CN203910837U - 一种全自动硅片清洗机 - Google Patents

一种全自动硅片清洗机 Download PDF

Info

Publication number
CN203910837U
CN203910837U CN201420328201.XU CN201420328201U CN203910837U CN 203910837 U CN203910837 U CN 203910837U CN 201420328201 U CN201420328201 U CN 201420328201U CN 203910837 U CN203910837 U CN 203910837U
Authority
CN
China
Prior art keywords
carrying
linking arm
silicon chip
silicon wafer
supporting seat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201420328201.XU
Other languages
English (en)
Inventor
陈德榜
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WENZHOU HAIXU TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
WENZHOU HAIXU TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WENZHOU HAIXU TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical WENZHOU HAIXU TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201420328201.XU priority Critical patent/CN203910837U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN203910837U publication Critical patent/CN203910837U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，采用上述结构，本实用新型提供了一种不仅可有效提高生产效率，而且在搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。

Description

一种全自动硅片清洗机
技术领域
本实用新型涉及一种太阳能硅片制造设备，具体涉及一种全自动硅片清洗机。
背景技术
在太阳能硅片制造过程中有一道工序是需要对硅片进行清洗，且硅片清洗需依次经过酸洗槽酸洗、漂洗槽漂洗和水洗槽纯水洗，但目前，在现有技术中人们将硅片从酸洗槽搬运至漂洗槽、以及将硅片从漂洗槽搬运至水洗槽均由人工手动完成，不仅费时费力，造成生产效率低下，而且在人工搬运硅片过程中还极易使硅片受到损坏。
发明内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种不仅可有效提高生产效率，而且在搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，所述搬运勾手的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂上的C形卡块，且所述C形卡块的开口端两侧平行延伸有两凸块，两凸块之间通过螺栓锁紧固定，所述搬运勾手的下端端部对应形成倒钩，所述的花篮由用于承载硅片的篮体和用于提拉的横梁连接构成，所述的篮体上均布有若干个漏水孔，所述的横梁上设有可与所述搬运勾手上的倒钩形成钩配的凹口。
本实用新型的有益效果是：采用上述结构，由于所述花篮是通过搬运勾手分体式连接于连接臂上，且所述连接臂可在升降电机和升降丝杆的作用下相对支撑座上下升降，因此通过所述上下升降操作，人们可将装有硅片的花篮放置到对应地清洗槽内，或是将清洗好的硅片从清洗槽内提出，然后由于所述支撑座可在滑动电机和滑动丝杆的作用下在酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，因此通过所述往返滑动操作，人们可将硅片从酸洗槽内酸洗完后搬运至漂洗槽内漂洗，或是将硅片从漂洗槽内漂洗完后搬运至水洗槽内完成最后的水洗。综上所述，采用上述结构，可实现对硅片的全自动清洗操作，不仅可有效提高生产效率，而且在搬运过程中还不易损坏硅片。另，所述搬运勾手通过C形卡块卡接固定于连接臂上，不仅连接牢固，而且拆装都更为方便。
