CN115971145B - 一种石墨舟清洗设备及清洗方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种石墨舟清洗设备及清洗方法，将水洗槽中的清水从后往前溢流能够减少清水的消耗，为了避免清水不同的污染程度带来的清洗效果的差距，在进行多批次同时清洗时，将与最后一个水洗槽的距离近和距离远的水洗槽设定为一个序列，这样石墨舟经过一个序列的清洗时，就能够受到几乎相同的水质的清水的清洗，最后再经过最后一个水洗槽中纯净清水的清洗进一步提高清洗质量，同时最后送入的水洗槽的清洗时间为(1/M)T，还可以保证不同批次之间的清洗不产生干扰。

Description

一种石墨舟清洗设备及清洗方法

技术领域

本申请属于光伏硅片生产技术领域，尤其是涉及一种石墨舟清洗设备及清洗方法。

背景技术

光伏硅片生产过程中，承载的石墨舟也需要进行清洗，对于石墨舟的清洗通常需要经过酸洗和清水洗两个过程。

如中国专利文献CN215613630U公开了一种石墨舟清洗系统，包括：酸洗槽组，所述酸洗槽组中包括多个酸洗槽；喷淋槽，用于对石墨舟及夹持石墨舟的机械臂进行喷淋冲洗；水洗槽组，所述水洗槽组中包括多个水洗槽；慢提槽，用于去除石墨舟表面的金属离子；所述酸洗槽组、喷淋槽、水洗槽组和慢提槽顺次排列。然而，其中的水洗槽组中每个水洗槽均是独立进出水，导致水资源的浪费。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种节约用水且保证清洗质量均衡的石墨舟清洗设备及清洗方法。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种石墨舟清洗设备，包括：

依次设置的上下料工位、若干个酸洗槽、不少于酸洗槽数量的水洗槽以及沥干槽，用于将石墨舟从上下料工位开始依次经过至少一个酸洗槽、至少一个水洗槽、沥干槽再返回上下料工位的搬运机构；

所述水洗槽中的清水从后往前溢流；

若石墨舟清洗设备需要同时处理N组石墨舟，则将水洗槽分为N+1组，其中最后一个水洗槽为单独的一组，按照与最后一个水洗槽的距离远近的顺序对其余水洗槽进行编号，将水洗槽设定为N个序列，每个序列中包括相同数量的水洗槽，每个水洗槽均位于且只位于一个序列中，所有序列中的编号总和相同或者接近；

若每个石墨舟总水洗时间为T，水洗槽数量为M，则搬运机构带动石墨舟依次完成序列内的水洗槽，并最后送入最后一个水洗槽，其中序列内的水洗槽的清洗时间为(N/M)T，最后送入的水洗槽的清洗时间为(1/M)T。

优选地，本发明的石墨舟清洗设备，所述酸洗槽中的酸洗液也后往前溢流。

优选地，本发明的石墨舟清洗设备，功能相同的水洗槽参与溢流，功能不同的水洗槽相互之间不溢流。

优选地，本发明的石墨舟清洗设备，所述酸洗槽为5个、参与溢流的水洗槽为5个、沥干槽为1个，同时清洗两个批次的石墨舟时，将离水洗槽最近和最远的水洗槽划分为一个序列，中间两个水洗槽划分为一个序列。

优选地，本发明的石墨舟清洗设备，所述水洗槽数量为M-1不为N的整数倍时，则将多出N的整数倍的水洗槽作为单独一组。

优选地，本发明的石墨舟清洗设备，单独一组的所述水洗槽的处理与最后一个水洗槽的处理方式相同，或者直接跳过不参与清洗。

本发明还提供一种石墨舟清洗方法，

使用的石墨舟清洗设备包括：

依次设置的上下料工位、若干个酸洗槽、不少于酸洗槽数量的水洗槽以及沥干槽，用于将石墨舟从上下料工位开始依次经过至少一个酸洗槽、至少一个水洗槽、沥干槽再返回上下料工位的搬运机构；

