CN218574440U - 一种Micro-LED基板的槽式清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种Micro‑LED基板的槽式清洗机，包括清洗槽、鼓泡管、超声波发生器、清洁管、风干管和基板定位座，所述风干管、清洁管、基板定位座、鼓泡管和超声波发生器由上至下分层设于清洗槽内。本实用新型将清洗、洁净以及干燥集成一体，一台设备就能解决清洗、洁净以及干燥，在基板清洗完成后，机械手将基板搬出清洗槽过程中，就能实现洁净以及干燥，极大的提高了清洗效率，提高生产节拍，整个结构设计合理，使用效果好。

Description

一种Micro-LED基板的槽式清洗机

技术领域

本实用新型涉及一种Micro-LED基板的槽式清洗机。

背景技术

玻璃基板清洗是Micro LED液晶玻璃制程中重复使用频率最高的步骤，在每一道制程步骤之前都必须将玻璃基板表面清洗干净，以去除污染物，避免原生氧化物薄膜之生成，现有采用超声波浸泡清洗的槽式清洗机在清洗时，清洗、洁净以及干燥需要采用3台设备来解决，涉及设备之间交互，需要人工或小车搬运，搬运导致良率、节拍较低。

发明内容

本实用新型是为了解决上述现有技术存在的问题而提供一种Micro-LED基板的槽式清洗机。

本实用新型所采用的技术方案有：

一种Micro-LED基板的槽式清洗机，包括清洗槽、鼓泡管、超声波发生器、清洁管、风干管和基板定位座，所述风干管、清洁管、基板定位座、鼓泡管和超声波发生器由上至下分层设于清洗槽内。

进一步地，所述清洗槽内设有清洗腔和溢流腔，所述清洗腔的腔顶面高于溢流腔的腔顶面，在溢流腔与清洗腔之间设有相互连通的回流管，在回流管上设有过滤器。

进一步地，在清洗槽内且位于清洗腔的外侧设有溢流槽，溢流槽的槽底面与溢流腔的腔顶面相齐平。

进一步地，所述清洗腔外壁面的顶端为连续的齿状结构。

进一步地，所述清洗腔内设有加热管。

进一步地，所述基板定位座包括上定位座和下支撑座，两个上定位座对应布置在两个下支撑座的上方，在上定位座上设有定位插槽，在下支撑座上设有支撑插槽。

进一步地，所述定位插槽的槽壁面上设有导向柱。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型将清洗、洁净以及干燥集成一体，一台设备就能解决清洗、洁净以及干燥，在基板清洗完成后，机械手将基板搬出清洗槽过程中，就能实现洁净以及干燥，极大的提高了清洗效率，提高生产节拍，整个结构设计合理，使用效果好。

附图说明

图1为槽式清洗机的结构图。

图2为槽式清洗机的内部结构图。

图3为清洗槽的结构图。

图4为清洗槽的结构图。

图5为槽式清洗机内基板定位座的结构图。

图6为槽式清洗机内基板定位座的结构图。

图7为槽式清洗机内风干管的结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

如图1和图2，本实用新型 一种Micro-LED基板的槽式清洗机，包括清洗槽31、鼓泡管32、超声波发生器33、清洁管34、风干管35和基板定位座36，风干管35、清洁管34、基板定位座36、鼓泡管32和超声波发生器33由上至下分层设于清洗槽31内，在使用时，基板定位座36是浸泡在清洗液中。

如图3和图4，清洗槽31包括两个相互独立的清洗腔311和溢流腔312，清洗腔311和溢流腔312并列布置，清洗腔311的腔顶面高于溢流腔312的腔顶面，在溢流腔312与清洗腔311之间设有相互连通的回流管313，在回流管313上设有过滤器。基板定位座36设于清洗腔311内。

槽式清洗机使用时，将基板竖直插入基板定位座36内，基板浸泡在清洗腔311内的清洗液中，超声波发生器33发出超声，通过鼓泡管32通入氮气和液体（液体为纯水或者清洗药液）。在清洗完成后，六轴机械手夹取基板定位座36内的基板，并从浸泡的清洗液内提出，然后清洁管34对基板的正反面进行高压喷淋进行清洁，清洁完成后，基板通过机械手上移至风干管35一侧进行烘干，风干管35为风刀管，如图7。

在清洗槽31内且位于清洗腔311的外侧设有溢流槽314，溢流槽314布置在清洗腔311中相邻三侧面的外侧，溢流槽314的槽底面与溢流腔312的腔顶面相齐平。清洗槽31内的清洗药液向四周溢出，实现循环溢流，然后通过过滤器过滤，可以实现清洗药液的动态更新。

溢流腔312内设有溢液腔315，溢液腔315的腔顶面低于溢流腔312的腔顶面，在清洗槽31的外壁上设有与溢液腔315相连通的溢液管316，溢流腔312内的液体可以通过溢液管316溢出排走。

清洗腔311外壁面的顶端为连续的齿状结构，齿状结构的顶端面，使得清洗腔311内的杂质更易从齿槽流入溢流腔312内。

清洗槽31的外壁面上设有与清洗腔311相连通的采样口317，以及在清洗腔311内设有加热管37。

如图5和图6，基板定位座36包括上定位座361和下支撑座362，上定位座361和下支撑座362均为U形架，U形架的两端固定在清洗腔311的内壁面上，两个上定位座361对应布置在两个下支撑座362的上方，在上定位座361上设有定位插槽363，在下支撑座362上设有支撑插槽364，定位插槽363和支撑插槽364在同一根竖直线上。

定位插槽363为具有一个底边和两个侧边的U形槽，为使得基板更好的进入定位插槽363，在定位插槽363的底边和两个侧边内壁面上均设有导向柱365，导向柱365为半圆柱，位于定位插槽363底边的导向柱365竖直布置，位于定位插槽363两个侧边的导向柱365水平布置，导向柱365的圆弧面有利于基板进入定位插槽363内。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下还可以作出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：包括清洗槽（31）、鼓泡管（32）、超声波发生器（33）、清洁管（34）、风干管（35）和基板定位座（36），所述风干管（35）、清洁管（34）、基板定位座（36）、鼓泡管（32）和超声波发生器（33）由上至下分层设于清洗槽（31）内。

2.如权利要求1所述的Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：所述清洗槽（31）内设有清洗腔（311）和溢流腔（312），所述清洗腔（311）的腔顶面高于溢流腔（312）的腔顶面，在溢流腔（312）与清洗腔（311）之间设有相互连通的回流管（313），在回流管（313）上设有过滤器。

3.如权利要求2所述的Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：在清洗槽（31）内且位于清洗腔（311）的外侧设有溢流槽（314），溢流槽（314）的槽底面与溢流腔（312）的腔顶面相齐平。

4.如权利要求2所述的Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：所述清洗腔（311）外壁面的顶端为连续的齿状结构。

5.如权利要求2所述的Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：所述清洗腔（311）内设有加热管（37）。

6.如权利要求1所述的Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：所述基板定位座（36）包括上定位座（361）和下支撑座（362），两个上定位座（361）对应布置在两个下支撑座（362）的上方，在上定位座（361）上设有定位插槽（363），在下支撑座（362）上设有支撑插槽（364）。

7.如权利要求6所述的Micro-LED基板的槽式清洗机，其特征在于：所述定位插槽（363）的槽壁面上设有导向柱（365）。

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