CN207542212U - 一种硅片清洗花篮齿杆 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗花篮齿杆，包括齿杆主体及均匀设置在所述齿杆主体上的齿柱，其中所述齿柱垂直于所述齿杆主体长度方向的截面为椭圆形，所述齿杆主体的两端部设置有连接部，用于连接所述齿杆主体与硅片清洗花篮。所述齿杆主体的上部均匀的设置有多个凹陷部以及设置在相邻的所述凹陷部之间的凸起平台，且所述凸起平台与所述齿杆主体外侧面齐平。替代传统的菱形齿杆，采用半椭圆形齿杆，能够有效减少齿柱在硅片上留下的印痕，另外齿柱为上宽下窄型，便于插入硅片的同时，较窄的底部能够卡住硅片。

Description

一种硅片清洗花篮齿杆

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗器具技术领域，具体涉及一种硅片清洗花篮齿杆。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

在对硅片进行清洗时，使用硅片清洗花篮，不仅由于化学药剂具有腐蚀性，而且清洗花篮的插槽有利于将硅片均匀分开，不发生粘连，影响清洗的效果。

另外由于在清洗过程中，为了防止硅片上部发生形变而粘连在一起，现有硅片清洗花篮中在花篮的顶部设置有上部齿杆，现有齿杆大多为菱形，菱形的齿杆易在硅片表面形成齿痕印，造成硅片的成品率低，另外塑料制成的齿杆由于接触较多的清洗剂，极易发生溶解而污染清洗剂，影响清洗效果 。

有鉴于上述现有的硅片清洗花篮齿杆存在的缺陷，本实用新型人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种硅片清洗花篮齿杆，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有的一种硅片清洗花篮齿杆存在的缺陷，而提供一种新型一种硅片清洗花篮齿杆，替代传统的菱形齿杆，采用半椭圆形齿杆，另外选用的齿杆的材料不仅强度高，且不易与清洗剂发生反应，从而有效减少清洗剂的污染，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。

一种硅片清洗花篮齿杆，包括齿杆主体及均匀设置在所述齿杆主体上的齿柱，其中所述齿柱垂直于所述齿杆主体长度方向的截面为椭圆形，所述齿杆主体的两端部设置有连接部，用于连接所述齿杆主体与硅片清洗花篮。

作为一种优选的技术方案，所述齿杆主体的上部均匀的设置有多个凹陷部以及设置在相邻的所述凹陷部之间的凸起平台，且所述凸起平台与所述齿杆主体外侧面齐平。

作为一种优选的技术方案，所述齿柱包括固定设置在所述凹陷部内的下部和半椭圆形上部，且沿所述齿杆主体的长度方向的截面为等腰三角形，且所述等腰三角形的底角为20-40°。

作为一种优选的技术方案，所述凹陷部的长度为所述齿杆主体外周长的1/3-1/2。

作为一种优选的技术方案，所述连接部与所述齿杆主体的两端部分别为可拆卸连接。

作为一种优选的技术方案，所述连接部与所述齿杆主体的两端部分别为螺纹连接。

作为一种优选的技术方案，所述齿柱和所述齿杆主体由以下重量份数的各组分组成：

PVDF 50-80份

碳纤维 10-30份

钛白粉 1-3份。

作为一种优选的技术方案，所述碳纤维为颗粒状或粉状碳纤维，且所述碳纤维的长度不大于40mm。

作为一种优选的技术方案，所述齿柱和所述齿杆主体为一体成型结构。

作为一种优选的技术方案，所述齿柱等分为两组，分别均匀设置在所述齿杆主体上，且两组所述齿柱之间预留有空隙，且所述空隙的长度为所述齿杆主体总长度的1/10-1/9。

采用上述技术方案，能够实现以下技术效果：

1）、替代传统的菱形齿杆，采用半椭圆形齿杆，能够有效减少齿柱在硅片上留下的印痕，另外齿柱为上宽下窄型，便于插入硅片的同时，较窄的底部能够卡住硅片；

2）、齿杆主体及齿柱采用的材料PVDF中加入增强碳纤维，碳纤维的加入不仅能够有效提高齿杆的强度，且碳纤维反应活性低、不易与清洗剂发生反应，从而有效减少清洗剂的污染，且由于PVDF中无亲水基团，表现为疏水性，因此清洗剂不易残留在清洗花篮齿杆的表面；

3）、钛白粉的加入能够有效提高PVDF制品的耐热、耐光、耐腐蚀性能，且能够有效改善PVDF制品的机械性能。

附图说明

图1为本实用新型硅片清洗花篮齿杆的结构示意图；

图2为图1的左视图；

图3为图2的主视图；

图4为图3中A处的放大示意图；

其中，1-齿杆主体，2-齿柱，3-连接部，4-空隙。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,对依据本实用新型提出的硅片清洗花篮齿杆其具体实施方式、特征及其功效，详细说明如后。