所述水洗槽中的清水从后往前溢流；

包括以下步骤：

S1：获取石墨舟清洗设备需要同时处理石墨舟的组数：N，每个石墨舟总水洗时间：T；

S2：将水洗槽分为N+1组，其中最后一个水洗槽为单独的一组，按照与最后一个水洗槽的距离远近的顺序对其余水洗槽进行编号；

S3：将水洗槽设定为N个序列，每个序列中包括相同数量的水洗槽，每个水洗槽均位于且只位于一个序列中，所有序列中的编号总和相同或者接近；

S4：搬运机构带动石墨舟依次完成序列内的水洗槽，并最后送入最后一个水洗槽，其中序列内的水洗槽的清洗时间为(N/M)T，最后送入的水洗槽的清洗时间为(1/M)T，其中M为水洗槽数量。

优选地，本发明的石墨舟清洗方法，所述酸洗槽中的酸洗液也后往前溢流。

优选地，本发明的石墨舟清洗方法，功能相同的水洗槽参与溢流，功能不同的水洗槽相互之间不溢流。

优选地，本发明的石墨舟清洗方法，所述水洗槽数量为M-1不为N的整数倍时，则将多出N的整数倍的水洗槽作为单独一组；

单独一组的所述水洗槽的处理与最后一个水洗槽的处理方式相同，或者直接跳过不参与清洗。

本发明的有益效果是：

本发明的石墨舟清洗设备及清洗方法，将水洗槽中的清水从后往前溢流能够减少清水的消耗，为了避免清水不同的污染程度带来的清洗效果的差距，在进行多批次同时清洗时，将与最后一个水洗槽的距离近和距离远的水洗槽设定为一个序列，这样石墨舟经过一个序列的清洗时，就能够受到几乎相同的水质的清水的清洗，最后再经过最后一个水洗槽中纯净清水的清洗进一步提高清洗质量，同时最后送入的水洗槽的清洗时间为(1/M)T，还可以保证不同批次之间的清洗不产生干扰。

附图说明

下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。

图1是本申请实施例的石墨舟清洗设备一种设置形式的结构示意图；

图2是本申请实施例的搬运机构一种设置形式的结构示意图；

图3是本申请实施例的搬运机构中顶部滑轨截断后的结构示意图；

图4是本申请实施例的装载有石墨舟的机械手的结构示意图；

图5是本申请实施例的未装载石墨舟的机械手的结构示意图；

图中的附图标记为：

1 上下料工位；

2 酸洗槽；

3 水洗槽；

4 沥干槽；

5 搬运机构；

9 石墨舟；

10 平面；

51 顶部滑轨；

52 竖直滑轨；

53 滑动支架；

54 竖直滑动座；

55 机械手；

56 压篮感应组件；

57 石墨舟挂篮；

551 J形挂钩；

561 顶杆；

562 感应口；

563 感应器；

564 中空块；

571 侧板；

572 支撑杆；

573 横向杆；

574纵向杆。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。

实施例1

本实施例提供一种石墨舟清洗设备，如图1所示，包括：

依次设置的上下料工位1、若干个酸洗槽2、不少于酸洗槽2数量的水洗槽3以及沥干槽4，用于将石墨舟从上下料工位1开始依次经过至少一个酸洗槽2、至少一个水洗槽3、沥干槽4再返回上下料工位1的搬运机构5；

所述水洗槽3中的清水从后往前溢流(也即清水从最后一个水洗槽3开始流经前面全部的水洗槽3)；

若石墨舟清洗设备需要同时处理N组石墨舟，则将水洗槽3分为N+1组，其中最后一个水洗槽3为单独的一组，按照与最后一个水洗槽3的距离远近的顺序对其余水洗槽3进行编号，将水洗槽3设定为N个序列，每个序列中包括相同数量的水洗槽3，每个水洗槽3均位于且只位于一个序列中，所有序列中的编号总和相同或者接近；

