CN216064555U - 一种石英舟清洗装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种石英舟清洗装置，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，酸洗机构包括酸洗槽，酸洗槽包括底壁和侧壁，侧壁的下端和底壁之间连接有倾斜面，倾斜面的下端朝槽内倾斜，底壁设置有可关闭和开启的排液孔。更换酸液时，开启酸洗槽底部的排液孔，而下端朝酸洗槽内倾斜的倾斜面，使得酸洗槽底部的清洁死角减少，杂质与废酸堆积的概率降低，大部分杂质及废酸得以顺利排出酸洗槽，保证更换后的酸液的清洁度及纯度，进而改善对石英舟的清洗效果。

Description

一种石英舟清洗装置

技术领域

本申请涉及光伏太阳能技术领域，具体而言，涉及一种石英舟清洗装置。

背景技术

在单晶硅PERC太阳能电池生产中，需要用到扩散、热氧等制作环节。其中扩散工序是形成PN结的工序，具体过程是：采用三氯氧磷液态源在高温下与氧气反应生成的磷原子向硅片内部进行扩散，改变硅片表面层的导电类型，从而形成PN结，其化学反应式为5POC1₃→3PC1₅+P₂0₅。

由于石英玻璃的SiO₂含量在99.999％，其可见光透光度好，并且透紫外线、红外线，具有优异的光学性能，同时具有良好的耐酸耐高温特性，化学性能以及电学性能优异等特点，扩散等工序一般会选用石英舟作为硅片的载具。

在扩散工艺中长期使用的石英舟会被偏磷酸、粉尘、碎屑等污染，偏磷酸累积一定量后会腐蚀位于石英舟上的硅片，从而形成卡槽印。严重的情况下会导致硅片方阻异常或者外观异常，影响硅片的良品率以及转换效率。所以需要对石英舟进行定期或不定期的清洗，对石英舟的清洗一般会先将石英舟置于酸洗机构中使用酸性溶剂对其表面沉积的P₂0₅等进行去除，再将经过酸处理后的石英舟置于水洗机构中使用清水对其进行清洗，去除表面的酸性物质及杂质，最后将清洗好的石英舟进行烘干，以便进行重复使用。

但实际生产中，石英舟的清洗效果很难保证，往往需要对其进行反复、多次的清洗，严重影响清洗效率。

实用新型内容

在石英舟的清洗过程中，随着其表面沉积的物质与酸性溶剂不断发生反应，酸性溶剂的浓度降低，且在此过程中石英舟上的碎屑等杂质会进入酸性溶剂中，需要对使用一段时间后的酸性溶剂进行更换。在更换酸性溶剂时，废弃的酸液及杂质会堆积在酸洗机构的底部角落中，当往酸洗机构中加入新的酸性溶剂后，废弃的酸液及杂质会与新的酸性溶剂混合，影响更换后酸液的浓度及清洁度。

堆积在酸洗机构底部角落以及水洗机构底部角落的废液及杂质会影响对石英舟的清洗效果。

发明人发现，一般的酸洗机构和水洗机构会采用方体槽或圆柱形槽结构，这种结构的底部拐角容易堆积杂质，在排液时形成死角。而由于酸洗是石英舟进行的第一道清洗工序，大部分的杂质及废液极易留在酸洗机构。

基于此，本申请的目的在于提供一种石英舟清洗装置，其能改善对石墨舟的清洗效果。

为实现上述目的，本申请采用以下技术手段：

本申请提供一种石英舟清洗装置，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，酸洗机构包括酸洗槽，酸洗槽包括底壁和侧壁，侧壁的下端和底壁之间连接有倾斜面，倾斜面的下端朝槽内倾斜，底壁设置有可关闭和开启的排液孔。

在对石英舟进行清洗时，先将其置于放置有酸液的酸洗槽中，并使酸液浸没石英舟，使沉积于石英舟表面的物质与酸液发生反应，待石英舟表面沉积的物质与酸液反应完全后，将石英舟取出，置于第一水洗机构中，进行第一水洗，将石英舟表面残留的酸液及残留的杂质进行初步清洗去除，再将经第一水洗后的石英舟由第一水洗机构送入第二水洗机构，进行第二水洗，以进一步对石英舟上的酸液及杂质进行去除，最后将水洗完成后的石英舟送入烘干机构中进行干燥，以便石英舟的重复使用。

