CN218215221U - 一种晶圆双面自动清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆双面自动清洗机，涉及晶圆清洗机技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱的外表面对称固定连接有电机，两个所述电机的输出端均贯穿清洗箱的外表面并延伸至内侧。本实用新型中，通过固定杆将晶圆固定在清洗箱内部，通过两侧电机启动，带动两侧刷头转动，清洗时，通过开关打开出水管，使清洗液通过喷头淋到晶圆的上，通过刷头对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关打开的另一侧出水管，使清水通过另一侧的喷头淋到晶圆上，通过刷头对晶圆进行第二次清洗，晶圆的清洗效果好，且可以同时对晶圆的两侧进行自动清理，减少了工作量，提升了工作效率。

Description

一种晶圆双面自动清洗机

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗机技术领域，尤其涉及一种晶圆双面自动清洗机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物会吸附在晶圆的表面，所以晶圆清洗是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。

现有技术中，晶圆在清洗时，工作人员只有在清洗晶圆完的一面后，才能将晶圆另外一面翻转过来，然后在清洗晶圆的另外一面，步骤较多，且人工清理的效果差，不仅费时费力，还增加了工作量，导致清洗晶圆的工作效率变低。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在晶圆在清洗时，工作人员只有在清洗晶圆完的一面后，才能将晶圆另外一面翻转过来，然后在清洗晶圆的另外一面，步骤较多，且人工清理的效果差，不仅费时费力，还增加了工作量，导致清洗晶圆的工作效率变低的问题，而提出的一种晶圆双面自动清洗机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆双面自动清洗机，包括清洗箱，所述清洗箱的外表面对称固定连接有电机，两个所述电机的输出端均贯穿清洗箱的外表面并延伸至内侧，两个所述电机的输出端均固定连接有转轴，两个所述转轴的上端面均固定连接有连接板，所述清洗箱的内底部中心位置固定连接有第一自动伸缩杆，所述第一自动伸缩杆的驱动端固定连接有底座，所述清洗箱的内表面对称固定连接有第二自动伸缩杆，两个所述第二自动伸缩杆的驱动端均固定连接有固定杆，所述清洗箱的内底部对称固定连接有支撑杆，所述清洗箱的上表面固定连接有水箱，所述水箱的上表面设置有进水管，所述水箱的前表面对称设置有出水管，两个所述出水管的外表面均设置有开关。

优选的，两个所述出水管的下端面固定连接有喷头，两个所述连接板的端面均均匀固定连接有多个刷头。

优选的，两个所述固定杆的内表面均黏合连接有第一保护垫，所述底座的上表面黏合连接有第二保护垫。

优选的，两个所述支撑杆的内表面均与两个转轴的外表面呈转动连接，两个所述固定杆和底座呈配套设置。

优选的，所述水箱内表面之间固定连接有隔板。

优选的，所述清洗箱的下表面均匀固定连接有多个支撑腿，所述清洗箱的内底部开设有出水槽。

与现有技术相比，本实用新型的优点和积极效果在于，

1、本实用新型中，通过固定杆将晶圆固定在清洗箱内部，通过两侧电机启动，带动两侧刷头转动，清洗时，通过开关打开出水管，使清洗液通过喷头淋到晶圆的上，通过刷头对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关打开的另一侧出水管，使清水通过另一侧的喷头淋到晶圆上，通过刷头对晶圆进行第二次清洗，晶圆的清洗效果好，且可以同时对晶圆的两侧进行自动清理，减少了工作量，提升了工作效率。

2、本实用新型中，通过设置第二保护垫，起到了保护晶圆本体的作用，将两侧第二自动伸缩杆向后移动，第一自动伸缩杆向上移动，带动底座上升，底座推动晶圆，晶圆顺着固定杆的两侧上升，使晶圆自动移出清洗箱，提升了使用舒适度。

附图说明

图1为本实用新型提出一种晶圆双面自动清洗机的立体图；

图2为本实用新型提出一种晶圆双面自动清洗机的水箱剖视图；

图3为本实用新型提出一种晶圆双面自动清洗机的清洗箱剖视图；

图4为本实用新型提出一种晶圆双面自动清洗机的清洗箱俯视图。

图例说明：1、清洗箱；2、水箱；3、第一自动伸缩杆；4、底座；5、第二自动伸缩杆；6、进水管；7、出水管；8、支撑腿；9、开关；10、喷头；11、电机；12、固定杆；13、出水槽；14、第一保护垫；15、连接板；16、刷头；17、第二保护垫；18、支撑杆；19、隔板。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。

实施例1，如图1-图4所示，本实用新型提供了一种晶圆双面自动清洗机，包括清洗箱1，清洗箱1的外表面对称固定连接有电机11，两个电机11的输出端均贯穿清洗箱1的外表面并延伸至内侧，两个电机11的输出端均固定连接有转轴，两个转轴的上端面均固定连接有连接板15，清洗箱1的内底部中心位置固定连接有第一自动伸缩杆3，第一自动伸缩杆3的驱动端固定连接有底座4，清洗箱1的内表面对称固定连接有第二自动伸缩杆5，两个第二自动伸缩杆5的驱动端均固定连接有固定杆12，清洗箱1的内底部对称固定连接有支撑杆18，清洗箱1的内底部开设有出水槽13两个出水管7的下端面固定连接有喷头10，两个连接板15的端面均均匀固定连接有多个刷头16。