如图1所示，本实用新型公开了一种硅片清洗花篮齿杆，包括齿杆主体1及均匀设置在齿杆主体1上的齿柱2，其中齿柱2垂直于齿杆主体1长度方向的截面为椭圆形，齿杆主体1的两端部设置有连接部3，用于连接齿杆主体1与硅片清洗花篮。具体的，齿柱2设置在齿杆主体1的上部，用于放置待清洗硅片，使得相邻的两片硅片能够分开，从而对硅片进行充分的清洗。

作为一种优选的技术方案，齿杆主体1的上部均匀的设置有多个凹陷部以及设置在相邻的凹陷部之间的凸起平台，且凸起平台与齿杆主体1外侧面齐平，具体的，齿杆主体1的上部对应着齿柱2设置有多个凹陷部，且凹陷部相接处为凸起平台，凸起平台的宽度为2-5cm，且与齿杆主体1的外侧面的圆弧面相同。

作为一种优选的技术方案，齿柱2包括固定设置在凹陷部内的下部和半椭圆形上部，且沿齿杆主体1的长度方向的截面为等腰三角形，且等腰三角形的底角为20-40°，具体的，齿柱2为一体结构，分为上部和下部，其中，下部设置在相对应的齿柱2主体的凹陷部内，两者之间固定连接或成型时一体成型，上部为放置硅片的承载部，其沿齿杆主体1的长度方向的截面为等腰三角形，上宽下窄的结构特点，便于顶部硅片的插入及底部硅片的卡设。

作为一种优选的技术方案，凹陷部的长度为齿杆主体1外周长的1/3-1/2，其中，凹陷部的长度为沿齿杆主体1圆形外周侧的长度，齿杆主体1外周长为垂直于齿杆主体1长度方向的截面的周长。

作为一种优选的技术方案，连接部3与齿杆主体1的两端部分别为可拆卸连接，可拆卸的连接方式便于根据花篮更换齿杆端部的连接部3以适应不同规格花篮。

作为一种优选的技术方案，连接部3与齿杆主体1的两端部分别为螺纹连接，具有的，齿杆主体1的外周侧设置有外螺纹，连接部3设置有与其配套的内螺纹。

作为一种优选的技术方案，齿柱2和齿杆主体1由以下重量份数的各组分组成：

PVDF 50-80份

碳纤维 10-30份

钛白粉 1-3份。

作为一种优选的技术方案，碳纤维为颗粒状或粉状碳纤维，且碳纤维的长度不大于40mm，短碳纤维的加入能够有效增强PVDF，而且分散均匀，不易造成堆积造成的强度分布不均的情况，另外，碳纤维由于没有反应活性，其与清洗剂不存在任何化学反应，因此不会造成清洗剂的污染。

作为一种优选的技术方案，齿柱2和齿杆主体1为一体成型结构。

作为一种优选的技术方案，齿柱2等分为两组，分别均匀设置在齿杆主体1上，且两组齿柱2之间预留有空隙4，且空隙4的长度为齿杆主体1总长度的1/10-1/9，中间空隙4的设置便于硅片数量的统计。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，包括齿杆主体（1）及均匀设置在所述齿杆主体（1）上的齿柱（2），其中所述齿柱（2）垂直于所述齿杆主体（1）长度方向的截面为椭圆形，所述齿杆主体（1）的两端部设置有连接部（3），用于连接所述齿杆主体（1）与硅片清洗花篮。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿杆主体（1）的上部均匀的设置有多个凹陷部以及设置在相邻的所述凹陷部之间的凸起平台，且所述凸起平台与所述齿杆主体（1）外侧面齐平。

3.根据权利要求2所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿柱（2）包括固定设置在所述凹陷部内的下部和半椭圆形上部，且沿所述齿杆主体（1）的长度方向的截面为等腰三角形，且所述等腰三角形的底角为20-40°。

4.根据权利要求2或3所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述凹陷部的长度为所述齿杆主体（1）外周长的1/3-1/2。

5.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述连接部（3）与所述齿杆主体（1）的两端部分别为可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述连接部（3）与所述齿杆主体（1）的两端部分别为螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿柱（2）和所述齿杆主体（1）为一体成型结构。

8.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮齿杆，其特征在于，所述齿柱（2）等分为两组，分别均匀设置在所述齿杆主体（1）上，且两组所述齿柱（2）之间预留有空隙（4），且所述空隙（4）的长度为所述齿杆主体（1）总长度的1/10-1/9。