若每个石墨舟总酸洗或者总水洗时间为T，水洗槽3数量为M，则搬运机构5带动石墨舟依次完成序列内的水洗槽3，并最后送最后一个水洗槽3，其中序列内的水洗槽3的清洗时间为(N/M)T，最后送入的水洗槽3的清洗时间为(1/M)T。

以5个水洗槽3，总水洗时间为10分钟，则根据要求进行以下方式的清洗：

编号	4	3	2	1	最后一个
						第一序列		清洗4分钟	清洗4分钟		清洗2分钟
第二序列	清洗4分钟			清洗4分钟	清洗2分钟

本实施例中，将水洗槽3中的清水从后往前溢流能够减少清水的消耗，为了避免清水不同的污染程度带来的清洗效果的差距，在进行多批次同时清洗时，将与最后一个水洗槽3的距离近和距离远的水洗槽3设定为一个序列，这样石墨舟经过一个序列的清洗时，就能够受到几乎相同的水质的清水的清洗，最后再经过最后一个水洗槽3中纯净清水的清洗进一步提高清洗质量，同时最后送入的水洗槽3的清洗时间为(1/M)T，还可以保证不同批次之间的清洗不产生干扰。

通常来说酸洗槽2单独进酸洗液，如果有需要，所述酸洗槽2中的酸洗液也后往前溢流，其与水洗槽3采用相同的处理方法来进行分批次清洗。

当水洗槽3有多种功能时，功能相同的水洗槽3参与溢流，功能不同的水洗槽3相互之间不溢流，比如可以在酸洗槽2与水洗槽3之间设置喷淋槽而不再溢流。

进一步，所述水洗槽3数量为M-1不为N的整数倍时，则将多出N的整数倍的水洗槽3作为单独一组。单独一组的所述水洗槽3的处理与最后一个水洗槽3的处理方式相同，或者直接跳过不参与清洗。

单独一组的所述水洗槽(3)的处理与最后一个水洗槽(3)的处理方式相同，或者直接跳过不参与清洗。

搬运机构5的具体结构可以包括：

顶部滑轨51，为水平设置的相互平行的两条；

滑动支架53，设置在两条顶部滑轨51上，能够在水平驱动件驱动下沿顶部滑轨51运动；

竖直滑轨52，竖直地设置在滑动支架53下方，所述竖直滑轨52底部具有滚轮；

竖直滑动座54，滑动地设置在竖直滑轨52上，并能够在竖直驱动件驱动下沿竖直滑轨52运动；

机械手55，两侧包括两个并列的J形挂钩551，J形挂钩551用于勾住石墨舟挂篮57的两端；

压篮感应组件56，包括能够上下活动的顶杆561，所述顶杆561上开设有感应口562，所述顶杆561一侧设置有感应器563，当所述顶杆561被石墨舟挂篮57顶起时，所述感应口562与感应器563错位，顶杆561遮挡并反射感应器563发出的信号进而使得感应器563发出感应信号，也即感应器563为接近传感器，也可以设置成对射传感器，正常状态下，发射端的发射线能穿过感应口562到达接收端，发生压篮时，感应口562位置改变从而阻挡了光线，接收端也就无法接收到光线。

本实施例的搬运机构中，滑动支架53在顶部滑轨51上水平运动、竖直滑动座54在竖直滑轨52上运动以实现机械手55挂载石墨舟挂篮57的水平和竖直位移，通过石墨舟挂篮57能尽可能多地装载石墨舟，同时，通过压篮感应组件56中顶杆561的运动，通过简单结构实现了压篮的传感，具有可靠性高，寿命长的优点。

