CN108480277A - 一种硅片清洗烘干装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及光伏设备技术领域，且公开了一种硅片清洗烘干装置，包括第一支撑架，所述第一支撑架的顶部固定连接有支撑台，所述支撑台的底部一侧设置有清洗烘干机构，所述清洗烘干机构的顶部设置有防毒机构，所述清洗烘干机构的一侧设置有上料台。本发明解决了现有的硅片清洗时上料费力、效果不佳、有毒气体乱飘和传送装置易腐蚀的问题，通过清洗烘干机构、酸洗槽、超声波清洗槽、超声波发生器、喷洗槽、喷头、烘干室、热风机和接水槽，改变硅片通常采用一种方式清洗，导致清洗效果不佳的问题，只需要先用化学溶液溶解，然后利用超声波进行清洗，最后进行喷洗，清洗完毕后再烘干，从而达到良好的清洗效果。

Description

一种硅片清洗烘干装置
技术领域
本发明涉及光伏设备技术领域，具体为一种硅片清洗烘干装置。
背景技术
光伏设备主要包括硅棒/硅锭制造设备、硅片、晶圆制造设备、电池片制造设备、晶体硅电池组件制造设备、薄膜组件制造设备等5大类。在硅片生产中清洗硅片时，硅片清洗机前段通常会放置一个水槽用来放置不锈钢清洗篮，在硅片清洗机前段与该水槽中间放置一上料台。在清洗过程中，通过人工将盛满硅片片盒的不锈钢清洗篮放入上料台，等待机械手吊走进入清洗机槽中。此种工序装置存在明显不足，在将硅片放入不锈钢清洗篮中后，还需要人工将不锈钢清洗篮从水槽放置到上料台上，浪费了人力；其次，硅片清洗的方式有多种，通常采用一种方式清洗，导致清洗效果不佳；再次，在清洗过程中需要添加化学溶液将硅片表面脏物溶解，采用开放式的清洗槽，化学溶液气味在车间飘散，影响工人健康；而且，清洗时硅片固定在清洗篮内时，采用弹簧挤压固定，使得在将硅片放置在清洗篮内时效率低下且费力；另外，在清洗传送的过程中，许多采用传送带的方式进行输送，输送到清洗槽上方时将传送带降低，由于清洗池内有化学溶液，使得传送装置容易腐蚀损坏。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种硅片清洗烘干装置，解决了现有的硅片清洗时上料费力、效果不佳、有毒气体乱飘和传送装置易腐蚀的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片清洗烘干装置，包括第一支撑架，所述第一支撑架的顶部固定连接有支撑台，所述支撑台的底部一侧设置有清洗烘干机构，所述清洗烘干机构的顶部设置有防毒机构，所述清洗烘干机构的一侧设置有上料台，所述上料台上设置有硅片固定机构，所述支撑台的顶部一侧固定连接有第二支撑架，所述第二支撑架的顶部一侧设置有传送机构，所述支撑台和第二支撑架上均开设有通槽。
优选的，所述清洗烘干机构包括酸洗槽，所述酸洗槽的一侧固定连接有超声波清洗槽，所述超声波清洗槽内设置有超声波发生器，所述超声波清洗槽远离酸洗槽的一侧设置有喷洗槽，所述喷洗槽的内壁上设置有喷头，所述喷洗槽远离超声波清洗槽的一侧设置有烘干室，所述烘干室的一侧内壁上固定连接有热风机，所述烘干室的底部设置有接水槽。
优选的，所述防毒机构包括第一挡板，所述第一挡板的底部与酸洗槽的槽壁铰接，所述第一挡板的顶部固定连接有锁扣，所述酸洗槽远离挡板的一侧固定连接有侧板，所述侧板上开设有进出料口，所述进出料口的一侧固定连接有铰接座，所述铰接座的一侧固定连接有第二挡板，所述第二挡板的一侧固定连接有复位弹簧，所述第一挡板的一侧内壁上固定连接有抽风机。
优选的，所述硅片固定机构包括固定篮，所述固定篮的底部和顶部均固定连接有定位杆，所述固定篮的顶部固定连接有挂环，所述挂环上设置有挂钩，所述挂钩的顶部固定连接有第一液压缸，所述第一液压缸的底部固定连接有底板，所述底板的底部固定连接有第一滚轮，所述底板的顶部固定连接有防尘室。
优选的，所述传送机构包括第二液压缸，所述第二液压缸的一侧固定连接有支撑块，所述支撑块的底部四角均固定连接有第二滚轮，所述支撑块的底部中央固定连接有支架，所述第三支撑架的底部一侧铰接有拉钩，所述拉钩上设置有拉环，所述拉环固定在防尘室的一侧。
