充至有效电镀区，使得有效电镀区内的电解液的铜离子始终保持在正常工艺范围。

参照图6及图7，阳极盒3的两组进液管32相对一侧均开设有滑槽321，滑槽321顶部开口设置，阳极板11相对两侧分别滑动连接于两组进液管32的滑槽321内，实现阳极板11可拆卸连接于阳极盒3，便于阳极板11的拆装更换。

参照图3及图5，喷液通道包括开设在喷液管31上表面的喷液口311，喷液口311位于喷液管31朝向铜箔2的一侧且喷液口311与阳极盒3朝向铜箔2一侧的连接板33相对，阳极盒3朝向铜箔2一侧的连接板33底端伸入至喷液口311内并与喷液口311相对两侧留有间距，实现喷液通道的喷液方向与铜箔2传送方向平行，通过以上设置，从进液管32流入喷液管31的电解液可以同时从阳极盒3底部外侧以及阳极盒3内腔底部喷出。实现及时补充有效电镀区内电解液铜离子浓度同时，促进阳极盒3内腔电解液流动，进而使得阳极盒3内的铜离子可以更好地通过连接板33上通孔331进入有效电镀区内。

参照图2及图6，进液管32顶端均垂直连通有主连接管34，主连接管34轴向与喷液管31的长度方向平行，主连接管34远离进液管32的一端通过连接组件可拆卸连接有副连接管35，副连接管35远离主连接管34的一端穿设固定在电镀池1与进液管32相对的内侧壁上；通过以上设置，实现将阳极盒3可拆卸架设在电镀池1内，使得阳极盒3无需与电镀池1一体成型，后续冲洗清洁电镀池1时，可将打开连接组件以断开主连接管34与副连接管35之间的连接，进而将阳极盒3连通阳极板11从电镀池1内拆除以便于更好地清理电镀池1，同时阳极盒3可从电镀池1内拆除清洗以便于更彻底进行清洁。

参照图6，连接组件包括分别同轴固定在主连接管34与副连接管35相互靠近一端的主法兰341与副法兰351，主法兰341与副法兰351之间通过若干螺栓螺母副固定，实现主连接管34与副连接管35的可拆卸连通。

实施例一的实施原理为：铜箔2电镀时，电解液中铜离子陆续析出为金属铜附在铜箔2上。有效电镀区原有电解液的铜离子浓度会逐步降低，比重逐步变轻而上浮，最后进入电镀池1两侧溢流槽12实现回流。电镀过程中通过副连接管35持续往进液管32内注入电解液，电解液经由进液管32流入喷液管31内，之后通过连接板33与喷液口311之间的间隙喷出以定向喷入阳极板11与铜箔2之间的有效电镀区，实现对有效电镀区内铜离子的及时补充，使得有效电镀区内的铜离子浓度可以始终位置在正常范围，以便于电镀的正常进行，通过喷液通道的喷液方向与铜箔2传送方向平行，实现在及时补充有效电镀区内铜离子的同时降低喷液过程中对铜箔2的扰动，便于铜箔2电镀的正常进行。

实施例二

参照图8，实施例二与实施例一的不同之处在于：喷液管31顶部与对应阳极板11底部留有间距；阳极盒3背离铜箔2一侧的连接板33底部均匀开设有若干连接孔332，通过以上设置，流入喷液管31的电极液从连接板33与喷液口311之间间隙喷出时，阳极盒3底部压强减小，使得此时阳极盒3内背离铜箔2一侧电解液可以通过连接孔332进入阳极盒3内腔，经由阳极板11与喷液管31之间的间隙流入阳极板11与阳极盒3靠近铜箔2一侧连接板33的间隙，实现对有效电镀区内铜离子的进一步补充。

实施例二的实施原理与实施一的实施原理的相同，故此不再进行赘述。

实施例三

参照图9，实施例三与实施例一的不同之处在于，一种间隙定向流动的进液机构还包括若干与进液管32一一对应的限位件，限位件包括平行设置两组限位板4，两组限位板4固定在于电镀池1与进液管32相对的内壁上，两组限位板4形成供进液管32插接的限位槽40，阳极盒3两侧进液管32分别滑入至对应的限位槽40内，限位槽40的设置实现对阳极盒3的导向，便于后续使主连接管34上的主法兰341与副连接管35上的副法兰351相对。