所述顶杆561为扁平形，且底部具有膨大端。所述顶杆561垂直于石墨舟挂篮57的侧板571。

进一步地，所述顶杆561穿过中空块564设置，所述中空块564固定在机械手55上。

所述石墨舟挂篮57，如图5所示，包括侧板571(也即一侧为第一侧板、另一侧为第二侧板)，位于侧板571之间的并与侧板571平行的若干U形支撑杆572，连接侧板571和支撑杆572的横向杆573，搭在横向杆573上的纵向杆574。纵向杆574将石墨舟挂篮57分成了上下两层，以使得石墨舟挂篮57能放置两层石墨舟9，放置下层石墨舟9时，纵向杆574需被拿走，下层装满后再将纵向杆574放回再放上层石墨舟9。侧板571上设置有圆孔，圆孔一方面是为了减材，一方面是为了各种清洗液的流动更加通畅。侧板571的两侧具有供机械手55的J形挂钩551配合的挂点。

所述顶部滑轨51和竖直滑轨52上均覆盖有风琴式防护罩，以防止灰尘或者液滴落到滑轨上，图3中的风琴式防护罩仅仅是示意性地画出了一小段，风琴式防护罩本身具有伸缩性，能够不阻碍滑动支架53和竖直滑动座54的移动。所述竖直滑动座54底部安装有轮子，用于沿着槽体顶部两侧的平面10进行移动，以使得整体机构的运行更加稳定。其中，中间具有若干酸洗槽、若干清水槽、沥干槽等，本申请实施例的石墨舟传输机构就是将石墨舟带到其中的任意一个槽中。

如图1中所示酸洗槽2为5个、鼓泡+参与溢流的水洗槽3为5个、沥干槽4为1个。水洗槽3中喷淋/浸泡水洗的1个，鼓泡+溢流的4个，鼓泡+溢流+超声波的1个。酸洗槽2中的清洗液为：HF+HCL+DI水，水洗槽3为DI水(去离子水)。

实施例2

本实施例提供一种石墨舟清洗方法，

使用的石墨舟清洗设备包括：

依次设置的上下料工位1、若干个酸洗槽2、不少于酸洗槽2数量的水洗槽3以及沥干槽4，用于将石墨舟从上下料工位1开始依次经过至少一个酸洗槽2、至少一个水洗槽3、沥干槽4再返回上下料工位1的搬运机构5；

所述水洗槽3中的清水从后往前溢流；

包括以下步骤：

S1：获取石墨舟清洗设备需要同时处理石墨舟的组数：N，每个石墨舟总水洗时间：T；

S2：将水洗槽3分为N+1组，其中最后一个水洗槽3为单独的一组，按照与最后一个水洗槽3的距离远近的顺序对其余水洗槽3进行编号；

S3：将水洗槽3设定为N个序列，每个序列中包括相同数量的水洗槽3，每个水洗槽3均位于且只位于一个序列中，所有序列中的编号总和相同或者接近；

S4：搬运机构5带动石墨舟依次完成序列内的水洗槽3，并最后送入最后一个水洗槽3，其中序列内的水洗槽3的清洗时间为(N/M)T，最后送入的水洗槽3的清洗时间为(1/M)T，其中M为水洗槽3数量。

本实施例的方法与实施例1中的优点相同。

进一步地，所述酸洗槽2中的酸洗液也后往前溢流。

进一步地，功能相同的水洗槽3参与溢流，功能不同的水洗槽3相互之间不溢流。

进一步地，所述水洗槽3数量为M-1不为N的整数倍时，则将多出N的整数倍的水洗槽3作为单独一组；

以上述依据本申请的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项申请技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项申请的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种石墨舟清洗设备，其特征在于，包括：

依次设置的上下料工位（1）、若干个酸洗槽（2）、不少于酸洗槽（2）数量的水洗槽（3）以及沥干槽（4），用于将石墨舟从上下料工位（1）开始依次经过至少一个酸洗槽（2）、至少一个水洗槽（3）、沥干槽（4）再返回上下料工位（1）的搬运机构（5）；