石英舟在进出酸洗槽的过程中，其表面的大部分杂质掉落在酸洗槽内，随着对石英舟的不断酸洗，酸液中的杂质增多，酸液浓度也会减低，需要对酸液进行更换。更换酸液时，开启酸洗槽底部的排液孔，而酸洗槽侧壁的下端和底壁之间设置的倾斜面，其下端朝酸洗槽内倾斜，使得酸洗槽底部的清洁死角减少，杂质与废酸堆积的概率降低，大部分杂质及废酸得以顺利排出酸洗槽，保证更换后的酸液的清洁度及纯度，进而改善对石英舟的清洗效果。

进一步的，酸洗槽为方形体，倾斜面沿酸洗槽轴向方向的截面为弧形。将酸洗槽设置为方形体，这是领域中常用的清洗槽体形状，在现有工艺的基础上，仅需改变槽体侧壁的下端和其底壁之间的结构，使倾斜面沿酸洗槽轴向方向的截面为弧形，即可实现倾斜面的设置，工艺简单易实现。

进一步的，弧形的弧度为π/4-π/3。可以使酸洗槽的倾斜面处与杂质的摩擦力下降，以便酸洗槽内的杂质和废酸容易排出酸洗槽。

进一步的，第一水洗机构包括第一水洗槽，第二水洗机构包括第二水洗槽，第一水洗槽与第二水洗槽的侧壁与底壁之间均连接有下端朝槽内倾斜的倾斜面。

如果酸洗后的石英舟进入水洗机构，石英舟将酸液及残余的一些杂质一并带入水洗机构中，水洗机构中的清水中也会存在酸液以及杂质，随着对石英舟的不断清洗，水洗机构清水中所含有的酸液和杂质会不断增多，影响对石英舟水洗的效果。所以，水洗机构中的清水也需要进行更换。但在更换清水时，废弃的水及杂质也会堆积在水洗机构的底部角落中，当往水洗机构中加入纯净的清水后，废弃的水及杂质会与纯净的清水混合，影响更换后清水的纯度及清洁度，进而影响对石英舟的清洁效果。

所以，本申请部分实施例中，第一水洗槽与第二水洗槽均存在倾斜面结构，且倾斜面的下端朝槽内倾斜，使得在对第一水洗槽中以及第二水洗槽中的水进行更换时，水洗槽内的杂质以及废水也能顺利排出，保证更换后水洗槽内清水的清洁度和纯度，进一步改善对石英舟清洗的效果。

进一步的，石英舟清洗装置还包括多个鼓泡器，酸洗槽的倾斜面、第一水洗槽的倾斜面以及第二水洗槽的倾斜面均设置有鼓泡器。

鼓泡器的设置，不仅使得石英舟在进行酸洗和水洗的过程中，酸液与水能更好的作用于石英舟，增加酸洗与水洗的效果，还能在排液的过程中，使槽内倾斜面附近的液体翻滚，更利于杂质物质排出槽体，进一步改善对石英舟的清洗效果。

进一步的，酸洗槽、第一水洗槽与第二水洗槽的长均为150cm-250cm，宽均为30cm-40cm。保证领域中常用的石英舟能顺利放置于槽内。

进一步的，酸洗槽的个数为2-3个，第一水洗槽的个数为2-3个，第二水洗槽的个数为4-6个，各槽体之间均彼此独立。

石英舟首先经过2-3次酸洗，再进行2-3次第一水洗，之后再进行4-6次第二水洗，不仅进一步保证对石英舟的清洗效果，同时，避免对酸洗槽、第一水洗槽以及第二水洗槽的所有槽中的废液进行同时更换，这样，在更换某一或某些槽中废液时，石英舟能继续在其他槽中进行清洗，石英舟的清洗能持续进行。

进一步的，石英舟清洗装置还包括用于对经过第一水洗槽清洗后的石英舟进行吹扫的热风吹扫件，热风吹扫件设置于靠近第二水洗槽的第一水洗槽中。

热风吹扫件的设置，可以将经过第一水洗槽清洗后、进入第二水洗槽之前的石英舟表面残留的杂质和废液吹落至第一水洗槽中，保证进入第二水洗槽的石英舟的清洁度，增加第二水洗的清洁效果，进一步改善对石英舟的清洗。