本实用新型可进一步设置为所述的花篮上方还设有喷淋装置，所述的喷淋装置包括有一个呈田字形设置的水管，所述水管的下表面上均布有若干喷淋头，所述水管的上表面中心设有与外部进水管连接的接头，所述的连接臂优选为两条，且每条连接臂上均设有两个搬运勾手，同一条连接臂上的两个搬运勾手之间均设有一连接横杆，每条连接横杆上均轴向线性排布有至少两个支撑块，每块支撑块的上端面上均设置有一个用于承载所述田字形水管的卡口。
采用上述结构，在硅片从酸洗槽内酸洗完后搬运至漂洗槽的过程中以及在硅片从漂洗槽内漂洗完后搬运至水洗槽的过程中，人们都可打开所述喷淋装置，使所述喷淋装置冲刷掉上一清洗槽残留于硅片上的化学药水，从而可有效避免上一清洗槽内的化学药水经硅片搬运而流入下一清洗槽内，进而进一步提升硅片的清洗效果。另，所述喷淋装置通过所述连接横杆和支撑块固装于搬运勾手，不仅使得本实用新型的整体结构显得更为合理紧凑，而且拆装也较为方便。
本实用新型还可进一步设置为所述的机体上还设置有供所述支撑座往返滑动的导槽。
采用上述结构，通过所述导槽的作用，可使支撑座在机体上的往返滑动能更加顺畅并更具导向性。
本实用新型还可进一步设置为所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽的底面上还均设有可与所述花篮连接的垫块，且所述的垫块上还设置有延伸至槽侧壁的斜面导块。
采用上述结构，通过所述垫块的作用，可有效避免花篮的篮体底面因直接与对应清洗槽的底面接触而发生吸合，从而有效减小花篮被提起时的阻力，另，通过所述斜面导块的作用，有助于花篮更加顺畅平稳地放置到对应清洗槽底面的垫块上。
附图说明
图1为本实用新型的结构立体图；
图2为本实用新型的局部结构立体图；
图3为本实用新型的局部结构正视图。
具体实施方式
如图1、2、3所示给出了一种全自动硅片清洗机，包括机体1，所述的机体1上依次线性排布有酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4，所述的机体1上还设有在所述酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4之间往返搬运硅片的硅片搬运装置5，所述的硅片搬运装置5包括有支撑座51、连接臂52、搬运勾手53、和用于承载硅片的花篮54，所述的支撑座51装于机体1上，并可在所述酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4之间往返滑动，所述的支撑座51上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机55和滑动丝杆56，所述的机体1上还设置有供所述支撑座51往返滑动的导槽11。所述的连接臂52装于支撑座51上，并可相对支撑座51上下升降，所述的连接臂52上连接有用于驱动其上下升降的升降电机57和升降丝杆58，所述搬运勾手53的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂52上的C形卡块531，且所述C形卡块531的开口端两侧平行延伸有两凸块532，两凸块532之间通过螺栓533锁紧固定，所述搬运勾手53的下端端部对应形成倒钩534，所述的花篮54由用于承载硅片的篮体541和用于提拉的横梁542连接构成，所述的篮体541上均布有若干个漏水孔5411，所述的横梁542上设有可与所述搬运勾手53上的倒钩534形成钩配的凹口5421。所述的花篮54上方还设有喷淋装置6，所述的喷淋装置6包括有一个呈田字形设置的水管61，所述水管61的下表面上均布有若干喷淋头62，所述水管61的上表面中心设有与外部进水管连接的接头63，所述的连接臂52优选为两条，且每条连接臂52上均设有两个搬运勾手53，同一条连接臂52上的两个搬运勾手53之间均设有一连接横杆7，每条连接横杆7上均轴向线性排布有至少两个支撑块8，每块支撑块8的上端面上均设置有一个用于承载所述田字形水管61的卡口81。所述酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4的底面上还均设有可与所述花篮54连接的垫块9，且所述的垫块9上还设置有延伸至槽侧壁的斜面导块91。采用上述结构，由于所述花篮54是通过搬运勾手53分体式连接于连接臂52上，且所述连接臂52可在升降电机57和升降丝杆58的作用下相对支撑座51上下升降，因此通过所述上下升降操作，人们可将装有硅片的花篮54放置到对应地清洗槽内，或是将清洗好的硅片从清洗槽内提出，然后由于所述支撑座51可在滑动电机55和滑动丝杆56的作用下在酸洗槽2、漂洗槽3和水洗槽4之间往返滑动，因此通过所述往返滑动操作，人们可将硅片从酸洗槽2内酸洗完后搬运至漂洗槽3内漂洗，或是将硅片从漂洗槽3内漂洗完后搬运至水洗槽4内完成最后的水洗。综上所述，采用上述结构，可实现对硅片的全自动清洗操作，不仅可有效提高生产效率，而且在搬运过程中还不易损坏硅片。

Claims (4)

