CN201625653U - 一种槽式清洗过程中硅片装载装置 - Google Patents

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徐继平
籍小兵
边永智
宁永铎
孙洪波
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You Yan Semi Materials Co., Ltd.
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Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Grinm Semiconductor Materials Co Ltd
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Abstract

本实用新型提供一种在槽式清洗过程中的硅片装载装置，它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括：承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；定位装置包括：花篮定位架，花篮隔板。硅片在清洗过程中首先装载于4，5，6寸四氟花篮，然后将四氟花篮规则排列于定位装置内，通过清洗机的机械手夹持承载装置完成硅片清洗。本实用新型的优点是：装置结构简单，重量较轻，工作效率较高，既有效延长清洗机的使用寿命，又增大了清洗产能。

Description

一种槽式清洗过程中硅片装载装置
技术领域
本实用新型涉及一种槽式清洗过程中硅片装载装置。
技术背景
在硅片清洗工艺中，槽式清洗机以其清洗效果良好，较大的产能优势，在硅片清洗工艺中获得了广泛的应用，槽式清洗机在设计的过程中，一直采用的是机械手夹持四氟花篮直接浸入清洗槽的方式，此传统方式存在几个明显的问题，首先是清洗机机械手的形变和使用寿命问题，由于清洗机设计的机械手直接夹持8寸四氟花篮，左右对称两个，当用于清洗4、5、6寸硅片时候，是嵌套于8寸花篮内的，这种内外嵌套的复合花篮重量较大，长期使用容易造成机械手的变形，并且在机械手运动过程中，由于晃动还可能会造成四氟花篮脱落，直接砸坏石英超声槽。并且处在相同工艺时间下，不能提高产能。
鉴于槽式清洗硅片运输过程采用8寸四氟花篮作为承载装置的诸多缺点，因此有必要提供一种新型的硅片承载装置。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种用于槽式清洗机的硅片承载装置，该装置重量较轻，结构简单，操作方便，工作效率高，产能较大。
为实现上述目的，本实用新型采取以下设计方案：
这种用于槽式清洗机的硅片装载装置，它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括：承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；  装置前后侧面为对称结构，侧面除了保留必须的承重骨架，其他位置为开方孔结构；定位装置包括：花篮定位架，花篮隔板。
前端梯形槽可为一个，后端梯形槽为3个，梯形槽开口宽为5～7cm。
该装置底端开方孔，其他底面位置开圆孔，圆孔直径为1～2cm，圆孔数量为48～54个.
所述的底端支脚有4个，支脚长度为18～20cm，高度为3～5cm，宽度为1～1.2cm。
整个装置选择材料为聚偏氟乙烯材料。
所述的承载装置长度为45～50cm，宽度为20～25cm，高度为20～25cm。
所述的定位装置长度为45～50cm，宽度为20～25cm，高度为4～5cm。
定位装置的隔板上开圆孔，圆孔直径2～3cm。
本发明的优点是：在材质选择上，选取了聚偏氟乙烯(PVDF)材料代替了聚四氟乙烯(PTFE)材料，同样可以满足清洗用装置的耐腐蚀性和强度，而PVDF较之PTEF价格上便宜很多，大大降低了该装置的成本；PVDF较之PTEF重量较轻，即减轻了机械手的承重，有效保护了机械手不会变形；
另一个优点是本发明代替了两个8寸四氟花篮作为装载装置，使得装置在整个运动过程中更加平稳，装置的横向宽度较大，不存在脱落的可能，有效保护了石英清洗槽；另本装置作为4，5，6寸花篮的通用承载装置，内部可以并排放置3个花篮，这样可以直接提高清洗机的产能50％，有效的释放了硅片清洗产能的压力。
附图说明
图1：四氟花篮承载装置
图2：四氟花篮定位装置
图3：承载装置主视图
图4：承载装置俯视图
图5：承载装置左视图
图6：定位装置主视图
图7：定位装置俯视图
图8：定位装置左视图
具体实施方式
如图中所示，四氟花篮承载装置中，I-1为承重骨架，I-2为前端梯形槽，I-3为后端梯形槽，I-4为侧面方孔，I-5为底面圆孔，I-6为底面方孔，I-7为底端支脚；关于四氟花篮定位装置中，II-1为花篮定位架，II-2为花篮隔板。
由承载装置(图1)与定位装置(图2)可见装置几何设计上充分考虑了力学原理，承载装置除了承重处骨架外，全部采用开方孔或者圆孔的结构，其目的是最大程度上的减轻装置的重量，并且开孔处在清洗过程中液体易于流入装置，减小机械手受浮力冲击的同时，增强了清洗的时间和效果；
装置整体结构设计基于前后左右均为几何对称，装置顶端开口处，前端开一个凹槽，后端开三个凹槽，装置前后面均为半封闭结构设计，底面也为半封闭结构且开圆形孔。定位装置内嵌于承载装置，将承载装置分为三个单元，且定位装置仍然在隔板上开了圆孔。
硅片在清洗过程中首先装载于4，5，6寸四氟花篮，然后将四氟花篮规则排列于定位装置内，通过清洗机的机械手夹持承载装置完成硅片清洗。
定位装置在尺寸上分别设计了对应4，5，6寸硅片的不同尺寸，几何结构对称，既可以放置满载的3篮硅片，还可以放置两篮(置于两边单元)，一篮(置于中间单元)。

Claims (8)

1.一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：它由承载装置与定位装置组成，定位装置内嵌于承载装置，所述的承载装置包括：承重骨架，前端梯形槽，后端梯形槽，侧面方孔，底面圆孔，底面方孔，为底端支脚；装置前后侧面为对称结构，侧面除了保留承重骨架，其他位置为开方孔结构；定位装置包括：花篮定位架，花篮隔板。
2.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：前端梯形槽为一个，后端梯形槽为3个，梯形槽开口宽为5～7cm。
3.根据权利要求1或2所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：该装置底端开方孔，其他底面位置开圆孔，圆孔直径为1～2cm，圆孔数量为48～54个。
4.根据权利要求1或2所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：所述的底端支脚有4个，支脚长度为18～20cm，高度为3～5cm，宽度为1～1.2cm。
5.根据权利要求1所述的一种用于槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：整个装置选择材料为聚偏氟乙烯材料。
6.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：所述的承载装置长度为45～50cm，宽度为20～25cm，高度为20～25cm。
7.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：所述的定位装置长度为45～50cm，宽度为20～25cm，高度为4～5cm。
8.根据权利要求1所述的一种槽式清洗机的硅片装载装置，其特征在于：定位装置的隔板上开圆孔，圆孔直径2～3cm。
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