进一步的，石英舟清洗装置还包括传送机构和用于抓取石英舟的机械手爪，机械手爪设置于传送机构以使机械手爪在酸洗机构至烘干机构之间往复运动。酸洗槽、第一水洗槽和第二水洗槽均开口向上，机械手爪上升或下降以用于从开口取出或放入石英舟。

传送机构以及机械手爪的设置，实现石英舟的自动化清洗。无需人工搬抬石英舟，既节省人力，提高清洗效率，又能避免酸液对人员健康的损害，提高工作的安全性。

进一步的，机械手爪设置至少两层，可一次性抓取至少两个石英舟。通过设置多层机械手爪，一次性抓取多个石英舟，一次性对多个石英舟进行清洗，提高了清洗效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图也属于本申请的保护范围。

图1为本申请实施例提供的石英舟清洗装置的机构示意图；

图2为本申请实施例提供的酸洗槽的结构示意图。

图标:100-石英舟清洗装置；110-酸洗机构；111-酸洗槽；112-侧壁；113-倾斜面；120-第一水洗机构；121-第一水洗槽；130-第二水洗机构；131-第二水洗槽；140-烘干机构；141-烘干槽。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。

图1为本申请实施例提供的石英舟清洗装置的机构示意图。请参阅图1，本申请实施例提供一种石英舟清洗装置100，包括传送机构(图中未示出)、机械手爪(图中未示出)、依次设置的酸洗机构110、第一水洗机构120、第二水洗机构130以及烘干机构140。机械手爪用于抓取石英舟，设置于传送机构以使其在酸洗机构110至烘干机构140之间往复运动，机械手爪设置至少两层。本实施例中，机械手爪设置三层，每层间隔30cm，可一次性抓取三个石英舟。

在其他实施例中，机械手爪还可以按照实际生产情况，设置其他层数，增加或减少一次性抓取的石英舟数量。

酸洗机构110包括酸洗槽111，第一水洗机构120包括第一水洗槽121，第二水洗机构130包括第二水洗槽131，烘干机构140包括烘干槽141，酸洗槽111的个数为2-3个，第一水洗槽121的个数为2-3个，第二水洗槽131的个数为4-6个，烘干槽141的个数为2-3个，各槽体之间均彼此独立。具体的，本实施例中，酸洗槽111的个数可以为2个或3个，第一水洗槽121的个数可以是2个或3个，第二水洗槽131的个数可以是4个、5个或6个，烘干槽141的个数可以是2个或3个。

图2为本申请实施例提供的酸洗槽的结构示意图。请参阅图1和图2，酸洗槽111、第一水洗槽121、第二水洗槽131以及烘干槽141的形状一致，槽体均为开口向上的方形体，机械手爪抓取石英舟后上升或下降，以从槽体的开口处取出或放入石英舟。方形体的长均为150cm-250cm，宽均为30cm-40cm，长方形的高度为100cm-120cm，槽体的高度实际是依据机械手爪的层数及每层之间的间距来进行设置，需要确保机械手爪夹持石英舟后进入槽体内后，槽体内的液体(酸液或清水)既可以浸没所有石英舟又不会溢出槽体。

在其他实施例中，酸洗槽111、第一水洗槽121、第二水洗槽131或/和烘干槽141还可以圆柱形槽体。槽体还可以是其他形状，只要保证槽体具有容纳溶液及石英舟的空间，以及具有可以使石英舟放入槽体和取出槽体的开口。

在本实施例中，由于各槽体形状均相同，下面以酸洗槽111作为代表，详细说明槽体的形状。

酸洗槽111的槽体包括底壁(图中为示出)和侧壁112，侧壁112的下端和底壁之间连接有倾斜面113，倾斜面113的下端朝槽内倾斜，倾斜面113沿酸洗槽111轴向方向的截面为弧形,弧形的弧度为π/4-π/3。

具体而言，长方体槽的长可以是150cm，宽为30cm，高度为100cm，球面度为π/4；或长为200cm，宽为35cm，高度为110cm，球面度为2π/7；或长为250cm，宽为40cm，高度为120cm，球面度为2π/7；或长为200cm，宽为30cm，高度为120cm，球面度为π/3。