优选的，所述支撑台的形状为环形，通槽的两侧设置有挡块，酸洗槽、超声波清洗槽、喷洗槽和烘干室的底部一侧均设置有排水口，第一支撑架和第二支撑架的一侧均设置有插座，烘干室的一侧设置有下料台。
工作原理：将硅片依次插入定位杆之间固定，控制第一液压缸收缩将固定篮提起，然后控制第二液压缸拉动硅片固定机构穿过进出料口移动至酸洗槽的上方，再控制第一液压缸伸长将固定篮浸入酸洗槽内进行脏物溶解，溶解后再控制第一液压缸将固定篮提起移动到超声波清洗槽内进行超声波清洗，清洗后再提起移动到喷洗槽内，喷头喷水进行冲洗，最后移动到烘干室内，热风机吹出热风进行烘干，烘干后的硅片移动到下料台进行下料后，分开拉环和拉钩，然后推动防尘室沿着支撑台滚动，移到上料台进行再次上料即可，固定篮在进出酸洗槽后，第二挡板在复位弹簧的作用下复位，在进行酸洗时，打开抽风机将有毒气体吸走，打开锁扣，可以对酸洗槽进行清洗或是维修。
(三)有益效果
本发明提供了一种硅片清洗烘干装置。具备以下有益效果：
(1)、本发明通过清洗烘干机构、酸洗槽、超声波清洗槽、超声波发生器、喷洗槽、喷头、烘干室、热风机和接水槽，改变硅片通常采用一种方式清洗，导致清洗效果不佳的问题，只需要先用化学溶液溶解，然后利用超声波进行清洗，最后进行喷洗，清洗完毕后再烘干，从而达到良好的清洗效果。
(2)、本发明通过防毒机构、第一挡板、锁扣、侧板、进出料口、铰接座、第二挡板、复位弹簧和抽风机，改变开放式的清洗槽，化学溶液气味在车间飘散，影响工人健康的问题，固定篮在穿过进出料口后，第二挡板自动关闭，打开抽风机即可将抽走气体。
(3)、本发明通过上料台、硅片固定机构、固定篮、定位杆、挂环、挂钩、第一液压缸、底板、第一滚轮和防尘室，改变将硅片放置在清洗篮内时效率低下且费力的问题，只需要将硅片插入定位杆之间即可将硅片轻松固定住，结构简单，省力，效率高，且分开挂环和挂钩，可以随意搬动固定篮。
(4)、本发明通过第一支撑架、支撑台、通槽、第二支撑架、传送机构、第二液压缸、支撑块、第二滚轮、第三支撑架、拉钩和拉环，改变采用降低传送装置的方式进行清洗时，容易腐蚀传送装置的问题，只需要控制第二液压缸拉动硅片固定机构，到达相应的清洗槽的上方时，控制第一液压缸伸缩即可便于将固定篮放入水中清洗，防止传送装置腐蚀。
(5)、本发明通过第一支撑架、支撑台、第一液压缸、底板、第一滚轮和防尘室，改变人工将不锈钢清洗篮从水槽放置到上料台上，浪费了人力的问题，只需要推动防尘室在支撑台上移动一圈，即可回到上料台进行上料，省时省力；通过第一挡板和锁扣，打开锁扣，将第一挡板翻转，即可便于清洗酸化槽或是维修。
附图说明
图1为本发明正视图；
图2为本发明正视图的剖面图；
图3为图2中A处的放大图；
图4为本发明支撑台的俯视图；
图5为本发明酸化槽的侧视图；
图6为本发明第二挡板的俯视图。
图中：1第一支撑架、2支撑台、3清洗烘干机构、31酸洗槽、32超声波清洗槽、33超声波发生器、34喷洗槽、35喷头、36烘干室、37热风机、38接水槽、4防毒机构、41第一挡板、42锁扣、43侧板、44进出料口、45铰接座、46第二挡板、47复位弹簧、48抽风机、5上料台、6硅片固定机构、61固定篮、62定位杆、63挂环、64挂钩、65第一液压缸、66底板、67第一滚轮、68防尘室、7通槽、8第二支撑架、9传送机构、91第二液压缸、92支撑块、93第二滚轮、94第三支撑架、95拉钩、96拉环。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-6所示，本发明提供一种技术方案：一种硅片清洗烘干装置，包括第一支撑架1，第一支撑架1的顶部固定连接有支撑台2，支撑台2的底部一侧设置有清洗烘干机构3，清洗烘干机构3的顶部设置有防毒机构4，清洗烘干机构3的一侧设置有上料台5，上料台5上设置有硅片固定机构6，支撑台3的顶部一侧固定连接有第二支撑架8，第二支撑架8的顶部一侧设置有传送机构9，支撑台2和第二支撑架8上均开设有通槽7，清洗烘干机构3包括酸洗槽31，酸洗槽31的一侧固定连接有超声波清洗槽32，超声波清洗槽32内设置有超声波发生器