进液管32朝向限位板4一侧顶部均突出设置有卡接板41，当阳极盒3的进液管32滑入限位槽40并滑动至卡接板41与限位板4顶部抵接时，主法兰341与副法兰351相对设置，便于主法兰341与副法兰351的快速定位，进而便于后续通过螺栓螺母副连接主法兰341与副法兰351，使得阳极盒3的拆装更加简单方便。同时进液管32挂接于限位板4顶部，极大减小了阳极盒3载荷集中在主法兰341与副法兰351之间，使得主连接管34与副连接管35连接处不易受损。

实施例三的实施原理与实施一的实施原理的相同，故此不再进行赘述。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：包括架设在电镀池(1)内的若干与阳极板(11)一一对应的阳极盒(3)，所述阳极盒(3)平行套设在对应的阳极板(11)外周，所述阳极盒(3)包括设置在阳极板(11)底部的喷液管(31)；所述喷液管(31)两端垂直连通有两组进液管(32)；两组所述进液管(32)之间设置有两组相对的连接板(33)，两组所述连接板(33)分别位于阳极板(11)相对两侧且均与阳极板(11)留有间距；所述喷液管(31)、两组进液管(32)以及两组连接板(33)围合形成包裹阳极板(11)的壳体；所述阳极盒(3)朝向铜箔(2)一侧的连接板(33)开设有若干通孔(331)，所述喷液管(31)朝向铜箔(2)一侧还连通有喷液通道且喷液通道的喷液方向与铜箔(2)的传送方向平行设置。

2.根据权利要求1所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：所述喷液通道包括开设在喷液管(31)上表面的喷液口(311)，所述喷液口(311)位于喷液管(31)朝向铜箔(2)的一侧且喷液口(311)与阳极盒(3)朝向铜箔(2)一侧的连接板(33)相对设置，所述阳极盒(3)朝向铜箔(2)一侧的连接板(33)底端伸入至喷液口(311)内并与喷液口(311)相对两侧内壁留有间距。

3.根据权利要求1所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：两组所述进液管(32)相对一侧均开设有滑槽(321)且滑槽(321)顶端开口设置，阳极板(11)相对两侧分别滑动插接于两组进液管(32)的滑槽(321)内。

4.根据权利要求2所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：所述进液管(32)顶端垂直连通有主连接管(34)，所述主连接管(34)轴线与喷液管(31)长度方向平行，所述主连接管(34)远离进液管(32)的一端通过连接组件可拆卸连通有副连接管(35)，所述副连接管(35)远离主连接管(34)的一端穿设固定于电镀池(1)侧壁。

5.根据权利要求4所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：所述连接组件包括分别同轴设置在主连接管(34)与副连接管(35)相互靠近一端的主法兰(341)与副法兰(351)，所述的主法兰(341)与副法兰(351)通过若干螺栓螺母副相连接。

6.根据权利要求1所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：所述喷液管(31)顶端与阳极板(11)底端留有间距；所述阳极盒(3)背离铜箔(2)的一侧的连接板(33)底部均匀开设有若干连接孔(332)。

7.根据权利要求5所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：还包括若干与进液管(32)一一相对的限位件，所述限位件包括两组平行设置的限位板(4)，所述限位板(4)固定在电镀池(1)与进液管(32)相对的内侧壁，两组所述限位板(4)形成供进液管(32)插入的限位槽(40)，所述阳极盒(3)两侧的进液管(32)分别插接于对应的限位槽(40)内。

8.根据权利要求7所述的一种间隙定向流动的进液机构，其特征在于：所述进液管(32)朝向限位板(4)的一侧顶部均凸出设置有卡接板(41)，当所述进液管(32)插入对应限位槽(40)并滑动至卡接板(41)与限位板(4)顶端抵接时，所述主法兰(341)与副法兰(351)相对设置。