在其他实施例中，倾斜面113还可以为倾斜平面，与截面为弧形的倾斜面相比，其对减少杂质与废液堆积的效果会稍差，但相较于传统的水平和竖直平面，仍可以一定程度上减少槽底部的清洁死角。同时，相较于截面为弧形的倾斜面，制备倾斜平面的工艺更为简化。

在其他实施例中，第一水洗槽121及第二水洗槽131的形状可以不与酸洗槽111保持一致，其可以是底部四角为直角的槽体，也可以仅第一水洗槽121的形状与酸洗槽111的形状保持一致。

在其他实施例中，烘干槽141的高度可以比酸洗槽111高度小。或者，烘干机构140还可以设置为烘箱结构。

本实施例中，烘干槽141中设置有加热件，使槽体中温度上升。

为了向酸洗槽111中通入一定浓度的酸液，酸洗槽111包括至少两路进液口，可以同时向酸洗槽111内通入酸液和清水。本实施例中，酸洗槽111的进液口为两个，通过其中一个向酸洗槽111中通入氢氟酸，通过另一个向酸洗槽111中通入清水。

在其他实施例中，酸洗槽111的进液口还可以为三个，通过一个向酸洗槽111中通入氢氟酸，通过一个向酸洗槽111中通入盐酸，通过最后一个向酸洗槽111中通入清水。

同理，为了向第一水洗槽121和第二水洗槽131中通入清水，第一水洗槽121和第二水洗槽131也相应设置有进液口。

同时，所有槽体的底壁均设置有可关闭和开启的排液孔(图中未示出)。

请继续参阅图1和图2，在对石英舟进行清洗之前，先通过酸洗槽111的进液口向各酸洗槽111中通入酸液和清水，使酸洗槽111中的酸液呈一定浓度。通过进液口向各第一水洗槽121中和各第二水洗槽131中通入清水。各槽内的液位一致。

机械手爪抓取三个待清洗的石英舟后，运用传送机构将机械手爪移动至第一个酸洗槽111的上方，再使机械手爪下降，使三个石英舟均从上端开口处浸入酸液中，待反应一段时间后，机械手爪上升使石英舟脱离酸液，并运用传送机构将其移动至第二个酸洗槽111的上方，再使机械手爪下降，使三个石英舟在次浸入酸液中，机械手爪与传送机构重复相同的动作，使石英舟依次进行酸洗、第一水洗、第二水洗及烘干。

这样，石英舟首先经过2-3次酸洗，再进行2-3次第一水洗，之后再进行4-6次第二水洗，不仅保证对石英舟的清洗效果，同时，避免对酸洗槽111、第一水洗槽121以及第二水洗槽131的所有槽中的废液进行同时更换，在更换某一或某些槽中废液时，石英舟能继续在其他槽中进行清洗，石英舟的清洗能持续进行。

传送机构以及机械手爪的设置，实现石英舟的自动化清洗，且通过设置多层机械手爪，一次性对多个石英舟进行清洗，提高了清洗效率。

为了进一步改善对石英舟的清洗效果，在酸洗槽111上方、第一水洗槽121上方及第二水洗槽131上方设置喷头。酸洗槽111上方的喷头连通槽内的酸液，而第一水洗槽121上方的喷头及第二水洗槽131上方的喷头则连通清水。

将石英舟从前一槽体送入后一槽体的过程中，前一槽体上方的喷头对石英舟进行喷淋冲洗，将石英舟上的杂质冲入前一槽体内，避免将杂质带入后一槽体中。

在其他实施例中，各槽体的开口还可以设置在沿石英舟运行方向的两个侧壁112上，各槽体为上下封闭的结构，侧壁112上的开口可使石英舟通过。传送机构设置在各槽体中且穿过各槽体的开口，开口与底壁具有一定距离，使槽体仍可容纳液体。

此时，传送机构与机械手爪独立设置，机械手爪将石英舟抓取后放置在传送机构上，传送机构依次连通酸洗机构110、第一水洗机构120、第二水洗机构130以及烘干机构140，传送机构可以为滚轮传送网带。传送机构带动石英舟依次进入酸洗机构110、第一水洗机构120、第二水洗机构130以及烘干机构140。这种情况下，传送机构位于各槽体的液位上方，在各槽体内部设置成排的喷头，喷头位于传送机构的上方和下方，酸洗机构110的喷头连通酸洗槽111中的酸液，第一水洗槽121的喷头及第二水洗槽131的喷头则连通清水，烘干槽141的喷头则喷吹热风。