33，超声波清洗槽32远离酸洗槽31的一侧设置有喷洗槽34，喷洗槽34的内壁上设置有喷头35，喷洗槽34远离超声波清洗槽32的一侧设置有烘干室36，烘干室36的一侧内壁上固定连接有热风机37，烘干室36的底部设置有接水槽38，防毒机构4包括第一挡板41，第一挡板41的底部与酸洗槽31的槽壁铰接，第一挡板41的顶部固定连接有锁扣42，酸洗槽31远离挡板41的一侧固定连接有侧板43，侧板43上开设有进出料口44，进出料口44的一侧固定连接有铰接座45，铰接座45的一侧固定连接有第二挡板46，第二挡板46的一侧固定连接有复位弹簧47，第一挡板41的一侧内壁上固定连接有抽风机48，硅片固定机构6包括固定篮61，固定篮61的底部和顶部均固定连接有定位杆62，固定篮61的顶部固定连接有挂环63，挂环63上设置有挂钩64，挂钩64的顶部固定连接有第一液压缸65，第一液压缸65的底部固定连接有底板66，底板66的底部固定连接有第一滚轮67，底板66的顶部固定连接有防尘室68，传送机构9包括第二液压缸91，第二液压缸91的一侧固定连接有支撑块92，支撑块92的底部四角均固定连接有第二滚轮93，支撑块92的底部中央固定连接有支架94，第三支撑架94的底部一侧铰接有拉钩95，拉钩95上设置有拉环96，拉环96固定在防尘室68的一侧，支撑台2的形状为环形，通槽7的两侧设置有挡块，酸洗槽31、超声波清洗槽32、喷洗槽34和烘干室36的底部一侧均设置有排水口，第一支撑架1和第二支撑架8的一侧均设置有插座，烘干室36的一侧设置有下料台。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
工作原理：将硅片依次插入定位杆62之间固定，控制第一液压缸65收缩将固定篮61提起，然后控制第二液压缸91拉动硅片固定机构6穿过进出料口44移动至酸洗槽31的上方，再控制第一液压缸65伸长将固定篮61浸入酸洗槽31内进行脏物溶解，溶解后再控制第一液压缸65将固定篮61提起移动到超声波清洗槽32内进行超声波清洗，清洗后再提起移动到喷洗槽34内，喷头35喷水进行冲洗，最后移动到烘干室36内，热风机37吹出热风进行烘干，烘干后的硅片移动到下料台进行下料后，分开拉环96和拉钩95，然后推动防尘室68沿着支撑台2滚动，移到上料台5进行再次上料即可，固定篮61在进出酸洗槽31后，第二挡板46在复位弹簧47的作用下复位，在进行酸洗时，打开抽风机48将有毒气体吸走，打开锁扣42，可以对酸洗槽31进行清洗或是维修。
综上可得，(1)本发明通过清洗烘干机构3、酸洗槽31、超声波清洗槽32、超声波发生器33、喷洗槽34、喷头35、烘干室36、热风机37和接水槽38，改变硅片通常采用一种方式清洗，导致清洗效果不佳的问题，只需要先用化学溶液溶解，然后利用超声波进行清洗，最后进行喷洗，清洗完毕后再烘干，从而达到良好的清洗效果。
(2)、本发明通过防毒机构4、第一挡板41、锁扣42、侧板43、进出料口44、铰接座45、第二挡板46、复位弹簧47和抽风机48，改变开放式的清洗槽，化学溶液气味在车间飘散，影响工人健康的问题，固定篮61在穿过进出料口44后，第二挡板46自动关闭，打开抽风机48即可将气体抽走。
(3)、本发明通过上料台5、硅片固定机构6、固定篮61、定位杆62、挂环63、挂钩64、第一液压缸65、底板66、第一滚轮67和防尘室68，改变将硅片放置在清洗篮内时效率低下且费力的问题，只需要将硅片插入定位杆62之间即可将硅片轻松固定住，结构简单，省力，效率高，且分开挂环63和挂钩64，可以随意搬动固定篮61。
(4)、本发明通过第一支撑架1、支撑台2、通槽7、第二支撑架8、传送机构9、第二液压缸91、支撑块92、第二滚轮93、第三支撑架94、拉钩95和拉环96，改变采用降低传送装置的方式进行清洗时，容易腐蚀传送装置的问题，只需要控制第二液压缸91拉动硅片固定机构6，到达相应的清洗槽的上方时，控制第一液压缸65伸缩即可便于将固定篮61放入水中清洗，防止传送装置腐蚀。