1.一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，其特征在于：所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，所述搬运勾手的上端端部对应设有可卡装于所述连接臂上的C形卡块，且所述C形卡块的开口端两侧平行延伸有两凸块，两凸块之间通过螺栓锁紧固定，所述搬运勾手的下端端部对应形成倒钩，所述的花篮由用于承载硅片的篮体和用于提拉的横梁连接构成，所述的篮体上均布有若干个漏水孔，所述的横梁上设有可与所述搬运勾手上的倒钩形成钩配的凹口。
2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征在于：所述的花篮上方还设有喷淋装置，所述的喷淋装置包括有一个呈田字形设置的水管，所述水管的下表面上均布有若干喷淋头，所述水管的上表面中心设有与外部进水管连接的接头，所述的连接臂为两条，且每条连接臂上均设有两个搬运勾手，同一条连接臂上的两个搬运勾手之间均设有一连接横杆，每条连接横杆上均轴向线性排布有至少两个支撑块，每块支撑块的上端面上均设置有一个用于承载所述田字形水管的卡口。
3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征在于：所述的机体上还设置有供所述支撑座往返滑动的导槽。
4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片清洗机，其特征在于：所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽的底面上还均设有可与所述花篮连接的垫块，且所述的垫块上还设置有延伸至槽侧壁的斜面导块。
CN201420328201.XU 2014-06-19 2014-06-19 一种全自动硅片清洗机 Expired - Fee Related CN203910837U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420328201.XU CN203910837U (zh) 2014-06-19 2014-06-19 一种全自动硅片清洗机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201420328201.XU CN203910837U (zh) 2014-06-19 2014-06-19 一种全自动硅片清洗机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN203910837U true CN203910837U (zh) 2014-10-29

Family

ID=51785088

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201420328201.XU Expired - Fee Related CN203910837U (zh) 2014-06-19 2014-06-19 一种全自动硅片清洗机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN203910837U (zh)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104353653A (zh) * 2014-11-05 2015-02-18 东晶锐康晶体（成都）有限公司 一种用于晶片提篮的挂钩
CN105327887A (zh) * 2015-10-28 2016-02-17 江苏辉伦太阳能科技有限公司 一种循环利用清洗液去除并回收金属杂质的链式装置
CN106784062A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 中建材浚鑫科技股份有限公司 一种硅片清洗制绒装置及其方法
CN107818935A (zh) * 2017-12-06 2018-03-20 常州市科沛达超声工程设备有限公司 晶圆片去胶机
CN107838122A (zh) * 2017-12-18 2018-03-27 惠州市攸特电子有限公司 全自动超声波清洗机
CN108389813A (zh) * 2018-02-26 2018-08-10 上海提牛机电设备有限公司 一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法
CN108554922A (zh) * 2018-05-03 2018-09-21 浙江海顺新能源有限公司 一种全自动硅片清洗装置
CN109201619A (zh) * 2018-08-31 2019-01-15 合肥佳粮机械科技有限公司 一种电子产品超声波清洗用承载工具
CN109529632A (zh) * 2018-12-18 2019-03-29 合肥信达膜科技有限公司 一种用于陶瓷膜的新型清洗装置
CN109772787A (zh) * 2018-12-30 2019-05-21 合肥茗满天下茶叶有限公司 一种农产品加工用预处理设备
CN109887866A (zh) * 2019-03-08 2019-06-14 重庆市洲金电子科技有限公司 一种半导体晶圆清洗装置
WO2020020070A1 (zh) * 2018-07-23 2020-01-30 东泰高科装备科技有限公司 一种湿法栏具提升固定装置及方法
CN111613554A (zh) * 2020-05-19 2020-09-01 北京北方华创微电子装备有限公司 硅片清洗机
CN112122195A (zh) * 2019-02-28 2020-12-25 南京涵铭置智能科技有限公司 一种立式清洁装置及其清洁方法
CN115415230A (zh) * 2022-08-26 2022-12-02 曲靖阳光新能源股份有限公司 一种用于清洗机的倾斜式慢提拉结构