当石英舟通过传送机构进入酸洗机构110的第一个酸洗槽111中，通过位于传送机构上方和下方设置的喷头将酸液喷出，作用于石英舟，持续喷淋一段时间后，停止喷淋，再使传送机构运行，将石英舟传送至第二个酸洗槽111中，进行与前一酸洗槽111相同的动作。依次类推，使石英舟在传送机构的带动下依次经过酸洗、第一水洗、第二水洗及烘干，完成石英舟的清洗。

石英舟在进出酸洗槽111的过程中，其表面的大部分杂质掉落在酸洗槽111内，随着对石英舟的不断酸洗，酸液中的杂质增多，酸液浓度也会减低，需要对酸液进行更换。同理，由于石英舟将酸液及杂质带入第一水洗机构120中及第二水洗机构130中，其水的纯度及清洁度也会降低，需要进行更换。

在对液体进行更换时，开启槽底部的排液孔，而槽体侧壁112的下端和底壁之间倾斜面113的设置，使得各槽体底部清洁死角减少，杂质与废酸堆积的概率降低，杂质及废液得以顺利排出槽体，保证更换后的酸液及清水的清洁度及纯度，进而改善对石英舟的清洗效果。

为了进一步改善对石英舟的清洗效果，石英舟清洗装置100还包括多个鼓泡器(图中未示出)，酸洗槽111的倾斜面113、第一水洗槽121的倾斜面113以及第二水洗槽131的倾斜面113均设置有鼓泡器。鼓泡器的设置不仅使得石英舟在进行酸洗和水洗的过程中，酸液与清水翻滚，酸液与水能更好的作用于石英舟，增加酸洗与水洗的效果；还能在排液的过程中，使倾斜面113附近的液体翻滚，更利于杂质物质排出槽体。

进一步的，还可以在酸洗槽111内、第一水洗槽121内及第二水洗槽131内的底部以及侧壁112上设置喷头，酸洗槽111的喷头连通酸洗槽111内的酸液，而第一水洗槽121的喷头及第二水洗槽131的喷头则分别连通第一水洗槽121以及第二水洗槽131内的清水，喷头方向均朝向倾斜面113。在更换液体的，使喷头开启，使倾斜面113附近的液体及杂质滚动，更利于杂质物质排出槽体。

而基于酸洗机构110、第一水洗机构120以及第二水洗机构130均设置多个独立的槽体，为了节约成本，还可以在各机构的各槽体间设置抽液器(图中未示出)。石英舟进入各机构后，首先经过的槽体中的液体是最先与石英舟发生作用的，其消耗最大，之后依照石英舟的运行轨迹，各机构各槽体中液体的消耗依次减小。抽液器的设置，在需要进行槽体中液体更换时，将石英舟在该机构中首先经过的槽体中的液体排空后，可以将石英舟在该机构中最后经过的槽体中的液体抽至首先经过的槽体中，再向最后经过的槽体中更换新的液体，可以在一定程度上节约成本。

而由于第一水洗槽121与第二水洗槽131中均为清水，所以在其他实施例中，抽液器还可以设置于第一水洗槽121与第二水洗槽131之间，将第二水洗槽131中的水抽向第一水洗槽121中。

而为了确保个槽体中液体不会溢出，在各酸洗槽111内、各第一水洗槽121以及各第二水洗槽131内均设置液位计。

另一方面，为了及时发现漏液现象，在各酸洗槽111外围、各第一水洗槽121外围以及各第二水洗槽131外围设置液体传感器，当出现液体溢出情况时，液体接触液体传感器，传感器将此时的信号传递至与其电连接的报警器，报警器发出警报，人员可以及时发现漏液现象，尽快进行处理。

请继续参与图1，为了增加第二水洗的清洁效果，石英舟清洗装置100还包括热风吹扫件(图中未示出)，其设置于靠近第二水洗槽131的第一水洗槽121中，用于对经过第一水洗槽121清洗后的石英舟进行吹扫。在石英舟经过第一水洗进入第二水洗槽131之前，启动热风吹扫件，对经过第一水洗槽121清洗后的石英舟进行吹扫，将其表面残留的杂物及废液吹下掉落至最后一个第一水洗槽121中，保证进入第二水洗槽131的石英舟的清洁度，进而使第二水洗槽131的液体清洁度得到改善，增加第二水洗的清洁效果，进一步改善对石英舟的清洗。