其整个实施例1达到的效果为，通过进水管6对水箱2中补充液体，隔板19起到了分隔水箱2的作用，通过两侧固定杆12的配合使用，起到了固定晶圆的作用，通过两侧第二自动伸缩杆5的设置，起到了移动固定杆12的作用，通过第一保护垫14的设置，起到了保护晶圆的作用，通过两侧电机11启动，起到了带动两侧连接板15的作用，两侧连接板15转动，带动两侧刷头16转动，达到了对晶圆两侧同时清洗的作用，通过设置支撑杆18，起到了稳定转轴的作用，清洗时，通过开关9打开出水管7，使清洗液通过喷头10淋到晶圆的上，通过刷头16对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关9打开的另一侧出水管7，使清水通过另一侧的喷头10淋到晶圆上，通过刷头16对晶圆进行第二次清洗，清洗效果好，且可以同时对晶圆的两侧进行自动清理，减少了工作量，提升了工作效率。

实施例2，如图1-图4所示，清洗箱1的上表面固定连接有水箱2，水箱2的上表面设置有进水管6，水箱2的前表面对称设置有出水管7，两个出水管7的外表面均设置有开关9，清洗箱1的下表面均匀固定连接有多个支撑腿8，两个固定杆12的内表面均黏合连接有第一保护垫14，底座4的上表面黏合连接有第二保护垫17，两个支撑杆18的内表面均与两个转轴的外表面呈转动连接，两个固定杆12和底座4呈配套设置，水箱2内表面之间固定连接有隔板19。

其整个实施例2达到的效果为，通过设置第二保护垫17，起到了保护晶圆本体的作用，清洗完成后，打开出水槽13，使清洗箱1内的污水排出，将两侧第二自动伸缩杆5向后移动，第一自动伸缩杆3向上移动，带动底座4上升，底座4推动晶圆，晶圆顺着固定杆12的两侧上升，使晶圆自动移出清洗箱1，提升了使用舒适度。

工作原理：通过支撑腿8固定本装置的位置，通过进水管6对水箱2进行补充液体，将两侧固定杆12伸缩在合适位置时，将晶圆顺着固定杆12滑入清洗箱1的内部，然后通过两侧第二自动伸缩杆5移动固定杆12，将晶圆固定在清洗箱1的内部，通过启动两侧的电机11带动两侧连接板15，两侧连接板15带动两侧刷头16转动，对晶圆的两面同时清洗，支撑杆18起到了稳定转轴的作用，清洗时，通过开关9打开出水管7，使清洗液通过喷头10淋到晶圆的上，通过刷头16对晶圆进行第一次清洗，清洗完成后，通过另一侧开关9打开的另一侧出水管7，使清水通过另一侧的喷头10淋到晶圆上，通过刷头16对晶圆进行第二次清洗，清洗完成后，通过将两侧第二自动伸缩杆5向后移动，第一自动伸缩杆3向上移动，带动底座4上升，底座4推动晶圆，晶圆顺着固定杆12的两侧上升，使晶圆自动移出清洗箱1，打开出水槽13，使箱内的污水排出。

本实用新型中的第一自动伸缩杆3、第二自动伸缩杆5和电机11的接线图属于本领域的公知常识，其工作原理是已经公知的技术，其型号根据实际使用选择合适的型号，所以对第一自动伸缩杆3、第二自动伸缩杆5和电机11不再详细解释控制方式和接线布置。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域，但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。

Claims (6)

1.一种晶圆双面自动清洗机，包括清洗箱(1)，其特征在于：所述清洗箱(1)的外表面对称固定连接有电机(11)，两个所述电机(11)的输出端均贯穿清洗箱(1)的外表面并延伸至内侧，两个所述电机(11)的输出端均固定连接有转轴，两个所述转轴的上端面均固定连接有连接板(15)，所述清洗箱(1)的内底部中心位置固定连接有第一自动伸缩杆(3)，所述第一自动伸缩杆(3)的驱动端固定连接有底座(4)，所述清洗箱(1)的内表面对称固定连接有第二自动伸缩杆(5)，两个所述第二自动伸缩杆(5)的驱动端均固定连接有固定杆(12)，所述清洗箱(1)的内底部对称固定连接有支撑杆(18)，所述清洗箱(1)的上表面固定连接有水箱(2)，所述水箱(2)的上表面设置有进水管(6)，所述水箱(2)的前表面对称设置有出水管(7)，两个所述出水管(7)的外表面均设置有开关(9)。

2.根据权利要求1所述的晶圆双面自动清洗机，其特征在于：两个所述出水管(7)的下端面固定连接有喷头(10)，两个所述连接板(15)的端面均均匀固定连接有多个刷头(16)。

3.根据权利要求1所述的晶圆双面自动清洗机，其特征在于：两个所述固定杆(12)的内表面均黏合连接有第一保护垫(14)，所述底座(4)的上表面黏合连接有第二保护垫(17)。

4.根据权利要求1所述的晶圆双面自动清洗机，其特征在于：两个所述支撑杆(18)的内表面均与两个转轴的外表面呈转动连接，两个所述固定杆(12)和底座(4)呈配套设置。

5.根据权利要求1所述的晶圆双面自动清洗机，其特征在于：所述水箱(2)内表面之间固定连接有隔板(19)。

6.根据权利要求1所述的晶圆双面自动清洗机，其特征在于：所述清洗箱(1)的下表面均匀固定连接有多个支撑腿(8)，所述清洗箱的内底部开设有出水槽(13)。

Images