CN104690028A - 硅片腐前清洗机用清洗框 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种硅片腐前清洗机用清洗框，包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侧，其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。本发明结构简单、质量轻便、容量大。
Description
技术领域
本发明涉及机械类技术领域，尤其涉及半导体硅片腐前清洗用的清洗框。
背景技术
随着半导体硅片行业竞争的日益加大，产能的提升成为必然的趋势，而目前的硅片腐前清洗机所配套的清洗框采用不锈钢材料制造而成，质量较重，且结构单一清洗硅片时对硅片的尺寸有较多的限制，单批次清洗的硅片较少，远远不能满足实际生产的需要。
发明内容
本发明要解决的问题是提供一种结构简单、质量轻便、且单批次能够清洗较多硅片数量的硅片的腐前清洗用清洗框。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侧，其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。
两排所述方孔对称分布在所述底板上。
每排设有三个所述方孔，且三个所述方孔大小不等。
所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手设置在所述横杆的一端，所述第二提手设置在所述横杆的另一端，且距离横杆端部有一定距离。
所述第二提手距离所述横杆端部的距离为10cm-20cm。
所述第一提手和第二提手为一板状，其两侧通过支座固定挂在所述横杆上，其上端设有一杆，所述杆的两端突出所述提手两侧，所述第一提手和第二提手上均设有圆形通孔。
所述侧板上设有五个所述圆孔，其中上边有两个所述圆孔，下边有三个所述圆孔。
所述框体底板、侧板、挡板、横杆和提手均采用PP塑料材质
本发明具有的优点和积极效果是：本发明的硅片腐前清洗机用清洗框多处开设有孔，在保证了清洗框被抓起、放下和挪动时的平稳性的同时，大大减轻了清洗框的质量，且该清洗框每批次清洗的硅片数量较多，增加了产能。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图中：
1、框体底板 2、侧板 3、挡板 4、横杆
5、第一提手 6、第二提手 7、方孔 8、边缘
9、中间梁 10、通孔 11、圆孔 12、圆形通孔
13、支座 14、杆
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
如图1所示，本发明的硅片腐前清洗机用清洗框，包括框体底板1、侧板2、挡板3、横杆4和提手，提手包括第一提手5和第二提手6，所述框体底1上设有若干方孔7，框体底板1四边的边缘8和中间梁9上都均匀设有若干通孔10，两个所述侧板2设置在所述框体底板1相对的两侧，其底部与所述框体底板1固定连接，所述侧板2上设有若干圆孔11，两个所述挡板3相对设置在所述框体底板1的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板1和两个侧板2固定连接，所述挡板3上设有若干通孔10，两个所述横杆4分别平行设于两个所述挡板3的上边，其两端分别与两个所述侧板2固定连接，所述第一提手5和第二提手6均横跨在所述框体底板1的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆4上。
两排所述方孔7对称分布在所述框体底板1上。
每排设有三个所述方孔7，且三个所述方孔7大小不等，其中中间的方孔7最大，两个的方孔较小。
第一提手5设置在所述横杆4的一端，所述第二提手6设置在所述横杆4的另一端，且距离横杆4端部有一定距离，第二提手6距离所述横杆4端部的距离为5cm-15cm。
第一提手5和第二提手6为一板状，其两侧通过支座13固定挂在所述横杆4上，其上端设有一杆14，所述杆14的两端突出所述提手两侧，所述第一提手5和第二提手6上均设有圆形通孔12。
所述侧板2上设有五个所述圆孔11，上边设有两个所述圆孔11，下边设有三个所述圆孔11。
所述框体底板1、侧板2、挡板3、横杆4和提手（包括第一提手5和第二提手6）均采用PP塑料材质。
聚丙烯(PP塑料)是继尼龙之后发展的又一优良树脂品种，它是一种高密度、无侧链、高结晶必的线性聚合物，具有优良的综合性能。未着色时呈白色半透明，蜡状；比聚乙烯轻。透明度也较聚乙烯好，比聚乙烯刚硬。
硅片一般存放在特定的篮中，清洗时，将存放硅片的篮放到清洗框中再送到清洗机进行清洗。本发明的硅片腐前清洗机用清洗框一次可以盛放6篮4英寸的硅片或4篮6英寸的硅片，而之前的清洗框一次可以盛放4篮4英寸的硅片或2篮6英寸的硅片，本发明的清洗框一次清洗的硅片数量增多，产能增加；侧板2和挡板3将盛放硅片的篮固定使不滑落出来，而且两个侧板2上开有5个圆孔11，并由两个挡板3代替了另外两侧的侧板，挡板3上分布有多个通孔，这样可以大大减轻清洗框整体的重量，在机械手提起或放下清洗框时更加容易和安全，底板1上设有多个方孔和通孔也减轻了清洗框的重量，同时更便于残留液体的流出；提手通过横杆4连接在侧板2上，当机械手提起清洗框时，重量通过横杆4分布到两个侧板2上，有效地保证了清洗框的稳定，提手上设有杆14，且杆14两端突出提手两侧，便于机械手抓起或放下清洗框。本发明的硅片腐前清洗机用清洗框结构简单、质量轻便且容量较大。
以上对本发明的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。
Claims (8)
1.硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：包括框体底板、侧板、挡板、横杆和提手，所述框体底板上设有若干方孔，底板四边的边缘和中间梁上都均匀设有若干通孔，两个所述侧板设置在所述框体底板相对的两侧，其底部与所述框体底板固定连接，所述侧板上设有若干圆孔，两个所述挡板相对设置在所述框体底板的另两侧，其底部和两端分别与所述框体底板和两个侧板固定连接，所述挡板上设有若干通孔，两个所述横杆分别平行设于两个所述挡板的上边，其两端分别固定连接在两个所述侧板的上部，所述提手横跨在所述框体底板的上边，其两端分别固定安装在两个所述横杆上。
2.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：两排所述方孔对称分布在所述底板上。
3.根据权利要求1或2所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：每排设有三个所述方孔，且三个所述方孔大小不等。
4.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手设置在所述横杆的一端，所述第二提手设置在所述横杆的另一端，且距离横杆端部有一定距离。
5.根据权利要求1或4所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：所述第二提手距离所述横杆端部的距离为5cm-15cm。
6.根据权利要求1或4所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：所述第一提手和第二提手为一板状，其两侧通过支座固定挂在所述横杆上，其上端设有一杆，所述杆的两端突出所述提手两侧，所述第一提手和第二提手上均设有圆形通孔。
7.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：所述侧板上设有五个所述圆孔，其中上边有两个所述圆孔，下边有三个所述圆孔。
8.根据权利要求1所述的硅片腐前清洗机用清洗框，其特征在于：所述框体底板、侧板、挡板、横杆和提手均采用PP塑料材质。
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