CN103887212A - 全自动太阳能硅片清洗机 - Google Patents

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陆惠石
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67023—Apparatus for fluid treatment for general liquid treatment, e.g. etching followed by cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本发明涉及一种太阳能硅片清洗设备，尤其是一种全自动太阳能硅片清洗机。该清洗机包括一超声清洗槽，所述的超声清洗槽后方依次设有浸泡酸洗槽、超声碱洗槽以及一个或多个超声漂洗槽，所述的超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽上方设有一平移支架，所述的平移支架上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮，所述的平移支架安装在一升降结构上。本发明的全自动太阳能硅片清洗机通过超声波使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。又结合碱液清洗、烘干等工艺，实现了多晶、单晶太能能硅片、光学镜片的清洗。由于本设备为多槽结构，因此能够完成较复杂的清洗工艺。

Description

全自动太阳能硅片清洗机
技术领域
本发明涉及一种太阳能硅片清洗设备，尤其是一种全自动太阳能硅片清洗机。
背景技术
随着可再生能源的日益贫乏，寻找新的能源途径，已经成为全人类共同的目标。然而可再生能源――生物能、光能、水能、风能等有限的几种，这几种中只有光能才能目前最有效、快捷的方法。利用太阳能硅片来发电、供热是目前全世界开发的热点。我们国家虽然在太阳能硅片应用行业起步较晚，但就近几年来的发展速度看，还是相当惊人的。但是，当前国内太阳能硅片厂商还普遍使用单槽或多槽式组合手工清洗；随着产品需求量的增加，质量要求的提高和劳动力生产成本的增加，原有设备的清洗形式已经不能满足要求，所以一种新的全自动的清洗设备已经成为硅片生产厂家的迫切需要。
发明内容
本发明提供一种能自动进行多种清洗方式完成清洗流程的全自动太阳能硅片清洗机。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
包括一超声清洗槽，所述的超声清洗槽后方依次设有浸泡酸洗槽、超声碱洗槽以及一个或多个超声漂洗槽，所述的超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽上方设有一平移支架，所述的平移支架上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮，所述的平移支架安装在一升降结构上。
优选地，所述的超声清洗槽前方设有超声粗洗槽，平移支架延伸至超声粗洗槽上方。
优选地，所述的超声粗洗槽上方设有浸泡上料槽，平移支架延伸至浸泡上料槽上方。
优选地，所述的超声漂洗槽后方设有下料台。
优选地，所述的吊篮通过一个或多个挂钩挂于平移支架上。
优选地，所述的超声清洗槽底部设有超声波发生板。
优选地，所述的浸泡酸洗槽底部设有超声波发生板。
优选地，所述的超声碱洗槽底部设有超声波发生板。
优选地，所述的每个超声漂洗槽底部设有超声波发生板。
优选地，所述的浸泡上料槽、超声粗洗槽、超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽底部分别设有出液口。
由于采用了上述结构，本发明的全自动太阳能硅片清洗机通过超声波使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。又结合碱液清洗、烘干等工艺，实现了多晶、单晶太能能硅片、光学镜片的清洗。由于本设备为多槽结构，因此能够完成较复杂的清洗工艺。
附图说明
图1是本发明实施例的结构示意图。
图中：
超声清洗槽1；
浸泡酸洗槽2；
超声碱洗槽3；
超声漂洗槽4；
平移支架5；
吊篮6；
升降结构7；
超声粗洗槽8；
浸泡上料槽9；
下料台10；
挂钩11；
超声波发生板12；
出液口13。
具体实施方式
如图1所示，本实施例的全自动太阳能硅片清洗机包括一超声清洗槽1，所述的超声清洗槽1后方依次设有浸泡酸洗槽2、超声碱洗槽3以及一个或多个超声漂洗槽4，所述的超声清洗槽1、浸泡酸洗槽2、超声碱洗槽3及超声漂洗槽4上方设有一平移支架5，所述的平移支架5上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮6，所述的平移支架5安装在一升降结构7上。本实施例中有两个、超声碱洗槽3及四个超声漂洗槽4。
本实施例中，所述的超声清洗槽1前方设有超声粗洗槽8，平移支架5延伸至超声粗洗槽8上方。
本实施例中，所述的超声粗洗槽1上方设有浸泡上料槽9，平移支架5延伸至浸泡上料槽9上方。
工作时，首先将浸泡上料槽9、超声粗洗槽8和超声清洗槽1中注入自来水，在浸泡酸洗槽中注入酸液，在超声碱洗槽3中注入碱液，在超声漂洗槽4中注入纯水，即蒸馏水，然后将待清洗硅片放入吊篮6中并置入浸泡上料槽9中浸泡，到达一定时间后，一般半小时以上，即可人工挂在平移支架5上，平移支架5带动吊篮6运行到超声粗洗槽8上方时，平移支架5下降，是吊篮6浸没在浸泡上料槽9中，到达指定反应时间后，平移支架5重复升降及平移动作，使吊篮依次经过超声粗洗槽8、超声清洗槽1、浸泡酸洗槽2、超声碱洗槽3及超声漂洗槽4的清洗，最后人工下料，完成清洗过程。
本实施例中，所述的超声漂洗槽4后方设有下料台10。
本实施例中，所述的吊篮6通过一个或多个挂钩11挂于平移支架5上。
本实施例中，所述的超声清洗槽1底部设有超声波发生板12。
本实施例中，所述的浸泡酸洗槽2底部设有超声波发生板12。
本实施例中，所述的超声碱洗槽3底部设有超声波发生板12。
本实施例中，所述的每个超声漂洗槽4底部设有超声波发生板12。
本实施例中，所述的浸泡上料槽9、超声粗洗槽8、超声清洗槽1、浸泡酸洗槽2、超声碱洗槽3及超声漂洗槽4底部分别设有出液口13。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：包括一超声清洗槽，所述的超声清洗槽后方依次设有浸泡酸洗槽、超声碱洗槽以及一个或多个超声漂洗槽，所述的超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽上方设有一平移支架，所述的平移支架上吊设又一个或多个承载待清洗硅片的吊篮，所述的平移支架安装在一升降结构上。
2.如权利要求1所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的超声清洗槽前方设有超声粗洗槽，平移支架延伸至超声粗洗槽上方。
3.如权利要求2所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的超声粗洗槽上方设有浸泡上料槽，平移支架延伸至浸泡上料槽上方。
4.如权利要求3所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的超声漂洗槽后方设有下料台。
5.如权利要求4所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的吊篮通过一个或多个挂钩挂于平移支架上。
6.如权利要求5所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的超声清洗槽底部设有超声波发生板。
7.如权利要求6所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的浸泡酸洗槽底部设有超声波发生板。
8.如权利要求7所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的超声碱洗槽底部设有超声波发生板。
9.如权利要求8所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的每个超声漂洗槽底部设有超声波发生板。
10.如权利要求9所述的全自动太阳能硅片清洗机，其特征在于：所述的浸泡上料槽、超声粗洗槽、超声清洗槽、浸泡酸洗槽、超声碱洗槽及超声漂洗槽底部分别设有出液口。
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