(5)、本发明通过第一支撑架1、支撑台2、第一液压缸65、底板66、第一滚轮67和防尘室68，改变人工将不锈钢清洗篮从水槽放置到上料台5上，浪费了人力的问题，只需要推动防尘室68在支撑台2上移动一圈，即可回到上料台5进行上料，省时省力；通过第一挡板41和锁扣42，打开锁扣42，将第一挡板41翻转，即可便于清洗酸化槽31或是维修。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个引用结构”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种硅片清洗烘干装置，包括第一支撑架(1)，其特征在于：所述第一支撑架(1)的顶部固定连接有支撑台(2)，所述支撑台(2)的底部一侧设置有清洗烘干机构(3)，所述清洗烘干机构(3)的顶部设置有防毒机构(4)，所述清洗烘干机构(3)的一侧设置有上料台(5)，所述上料台(5)上设置有硅片固定机构(6)，所述支撑台(3)的顶部一侧固定连接有第二支撑架(8)，所述第二支撑架(8)的顶部一侧设置有传送机构(9)，所述支撑台(2)和第二支撑架(8)上均开设有通槽(7)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于：所述清洗烘干机构(3)包括酸洗槽(31)，所述酸洗槽(31)的一侧固定连接有超声波清洗槽(32)，所述超声波清洗槽(32)内设置有超声波发生器(33)，所述超声波清洗槽(32)远离酸洗槽(31)的一侧设置有喷洗槽(34)，所述喷洗槽(34)的内壁上设置有喷头(35)，所述喷洗槽(34)远离超声波清洗槽(32)的一侧设置有烘干室(36)，所述烘干室(36)的一侧内壁上固定连接有热风机(37)，所述烘干室(36)的底部设置有接水槽(38)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于：所述防毒机构(4)包括第一挡板(41)，所述第一挡板(41)的底部与酸洗槽(31)的槽壁铰接，所述第一挡板(41)的顶部固定连接有锁扣(42)，所述酸洗槽(31)远离挡板(41)的一侧固定连接有侧板(43)，所述侧板(43)上开设有进出料口(44)，所述进出料口(44)的一侧固定连接有铰接座(45)，所述铰接座(45)的一侧固定连接有第二挡板(46)，所述第二挡板(46)的一侧固定连接有复位弹簧(47)，所述第一挡板(41)的一侧内壁上固定连接有抽风机(48)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于：所述硅片固定机构(6)包括固定篮(61)，所述固定篮(61)的底部和顶部均固定连接有定位杆(62)，所述固定篮(61)的顶部固定连接有挂环(63)，所述挂环(63)上设置有挂钩(64)，所述挂钩(64)的顶部固定连接有第一液压缸(65)，所述第一液压缸(65)的底部固定连接有底板(66)，所述底板(66)的底部固定连接有第一滚轮(67)，所述底板(66)的顶部固定连接有防尘室(68)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于：所述传送机构(9)包括第二液压缸(91)，所述第二液压缸(91)的一侧固定连接有支撑块(92)，所述支撑块(92)的底部四角均固定连接有第二滚轮(93)，所述支撑块(92)的底部中央固定连接有支架(94)，所述第三支撑架(94)的底部一侧铰接有拉钩(95)，所述拉钩(95)上设置有拉环(96)，所述拉环(96)固定在防尘室(68)的一侧。
6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗烘干装置，其特征在于：所述支撑台(2)的形状为环形，通槽(7)的两侧设置有挡块，酸洗槽(31)、超声波清洗槽(32)、喷洗槽(34)和烘干室(36)的底部一侧均设置有排水口，第一支撑架(1)和第二支撑架(8)的一侧均设置有插座，烘干室(36)的一侧设置有下料台。
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