本申请实施例提供的石英舟清洗装置100的清洗方式如下：

机械手爪抓取石英舟，并与传送机构配合，将石英舟依次送入酸洗槽111、第一水洗槽121、第二水洗槽131以及烘干槽141中，依次对石英舟进行酸洗、第一水洗、第二水洗以及烘干，完成对石英舟的清洗。清洗进行一定时间后，在需要对酸洗槽111、第一水洗槽121或第二水洗槽131中的液体进行更换时，在保证该槽体中鼓泡器运行的状态下，开启槽体底壁的排液孔即可。

本申请实施例中上述技术方案中的一个技术方案或/和多个技术方案的组合具有如下有益效果：

(1)、槽体侧壁112的下端和底壁之间设置的下端朝向槽内倾斜的倾斜面113，使得槽体底部的清洁死角减少，杂质与废酸堆积的概率降低，杂质及废液得以顺利排出槽体，保证更换后液体的清洁度及纯度，改善对石英舟的清洗效果；

(2)、在槽体倾斜面113设置鼓泡器，不仅使得石英舟在进行酸洗和水洗的过程中，酸液与水能更好的作用于石英舟，增加酸洗与水洗的效果，还能在排液的过程中，使倾斜面113附近的液体翻滚，更利于杂质物质排出槽体，进一步改善对石英舟的清洗效果；

(3)、在靠近第二水洗槽131的第一水洗槽121中设置热风吹扫件，可以对进入第二水洗槽131之前的石英舟表面残留的杂物和废液吹落，保证进入第二水洗槽131的石英舟的清洁度，增加第二水洗的清洁效果；

(4)、传送机构以及机械手爪的设置，实现石英舟的自动化清洗，无需人工搬抬石英舟，既节省人力，提高清洗效率，又能避免酸液对人员健康的损害，提高工作的安全性；

(5)、设置多层机械手爪，一次性抓取多个石英舟，一次性对多个石英舟进行清洗，提高清洗效率。

以上所述仅为本申请的一部分实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石英舟清洗装置，其特征在于，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，所述酸洗机构包括酸洗槽，所述酸洗槽包括底壁和侧壁，所述侧壁的下端和所述底壁之间连接有倾斜面，所述倾斜面的下端朝槽内倾斜，所述底壁设置有可关闭和开启的排液孔。

2.根据权利要求1所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽为方形体，所述倾斜面沿所述酸洗槽轴向方向的截面为弧形。

3.根据权利要求2所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述弧形的弧度为π/4-π/3。

4.根据权利要求1所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述第一水洗机构包括第一水洗槽，所述第二水洗机构包括第二水洗槽，所述第一水洗槽与所述第二水洗槽的侧壁与底壁之间均连接有下端朝槽内倾斜的倾斜面。

5.根据权利要求4所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述石英舟清洗装置还包括多个鼓泡器，所述酸洗槽的所述倾斜面、所述第一水洗槽的所述倾斜面以及所述第二水洗槽的所述倾斜面均设置有所述鼓泡器。

6.根据权利要求4所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽、所述第一水洗槽与所述第二水洗槽的长均为150cm-250cm，宽均为30cm-40cm。

7.根据权利要求4所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽的个数为2-3个，所述第一水洗槽的个数为2-3个，所述第二水洗槽的个数为4-6个，各槽体之间均彼此独立。

8.根据权利要求7所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述石英舟清洗装置还包括用于对经过所述第一水洗槽清洗后的石英舟进行吹扫的热风吹扫件，所述热风吹扫件设置于靠近所述第二水洗槽的所述第一水洗槽中。

9.根据权利要求4-8任一项所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述石英舟清洗装置还包括传送机构和用于抓取石英舟的机械手爪，所述机械手爪设置于所述传送机构以使所述机械手爪在所述酸洗机构至所述烘干机构之间往复运动；所述酸洗槽、所述第一水洗槽和所述第二水洗槽均开口向上，所述机械手爪上升或下降以用于从所述开口取出或放入所述石英舟。

10.根据权利要求9所述的石英舟清洗装置，其特征在于，所述机械手爪设置至少两层，可一次性抓取至少两个所述石英舟。

Images