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104353653A (zh) * 2014-11-05 2015-02-18 东晶锐康晶体（成都）有限公司 一种用于晶片提篮的挂钩
CN105327887A (zh) * 2015-10-28 2016-02-17 江苏辉伦太阳能科技有限公司 一种循环利用清洗液去除并回收金属杂质的链式装置
CN106784062A (zh) * 2016-12-30 2017-05-31 中建材浚鑫科技股份有限公司 一种硅片清洗制绒装置及其方法
CN107818935A (zh) * 2017-12-06 2018-03-20 常州市科沛达超声工程设备有限公司 晶圆片去胶机
CN107838122A (zh) * 2017-12-18 2018-03-27 惠州市攸特电子有限公司 全自动超声波清洗机
CN108389813B (zh) * 2018-02-26 2020-04-03 上海提牛机电设备有限公司 一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法
CN108389813A (zh) * 2018-02-26 2018-08-10 上海提牛机电设备有限公司 一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法
CN108554922A (zh) * 2018-05-03 2018-09-21 浙江海顺新能源有限公司 一种全自动硅片清洗装置
CN108554922B (zh) * 2018-05-03 2023-12-15 浙江海顺新能源有限公司 一种全自动硅片清洗装置
WO2020020070A1 (zh) * 2018-07-23 2020-01-30 东泰高科装备科技有限公司 一种湿法栏具提升固定装置及方法
CN109201619A (zh) * 2018-08-31 2019-01-15 合肥佳粮机械科技有限公司 一种电子产品超声波清洗用承载工具
CN109529632A (zh) * 2018-12-18 2019-03-29 合肥信达膜科技有限公司 一种用于陶瓷膜的新型清洗装置
CN109772787A (zh) * 2018-12-30 2019-05-21 合肥茗满天下茶叶有限公司 一种农产品加工用预处理设备
CN109772787B (zh) * 2018-12-30 2021-06-29 真木农业设备（安徽）有限公司 一种农产品加工用预处理设备
CN112122195A (zh) * 2019-02-28 2020-12-25 南京涵铭置智能科技有限公司 一种立式清洁装置及其清洁方法
CN109887866A (zh) * 2019-03-08 2019-06-14 重庆市洲金电子科技有限公司 一种半导体晶圆清洗装置
CN111613554A (zh) * 2020-05-19 2020-09-01 北京北方华创微电子装备有限公司 硅片清洗机
CN111613554B (zh) * 2020-05-19 2024-02-27 北京北方华创微电子装备有限公司 硅片清洗机
CN115415230A (zh) * 2022-08-26 2022-12-02 曲靖阳光新能源股份有限公司 一种用于清洗机的倾斜式慢提拉结构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203910837U (zh) 一种全自动硅片清洗机
CN108480277A (zh) 一种硅片清洗烘干装置
CN205463497U (zh) 一种啤酒玻璃瓶内瓶专用洗瓶设备
CN203985985U (zh) 一种蔬菜清洗装置
CN201625653U (zh) 一种槽式清洗过程中硅片装载装置
CN218215221U (zh) 一种晶圆双面自动清洗机
CN201552153U (zh) 一种清洗篮及可翻转清洗篮的超声波清洗机
CN201912034U (zh) 多层自动洗碗机
CN211217921U (zh) 一种微波消解仪内罐清洁装置
CN205270214U (zh) 齿轮喷淋式清洗装置
CN206561007U (zh) 一种光伏太阳能硅片自动清洗烘干装置
CN205289086U (zh) 一种机械零件清洗装置
CN104084396A (zh) 一种工件清洗槽
CN101480652A (zh) 螺旋型节能灯管自动洗管线
CN202238744U (zh) 一种用于清洗半导体硅片的清洗槽
CN105214988A (zh) 一种蜡模输送清洗装置
CN208163368U (zh) 一种钢管除锈装置
CN204180882U (zh) 泡缸豆升料清洗机
CN103271708B (zh) 能够实现碗具内外表面擦拭清洗功能的洗碗机配套装置
CN210506534U (zh) 电镀件刷洗装置
CN202401149U (zh) 镍导电棒的超声波酸洗系统
CN208230474U (zh) 一种化学实验用试管清洗装置
CN203303010U (zh) 能够实现碗具内外表面擦拭清洗功能的洗碗机配套装置
CN208466779U (zh) 一种自动清洗装置
CN206009384U (zh) 一种太阳能硅片换槽清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20141029

Termination date: 20150619

EXPY Termination of patent right or utility model