所述水洗槽（3）中的清水从后往前溢流；

若石墨舟清洗设备需要同时处理N组石墨舟，则将水洗槽（3）分为N+1组，其中最后一个水洗槽（3）为单独的一组，按照与最后一个水洗槽（3）的距离远近的顺序对其余水洗槽（3）进行编号，将水洗槽（3）设定为N个序列，每个序列中包括相同数量的水洗槽（3），每个水洗槽（3）均位于且只位于一个序列中，所有序列中的编号总和相同或者接近；

若每个石墨舟总水洗时间为T，水洗槽（3）数量为M，则搬运机构（5）带动石墨舟依次完成序列内的水洗槽（3），并最后送入最后一个水洗槽（3），其中序列内的水洗槽（3）的清洗时间为(N/M)T，最后送入的水洗槽（3）的清洗时间为(1/M)T。

2.根据权利要求1所述的石墨舟清洗设备，其特征在于，所述酸洗槽（2）中的酸洗液也从后往前溢流。

3.根据权利要求1所述的石墨舟清洗设备，其特征在于，功能相同的水洗槽（3）参与溢流，功能不同的水洗槽（3）相互之间不溢流。

4.根据权利要求1所述的石墨舟清洗设备，其特征在于，所述酸洗槽（2）为5个、参与溢流的水洗槽（3）为5个、沥干槽（4）为1个，同时清洗两个批次的石墨舟时，将离水洗槽（3）最近和最远的水洗槽（3）划分为一个序列，中间两个水洗槽（3）划分为一个序列。

5.根据权利要求1所述的石墨舟清洗设备，其特征在于，所述水洗槽（3）数量为M-1不为N的整数倍时，则将多出N的整数倍的水洗槽（3）作为单独一组。

6.根据权利要求5所述的石墨舟清洗设备，其特征在于，单独一组的所述水洗槽（3）的处理与最后一个水洗槽（3）的处理方式相同，或者直接跳过不参与清洗。

7.一种石墨舟清洗方法，其特征在于，

使用的石墨舟清洗设备包括：

依次设置的上下料工位（1）、若干个酸洗槽（2）、不少于酸洗槽（2）数量的水洗槽（3）以及沥干槽（4），用于将石墨舟从上下料工位（1）开始依次经过至少一个酸洗槽（2）、至少一个水洗槽（3）、沥干槽（4）再返回上下料工位（1）的搬运机构（5）；

所述水洗槽（3）中的清水从后往前溢流；

包括以下步骤：

S1：获取石墨舟清洗设备需要同时处理石墨舟的组数：N，每个石墨舟总水洗时间：T；

S2：将水洗槽（3）分为N+1组，其中最后一个水洗槽（3）为单独的一组，按照与最后一个水洗槽（3）的距离远近的顺序对其余水洗槽（3）进行编号；

S3：将水洗槽（3）设定为N个序列，每个序列中包括相同数量的水洗槽（3），每个水洗槽（3）均位于且只位于一个序列中，所有序列中的编号总和相同或者接近；

S4：搬运机构（5）带动石墨舟依次完成序列内的水洗槽（3），并最后送入最后一个水洗槽（3），其中序列内的水洗槽（3）的清洗时间为(N/M)T，最后送入的水洗槽（3）的清洗时间为(1/M)T，其中M为水洗槽（3）数量。

8.根据权利要求7所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述酸洗槽（2）中的酸洗液也从后往前溢流。

9.根据权利要求7所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，功能相同的水洗槽（3）参与溢流，功能不同的水洗槽（3）相互之间不溢流。

10.根据权利要求7所述的石墨舟清洗方法，其特征在于，所述水洗槽（3）数量为M-1不为N的整数倍时，则将多出N的整数倍的水洗槽（3）作为单独一组；

单独一组的所述水洗槽（3）的处理与最后一个水洗槽（3）的处理方式相同，或者直接跳过不参与清洗。